WO2016015978A1 - Zoommikroskop - Google Patents

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WO2016015978A1
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lens
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Inventor
Johannes Winterot
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B15/00—Optical objectives with means for varying the magnification
    • G02B15/14—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective
    • G02B15/146—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective having more than five groups
    • G02B15/1461—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective having more than five groups the first group being positive
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives
    • G02B21/025—Objectives with variable magnification

Definitions

  • the invention relates to a zoom microscope according to the preamble of claim 1.
  • optical metrology are particularly in the
  • Image scale also remains constant in the direction of the optical axis within a defined range. This means that objects of different heights, but of equal size, also appear the same size in the image, as long as the telecentricity is present in a given depth-of-focus range.
  • the picture area must be exploited as completely as possible, therefore, the magnification must be increased for very small objects. This is done with a zoom system that has to maintain the telecentricity. This is also a picture-side telecentricity useful.
  • a double-sided telecentric optics theoretically has no scale errors during defocusing.
  • Object-side telecentric zoom systems are still particularly advantageous then applicable when object-side filter or a coaxial Auflichteleuchtung be coupled into the beam path.
  • Aperture aperture in the image-side focal point of the interchangeable lens manufactures is that with lenses larger focal length more space is needed.
  • the zoom system includes four lens groups, of which the middle two lens groups are moved to adjust the magnification.
  • the zoom system has an entrance pupil on the object side of the first lens group that substantially coincides with an exit pupil of the objective. Therefore, a relatively large distance between the zoom system and the lens is always required.
  • the object of the invention is now to provide a compact microscope, which is a distortion-free
  • the modular zoom microscope comprises an object plane in which an object to be observed can be placed
  • interchangeable lens which is arranged at a constant distance to the stage, a zoom module, a Tubus lens assembly and an imaging unit for capturing an image of the object.
  • a specimen stage is provided in the microscope in most cases in a known manner.
  • the object plane is at a constant distance from the lens
  • Imaging units are starting from the object plane in this order in an optical path or a
  • the objective has such a focal length that an image-side focal point of the objective lies within the zooming unit.
  • the zoom assembly includes at least two movable ones
  • One of the movable lens groups according to the invention comprises a diaphragm.
  • the movable lens groups are in one
  • the zoom module is an afocal lens system.
  • the afocal is a lens system that is neither collecting nor dispersing. That means parallel arrivals
  • a scale factor can be achieved to about 25-fold.
  • the bezel in a preferred embodiment, has a fixed size but, in alternative embodiments, may also be variable in size. If the aperture is variable in size, the depth of field can be changed.
  • the zooming assembly comprises a fixed and exactly three movable ones
  • Lens groups which are arranged starting from the lens in the following order: fixed first lens group
  • the diaphragm is disposed on the third lens group.
  • the movements of the three movable lens groups are advantageously coordinated so that the (virtual) imaging of the aperture by the first lens group results in a constant location.
  • the overall movement is tuned to a constant image position. For observance of telecentricity is the image-side
  • Focal point at the location of the (virtual) image of the aperture.
  • the tube lens system preferably comprises in a known manner a plurality of lens groups for focusing the image in an image plane in which an image sensor is arranged.
  • the image-side telecentricity is particularly advantageous if, for example, a microlens array is arranged in front of the image sensor.
  • Such sensors with microlens array are particularly sensitive to a main beam inclination due to the upstream optics.
  • zoom movements can be motorized if necessary automated.
  • Positions of the lens groups can be detected in a variety of ways and in the imaging unit or a
  • Presentation unit used to determine scaling and / or perform measurements in the image.
  • an infinite beam space which, as is known, is particularly suitable for the coupling or decoupling of partial beam paths, filters or the like.
  • In the object-side infinite space can preferably be coupled coaxial incident light illumination.
  • 1 shows a schematic diagram of an optical system of a particularly preferred embodiment of a zoom microsocope with a first objective
  • 2 is a schematic diagram of the optical system of
  • Zoom microscope wherein the first lens is replaced by a second lens.
  • FIG. 1 shows, with five figures, a beam gene of an optical system of a particularly preferred embodiment of a .nodular zoom microscope according to the invention.
  • the optical system of the zoom microscope comprises an object field 01, which is located on an object table (not shown) or in an object plane. On the object field 01, an object 02 is arranged, whose observed part in the
  • Figures a) to e) varies in size.
  • Figure a) shows a very small object
  • the objective 03 is interchangeable.
  • Lens group LG2 is along an optical axis 06
  • a third lens group LG3 is also displaceable along the optical axis 06 and has a positive refractive power.
  • a fourth lens group LG4 is also displaceable along the optical axis 06 and has a negative refractive power.
  • An aperture 07 is provided on the third lens group LG3.
  • the aperture 07 is preferably fixed to the lens group LG3 connected and with this along the optical axis 06 displaceable.
  • the aperture in this embodiment has a fixed diameter of 12.7mm.
  • a tube assembly 08 has in the illustrated
  • a focal length fT 200mm and includes a lens group LG5 with a positive refractive power, a
  • Lens group LG6 with a negative refractive power and a lens group LG7 with a positive refractive power The
  • Lens groups LG5, LG6 and LG7 of the tube assembly 08 are fixedly arranged. Between the Zoombauaff 04 and the
  • Tubusbaud 08 is an infinite space.
  • An image sensor 09 is arranged downstream of the tube assembly 08 in an image plane.
  • the image sensor 09 may be any known image sensor having a format and resolving power suitable for the optical system. The person skilled in the art can select the suitable image sensor.
  • the image sensor is part of an imaging unit which serves to detect an image of the sample 02 in a manner known per se.
  • optical characteristics for the system shown are tabulated below.
  • the indication of a radius means the radius of a lens.
  • the distance defines the distance to the next one
  • the lens material of a lens group is defined by the refractive index n e and the Abbe number v e .
  • the two-sided focal length f 'of the respective lens group is defined by the refractive index n e and the Abbe number v e .
  • the object plane image plane distance in this embodiment is 352mm.
  • a radiation beam 11 is shown as the beam path, which emanates from an object point remote from the center, is deflected several times by the optical system of the zoom microscope and finally focused on the image sensor.
  • objects 02 of different sizes are in each case displaced axially by the lens groups LG2, LG3 and LG4 on the full image surface of the image sensor 09
  • variable telescope magnification ⁇ of the afocal zoom and the focal length of the tube lens result in a
  • Magnification stages created a location of the entrance pupil, which is a far-reaching telecentric object and
  • Control unit of the zoom microscope stored and are approached defined if necessary.
  • the same reference numerals here mean, of course, the same components, so that is dispensed with a further description here.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein modulares Zoommikroskop mit einem auswechselbaren Objektiv (03, 13), einer Zoombaugruppe (04) mit mindestens zwei beweglichen Linsengruppen, die dem Objektiv (03, 13) in einem Beobachtungsstrahlengang nachgeordnet ist, einer Tubusbaugruppe (08), die der Zoombaugruppe (04) nachgeordnet ist und einer Abbildungseinheit mit einem der Tubusbaugruppe (08) nachgeordneten und in einer Bildebene positionierten Bildsensor (09) zur Erfassung eines Abbildes einer in einer Objektebene angeordneten Probe. Erfindungsgemäß hat das Objektiv (03, 13) eine solche Brennweite, dass ein bildseitiger Brennpunkt des Objektives innerhalb der Zoombaugruppe liegt und dass eine der beweglichen Linsengruppen ein Blende (07) umfasst. Die beweglichen Linsengruppen sind dabei in einer vorteilhaften Ausführungsform in mindestens einer ersten Lage so einstellbar, dass eine Eintrittspupille der Zoombaugruppe im bildseitigen Brennpunkt des Objektives liegt.

Description

Zoommikroskop
Die Erfindung betrifft ein Zoommikroskop gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
In der optischen Messtechnik sind insbesondere bei der
Inspektion bestimmter Teile Abbildungen erforderlich, die frei von perspektivischen Verzerrungen sind, und der
Abbildungsmaßstab auch in Richtung der optischen Achse innerhalb eines definierten Bereiches konstant bleibt. Das heißt, dass unterschiedlich hohe aber gleich große Objekte auch in der Abbildung gleich groß erscheinen, solange die Telezentrie in einem vorgegebenen Tiefenschärfe-Bereich vorliegt .
Für die Vermessung verschieden großer Objekte soll der
Abbildungsbereich möglichst vollständig ausgenutzt werden, daher muss bei sehr kleinen Objekten der Abbildungsmaßstab vergrößert werden. Dies geschieht mit einem Zoomsystem, dass die Telezentrie aufrecht erhalten muss. Dazu ist auch eine bildseitige Telezentrie nützlich.
Eine beidseitig telezentrische Optik weist theoretisch keine Maßstabsfehler bei Defokussierung auf.
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene telezentrische Zoommikroskope mit oder ohne Zwischenbild bekannt.
Systeme ohne Zwischenbild haben eine kürzere Baulänge und sind deshalb vorteilhaft insbesondere für wechselnde Mess-,
Beobachtungs- und Dokumentationsaufgaben anwendbar.
Objektseitig telezentrische Zoomsysteme sind weiterhin besonders vorteilhaft dann anwendbar, wenn objektseitig Filter oder eine koaxiale Auflichteleuchtung in den Strahlengang eingekoppelt werden sollen.
Aus der US 2010/0014154 AI ist ein Zoommikroskop mit einem erweiterten Vergrößerungsbereich des Zooms bei Verwendung verschiedener Wechselobjektive bekannt, das ein eine
objektseitige Telezentrie durch die Anordnung einer
Aperturblende im bildseitigen Brennpunkt des Wechselobjektivs herstellt. Problematisch hierbei ist, dass bei Objektiven größerer Brennweite mehr Bauraum benötigt wird.
Aus der US 2004/0246592 AI ist ein Zoommikroskop mit
bildseitiger Telezentrie bekannt. Das Zoomsystem umfasst vier Linsengruppen, von denen zur Einstellung der Vergrößerung die mittleren beiden Linsengruppen bewegt werden. Das Zoomsystem hat eine Eintrittspupille auf der Objektseite der ersten Linsengruppe, die im Wesentlichen mit einer Austrittspupille des Objektives zusammenfällt. Daher ist stets ein relativ großer Abstand zwischen dem Zoomsystem und dem Objektiv erforderlich.
Die Aufgabe der Erfindung besteht nunmehr darin, ein kompaktes Mikroskop bereitzustellen, das eine verzerrungsfreie
vergrößerte Abbildung eines Objektes vorzugsweise zu
Messzwecken ermöglicht.
Die Aufgabe wird durch ein modulares Zoommikroskop mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Das modulare Zoommikroskop umfasst eine Objektebene, in der ein zu beobachtendes Objekt platzierbar ist, ein
auswechselbares Objektiv, das in konstanter Entfernung zum Objekttisch angeordnet ist, eine Zoombaugruppe, eine Tubuslinsenbaugruppe und eine Abbildungseinheit zum Erfassen eines Abbildes des Objektes.
In der Objektebene ist beim Mikroskop in den meisten Fällen in bekannter Weise ein Objekttisch vorgesehen. Vorzugsweise ist die Objektebene in konstanter Entfernung zum Objektiv
angeordnet .
Objektiv, Zoombaugruppe, Tubuslinsengruppe und
Abbildungseinheit sind ausgehend von der Objektebene in dieser Reihenfolge in einem optischen Pfad bzw. einem
Beobachtungsstrahlengang angeordnet .
Das Objektiv hat eine solche Brennweite, dass ein bildseitiger Brennpunkt des Objektives innerhalb der Zoombaugruppe liegt.
Die Zoombaugruppe umfasst mindestens zwei bewegliche
Linsengruppen. Eine der beweglichen Linsengruppen umfasst erfindungsgemäß eine Blende.
Die beweglichen Linsengruppen sind dabei in einer
vorteilhaften Ausführungsform in mindestens einer ersten Lage so einstellbar, dass eine Eintrittspupille der Zoombaugruppe im bildseitigen Brennpunkt des Objektives liegt. In weiteren Ausführungsformen gibt es weiterhin eine zweite oder weitere solcher Lagen bzw. Einstellungen der beweglichen
Linsengruppen .
Durch diese Blende wird im Wesentlichen eine objektseitige und bildseitige Telezentrie des Zoommikroskopes hergestellt.
Die Zoombaugruppe ist ein afokales Linsensystem. Als afokal bezeichnet man ein Linsensystem, das weder sammelnd noch zerstreuend wirkt. Das heißt parallel eintreffende
Strahlenbündel werden zwar innerhalb des Systems konvergent beziehungsweise divergent gebrochen, weitere Linsen oder Spiegel im Strahlengang bewirken jedoch, dass das Licht wieder parallel gerichtet austritt. Anders ausgedrückt: ein parallel zur optischen Achse eintreffender Strahl verlässt das System auch wieder achsparallel. {Quelle: Wikipedia)
Vorteilhafterweise kann mit dem erfindungsgemäßen
Zoommikroskop durch Auswechseln des Objektives und Betätigung des Zooms in einem vorbestimmten Vergrößerungsbereich bei einem vergleichsweise großen Objektfeld ein Maßstabsfaktor bis etwa 25-fach erreicht werden.
Die Blende hat in einer bevorzugten Ausführungsform eine feste Größe, kann aber in alternativen Ausführungsformen auch größenvariabel sein. Wenn die Blende in ihrer Größe variierbar ist, kann der Tiefenschärfebereich verändert werden.
Die Zoombaugruppe umfasst in einer besonders bevorzugten Ausführungsform eine feste und genau drei bewegliche
Linsengruppen, welche ausgehend vom Objektiv in folgender Reihenfolge angeordnet sind: feste erste Linsengruppe
(positive Brechkraft), bewegliche zweite Linsengruppe
(negative Brechkraft), bewegliche dritte Linsengruppe
(positive Brechkraft) , bewegliche vierte Linsengruppe
(negative Brechkraft) . In dieser Ausführungsform ist die Blende an der dritten Linsengruppe angeordnet. Die Bewegungen der drei beweglichen Linsengruppen sind vorteilhafterweise so aufeinander abgestimmt, dass die (virtuelle) Abbildung der Blende durch die erste Linsengruppe einen konstanten Ort ergibt. Die Gesamtbewegung ist auf eine konstante Bildlage abgestimmt . Für die Einhaltung der Telezentrie ist der bildseitige
Brennpunkt am Ort des (virtuellen) Bildes der Blende.
Das Tubuslinsensystem umfasst in bekannter Weise vorzugsweise mehrere Linsengruppen zur Fokussierung der Abbildung in einer Bildebene, in der ein Bildsensor angeordnet ist.
Die bildseitige Telezentrie ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn beispielsweise ein Mikrolinsenarray vor dem Bildsensor angeordnet ist. Solche Sensoren mit Mikrolinsenarray sind aufgrund der vorgeschalteten Optik besonders empfindlich gegen eine Hauptstrahlneigung.
Selbstverständlich können die Zoombewegungen motorisch ggf. automatisiert ausgeführt werden.
Stellungen der Linsengruppen können auf verschiedenste Weisen erfasst und in der Abbildungseinheit oder einer
Darstellungseinheit verwendet werden, um Skalierungen zu ermitteln und/oder Messungen im Bild auszuführen.
Vor und hinter der Zoombaugruppe ist jeweils ein ünendlich- Strahlenraum vorhanden, der sich bekannterweise besonders für die Ein- oder Auskopplung von Teilstrahlengängen, Filtern oder dergleichen eignet.
In den objektseitigen Unendlichraum kann vorzugsweise eine koaxiale Auflichtbeleuchtung eingekoppelt werden.
Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nachfolgend anhand der Figuren beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1: eine Prinzipskizze eines optischen Systems einer besonders bevorzugten Ausführungsform eines Zoommikrsokops mit einem ersten Objektiv; Fig. 2: eine Prinzipskizze des optischen Systems des
Zoommikroskopes, wobei das erste Objektiv gegen ein zweites Objektiv ausgewechselt ist.
Fig. 1 zeigt mit fünf Abbildungen einen Strahlengeng eines optischen Systems einer besonders bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen .nodularen Zoommikroskopes.
Das optische System des Zoommikroskopes umfasst ein Objektfeld 01, das sich auf einem nicht dargestellten Objekttisch bzw. in einer Objektebene befindet. Auf dem Objektfeld 01 ist ein Objekt 02 angeordnet, dessen beobachteter Teil in den
Abbildungen a) bis e) in seiner Größe variiert. Dabei zeigt Abbildung a) ein sehr kleines Objekt und Abb. e) ein das Objektfeld 01 ausfüllendes Objekt.
In konstanter Entfernung zum Objektfeld 01 ist ein Objektiv 03 mit einer Brennweite fo=80mm angeordnet. Das Objektiv 03 ist auswechselbar.
An das Objektiv 03 schließt sich eine Zoombaugruppe 04 mit einem Zoomfaktor Γ = 0,5 ... 5 an, welche vier Linsengruppen umfasst: eine erste Linsengruppe LG1 mit einer positiven Brechkraft ist feststehend angeordnet. Eine zweite
Linsengruppe LG2 ist entlang einer optischen Achse 06
verschiebbar und hat eine negative Brechkraft. Eine dritte Linsengruppe LG3 ist ebenfalls entlang der optischen Achse 06 verschiebbar und hat eine positive Brechkraft. Eine vierte Linsengruppe LG4 ist auch entlang der optischen Achse 06 verschiebbar und besitzt eine negative Brechkraft.
Eine Blende 07 ist an der dritten Linsengruppe LG3 vorgesehen. Die Blende 07 ist dabei vorzugsweise fest mit der Linsengruppe LG3 verbunden und mit dieser entlang der optischen Achse 06 verschiebbar. Die Blende hat in dieser Ausführungsform einen festen Durchmesser von 12,7mm.
Eine Tubusbaugruppe 08 hat in der dargestellten
Ausführungsform eine Brennweite fT=200mm und umfasst eine Linsengruppe LG5 mit einer positiven Brechkraft, eine
Linsengruppe LG6 mit einer negativen Brechkraft und eine Linsengruppe LG7 mit einer positiven Brechkraft. Die
Linsengruppen LG5, LG6 und LG7 der Tubusbaugruppe 08 sind fest angeordnet. Zwischen der Zoombaugruppe 04 und der
Tubusbaugruppe 08 liegt ein Unendlichraum vor.
Ein Bildsensor 09 ist der Tubusbaugruppe 08 nachgeordnet in einer Bildebene angeordnet. Der Bildsensor 09 kann jeder bekannte Bildsensor sein, der ein für das optische System geeignetes Format und Auflösungsvermögen hat. Der Fachmann kann den geeigneten Bildsensor auswählen.
Der Bildsensor ist Teil einer Abbildungseinheit, die in an sich bekannter Weise der Erfassung eines Abbildes der Probe 02 dient.
Nachfolgend sind die optischen Kenndaten für das dargestellte System tabellarisch angegeben.
Dabei bedeutet die Angabe eines Radius' den Radius einer Linse. U ist als Ebene mit dem Radius=ünendlich angenommen. Der Abstand definiert jeweils den Abstand zum nächsten
Element. Das Linsenmaterial einer Linsengruppe wird definiert durch die Brechzahl ne und die Abbe-Zahl ve. Außerdem ist die beidseitige Brennweite f' der jeweiligen Linsengruppe
angegeben.
Figure imgf000010_0001
Figure imgf000011_0001
Figure imgf000012_0001
Das Gesamtsystem weist eine variable Vergrößerung ß=l, 25...12, 5 auf. Der Abstand Objektebene-Bildebene beträgt in dieser Ausführungsform 352mm.
Exemplarisch ist als Strahlengang ein Strahlenbündel 11 dargestellt, das von einem zentrumsfernen Objektpunkt ausgeht, durch das optische System des Zoommikroskopes mehrfach abgelenkt und schließlich auf dem Bildsensor fokussiert wird.
Wie aus den Abbildungen a) bis e) anhand des Strahlenganges ersichtlich ist, werden verschieden große Objekte 02 jeweils durch axiale Verschiebung der Linsengruppen LG2, LG3 und LG4 jeweils auf der vollen Bildfläche des Bildsensors 09
abgebildet. Die variable Fernrohrvergrößerung Γ des afokalen Zooms und die Brennweite der Tubuslinse ergeben eine
resultierende Brennweite f.
Nachfolgende Tabelle zeigt Einstellungen der variablen
Abstände VI bis V4, mit denen bestimmte Brennweiten bzw.
Vergrößerungsstufen erreichbar sind:
Figure imgf000012_0002
In der beschriebenen Ausführungsform wird für genau vier
Vergrößerungsstufen eine Lage der Eintrittspupille geschaffen, die eine weitestgehende Telezentrie objektseitig und
bildseitig bereitstellt. Diese Lagen werden bevorzugt
verwendet, wenn Telezentrie unbedingt eingehalten werden muss. Dazu sind die entsprechenden Abstände bzw. absoluten
Positionen der Linsengruppen und die zugehörige Vergrößerung als feste „telezentrische" Vergrößerungsstufen in einer
Steuereinheit des Zoommikroskopes gespeichert und werden bei Bedarf definiert angefahren.
Mit dieser Ausstattung weist das Gesamtsystem eine Vergrößerung ß=l, 25...12, 5 und eine maximale numerische Apertur NAmax=0, 15 auf.
Figur 2 zeigt das zuvor beschriebene optische System, jedoch mit dem Unterschied, dass das Objektiv 03 gegen ein Objektiv 13 mit einer Brennweite fo=40mm ausgetauscht wurde. Gleiche Bezugsziffern bedeuten hierbei selbstverständlich gleiche Komponenten, so dass auf eine weitere Beschreibung hier verzichtet wird.
In den Abbildungen a) bis e) sind wiederum unterschiedlich große Objekte 02 auf dem Bildsensor 09 vollflächig abgebildet, wobei die beweglichen Linsengruppen LG2, LG3 und LG4 der
Zoombaugruppe unterschiedliche Positionen aufweisen. Mit dieser Ausstattung weist das Gesamtsystem eine Vergrößerung b=2,5...25 und eine maximale numerische Apertur NAmax=0,3 auf. Bezugszeichenliste
01 Objektebene
02 Objekt
03 Objektiv
04 Zoombaugruppe
05
06 optische Achse
07 Blende
08 Tubusbaugruppe
09 Bildsensor
LG1 ... LG4 Linsengruppen der Zoombaugruppe LG5 ... LG7 Linsengruppen der Tubusbaugruppe

Claims

Patentansprüche
1. Modulares Zoommikroskop umfassend:
ein auswechselbares Objektiv (03, 13) ;
eine Zoombaugruppe (04) mit mindestens zwei beweglichen Linsengruppen, die dem Objektiv {03, 13) in einem Beobachtungsstrahlengang nachgeordnet ist;
eine Tubusbaugruppe (08), die der Zoombaugruppe (04) nachgeordnet ist;
eine Abbildungseinheit mit einem der Tubusbaugruppe (08) nachgeordneten und in einer Bildebene
positionierten Bildsensor (09), zur Erfassung eines Abbildes einer in einer Objektebene angeordneten Probe; dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (03, 13} eine solche Brennweite hat, dass ein bildseitiger Brennpunkt des Objektives innerhalb der Zoombaugruppe liegt und dass eine der beweglichen Linsengruppen ein Blende (07) umfasst .
2.. Zoommikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Eintrittspupille der Zoombaugruppe (04) in mindestens einer ersten Lage der beweglichen
Linsengruppen mit dem bildseitigen Brennpunkt des
Objektivs (03, 13) im Wesentlichen übereinstimmt.
3.. Zoommikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lage der Eintrittspupille der Zoombaugruppe (04) über den gesamten Zoombereich positiv ist und sich über den gesamten Zoombereich zumindest in der Nähe des bildseitigen Brennpunktes des Objektives (03, 13)
befindet .
4.. Zoommikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Lage der Eintrittspupille über den Zoombereich der Zoombaugruppe (04) nicht monoton
verändert .
5. Zoommikroskop nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Lage der Eintrittspupille der Zoombaugruppe (04) über den Zoombereich mindestens zwei gleiche Werte aufweist.
6. Zoommikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Zoombaugruppe (04) eine feste Linsengruppe und genau drei bewegliche Linsengruppen umfasst .
7. Zoommikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsengruppen der Zoombaugruppe (04) ausgehend vom Objektiv (03, 13) in folgender Reihenfolge angeordnet sind: feste erste Linsengruppe, bewegliche zweite
Linsengruppe, bewegliche dritte Linsengruppe, bewegliche vierte Linsengruppe.
8. Zoommikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (07) an der dritten Linsengruppe
angeordnet ist.
9. Zoommikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (07) in ihrer Größe variierbar ist.
10. Zoommikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (03, 13) in konstanter Entfernung zu der Objektebene angeordnet ist.
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