WO2015186934A1 - 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 - Google Patents

지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치 Download PDF

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WO2015186934A1
WO2015186934A1 PCT/KR2015/005456 KR2015005456W WO2015186934A1 WO 2015186934 A1 WO2015186934 A1 WO 2015186934A1 KR 2015005456 W KR2015005456 W KR 2015005456W WO 2015186934 A1 WO2015186934 A1 WO 2015186934A1
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WO
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jig
unit
pipe
jig unit
fastening
Prior art date
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PCT/KR2015/005456
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English (en)
French (fr)
Inventor
박태현
임채일
김진호
이영진
Original Assignee
(주)테키스트
한국세라믹기술원
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to a jig assembly and a pipe internal by-product prevention device including the same, and more particularly, the attachment and detachment convenience with the pipe is improved, the piezoelectric transducer can be easily installed in the pipe, of course, use It relates to a jig assembly having a structure that is mutually elastically supported so that the pipe and the vibration transmission member may be in contact with each other even with a longer period, and an apparatus for preventing adhesion of internal by-products including the same.
  • processes such as semiconductors and LCDs may be divided into a substrate process for forming a pattern required for a substrate such as a wafer and a lining and packing process for cutting a substrate having a pattern into a required size and connecting a power source such as a lead frame.
  • the substrate process may be classified into a photolithography process, a deposition process (Diffusion, CVD PVD, etc.), an etching process (Dry, Wet Etching), an ion implantation process, and a cleaning process.
  • the deposition process and the etching process mainly decompose the required gas with a plasma and heat source in the vacuum equipment to perform the deposition and etching operations.
  • by-products are generated during the process, and these by-products are discharged through the pipe.
  • the by-products are transferred through the pipe, the by-products accumulate on the inner wall of the pipe due to various causes (eg, temperature difference, etc.), and as a result, the pipe may be blocked.
  • Korean Patent Publication No. 10-2009-0102183 discloses a device for collecting residual chemicals and by-products in a semiconductor process using particle inertia.
  • the present invention provides a jig assembly that can improve the convenience of connecting the piezoelectric transducer to the outside of the pipe.
  • the present invention provides a pipe internal by-product attachment prevention device including the jig assembly.
  • the present invention provides a jig assembly having a structure that is mutually elastically supported by a spring so as to maintain a state in which the pipe and the vibration transmitting member are in contact with each other with a constant force even if the service period is increased, and an apparatus for preventing the attachment of internal by-products including the same. to provide.
  • the upper jig unit for holding and fixing the cylindrical connecting portion of the vibration transmission member provided in the piezoelectric transducer on both sides;
  • the lower jig is disposed below the upper jig unit, the pipe is seated through the inner round surface, the lower jig is fastened to the upper jig unit so that the contact portion projecting downward along the center of the cylindrical connection portion is in contact with the upper portion of the pipe. unit;
  • it provides a jig assembly including a plurality of jig fastening unit provided to be assembled and detachable between the upper jig unit and the lower jig unit.
  • the upper jig unit may be formed of a pair of divided body structures that are coupled to face each other in the left, right sides around the cylindrical connecting portion.
  • On the surface to which the upper jig unit is coupled may be provided a circular fastening groove corresponding to the outer diameter of the cylindrical connecting portion.
  • the lower end of the circular fastening groove may be provided with a circular stepped portion is mounted the annular projection of the lower end of the cylindrical connection.
  • An outer side of the upper jig unit may include a plurality of fixing holes in which the jig fastening unit is inserted and disposed.
  • the fixing hole may be formed by penetrating the upper jig unit up and down.
  • the jig fastening unit is inserted through the plurality of fixing holes, the head portion fixed to the upper end of the fixing hole; And a fastening body part which is screwed into an upper portion of the lower jig unit after being inserted through each of the fixing holes.
  • the lower jig unit may have a U-shaped cross-sectional shape.
  • the lower jig unit may have a U-shaped cross-section, and a radius of curvature of the round surface on which the pipe is seated may be larger than a radius of curvature of the pipe.
  • the lower jig unit has a U-shaped cross-section, the radius of curvature of the round surface on which the pipe is seated is formed larger than the radius of curvature of the pipe, the pipe side is to be spaced apart from the lower jig unit Can be.
  • a piezoelectric transducer A vibration transmitting member for transmitting the vibration generated from the piezoelectric transducer to a pipe;
  • An upper jig unit for holding and fixing the cylindrical connecting portion of the vibration transmitting member on both sides;
  • the lower part is disposed below the upper jig unit, the pipe is seated through a round surface of the inner center, the lower part is fastened with the upper jig unit so that the contact portion projecting downward along the center of the cylindrical connection portion is in contact with the upper portion of the pipe.
  • Jig unit And a plurality of jig fastening units provided to be assembled and separated between the upper jig unit and the lower jig unit.
  • the upper jig unit may be formed of a pair of divided body structures that are coupled to face each other in the left, right sides around the cylindrical connecting portion.
  • On the surface to which the upper jig unit is coupled may be provided a circular fastening groove corresponding to the outer diameter of the cylindrical connecting portion.
  • the lower end of the circular fastening groove may be provided with a circular stepped portion is mounted the annular projection of the lower end of the cylindrical connection.
  • An outer side of the upper jig unit may include a plurality of fixing holes in which the jig fastening unit is inserted and disposed.
  • the fixing hole may be formed by penetrating the upper jig unit up and down.
  • the jig fastening unit is inserted through the plurality of fixing holes, the head portion fixed to the upper end of the fixing hole; And a fastening body part which is screwed into an upper portion of the lower jig unit after being inserted through each of the fixing holes.
  • the lower jig unit may have a U-shaped cross-sectional shape.
  • the lower jig unit may have a U-shaped cross-section, and a radius of curvature of the round surface on which the pipe is seated may be larger than a radius of curvature of the pipe.
  • the lower jig unit has a U-shaped cross-section, the radius of curvature of the round surface on which the pipe is seated is formed larger than the radius of curvature of the pipe, the pipe side is to be spaced apart from the lower jig unit Can be.
  • the present invention it is convenient to connect the piezoelectric transducer to the outside of the pipe by using the jig structure, thereby reducing the labor of the operator.
  • the pipe and the vibration transmission member may maintain a state in contact with each other with a constant force
  • the vibration transmission member may have a structure elastically supported toward the pipe by a spring.
  • FIG. 1 is a perspective view briefly illustrating an apparatus for preventing attachment of internal byproducts including a jig assembly according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is an exploded perspective view briefly showing a device for preventing the attachment of internal by-products including a jig assembly according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a front view briefly showing an apparatus for preventing the attachment of internal by-products including a jig assembly according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a side view briefly showing an apparatus for preventing the attachment of internal by-products including a jig assembly according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a perspective view briefly showing an apparatus for preventing the attachment of internal by-products including a jig assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view briefly showing an apparatus for preventing attachment of internal by-products including a jig assembly according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view thereof.
  • the apparatus 100 for preventing attachment of by-products inside a pipe including the jig assembly includes a piezoelectric transducer 110, a vibration transmitting member 120, an upper jig unit 130, and a lower jig unit 140. ) And the jig fastening unit 150.
  • the piezoelectric transducer 110 may convert electrical energy into mechanical energy, and corresponds to a configuration capable of converting mechanical energy into electrical energy.
  • the piezoelectric transducer 110 may include Pb (Zr, Ti) O3, Pb (Zr, Ti) O3 + Pb (Zn, Nb) O3, Pb (Zr, Ti) O3 + Pb (Ni, Nb) O3, Pb (Zr, Ti) O 3 + PVDF polymer, Pb (Zr, Ti) O 3 + silicon polymer and Pb (Zr, Ti) O 3 + epoxy polymer may be formed of one material selected from.
  • the vibration transmitting member 120 may be connected to the piezoelectric transducer 110 in a series configuration.
  • the vibration transmitting member 120 may effectively transmit the vibration generated from the piezoelectric transducer 110 to a portion of the pipe (for example, the upper portion).
  • a jig including an upper jig unit 130, a lower jig unit 140, and a jig fastening unit 150 as a component for connecting and mounting the piezoelectric transducer 110 and the vibration transmitting member 120 to a pipe.
  • the assembly may be provided.
  • the upper jig unit 130 may be configured to grip and fix the cylindrical connecting portion 121 of the vibration transmission member 120 on both sides.
  • the lower jig unit 140 may be spaced apart from the lower portion of the upper jig unit 130.
  • a round surface (see reference numeral 141 of FIG. 3) may be provided at an inner center (or an upper surface center) of the lower jig unit 140, and a pipe 10 may be seated through the round surface.
  • the lower jig unit 140 may be fastened to the upper jig unit 130 to firmly fix the pipe 10.
  • the lower jig unit 140 may maintain the contact portion 125 protruding downward along the center of the cylindrical connecting portion 121 of the vibration transmitting member 120 in contact with the upper portion of the pipe 10. ) And the upper jig unit 130 may be fixed.
  • a plurality of jig fastening units 150 may be assembled and detachable between the upper jig unit 130 and the lower jig unit 140.
  • the upper jig unit 130 may be formed of a pair of divided body structures 130a and 130b which are coupled to face each other at the left and right sides of the cylindrical connection portion 125.
  • a circular fastening groove 131 corresponding to the outer diameter size of the cylindrical connecting portion 125 may be provided on the surface to which the upper jig unit 130 is coupled.
  • the lower end of the circular fastening groove 131 may be provided with a circular stepped jaw 137 for mounting the annular projection 123 of the lower end of the cylindrical connecting portion 125.
  • the outer side of the upper jig unit 130 may be provided with a plurality of fixing holes 133 for inserting the jig fastening unit 150 is disposed.
  • the fixing hole 133 may be formed by penetrating the upper jig unit up and down.
  • two fixing holes 133 may be formed for each of the split body structures 130a and 130b.
  • the shape and number of the fixing holes 133 may be slightly different.
  • the jig fastening unit 150 may be configured to be inserted through one for each of the plurality of fixing holes (133). That is, the number of the jig fastening unit 150 may be configured to correspond to the number of the plurality of fixing holes (133).
  • the jig fastening unit 150 is inserted through each of the head 151 fixed to the upper end of the fixing hole 133 and the fixing hole 133, and then placed on the upper portion of the lower jig unit 140. It may be provided in the form including a fastening body portion 153 to be screwed.
  • the lower jig unit 140 may have a U-shaped cross-sectional shape that can be fixed by mounting the pipe 10 through the inner center.
  • the jig fastening unit 150 may be inserted and fixed through the fastening holes 143 of the lower jig unit 140 after being inserted through the plurality of fixing holes 133. Of course, when removing the pipe, it is possible to simply release the fastening state of the jig fastening unit 150.
  • FIG. 3 is a front view of the apparatus for preventing the attachment of internal by-products including a jig assembly according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a side view thereof.
  • the pipe 10 may be seated through the round surface 141 provided at the inner center of the lower jig unit 140. And, referring to Figure 4, it can be seen that the pipe 10 is seated in the longitudinal direction through the side of the lower jig unit 140.
  • the lower jig unit 140 in the present invention has a U-shaped cross-sectional shape as described above, more preferably, the radius of curvature of the round surface 141 on which the pipe 10 is seated has an outer diameter of the pipe 10. It is better to be formed larger than the radius of curvature.
  • the pipe 10 is preferably arranged to be spaced apart from the side with respect to the lower jig unit 140.
  • FIG. 5 is a perspective view briefly illustrating an apparatus for preventing adhesion of a by-product inside a pipe including a jig assembly according to another exemplary embodiment of the present disclosure.
  • the support plate 160 and the elastic member have been described above. 170 may be further provided.
  • the support plate 160 refers to a plate-like member disposed to face the upper jig unit 130 at a predetermined interval.
  • the elastic member 170 is a member that is elastically supported between the support plate 160 and the upper jig unit 130 so as to be compressed / restored in the direction in which they face, preferably surrounding the jig fastening unit 150. It may be in the form of a coil spring, but is not limited thereto.
  • the pipe 10 and the vibration transmitting member 120, in particular, the contact portion 125 even if the service life of the by-product attachment prevention apparatus inside the pipe increases. It is possible to maintain the state of contact between them with a constant force.
  • the operation of connecting the piezoelectric transducer to the outside of the pipe by using the jig structure is convenient, it is possible to reduce the labor of the operator. And even in the case of repeatedly transmitting the vibration in the pipe can ensure the structural strength to improve the reliability of use.
  • the by-product attachment prevention device inside the pipe including the jig structure can solve the problem that the by-product accumulated in the pipe clogging the pipe, it can increase the maintenance interval of the pipe, help the equipment maintenance management Can be.
  • the pipe and the vibration transmission member may maintain a state in contact with each other with a constant force
  • the vibration transmission member may have a structure elastically supported toward the pipe by a spring.

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Abstract

지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 압전 트랜스듀서에 구비된 진동전달부재의 원통형 연결부를 양쪽에서 파지하여 고정하는 상부지그유닛과, 상기 상부지그유닛의 하부에 이격 배치되며, 내측의 라운드면을 통해 배관이 안착되며, 상기 원통형 연결부의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부가 상기 배관의 상부에 접촉되도록 상기 상부지그유닛과 체결되는 하부지그유닛 및 상기 상부지그유닛과 상기 하부지그유닛 사이에서 조립 및 분리 가능하게 제공되는 다수의 지그체결유닛을 포함하는 지그 조립체를 제공할 수 있다.

Description

지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치
본 발명의 실시예들은 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배관과의 착탈 편의성이 향상되고, 압전 트랜스듀서를 배관에 용이하게 설치할 수 있음은 물론, 사용기간이 증가되더라도 배관과 진동전달부재가 서로 일정한 힘으로 접촉될 수 있도록 상호 탄성 지지된 구조를 갖는 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 및 LCD 등의 공정은 웨이퍼 등의 기판에 필요한 패턴을 형성하는 기판공정과 패턴이 완성된 기판을 필요한 크기로 잘라낸 후 리드프레임 등의 전원을 연결하는 라이닝 및 패킹 공정으로 나눌 수 있다.
주지된 바와 같이, 기판공정은 포토리소그라피공정, 증착공정(Diffusion, CVD PVD 등), 식각공정(Dry, Wet Etching), 이온주입공정 그리고 세정공정으로 구분할 수 있다.
이 중에서, 증착공정과 식각공정은 주로 진공장비에서 플라즈마 및 열원을 가지고 필요한 가스를 분해하여 증착 및 식각 작업을 수행한다. 그런데 이와 같은 공정이 진행되는 동안 부산물이 발생하게 되며, 이 부산물은 배관을 통해 배출된다.
만일 배관을 통해 부산물이 이송될 경우, 여러 가지 원인(예: 온도 차 등)에 의해 부산물은 배관의 내벽에 쌓이게 되며, 결과적으로 배관을 막게 되는 문제점으로 작용하게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 최근 배관 외부에 연결하여 진동을 발생시키는 방식으로 배관 내부의 부산물을 제거하는 기술이 소개되고 있으나, 배관의 장착 시에 어려움이 있었다.
관련된 선행문헌으로, 대한민국 공개특허공보 제10-2009-0102183호(2009.09.30. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 입자 관성을 이용한 반도체 공정에서의 잔류 케미칼 및 부산물 포집장치가 개시되어 있다.
본 발명은 압전트랜스듀스를 배관 외부에 연결하는 작업의 편의성을 향상시킬 수 있는 지그 조립체를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 지그 조립체를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 사용기간이 증가되더라도 배관과 진동전달부재가 서로 일정한 힘으로 접촉된 상태를 유지할 수 있도록 스프링에 의해 상호 탄성 지지된 구조를 갖는 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 압전 트랜스듀서에 구비된 진동전달부재의 원통형 연결부를 양쪽에서 파지하여 고정하는 상부지그유닛; 상기 상부지그유닛의 하부에 이격 배치되며, 내측의 라운드면을 통해 배관이 안착되며, 상기 원통형 연결부의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부가 상기 배관의 상부에 접촉되도록 상기 상부지그유닛과 체결되는 하부지그유닛; 및 상기 상부지그유닛과 상기 하부지그유닛 사이에서 조립 및 분리 가능하게 제공되는 다수의 지그체결유닛을 포함하는 지그 조립체를 제공한다.
상기 상부지그유닛은 상기 원통형 연결부를 중심으로 좌, 우 양측에서 마주하여 결합되는 한 쌍의 분할몸체 구조로 이루어질 수 있다.
상기 상부지그유닛이 결합되는 면 상에는 상기 원통형 연결부의 외경 크기에 대응하는 원형 체결 홈이 구비될 수 있다.
상기 원형 체결 홈의 하단에는 상기 원통형 연결부 하단의 환형돌출부가 거치되는 원형 단턱이 구비될 수 있다.
상기 상부지그유닛의 외측에는 상기 지그체결유닛이 삽입하여 배치되는 다수의 고정 홀을 구비할 수 있다.
상기 고정 홀은 상기 상부지그유닛을 상하로 관통하여 형성될 수 있다.
상기 지그체결유닛은 상기 다수의 고정 홀을 관통하여 삽입되되, 상기 고정 홀의 상단에 걸림 고정되는 머리부; 및 상기 고정 홀 각각을 관통하여 삽입된 후 상기 하부지그유닛의 상부에 나사 체결되는 체결몸체부를 포함할 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가질 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되, 상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경은 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성될 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되, 상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경이 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되며, 상기 배관은 측면은 상기 하부지그유닛으로부터 간격을 두고 배치될 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 압전 트랜스듀서; 상기 압전 트랜스듀서로부터 발생된 진동을 배관으로 전달하는 진동전달부재; 상기 진동전달부재의 원통형 연결부를 양쪽에서 파지하여 고정하는 상부지그유닛; 상기 상부지그유닛의 하부에 이격 배치되며, 내측 중앙의 라운드면을 통해 배관이 안착되며, 상기 원통형 연결부의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부가 상기 배관의 상부에 접촉되도록 상기 상부지그유닛과 체결되는 하부지그유닛; 및 상기 상부지그유닛과 상기 하부지그유닛 사이에서 조립 및 분리 가능하게 제공되는 다수의 지그체결유닛;을 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 제공한다.
상기 상부지그유닛은 상기 원통형 연결부를 중심으로 좌, 우 양측에서 마주하여 결합되는 한 쌍의 분할몸체 구조로 이루어질 수 있다.
상기 상부지그유닛이 결합되는 면 상에는 상기 원통형 연결부의 외경 크기에 대응하는 원형 체결 홈이 구비될 수 있다.
상기 원형 체결 홈의 하단에는 상기 원통형 연결부 하단의 환형돌출부가 거치되는 원형 단턱이 구비될 수 있다.
상기 상부지그유닛의 외측에는 상기 지그체결유닛이 삽입하여 배치되는 다수의 고정 홀을 구비할 수 있다.
상기 고정 홀은 상기 상부지그유닛을 상하로 관통하여 형성될 수 있다.
상기 지그체결유닛은 상기 다수의 고정 홀을 관통하여 삽입되되, 상기 고정 홀의 상단에 걸림 고정되는 머리부; 및 상기 고정 홀 각각을 관통하여 삽입된 후 상기 하부지그유닛의 상부에 나사 체결되는 체결몸체부를 포함할 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가질 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되, 상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경은 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성될 수 있다.
상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되, 상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경이 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되며, 상기 배관은 측면은 상기 하부지그유닛으로부터 간격을 두고 배치될 수 있다.
본 발명에 의하면, 지그 구조체를 이용하여 압전 트랜스듀서를 배관 외부에 연결 설치하는 작업이 편리해져 작업자의 수고를 경감시킬 수 있다.
또한, 배관 장착 시 보다 견고한 구조를 이루어 반복적으로 진동을 전달할 경우에도 연결 구조상에 신뢰성을 확보할 수 있다.
또한, 상기의 지그 구조체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 이용하여 배관 내부에 부산물이 쌓여 배관이 막히는 문제를 해결하여, 배관의 정비 주기를 늘려줄 수 있으며, 장비의 유지 보수 관리에 도움을 줄 수 있다.
또한, 사용기간이 증가될 경우 배관에 직접적으로 접촉되는 진동전달부재의 접촉부위에 마모가 발생함에 따라 접촉력 약화로 인해 진동 전달 손실이 유발되고, 최종적으로 지그의 체결상태가 해제되는 문제 발생을 방지할 수 있다.
구체적으로, 배관과 진동전달부재가 서로 일정한 힘으로 접촉된 상태를 유지할 수 있는데, 바람직하게는 스프링에 의해 상기 진동전달부재가 상기 배관 쪽으로 탄성 지지된 구조를 가질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 측면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관하여 구체적으로 살펴보기로 한다.
도면에서, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 사시도 이고, 도 2는 이의 분해 사시도 이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치(100)는 압전 트랜스듀서(110), 진동전달부재(120), 상부지그유닛(130), 하부지그유닛(140) 및 지그체결유닛(150)을 포함한다.
압전 트랜스듀서(110)는 전기적 에너지를 기계적인 에너지로 변환할 수 있으며, 기계적 에너지를 전기적인 에너지로도 변환할 수 있는 구성에 해당한다.
예컨대, 상기 압전 트랜스듀서(110)는 Pb(Zr,Ti)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Zn,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Ni,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋PVDF 폴리머, Pb(Zr,Ti)O3＋실리콘 폴리머 및 Pb(Zr,Ti)O3+에폭시 폴리머 중에서 선택된 하나의 재질로 형성될 수 있다.
진동전달부재(120)는 상기 압전 트랜스듀서(110)와 일련의 구성으로 연결 형성될 수 있다. 상기 진동전달부재(120)는 상기 압전 트랜스듀서(110)로부터 발생된 진동을 배관의 일부 영역(예: 상부 등)까지 효과적으로 전달할 수 있다.
그리고, 상기 압전트랜스듀서(110)와 진동전달부재(120)를 배관에 연결하여 장착하기 위한 구성으로서 상부지그유닛(130), 하부지그유닛(140) 및 지그체결유닛(150)을 포함하는 지그 조립체가 구비될 수 있다.
상부지그유닛(130)은 상기 진동전달부재(120)의 원통형 연결부(121)를 양쪽에서 파지하여 고정하도록 구성될 수 있다.
그리고 하부지그유닛(140)은 상기 상부지그유닛(130)의 하부에 이격하여 배치될 수 있다.
상기 하부지그유닛(140)의 내측 중앙(또는 상부면 중앙)에는 라운드면(도 3의 도면부호 141 참조)이 구비될 수 있으며, 상기 라운드면을 통해 배관(10)이 안착될 수 있다.
한편, 상기 하부지그유닛(140)은 상기 상부지그유닛(130)과 체결되어 상기 배관(10)을 견고하게 고정시킬 수 있다.
더욱 바람직하게는 상기 진동전달부재(120)의 원통형 연결부(121)의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부(125)가 상기 배관(10)의 상부에 접촉된 상태를 유지할 수 있도록 상기 하부지그유닛(140)과 상기 상부지그유닛(130)을 고정시킬 수 있다.
이를 위해, 상기 상부지그유닛(130)과 상기 하부지그유닛(140) 사이에는 다수의 지그체결유닛(150)이 조립 및 분리 가능하도록 구성될 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 상부지그유닛(130)은 원통형 연결부(125)를 중심으로 좌, 우 양측에서 마주하여 결합되는 한 쌍의 분할몸체 구조(130a, 130b)로 이루어지는 것을 확인할 수 있다.
이를 위해, 상기 상부지그유닛(130)이 결합되는 면 상에는 상기 원통형 연결부(125)의 외경 크기에 대응하는 원형 체결 홈(131)이 구비될 수 있다.
그리고 상기 원형 체결 홈(131)의 하단에는 상기 원통형 연결부(125) 하단의 환형돌출부(123)가 거치되기 위한 원형 단턱(137)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 상부지그유닛(130)의 외측에는 상기 지그체결유닛(150)이 삽입하여 배치되기 위한 다수의 고정 홀(133)이 구비될 수 있다.
예컨대, 상기 고정 홀(133)은 상기 상부지그유닛을 상하로 관통하여 형성되는 것이 좋다.
또한, 상기 고정 홀(133)은 상기 분할몸체 구조(130a, 130b) 각각에 대해 2개씩 형성될 수 있다. 다만, 이러한 고정 홀(133)의 형상 및 개수는 조금씩 다르게 실시되어도 무방하다.
상기 지그체결유닛(150)은 상기 다수의 고정 홀(133) 각각에 대해 하나씩 관통하여 삽입되도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 지그체결유닛(150)의 개수는 상기 다수의 고정 홀(133)의 개수에 대응하여 구성될 수 있다.
상기 지그체결유닛(150)은 상기 고정 홀(133)의 상단에 걸림 고정되는 머리부(151)와, 상기 고정 홀(133) 각각을 관통하여 삽입된 후 상기 하부지그유닛(140)의 상부에 나사 체결되는 체결몸체부(153)를 포함하는 형태로 제공될 수 있다.
한편, 상기 하부지그유닛(140)은 내측 중앙을 통해 배관(10)을 안착하여 고정시킬 수 있는 U자 단면 형상을 가질 수 있다.
앞서, 상기 지그체결유닛(150)은 상기 다수의 고정 홀(133)을 통해 삽입된 후 상기 하부지그유닛(140)의 체결 홀(143)을 통해 삽입 고정될 수 있다. 물론, 배관을 분리할 경우, 상기 지그체결유닛(150)의 체결 상태를 간단히 해제시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치의 정면도이며, 도 4는 이의 측면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 하부지그유닛(140)의 내측 중앙에 구비된 라운드면(141)을 통해 배관(10)이 안착된 모습을 확인할 수 있다. 그리고 도 4를 참조하면, 상기 하부지그유닛(140)의 측면을 통해 배관(10)이 길이 방향으로 안착된 모습을 확인할 수 있다.
본 발명에서의 하부지그유닛(140)은 전술한 바와 같이 U자 단면 형상을 가지는데, 더욱 바람직하게는 상기 배관(10)이 안착되는 라운드면(141)의 곡률반경이 배관(10) 외경의 곡률반경보다 크게 형성되는 것이 좋다.
이는, 상기 하부지그유닛(140)의 상부로 안착되는 배관(10)의 진동효율을 극대화시키기 위하여, 상기 배관(10)의 가장 아래부위만이 상기 라운드면(141)에 접촉되도록 해준 것으로, 상기 배관(10)은 측면은 상기 하부지그유닛(140)에 대해 간격을 두고 떨어져 배치되는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 간략히 도시한 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 지그 조립체를 포함한 배관 내부 부산물 부착방지 장치의 경우, 앞서 도 1 내지 도 4를 참조하여 살펴보았던 실시예에 지지플레이트(160)와 탄성부재(170)가 더 구비되는 형태를 가질 수 있다.
상기 지지플레이트(160)는 상기 상부지그유닛(130)의 상부에 소정의 간격을 두고 마주하여 배치되는 판상의 부재를 말한다.
상기 탄성부재(170)는 상기 지지플레이트(160)와 상기 상부지그유닛(130) 사이에서 이들이 마주하는 방향으로 압축/복원 되도록 탄성 지지되는 부재로서, 바람직하게는 상기 지그체결유닛(150)을 감싸는 코일 스프링의 형태로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
상기 지지플레이트(160)와 상기 탄성부재(170)가 추가적으로 더 구비됨에 따라, 배관 내부 부산물 부착방지 장치의 사용기간이 증가하더라도 배관(10)과 진동전달부재(120), 특히, 접촉부(125) 간에 서로 일정한 힘으로 접촉되는 상태를 유지시킬 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 구성 및 작용에 따르면, 지그 구조체를 이용하여 압전 트랜스듀서를 배관 외부에 연결 설치하는 작업이 편리해져 작업자의 수고를 경감시킬 수 있다. 그리고 반복적으로 배관 내부에 진동을 전달할 경우에도 구조적인 강도가 확보되어 사용상의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기의 지그 구조체를 포함한 배관 내부 부산물 부착 방지 장치를 이용하여 배관 내부에 부산물이 쌓여 배관이 막히는 문제를 해결할 수 있어, 배관의 정비 주기를 늘려줄 수 있으며, 장비의 유지 보수 관리에 도움을 줄 수 있다.
또한, 사용기간이 증가될 경우 배관에 직접적으로 접촉되는 진동전달부재의 접촉부위에 마모가 발생함에 따라 접촉력 약화로 인해 진동 전달 손실이 유발되고, 최종적으로 지그의 체결상태가 해제되는 문제 발생을 방지할 수 있다.
구체적으로, 배관과 진동전달부재가 서로 일정한 힘으로 접촉된 상태를 유지할 수 있는데, 바람직하게는 스프링에 의해 상기 진동전달부재가 상기 배관 쪽으로 탄성 지지된 구조를 가질 수 있다.
지금까지 본 발명에 따른 지그 조립체 및 이를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치에 관한 구체적인 실시예들에 관하여 살펴보았으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그리고 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (20)

  1. 압전 트랜스듀서에 구비된 진동전달부재의 원통형 연결부를 양쪽에서 파지하여 고정하는 상부지그유닛;
    상기 상부지그유닛의 하부에 이격 배치되며, 내측의 라운드면을 통해 배관이 안착되며, 상기 원통형 연결부의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부가 상기 배관의 상부에 접촉되도록 상기 상부지그유닛과 체결되는 하부지그유닛; 및
    상기 상부지그유닛과 상기 하부지그유닛 사이에서 조립 및 분리 가능하게 제공되는 다수의 지그체결유닛을 포함하는 지그 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부지그유닛은 상기 원통형 연결부를 중심으로 좌, 우 양측에서 마주하여 결합되는 한 쌍의 분할몸체 구조로 이루어지는 지그 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부지그유닛이 결합되는 면 상에는 상기 원통형 연결부의 외경 크기에 대응하는 원형 체결 홈이 구비되는 지그 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 원형 체결 홈의 하단에는 상기 원통형 연결부 하단의 환형돌출부가 거치되는 원형 단턱이 구비되는 지그 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부지그유닛의 외측에는 상기 지그체결유닛이 삽입하여 배치되는 다수의 고정 홀을 구비하는 지그 조립체.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고정 홀은 상기 상부지그유닛을 상하로 관통하여 형성되는 지그 조립체.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 지그체결유닛은 상기 다수의 고정 홀을 관통하여 삽입되되,
    상기 고정 홀의 상단에 걸림 고정되는 머리부; 및
    상기 고정 홀 각각을 관통하여 삽입된 후 상기 하부지그유닛의 상부에 나사 체결되는 체결몸체부를 포함하는 지그 조립체.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되,
    상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경은 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되는 지그 조립체.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되,
    상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경이 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되며,
    상기 배관은 측면은 상기 하부지그유닛으로부터 간격을 두고 배치되는 지그 조립체.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 상부지그유닛의 상부에 구비되는 지지플레이트; 및
    상기 지지플레이트와 상기 상부지그유닛 사이에 탄성 지지되되, 상기 지그체결유닛을 감싸는 형태로 배치되는 탄성부재를 포함하는 지그 조립체.
  11. 압전 트랜스듀서;
    상기 압전 트랜스듀서로부터 발생된 진동을 배관으로 전달하는 진동전달부재;
    상기 진동전달부재의 원통형 연결부를 양쪽에서 파지하여 고정하는 상부지그유닛;
    상기 상부지그유닛의 하부에 이격 배치되며, 내측 중앙의 라운드면을 통해 배관이 안착되며, 상기 원통형 연결부의 중심을 따라 하향 돌출된 접촉부가 상기 배관의 상부에 접촉되도록 상기 상부지그유닛과 체결되는 하부지그유닛; 및
    상기 상부지그유닛과 상기 하부지그유닛 사이에서 조립 및 분리 가능하게 제공되는 다수의 지그체결유닛;을 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 상부지그유닛은 상기 원통형 연결부를 중심으로 좌, 우 양측에서 마주하여 결합되는 한 쌍의 분할몸체 구조로 이루어지는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 상부지그유닛이 결합되는 면 상에는 상기 원통형 연결부의 외경 크기에 대응하는 원형 체결 홈이 구비되는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 원형 체결 홈의 하단에는 상기 원통형 연결부 하단의 환형돌출부가 거치되는 원형 단턱이 구비되는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 상부지그유닛의 외측에는 상기 지그체결유닛이 삽입하여 배치되는 다수의 고정 홀을 구비하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 고정 홀은 상기 상부지그유닛을 상하로 관통하여 형성되는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 지그체결유닛은 상기 다수의 고정 홀을 관통하여 삽입되되,
    상기 고정 홀의 상단에 걸림 고정되는 머리부; 및
    상기 고정 홀 각각을 관통하여 삽입된 후 상기 하부지그유닛의 상부에 나사 체결되는 체결몸체부를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되,
    상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경은 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 하부지그유닛은 U자 단면 형상을 가지되,
    상기 배관이 안착되는 상기 라운드면의 곡률반경이 상기 배관의 곡률반경보다 크게 형성되며,
    상기 배관은 측면은 상기 하부지그유닛으로부터 간격을 두고 배치되는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 상부지그유닛의 상부에 구비되는 지지플레이트; 및
    상기 지지플레이트와 상기 상부지그유닛 사이에 탄성 지지되되, 상기 지그체결유닛을 감싸는 형태로 배치되는 탄성부재를 포함하는 배관 내부 부산물 부착 방지 장치.
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