WO2014046413A1 - 진공 흡착장치용 패드 - Google Patents

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WO2014046413A1
WO2014046413A1 PCT/KR2013/008189 KR2013008189W WO2014046413A1 WO 2014046413 A1 WO2014046413 A1 WO 2014046413A1 KR 2013008189 W KR2013008189 W KR 2013008189W WO 2014046413 A1 WO2014046413 A1 WO 2014046413A1
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WO
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pad
fastener
adsorption device
vacuum adsorption
support
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PCT/KR2013/008189
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Inventor
조호영
Original Assignee
한국뉴매틱(주)
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum adsorption device applied for holding of an article in a vacuum transfer system, and more particularly, to an absorption pad designed to prevent vacuum leakage and provide assembly convenience in a prefabricated structure.
  • the vacuum transfer system refers to a system for operating a vacuum pump with compressed air to discharge the internal air of the adsorption device, particularly the pad, and to absorb and grip the article by using the negative pressure obtained at this time, and to transfer the article to a predetermined position.
  • the adsorption device is coupled to the end of a separately provided pipe connector and connected to the vacuum pump via the connector.
  • a vacuum adsorption device 1 is traditionally joined to a ring-shaped fastener 2 having an outward flange 3 and a side surface of the fastener 2 while surrounding the flange 3. And a pad 4 extending into.
  • the fastener 2 is formed of a hard material such as metal or plastic, and the pad 4 is a soft material such as rubber or urethane, and is fixed to the fastener 3 in a manner by adhesive or insert molding.
  • Reference numeral 5 is a pipe-like member that is connected to the fastener 2 separately.
  • the adsorption device 1 is still usefully used at present. However, if used to some extent, there is a fatal problem in which external air flows due to a gap in the joint between the fastener 2 and the pad 4, and in particular, if the pad 4 is damaged, the adsorption including the fastener 2 is included. There is a problem that the entire device 1 must be discarded.
  • the disclosed vacuum adsorption device 6 comprises fasteners 2a and pads 4a which are mutually coupled, in this respect structurally different from the adsorption device 1 above.
  • the elements 2a and 4a are detachably assembled, with a separate pressing member 7 providing a bonding force from the outside.
  • the pad 4a since the external coupling force is released as the pressure member 7 flows, the pad 4a can be freely separated from the fastener 2a and mounted by the softness thereof. Therefore, when the used pad 4a is damaged or damaged, only the pad 4a can be easily removed and replaced with the fastener 2a intact.
  • this adsorption apparatus 6 has the advantage of being economical and excellent in workability compared with the adsorption apparatus 1 mentioned above. On the other hand, however, the adsorption device 6 still does not solve the problem of vacuum loss or leakage occurring at the contact portion between the fastener 2a and the pad 4a, but may be more serious in this regard.
  • the present invention is proposed to solve the above problems of the prior art. It is an object of the present invention to provide a pad for a vacuum adsorption device of a novel structure that solves the vacuum leakage problem that may occur in a structure that is detachably coupled to the fastener.
  • Another object of the present invention is to provide a pad for a vacuum adsorption device having a structure capable of improving ease of assembly and robustness in a structure that is also detachably coupled with a fastener.
  • the pad for the vacuum adsorption device of the present invention is:
  • a pad of flexible material including a coupling portion for tightly wrapping and supporting the outer surface of the fastener inserted from above, and an adsorption portion extending downward from the coupling portion to contact the surface of the object.
  • the coupling portion is:
  • a support extending from the lower end to the inner side to contact the bottom surface of the fastener
  • the protrusion is in the form of a protruding piece, inclined in the inner or outer direction.
  • the support has an extension piece extending inward at the point of the projection to support the end of the central hole of the fastener.
  • the thickness of the extension piece is small compared to other parts of the support.
  • An inner wall structure comprising an upper inlet, an inner concave flange, and an inner jaw formed between the inlet and the concave flange;
  • the inner jaw is processed in the form of an upper round (R) and a lower right angle;
  • the inner diameter of the concave flange is formed larger than the inlet inner diameter.
  • the pad of the present invention has the above-mentioned sealing protrusion, in the case of the adsorption apparatus to which the pad is applied, the pad has a sealing structure in the same direction as the exhaust direction. Therefore, inflow of external air or leakage of the internal vacuum becomes difficult. Furthermore, there is an effect of providing a more robust sealing ability by the inclined protrusion and further including an extension.
  • the pad of the present invention has an inner wall structure in which an inlet, an inner jaw, and a concave flange are formed in turn, and the round R and each inner diameter are carefully designed. Therefore, there is an effect of improving the convenience and robustness of the assembly with the fastener close to the inner wall.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional vacuum cup.
  • Figure 2 is a cross-sectional view of another conventional vacuum cup.
  • Figure 3 is an exploded view of the adsorption device assembly to which the pad is applied according to the present invention.
  • FIG. 4 is an assembled cross-sectional view of FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 4.
  • FIG. 6 is a view for explaining the action of 'A' part of FIG.
  • FIG. 3 illustrate the assembly of the vacuum adsorption device 100 to which the pad 20 of the present invention is applied for convenience of description.
  • the adsorption device 100 has a ring-shaped fastener 10 having a central hole 13 formed therein as an inner core body and a shape that extends downward while closely surrounding an outer surface of the fastener 10. It consists of the pad 20 of the present invention implemented as. Naturally, the fastener 10 is formed of a hard material such as metal or plastic, and the pad 20 is formed of a flexible material such as silicone, urethane, or rubber.
  • the fastener 10 and the pad 20 are detachably coupled to each other.
  • the pressure member 30 providing the reinforced coupling force is provided on the outside to constitute the adsorption device 100.
  • the fastener 10 includes a protruding flange 11 outward from the side and a groove 12 upward from the bottom.
  • the central hole 13 side is designed to have a step d that sags downward from the opposite side thereof. This structure is slightly more advantageous in terms of the sealing desired in the present invention.
  • the central hole 13 is an exhaust passage communicating with the internal space S1 of the pad 20.
  • the pad 20 includes a coupling part 22 surrounding the outer surface of the fastener 10 and an adsorption part 21 extending downward from the coupling part 22 to contact the surface of the object.
  • the shape of the adsorption part 21 is extended by a skirt type, but the present invention is not limited to any form of the adsorption part 21.
  • the adsorption portion 21 and the coupling portion 22 are in communication with each other.
  • the coupling part 22 has an upper inlet 23 into which the fastener 10 is inserted, an internal concave flange 24 corresponding to the protruding flange 11 of the fastener 10 inserted therein, and a lower end to the inside.
  • a support 27 is formed to contact the bottom of the fastener 10 that is extended and inserted.
  • An annular sealing protrusion 25 is formed to extend upwardly from the support 27 to be inserted into the sealing groove 12.
  • the protrusions 25 are in the form of protrusions, and are formed to be inclined or curved in one direction, that is, inward direction. Compared to simply being raised:
  • the support 27 has an extension piece 26 extending inward from the point of the projection 25 to support the end 13a of the central hole 13 of the fastener 10.
  • the extension piece 26 can prevent the end portion 13a from directly contacting the surface of the object when the object is actually sucked.
  • the thickness of the extension piece 26 (t2 in FIG. 6) is designed to be smaller than the thickness (t1 in FIG. 6) of the other part of the support 27.
  • This structure adds a flexible characteristic to the extension piece 26 to allow fluid contact with the end portion 13a of the central hole 13, thereby making the sealing between both elements 10 and 20 more effective.
  • the coupling portion 22 has a special form of the inner wall structure. That is, the inner jaw 28 is formed between the inlet 23 and the concave flange 24, the inner jaw 28 is processed in a right angle to the round (R) on the upper side and the opposite lower side.
  • R round
  • the inner diameter of the recessed flange 24 is preferably formed larger than the inner diameter of the inlet 23.
  • the fastener 10 and the pad 20 is coupled by a protruding flange 11 and the concave flange 24, the groove 12 and the projection 25 corresponding to each other.
  • the pressing member 30 may be provided separately to provide a stronger bonding force thereto.
  • the pressing member 30 is a 'b' member consisting of a horizontal portion 31 and the vertical portion 32, it is provided as if fitted to the upper side of the fastener 10 and the pad 20 is coupled.
  • the drawing constitutes the adsorption device 100 assembly including the pressing member 30, for example, the coupling force corresponding to the pressing member 30 may be provided through a design change of the fastener 10.
  • the pad 20 is made of a flexible material, it is not difficult for the fastener 10 to be inserted into the coupling portion 22 of the pad 20 and to be seated on the support 27. That is, the protruding flange 11 of the fastener 10 passes through the inlet 23 of the pad 20 and slides the round R on the upper side of the inner jaw 28 to be directly seated and fitted to the inlet flange 24.
  • both elements 10 and 20 may be naturally coupled to each other.
  • the protrusion 25 is inclined in one direction, the bending moment acts when the protrusion 25 is fitted into the groove 12 or when the protrusion 25 contacts the bottom surface of the fastener 10. Therefore, it provides a greater sealing capacity than simply being combined.
  • the coupling force between both elements (10, 20) will be increased at the same time.
  • the pressing member 30 is provided as if fitted to the upper side of the fastener 10 and the pad 20 is coupled.
  • the internal space S1 of the pad 20 communicates with the space S2 by the fastener 10, the central hole 13.
  • arrows indicate that the internal air of the pad 20 is exhausted by a vacuum pump. Iii) the direction in which it is directed.
  • the sealing projection 25 and the groove 12 have a sealing structure in the same direction as the exhaust direction structurally. Therefore, inflow of external air or leakage of the internal vacuum becomes difficult.
  • the pad 20 is made of a soft material and does not intend to have such a gap, but such a gap may occur even if the size is slightly different or the elasticity of the material is insufficient. The figure illustrates this situation.
  • the projection 25 is sucked and sticks to the inner wall of the groove 12, and the extension piece 26 flows to be in close contact with the end portion 13a of the central hole 13.
  • the central hole 13 side is designed to have a step d drooping downward from the opposite side relative to the groove 12, and the thickness of the extension piece 26.
  • the t 2 is designed to be smaller than the thickness t 1 of the other part of the support 27 in order to make the extension of the extension piece 26 as easy as possible.
  • the sealing structure including the bending structure and the bending structure structurally in the same direction as the exhaust direction has a special effect of not allowing vacuum leakage even if there is a slight standard error.

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Abstract

본 발명은 진공이송 시스템에 적용되는 진공 흡착장치용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 패드는 체결구를 감싸는 결합부와, 그 하부로 연장되는 형태의 패드부를 포함하여 이루어진다. 특히, 상기 결합부는 긴밀한 실링을 위하여 하단 지지대로부터 상향으로 연장되는 실링 돌기를 가진다. 한편 조립 편의의 및 견고성을 위하여 상측 입구와 대경의 내측 요입 플랜지 및 중간의 내턱을 가지며, 상기 내턱은 상·하측이 각각 라운드 및 직각 처리된 형태로 구성된다.

Description

진공 흡착장치용 패드
본 발명은 진공이송 시스템에서 물품의 파지를 위하여 적용되는 진공 흡착장치에 관한 것으로, 특히 조립식 구조에서 진공누설을 방지하고 조립 편의를 제공하도록 설계된 흡착 패드에 관한 것이다.
진공이송 시스템이란 압축공기로 진공펌프를 작동하여 흡착장치 특히 패드의 내부공기를 배출시키면서, 이때 얻어지는 부압을 이용하여 물품을 흡착 및 파지하고, 정해진 위치로 이송시키는 시스템을 말한다. 이 시스템에서, 상기 흡착장치는 별도로 제공되는 파이프형 연결구의 단부에 결합되며, 상기 연결구를 매개로 하여 진공펌프에 접속된다.
도 1을 참조하면, 전통적으로 진공 흡착장치(1)는 외향의 플랜지(3)가 형성된 링형 체결구(2)와, 상기 플랜지(3)를 감싸면서 체결구(2)의 측면에 접합되고 하부로 연장되는 패드(4)를 포함한다. 상기 체결구(2)는 금속이나 플라스틱 등 경질의 재료로 성형되고, 상기 패드(4)는 고무, 우레탄 등 연질의 재료로서 접착제 또는 인써트 성형에 의한 방식으로 체결구(3)에 고정된다. 부호 5은 상기 체결구(2)에 별도로 접속되는 파이프형 부재이다.
상기 흡착장치(1)가 현재에도 유용하게 사용되는 것은 사실이다. 그러나 어느 정도 사용하다 보면, 체결구(2)와 패드(4) 간 접합부분에 틈이 생겨 외부공기가 유입되는 치명적인 문제가 있으며, 특히 패드(4)가 손상되면 체결구(2)를 포함한 흡착장치(1) 전체를 폐기해야 하는 문제가 있다.
이러한 문제를 해결하고자 제안된 것이, 본 출원인에 의하여 특허 제932775호 및 특허 제1068954호에 개시된 진공컵이다. 도 2를 참조하면, 개시된 진공 흡착장치(6)는 상호 결합되는 체결구(2a)와 패드(4a)를 포함하며, 이 점에서 구조적으로 위의 흡착장치(1)와 다르지 않다. 그러나 여기에서는 요소(2a,4a)들이 분리가능하게 조립되어 있으며, 이때 외부에서 결합력을 제공하는 가압부재(7)가 별도로 제공된다.
개시된 구조에서는 가압부재(7)를 유동시킴에 따라 외부 결합력이 해제되므로, 패드(4a)는 그 연성에 의하여 체결구(2a)로부터 자유롭게 분리되고 장착될 수 있다. 따라서 사용된 패드(4a)가 손상, 파손되는 경우에는 체결구(2a)를 그대로 두고 패드(4a)만을 간단하게 분리, 교체할 수가 있다.
따라서 이 흡착장치(6)는 상기한 흡착장치(1)와 비교하여, 경제적이고 작업성도 우수한 장점이 있다. 그러나 한편으로, 이 흡착장치(6) 역시 체결구(2a)와 패드(4a) 간의 접촉부분에서 발생하는 진공 손실 또는 누설 문제를 여전히 해결하지 못하고 있으며, 오히려 이 점에서는 더욱 심각하다고 할 수 있다.
한편으로는, 상기한 가압부재(7)를 전제로 또는 가압부재(7)에 의존함으로써 체결구(2a)와 패드(4a) 간 조립의 편의성 및 견고성 등에 대하여는 특별한 대책을 가지지 못하고 있다
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하고자 제안된 것이다. 본 발명의 목적은 체결구와 분리가능하게 결합되는 구조에서 발생할 수 있는 진공누설 문제를 해결한 새로운 구조의 진공 흡착장치용 패드를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 역시 체결구와 분리가능하게 결합되는 구조에서, 조립의 편의성 및 견고성을 향상시킬 수 있는 구조의 진공 흡착장치용 패드를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 진공 흡착장치용 패드는:
상측에서 삽입되는 체결구의 외면을 밀접하게 감싸 지지하는 결합부와, 상기 결합부로부터 하부로 연장되어 대상물의 표면에 접촉하는 흡착부를 포함하는 유연 재료의 패드를 기반으로 한다.
특히, 본 발명의 목적을 위하여, 상기 결합부는:
하단에서 내측으로 연장되어 상기 체결구의 저면에 접촉하게 되는 지지대와;
상기 지지대로부터 상향으로 돌출된 환형의 실링 돌기;
를 갖는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 돌기는 돌출편 형태로서, 내측 또는 외측 방향으로 기울어져 형성된다.
또한 상기 지지대는 돌기의 지점에서 내측으로 연장되어 상기 체결구의 중앙홀 단부를 지지하는 연장편을 갖는다. 바람직하게, 상기 연장편의 두께는 지지대의 다른 부분에 비하여 작다.
한편, 본 발명의 다른 목적을 위하여, 상기 결합부는:
상측 입구와, 내부 요입 플랜지와, 상기 입구와 요입 플랜지 사이에 형성된 내턱을 포함하는 내벽 구조를 가지며;
상기 내턱은 상측 라운드(R) 및 하측 직각인 형태로 처리된 것;
을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 요입 플랜지의 내경은 입구 내경에 비하여 크게 형성된다.
본 발명의 패드가 상기한 실링 돌기를 가짐에 따라, 이를 적용하는 흡착장치의 경우 구조적으로 배기(排氣) 방향과 같은 방향의 실링 구조를 갖게 된다. 따라서, 외부 공기의 유입 또는 내부 진공의 누설이 어렵게 된다. 더욱이, 상기 돌기가 기울어져 형성되는 것 및 연장편을 더 포함하는 것 등에 의하여 더욱 견고한 실링 능력을 제공하게 되는 효과가 있다.
한편, 본 발명의 패드는 입구와 내턱, 요입 플랜지가 차례로 형성된 내벽 구조를 가지며, 라운드(R) 및 각 내경이 교묘히 설계되어 있다. 따라서 이 내벽에 밀접하는 체결구와의 조립의 편의성 및 견고성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 종래의 진공컵의 단면도.
도 2는 종래의 다른 진공컵의 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 패드가 적용된 흡착장치 어셈블리의 분해도.
도 4는 도 3의 조립 단면도.
도 5는 도 4의 'A' 부분 확대도.
도 6은 도 5의 'A' 부분 작용을 설명하는 도면.
이상에 기재된 또는 기재되지 않은 본 발명 '진공 흡착장치용 패드'의 특징과 효과들은, 이하에서 첨부도면을 참조하여 설명하는 실시예 기재를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 참고로, 도 3 이하의 도면은 설명의 편의상 본 발명의 패드(20)가 적용된 진공 흡착장치(100)의 어셈블리를 예시한 것이다.
도 3을 참조하면, 상기 흡착장치(100)는 내측 코어체로서 중앙홀(13)이 형성된 링형 체결구(10)와, 상기 체결구(10)의 외면을 밀접하게 감싸면서 하부로 연장되는 형태로 구현된 본 발명의 패드(20)를 포함하여 이루어진다. 당연하게, 상기 체결구(10)는 금속이나 플라스틱 등 경질의 재료로 성형된 것이고, 상기 패드(20)는 실리콘, 우레탄, 고무 등의 유연 재료로 성형된 것이다.
여기에서, 상기 체결구(10)와 패드(20)는 서로 분리 가능하게 결합되며 이때 보강된 결합력을 제공하는 가압부재(30)가 외측에 제공되어 흡착장치(100)를 구성하게 되는 것이다.
구체적으로, 상기 체결구(10)는 측면으로부터 외향하는 돌출 플랜지(11)와 저면으로부터 상향하는 홈(12)을 포함한다. 그리고 상기 홈(12)을 기준으로, 중앙홀(13) 쪽이 그 반대쪽보다 아래로 처진 단차(d)를 가지게 설계되어 있다. 이 구조는 본 발명에서 목적하는 실링의 측면에서 조금 더 유리하다. 상기 중앙홀(13)은 패드(20)의 내부공간(S1)과 연통하는 배기 통로이다.
또한, 상기 패드(20)는 체결구(10)의 외면을 감싸는 결합부(22)와, 상기 결합부(22)로부터 하부로 연장되어 대상물의 표면에 접촉하는 흡착부(21)를 포함하여 이루어진다. 본 실시예에서 상기 흡착부(21)의 형태는 스커트(skirt) 식으로 확장되는 것이지만, 본 발명이 흡착부(21)의 어느 형태에 한정되는 것은 아니다. 당연하겠지만, 어떤 경우에도 상기 흡착부(21)와 결합부(22)는 서로 소통하는 관계에 있다.
상기 결합부(22)는 체결구(10)가 삽입되는 상측 입구(23)와, 삽입된 체결구(10)의 돌출 플랜지(11)에 대응하는 내부의 요입 플랜지(24), 하단에서 내측으로 연장되어 삽입된 체결구(10)의 저면에 접촉하는 지지대(27)가 형성되어 있다. 그리고 이 지지대(27)로부터 상향으로 연장되어 상기 실링 홈(12)에 끼워져 삽입되는 환형의 실링 돌기(25)가 형성되는 것이다.
여기에서 부연하면, 실제로 상기 돌기(25)는 재료의 특성에 따라 체결구(10)의 저면을 탄성적으로 밀착 지지하므로, 실링을 위하여 체결구(10)에 실링 홈(12)이 반드시 필요한 것은 아니다.
본 실시예에서, 상기 돌기(25)는 돌출편 형태로서, 일 방향 즉 내측 방향으로 경사지게 또는 곡지게 기울어져 형성된다. 이는 단순히 상향된 것에 비하여:
체결구(10)와 패드(20) 간 결합력을 보강해주는 제공하는 동시에,
양 요소(10,20) 간 실링의 측면에서 매우 바람직한 것;
으로 판단된다.
*또한, 상기 지지대(27)는 돌기(25)의 지점에서 내측으로 연장되어 상기 체결구(10)의 중앙홀(13) 단부(13a)를 지지하게 되는 연장편(26)을 갖는다. 이 연장편(26)으로 인하여, 실제 대상물 흡착시에 상기 단부(13a)가 대상물의 표면에 직접 접촉하는 것을 방지할 수가 있다.
바람직하게, 상기 연장편(26)의 두께(도 6의 t2)는 지지대(27)의 다른 부분의 두께(도 6의 t1)에 비하여 작게 설계된다. 이 구조는 연장편(26)에 플렉서블 특성을 부가하여 중앙홀(13) 단부(13a)에 유동적으로 접촉할 수 있도록 함으로써, 양 요소(10,20) 간 실링을 더욱 효과적으로 한다.
한편, 상기 결합부(22)는 특별한 형태의 내벽 구조를 갖는다. 즉, 상기 입구(23)와 요입 플랜지(24)의 사이에는 내턱(28)이 형성되는데, 상기 내턱(28)은 상측에 라운드(R) 및 반대 하측에 직각 형태로 처리된다. 이는 밀접하는 체결구(10)의 삽입을 원활하게 하고 삽입 후 안정을 도모한 설계이다. 삽입 후 안정성 및 견고성을 위하여, 바람직하게 상기 요입 플랜지(24)의 내경은 입구(23)의 내경에 비하여 크게 형성된다.
한편, 상기 체결구(10)와 패드(20)는 서로 대응하는 돌출 플랜지(11)와 요입 플랜지(24), 홈(12)과 돌기(25)에 의하여 결합된다. 여기에 더 강한 결합력을 제공하기 위하여 가압부재(30)가 별도로 제공될 수 있다. 상기 가압부재(30)는 가로부(31)와 세로부(32)로 이루어진 'ㄱ'자 부재로서, 체결구(10)와 패드(20)가 결합된 상측에 끼워지듯이 제공된다.
도면에서는 이 가압부재(30)를 포함하여 흡착장치(100) 어셈블리를 구성하지만, 예컨대 상기 체결구(10)의 설계변경을 통하여 가압부재(30)에 상응하는 결합력을 제공할 수도 있을 것이다.
도 4를 참조하면, 상기 패드(20)는 유연 소재로 된 것이므로 체결구(10)가 패드(20) 결합부(22) 내에 삽입되고, 지지대(27) 상에 안착되는 것은 어렵지 않다. 즉, 상기 체결구(10)의 돌출 플랜지(11)가 패드(20)의 입구(23)를 지나 내턱(28) 상측의 라운드(R)를 슬라이딩하여 요입 플랜지(24)에 바로 안착되어 끼워지고, 패드(20)의 돌기(25)가 체결구(10)의 홈(12)에 삽입되면 양 요소(10,20)는 자연스럽게 서로 결합될 수 있는 것이다.
이때 내턱(28)의 하측은 직각으로 처리되어 있고 요입 플랜지(24)의 내경은 입구(23)에 비해 크므로, 패드(20) 내에 삽입된 체결구(10)는 임의로 유동 또는 이탈되지 않는다.
이 상태에서 상기 돌기(25)는 일 방향으로 기울어져 있으므로, 돌기(25)가 홈(12)에 끼워질 때 또는 체결구(10) 저면에 접촉할 때 휨 모멘트가 작용한다. 따라서 단순히 결합되는 것에 비하여 더 큰 실링 능력을 제공하게 되는 것이다. 물론 홈(12)에 끼워지는 경우에는 양 요소(10,20) 간 결합력이 동시에 증가될 것이다. 그 외에도 상기 가압부재(30)가, 체결구(10)와 패드(20)가 결합된 상측에 끼워지듯이 제공된다.
상기 패드(20)의 내부공간(S1)은 체결구(10) 중앙홀(13)에 의한 공간(S2)과 연통하며, 도면에서 화살표는 진공펌프에 의하여 패드(20)의 내부공기가 배기(排氣)되는 방향을 나타낸다. 여기에서 보듯이, 상기 실링 돌기(25)와 홈(12)에 의하여, 구조적으로 배기 방향과 같은 방향의 실링 구조를 갖게 된다. 따라서, 외부 공기의 유입 또는 내부 진공의 누설이 어렵게 된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 서로 대응하는 돌기(25)와 홈(12), 중앙홀(13) 단부(13a)와 연장편(26) 간에는 약간의 간극이 형성되어 있다. 실제로 패드(20)는 연성이 강한 소재로 된 것으로서 이와 같은 간극이 있을 것을 예정하지는 않지만, 예컨대 사이즈가 조금 맞지 않거나 소재의 탄성이 부족한 경우에도 이와 같은 간극이 생길 수 있을 것이다. 도면은 이 상황을 예시한 것이다.
도 6을 참조하면, 상기 돌기(25)와 홈(12) 및 중앙홀(13) 단부(13a)와 연장편(26) 간에 있었던 약간의 간극이 제거됨을 알 수 있다. 구체적으로 설명하면, 배기가 진행되는 과정에서 공간 S1, S2 에서 진공 및 부압이 발생하게 되며, 이 부압은 당연히 상기 간극에도 전달된다.
그리고 이 압력에 의하여 돌기(25)가 흡입되어 홈(12)의 내벽에 달라붙게 되고, 연장편(26)이 유동하여 중앙홀(13) 단부(13a)에 밀접하게 되는 것이다. 전술한 바와 같이, 체결구(10)에서 상기 홈(12)을 기준으로 중앙홀(13) 쪽이 그 반대쪽보다 아래로 처진 단차(d)를 가지게 설계된 것, 그리고 상기 연장편(26)의 두께(t2)는 지지대(27)의 다른 부분의 두께(t1)에 비하여 작게 설계된 것은 이와 같이 연장편(26)의 밀접을 가능한 쉽게 하기 위함이다.
이와 같이, 본 발명에서 구조적으로 배기 방향과 같은 방향의 실링 구조 및 휨 모멘트를 포함한 실링 구조는, 약간의 규격상 오차가 있더라도 진공 누설을 허용하지 않는 특별한 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 상측에서 삽입되는 체결구(10)의 외면을 밀접하게 감싸 지지하는 결합부(22)와, 상기 결합부(22)로부터 하부로 연장되어 대상물의 표면에 접촉하는 흡착부(21)를 포함하는 유연 재료의 패드에 있어서,
    상기 결합부(22)는:
    하단에서 내측으로 연장되어, 상기 체결구(10)의 저면에 접촉하게 되는 지지대(27)와;
    상기 지지대(27)로부터 상향으로 연장되는 환형의 실링 돌기(25);
    를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 돌기(25)는 돌출편의 형태로서, 내측 또는 외측 방향으로 기울어져 형성된 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 돌기(25)는 체결구(10)의 저면 홈(12)에 끼워지는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지대(27)는 돌기(25)의 지점에서 내측으로 연장되어 체결구(10)의 중앙홀(13) 단부를 지지하게 되는 연장편(26)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 연장편(26)의 두께(t2)는 지지대(27)의 다른 부분의 두께(t1)에 비하여 작게 설계된 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  6. 상측에서 삽입되는 체결구(10)의 외면을 밀접하게 감싸 지지하는 결합부(22)와, 상기 결합부(22)로부터 하부로 연장되어 대상물의 표면에 접촉하는 흡착부(21)를 포함하는 유연 재료의 패드에 있어서,
    상기 결합부(22)는:
    상측 입구(23)와, 내부 요입 플랜지(24)와, 상기 입구(23)와 요입 플랜지(24)의 사이에 형성된 내턱(28)을 포함하는 내벽 구조를 가지며;
    상기 내턱(28)은 상측 라운드(R) 및 하측 직각인 형태로 처리된 것;
    을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 요입 플랜지(24)의 내경은 입구(23)의 내경에 비하여 크게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 패드.
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