WO2015152212A1 - 除去液及び除去方法 - Google Patents

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WO2015152212A1
WO2015152212A1 PCT/JP2015/060072 JP2015060072W WO2015152212A1 WO 2015152212 A1 WO2015152212 A1 WO 2015152212A1 JP 2015060072 W JP2015060072 W JP 2015060072W WO 2015152212 A1 WO2015152212 A1 WO 2015152212A1
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component
group
carbon atoms
cured product
acid
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PCT/JP2015/060072
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Inventor
大橋　秀和
元気 高梨
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富士フイルム株式会社
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    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/288—Removal of non-metallic coatings, e.g. for repairing

Definitions

  • the present invention relates to a removing liquid for removing a cured product of a specific curable composition and a method for removing a cured product using the same.
  • Curable compositions are widely used for adhesives and paints.
  • adhesives, paints and the like using these curable compositions can be used as they are until they are deteriorated when applied.
  • the members are continuously bonded together after bonding at the time of manufacturing the plastic model.
  • the focus of development of curable compositions has been on increasing the durability of performance such as adhesive strength and increasing the sensitivity to effectively cure with less energy.
  • various products have been recycled to reduce environmental impact. When recycling the product, it is preferable that the adhesive or paint is peeled off quickly, but it is difficult to peel off with a conventional adhesive or paint.
  • a technique in which the degree of integration per unit area of a silicon substrate is improved by multilayering integrated circuits in an IC chip.
  • it has been studied to reduce the thickness of the silicon substrate.
  • a semiconductor wafer thinness: about 700 to 900 ⁇ m
  • thinning method a semiconductor wafer (thickness: about 700 to 900 ⁇ m) before thinning with a device provided on the surface and a processing support substrate are temporarily bonded with a silicon adhesive, and the back surface of the semiconductor wafer is ground.
  • Patent Document 1 A technique is known in which a semiconductor wafer is drilled to provide a silicon through electrode after being thinned (about 200 ⁇ m), and then a processing support substrate is detached from the semiconductor wafer (see Patent Document 1).
  • Patent Document 2 an adhesion technique in which the adhesive bond between the support layer system and the separation layer is adjusted to be larger than the joint bond between the wafer and the separation layer, polyether sulfone.
  • Patent Document 6 by temporarily bonding the support substrate and the semiconductor wafer with an adhesive made of polycarbonates, treating the semiconductor wafer, irradiating with irradiation radiation, and then heating ,
  • a technique for detaching a treated semiconductor wafer from a support substrate see Patent Document 7
  • an energy ray curable copolymer having an energy ray polymerizable unsaturated group in the side chain, an epoxy resin, and a thermally activated latent Adhesive tape comprising an adhesive layer formed from an adhesive composition composed of an adhesive epoxy resin curing agent, the adhesive force of which changes when irradiated by radiation
  • Patent Document 8 An adhesive composition mainly composed of an acrylic polymer composed of a skeleton-containing (meth) acrylic acid ester monomer and a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer (see Patent Document 9) It is.
  • Patent Document 10 a curable resin composition containing (a) urethane-modified (meth) acrylate and (b) (meth) acrylate having an amino group in the molecule is cured by light to form a resist. In addition, it is described that the resist can be removed with an acidic aqueous solution.
  • Patent Document 11 discloses, on a support, (A) a binder polymer having at least one positively charged nitrogen atom and at least one amino group in the main chain and / or side chain, and (B) an ethylenically unsaturated bond.
  • the present invention has been made in view of the above background, and the purpose thereof is a removal liquid for removing a cured product of a specific curable composition that expresses a strong adhesion to an object, and It is providing the removal method using the said removal liquid.
  • ⁇ 1> A removal liquid for removing a cured product of the curable composition, wherein the curable composition is a polymer or an oligomer, a component B, a radical polymerizable monomer, and a component C as the component A, A polymerization initiator, and at least one selected from the group consisting of component A and component B has an amino group
  • the removal solution is a component a having a compound having an acid group in the molecule
  • component b A removing solution characterized by containing a compound having a hydroxyl group in the molecule and water as component c
  • ⁇ 3> The removal liquid according to
  • a wavy line portion represents a coupling position with another structure.
  • ⁇ 6> The removing liquid according to any one of ⁇ 1> to ⁇ 5>, wherein the component A has an amino group
  • ⁇ 7> A method for removing a cured product, comprising a contact step of bringing an object having a cured product into contact with the removal liquid according to any one of ⁇ 1> to ⁇ 6>.
  • ⁇ 8> The removal method according to ⁇ 7>, including a peeling step of peeling the cured product from the object by applying an external force to the cured product
  • ⁇ 9> The removal method according to ⁇ 7> or ⁇ 8>, including a scratching step of scratching the cured product before the contacting step.
  • ⁇ 10> The removal method according to any one of ⁇ 7> to ⁇ 9>, wherein the temperature of the removal liquid is 15 to 55 ° C.
  • a removing liquid for removing a cured product of a specific curable composition that exhibits a strong adhesion to an object and a removing method using the removing liquid.
  • R represents an alkyl group, an aryl group or a heterocyclic group
  • R is an unsubstituted alkyl group, a substituted alkyl group, an unsubstituted aryl group, a substituted aryl group
  • (meth) acryl represents the concept containing both acryl and methacryl, and the same applies to (meth) acrylate and the like.
  • the polymer in this specification shall include a copolymer. In the present invention, a combination of two or more preferred embodiments is more preferred.
  • Removal liquid is a removal liquid for removing the cured product of the curable composition
  • the curable composition comprises a polymer or oligomer as component A and a radical polymerizable monomer as component B. And at least one selected from the group consisting of Component A and Component B has an amino group, and the removal solution has an acid group in the molecule as Component a. And a component b containing a compound having a hydroxyl group in the molecule and a component c containing water.
  • the adhesive layer is required to have a certain degree of adhesion. Therefore, in the case of temporarily adhering the entire device surface of the semiconductor wafer and the support substrate via the adhesive layer, the temporary adhesion between the semiconductor wafer and the support substrate is sufficient, and the semiconductor wafer is stably and However, the temporary adhesion between the semiconductor wafer and the support substrate is too strong, so that the device may be damaged or detached from the semiconductor wafer. There is a tendency for the device to be detached.
  • a plasma polymer layer as a separation layer is formed between the wafer and the support layer system by a plasma deposition method.
  • the forming method is (1) Usually, the equipment cost for performing the plasma deposition method is large; (2) The layer formation by the plasma deposition method requires time for evacuation and monomer deposition in the plasma apparatus; and (3) Even when a separation layer composed of a plasma polymer layer is provided, when supporting a wafer to be processed, the wafer is released from support while the adhesive bond between the wafer and the separation layer is sufficient.
  • Patent Document 10 does not describe that the urethane-modified (meth) acrylate has an amino group, nor does it describe that the acidic aqueous solution used for removal contains alcohol.
  • Patent Document 11 describes that an uncured portion that is not exposed to light is removed to form an image of a lithographic printing plate, but a method for removing a portion that has been cured by irradiation with light is described. Not listed.
  • the curable composition used in the present invention is a polymer or oligomer as component A, a radical polymerizable monomer as component B, and a polymer as component C. And an initiator.
  • the curable composition of the present invention is a composition that is cured by light and / or heat.
  • the cured film obtained from the curable composition of the present invention exhibits high adhesion and can be easily removed with the removing liquid of the present invention.
  • the member to be treated can be temporarily supported with a high adhesive force even at a high temperature (for example, 100 ° C.). Further, even after the process at a high temperature, the treated member (target) It is preferable that the temporary support for the treated member can be easily (with high peelability) released without damaging the object.
  • a high temperature for example, 100 ° C.
  • the temporary support for the treated member can be easily (with high peelability) released without damaging the object.
  • the curable composition contains a polymer or oligomer as Component A.
  • the weight average molecular weight of Component A used in the present invention is 1,000 or more, preferably 2,000 or more and 300,000 or less, more preferably 3,000 or more and 200,000 or less, and 4 Is more preferably from 5,000 to 150,000, and particularly preferably from 5,000 to 100,000. Within the above range, the obtained cured product is excellent in adhesion, removability, and stability over time.
  • the weight average molecular weight is measured by gel permeation chromatography and is determined in terms of standard polystyrene.
  • component A There is no restriction
  • the type of component A is not particularly limited, and known polymer species (poly (meth) acrylic acid ester, poly (meth) acrylic acid amide, polyurethane, polyester, polyether, polyurea, polycarbonate, polyamide, polystyrene, polyalkylene) , Polyvinyl, etc.) can be used.
  • the removability with a removal liquid and adhesiveness are especially excellent.
  • the wavy line represents the coupling position with other structures
  • the structure represented by Formula 1 includes a urethane bond (—NH—C ( ⁇ O) —O—), an amide bond (—C ( ⁇ O) —NH—), a urea bond (—NH—).
  • C ( ⁇ O) —NH—) preferably component A has a urethane bond and / or a urea bond in the main chain, more preferably a urethane bond or a urea bond, and a urethane bond. It is particularly preferred to have When component A has a structure represented by Formula 1, it is estimated that the removability is improved by interacting with the hydroxyl group of component b contained in the removal liquid. In addition, it is thought that the structure represented by Formula 1 and a hydroxyl group show the interaction shown in the following Formula a.
  • the component A used in the present invention preferably has an amino group.
  • the amino group may be any of primary, secondary, and tertiary amino groups, but from the viewpoint of ease of production of the polymer or oligomer, adhesion and removability, and stability over time, the secondary amino group or 3 A tertiary amino group is preferred, and a tertiary amino group is more preferred.
  • the introduction position of the tertiary amino group in the polymer or oligomer may be any of the side chain, the inside of the main chain, and the end of the main chain, and may be introduced at two or more kinds of positions.
  • the tertiary amino group is preferably a group represented by the following formula 2 or formula 3.
  • R 1 and R 2 are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or a heterocyclic group having 10 or less carbon atoms.
  • L 1 represents a single bond or a divalent linking group, and at least two selected from the group consisting of R 1 , R 2 , and L 1 may be linked together to form a ring, Represents a bonding position with another structure.
  • R 3 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or a heterocyclic group having 10 or less carbon atoms
  • L 2 and L 3 each independently represents a single bond or a divalent linking group, and at least two selected from the group consisting of R 3 , L 2 and L 3 may be connected to each other to form a ring; Represents a bonding position with another structure.
  • R 1 and R 2 in Formula 2 from the viewpoint of balance between the solubility and water resistance to the removing solution, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, 6 to 9 carbon atoms
  • An aryl group preferably a heterocyclic group having 9 or less carbon atoms, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aryl group having 6 to 8 carbon atoms, or a heterocyclic group having 8 or less carbon atoms.
  • a cyclic group more preferably an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms, an aryl group having 6 to 7 carbon atoms, or a heterocyclic group having 7 or less carbon atoms.
  • the alkyl group and alkenyl group may be linear, branched or cyclic, and are preferably linear or branched, and more preferably linear.
  • Examples of the aryl group include those having a single ring structure, those in which 1 to 2 benzene rings form a condensed ring, and those in which a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring form a condensed ring. .
  • the heterocyclic group may be an aromatic heterocyclic group or a non-aromatic heterocyclic group, and an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom is preferable as a hetero atom.
  • L 1 in Formula 2 include a single bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms (which may have a substituent, and part of the carbon atoms may be replaced with a hetero atom), carbon number 1-20 arylene groups (which may have a substituent, and some carbon atoms may be replaced by heteroatoms), single bond, alkylene group having 1-20 carbon atoms, carbon number It is preferably a oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms, An alkylene group having 1 to 20 carbon atoms is particularly preferable, and an alkylene group having 1 to
  • R 3 in Formula 3 from the viewpoint of balance between the solubility and water resistance to the removing solution, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 9 carbon atoms, It is preferably a heterocyclic group having 9 or less carbon atoms, such as an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aryl group having 6 to 8 carbon atoms, or a heterocyclic group having 8 or less carbon atoms.
  • alkyl group having 1 to 2 carbon atoms More preferably, it is an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms, an aryl group having 6 to 7 carbon atoms, or a heterocyclic group having 7 or less carbon atoms.
  • the alkyl group and alkenyl group may be linear, branched or cyclic, and are preferably linear or branched, and more preferably linear.
  • the aryl group include those having a single ring structure, those in which 1 to 2 benzene rings form a condensed ring, and those in which a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring form a condensed ring. .
  • the heterocyclic group may be an aromatic heterocyclic group or a non-aromatic heterocyclic group, and an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom is preferable as a hetero atom.
  • L 2 and L 3 in Formula 3 a single bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms (may have a substituent, may be a part of carbon atoms are replaced with a heteroatom)
  • An arylene group having 1 to 20 carbon atoms (which may have a substituent, and part of carbon atoms may be replaced by a hetero atom), a single bond, and an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms
  • an oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms.
  • alkylene group having 1 to 20 carbon atoms More preferred is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, and particularly preferred is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms.
  • R 3 , L 2 , and L 3 may be connected to each other to form a ring.
  • Component A preferably has a group represented by Formula 2 in the side chain or a group represented by Formula 3 in the main chain. That is, it is preferable that the group represented by the formula 2 is bonded to the main chain or has the group represented by the formula 3 as a monomer unit.
  • the amine value of the polymer or oligomer having an amino group used in the present invention is preferably 0.1 to 10 mmol / g, more preferably 0.25 to 9 mmol / g, and 0.5 to 8 mmol / g. More preferably, it is g. It is excellent in adhesiveness and removability as it is the said range.
  • a method for measuring the amine value for example, a sample is placed in a beaker, acetic acid is added, and the mixture is stirred and dissolved. And can be obtained by titrating with a titration apparatus.
  • the amine value is the amount of perchloric acid consumed when titrated, expressed as the number of moles per gram of sample (solid content).
  • Component A used in the present invention in particular, a polymer or oligomer having an amino group is ionic from the viewpoints of adhesion of a cured product to an object and water resistance, moisture resistance, weather resistance, and removability of the cured product. It preferably has no group.
  • the ionic groups include anionic groups such as carboxylate groups, sulfonate groups, phosphate groups, and phosphonate groups, and cations such as ammonium groups, azinium groups, diazonium groups, phosphonium groups, sulfonium groups, and iodonium groups. Sex groups.
  • Component A used in the present invention may have an ethylenically unsaturated group capable of radical polymerization.
  • the polymer or oligomer used in the present invention can be produced by a known method (eg, radical polymerization, polycondensation, etc.). These polymers or oligomers may be used alone or in combination of two or more.
  • polymer or oligomer having an amino group used in the present invention are shown below.
  • the present invention is not limited to these.
  • the number described after each unit represents a molar ratio.
  • IPDI isophorone diisocyanate
  • TDI tolylene diisocyanate
  • HDI hexamethylene diisocyanate
  • MDI bis (4-isocyanatophenyl) methane
  • Diol-1 3-dimethylamino-1,2-propanediol
  • Diol-2 1,5-pentanediol
  • Diol-3 N-butyldiethanolamine
  • Diol-4 1,5-pentanediol
  • Diol-5 Polytetrabutylene glycol (Mw: 2,000)
  • Diol-6 Polypropylene glycol (Mw: 1,000)
  • Diol-7 3-diethylamino-1,2-propanediol
  • Diol-8 1,4-butanediol Diamin-1: 3,3-diamino-N-methyldipropylamine
  • the content of component A in the curable composition is preferably 10% by mass to 90% by mass, more preferably 20% by mass to 80% by mass, and more preferably 30% by mass with respect to the total solid content.
  • the content is particularly preferably 70% by mass or less. In this range, the adhesion and removability of the cured product are improved.
  • the “solid content” means a component excluding volatile components such as a solvent.
  • the content of the polymer or oligomer having no amino group is 90% by mass with respect to the total polymer or oligomer. % Or less, more preferably 80% by mass or less, and still more preferably 70% by mass or less.
  • the polymer or oligomer having no amino group is not particularly limited, and is an acrylic polymer or oligomer, a urethane polymer or oligomer, a cellulose polymer or oligomer, an ester polymer or oligomer, an amide polymer or oligomer, a vinyl polymer or Known polymers or oligomers such as oligomers, ether polymers or oligomers, styrene polymers or oligomers, carbonate polymers or oligomers, urea polymers or oligomers, ethylene polymers or oligomers are used.
  • the polymer or oligomer having the structure represented by the above formula 1 is preferable, and the acrylic polymer or oligomer having the structure represented by the above formula 1, urethane polymer or More preferred are oligomers, ester polymers or oligomers, amide polymers or oligomers, vinyl polymers or oligomers, ether polymers or oligomers, carbonate polymers or oligomers, urea polymers or oligomers, ethylene polymers or oligomers.
  • urethane-based polymers or oligomers having a structure represented by the formula More preferred are urethane-based polymers or oligomers having a structure represented by the formula, amide-based polymers or oligomers, urea-based polymers or oligomers, and urethane-based polymers or oligomers having the structure represented by the above formula 1 are particularly preferred. Preferred.
  • acrylic polymer or oligomer examples include known acrylic acid derivatives (for example, acrylic esters such as methyl acrylate and ethyl acrylate, acrylic amides such as acrylamide and acryloylmorpholine), and methacrylic acid derivatives (for example, methyl methacrylate, Any polymer can be suitably used as long as it is a polymer obtained by polymerizing a methacrylic acid ester such as ethyl methacrylate, or a methacrylic acid amide such as methacrylamide or isopropylamide. However, it is not limited to these examples.
  • acrylic acid derivatives for example, acrylic esters such as methyl acrylate and ethyl acrylate, acrylic amides such as acrylamide and acryloylmorpholine
  • methacrylic acid derivatives for example, methyl methacrylate
  • Any polymer can be suitably used as long as it is a polymer obtained by polymerizing a methacrylic acid ester such as
  • urethane polymer or oligomer examples include known polyisocyanate compounds (for example, tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, etc.) and known polyol compounds (for example, alkylene diols such as butanediol and hexanediol, bisphenol A (2,2-bis).
  • known polyisocyanate compounds for example, tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, etc.
  • polyol compounds for example, alkylene diols such as butanediol and hexanediol, bisphenol A (2,2-bis).
  • (4-hydroxyphenyl) propane bisphenol F (bis (4-hydroxyphenyl) methane), arylene diols such as bisphenol S (bis (4-hydroxyphenyl) sulfone), polyether diols such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, Polyester diol such as polyethylene glycol terephthalate, polycarbonate diol such as polyethylene glycol carbonate, etc.) Both can be preferably used. However, it is not limited to these examples.
  • cellulose polymer known celluloses such as carboxymethyl cellulose, nitrocellulose, and triacetyl cellulose can be preferably used. However, it is not limited to these examples.
  • ester polymer any polyester comprising a known polycarboxylic acid compound (for example, succinic acid, adipic acid, phthalic acid, etc.) and a known polyol compound can be suitably used.
  • polyesters composed of hydroxycarboxylic acid compounds such as polylactic acid can also be suitably used. However, it is not limited to these examples.
  • any polyamide can be suitably used as long as it is a polyamide comprising a known polycarboxylic acid compound and a known polyamine compound (for example, ethylenediamine, phenylenediamine, etc.).
  • polyamine compound for example, ethylenediamine, phenylenediamine, etc.
  • polyamino acids which are proteins composed of amino acids, can also be preferably used.
  • the vinyl polymer any vinyl polymer obtained by polymerizing a known vinyl compound (for example, vinyl acetate, vinyl chloride, butadiene, etc.) can be preferably used. However, it is not limited to these examples.
  • any polyether for example, polyethylene glycol, polypropylene glycol, etc.
  • a known polyol compound for example, polyethylene glycol, polypropylene glycol, etc.
  • the styrenic polymer any polystyrene made of a known styrene compound (for example, styrene, 4-carboxystyrene, 4-acetoxystyrene, etc.) can be suitably used. However, it is not limited to these examples.
  • any polycarbonate can be suitably used as long as it is a polycarbonate comprising a known carbonic acid derivative (for example, phosgene, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, etc.) and a known polyol compound.
  • a known carbonic acid derivative for example, phosgene, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, etc.
  • a known polyol compound for example, phosgene, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, etc.
  • the urea polymer any polyurea composed of a known polyisocyanate compound and a known polyamine compound can be suitably used.
  • Component A used in the present invention may have a radical polymerizable group (eg, (meth) acrylate group, (meth) acrylamide group, etc.) in the molecule.
  • Component B Radical polymerizable monomer
  • the curable composition of the present invention contains a radical polymerizable monomer as Component B.
  • the radical polymerizable monomer any compound having an ethylenically unsaturated double bond capable of radical polymerization can be suitably used.
  • the component B has a molecular weight (weight average molecular weight in the case of molecular weight distribution) of less than 1,000, preferably 50 to 950, more preferably 60 to 900, and 70 to More preferably, it is 850.
  • One of the radical polymerizable monomers used in the present invention is a radical polymerizable monomer having an amino group.
  • the amino group may be any of primary, secondary, and tertiary amino groups, but is preferably a tertiary amino group from the viewpoint of temporal stability of the radical polymerizable monomer, adhesion, and removability.
  • the tertiary amino group is preferably a group represented by the following formula 2 or formula 3.
  • R 1 and R 2 are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or a heterocyclic group having 10 or less carbon atoms.
  • L 1 represents a single bond or a divalent linking group, and at least two selected from the group consisting of R 1 , R 2 , and L 1 may be linked together to form a ring, Represents a bonding position with another structure.
  • R 3 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or a heterocyclic group having 10 or less carbon atoms
  • L 2 and L 3 each independently represents a single bond or a divalent linking group, and at least two selected from the group consisting of R 3 , L 2 and L 3 may be connected to each other to form a ring; Represents a bonding position with another structure.
  • R 1 and R 2 in Formula 2 from the viewpoint of balance between the solubility and water resistance to the removing solution, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, 6 to 9 carbon atoms
  • An aryl group preferably a heterocyclic group having 9 or less carbon atoms, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aryl group having 6 to 8 carbon atoms, or a heterocyclic group having 8 or less carbon atoms.
  • a cyclic group more preferably an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms, an aryl group having 6 to 7 carbon atoms, or a heterocyclic group having 7 or less carbon atoms.
  • the alkyl group and alkenyl group may be linear, branched or cyclic, and are preferably linear or branched, and more preferably linear.
  • Examples of the aryl group include those having a single ring structure, those in which 1 to 2 benzene rings form a condensed ring, and those in which a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring form a condensed ring. .
  • the heterocyclic group may be an aromatic heterocyclic group or a non-aromatic heterocyclic group, and an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom is preferable as a hetero atom.
  • L 1 in Formula 2 include a single bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms (which may have a substituent, and part of the carbon atoms may be replaced with a hetero atom), carbon number 1-20 arylene groups (which may have a substituent, and some carbon atoms may be replaced by heteroatoms), single bond, alkylene group having 1-20 carbon atoms, carbon number It is preferably a oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms, An alkylene group having 1 to 20 carbon atoms is particularly preferable, and an alkylene group having 1 to
  • R 3 in Formula 3 from the viewpoint of balance between the solubility and water resistance to the removing solution, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 9 carbon atoms, It is preferably a heterocyclic group having 9 or less carbon atoms, such as an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aryl group having 6 to 8 carbon atoms, or a heterocyclic group having 8 or less carbon atoms.
  • alkyl group having 1 to 2 carbon atoms More preferably, it is an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms, an aryl group having 6 to 7 carbon atoms, or a heterocyclic group having 7 or less carbon atoms.
  • the alkyl group and alkenyl group may be linear, branched or cyclic, and are preferably linear or branched, and more preferably linear.
  • the aryl group include those having a single ring structure, those in which 1 to 2 benzene rings form a condensed ring, and those in which a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring form a condensed ring. .
  • the heterocyclic group may be an aromatic heterocyclic group or a non-aromatic heterocyclic group, and an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom is preferable as a hetero atom.
  • L 2 and L 3 in Formula 3 a single bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms (may have a substituent, may be a part of carbon atoms are replaced with a heteroatom)
  • An arylene group having 1 to 20 carbon atoms (which may have a substituent, and part of carbon atoms may be replaced by a hetero atom), a single bond, and an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms
  • an oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms or a polyoxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms.
  • alkylene group having 1 to 20 carbon atoms More preferred is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, and particularly preferred is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms.
  • R 3 , L 2 , and L 3 may be connected to each other to form a ring.
  • Component B having an amino group may be a compound having an ethylenically unsaturated group capable of radical polymerization with another structural part to which the wavy line part in Formula 2 is linked, or another structural part to which the wavy line part in Formula 3 is linked.
  • a compound having at least one radically polymerizable ethylenically unsaturated group is preferred.
  • radical polymerizable monomers having an amino group a radical polymerizable monomer having a structure represented by the following formula 1 is more preferable. By having this structure, the removability with a removal liquid and adhesiveness are especially excellent.
  • a wavy line portion represents a coupling position with another structure.
  • the structure represented by Formula 1 includes a urethane bond (—NH—C ( ⁇ O) —O—), an amide bond (—C ( ⁇ O) —NH—), a urea bond (—NH—).
  • C ( ⁇ O) —NH—) is preferable, and Component B preferably has at least one selected from the group consisting of a urethane bond, a urea bond, and an amide bond, and more preferably than a urethane bond and an amide bond. More preferably, it has at least one selected from the group consisting of:
  • component B has the structure represented by formula 1, it is estimated that the removability is improved by interacting with the hydroxyl group of component b contained in the removal liquid.
  • the structure represented by Formula 1 and a hydroxyl group show the interaction shown in the following Formula a.
  • radically polymerizable monomer having an amino group used in the present invention examples include 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 3-dimethylaminopropyl (meth) acrylamide, 2-diethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, Diethylaminoethyl (meth) acrylamide, 4-dimethylaminomethylstyrene, N-butylbis (2- (meth) acryloyloxyethyl) amine, 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidine (meth) acrylate, etc. Is mentioned. However, the present invention is not limited to these.
  • component B used in the present invention is a radical polymerizable monomer having no amino group.
  • Specific examples of the radical polymerizable monomer having no amino group include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) ) Monofunctional (meth) acrylic esters such as acrylate, monofunctional (meth) acrylic amides such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylamide, isopropylacrylamide, morpholine acrylamide, ethylene glycol di (meth) acrylate, tri Ethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (Meth) acrylate
  • the content of Component B in the curable composition of the present invention is preferably 10% by mass to 90% by mass, more preferably 20% by mass to 80% by mass, and more preferably 30% by mass to 70% by mass with respect to the total solid content. A mass% or less is more preferable. Within this range, the adhesion and removability of the cured product are improved.
  • the curable composition used in the present invention it is particularly preferable that at least one selected from the group consisting of Component A and Component B has an amino group, and Component A has an amino group.
  • component A has an amino group, the cured product is excellent in adhesion and removability to the object.
  • Component C Polymerization initiator
  • the curable composition of the present invention contains a polymerization initiator as Component C.
  • the polymerization initiator may be a photopolymerization initiator, a thermal polymerization initiator, or a combination of both.
  • any known photopolymerization initiator or thermal polymerization initiator can be suitably used.
  • the curing time is short, it is possible to use a photopolymerization initiator. preferable.
  • Specific examples of the photopolymerization initiator and the thermal polymerization initiator are shown below, but the present invention is not limited thereto. In the following description, for example, a description such as “benzophenone derivative” means “benzophenone and its derivatives” and the like.
  • Acetophenone derivatives for example, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (also referred to as benzyldimethyl ketal), 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4′-isopropyl-2-hydroxy -2-Methylpropiophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane -1-one, benzoin, benzoin methyl ether, etc.); Benzophenone derivatives (eg, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, etc.); Anthraquinone derivatives (eg, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-
  • the photopolymerization initiator can be appropriately selected according to the wavelength of light emitted from the light source used for exposure, but acetophenone derivatives, benzophenone derivatives, thioxanthone derivatives, phosphine oxide derivatives, metallocene derivatives, and lophine dimer derivatives are preferable.
  • An acetophenone derivative, a benzophenone derivative, a thioxanthone derivative, and a phosphine oxide derivative are more preferable.
  • These initiators may be used alone or in a mixture of two or more.
  • the content of component C in the curable composition of the present invention is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less, and 0.5% by mass or more and 15% by mass or less with respect to the total mass of component A and component B. More preferably, 1% by mass or more and 10% by mass or less is particularly preferable. In this range, the adhesion and removability of the cured product are improved.
  • Component D Other components A known compound can be added to the curable composition of the present invention, if necessary, in addition to the above components. Specifically, sensitizing dyes, organic solvents, polymerization inhibitors, pigments, dyes, fragrances, UV absorbers, antioxidants, fillers, various elastomers, plasticizers, thickeners, thixotropic agents, silane couplings And additives such as an agent, a titanate coupling agent, a chelating agent, a flame retardant, and a surfactant.
  • the curable composition of this invention can be manufactured by mixing by a well-known method using said component.
  • the curable composition of the present invention can be applied to various uses, and examples thereof include, but are not limited to, paints, adhesives, resists, printing plates and the like. Any of these applications may require removal after use, and can be applied to various applications that require removal of a cured product after use.
  • the remover of the present invention contains, as component a, a compound having an acid group in the molecule, as component b, a compound having a hydroxyl group in the molecule, and as component c, water.
  • the removal liquid of the present invention is an aqueous solution and contains water as a main component.
  • Component a Compound having an acid group in the molecule
  • the removal liquid of the present invention contains a compound having an acid group in the molecule as the component a.
  • the component a used in the present invention any of known organic acids and inorganic acids can be used.
  • the organic acid carboxylic acid, sulfonic acid, phosphoric acid ester and phosphonic acid are preferable, carboxylic acid having 1 to 10 carbon atoms, sulfonic acid, phosphoric acid ester and phosphonic acid are more preferable, and carboxylic acid having 1 to 8 carbon atoms.
  • sulfonic acid, phosphoric acid ester and phosphonic acid are more preferable, and carboxylic acid having 1 to 8 carbon atoms and sulfonic acid are particularly preferable.
  • organic acids include acetic acid, malic acid, lactic acid, citric acid, benzoic acid, adipic acid, tartaric acid, glycolic acid, salicylic acid, methanesulfonic acid, toluenesulfonic acid, camphorsulfonic acid, methylphosphonic acid, phytic acid, and the like.
  • the inorganic acid include hydrochloric acid, odorous acid, sulfuric acid, sodium hydrogen sulfate, nitric acid, phosphoric acid and the like.
  • the component a is preferably an organic acid, and more preferably a carboxylic acid.
  • component a only one type may be used, or two or more types may be mixed and used.
  • the content of component a in the removal liquid of the present invention is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or more and 15% by mass or less, and further preferably 1% by mass or more and 10% by mass or less. preferable. Within this range, the removability of the cured product becomes good.
  • Component b Compound having a hydroxyl group in the molecule
  • the removal liquid of the present invention contains a compound having a hydroxyl group in the molecule as the component b.
  • numerator and has a hydroxyl group shall correspond to the component a.
  • the compound having an acid group in the molecule and a hydroxyl group include hydroxy acids (for example, citric acid, malic acid, lactic acid, etc.), which are component a.
  • any known water-soluble alkyl alcohol compounds and water-soluble aryl alcohol compounds (phenols) can be preferably used.
  • a water-soluble alkyl alcohol compound having a hydroxyl value of 9 mol / g or more is preferable, a water-soluble alkyl alcohol compound having a hydroxyl value of 10 mmol / g or more is more preferable, and a water-soluble alkyl alcohol compound having a hydroxyl value of 11 mmol / g or more is preferable. Is more preferable, and a water-soluble alkyl alcohol compound having a concentration of 12 mmol / g or more is particularly preferable.
  • the removability is particularly good.
  • water-soluble alkyl alcohol compound examples include methanol, ethanol, propanol, isopropyl alcohol, butanol, isobutyl alcohol, t-butyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, 1,4-butanediol, Examples include 1,3-butanediol, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, glycerol, inositol, sorbitol, glucose, sucrose and the like. However, the present invention is not limited to these.
  • Component b preferably has a molecular weight of 32 to 2,000.
  • the molecular weight is more preferably 1,500 or less, still more preferably 1,000 or less, and particularly preferably 500 or less.
  • component b is preferably exemplified by a compound in which an aliphatic hydrocarbon having 1 to 20 carbon atoms is substituted with 1 to 6 hydroxyl groups.
  • the aliphatic hydrocarbon is preferably a saturated aliphatic hydrocarbon, and may have an ether bond in the carbon chain.
  • the aliphatic hydrocarbon may be linear, branched or cyclic.
  • the number of carbon atoms is preferably 1-20, more preferably 1-16, even more preferably 1-8, particularly preferably 1-6, and preferably 1-5. Most preferred.
  • Component b may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of component b in the removal liquid of the present invention is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or more and 15% by mass or less, and further preferably 1% by mass or more and 10% by mass or less. preferable. Within this range, the removability of the cured product is further improved.
  • the removal liquid of the present invention is an aqueous solution and contains water as a main component as component c.
  • water there is no restriction
  • the content of water in the removal liquid is not particularly limited, but is preferably 60 to 99.8% by mass, more preferably 70 to 99% by mass, based on the total mass of the removal liquid. More preferably, it is -98 mass%.
  • the removal liquid of the present invention may contain other components as necessary in addition to the above components.
  • ⁇ Acid salt> The removal solution of the present invention is preferably added with an acid salt to make a buffer solution so that the pH does not fluctuate due to external factors such as aging, dilution or concentration of the solution.
  • a method of coexisting the salt of the above acid component preferably a sodium salt (sodium citrate, sodium gluconate, sodium carbonate, sodium phosphate, etc.) with an acid can be mentioned. It is not limited.
  • the removal liquid of the present invention can be produced by mixing the above components by a known method.
  • the pH of the removal liquid of the present invention is preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1.5 or more and 5 or less, and still more preferably 2 or more and 4 or less at 25 ° C. Within this range, the removal of the cured product becomes better and the workability becomes better.
  • the removal liquid of the present invention may be a concentrated liquid from the viewpoints of cost, transportability, and storability, and may be an embodiment in which the concentrated liquid is diluted with water or the like when used. Moreover, you may mix each raw material powder and each stock solution just before using a removal liquid. In addition, preferable content of said each component means content at the time of use.
  • the removal method of the present invention comprises a compound having an acid group in the molecule as the component a, a compound having a hydroxyl group in the molecule as the component b, and a component c.
  • the cured product includes a polymer or an oligomer, a component B, a radical polymerizable monomer, a component C, a polymerization initiator, A cured product formed on the object by applying a curable composition having at least one amino group selected from the group consisting of component A and component B to the object, and irradiation with light and / or heating It is characterized by being.
  • the shape of the object to which the curable composition used in the present invention is applied may be any shape such as a sheet shape, a plate shape, and a three-dimensional structure.
  • a material it can apply to well-known materials, such as a metal, wood, a plastics, a fiber, paper, a mineral, a rock, cement, glass.
  • the method for applying the curable composition used in the present invention to an object is not particularly limited and may be performed by a known method, but a method using a brush or a brush, spray coating, ink jet coating, and the like. , Bar coater coating, spin coating, curtain coating, dip coating, air knife coating, blade coating, roll coating and the like.
  • the coating thickness of the curable composition used in the present invention on the object varies depending on the application, but is preferably 1 nm to 1 mm, more preferably 10 nm to 0.5 mm, and particularly preferably 100 nm to 0.25 mm. Within this range, better adhesion and removability are realized.
  • Light irradiation method There is no restriction
  • a well-known light source For example, sunlight, a high pressure mercury lamp, a fluorescent lamp, a UV lamp, an LED lamp, A known light irradiation method using an LED laser or the like (for example, full surface exposure, scanning exposure, etc.) can be used.
  • the light irradiation time is not particularly limited as long as the curable composition is cured.
  • the method of heating after applying the curable composition used in the present invention to an object is not particularly limited, and a known heating method (a method of leaving it in a heated air current, a heater, an infrared lamp (IR lamp), etc.) Examples thereof include a method of heating with a heating means, a method of heating with a hot plate or an oven, and the like.
  • the heating temperature is not particularly limited, but is preferably 50 to 250 ° C, more preferably 75 to 225 ° C, and particularly preferably 100 to 200 ° C.
  • the heating time is not particularly limited, but is preferably 10 seconds to 120 minutes, more preferably 30 seconds to 90 minutes, and further preferably 1 minute to 60 minutes. The heating time and the heating temperature can be appropriately set within a range where the curable composition is cured.
  • the above method can be repeated.
  • the curable composition used for the removal method of this invention as an adhesive agent, after applying a curable composition to a target object, the method of light-irradiating or heating after overlapping the target object to adhere
  • the removal method of the present invention includes a contact step of bringing an object having the cured product of the curable composition of the present invention into contact with the removal liquid. Moreover, it is preferable to apply external force to the edge part of hardened
  • the necessary amount of the removing liquid can be appropriately changed according to the amount of the cured product and the contact method.
  • the method of bringing the removal liquid into contact with the object having a cured product is not particularly limited, and the object may be directly immersed in the removal liquid, or the object may be immersed in cotton or the like moistened with the removal liquid. It may be wrapped or sprayed with a sprayer or shower. However, it is not limited to these examples.
  • the contact time is not particularly limited and may be a time that allows the cured product of the curable composition to be removed, but is preferably 0.1 to 120 minutes, more preferably 0.5 to 90 minutes, and 1 to More preferred is 60 minutes.
  • the removal method of the present invention includes a scratching step of scratching the cured product before the contact step in order to facilitate the penetration of the removal liquid into the layer of the cured product formed of the curable composition. It is preferable.
  • the scratching step is preferably a step of scratching the surface of the cured product on the object and / or the end cross-sectional portion of the object.
  • the tool for scratching is not particularly limited, but a file, a cutter, a chisel, a sword, a knife, a beam, a cone, scissors, a nipper and the like can be suitably used. A method of scratching will be described with reference to FIG. FIG.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a scratching process for a cured product 2 formed on an object 1.
  • FIG. 1A shows an untreated state, and a cured product 2 is formed on the object 1.
  • a number of scratches are made on the surface of the cured product with a file (FIG. 1 (B))
  • a cut is made in the cured product with a cutter or the like (FIG. 1 (C))
  • the cured product and target The end of the object is polished with a file or cut with scissors so that the end of the cured product protrudes beyond the end of the object (FIG. 1 (D)). It is not limited to these.
  • FIG. 1D is a cross-sectional view of the object 1 and the cured product 2.
  • the cured object is cut in a lattice shape with a cutter or the like (FIG. 1C), and the edge of the object is polished with a file or cut with scissors.
  • the method of scratching the cured product so that the end of the cured product protrudes is particularly preferable in order to form a base point for peeling.
  • the peeling process which applies external force to hardened
  • a stick wood, metal, etc.
  • Can be picked up tweezers, tweezers, pliers, fingers, etc.
  • the tape is bonded, and then the tape is pulled up.
  • the removal solution is preferably used at 15 to 55 ° C., and the removal solution is preferably heated to a level that does not impair safety, from the viewpoint of increasing the removal rate.
  • the temperature of the removal liquid is more preferably 20 to 50 ° C., and further preferably 25 to 45 ° C.
  • polymers used in the examples are as follows.
  • Polymer having amino group-1 polycarbonate diol composed of isophorone diisocyanate, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol (weight average molecular weight: 2, 000) and methanol (P-1) synthesized from methanol -Polymer having amino group-2: from isophorone diisocyanate, N-butyldiethanolamine, polycarbonate diol (weight average molecular weight: 2,000) composed of 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol, and methanol Synthetic polyurethane (P-2) Polymer having amino group-3: Polyurea synthesized from isophorone diisocyanate, 3,3-diamino-N-methyldipropylamine, polypropylene glycol diamine (weight average molecular weight: 2,000), and morph
  • Urethane-modified (meth) acrylate-1 Isophorone A commercially available product having a weight average molecular weight of 5,000, comprising diisocyanate, polycarbonate diol composed of 1,5-pentanediol and 1,6-hexanediol, and 2-hydroxyethyl acrylate was used.
  • Urethane-modified (meth) acrylate-2 containing isophorone diisocyanate as polyisocyanate, containing polyester polyol composed of polybutylene glycol, butylene glycol and adipic acid as a polyol in a ratio of 10: 1 (mass ratio), and containing hydroxyl groups
  • P-1 to P-9 are shown in the following table. In the table, “-” means that the component is not used.
  • IPDI isophorone diisocyanate
  • HDI hexamethylene diisocyanate
  • MDI bis (4-isocyanatophenyl) methane
  • Diol-1 3-dimethylamino-1,2-propanediol
  • Diol-2 1,5-pentanediol
  • Diol-3 N-butyldiethanolamine
  • Diol-4 1,5-pentanediol
  • Diol-6 Polypropylene glycol (Mw: 1,000)
  • Diol-7 3-diethylamino-1,2-propanediol
  • Diol-8 1,4-butanediol
  • Diamin-1 3,3-diamino-N-methyldipropylamine
  • Diamine-2 polypropylene glycol diamine (Mw: 2,000)
  • ADPA adipic acid dichlor
  • the photocurable composition was screen-printed on an aluminum circuit board with a coating film thickness of 15 ⁇ m. Thereafter, irradiation with a metal halide lamp was performed for 25 seconds to reach 2,300 mJ / cm 2, and then surface tack was observed to measure curability. The case where there was no tack was set as 1, the case where tack was present was set as 2, and the case where no tack was set was set as 3. If the evaluation is 1, there is no practical problem.
  • a photocurable composition is applied to the surface and the cured aluminum circuit board is immersed in an etching solution composed of a 10% aqueous sodium hydroxide solution at 70 ° C. for 3 minutes to prevent the photocurable composition from peeling or floating. Observed. The case where there was no peeling or lifting was set as 1, the case where there was lifting was set as 2, and the case where peeling was set was set as 3. If the evaluation is 1, there is no practical problem.
  • the removal liquid used in the examples is shown in the following table.
  • surface represents the compounding quantity (mass part) of each component.
  • the removal liquid of the present invention is excellent in removability as compared with the conventional removal liquid.
  • the removal method of the present invention is remarkably excellent only in the case of using a specific curable composition and a specific removal liquid.
  • the removal method of the present invention provides particularly remarkable removability in a removing solution containing a specific alcohol compound.
  • Example 23 After the photocurable composition used in Example 1 described above was applied by brushing (thickness: about 100 ⁇ m) to an end 3 cm ⁇ 3 cm region on a 3 cm ⁇ 6 cm aluminum substrate, a PET film of 3 cm ⁇ 6 cm Were aligned so that 3 cm ⁇ 3 cm overlapped, and the entire surface was exposed from the side of the PET film stacked with a high-pressure mercury lamp. The exposure amount was 2,000 mJ / cm 2 . The protruding part of the overlapped PET film was grasped with a finger, and the aluminum substrate was fixed and peeled off. As a result, no peeling occurred.
  • the PET film was peeled off in the same manner.
  • the cured product of the curable composition remaining on the aluminum substrate after peeling the PET film is pressed with a spatula-shaped metal spatula as it is in the removal solution, the cured product of the curable composition is detached from the aluminum substrate. did.
  • the adhesive having a strong adhesive force can be easily peeled off by using the removing method of the present invention.
  • Example 24 After apply
  • the above phthalocyanine pigment dispersion was prepared as follows.
  • Pigment Blue 15: 6 (15 parts by mass), allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization molar ratio 80/20, weight average molecular weight 40,000) (10 parts by mass), cyclohexanone (15 parts by mass), methoxypropyl acetate (20 parts by mass) and propylene glycol monomethyl ether (40 parts by mass) were mixed and prepared.
  • thermosetting composition, temporary adhesive having the composition shown in Table 8 below was applied to a 4-inch Si wafer with a spin coater (Opticaat MS-A100, 1200 rpm, 30 seconds, manufactured by Mikasa), and then 80
  • the wafer 1 (that is, an adhesive support) provided with an adhesive layer having a thickness of 100 ⁇ m was formed by baking at 30 ° C. for 30 seconds.
  • a test piece was produced by heating at 150 ° C. for 1 hour.

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Abstract

　本発明の目的は、対象物に対して強固な密着力を発現する特定の硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液、及び、上記除去液を用いた除去方法を提供することである。　本発明の除去液は、硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液であり、上記硬化性組成物が、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤と、を含み、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有し、上記除去液が、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水とを含有することを特徴とする。

Description

除去液及び除去方法
　本発明は、特定の硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液、及びそれを用いた硬化物の除去方法に関する。
　硬化性組成物は、接着剤や塗料等に広く用いられている。従来、これらの硬化性組成物を用いた接着剤や塗料等は、適用されたら劣化するまでそのまま使い続けられるものであった。例えばプラモデル用接着剤であれば、プラモデル作製時に接着した後はそのまま部材同士を接着し続ける。そのため、硬化性組成物の開発の焦点は、接着力等の性能の耐久性を上げることや、少ないエネルギーで効果的に硬化する高感度化に注がれてきた。
　近年、環境に対する負荷低減から、各種製品のリサイクルが行われている。製品をリサイクルする場合、接着剤や塗料等は速やかに剥がれることが好ましいが、従来の接着剤や塗料では速やかに剥離することは困難である。このように、従来の硬化性組成物における耐久力、感度を維持したまま、除去したいときに除去する要求が存在する。
　また、ＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造プロセスにおいては、ＩＣチップ内の集積回路を多層化することにより、シリコン基板の単位面積当たりの集積度を向上させる技術が知られている。多層化によるＩＣチップの厚み増大を防ぐため、シリコン基板の薄型化が検討されている。薄型化の方法としては、表面にデバイスが設けられた薄型化前の半導体ウエハ（厚さ約７００～９００μｍ）と加工用支持基板とをシリコン粘着剤により仮接着し、半導体ウエハの裏面を研削して薄型化（約２００μｍ）した後に、半導体ウエハを穿孔してシリコン貫通電極を設け、その後、半導体ウエハから加工用支持基板を脱離させる技術が知られている（特許文献１参照）。本領域においては、その他にも支持層システムと分離層との間の接着結合を、ウエハと分離層との間の接合結合より大きくなるよう調整した接着技術（特許文献２参照）、ポリエーテルスルホンと粘性付与剤を使用して仮接着を行い、加熱により仮接着を解除する技術（特許文献３参照）、カルボン酸類とアミン類からなる混合物により仮接着を行い、加熱により仮接着を解除する技術（特許文献４参照）、セルロースポリマー類等からなる接合層を加温した状態で、デバイスウエハと支持基板を圧着することで接着させて、加温して横方向にスライドすることによりデバイスウエハを支持基板から脱離する技術（特許文献５参照）、シンジオタクチック１，２－ポリブタジエンと光重合開始剤からなり、放射線の照射により接着力が変化する技術（特許文献６参照）、ポリカーボネート類からなる接着剤により、支持基板と半導体ウエハとを仮接着し、半導体ウエハに対して処理を行った後、照射線を照射し、次いで、加熱することにより、処理済の半導体ウエハを支持基板から脱離する技術（特許文献７参照）、側鎖にエネルギー線重合性不飽和基を有するエネルギー線硬化型共重合体と、エポキシ樹脂と、熱活性型潜在性エポキシ樹脂硬化剤とからなる粘接着剤組成物から形成されている粘接着層からなり、放射線の照射により接着力が変化する粘接着テープ（特許文献８参照）、スチレン、環式骨格含有（メタ）アクリル酸エステルモノマー、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとからなるアクリル系ポリマーを主成分とする接着剤組成物（特許文献９参照）が知られている。
　特許文献１０には、（ａ）ウレタン変性（メタ）アクリレートと（ｂ）分子内にアミノ基を有する（メタ）アクリレートを含有してなる硬化性樹脂組成物が、光により硬化してレジストを形成し、上記レジストが酸性水溶液で除去できることが記載されている。
　特許文献１１には、支持体上に、（Ａ）主鎖及び／又は側鎖に少なくとも１つの正に荷電した窒素原子及び少なくとも１つのアミノ基を有するバインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）重合開始剤、を含有する感光層を有する感光性組成物を用いた平版印刷版、及びその現像液としてｐＨ２．５～６．０のアルコールを含んでもよい水溶液が記載されている。
特開２０１１－１１９４２７号公報 特表２００９－５２８６８８号公報 特開２０１１－２２５８１４号公報 特開２０１１－０５２１４２号公報 特表２０１０－５０６４０６号公報 特開２００７－０４５９３９号公報 米国特許公開２０１１／０３１８９３８号明細書 特開平８－５３６５５号公報 特開２００７－１１９６４６号公報 特開２００２－１７３５１５号公報 特開２００９－２３７１７４号公報
　本発明は、上記背景を鑑みてなされたものであり、その目的は、対象物に対して強固な密着力を発現する特定の硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液、及び、上記除去液を用いた除去方法を提供することである。
　本発明の上記課題は、以下の＜１＞又は＜７＞に記載の手段により解決された。好ましい実施態様である＜２＞～＜６＞、及び、＜８＞～＜１０＞と共に以下に記載する。
　＜１＞　硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液であり、上記硬化性組成物が、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤と、を含み、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有し、上記除去液が、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水とを含有することを特徴とする除去液、
　＜２＞　成分ａが酸基としてカルボキシ基を有する化合物を含有する、＜１＞に記載の除去液、
　＜３＞　成分ｂが、水酸基価が９ｍｍｏｌ／ｇ以上である化合物を含有する、＜１＞又は＜２＞に記載の除去液、
　＜４＞　除去液のｐＨが４以下である、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の除去液、
　＜５＞　成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つが下記式１で表される基を有する、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の除去液、
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　＜６＞　成分Ａがアミノ基を有する、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の除去液、
　＜７＞　硬化物を備えた対象物を、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の除去液に接触させる接触工程を含む、硬化物の除去方法、
　＜８＞　硬化物に外力を加えて硬化物を対象物から剥離する剥離工程を含む、＜７＞に記載の除去方法、
　＜９＞　接触工程の前に、硬化物に傷を付ける傷付け工程を含む、＜７＞又は＜８＞に記載の除去方法、
　＜１０＞　除去液の温度が１５～５５℃である、＜７＞～＜９＞のいずれか１つに記載の除去方法。
　本発明によれば、対象物に対して強固な密着力を発現する特定の硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液、及び、上記除去液を用いた除去方法が提供される。
本発明の除去方法における傷付け工程を示す概略図である。
　以下、本発明について詳細に説明する。
　なお、本明細書中、「ｘｘ～ｙｙ」の記載は、ｘｘ及びｙｙを含む数値範囲を表す。また、成分Ａとして含有する「ポリマー又はオリゴマー」等を、単に「成分Ａ」等ともいう。
　また、本発明において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
　本明細書中、式で表される化合物における基の表記に関して、置換あるいは無置換を記していない場合、当該基が更に置換基を有することが可能な場合には、他に特に規定がない限り、無置換の基のみならず置換基を有する基も包含する。例えば、式の説明において、「Ｒはアルキル基、アリール基又は複素環基を表す」との記載があれば、「Ｒは無置換アルキル基、置換アルキル基、無置換アリール基、置換アリール基、無置換複素環基又は置換複素環基を表す」ことを意味する。また、本明細書中、（メタ）アクリルは、アクリルとメタクリルとを共に含む概念を表し、（メタ）アクリレート等についても同様である。
　また、本明細書におけるポリマーには、コポリマーを含むものとする。
　本発明において、２以上の好ましい態様の組み合わせはより好ましい。
１．除去液
　本発明の除去液は、硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液であり、上記硬化性組成物が、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤と、を含み、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有し、上記除去液が、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水とを含有することを特徴とする。
　デバイスが設けられた半導体ウエハの表面（すなわち、デバイスウエハのデバイス面）と支持基板（キャリア基板）とを、特許文献１等で知られている粘着剤からなる層を介して仮接着する場合には、半導体ウエハを安定的に支持するべく、粘着剤層には一定の強さの粘着度が要求される。
　そのため、半導体ウエハのデバイス面の全面と支持基板とを粘着剤層を介して仮接着する場合においては、半導体ウエハと支持基板との仮接着を充分なものとし、半導体ウエハを安定的に、かつ、損傷を与えることなく支持しようとする程、反面、半導体ウエハと支持基板との仮接着が強すぎることにより、支持基板から半導体ウエハを脱離する際に、デバイスが破損したり、半導体ウエハからデバイスが脱離してしまうという不具合が生じやすい。
　また、特許文献２のように、ウエハと支持層システムとの接着が強くなりすぎることを抑制すべく、ウエハと支持層システムとの間に、分離層としてのプラズマポリマー層を、プラズマ堆積法により形成する方法は、（１）通常、プラズマ堆積法を実施するための設備コストは大きい；（２）プラズマ堆積法による層形成は、プラズマ装置内の真空化やモノマーの堆積に時間を要する；及び（３）プラズマポリマー層からなる分離層を設けても、加工に供されるウエハを支持する場合においては、ウエハと分離層との接着結合を充分なものとしながら、反面、ウエハの支持を解除する場合においては、ウエハが容易に分離層から脱離するような接着結合にコントロールすることは容易ではない；等の問題がある。
　また、特許文献３、４、及び、５に記載されているように、加熱により仮接着を解除する方法では、半導体ウエハを脱離する際にデバイスが破損する不具合が生じやすい。
　また、特許文献６、７、及び、８に記載されているように、照射線を照射して接着を解除する方法では、照射線を透過する支持基板を使用する必要がある。
　特許文献９記載のように環式骨格含有（メタ）アクリル酸エステルモノマーを重合してなる重合体を使用した接着剤は、接着性が不十分であった。
　更に、特許文献１０には、ウレタン変性（メタ）アクリレートがアミノ基を有する記載はなく、除去に用いられる酸性水溶液がアルコールを含むことも記載されていない。
　また、特許文献１１には、光が当たっていない未硬化部分を除去して平版印刷版の画像を形成することは記載されているが、光が照射されて硬化した部分を除去する方法については記載されていない。
　以上のように、十分な密着性を有しながら、除去の際には容易に除去が可能な硬化物の除去液及び硬化物の除去方法が求められていた。
　本発明者らは鋭意研究することにより、成分Ａ～成分Ｃを含有する硬化性組成物の硬化物が、成分ａ～成分ｃを含有する除去液により、容易に除去されることを見出し、本発明を完成させるに至った。その詳細な作用機構は不明であるが、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を含有することにより、成分ａを含有する除去液により膨潤又は溶解されると推定され、更に、除去液が成分ｂを含有することにより、除去性が促進されたものと推定される。
　以下、本発明について説明する。
（１）硬化性組成物
　以下、本発明の除去液の除去対象である、硬化物を形成するための硬化性組成物について説明する。
　本発明において使用される硬化性組成物（以下、本発明の硬化性組成物ともいう。）は、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤とを含む。本発明の硬化性組成物は、光及び／又は熱により硬化する組成物である。
　本発明の硬化性組成物から得られた硬化膜は、高い密着性を示し、かつ、本発明の除去液で容易に除去可能である。また、高温下（例えば、１００℃）においても高い接着力により被処理部材を仮支持できることが好ましく、また、高温でのプロセスを経た後においても、本発明の除去液によって、処理済部材（対象物）に損傷を与えることなく、処理済部材に対する仮支持を容易に（高い剥離性をもって）解除することができることが好ましい。
　本発明の硬化性組成物が含有する各種成分について詳述する。
成分Ａ：ポリマー又はオリゴマー
　本発明において、硬化性組成物は、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーを含有する。
　本発明に用いられる成分Ａの重量平均分子量は、１，０００以上であり、２，０００以上３００，０００以下であることが好ましく、３，０００以上２００，０００以下であることがより好ましく、４，０００以上１５０，０００以下であることが更に好ましく、５，０００以上１００，０００以下であることが特に好ましい。上記範囲内であると、得られる硬化物の密着性、除去性、及び経時安定性に優れる。
　なお、本発明において重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ法により測定され、標準ポリスチレン換算にて求められる。
　成分Ａの構造については、特に制限はなく、任意の構造であればよい。例えば、鎖状構造、枝分かれ（分岐）構造、星型構造、架橋構造、網状構造などが挙げられる。
　成分Ａの種類については、特に制限はなく、公知のポリマー種（ポリ（メタ）アクリル酸エステル、ポリ（メタ）アクリル酸アミド、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエーテル、ポリウレア、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリスチレン、ポリアルキレン、ポリビニル等）が使用できる。中でも、以下の式１で表される構造を有するポリマー又はオリゴマーであることが好ましく、式１で表される構造をポリマー主鎖中に有するポリマー又はオリゴマーであることが特に好ましい。本構造を有することにより、除去液での除去性と密着性が特に優れる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 波線部分は他の構造との結合位置を表す
　式１で表される構造は、具体的には、ウレタン結合（－ＮＨ－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－）、アミド結合（－Ｃ（＝Ｏ）－ＮＨ－）、ウレア結合（－ＮＨ－Ｃ（＝Ｏ）－ＮＨ－）であることが好ましく、成分Ａが主鎖中にウレタン結合及び／又はウレア結合を有することがより好ましく、ウレタン結合又はウレア結合を有することが更に好ましく、ウレタン結合を有することが特に好ましい。
　成分Ａが式１で表される構造を有すると、除去液が含有する成分ｂの水酸基と相互作用することにより、除去性が向上すると推定される。なお、式１で表される構造と、水酸基とは、以下の式ａに示す相互作用を示すと考えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
　本発明に用いられる成分Ａとしては、アミノ基を有することが好ましい。アミノ基としては、１級、２級、３級のいずれのアミノ基でもよいが、ポリマー又はオリゴマーの製造しやすさ、密着性と除去性、経時安定性の観点から、２級アミノ基又は３級アミノ基であることが好ましく、３級アミノ基であることがより好ましい。ポリマー又はオリゴマーにおける３級アミノ基の導入位置としては、側鎖、主鎖内部、主鎖末端のいずれでもよく、２種以上の位置に導入されていてもよい。
　３級アミノ基としては、以下の式２、又は、式３で示される基であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　式２中、Ｒ1及びＲ2はそれぞれ独立して、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数２～１０のアルケニル基、炭素数６～１０のアリール基、炭素数１０以下の複素環基を表し、Ｌ1は単結合又は２価の連結基を表し、Ｒ1、Ｒ2、及びＬ1よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよく、波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　式３中、Ｒ3は、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数２～１０のアルケニル基、炭素数６～１０のアリール基、炭素数１０以下の複素環基を表し、Ｌ2及びＬ3はそれぞれ独立して単結合又は２価の連結基を表し、Ｒ3、Ｌ2、及びＬ3よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよく、波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　式２におけるＲ1及びＲ2は、除去液への溶解性と耐水性とのバランスの観点から、炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基、炭素数６～９のアリール基、炭素数９以下の複素環基であることが好ましく、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルケニル基、炭素数６～８のアリール基、炭素数８以下の複素環基であることがより好ましく、炭素数１～２のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数６～７のアリール基、炭素数７以下の複素環基であることが更に好ましい。
　上記アルキル基及びアルケニル基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれでもよく、直鎖状又は分岐状であることが好ましく、直鎖状であることがより好ましい。
　上記アリール基は、単環構造のものに加え、１～２個のベンゼン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と５員不飽和環とが縮合環を形成したものなどを挙げることができる。
　上記複素環基は、芳香族ヘテロ環基であっても、芳香族ではないヘテロ環基であってもよく、ヘテロ原子として酸素原子、窒素原子、硫黄原子が好ましい。
　式２におけるＬ1の具体例としては、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、炭素数１～２０のアリーレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、が挙げられ、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基、炭素数２～２０のオキシアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが更に好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基であることが特に好ましく、炭素数１～１０のアルキレン基であることが最も好ましい。
　式２において、Ｒ1、Ｒ2、及びＬ1よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよい。
　式３におけるＲ3は、除去液への溶解性と耐水性とのバランスの観点から、炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基、炭素数６～９のアリール基、炭素数９以下の複素環基であることが好ましく、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルケニル基、炭素数６～８のアリール基、炭素数８以下の複素環基であることがより好ましく、炭素数１～２のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数６～７のアリール基、炭素数７以下の複素環基であることが更に好ましい。
　上記アルキル基及びアルケニル基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれでもよく、直鎖状又は分岐状であることが好ましく、直鎖状であることがより好ましい。
　上記アリール基は、単環構造のものに加え、１～２個のベンゼン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と５員不飽和環とが縮合環を形成したものなどを挙げることができる。
　上記複素環基は、芳香族ヘテロ環基であっても、芳香族ではないヘテロ環基であってもよく、ヘテロ原子として酸素原子、窒素原子、硫黄原子が好ましい。
　式３におけるＬ2及びＬ3の具体例としては、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、炭素数１～２０のアリーレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、が挙げられ、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基、炭素数２～２０のオキシアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることがより好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基であることが更に好ましく、炭素数１～１０のアルキレン基であることが特に好ましい。
　式３において、Ｒ3、Ｌ2、及びＬ3よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよい。
　成分Ａは、式２で表される基を側鎖に有するか、又は、式３で表される基を主鎖に有することが好ましい。すなわち、式２で表される基が、主鎖に結合しているか、又は、式３で表される基をモノマー単位として有することが好ましい。
　本発明に用いられるアミノ基を有するポリマー又はオリゴマーのアミン価は、０．１～１０ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましく、０．２５～９ｍｍｏｌ／ｇであることがより好ましく、０．５～８ｍｍｏｌ／ｇであることが更に好ましい。上記範囲であると、密着性と除去性により優れる。
　なお、アミン価の測定方法としては、例えば、試料をビーカーにはかりとり、酢酸を加え、撹拌して溶解させて、測定温度を２５℃に調整後、滴定試薬として０．１Ｎ過塩素酸酢酸溶液を用いて、滴定装置で滴定することにより、求めることができる。アミン価は、滴定した際に消費される過塩素酸の量を、試料（固形分）１ｇ当たりのモル数で表したものである。
　本発明に用いられる成分Ａ、特に、アミノ基を有するポリマー又はオリゴマーは、硬化物の対象物に対する密着性や、硬化物の耐水性、耐湿性、耐候性、及び除去性の観点から、イオン性基を持たないことが好ましい。当該イオン性基としては、カルボン酸塩基、スルホン酸塩基、リン酸塩基、ホスホン酸塩基等のアニオン性基、及び、アンモニウム基、アジニウム基、ジアゾニウム基、ホスホニウム基、スルホニウム基、ヨードニウム基等のカチオン性基が挙げられる。
　本発明に用いられる成分Ａは、ラジカル重合可能なエチレン性不飽和基を有していてもよい。
　本発明に用いられるポリマー又はオリゴマーは、公知の方法（例：ラジカル重合、重縮合等）により製造することができる。
　これらポリマー又はオリゴマーは、１種類のみを使用してもよいし、２種以上を混合して使用してもよい。
　本発明に用いられるアミノ基を有するポリマー又はオリゴマーの具体例を以下に示す。本発明はこれらに限定されるものではない。また、各ユニットの後に記載されている数字は、モル比を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
　表中の略称は、以下の通りである。
　ＩＰＤＩ：イソホロンジイソシアネート
　ＴＤＩ：トリレンジイソシアネート
　ＨＤＩ：ヘキサメチレンジイソシアネート
　ＭＤＩ：ビス（４－イソシアナトフェニル）メタン
　Ｄｉｏｌ－１：３－ジメチルアミノ－１，２－プロパンジオール
　Ｄｉｏｌ－２：１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（Ｍｗ：２，０００）
　Ｄｉｏｌ－３：Ｎ－ブチルジエタノールアミン
　Ｄｉｏｌ－４：１，５－ペンタンジオール
　Ｄｉｏｌ－５：ポリテトラブチレングリコール（Ｍｗ：２，０００）
　Ｄｉｏｌ－６：ポリプロピレングリコール（Ｍｗ：１，０００）
　Ｄｉｏｌ－７：３－ジエチルアミノ－１，２－プロパンジオール
　Ｄｉｏｌ－８：１，４－ブタンジオール
　Ｄｉａｍｉｎｅ－１：３，３－ジアミノ－Ｎ－メチルジプロピルアミン
　Ｄｉａｍｉｎｅ－２：ポリプロピレングリコールジアミン（Ｍｗ：２，０００）
　ＡＤＰＡ：アジピン酸ジクロリド
　ＤＭＡＰＡｍ：３－ジメチルアミノプロピルアクリルアミド
　ＣＨＡｍ：Ｎ－シクロヘキシルアクリルアミド
　ＤＭＡＥＭ：２－ジメチルアミノエチルメタクリレート
　ＢＭＡ：ｎ－ブチルメタクリレート
　ＨＥＭＡ：２－ヒドロキシエチルメタクリレート
　ＩＰＡ：２－ヒドロキシプロパン
　ＤＭＰＡ：３－ジメチルアミノプロピルアミン
　本発明において、成分Ａの硬化性組成物中の含有率は、固形分総量に対して、１０質量％以上９０質量％以下が好ましく、２０質量％以上８０質量％以下がより好ましく、３０質量％以上７０質量％以下が特に好ましい。この範囲において硬化物の密着性と除去性が良好になる。
　なお、本発明において、「固形分」とは、溶剤等の揮発性成分を除いた成分を意味する。
　成分Ａとして、アミノ基を有するポリマー又はオリゴマーと、アミノ基を有しないポリマー又はオリゴマーとを併用する場合、アミノ基を有しないポリマー又はオリゴマーの含有率は、全ポリマー又はオリゴマーに対して、９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７０質量％以下であることが更に好ましい。
　アミノ基を有しないポリマー又はオリゴマーとしては、特に限定されず、アクリル系ポリマー又はオリゴマー、ウレタン系ポリマー又はオリゴマー、セルロース系ポリマー又はオリゴマー、エステル系ポリマー又はオリゴマー、アミド系ポリマー又はオリゴマー、ビニル系ポリマー又はオリゴマー、エーテル系ポリマー又はオリゴマー、スチレン系ポリマー又はオリゴマー、カーボネート系ポリマー又はオリゴマー、ウレア系ポリマー又はオリゴマー、エチレン系ポリマー又はオリゴマー、等の公知のポリマー又はオリゴマーが用いられる。
　これらの中でも、密着性及び除去性の観点から、上記の式１で表される構造を有するポリマー又はオリゴマーが好ましく、上記式１で表される構造を有するアクリル系ポリマー又はオリゴマー、ウレタン系ポリマー又はオリゴマー、エステル系ポリマー又はオリゴマー、アミド系ポリマー又はオリゴマー、ビニル系ポリマー又はオリゴマー、エーテル系ポリマー又はオリゴマー、カーボネート系ポリマー又はオリゴマー、ウレア系ポリマー又はオリゴマー、エチレン系ポリマー又はオリゴマーがより好ましく、上記式１で示される構造を有するウレタン系ポリマー又はオリゴマー、アミド系ポリマー又はオリゴマー、ウレア系ポリマー又はオリゴマーが更に好ましく、上記式１で表される構造を有するウレタン系ポリマー又はオリゴマーが特に好ましい。
　アクリル系ポリマー又はオリゴマーとしては、公知のアクリル酸誘導体（例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等のアクリル酸エステル、アクリルアミド、アクリロイルモルホリン等のアクリル酸アミド）、メタクリル酸誘導体（例えば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル等のメタクリル酸エステル、メタクリルアミド、メタクリル酸イソプロピルアミド等のメタクリル酸アミド）を重合して得られるポリマーであればいずれも好適に使用することができる。ただしこれら例示に限定されるものではない。
　ウレタン系ポリマー又はオリゴマーとしては、公知のポリイソシアネート化合物（例えば、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等）と公知のポリオール化合物（例えば、ブタンジオール、ヘキサンジオール等のアルキレンジオール、ビスフェノールＡ（２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）プロパン）、ビスフェノールＦ（ビス（４－ヒドロキシフェニル）メタン）、ビスフェノールＳ（ビス（４－ヒドロキシフェニル）スルホン）等のアリーレンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテルジオール、ポリエチレングリコールテレフタレート等のポリエステルジオール、ポリエチレングリコールカーボネート等のポリカーボネートジオール等）からなるポリウレタンであればいずれも好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　セルロース系ポリマーとしては、カルボキシメチルセルロース、ニトロセルロース、トリアセチルセルロース等の公知のセルロースであれば好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　エステル系ポリマーとしては、公知のポリカルボン酸化合物（例えば、こはく酸、アジピン酸、フタル酸等）と公知のポリオール化合物からなるポリエステルであればいずれも好適に使用することができる。また、ポリ乳酸等のヒドロキシカルボン酸化合物からなるポリエステルも好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　アミド系ポリマーとしては、公知のポリカルボン酸化合物と公知のポリアミン化合物（例えば、エチレンジアミン、フェニレンジアミン等）からなるポリアミドであればいずれも好適に使用することができる。また、アミノ酸からなるタンパク質であるポリアミノ酸も好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　ビニル系ポリマーとしては、公知のビニル化合物（例えば、ビニル酢酸、塩化ビニル、ブタジエン等）を重合して得られるビニル系ポリマーであればいずれも好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　エーテル系ポリマーとしては、公知のポリオール化合物からなるポリエーテル（例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等）であればいずれも好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　スチレン系ポリマーとしては、公知のスチレン化合物（例えば、スチレン、４－カルボキシスチレン、４－アセトキシスチレン等）からなるポリスチレンであればいずれも好適に使用することができる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　カーボネート系ポリマーとしては、公知の炭酸誘導体（例えば、ホスゲン、炭酸ジメチル、炭酸ジエチル等）と公知のポリオール化合物からなるポリカーボネートであればいずれも好適に使用することができる。ただしこれら例示に限定されるものではない。
　ウレア系ポリマーとしては、公知のポリイソシアネート化合物と公知のポリアミン化合物からなるポリウレアであればいずれも好適に使用することができる。ただしこれら例示に限定されるものではない。
　本発明に用いられる成分Ａは、分子中にラジカル重合可能な基（例：（メタ）アクリレート基、（メタ）アクリルアミド基等）を有していてもよい。
成分Ｂ：ラジカル重合性モノマー
　本発明の硬化性組成物は、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーを含有する。
　ラジカル重合性モノマーとしては、ラジカル重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物であればいずれも好適に使用することができる。
　本発明において、成分Ｂは分子量（分子量分布を有する場合には、重量平均分子量）が１，０００未満であり、５０～９５０であることが好ましく、６０～９００であることがより好ましく、７０～８５０であることが更に好ましい。
　本発明に用いられるラジカル重合性モノマーの一つとしては、アミノ基を有するラジカル重合性モノマーが挙げられる。アミノ基としては、１級、２級、３級のいずれのアミノ基でもよいが、ラジカル重合性モノマーの経時安定性、密着性と除去性の観点から３級アミノ基であることが好ましい。
　３級アミノ基としては、以下の式２又は式３で表される基であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
　式２中、Ｒ1及びＲ2はそれぞれ独立して、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数２～１０のアルケニル基、炭素数６～１０のアリール基、炭素数１０以下の複素環基を表し、Ｌ1は単結合又は２価の連結基を表し、Ｒ1、Ｒ2、及びＬ1よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよく、波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　式３中、Ｒ3は、炭素数１～１０のアルキル基、炭素数２～１０のアルケニル基、炭素数６～１０のアリール基、炭素数１０以下の複素環基を表し、Ｌ2及びＬ3はそれぞれ独立して単結合又は２価の連結基を表し、Ｒ3、Ｌ2、及びＬ3よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよく、波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　式２におけるＲ1及びＲ2は、除去液への溶解性と耐水性とのバランスの観点から、炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基、炭素数６～９のアリール基、炭素数９以下の複素環基であることが好ましく、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルケニル基、炭素数６～８のアリール基、炭素数８以下の複素環基であることがより好ましく、炭素数１～２のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数６～７のアリール基、炭素数７以下の複素環基であることが更に好ましい。
　上記アルキル基及びアルケニル基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれでもよく、直鎖状又は分岐状であることが好ましく、直鎖状であることがより好ましい。
　上記アリール基は、単環構造のものに加え、１～２個のベンゼン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と５員不飽和環とが縮合環を形成したものなどを挙げることができる。
　上記複素環基は、芳香族ヘテロ環基であっても、芳香族ではないヘテロ環基であってもよく、ヘテロ原子として酸素原子、窒素原子、硫黄原子が好ましい。
　式２におけるＬ1の具体例としては、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、炭素数１～２０のアリーレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、が挙げられ、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基、炭素数２～２０のオキシアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが更に好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基であることが特に好ましく、炭素数１～１０のアルキレン基であることが最も好ましい。
　式２において、Ｒ1、Ｒ2、及びＬ1よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよい。
　式３におけるＲ3は、除去液への溶解性と耐水性とのバランスの観点から、炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基、炭素数６～９のアリール基、炭素数９以下の複素環基であることが好ましく、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルケニル基、炭素数６～８のアリール基、炭素数８以下の複素環基であることがより好ましく、炭素数１～２のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数６～７のアリール基、炭素数７以下の複素環基であることが更に好ましい。
　上記アルキル基及びアルケニル基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれでもよく、直鎖状又は分岐状であることが好ましく、直鎖状であることがより好ましい。
　上記アリール基は、単環構造のものに加え、１～２個のベンゼン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と５員不飽和環とが縮合環を形成したものなどを挙げることができる。
　上記複素環基は、芳香族ヘテロ環基であっても、芳香族ではないヘテロ環基であってもよく、ヘテロ原子として酸素原子、窒素原子、硫黄原子が好ましい。
　式３におけるＬ2及びＬ3の具体例としては、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、炭素数１～２０のアリーレン基（置換基を有してもよく、一部の炭素原子がヘテロ原子で置き換えられてもよい）、が挙げられ、単結合、炭素数１～２０のアルキレン基、炭素数２～２０のオキシアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることが好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基又は炭素数２～２０のポリオキシアルキレン基であることがより好ましく、炭素数１～２０のアルキレン基であることが更に好ましく、炭素数１～１０のアルキレン基であることが特に好ましい。
　式３において、Ｒ3、Ｌ2、及びＬ3よりなる群から選ばれた少なくとも２つが互いに連結して環を形成してもよい。
　アミノ基を有する成分Ｂは、式２中の波線部が連結する他の構造部分にラジカル重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物か、式３中の波線部が連結する他の構造部分の少なくとも一つにラジカル重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物であることが好ましい。
　アミノ基を有するラジカル重合性モノマーの中でも、以下の式１で表される構造を有するラジカル重合性モノマーであることがより好ましい。本構造を有することにより、除去液での除去性と密着性が特に優れる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 　波線部分は他の構造との結合位置を表す。
　式１で表される構造は、具体的には、ウレタン結合（－ＮＨ－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－）、アミド結合（－Ｃ（＝Ｏ）－ＮＨ－）、ウレア結合（－ＮＨ－Ｃ（＝Ｏ）－ＮＨ－）であることが好ましく、成分Ｂが、ウレタン結合、ウレア結合及びアミド結合よりなる群から選択される少なくとも１つを有することがより好ましく、ウレタン結合及びアミド結合よりなる群から選択される少なくとも１つを有することが更に好ましい。
　成分Ｂが式１で表される構造を有することにより、除去液が含有する成分ｂの水酸基と相互作用することにより、除去性が向上すると推定される。なお、式１で表される構造と、水酸基とは、以下の式ａに示す相互作用を示すと考えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
　本発明に用いられるアミノ基を有するラジカル重合性モノマーの具体例としては、２－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、３－ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、２－ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２－ジエチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、４－ジメチルアミノメチルスチレン、Ｎ－ブチルビス（２－（メタ）アクリロイルオキシエチル）アミン、１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジン（メタ）アクリレート、等が挙げられる。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。
　本発明に用いられる成分Ｂの別の一つ例としては、アミノ基を有しないラジカル重合性モノマーが挙げられる。アミノ基を有しないラジカル重合性モノマーの具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の単官能（メタ）アクリル酸エステル類、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド、イソプロピルアクリルアミド、モルホリンアクリルアミド、等の単官能（メタ）アクリル酸アミド類、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、カルドエポキシジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、等の多官能（メタ）アクリル酸エステル類、ジイソシアネートと水酸基含有（メタ）アクリル酸誘導体と任意にジオール類からなるウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。ただしこれら例示に限定されるものでない。
　これらラジカル重合性モノマーは、１種類のみを使用してもよいし、２種以上を混合して使用してもよい。
　本発明の硬化性組成物における成分Ｂの含有率は、固形分総量に対して、１０質量％以上９０質量％以下が好ましく、２０質量％以上８０質量％以下がより好ましく、３０質量％以上７０質量％以下が更に好ましい。この範囲内において硬化物の密着性と除去性が良好になる。
　本発明に用いられる硬化性組成物は、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有し、成分Ａがアミノ基を有することが特に好ましい。成分Ａがアミノ基を有することにより、硬化物の対象物に対する密着性、除去性に優れる。
成分Ｃ：重合開始剤
　本発明の硬化性組成物は、成分Ｃとして、重合開始剤を含有する。重合開始剤は、光重合開始剤でもよく、熱重合開始剤でもよく、両者を併用してもよい。
　光重合開始剤及び熱重合開始剤としては、公知の光重合開始剤又は熱重合開始剤であれば好適に使用することができるが、硬化時間が短いことから光重合開始剤を使用することが好ましい。以下に光重合開始剤及び熱重合開始剤の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の記載において、例えば、「ベンゾフェノン誘導体」等の記載は、「ベンゾフェノン及びその誘導体」等を意味する。
　アセトフェノン誘導体（例えば、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン（ベンジルジメチルケタールともいう。）、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオフェノン、４’－イソプロピル－２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオフェノン、２－メチル－１－〔４－（メチルチオ）フェニル〕－２－モルホリノ－１－プロパン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタン－１－オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル等）；
　ベンゾフェノン誘導体（例えば、ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、３，３－ジメチル－４－メトキシ－ベンゾフェノン等）；
　アントラキノン誘導体（例えば、アントラキノン、２－メチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、ｔｅｒｔ－ブチルアントラキノン等）；
　チオキサントン誘導体（例えば、２－クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン等）；
　トリハロアルキル化合物（例えば、２，４，６－（トリクロロメチル）トリアジン、２，４－トリクロロメチル－６－（４－メトキシフェニル）トリアジン、トリブロモメチルフェニルスルホン等）；
　ロフィンダイマー誘導体（例えば、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾリル二量体）；
　アクリジン誘導体（例えば、９－フェニルアクリジン、１，７－ビス（９－アクリジニル）ヘプタン、１，５－ビス（９－アクリジニル）ペンタン、１，３－ビス（９－アクリジニル）プロノパン）；
　ホスフィンオキシド誘導体（例えば、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等）；
　メタロセン誘導体（例えば、ビスシクロペンタジエニル－ビス（ジフルオロ－ピリル－フェニル）チタニウム等）；
　オニウム塩（例えば、ビス（４－ｔ－ブチルフェニル）ヨードニウムトシレート、トリフェニルスルホニウムトシレート等）；
　過酸化物（例えば、過安息香酸ｔ－ブチル、ｔ－ブチルパーオキシド、過酸化ベンゾイル、ジクミルパーオキサイド等）；
　アゾ化合物（例えば、アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル等）。
　光重合開始剤としては、露光に使用する光源が発する光の波長に合わせて適宜選択することができるが、アセトフェノン誘導体、ベンゾフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ホスフィンオキシド誘導体、メタロセン誘導体、ロフィンダイマー誘導体が好ましく、アセトフェノン誘導体、ベンゾフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、ホスフィンオキシド誘導体がより好ましい。
　これら開始剤は、１種類のみを使用してもよいし、２種以上を混合して使用してもよい。
　本発明の硬化性組成物における成分Ｃの含有率は、成分Ａと成分Ｂの総質量に対して０．１質量％以上２０質量％以下が好ましく、０．５質量％以上１５質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下が特に好ましい。この範囲において硬化物の密着性と除去性が良好になる。
成分Ｄ：その他の成分
　本発明の硬化性組成物には、上記成分の他に必要に応じて公知の化合物を添加することができる。具体的には、増感色素、有機溶剤、重合禁止剤、顔料、染料、香料、ＵＶ吸収剤、抗酸化剤、充填剤、各種エラストマー、可塑剤、増粘剤、チクソトロピー付与剤、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、キレート化剤、難燃剤、界面活性剤等の添加剤が挙げられる。
　本発明の硬化性組成物は、上記の成分を用いて公知の方法で混合して製造することができる。
　本発明の硬化性組成物は、種々の用途に適用可能であり、例えば、塗料、接着剤、レジスト、印刷版等が例示されるがこれに限定されるものではない。これらの用途では、いずれも、使用後に除去が求められることがあり、使用後に硬化物の除去が求められる各種の用途に適用可能である。
（２）除去液
　本発明の除去液は、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水と、を含有する。
　本発明の除去液は、水性溶液であり、水を主成分として含む。以下、それぞれの成分について詳述する。
成分ａ：分子内に酸基を有する化合物
　本発明の除去液は、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物を含有する。
　本発明に用いられる成分ａとしては、公知の有機酸、無機酸のいずれも使用することができる。
　有機酸としては、カルボン酸、スルホン酸、リン酸エステル、ホスホン酸が好ましく、炭素数１～１０のカルボン酸、スルホン酸、リン酸エステル、ホスホン酸がより好ましく、炭素数１～８のカルボン酸、スルホン酸、リン酸エステル、ホスホン酸が更に好ましく、炭素数１～８のカルボン酸、スルホン酸が特に好ましい。有機酸の具体例としては、酢酸、リンゴ酸、乳酸、クエン酸、安息香酸、アジピン酸、酒石酸、グリコール酸、サリチル酸、メタンスルホン酸、トルエンスルホン酸、カンファースルホン酸、メチルホスホン酸、フィチン酸等が挙げられる。無機酸の具体例としては、塩酸、臭酸、硫酸、硫酸水素ナトリウム、硝酸、燐酸等が挙げられる。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　これらの中でも、成分ａは有機酸であることが好ましく、カルボン酸であることがより好ましい。
　成分ａは、１種類のみを使用してもよいし、２種以上を混合して使用してもよい。
　本発明の除去液における成分ａの含有率は、０．１質量％以上２０質量％以下が好ましく、０．５質量％以上１５質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下が更に好ましい。この範囲内において硬化物の除去性が良好になる。
成分ｂ：分子内に水酸基を有する化合物
　本発明の除去液は、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物を含有する。なお、分子内に酸基を有し、かつ、水酸基を有する化合物は、成分ａに該当するものとする。分子内に酸基を有し、かつ、水酸基を有する化合物としては、ヒドロキシ酸（例えば、クエン酸、リンゴ酸、乳酸等）が例示され、これらは、成分ａである。
　本発明に用いられる分子内に水酸基を有する化合物としては、公知の水溶性アルキルアルコール化合物、水溶性アリールアルコール化合物（フェノール類）であればいずれも好適に使用することができるが、水溶性アルキルアルコール化合物であることが好ましく、水酸基価が９ｍｏｌ／ｇ以上である水溶性アルキルアルコール化合物が好ましく、１０ｍｍｏｌ／ｇ以上である水溶性アルキルアルコール化合物がより好ましく、１１ｍｍｏｌ／ｇ以上である水溶性アルキルアルコール化合物が更に好ましく、１２ｍｍｏｌ／ｇ以上である水溶性アルキルアルコール化合物が特に好ましい。上記水酸基価を有する水溶性アルキルアルコール化合物を使用することにより、除去性が特に良好になる。
　水溶性アルキルアルコール化合物の具体例としては、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルアルコール、ｔ－ブチルアルコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、１，４－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、グリセロール、イノシトール、ソルビトール、グルコース、スクロース等が挙げられる。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。
　成分ｂは、分子量が３２～２，０００であることが好ましい。分子量は１，５００以下であることがより好ましく、１，０００以下であることが更に好ましく、５００以下であることが特に好ましい。
　これらの中でも、成分ｂとしては、炭素数１～２０の脂肪族炭化水素が１～６つの水酸基で置換された化合物が好ましく例示される。なお、上記脂肪族炭化水素は、飽和脂肪族炭化水素であることが好ましく、また、炭素鎖中に、エーテル結合を有していてもよい。また、上記脂肪族炭化水素は、直鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
　炭素数は、１～２０であることが好ましく、１～１６であることがより好ましく、１～８であることが更に好ましく、１～６であることが特に好ましく、１～５であることが最も好ましい。
　成分ｂは１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
　本発明の除去液における成分ｂの含有率は、０．１質量％以上２０質量％以下が好ましく、０．５質量％以上１５質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下が更に好ましい。この範囲内において硬化物の除去性が更に良好になる。
成分ｃ：水
　本発明の除去液は、水性溶液であり、成分ｃとして、水を主成分として含有する。除去液に使用する水は、特に制限はなく、水道水、蒸留水、イオン交換水等を用いることができる。除去液中の水の含有量は、特に制限はないが、除去液の全質量に対し、６０～９９．８質量％であることが好ましく、７０～９９質量％であることがより好ましく、８０～９８質量％であることが更に好ましい。
（その他の成分）
　本発明の除去液には、上記成分の他に必要に応じてその他成分を含有させることができる。
＜酸塩＞
　本発明の除去液は、ｐＨが経時や液の希釈、濃縮などによる外部要因によって変動を起こさないようにするため、酸塩を添加して緩衝液にすることが好ましい。緩衝液にするためには、上記の酸成分の塩、好ましくは、ナトリウム塩（クエン酸ナトリウム、グルコン酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム等）を、酸と共存させる方法が挙げられるが、特に限定されるものではない。
　また、その他の成分として具体的には、界面活性剤、ｐＨ緩衝剤、防腐剤、香料、水溶性ポリマー、防錆剤、有機溶剤、消泡剤、湿潤剤、硬水軟化剤、等が挙げられる。
　本発明の除去液は、上記の成分を用いて公知の方法で混合して製造することができる。
（ｐＨ）
　本発明の除去液のｐＨは、２５℃において、１以上６以下が好ましく、１．５以上５以下がより好ましく、２以上４以下が更に好ましい。この範囲内において硬化物の除去性がより良好になると共に作業性が良好になる。
（使用の形態）
　本発明の除去液は、コスト、運搬性、保管性の観点から、濃縮液としてもよく、使用する際に、当該濃縮液を水等により希釈して除去液とする実施形態でもよい。また、除去液を使用する直前に各原料粉末や各原液を混ぜてもよい。
　なお、上記各成分の好ましい含有量は、使用時における含有量を意味する。
（２）除去方法
　本発明の除去方法は、硬化物を備えた対象物に、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水とを含有する除去液に接触させる接触工程を含み、上記硬化物が、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤と、を含み、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有する硬化性組成物を、対象物に塗布し、光照射及び／又は加熱により対象物上に形成された硬化物であることを特徴とする。
　また、硬化物と除去液とを接触させ、硬化物の端部に外力を加えて硬化物を対象物から剥離する工程を有することが好ましい。
（対象物）
　本発明に用いられる硬化性組成物が塗布される対象物の形状としては、シート状、板状、３次元造形物等のいずれの形状でもよい。また、材質としては金属、木材、プラスチック、繊維、紙、鉱物、岩石、セメント、ガラス等の公知の材質に適用できる。
（塗布方法）
　本発明に用いられる硬化性組成物を対象物に塗布する方法としては、特に制限はなく、公知の方法により行えばよいが、刷毛や筆等を使用して塗布する方法、スプレー塗布、インクジェット塗布、バーコーター塗布、回転塗布、カーテン塗布、ディップ塗布、エアーナイフ塗布、ブレード塗布、ロール塗布等が挙げられる。
　本発明に用いられる硬化性組成物の対象物上の塗布厚は、用途によって異なるが、１ｎｍ～１ｍｍが好ましく、１０ｎｍ～０．５ｍｍがより好ましく、１００ｎｍ～０．２５ｍｍが特に好ましい。この範囲内で、より良好な密着性と除去性が実現される。
（光照射方法）
　本発明に用いられる硬化性組成物を対象物に塗布した後、光照射する方法としては、特に制限はなく、公知の光源（例えば、太陽光、高圧水銀灯、蛍光灯、ＵＶランプ、ＬＥＤランプ、ＬＥＤレーザー等）を用いた公知の光照射方法（例えば、全面露光、走査露光等）が使用できる。光照射時間は、硬化性組成物が硬化する限り特に制限はない。
（加熱方法）
　本発明に用いられる硬化性組成物を対象物に塗布した後、加熱する方法としては特に制限はなく、公知の加熱方法（加熱気流下に放置する方法、ヒーターや赤外線ランプ（ＩＲランプ）等の加熱手段により加熱する方法、ホットプレートやオーブンにより加熱する方法等）が例示される。
　加熱温度は、特に限定されないが、５０～２５０℃であることが好ましく、７５～２２５℃であることがより好ましく、１００～２００℃であることが特に好ましい。加熱時間は特に限定されないが、１０秒～１２０分であることが好ましく、３０秒～９０分であることがより好ましく、１分～６０分であることが更に好ましい。加熱時間及び加熱温度は、硬化性組成物が硬化する範囲で、適宜設定することができる。
　対象物上に硬化性組成物の硬化物を形成する方法としては、上記の方法を繰り返し実施することもできる。また、本発明の除去方法に用いられる硬化性組成物を接着剤として使用する場合は、硬化性組成物を対象物に塗布した後、接着したい対象物を重ねてから光照射又は加熱する方法が用いられる。
（除去方法）
　本発明の除去方法は、除去液に本発明の硬化性組成物の硬化物を備えた対象物を接触させる接触工程を含む。また、上記の接触工程と同時に、又は、接触工程の後、硬化物の端部に外力を加えることが好ましい。
　除去液の必要量としては、硬化物の量や接触方法に合わせて適宜変更して使用することができる。
　硬化物を備えた対象物に除去液を接触させる方法としては、特に限定されるものではなく、対象物を直接除去液に浸漬してもよく、除去液で湿らせたコットン等で対象物を包んでもよく、噴霧器やシャワーによって吹き付けてもよい。ただし、これら例示に限定されるものではない。
　接触時間は、特に制限はなく、硬化性組成物の硬化物が除去できる長さの時間であればよいが、０．１～１２０分が好ましく、０．５～９０分がより好ましく、１～６０分が更に好ましい。
　また、本発明の除去方法は、硬化性組成物により形成された硬化物の層に対して除去液が浸透しやすくするために、接触工程の前に、硬化物に傷を付ける傷付け工程を含むことが好ましい。傷付け工程は、対象物上の硬化物表面及び／又は対象物の末端断面部分を傷付ける工程であることが好ましい。
　傷を付ける道具としては、特に制限はないが、やすり、カッター、のみ、彫刻刀、ナイフ、はり、錐、はさみ、ニッパー等を好適に用いることができる。
　傷の付け方について、図１を参照して説明する。図１は、対象物１上に形成された硬化物２に対する傷付け工程の説明図である。図１（Ａ）は未処理の状態を表し、対象物１上に、硬化物２が形成されている。傷の付け方としては、ヤスリ等により硬化物表面に多数の傷を付ける（図１（Ｂ））、カッター等により硬化物に格子状に切り込みを入れる（図１（Ｃ））、硬化物と対象物の端部をヤスリで研磨したりはさみで切断したりして対象物の端部よりも硬化物端部がはみだしているようにする（図１（Ｄ））等が挙げられるが本発明はこれらに限定されるものではない。なお、図１（Ｄ）は、対象物１及び硬化物２の断面図である。
　これらの中でも、カッター等により硬化物に格子状に切り込みを入れる（図１（Ｃ））、硬化物と対象物の端部をヤスリで研磨したりはさみで切断したりして対象物の端部よりも硬化物端部がはみだしているようにする（図１（Ｄ））傷の付け方は、剥離の基点を形成するために特に好ましい。
　本発明において、上記の接触工程の後、硬化物に外力を加えて硬化物を対象物から剥離する剥離工程を有することが好ましい。
　上記のように除去液に接触させた後、硬化物に外力を加える方法としては、特に制限はないが、棒（木材、金属製等）で押す、鍵型の棒をひっかけて引っ張る、端部をつまんで（ピンセット、毛抜き、ペンチ、指等）引き上げる、テープを接着させた後テープを引き上げる、等の方法が挙げられる。
（温度）
　除去液は、１５～５５℃にて使用することが好ましく、除去液は、安全性を損なわない程度に加温して使用することが、除去速度を早める観点で好ましい。除去液の温度は、２０～５０℃であることがより好ましく、２５～４５℃であることが更に好ましい。
　以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例における形態に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、及び「％」は質量基準である。
　実施例で使用したポリマー等は以下の通りである。
　・アミノ基を有するポリマー－１：イソホロンジイソシアネートと、３－ジメチルアミノ－１，２－プロパンジオールと、１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（重量平均分子量：２,０００）と、メタノールとから合成されたポリウレタン（Ｐ－１）
　・アミノ基を有するポリマー－２：イソホロンジイソシアネートと、Ｎ－ブチルジエタノールアミンと、１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（重量平均分子量：２，０００）と、メタノールとから合成されたポリウレタン（Ｐ－２）
　・アミノ基を有するポリマー－３：イソホロンジイソシアネートと、３，３－ジアミノ－Ｎ－メチルジプロピルアミンと、ポリプロピレングリコールジアミン（重量平均分子量：２，０００）と、モルホリンとから合成されたポリウレア（Ｐ－３）
　・アミノ基を有するポリマー－４：アジピン酸ジクロリドと、３，３－ジアミノ－Ｎ－メチルジプロピルアミンと、ポリプロピレングリコールジアミン（重量平均分子量：２，０００）と、モルホリンとから合成されたポリアミド（Ｐ－４）
　・アミノ基を有するポリマー－５：アジピン酸ジクロリドと、３－ジメチルアミノ－１，２－プロパンジオールと、１，５－ペンタンジオールと、２－ヒドロキシプロパンとから合成されたポリエステル（Ｐ－５）
　・アミノ基を有するポリマー－６：３－ジメチルアミノプロピルアクリルアミドと、Ｎ－シクロヘキシルアクリルアミドとを１：１のモル比でラジカル重合して得られるポリアクリル酸アミド（Ｐ－６）
　・アミノ基を有するポリマー－７：２－ジメチルアミノエチルメタクリレートと、ｎ－ブチルメタクリレートとを１：１のモル比でラジカル重合して得られるポリメタクリル酸エステル（Ｐ－７）
　・アミノ基を有するポリマー－８：イソホロンジイソシアネートと、３－ジメチルアミノ－１，２－プロパンジオールと、１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（重量平均分子量：２，０００）と、２－ヒドロキシエチルメタクリレートとから合成されたポリウレタン（Ｐ－８）
　・アミノ基を有するポリマー－９：ビス（４－イソシアナトフェニル）メタンと、１，６－ヘキサメチレンジイソシアネートと、ポリプロピレングリコール（重量平均分子量：１，０００）と、３－ジエチルアミノ－１，２－プロパンジオールと、１，４－ブタンジオールとからなるポリウレタン（Ｐ－９）
　・アミノ基を有するポリマー－１０：アミノ基を有するポリマー－９中に存在するアミノ基の９２モル％をカンファースルホン酸にて中和しアンモニウム基としたポリマー
　・アミノ基を持たないポリマー－１：イソホロンジイソシアネートと、ジエチレングリコールと、１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（重量平均分子量：２，０００）とから合成されたポリウレタン
　・ウレタン変性（メタ）アクリレート－１：イソホロンジイソシアネートと、１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオールと、２－ヒドロキシエチルアクリレートとからなる、重量平均分子量５，０００の市販品を用いた。
　・ウレタン変性（メタ）アクリレート－２：ポリイソシアネートとしてイソホロンジイソシアネートを含有し、ポリオールとしてポリブチレングリコールとブチレングリコールとアジピン酸からなるポリエステルポリオールを１０：１（質量比）の割合で含有し、水酸基を有する（メタ）アクリレートとして２－ヒドロキシエチルメタクリレートを含有し、かつ、数平均分子量２，３００の市販品を用いた。
　Ｐ－１～Ｐ－９を以下の表に示す。なお、表中、「－」の記載は、当該成分を使用していないことを意味する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
　使用した各成分は、以下の通りである。
　ＩＰＤＩ：イソホロンジイソシアネート
　ＨＤＩ：ヘキサメチレンジイソシアネート
　ＭＤＩ：ビス（４－イソシアナトフェニル）メタン
　Ｄｉｏｌ－１：３－ジメチルアミノ－１，２－プロパンジオール
　Ｄｉｏｌ－２：１，５－ペンタンジオールと１，６－ヘキサンジオールからなるポリカーボネートジオール（Ｍｗ：２，０００）
　Ｄｉｏｌ－３：Ｎ－ブチルジエタノールアミン
　Ｄｉｏｌ－４：１，５－ペンタンジオール
　Ｄｉｏｌ－６：ポリプロピレングリコール（Ｍｗ：１，０００）
　Ｄｉｏｌ－７：３－ジエチルアミノ－１，２－プロパンジオール
　Ｄｉｏｌ－８：１，４－ブタンジオール
　Ｄｉａｍｉｎｅ－１：３，３－ジアミノ－Ｎ－メチルジプロピルアミン
　Ｄｉａｍｉｎｅ－２：ポリプロピレングリコールジアミン（Ｍｗ：２，０００）
　ＡＤＰＡ：アジピン酸ジクロリド
　ＤＭＡＰＡｍ：３－ジメチルアミノプロピルアクリルアミド
　ＣＨＡｍ：Ｎ－シクロヘキシルアクリルアミド
　ＤＭＡＥＭ：２－ジメチルアミノエチルメタクリレート
　ＢＭＡ：ｎ－ブチルメタクリレート
　ＨＥＭＡ：２－ヒドロキシエチルメタクリレート
　ＩＰＡ：２－ヒドロキシプロパン
（実施例１～８、比較例１）
　表３に記載する組成の硬化性組成物（光硬化性組成物）を調製し、以下に示す実験を行った。結果を表３に示す。なお、表中、「－」は、当該成分を含有しないことを意味する。以下、同様である。表中の各成分の数値は、各成分の配合量（質量部）を表す。
（評価）
＜固着時間＞
　光硬化性組成物を一枚のスライドガラスに一滴塗布した後、更にもう一枚のスライドガラスをのせて接着した。水銀ランプ（５ｍＷ／ｃｍ2）を照射してから、スライドガラス同士が動かなくなる迄の時間を測定し、固着時間とした。固着時間は、２０秒以下であることが好ましい。
＜硬化性＞
　アルミニウム回路基板に光硬化性組成物を塗布膜厚１５μｍの厚さでスクリーン印刷した。その後メタルハライドランプで２，３００ｍＪ／ｃｍ2となるように２５秒照射した後、表面のタックを観察し、硬化性を測定した。タックがない場合を１とし、タックがある場合を２とし、硬化しない場合を３とした。評価が１であれば実用上問題がない。
＜耐エッチング性＞
　光硬化性組成物を表面に塗布し、硬化させたアルミニウム回路基板を、１０％水酸化ナトリウム水溶液からなるエッチング液中に７０℃で３分浸漬し、光硬化性組成物の剥がれや浮き等を観察した。剥がれや浮きのない場合を１とし、浮きのある場合を２とし、剥がれのある場合を３とした。評価が１であれば、実用上問題がない。
＜剥離性＞
　光硬化性組成物を表面に塗布し、硬化させたアルミニウム回路基板を、表３に記載の除去液（組成は表４に記載）中に３０℃で浸漬し、浸漬してから５分おきに光硬化性組成物硬化物の端部を毛抜きでつまみ、引き上げた際に剥離を起こすか否かを評価した。５分以内で剥離した場合を１とし、１０分以内で剥離した場合を２とし、１５分以内で剥離した場合を３とし、２０分以内で剥離した場合を４とし、３０分以内で剥離した場合を５とし、４０分以内で剥離した場合を６とし、５０分以内で剥離した場合を７とし、６０分以内で剥離した場合を８とし、６０分以内で剥離しなかった場合を９とした。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
　実施例において使用した除去液を、以下の表に示す。表中の各成分の数値は、各成分の配合量（質量部）を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
　使用した水酸基を有する化合物の水酸基価は、以下の通りである。
　１，３－ブチレングリコール：水酸基価＝２２．２ｍｍｏｌ／ｇ
　メタノール：水酸基価＝３１．２ｍｍｏｌ／ｇ
　グリセロールモノプロピルエーテル：水酸基価＝１４．９ｍｍｏｌ／ｇ
　１－ペンタノール：水酸基価＝１１．３ｍｍｏｌ／ｇ
　ＰＥＧ＃２００（ポリエチレングリコール、重量平均分子量：約２００）：水酸基価≒１０ｍｍｏｌ／ｇ
　１－ヘキサノール：水酸基価＝９．８ｍｍｏｌ／ｇ
　ペンタエチレングリコール：水酸基価＝８．４ｍｍｏｌ／ｇ
　ＰＥＧ＃３００：水酸基価＝６．７ｍｍｏｌ／ｇ
　本実施例から明らかなように、本発明の除去液は、従来の除去液に比較して除去性に優れる。
（実施例９～１４、比較例２～５）
　表５に記載の光硬化性組成物と除去液を用いて剥離性を評価した。結果を表５に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000013
　本実施例から明らかなように、本発明の除去方法は特定の硬化性組成物と特定の除去液とを用いた場合にのみ除去性が格段に優れる。
（実施例１５～２２）
　表６に記載の光硬化性組成物と除去液とを用いて除去性を評価した。結果を表６に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000014
　本実施例から明らかなように、本発明の除去方法は特定のアルコール化合物を含む除去液において特に顕著な除去性が得られる。
（実施例２３）
　３ｃｍ×６ｃｍのアルミ基板上の端部３ｃｍ×３ｃｍの領域に前述の実施例１で使用した光硬化性組成物をはけで塗布（厚さ：約１００μｍ）した後、３ｃｍ×６ｃｍのＰＥＴフィルムを３ｃｍ×３ｃｍが重なるように合わせて、高圧水銀灯で重ねたＰＥＴフィルム側から全面露光した。露光量は２，０００ｍＪ／ｃｍ2であった。
　重ね合わせたＰＥＴフィルムのはみ出している部分を指でつかみ、アルミ基板を固定して上部に引き剥がしたところ、全く剥離しなかった。その後、除去液Ｂに当該試料を５分間浸漬した後、同様にＰＥＴフィルムを引き剥がしたところ、簡単に剥離することができた。また、ＰＥＴフィルムを剥離した後のアルミ基板上に残った硬化性組成物の硬化物を、除去液中でそのままへら状の金属スパチュラにより押すとアルミ基板上から硬化性組成物の硬化物が剥離した。
　本実施例から明らかなように、本発明の除去方法を用いれば、接着力が強い接着剤を簡単に剥離することが可能になる。
（実施例２４）
　表７に記載の光硬化性組成物を厚さ１０μｍで各種対象物（ガラス板、ベニヤ板、アクリル樹脂板）に塗布した後、得られた対象物を太陽光にて１時間照射した。いずれの対象物においても硬化物はべとつきがなく、またテープを接着して引っ張っても剥がれることはなかった。
　これらの対象物を除去液Ｂに５分間浸漬した後、硬化物の端部をへら状のテフロン（登録商標）製スパチュラにより押すと、硬化物がいずれの対象物においても剥離した。
　本実施例から明らかなように、本発明の除去方法を用いれば、接着力が強い塗料を簡単に剥離することが可能になる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000015
　上記のフタロシアニン顔料分散物は、以下のようにして調製した。
　Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６（１５質量部）、アリルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合モル比８０／２０、重量平均分子量４万）（１０質量部）、シクロヘキサノン（１５質量部）、メトキシプロピルアセテート（２０質量部）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（４０質量部）を混合して調製した。
（実施例２５）
　４インチＳｉウエハに下記表８記載に示す組成の硬化性組成物（熱硬化性組成物、仮接着剤）をスピンコーター（Ｍｉｋａｓａ製　Ｏｐｔｉｃｏａｔ　ＭＳ－Ａ１００，１２００ｒｐｍ，３０秒）により塗布した後、８０℃で３０秒ベークし、厚さ１００μｍの接着性層が設けられたウエハ１（すなわち接着性支持体）を形成した。ウエハ１の熱硬化性組成物上に別のウエハ２を重ね合わせた後、１５０℃にて１時間加熱することで試験片を作製した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000016
＜高温時における試験片の接着力測定＞
　上記試験片のせん断接着力を、引っ張り試験機（（株）イマダ製デジタルフォースゲージ、型式：ＺＰ－５０Ｎ）を用いて、１００℃に加熱しながら、２５０ｍｍ／ｍｉｎの条件で接着性層の面に沿った方向に引っ張り測定した。
　その結果、３０Ｎ／２５ｍｍ2の高い接着性を示した。
＜剥離性＞
　上記試験片を、除去液Ｂに２５℃で１０分間浸漬させた。除去液から試験片を取り出し、接着性層の垂直方向に引っ張ったところ、Ｓｉウエハが破損せずに非常に軽い力で剥離できた。なお、Ｓｉウエハの破損の有無は目視で確認した。
＜高温プロセス後の剥離性＞
　上記試験片を、２２０℃で３０分加熱を行い、室温に冷却後、除去液Ｂに２５℃で１０分間浸漬させた。除去液から試験片を取り出し、接着性層の垂直方向に引っ張ったところ、Ｓｉウエハが破損せずに非常に軽い力で剥離できた。なお、Ｓｉウエハの破損の有無は目視で確認した。
　本実施例から明らかなように、本発明の除去方法を用いれば、接着力が強い接着剤を簡単に剥離することが可能になる。
　１　対象物、２　硬化物

Claims (10)

  1. 　硬化性組成物の硬化物を除去するための除去液であり、
    　前記硬化性組成物が、成分Ａとして、ポリマー又はオリゴマーと、成分Ｂとして、ラジカル重合性モノマーと、成分Ｃとして、重合開始剤と、を含み、成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つがアミノ基を有し、
    　前記除去液が、成分ａとして、分子内に酸基を有する化合物と、成分ｂとして、分子内に水酸基を有する化合物と、成分ｃとして、水とを含有することを特徴とする
    　除去液。
  2. 　成分ａが酸基としてカルボキシ基を有する化合物を含有する、請求項１に記載の除去液。
  3. 　成分ｂが、水酸基価が９ｍｍｏｌ／ｇ以上である化合物を含有する、請求項１又は２に記載の除去液。
  4. 　除去液のｐＨが４以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の除去液。
  5. 　成分Ａ及び成分Ｂよりなる群から選択される少なくとも１つが下記式１で表される基を有する、請求項１～４のいずれか１項に記載の除去液。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     波線部分は他の構造との結合位置を表す。
  6. 　成分Ａがアミノ基を有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の除去液。
  7. 　硬化物を備えた対象物を、請求項１～６のいずれか１項に記載の除去液に接触させる接触工程を含む、
    　硬化物の除去方法。
  8. 　硬化物に外力を加えて硬化物を対象物から剥離する剥離工程を含む、請求項７に記載の除去方法。
  9. 　接触工程の前に、硬化物に傷を付ける傷付け工程を含む、請求項７又は８に記載の除去方法。
  10. 　除去液の温度が１５～５５℃である、請求項７～９のいずれか１項に記載の除去方法。
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