WO2015093649A1 - 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구 - Google Patents

가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구 Download PDF

Info

Publication number
WO2015093649A1
WO2015093649A1 PCT/KR2013/011855 KR2013011855W WO2015093649A1 WO 2015093649 A1 WO2015093649 A1 WO 2015093649A1 KR 2013011855 W KR2013011855 W KR 2013011855W WO 2015093649 A1 WO2015093649 A1 WO 2015093649A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
coating
coating material
nozzle
heating
supply pipe
Prior art date
Application number
PCT/KR2013/011855
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2015093649A8 (ko
Inventor
정용화
정우성
남경훈
엄문종
홍석준
곽영진
김태엽
이동열
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to EP13899655.8A priority Critical patent/EP3085808B1/en
Priority to CN201380081749.7A priority patent/CN105829573B/zh
Priority to US15/102,839 priority patent/US20160312356A1/en
Priority to JP2016541228A priority patent/JP6303014B2/ja
Publication of WO2015093649A1 publication Critical patent/WO2015093649A1/ko
Publication of WO2015093649A8 publication Critical patent/WO2015093649A8/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

Definitions

  • the present invention relates to a heating apparatus for generating a coating vapor (gas) for the deposition coating of a continuously moving base material (steel plate), and more particularly, adopting a liquid supply method, the supplied solid coating material of the nozzle means After receiving it inside, it is heated to discharge the liquid coating material to the heating part, which enables smooth and stable generation of coating steam, and further realizes the preheating supply of the solid coating material and prevents blockage of the supply pipe.
  • the present invention relates to a heating apparatus and a coating apparatus including the same to improve the coating quality and operability of a steel sheet (high-speed running).
  • a coating material ie, metal vapor
  • a substrate for example, a continuously (high speed) steel sheet under vacuum atmosphere.
  • Such vacuum deposition is to perform vapor-gas coating by heating-evaporating a solid (solid) or liquid (liquid) coating material in various ways under a vacuum atmosphere, and depositing it on a steel sheet.
  • such a continuous coating of the substrate (steel plate) through the vacuum deposition can be classified according to the heating method, for example, thermal evaporation (thermal evaporation) and electron beam evaporation (electron beam evaporation).
  • the coating material is surrounded by an electromagnetic coil, and a high frequency alternating current generated from a high frequency power source is applied to the electromagnetic coil, and the coating material is heated to a flotation state by the generated alternating electromagnetic field.
  • a high frequency alternating current generated from a high frequency power source is applied to the electromagnetic coil, and the coating material is heated to a flotation state by the generated alternating electromagnetic field.
  • a heating device evaporation source device
  • a coating material evaporation (coating) material
  • the supply of such coating material can be classified into solid (solid) supply and liquid (liquid) supply according to the state of the coating material, and the liquid supply is classified into mechanical method, method using height difference, pressure difference method and so on. can do.
  • a piston method (US Patent Publication US 2005-0229856), an MHD pump method using the electromagnetic (Korean Patent Publication No. 2007-0015923), or a screw method (Japanese Patent Publication No. 2010-189739).
  • the liquid supply method is adopted, but since the supplied solid coating material is accommodated inside the nozzle means and heated to discharge the liquid coating material to the heating part, smooth and stable generation of the coating steam. There has been a need for a heating device that enables this.
  • a heating unit provided to heat the supplied coating material to generate a coating vapor deposited on the coating object
  • a nozzle unit disposed inside the heating unit and provided to allow the supplied solid coating material to be settled and phase-changed into a liquid coating material upon heating and then discharged to the heating unit;
  • It provides a heating device configured to include.
  • the present invention the heating device
  • a coating steam ejection tube connected to the coating steam generating tube provided in the heating apparatus and having a ejection opening provided to eject the generated coating vapor to the coating object;
  • It provides a coating apparatus comprising a heating device configured to include.
  • the heating apparatus of the present invention adopts a liquid supply method with little generation of coating vapor or temperature drop, but after receiving the supplied solid coating material inside the nozzle means, heating the liquid coating material finally. Since it is supplied to the heating portion, it is to provide an effect that enables the smooth and stable generation of the coating vapor.
  • the heating apparatus of the present invention by further realizing the preheating of the solid coating material to facilitate the phase change to the liquid coating material, the coating steam backflow at a specific position (in the path of the solid liquid material supply pipe) Another effect is to prevent a blockage of the supply pipe and the like.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a coating apparatus according to the present invention including the nozzle means of one embodiment of the present invention shown in Figures 2 and 3
  • Figure 2 is an enlarged view of a portion of Figure 1 showing a heating apparatus including a nozzle means of an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is an exploded perspective view showing the nozzle means of the present invention of FIG.
  • Figure 4 is an enlarged view of a portion of Figure 1 showing a heating apparatus including nozzle means of another embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is an exploded perspective view showing the nozzle means of the present invention of FIG.
  • FIG. 6 is an enlarged view of a portion of FIG. 1 showing a heating apparatus including a cushioning means associated with the nozzle means of the present invention.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing a nozzle means to which the shock absorbing means of the present invention of FIG. 6 is linked.
  • Figure 8 is a block diagram showing a nozzle means of another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a nozzle means of another embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view showing the nozzle means of the present invention of FIG.
  • Figure 11 is an enlarged view of a portion of Figure 1 showing a supply pipe blocking means provided in the heating apparatus of the present invention
  • FIG. 12 is a plan view of FIG.
  • FIG. 13 is a configuration diagram showing an overall configuration of a modification of the coating apparatus of FIG. 1 including the heating apparatus of the present invention.
  • FIG. 14 is a block diagram showing the overall configuration of another embodiment of the coating apparatus of Figure 1 including a heating apparatus of the present invention
  • FIGs. 1, 13 and 14 an embodiment including a heating apparatus 1 having a nozzle means 50 of the present invention described in detail in Figs. Modifications and other embodiments of the coating apparatus 200 are shown.
  • the coating apparatus 200 according to the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 13 and variations thereof illustrates a method of coating while moving a coating object, that is, the steel plate 210 vertically, and FIG. 14.
  • the coating apparatus 200 according to another embodiment of the present invention shown in Figure 2 illustrates a method of coating while moving the steel plate 210 horizontally
  • the heating device 1 of the present invention described in detail below these coating mechanism May be applied to both.
  • the coating material (coating medium) is a solid coating material 'solid coating material (10)' It will be described as, the liquid coating material of the phase change (melted) by heating in the solid coating material described as 'liquid coating material 12', the vapor deposition vapor generated by the liquid coating material 12 is heated (Gas) is described as 'coating steam 14'.
  • the solid coating material as shown in Figures 1, 13 and 14, it may be in the form of an ingot (lump) having a predetermined size and easy to transport or supply environment.
  • the coating apparatus 200 of the present invention under the vacuum atmosphere, unlike the method of performing the plating while passing the steel plate is immersed in the plating solution It may be a dry coating apparatus for depositing the coating vapor 14 to implement the coating of the desired material on the surface of the steel sheet 210.
  • Vacuum chamber 220 provided to enclose at least a portion of the sealed state.
  • the vacuum chamber 220 is provided with steel sheet conveying rolls 222 for continuously advancing the steel sheet 210 to be coated at a high speed to the inlet and outlet sides of the vacuum chamber, and the steel sheet conveying rolls 222 as described above. It may also serve to seal inlets and outlets at entry and exit.
  • the coating apparatus 200 of the present invention is connected to the coating steam generating tube 40 of the heating unit 20 to be described in detail below, the generated coating steam 14 to the surface of the steel sheet 210 It may further include a coating steam jet tube 230 having a jet port 232 provided to blow out.
  • the outer line of the coating steam ejection tube 230 of the present invention may be provided with a heating wire 234 or other heating element to maintain the temperature of the tube at a constant temperature to prevent the temperature of the coating vapor.
  • the coated vapor 14 generated in the heating apparatus 1 is ejected from the ejection opening 232 provided in the coated vapor ejection tube 230, and the steel sheet proceeds adjacently ( The coating vapor 14 is ejected and deposited on the surface of the coating 210.
  • the tubes are provided in a structure having a length corresponding to the maximum width of the steel sheet.
  • the heating device 1 of the present invention is provided to heat the supplied solid coating material 10, so as to generate a coating vapor deposited on the coating object 210
  • the heating unit 20 and the inside of the heating unit 20 is disposed, and the supplied solid coating material 10 is accommodated and seated in a heated state, the liquid phase is changed into a gotting material 12.
  • the liquid coating material 12 may be configured based on the nozzle means 50 provided to discharge the heating portion 20.
  • the heating device 1 of the present invention initially receives the solid coating material 10 in the form of an ingot falling on the nozzle means 50 provided inside the heating part, and is seated and accommodated, in which case the solid coating material 10 Silver is phase-changed upon heating to produce a liquid coating material 12, the liquid coating material 12 through the nozzle means 50 is discharged back to the coating steam generating tube 40 of the heating unit 20, Heated again to produce a coating steam 14, the finally produced coating steam 14, the surface of the steel plate 210 is advanced (high speed) through the blowing opening 232 of the coating steam blowing tube 230 Is deposited on the coating of the steel sheet.
  • the heating device 1 of the present invention solves the problem of erosion (damage) of the equipment that occurs when the conventional liquid coating material is directly supplied to the heating part, or when the wire is conventionally supplied as the coating material. It is possible to suppress the temperature drop of the coating material.
  • the solid coating material 10 of the ingot form of a certain size that is easy to handle and supply is supplied to the heating unit 20, and then initially supplied through the nozzle means 50 to be described in more detail. While the solid coating material 10 is seated and accommodated in the nozzle means 50, the liquid coating material 12 which is phase-changed by heating is heated through the nozzle opening 54 provided on the side wall of the nozzle means 50. Since it is discharged to the heating unit 20, the coating vapor 14 can be generated smoothly, and since the liquid coating material 12, which is likely to erode the equipment, is not supplied from the beginning, equipment erosion and the like can be prevented. It can be.
  • the heating unit 20 the electromagnetic coil 30 to enable the heating of the coating material through the electromagnetic induction, and Inside the electromagnetic coil 30, it may include a coating steam generating tube 40 provided to enable the production of the coating vapor 14 by heating the supplied coating material 12 of the liquid phase.
  • the heating device 1 of the present invention is basically an electromagnetic coil 30, i.e., the upper electromagnetic coil 32 wound around the appropriate number of turns, and the lower electromagnetic coil wound appropriately from the upper electromagnetic coil and wound around the appropriate number of turns (
  • the coating material is heated using the electromagnetic induction current generated at this time, and the coating vapor 14 is generated to coat the steel sheet.
  • the solid coating material 10 drop-seated inside the nozzle means 50 is phase-changed into the liquid coating material 12.
  • the liquid coating material 12 is discharged into the coating vapor generating tube 40 through the nozzle opening 54 of the nozzle means 50 and received therein, and then is heated by electromagnetic force to the coating vapor 14 which is metal vapor. Is generated.
  • the coating steam 14 ejected through the ejection opening 232 of the coating steam ejection tube 230 associated with the coating steam generating tube 40 of the coating apparatus 200 of the present invention finally proceeds adjacently.
  • the coating is deposited on the steel plate 210.
  • the power supply 36 is connected to the upper and lower electromagnetic coils 32 and 34 of the electromagnetic coil 30 of the heating unit 20 of the present invention.
  • the electromagnetic coil 30 is provided with an insulating structure for blocking arc generation of the electromagnetic coil (high frequency coil) 30.
  • the electromagnetic coils are made of castable or ceramic fillers. Can be insulated.
  • the coated steam generating tube 40 and the coated vapor ejection tube 230 connected to the upper portion of the coated steam generating tube 40 disposed inside the electromagnetic coil 30 of the present invention is It is preferable to be disposed inside the vacuum chamber 220.
  • the coating material is heated using electromagnetic force, considerable heat is generated. Therefore, when the tubes are exposed to the outside, arcs may occur due to contaminant particles. Because.
  • FIGS. 2 to 10 show various embodiments and modifications of the nozzle means 50 disposed inside the heating unit provided in the heating apparatus 1 of the present invention.
  • FIGS. 4 and 5 show the nozzle means 50 of another embodiment
  • FIG. 6 to 8 the falling solid coating.
  • Nozzle means associated with shock absorbing means for cushioning the drop impact of material 10 are shown, and nozzle means 50 of another embodiment are shown in FIGS. 9 and 11.
  • the nozzle means 50 of the present invention is basically provided in the lower portion of the coating material supply pipe 52 to which the solid coating material 10 is injected, as shown in Figures 2 and 3
  • the connection pipe 58 is connected to the lower part of the supply pipe 52 or may be provided integrally with the lower part of the coating material supply pipe 52 as shown in FIGS. 4 and 5.
  • the region in which the nozzle means 50 is disposed is a heating region in which a high temperature is formed inside the electromagnetic coil 30 of the heating unit 20, the nozzle means 50 is separately provided below the supply pipe 52. It may be preferable to be connected via a connector 58 of the material.
  • the nozzle means 50 of the present invention as shown in Figs. 1 to 5, the solid coating material 10 supplied therein is seated and accommodated, and the internal solid coating material 10 of the nozzle means during heating is liquid Phase change into the coating material 12 of the, thus including one or more nozzle openings 54 formed on the side wall for discharging (falling) the liquid coating material 12 of the heating portion to the coating vapor generating tube 40 side Nozzle 56.
  • the nozzle 56 is clogged with a bottom as a cylindrical body, so that the falling solid coating material 10 is seated and accommodated.
  • the nozzle 56 of the present invention is provided with a graphite material, which is a heat-resistant material, as a cylindrical body, and an appropriate number of nozzle openings 54 are formed in the circumferential direction of the nozzle side wall.
  • the solid coating material 10 supplied through the supply pipe to the bottom (not shown) of the nozzle 56 is seated and accommodated, and then melted into the liquid coating material 12 when heated by applying electromagnetic force.
  • connection pipe 58 between the supply pipes 52 to which the nozzle 56 is connected is preferably provided as a cylindrical body of non-conductive material such as boron knight. Since it may be overheated, the connection tube 58 of the non-conductive material is connected to the lower portion of the supply tube 52, and the nozzle 56 is connected to the lower portion of the connection tube 58.
  • the supply pipe 52 extends adjacent to the heating part 20, it can be provided as a heat resistant graphite cylinder resistant to heat.
  • the nozzle 56 of the present invention may be integrally formed without a connecting pipe to the lower portion of the supply pipe 52.
  • the nozzle may be provided as a structure formed of a graphite material such as a supply pipe.
  • the nozzle means 50 of the present invention shown in Figures 1 to 5, in the state in which the solid coating material 10 in the form of ingots (lumps) supplied through the supply pipe 52 is primarily seated and accommodated, Upon heating, the solid coating material is phase-changed and provided as a liquid coating material 12, and is discharged to the coating steam generating tube 40 through the nozzle opening 54 formed on the sidewall of the nozzle 56, and the discharged liquid phase.
  • the coating material 12 is to be heated to apply the electromagnetic force in the concave coating steam generating tube 40 is generated as the coating steam (14).
  • the nozzle 56 of the nozzle means 50 of the present invention enables stable heating in a state where the solid liquid material is seated and accommodated, which smoothly changes the phase of the liquid coating material 12, that is, melts. In the end, the production of the coating vapor is also smooth.
  • the equipment portion of the supply system may not be eroded, and the temperature decrease of the coating material when the coating material such as wire is used is also suppressed.
  • the shock absorbing means 60 may be further provided below the nozzle 56 of the nozzle means 50. have.
  • the shock absorbing means 60 of the present invention opens the bottom (unsigned) of the nozzle 56 of the nozzle means 50, and the holder of the shock absorbing means thereunder. And one or more buffers 64 provided inside the holder 62.
  • the shock absorbing material 64 may be provided by stacking a thin sheet of heat resistant material, and the like, to cushion a drop impact of the solid coating material 10 having a predetermined weight falling through the supply pipe 10. .
  • the buffer 64 in the holder 62 connected to the bottom of the nozzle 56 having the bottom opening may be provided as a high-purity alumina sheet to withstand high heat.
  • the shock absorbing means of the present invention has a height H at the bottom side of the nozzle 56 provided integrally with the lower portion of the supply pipe 52 or via the connecting pipe 58.
  • the molten liquid coating material 12 may not be discharged through the nozzle opening 54, but may be provided to the liquid coating material accommodating part 66 that is partially retained.
  • the first solid coating material 10 introduced through the supply pipe 52 is seated and received at the bottom of the nozzle 56, and is heated when electromagnetic force is applied to the liquid coating material 12.
  • the receiving portion 66 of the buffer means 60 of another embodiment of the present invention has a height at the bottom so that the liquid coating material 12 is retained therein, and is finally introduced and dropped into the solid phase.
  • the coating material 10 is to impact the falling impact of the coating material 12 of the liquid contained in the nozzle bottom side.
  • the solid coating material is sequentially supplied and subsequently heated to sequentially change the phase-changing liquid coating material 12 remains in the receiving portion 66 provided with the height (H) at the bottom of the nozzle, Therefore, it is possible to buffer the drop impact of the solid coating materials falling after the first solid coating material supplied.
  • the nozzle openings 54 provided on the side wall of the nozzle 56 provided in the nozzle means 50 of the heating apparatus of the present invention are spaced apart in a circumferential direction of the nozzle.
  • the liquid coating material 12 discharged from the nozzle opening is discharged while being uniformly spread in the coating vapor generating tube 40, the production of the coating vapor 14 Will make smooth.
  • the header moving into the inside of the coating material supply pipe 52 to which the first solid coating material 10 is supplied.
  • Supply pipe blockage including 72, to prevent the coating vapor in the supply pipe from cooling down to a temperature drop and to block the supply pipe 52, and further to prevent the coating vapor 14 from flowing back through the supply pipe 52.
  • Prevention means 70 may further include.
  • the supply pipe blockage preventing means 70 of the present invention is connected to the header 72 and the connecting arm 76 to move the header 72 is moved to the inside of the supply pipe.
  • Drive source 74 vertical drive cylinder
  • the header 72 of the supply pipe blockage preventing means 70 is provided in an inverted shape having a smaller diameter at the lower end than the upper end as shown in FIG. 2, and at least the coated vapor ejection tube 230 and the supply pipe 52. This meets the boundary, i.e., moves to the area 'A' of FIGS.
  • the solid coating material 10 of the ingot form seated on the nozzle means 50 is heated by applying electromagnetic force, and the liquid coating material 12 produced by melting is the opening of the nozzle 56.
  • the coating vapor 14 is discharged through the coating steam generating tube 40, so that when a unit solid-phase coating material 10 is supplied into the supply pipe, the coating steam 14 passes through the nozzle opening 54. It can flow back inside the supply pipe 52.
  • the inside of the tube moving to the steel plate side while maintaining the temperature inside the tube at a predetermined temperature outside the coated vapor ejection tube 230 of the coating apparatus 200.
  • Heating elements such as hot wires 234 are disposed to prevent the temperature of the coated vapor from dropping.
  • the header 74 of the supply pipe blockage preventing means 70 of the present invention is at least coated steam jet tube 230 and the supply pipe by the operation of the drive source 72, that is, the vertically driven cylinder connected to the connecting rod 76 through the medium. It is necessary to move to the boundary region where 52 meets ('A' in Figs. 1, 13 and 14) and cut off the supply pipe.
  • the inside of the supply pipe 52, the header 76 moving to the boundary (A) will also serve to block at least the steam backflow from the coating steam 14 is discharged to the outside through the supply pipe upper inlet.
  • the coating material supply pipe 52 connected to the upper portion of the nozzle means 50 of the present invention penetrates through the wall of the vacuum chamber 220, and then, in detail. 1, 13 and 14 to be described in conjunction with the coating material supply means 80, 90 of the solid coating material 10 may be sequentially supplied to the heating unit 20 side.
  • the coating material supply pipe 52 preferably penetrates through the wall of the vacuum chamber 220 and the coating steam ejection tube 230 (or the coating steam generating tube 40), the coating
  • the seal 14 is provided in a sealed manner to prevent external leakage of the steam 14 or inflow of external air into the chamber.
  • the supply pipe blocking means is provided in order to control the supply amount of the solid coating material in conjunction with a point of the supply pipe 52 and further block the supply pipe backflow of the coating steam ( 110 may be further included.
  • the supply pipe blocking means 110 may be further provided on the vacuum chamber 220 at the boundary where the supply pipe 52 passing through the vacuum chamber 220 and the vacuum chamber 220 meet.
  • a semicircular opening 52a is formed with respect to the center of the supply pipe 52, and a blocking plate 114 having a semicircular tip is formed on the vacuum chamber 220.
  • the blocking plate 114 enters the inside of the supply pipe 52 in accordance with the forward or backward of the cylinder while the edge surface of the block plate on the inner side of the supply pipe It is in close contact with the supply pipe.
  • the surface of the blocking plate 114 may be provided with a separate heat-resistant sealing material 114a for increasing the sealing property with the supply pipe opening.
  • the blocking plate 114 of the supply pipe blocking unit 110 of the present invention makes it possible to adjust the heating unit input amount of the solid coating material 10 introduced through the supply pipe 52.
  • the blocking plate 114 may move forward to block the supply pipe.
  • the supply pipe 52 basically prevents the backflow of the coating vapor by lowering the header 72 of the blockage preventing means 70 to the boundary A where the coating vapor ejection tube 230 and the supply pipe 52 meet.
  • the blocking plate 114 can adjust the dosage of the solid coating material 10 as an auxiliary means, and also can block backflow of the coating vapor.
  • the solid coating material 10 is stacked in a desired number to form a plurality of solid coating materials toward the nozzle means 50.
  • Supply amount control to supply 10 will be possible.
  • the solid coating material 10 is supplied to the supply pipe 52 associated with the nozzle means 50 to the heating device 1 included in the coating apparatus 200 of the present invention.
  • Coating material supply means 80 and 90 are shown.
  • FIG. 13 is a variation of the coating material supply means 80 of FIG. 1, and the basic structures thereof are similar to each other, and the coating material supply means 90 of FIG. 14 is the coating material supply means 80 of FIGS. 1 and 13.
  • 1 and 13 are related to a coating apparatus 200 in which the steel sheet 210 proceeds in a vertical direction, and FIG. 14 illustrates a coating apparatus in a form where the steel sheet 210 proceeds in a horizontal direction. 200, and correspondingly, there is a difference only in the arrangement of the vacuum chamber, the heating unit 20 and the coating steam ejection tube 230, and the basic configuration of the actual supply means is similar.
  • the coating material supply means 80 associated with the coating material supply pipe 52 of one embodiment of the present invention is provided rotatably inside the housing 81 of the cylindrical body while the solid coating material 10 may include a rotary stack 83 having a coating material receiving portion 82 is accommodated.
  • the rotary stack 83 of the present invention may provide the stack itself in a multiple structure, but may also include a coating material accommodating part 82 formed integrally in the vertical direction and penetrated in the vertical direction.
  • the rotary stack 83 of the coating material supply means 80 is a vertically elongated form on the cylinder and the coating material receiving portion 82 is formed inside the housing (
  • the solid coating material 10 in the form of an ingot (lump) introduced through a hole (not shown) formed in the upper portion of the 81 may be stacked in the receiving portion 82 in multiple layers.
  • the rotary stack 83 is a housing 81 via a belt 85 (or chain, etc.) driven as a motor 84, as shown in FIG.
  • Rotating shaft 86 assembled with a bearing or the like on the rotating) can be rotated integrally, and the rotary stack rotates at an angle to supply the solid coating material 10 to the supply pipe 52 sequentially.
  • the rotary shaft 86 assembled to the rotary stack 83 may be directly connected to the motor 84 disposed above the housing 81 to be rotated.
  • the coating material supply means 80 of Figures 1 and 13 is only different from the rotary stack and the motor arrangement. At this time, it is natural that the motor 84 and the cylinder 89 which are horizontally operated in FIG. 1 are arranged so as not to interfere with each other.
  • the heating apparatus 1 of the present invention further comprises a preheating means 100 provided to the solid coating material supply means 80.
  • a preheating means 100 provided to the solid coating material supply means 80.
  • other supply means 90 of FIG. 14 may be provided with preheating means.
  • the central portion of the integral rotary stack 83 is connected to the center of the rotary stack 83 of the coating material supply means 80, the rotary stack 86 is a hot wire or Other preheating means 100, such as heating elements, may be provided.
  • the preheating means 100 of the present invention preheats the solid coating material 10 and supplies it to the nozzle 56 of the nozzle means 50 through the supply pipe 52, when heating by applying electromagnetic force, The solid coating material 10 is more smoothly phase-changed (melted) and discharged into the liquid coating material 12, thus facilitating the production of the coating vapor 14 as well.
  • the coating material supply means 90 of another embodiment of the present invention as shown in Figure 14, the inner side of the casing 91 of the cylindrical body provided to one side of the vacuum chamber 220 of the coating mechanism 200
  • An upper motor 92 includes a circular rotary feeder 93 rotatably provided in association with the rotary motor 93, and the rotary feeder 93 is provided with a plurality of coating material accommodating parts 94 at appropriate intervals.
  • the solid coating material 10 having an ingot form continuously supplied through the belt conveyor 95 or the like is formed of the rotary feed body 93 through the opening portion (unsigned) of the casing 91.
  • the solid coating material 10 is sequentially introduced into the receiving portion 94, and the solid coating material 10 is provided at the discharge port (not shown) provided at the bottom of the casing when the rotating feeder rotates. It is supplied to the nozzle means 50 of the present invention disposed.
  • the supply pipe 52 includes at least the coated vapor ejection tube 230 and the supply pipe 52 described above so that the header 72 of the supply pipe blockage preventing means 70 described above enters and moves therein. It is preferable to maintain the horizontal to the boundary (A) to meet, such a header 72 is passed through the opening (unsigned) formed in the boundary of the vertical portion and the horizontal portion associated with the supply means of the supply pipe inside the tube
  • the header 72 serves to block the opening portion, and in particular, serves as a pushing mechanism for supplying the solid coating material 10 from the supply pipe to the nozzle means 50.
  • the electromagnetic coil 30 of the heating device 1 provided in the coating apparatus 200 of the present invention is provided on the atmosphere outside the vacuum chamber 220, Alternatively, as shown in FIG. 14, it may be provided inside the vacuum chamber 220.
  • the electromagnetic coil 30 when the electromagnetic coil 30 is provided to the outside of the vacuum chamber 220 on the atmosphere, it is preferable to arrange the electromagnetic coil 30 so as to be surrounded on the outside of the insulating flange 240 assembled to the vacuum chamber 220. desirable. That is, the insulating flange 240 serves as a partition wall that separates the electromagnetic coils 30 disposed in the atmosphere while surrounding the coated vapor generating tube 40 of the heating unit 20 under the vacuum part machine.
  • the heating apparatus 1 and the coating apparatus 200 based on the present invention described so far adopting a liquid supply method, after receiving the supplied solid coating material in the nozzle means, it enables smooth and stable generation of coating vapor, and prevents the blockage of the supply pipe by blocking preheating of other solid coating material and coating vapor at a specific position. As a result, the coating quality and operability of the steel plate which advances at high speed are improved.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

연속 이동하는 모재(강판)의 증착 코팅을 위한 코팅증기(기체)를 발생하는 가열 장치 및 이를 포함하는 코팅 기구가 제공된다. 본 발명은, 액상 공급 방식을 채택하되, 공급된 고상의 코팅물질을 노즐수단의 내부에 수용한 후, 가열하여 액상의 코팅물질을 가열부에 공급하기 때문에, 코팅증기의 원활하고 안정적인 생성을 가능하게 하고, 추가로 고상의 코팅물질 예열 공급을 구현하고 공급관의 막힘을 방지하여, 궁극적으로 고속 진행하는 강판의 코팅 품질이나 조업성을 향상시키는 것이다.

Description

가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구
본 발명은 연속 이동하는 모재(강판)의 증착 코팅을 위한 코팅증기(기체)를 발생하는 가열 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액상 공급 방식을 채택하되, 공급된 고상의 코팅물질을 노즐수단의 내부에 수용한 후, 가열하여 액상의 코팅물질을 가열부로 배출하기 때문에, 코팅증기의 원활하고 안정적인 생성을 가능하게 하고, 추가로 고상의 코팅물질 예열 공급을 구현하고 공급관의 막힘을 방지하여, 궁극적으로 (고속 진행하는) 강판의 코팅 품질이나 조업성을 향상시키도록 한 가열 장치 및 이를 포함하는 코팅 기구에 관한 것이다.
기판 예를 들어, 연속적으로 (고속) 진행하는 강판을 진공 분위기하에서 증착하는 알려진 방식들을 통하여, 코팅물질 즉, 금속증기를 강판 표면에 코팅한다.
이와 같은 진공 증착은 진공 분위기 하에서 여러 방식으로 고체(고상) 또는 액체(액상)의 코팅 물질을 가열-증발시켜 증기(기체)로 변화시키고, 이를 강판 상에 증착하여 코팅을 수행하는 것이다.
그런데, 이와 같은 진공 증착을 매개로 한 기판(강판)의 연속 코팅은, 가열 방법에 따라 분류될 수 있는데, 예를 들어 열 증착법(thermal evaporation)과 전자빔 증착법(electron beam evaporation) 등이 있다.
한편, 최근에는 고속증착을 위한 전자기(부양) 증착법(electro-magnetic levitation evaporation)이 연구 개발되어 왔다.
이와 같은 전자기 증착법은, 코팅물질이 전자기 코일에 둘러싸여 있고, 고주파 전원에서 발생되는 고주파 교류전류를 전자기 코일에 인가하고, 이때 발생된 교류 전자기장에 의해 코팅물질을 부양 상태로 가열시키어, 기존 도가니에서 금속증기를 발생시키는 것에 비하여, 열 손실을 줄이면서 다량의 금속증기를 기판 예컨대, 연속적으로 (고속) 진행하는 강판의 표면에 코팅을 가능하게 하는 것이다.
그런데, 진공 중에서 연속으로 진행하는 강판을 코팅하기 위해서는 코팅증기를 발생시키는 가열 장치(증발원 장치)가 필요한데, 연속코팅을 구현하기 위해서는 코팅물질(증발(코팅) 대상 물질)의 공급이 필요하다.
이와 같은 코팅물질의 공급은 코팅물질의 상태에 따라 고상(고체) 공급과 액상(액체) 공급으로 구분될 수 있고, 액상 공급의 경우는 기계적 방식, 높이차 를 이용한 방식, 압력차 방식 등으로 분류할 수 있다.
예를 들어, 액상 공급 방식 중 기계적 방식으로는, 피스톤 방식(미국 공개특허 US 2005-0229856), 전자기를 이용한 MHD 펌프 방식(대한민국 공개특허 제2007-0015923호) 또는, 스크류 방식(일본 공개특허 제2010-189739호) 등이 있다.
그리고, 높이차를 이용한 방식은, 대한민국 공개특허 제2009-0074064호 등에서 개시되고, 압력차 방식은 일본 공개특허 소55-154537호 등에서 개시되고 있다.
그런데, 위의 관련 특허들에서 개시되는 액상 공급 방식은 공통적으로, 공급되는 액상물질에 의한 온도 또는 화학적 특성으로 인하여, 설비의 침식(마모)이 발생하는 문제가 있었다.
한편, 고상(고체) 공급 방식의 대표적인 방식으로, 고체 와이어를 공급하는 방식이 지금까지 적용되어 왔으나, 이 경우 전자기 코일 내에서 증기 물질의 온도를 저하시키는 문제가 있었다.
따라서, 당 기술분야에서는, 액상 공급 방식을 채택하되, 공급된 고상의 코팅물질을 노즐수단의 내부에 수용한 후, 가열하여 액상의 코팅물질을 가열부로 배출하기 때문에, 코팅증기의 원활하고 안정적인 생성을 가능하게 하는 가열장치가 요구되어 왔다.
더하여, 고상의 코팅물질의 예열을 구현하여 액상의 코팅물질로의 상변화를 원활하게 하고, 코팅물질 공급관의 막힘과 코팅증기의 역류를 방지하는 가열장치가 요구되어 왔다.
또한, 상기의 가열장치를 이용하여 궁극적으로 고속 진행하는 강판의 코팅 품질이나 조업성을 향상시키도록 하는 코팅 기구가 요구되어 왔다.
상기와 같은 요구를 달성하기 위한 기술적인 일 측면으로서 본 발명은, 코팅 대상물에 증착되는 코팅증기를 발생하도록, 공급된 코팅물질을 가열토록 제공된 가열부; 및,
상기 가열부의 내측에 배치되고, 공급된 고상의 코팅물질이 안착되어 가열시 액상의 고팅물질로 상 변화된 후 가열부로 배출토록 제공된 노즐수단;
을 포함하여 구성된 가열 장치를 제공한다.
또한, 기술적인 다른 측면으로서 본 발명은, 상기 가열장치;
상기 가열장치의 전체 또는 일부를 포위하면서, 진공 상태로 코팅대상물이 통과하여 가열장치에서 발생된 코팅증기가 증착 코팅되는 진공 쳄버; 및,
상기 가열장치에 구비된 코팅증기 발생튜브와 연결되고, 발생된 코팅증기를 코팅 대상물에 분출토록 제공된 분출구를 구비하는 코팅증기 분출튜브;
를 포함하여 구성된 가열장치를 포함하는 코팅 기구를 제공한다.
이와 같은 본 발명의 가열 장치는, 코팅증기의 생성이나 온도 저하가 적은 액상 공급 방식을 채택하되, 공급된 고상의 코팅물질을 노즐수단의 내부에 수용한 후, 가열하여 액상의 코팅물질을 최종적으로 가열부에 공급하기 때문에, 코팅증기의 원활하고 안정적인 생성을 가능하게 하는 효과를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 가열장치는, 추가로 고상의 코팅물질의 예열을 구현하여 액상의 코팅물질로의 상변화를 용이하게 하고, 특정위치(고상의 액상물질 공급관의 경로중)의 코팅증기 역류나 공급관의 막힘 등을 방지하는 다른 효과를 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명의 가열장치를 이용한 코팅기구의 경우, 특히 고속 진행하는 강판의 코팅 품질이나 조업성을 향상시키는 또 다른 효과를 제공하는 것이다.
도 1은 도 2,3에서 도시한 본 발명의 일 실시예의 노즐수단을 포함하는 본 발명에 따른 코팅 기구의 전체 구성을 도시한 구성도
도 2는 본 발명의 일 실시예의 노즐수단을 포함하는 가열장치를 도시한 도 1의 일부를 도시한 확대도
도 3은 도 2의 본 발명의 노즐수단을 도시한 분해 사시도
도 4는 본 발명의 다른 실시예의 노즐수단을 포함하는 가열장치를 도시한 도 1의 일부를 도시한 확대도
도 5는 도 4의 본 발명의 노즐수단을 도시한 분해 사시도
도 6은 본 발명의 노즐수단에 연계되는 완충수단을 포함하는 가열장치를 도시한 도 1의 일부를 도시한 확대도
도 7은 도 6의 본 발명의 완충수단이 연계되는 노즐수단을 도시한 분해 사시도
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예의 노즐수단을 도시한 구성도
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예의 노즐수단을 도시한 사시도
도 10은 도 9의 본 발명의 노즐수단을 도시한 평면 구성도
도 11은 본 발명의 가열장치에 제공되는 공급관 차단수단을 도시한 도 1의 일부 확대도
도 12는 도 11의 평면 구성도
도 13은 본 발명의 가열장치를 포함하는 도 1의 코팅기구의 변형예의 전체 구성을 도시한 구성도
도 14는 본 발명의 가열장치를 포함하는 도 1의 코팅기구의 다른 실시예의 전체 구성을 도시한 구성도
이하, (첨부된 도면을 참조하여) 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. (도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.)
먼저, 도 1,13 및 도 14에서는, 다음에 상세하게 설명하는 도 2 내지 도 10에서 상세하게 설명한 본 발명의 노즐수단(50)을 구비하는 가열장치(1)를 포함하는 일 실시예와 그 변형예 및 다른 실시예의 코팅 기구(200)들을 도시하고 있다.
한편, 도 1 및 도 13에서 도시한 일 실시예 및 그 변형예의 본 발명에 따른 코팅 기구(200)는 코팅 대상물 즉, 강판(210)을 수직으로 이동시키면서 코팅하는 방식을 도시한 것이고, 도 14에서는 도시한 본 발명의 다른 실시예의 코팅 기구(200)는 강판(210)을 수평으로 이동시키면서 코팅하는 방식을 도시한 것이고, 다음에 상세하게 설명하는 본 발명의 가열장치(1)는 이들 코팅 기구(200)들에 모두 적용될 수 있다.
다음, 이하의 본 실시예 설명에서는 코팅 대상물을 (고속으로) 진행하는 강판(210)으로 한정하여 설명하고, 코팅물질(코팅매질)은 고체상태의 코팅물질을 '고상의 코팅물질(10)'로 설명하고, 고상의 코팅물질에서 가열되어 상변화된(용융된) 액체상태의 코팅물질을 '액상의 코팅물질(12)'로 설명하고, 액상의 코팅물질(12)이 가열되어 생성되는 증착증기(기체)는 '코팅증기(14)'로 설명한다.
또한, 고상의 코팅물질(10)이 가열되어 액상의 코팅물질(12)로 용융되는 상태를 '상 변화'로 설명한다.
한편, 바람직하게는, 고상의 코팅물질은 도 1,13 및 도 14에서 도시한 바와 같이, 일정 크기를 갖추어 운반이나 공급 환경이 용이한 잉곳(괴) 형태일 수 있다.
예를 들어, 도 1,13 및 도 14에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 코팅 기구(200)들은, 도금용액에 강판이 침지된 상태로 통과하면서 도금을 수행하는 방식과는 다른, 진공 분위기 하에서 코팅증기(14)를 증착시키어 강판(210)의 표면에 원하는 재질의 코팅을 구현하는 건식 코팅 기구일 수 있다.
한편, 본 발명의 코팅 기구(200)는, 도 2 내지 도 10에서 상세하게 설명하는 본 발명의 가열장치(1)의 가열부(20) 및 노즐수단(50)과 연계되는 코팅물질 공급관(52)의 적어도 일부를 밀봉 상태로 포위토록 제공되는 진공 쳄버(220)를 포함할 수 있다.
그리고, 진공 쳄버(220)에는 코팅 대상물인 강판(210)을 연속하여 고속으로 진행하기 위한 강판 이송롤(222)들이 진공 쳄버의 입측과 출측에 제공되고, 이와 같은 강판 이송롤(222)들은 쳄버 입측 및 출측에서 입구와 출구를 실링하는 역할도 할 수 있다.
또한, 본 발명의 코팅 기구(200)는, 다음에 상세하게 설명하는 가열부(20)의 코팅증기 발생튜브(40)와 연계되고, 발생된 코팅증기(14)를 강판(210)의 표면에 분출토록 제공된 분출구(232)를 구비하는 코팅증기 분출튜브(230)를 더 포함할 수 있다.
이때, 본 발명의 코팅증기 분출튜브(230)의 외곽으로는 튜브의 온도를 일정온도로 유지시키어 코팅증기의 온도저하를 방지하는 열선(234)이나 기타 가열요소가 제공될 수 있다.
따라서, 본 발명의 코팅 기구(200)에서는 가열장치(1)에서 발생된 코팅증기(14)가 코팅증기 분출튜브(230)에 구비된 분출 개구(232)에서 분출되고, 인접하여 진행되는 강판(210)의 표면에 코팅증기(14)가 분출 증착되어 코팅이 이루어지는 것이다.
물론, 도면에서는 개략적으로 도시하였지만, 강판의 최대 폭에 대응하여 튜브들은 길이는 갖는 구조로 제공됨은 당연하다.
다음, 도 1 내지 도 10을 토대로, 본 발명의 가열장치(1)의 여러 실시예또는 그 변형예들을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 1 내지 도 3에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 가열장치(1)는 코팅 대상물(210)에 증착되는 코팅증기를 발생하도록, 공급된 고상의 코팅물질 (10)을 가열토록 제공되는 가열부(20) 및, 상기 가열부(20)의 내측에 배치되고, 공급된 고상의 코팅물질(10)이 수용, 안착된 상태에서 가열시, 액상의 고팅물질(12)로 상 변화된후, 액상의 코팅물질(12)을 가열부(20)에 배출토록 제공된 노즐수단(50)을 기본으로 구성될 수 있다.
따라서, 본 발명의 가열장치(1)는 초기에는 가열부의 내측에 제공되는 노즐수단(50)에 잉곳 형태인 고상의 코팅물질(10)이 낙하하면서 안착 수용되고, 이때 고상의 코팅물질(10)은 가열시 상변화되어 액상의 코팅물질(12)로 생성되고, 노즐수단(50)을 통하여 액상의 코팅물질(12)은 다시 가열부(20)의 코팅증기 발생튜브(40)로 배출되고, 다시 가열되어 코팅증기(14)로 생성되고, 최종적으로 생성된 코팅증기(14)는, 코팅증기 분출튜브(230)의 분출개구(232)를 통하여 (고속)으로 진행되는 강판(210)의 표면에 증착되어 강판의 코팅이 수행된다.
이에, 본 발명의 가열장치(1)는, 종래 액상의 코팅물질을 바로 가열부에 공급하는 경우 발생하는 설비의 침식(손상) 문제를 해소하고, 또는 기존에 와이어를 코팅물질로 공급하는 경우의 코팅물질의 온도 저하를 억제할 수 있는 것이다.
즉, 취급과 공급이 용이한 일정 크기의 잉곳 형태의 고상의 코팅물질(10)을 가열부(20)에 공급하고, 다음에 보다 상세하게 설명하는 노즐수단(50)을 통하여, 초기에 공급된 고상의 코팅물질(10)은 노즐수단(50)의 내부에 안착, 수용된 상태에서, 가열하여 상변화된 액상의 코팅물질(12)은 노즐수단(50)의 측벽에제공된 노즐 개구(54)를 통하여 가열부(20)로 배출되기 때문에, 코팅증기(14)를 원활하게 생성할 수 있고, 초기부터 설비 침식의 우려가 있는 액상의 코팅물질(12)을 공급하지 않기 때문에, 설비 침식 등을 방지할 수 있는 것이다.
한편, 도 1 및 도 2에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 가열장치(1)에서 상기 가열부(20)는, 전자기 유도를 통한 코팅물질의 가열을 가능하게 하는 전자기 코일(30)과, 상기 전자기 코일(30)의 내측에, 공급된 액상의 코팅물질(12)을 가열하여 코팅증기(14)의 생성을 가능토록 제공되는 코팅증기 발생튜브(40)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 가열장치(1)는, 기본적으로 전자기 코일(30) 즉, 적당한 턴수로 권취된 상부 전자기코일(32)과 상부 전자기코일과 적당하게 이격되고 적당한 턴수로 권취된 하부 전자기코일(34)로 구성된 전자기 코일(30)에 전원이 인가되면, 이때 발생하는 전자기 유도 전류를 이용하여 코팅물질을 가열하고, 코팅증기(14)를 발생시키어 강판의 코팅을 수행하는 것이다.
즉, 전자기 코일(30)의 내측에서 고주파 전류의 인가시 형성되는 전자기력으로 인하여, 노즐수단(50)의 내측에 낙하 안착된 고상의 코팅물질(10)은 액상의 코팅물질(12)로 상 변화되고, 액상의 코팅물질(12)은 노즐수단(50)의 노즐 개구(54)를 통하여 코팅증기 발생튜브(40)로 배출되어 수용되고, 다시 전자기력으로 가열되면서 금속증기인 코팅증기(14)로 생성된다.
그리고, 본 발명의 코팅기구(200)의 코팅증기 발생튜브(40)와 연계된 코팅증기 분출튜브(230)의 분출개구(232)를 통하여 분출되는 코팅증기(14)는 최종적으로 인접하여 진행하는 강판(210)에 증착되어 코팅이 이루어진다.
이때, 도 1,13 및 도 14에서 도시한 바와 같이, 본 발명 가열부(20)의 전자기코일(30)의 상, 하부 전자기 코일(32)(34)들에는 전원 공급기(36)가 연계되고, 별도의 부호로 표기하지 않았지만, 상기 전자기코일(30)에는 전자기 코일(고주파 코일)(30)의 아크발생을 차단하기 위한 절연구조가 제공되는데, 예를 들어 전자기 코일들은 캐스터블이나 세라믹의 충진재로 절연될 수 있다.
그리고, 도 1, 도 13 및 도 14에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 전자기 코일(30)의 내측에 배치되는 코팅증기 발생튜브(40)와 그 상부에 연결되는 코팅증기 분출튜브(230)는, 진공 쳄버(220)의 내측에 배치되는 것이 바람직한데, 전자기력을 이용하여 코팅물질을 가열하는 경우, 상당한 고열이 발생되고, 따라서 튜브들이 외부에 노출되는 경우 오염입자 등으로 아크가 발생할 우려가 있기 때문이다.
다음, 도 2 내지 도 10에서는 본 발명의 가열장치(1)에 구비되는 가열부 내측에 배치되는 노즐수단(50)의 여러 실시예들과 변형예들을 도시하고 있다.
이때, 도 1 내지 도 3에서는 가장 바람직한 실시예의 노즐수단(50)을 도시하고, 도 4 및 도 5는 다른 실시예의 노즐수단(50)을 도시하고, 도 6 내지 도 8에서는 낙하하는 고상의 코팅물질(10)의 낙하 충격을 완충하는 완충수단과 연계되는 노즐수단을 도시하고 있고, 도 9 및 도 11에서는 또 다른 실시예의 노즐수단(50)을 도시하고 있다.
따라서, 이하에서 본 발명의 노즐수단(50)에 대하여 상세하게 살펴본다.
먼저, 도 2 내지 도 5와 같이, 본 발명의 노즐수단(50)은 기본적으로 고상의 코팅물질(10)이 투입되는 코팅물질 공급관(52)의 하부에 제공되는데, 도 2 및 도 3과 같이, 공급관(52)의 하부에 연결관(58)을 매개로 연결되거나, 또는 도 4 및 도 5와 같이, 코팅물질 공급관(52)의 하부에 일체로 제공되는 것도 가능하다.
다만, 노즐수단(50)이 배치되는 영역이 가열부(20)의 전자기코일(30)의 내측으로, 고온이 형성되는 가열영역이기 때문에, 노즐수단(50)은 공급관(52)의 하부에 별도 재질의 연결관(58)을 매개로 연결되는 것이 바람직할 수 있다.
이때, 본 발명의 노즐수단(50)은 도 1 내지 도 5와 같이, 내부에 공급되는 고상의 코팅물질(10)이 안착 수용되고, 가열시 노즐수단의 내부 고상의 코팅물질(10)은 액상의 코팅물질(12)로 상변화되고, 따라서 이와 같은 액상의 코팅물질(12)을 가열부의 코팅증기 발생튜브(40)측으로 배출(낙하)시키는 측벽에 형성된 하나 이상의 노즐 개구(54)를 포함하는 노즐(56)을 포함한다.
이때, 노즐(56)은 원통체로서 바닥을 구비하여 막혀있어, 낙하되는 고상의 코팅물질(10)이 안착, 수용된다,
그리고, 도 1 내지 도 3과 같이, 본 발명의 노즐(56)은 원통체로서 내열소재인 그라파이트 재질로 제공되면서 노즐 측벽의 원주방향으로 적당한 수의 노즐개구(54)들이 관통 형성된다.
따라서, 노즐(56)의 바닥(미부호)에 공급관을 통하여 공급된 고상의 코팅물질(10)이 안착, 수용된후, 전자기력 인가를 통한 가열시 액상의 코팅물질(12)로 용융된다.
그리고, 상기 노즐(56)이 연계되는 공급관(52) 사이의 연결관(58)은 보론 나이트 등의 비전도성 재질의 원통체로 제공되는 것이 바람직한데, 비전도성으로 형성하는 이유는 전자기력 인가시 관이 과열될 수 있기 때문에, 비전도성 재질의 연결관(58)을 공급관(52)의 하부에 연결하고, 연결관(58)의 하부에 노즐(56)을 연결하는 것이다.
또한, 공급관(52)은 가열부(20)에 인접하여 신장되기 때문에, 열에 강한 내열성 그라파이트 원통체로 제공될 수 있다.
그런데, 도 4 및 도 5와 같이, 본 발명 노즐(56)을 공급관(52)의 하부로연결관 없이 일체로 형성하여 제공하는 것도 가능할 것이다. 물론, 이 경우 노즐은 공급관과 같은 그라파이트 재질로 성형된 구조물로 제공될 수 있을 것이다.
따라서, 도 1 내지 도 5에서 도시한 본 발명의 노즐수단(50)은, 공급관(52)을 통하여 공급된 잉곳(괴) 형태의 고상의 코팅물질(10)이 일차적으로 안착, 수용된 상태에서, 가열시 고상의 코팅물질은 상변화되어 액상의 코팅물질(12)로 제공되고, 노즐(56)의 측벽에 형성된 노즐개구(54)를 통하여 코팅증기 발생튜브(40)로 배출되고, 배출된 액상의 코팅물질(12)은 오목한 코팅증기 발생튜브(40)에서 전자기력 인가시 가열되어 코팅증기(14)로 생성되는 것이다.
따라서, 본 발명의 노즐수단(50)의 노즐(56)은 고상의 액상물질이 안착, 수용된 상태에서, 안정적인 가열을 가능하게 하고, 이는 액상의 코팅물질(12)로의 상변화 즉, 용융을 원활하게 하고, 결국 코팅증기의 생성도 원활하게 하는 것이다.
그리고, 초기에 액상의 코팅물질을 공급하지 않기 때문에, 공급 계통의 설비 부분이 침식될 우려도 없고, 와이어 등의 코팅물질 사용시의 코팅물질의 온도 저하도 억제하는 것이다.
다음, 바람직하게는 도 6 내지 도 8에서 도시한 바와 같이, 본 발명 가열장치(1)에서, 노즐수단(50)의 노즐(56)의 하부에 제공되는 완충수단(60)을 더 포함할 수 있다.
즉, 도 6 및 도 7에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 완충수단(60)은, 노즐수단(50)의 노즐(56)의 바닥(미부호)를 개구시키고, 그 하부에 완충수단의 홀더(62)를 연결하고, 상기 홀더(62)의 내부에 제공되는 하나 이상의 완충재(64)를 포함하는 것이다.
이때, 상기 완충재(64)는, 내열재질의 얇은 박판 등을 적층하여 제공하여, 공급관(10)을 통하여 낙하하는 일정 무게의 잉곳 형태인 고상의 코팅물질(10)의 낙하 충격을 완충할 수 있다.
예를 들어, 상기 바닥이 개구된 노즐(56)의 하부에 연결된 홀더(62) 내의 완충재(64)는 고열에 견디는 고순도 알루미나 박판 등으로 제공할 수 있다.
또는, 도 8에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 완충수단은, 공급관(52)의 하부에 일체 또는 연결관(58)을 매개로 제공되는 노즐(56)의 바닥 측에 높이(H)를 갖고, 용융된 액상의 코팅물질(12)이 노즐 개구(54)를 통하여 배출되지 않고, 일부 잔류하여 수용되는 액상의 코팅물질 수용부(66)로 제공되는 것도 가능하다.
따라서, 도 8에서 도시한 바와 같이, 공급관(52)을 통하여 투입된 최초 고상의 코팅물질(10)은 노즐(56)의 바닥에 안착, 수용되고, 전자기력 인가시 가열되어 액상의 코팅물질(12)로 용융되면, 본 발명의 다른 형태의 완충수단(60)의 수용부(66)에는 바닥에서 높이를 갖고있어 그 내부에 액상의 코팅물질(12)이 잔류 수용되고, 결국 차기 투입되어 낙하되는 고상의 코팅물질(10)은 상기 노즐 바닥측에 수용된 액상의 코팅물질(12)에 충돌하여 그 낙하 충격이 완화될 수 있는 것이다.
그리고, 고상의 코팅물질이 순차로 공급되어 순차로 가열되어 상변화된 액상의 코팅물질(12)은 노즐의 하부에 바닥측에 높이(H)를 갖고 제공되는 수용부(66)에 계속 잔류되고, 따라서 최초 공급되는 고상의 코팅물질 이후에 낙하되는 고상의 코팅물질들의 낙하 충격을 완충 가능한 것이다.
다음, 도 9 및 도 10에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 가열장치의 노즐수단(50)에 제공되는 노즐(56)의 측벽에 제공되는 노즐 개구(54)들을, 노즐의 원주방향으로 일정 간격을 갖고 조밀한 형태로 복수 개를 형성시키면, 노즐 개구에서 배출되는 액상의 코팅물질(12)이 가능한 코팅증기 발생튜브(40)에 균일하게 퍼지면서 배출되기 때문에, 코팅증기(14)의 생성을 원활하게 할 것이다.
다음, 도 1,2 및 도 13,14에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 가열장치(1)에서 최초 고상의 코팅물질(10)이 공급되는 코팅물질 공급관(52)의 내부로 진입 이동하는 헤더(72)를 포함하여 공급관 내의 코팅증기가 온도 저하로 냉각되면서 공급관(52)을 막는 것을 방지하고, 추가로 코팅증기(14)가 공급관(52)을 통하여 역류하는 것을 방지하기 위하여 제공되는 공급관 막힘방지수단(70)을 더 포함할 수 있다.
즉, 도 1 및 도 2와 같이, 본 발명의 공급관 막힘방지수단(70)은, 공급관의 내부로 이동되는 헤더(72)를 이동토록 상기 헤더(72)와 연결아암(76)을 매개로 연결된 구동원(74)(수직 구동 실린더)를 포함할 수 있다.
이때, 바람직하게는 상기 공급관 막힘방지수단(70)의 헤더(72)는 도 2와 같이 상단 보다 하단의 직경이 작은 역사각형 형태로 제공되되, 적어도 코팅증기 분출튜브(230)와 공급관(52)이 만나는 경계부 즉, 도 1,13,14의 'A' 영역까지 이동하는 것이다.
결국, 본 발명의 경우 노즐수단(50)에 안착된 잉곳 형태의 고상의 코팅물질(10)은 전자기력 인가를 통한 가열시, 용융되어 생성된 액상의 코팅물질(12)은 노즐(56)의 개구(54)를 통하여 코팅증기 발생튜브(40)로 배출되고, 따라서 하나의 단위 고상의 코팅물질(10)이 공급관의 내부에 공급된 경우, 코팅증기(14)는, 노즐 개구(54)를 통하여 공급관(52)의 내부로 역류할 수 있다.
그런데, 앞에서 설명한 바와 같이, 도 1 및 도 2에서 도시한 바와 같이, 코팅기구(200)의 코팅증기 분출튜브(230)의 외측에는 튜브 내부의 온도를 일정이상으로 유지하여 강판 측으로 이동하는 튜브 내의 코팅증기의 온도 저하를 방지하는 열선(234) 등의 가열요소가 배치되어 있다.
따라서, 코팅증기 분출튜브의 내측에 진입된 공급관(52)의 경우에는 온도가 높기 때문에, 코팅증기가 역류하여도 냉각되면서 공급관을 막을 우려는 적지만, 코팅증기 분출튜브(40)에서 벗어난 공급관(52)의 내부에 역류된 코팅증기는 온도가 하락하여 냉각되고, 이는 고체의 코팅물질로 역으로 상변화되면서 공급관(52)을 막을 우려가 높은 것이다.
결국, 본 발명의 공급관 막힘방지수단(70)의 헤더(74)는 연결봉(76)을 매개로 연계된 구동원(72) 즉, 수직 구동되는 실린더의 작동으로 적어도 코팅증기 분출튜브(230)과 공급관(52)이 만나는 경계영역(도 1,13,14의 'A')까지 이동하여, 공급관을 차단하는 것이 필요한 것이다.
또한, 이와 같은 공급관(52)의 내부에서, 경계부(A)까지 이동하는 헤더(76)는 적어도 코팅증기(14)가 공급관 상부 입구를 통하여 외부 배출되는 증기 역류도 차단하는 역할도 할 것이다.
한편, 도 1 및 도 13,14에서는 개략적으로 도시하였지만, 본 발명의 노즐수단(50)의 상부에 연계되는 코팅물질 공급관(52)은, 진공 쳄버(220)의 벽을 관통하여, 다음에 상세하게 설명하는 도 1,13 및 도 14의 코팅물질 공급수단(80) (90)들과 연계되어 고상의 코팅물질(10)을 순차적으로 가열부(20)측에 공급할 수 있다.
이때, 도면에서는 개략적으로 도시하였지만, 상기 코팅물질 공급관(52)은바람직하게는 진공쳄버(220)의 벽과 코팅증기 분출튜브(230)(또는 코팅증기 발생튜브(40))를 관통하되, 코팅증기(14)의 외부 누출이나 외부 공기의 쳄버 내 유입을 차단하도록, 밀봉상태로 제공됨은 당연하다.
다음, 도 11 및 도 12에서 도시한 바와 같이, 상기 공급관(52)의 일지점에 연계되어 고상의 코팅물질 공급량을 제어하고 추가로 코팅증기의 공급관 역류를 추가로 차단토록 제공되는 공급관 차단수단(110)을 더 포함할 수 있다.
즉, 도 1에서, 진공체버(220)를 통과하는 공급관(52)과 진공쳄버(220)가 만나는 경계부위의 진공쳄버(220)상에 공급관 차단수단(110)을 더 제공할 수 있다.
예를 들어, 도 11 및 도 12에서 도시한 바와 같이, 공급관(52)의 중심을 기준으로 반원형의 개구(52a)를 형성시키고, 선단부가 반원형인 차단판(114)을 진공쳄버(220)상에 설치된 실린더(112)와 연결구(116)를 매개로 연결하면, 실린더의 전진 또는 후진에 따라 차단판(114)은 공급관(52)의 내부로 진입되면서 공급관의 내측면에 차단판의 모서리면이 밀착되어 공급관을 차단하게 된다.
이때, 바람직하게는 상기 차단판(114)의 표면에는 공급관 개구와의 밀봉성을 높이는 별도 내열성의 실링재(114a)가 제공되는 것도 가능할 것이다.
따라서, 도 11과 같이, 본 발명의 공급관 차단수단(110)의 차단판(114)은 공급관(52)을 통하여 투입되는 고상의 코팅물질(10)의 가열부 투입량을 조정하는 것을 가능하게 하면서, 앞에서 설명한 공급관 막힘 방지수단(70)의 헤더(72)와 연동하면서 헤더(72)가 차단판 상부에 위치하면, 상기 차단판(114)이 전진하여 공급관을 차단할 수 있을 것이다.
물론, 공급관(52)은 막힘 방지수단(70)의 헤더(72)가 코팅증기 분출튜브(230)와 공급관(52)이 만나는 경계부(A)까지 하강하여 코팅증기의 역류를 기본적으로 방지하나, 상기 차단판(114)은 보조적인 수단으로서 고상의 코팅물질(10)의 투입량을 조정할 수 있게 하고, 코팅증기의 역류도 차단할 수 있는 것이다.
예를 들어, 코팅증기의 발생량을 코팅 환경에 따라 증가하는 경우, 상기 차단판이 공급관 내부로 진입되면, 원하는 수로 고상의 코팅물질(10)을 적층하여 노즐수단(50)측으로 복수의 고상의 코팅물질(10)을 공급하는 공급량 제어가 가능하게 될 것이다.
다음, 도 1,13 및 도 14에서는, 본 발명의 코팅기구(200)에 포함되는 가열장치(1)에 고상의 코팅물질(10)을 노즐수단(50)과 연계되는 공급관(52)에 공급하는 코팅물질 공급수단(80)(90)들 도시하고 있다.
다만, 도 13은 도 1의 코팅물질 공급수단(80)의 변형예로서 기본 구조는 서로 유사하고, 도 14의 코팅물질 공급수단(90)은, 도 1,13의 코팅물질 공급수단(80)의 다른 실시예로서, 도 1,13은 강판(210)이 수직 방향으로 진행되는 형태의 코팅 기구(200)와 관련되고, 도 14는 강판(210)이 수평 방향으로 진행되는 형태의 코팅 기구(200)와 관련된 것이고, 이에 대응하여 진공쳄버, 가열부(20)와 코팅증기 분출튜브(230) 등의 배열에서만 차이가 있고, 실제 공급수단의 기본 구성은 유사하다.
즉, 도 1 및 도 13에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예의 코팅물질 공급관(52)과 연계되는 코팅물질 공급수단(80)은, 원통체인 하우징(81)의 내측에 회전 가능하게 제공되면서 고상의 코팅물질(10)들이 수용되는 코팅물질 수용부(82)를 구비하는 회전스텍(83)을 기본으로 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 회전스텍(83)은 스텍 자체를 다중 구조로 제공하는 것도 가능하나, 수직 방향으로 일체로 형성되어 수직방향으로 관통된 코팅물질 수용부(82)들을 포함하는 형태도 가능하다.
즉, 도 1 및 도 13에서 도시한 바와 같이, 코팅물질 공급수단(80)의 회전 스텍(83)은 원통 상의 수직으로 길게 신장된 형태로서 내부에는 코팅물질 수용부(82)가 형성되어 하우징(81)의 상부에 형성된 구멍(미부호)을 통하여 투입된 잉곳(괴) 형태의 고상의 코팅물질(10)이 수용부(82)에 다층으로 적재될 수 있다.
따라서, 진공쳄버(220)상에 설치된 지지대(미부호)상에 설치된 내부 공간을 갖는 케이싱(88)에 형성된 고상의 코팅물질 배출구(87)에서 하나의 단위 고상의 코팅물질(10)이 낙하하면, 케이싱(88)에 수평하게 설치된 실린더(89)의 로드에 구비된 푸싱구(89a)는 고상의 코팅물질(10)을 케이싱(88)의 반대측으로 공급관(52)의 상단 입구까지 이동시키어 고상의 코팅물질(10)은 코팅물질 공급관(52)을 통하여, 고상의 코팅물질(10)은 공급관(52)을 통하여 발명 노즐수단(50)의 내부에 안착 수용된다.
한편, 본 발명의 일 실시예의 코팅물질 공급수단(80)에서 상기 회전 스텍(83)은 도 1과 같이, 모터(84)로서 구동되는 벨트(85)(또는 체인 등)를 매개로 하우징(81)상에 베어링 등으로 조립된 회전축(86)이 회전하여 일체로 회전 작동될 수 있고, 이때 회전스텍은 일정 각도로 회전하면서 고상의 코팅물질(10)을 순차적으로 공급관(52)에 공급하게 된다.
또는, 도 13에서 도시한 바와 같이, 회전 스텍(83)에 조립되는 회전축(86)이 하우징(81)의 상부에 배치된 모터(84)와 직접 연결되어 회전 작동될 수 있다.
즉, 도 1과 도 13의 코팅물질 공급수단(80)은 회전스텍과 모터 배치 등에서만 차이가 있다. 이때, 도 1에서 모터(84)와 수평 작동되는 실린더(89)는 서로 간섭되지 않도록 배열하는 것은 당연하다.
한편, 도 1에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 가열장치(1)에서, 상기 고상의 코팅물질 공급수단(80)에 제공되는 예열수단(100)을 더 포함하는 것이다. 다만, 도시하지 않았지만 도 14의 다른 공급수단(90)에도 예열 수단이 제공될 수 있음은 당연하다.
즉, 도 1에서 도시한 바와 같이, 코팅물질 공급수단(80)의 회전 스텍(83)의 중앙으로 회전축(86)이 연결되는 일체로 된 회전 스텍(83)의 중앙부분이 수직방향으로 열선 또는 기타 가열요소 등의 예열수단(100)을 제공할 수 있다.
이 경우, 본 발명의 예열수단(100)은 고상의 코팅물질(10)을 예열하여 노즐수단(50)의 노즐(56)에 공급관(52)을 통하여 공급하기 때문에, 전자기력 인가를 통한 가열시, 고상의 코팅물질(10)은 더 원활하여 상변화(용융)되어 액상의 코팅물질(12)로 배출되고, 따라서 그 만큼 코팅증기(14)의 생성도 원활하게 할 것이다.
다음, 본 발명의 다른 실시예의 코팅물질 공급수단(90)은, 도 14에서 도시한 바와 같이, 코팅 기구(200)의 진공쳄버(220)의 일측으로 제공된 원통체의 케이싱(91)의 내측에 상측의 모터(92)가 연계되어 회전 가능하게 제공되는 원형의 회전 공급체(93)를 포함하고, 상기 회전 공급체(93)에는 적당한 간격으로 다수의 코팅물질 수용부(94)들이 구비된다.
따라서, 도 14와 같이, 벨트 컨베이어(95) 등을 통하여 연속하여 공급되는 잉곳 형태의 고상의 코팅물질(10)은 케이싱(91)의 개구부분(미부호)을 통하여 회전 공급체(93)의 수용부(94)에 순차로 투입되고, 회전 공급체의 회전시 케이싱의 바닥에 제공된 배출구((미부호)에서 고상의 코팅물질(10)은 공급관(52)을 통하여 가열부(20)의 내측으로 배치된 본 발명의 노즐수단(50)으로 공급되는 것이다.
이때, 도 14의 경우, 공급관(52)은 앞에서 설명한 공급관 막힘방지수단(70)의 헤더(72)가 내부를 진입하여 이동하도록 적어도, 앞에서 설명한 코팅증기 분출튜브(230)와 공급관(52)이 만나는 경계부(A)까지는 수평을 유지하도록 하는 것이 바람직하고, 이와 같은 헤더(72)는 공급관의 공급수단에서 연계된 수직부분과 수평부분의 경계부위에 형성된 개구(미부호)를 통과하여 관의 내부로 진입되고, 따라서 헤더(72)는 상기 개구부분을 차단하는 역할도 하고, 특히 고상의 코팅물질(10)을 공급관에서 노즐수단(50)으로 공급하는 푸싱기구의 역할도 한다.
그런데, 지금까지 설명한 본 발명의 코팅기구(200)에 제공되는 가열장치(1)에서, 고상의 코팅물질(10)을 액상의 코팅물질(12)로 상변화하도록 상기 고상의 코팅물질(10)이 안착되는 노즐수단(50)은, 도 1, 도 13 및 도 14와 같이, 적어도 가열부 전자기코일(30)의 상부 전자기 코일(32)과 하부 전자기 코일(34)의 사이로, 전자기 코일의 내측에 배치되는 것이 바람직할 것이다.
또한, 본 발명의 코팅 기구(200)에 구비된 가열장치(1)의 전자기 코일(30)은, 도 1,13에서 도시한 바와 같이, 진공쳄버(220)의 외부로 대기 상에 제공되거나, 또는 도 14와 같이, 진공 쳄버(220)의 내부에 제공되는 것도 가능하다,
다만, 전자기 코일(30)이 진공 쳄버(220)의 외부로 대기 상에 제공되는 경우, 진공쳄버(220)에 조립되는 절연 플랜지(240)의 외측에 포위되도록 전자기코일(30)을 배치하는 것이 바람직하다. 즉, 절연 플랜지(240)는, 진공 부위기 하의 가열부(20)의 코팅증기 발생튜브(40)를 포위하면서 대기하에 배치되는 전자기 코일(30) 사이를 격리하는 격벽 역할을 한다.
이에 따라서, 지금까지 설명한 본 발명의 가열장치(1)와 이를 기반으로 하는 코팅 기구(200)의 경우, 액상 공급 방식을 채택하되, 공급된 고상의 코팅물질을 노즐수단의 내부에 수용한 후, 가열하여 상변화된 액상의 코팅물질을 가열부에 공급하기 때문에, 코팅증기의 원활하고 안정적인 생성을 가능하게 하고, 기타 고상의 코팅물질 예열과 특정위치에서의 코팅증기를 차단하여 공급관의 막힘 등을 방지하고, 결과적으로 고속 진행하는 강판의 코팅 품질이나 조업성을 향상시키는 것이다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.

Claims (15)

  1. 코팅 대상물에 증착되는 코팅증기를 발생하도록, 공급된 코팅물질을 가열토록 제공된 가열부; 및,
    상기 가열부의 내측에 배치되고, 공급된 고상의 코팅물질이 안착되어 가열시 액상의 고팅물질로 상 변화된 후 가열부로 배출토록 제공된 노즐수단;
    을 포함하여 구성된 가열 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가열부는, 전자기 유도를 통한 코팅물질을 가열토록 제공된 전자기 코일; 및,
    상기 전자기 코일의 내측에 배치되고 상기 노즐수단에서 배출된 액상의 코팅물질이 수용되면서 가열되어 코팅증기를 생성하는 코팅증기 발생튜브;
    를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 노즐수단은, 고상의 코팅물질이 투입되는 코팅물질 공급관의 하부에 일체로 형성되거나 또는 연결되되,
    내부에 수용된 고상의 코팅물질의 가열후 상변화된 액상의 코팅물질을 배출하는 측벽에 형성된 하나 이상의 노즐 개구를 포함하는 노즐;
    을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 코팅물질 공급관의 하부에 연결관을 매개로 연결되는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 노즐의 바닥이 개구되고, 노즐의 하부에 연계되어 고상의 코팅물질의 낙하 충격을 완충토록 제공된 완충수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 완충수단은, 상기 노즐의 하부에 연결되는 홀더; 및,
    상기 홀더의 내부에 제공되고 고상의 코팅물질이 낙하 충돌하는 하나 이상의 완충재;
    를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 완충수단은, 노즐의 바닥 측에, 고상의 코팅물질의 가열후 상 변화된 액상의 코팅물질의 수용을 가능토록 제공되어, 낙하되는 고상의 액상물질이 충돌 완충토록 구성된 액상의 코팅물질 수용부;
    를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 노즐에 구비된 노즐 개구는, 노즐의 원주방향으로 일정 간격을 갖고 복수 개가 제공되어 노즐 개구에서 배출되는 액상의 코팅물질이 가열부의 코팅증기 발생튜브에 균일하게 퍼지도록 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 코팅물질 공급관의 내부로 진입 이동되는 헤더를 포함하여 코팅증기로 인한 공급관 막힘을 방지하거나 코팅증기의 공급관 역류를 차단토록 제공되는 공급관 막힘 방지수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 공급관 막힘 방지수단은, 상기 헤더를 이동시키는 구동원을 포함하되, 상기 헤더는 적어도 코팅증기 분출튜브와 공급관이 만나는 경계부까지 이동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  11. 제3항에 있어서,
    상기 코팅물질 공급관과 연계되는 고상의 코팅물질 공급수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 고상의 코팅물질 공급수단에 제공되는 예열수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열 장치.
  13. 제3항에 있어서,
    상기 공급관의 일지점에 연계되어 고상의 코팅물질 공급량을 제어하거나 코팅증기의 공급관 역류를 차단토록 제공되는 공급관 차단수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 하나의 항에서 기재된 가열장치;
    상기 가열장치의 전체 또는 일부를 포위하면서, 진공 상태로 코팅대상물이 통과하여 가열장치에서 발생된 코팅증기가 증착 코팅되는 진공 쳄버; 및,
    상기 가열장치에 구비된 코팅증기 발생튜브와 연결되고, 발생된 코팅증기를 코팅 대상물에 분출토록 제공된 분출개구를 구비하는 코팅증기 분출튜브;
    를 포함하여 구성된 가열장치를 포함하는 코팅 기구.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 진공 쳄버를 통과하는 코팅 대상물은 강판으로 이루어지고, 상기 가열장치와 진공쳄버 및 코팅증기 분출튜브는 강판이 수평 또는 수직 이송되면서 코팅 가능하도록 배열이 조정되는 것을 특징으로 하는 코팅 기구.
PCT/KR2013/011855 2013-12-19 2013-12-19 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구 WO2015093649A1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP13899655.8A EP3085808B1 (en) 2013-12-19 2013-12-19 Heating apparatus and coating machine having same
CN201380081749.7A CN105829573B (zh) 2013-12-19 2013-12-19 加热装置及包括该装置的涂覆机
US15/102,839 US20160312356A1 (en) 2013-12-19 2013-12-19 Heating apparatus and coating machine having same
JP2016541228A JP6303014B2 (ja) 2013-12-19 2013-12-19 加熱装置及びこれを含むコーティング器具

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130158862A KR101611669B1 (ko) 2013-12-19 2013-12-19 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구
KR10-2013-0158862 2013-12-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2015093649A1 true WO2015093649A1 (ko) 2015-06-25
WO2015093649A8 WO2015093649A8 (ko) 2015-08-13

Family

ID=53402981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2013/011855 WO2015093649A1 (ko) 2013-12-19 2013-12-19 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20160312356A1 (ko)
EP (1) EP3085808B1 (ko)
JP (1) JP6303014B2 (ko)
KR (1) KR101611669B1 (ko)
CN (1) CN105829573B (ko)
WO (1) WO2015093649A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190015845A1 (en) * 2015-12-23 2019-01-17 Posco Vacuum deposition device for high-speed coating

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI737718B (zh) * 2016-04-25 2021-09-01 美商創新先進材料股份有限公司 含有瀉流源的沉積系統及相關方法
KR102098452B1 (ko) * 2017-09-11 2020-04-07 주식회사 포스코 건식 도금 장치 및 건식 도금 방법
CN109930113A (zh) * 2017-12-15 2019-06-25 合肥鑫晟光电科技有限公司 蒸镀装置
KR102098455B1 (ko) * 2017-12-26 2020-04-07 주식회사 포스코 연속 증착 장치 및 연속 증착 방법
CN108045069B (zh) * 2018-01-12 2023-07-14 西安航空学院 层状金属复合板材制备装置及其使用方法
DE102021112504A1 (de) 2021-05-12 2022-11-17 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Verfahren und Beschichtungsanordnung
KR102635027B1 (ko) * 2021-09-23 2024-02-07 이병철 초발수 스핀코팅 방법 및 초발수 스핀코팅 장치

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55154537A (en) 1979-05-18 1980-12-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method and apparatus for carrying molten metal
KR920004849B1 (ko) * 1987-08-12 1992-06-19 가부시끼가이샤 도요다 쥬오 겐뀨쇼 표면처리 방법 및 장치
US20030007786A1 (en) * 1998-08-03 2003-01-09 George Plester Method for melting and evaporating a solid in a vapor deposition coating system
US20050229856A1 (en) 2004-04-20 2005-10-20 Malik Roger J Means and method for a liquid metal evaporation source with integral level sensor and external reservoir
KR20070015923A (ko) 2004-05-27 2007-02-06 시드라베, 인크. 금속 및 금속 합금을 증발시키기 위한 진공 증착 방법 및장치
KR20070066941A (ko) * 2005-12-21 2007-06-27 유나이티드 테크놀로지스 코포레이션 자동 용융 풀 높이 제어를 갖는 eb-pvd 시스템
KR20090074064A (ko) 2006-09-29 2009-07-03 폰 아르데네 안라겐테크닉 게엠베하 진공 코팅 방법 및 상기 방법을 실행하기 위한 장치
KR20100091520A (ko) * 2009-02-10 2010-08-19 한국생산기술연구원 선형 유기물 증착 장치
JP2010189739A (ja) 2009-02-20 2010-09-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 蒸発装置
KR20120074158A (ko) * 2010-12-27 2012-07-05 주식회사 포스코 건식 코팅 장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2909149A (en) * 1957-11-15 1959-10-20 Cons Electrodynamics Corp Apparatus for evaporating metal
JP2006083427A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Sanritsuku:Kk 蒸着用発熱体
FR2882064B1 (fr) * 2005-02-17 2007-05-11 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats
JP2013127086A (ja) * 2011-12-16 2013-06-27 Ulvac Japan Ltd 蒸着装置及び蒸着方法
KR101461738B1 (ko) * 2012-12-21 2014-11-14 주식회사 포스코 가열장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55154537A (en) 1979-05-18 1980-12-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method and apparatus for carrying molten metal
KR920004849B1 (ko) * 1987-08-12 1992-06-19 가부시끼가이샤 도요다 쥬오 겐뀨쇼 표면처리 방법 및 장치
US20030007786A1 (en) * 1998-08-03 2003-01-09 George Plester Method for melting and evaporating a solid in a vapor deposition coating system
US20050229856A1 (en) 2004-04-20 2005-10-20 Malik Roger J Means and method for a liquid metal evaporation source with integral level sensor and external reservoir
KR20070015923A (ko) 2004-05-27 2007-02-06 시드라베, 인크. 금속 및 금속 합금을 증발시키기 위한 진공 증착 방법 및장치
KR20070066941A (ko) * 2005-12-21 2007-06-27 유나이티드 테크놀로지스 코포레이션 자동 용융 풀 높이 제어를 갖는 eb-pvd 시스템
KR20090074064A (ko) 2006-09-29 2009-07-03 폰 아르데네 안라겐테크닉 게엠베하 진공 코팅 방법 및 상기 방법을 실행하기 위한 장치
KR20100091520A (ko) * 2009-02-10 2010-08-19 한국생산기술연구원 선형 유기물 증착 장치
JP2010189739A (ja) 2009-02-20 2010-09-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 蒸発装置
KR20120074158A (ko) * 2010-12-27 2012-07-05 주식회사 포스코 건식 코팅 장치

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3085808A4 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190015845A1 (en) * 2015-12-23 2019-01-17 Posco Vacuum deposition device for high-speed coating

Also Published As

Publication number Publication date
EP3085808A1 (en) 2016-10-26
CN105829573A (zh) 2016-08-03
JP2017500449A (ja) 2017-01-05
EP3085808B1 (en) 2019-03-20
KR101611669B1 (ko) 2016-04-12
KR20150071832A (ko) 2015-06-29
JP6303014B2 (ja) 2018-03-28
WO2015093649A8 (ko) 2015-08-13
US20160312356A1 (en) 2016-10-27
CN105829573B (zh) 2018-08-24
EP3085808A4 (en) 2016-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015093649A1 (ko) 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구
WO2014098489A1 (ko) 가열 장치 및 이를 포함하는 코팅 기구
EP1807194B1 (en) Rotary reactor using solar energy
US8141617B2 (en) Method and apparatus for sealing an ingot at initial startup
WO2013095070A1 (ko) 저온분사를 이용한 스퍼터링 타겟의 제조방법 및 저온분사장치
US9631433B2 (en) Method and apparatus for introducing or sinking cavities in rock
RU2479377C2 (ru) Непрерывная разливка металлов высокой реакционной способности с использованием стеклянной футеровки
RU2476797C2 (ru) Плавильная печь
CN109735814B (zh) 磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备
WO2012091390A2 (en) Dry coating apparatus
EP0380637B1 (en) High capacity electron beam cold hearth furnace
US7975833B2 (en) Material handling system and method
WO2017057996A1 (ko) 도금포트의 상부 드로스 제거장치
KR900002522B1 (ko) 유리배치 물질을 가열 용기로 이송하는 방법과 분말 물질을 액화하는 장치.
JP2012193431A (ja) プラズマ溶射装置
WO2024117802A1 (ko) 플라즈마를 이용한 금속분말 처리장치 및 그 처리방법
WO2010128746A1 (ko) 실리콘 연속 주조 장치 및 방법
EP1656990A1 (en) Rotary reactor using solar energy
WO2021112295A1 (ko) 나노분말의 수거 효율 개선을 위한 나노분말 연속제조장치
WO2022065736A1 (ko) 연속 잉곳 성장 장치
JP2000205757A (ja) 底部出湯式浮揚溶解装置
US20230235445A1 (en) Coating device for depositing a coating material on a substrate
HU222720B1 (hu) Eljárás öntõcsatorna célzott temperálására, és öntõcsatorna az eljárás foganatosítására
KR20020016027A (ko) 흑연전극봉 코팅장치
KR20200079887A (ko) 아르곤 가스 유로를 확보한 잉곳 성장장치의 예열기

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13899655

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15102839

Country of ref document: US

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2013899655

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2013899655

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016541228

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE