WO2015076313A1 - 回転機構、工作機械及び半導体製造装置 - Google Patents

回転機構、工作機械及び半導体製造装置 Download PDF

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WO2015076313A1
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housing
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中村　剛
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日本精工株式会社
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/54—Systems consisting of a plurality of bearings with rolling friction
    • F16C19/546—Systems with spaced apart rolling bearings including at least one angular contact bearing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings
    • F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
    • F16C33/762—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid
    • F16C33/763—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid retained in the sealing gap
    • F16C33/766—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid retained in the sealing gap by pumping action
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C35/00—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers
    • F16C35/08—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers for spindles
    • F16C35/12—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers for spindles with ball or roller bearings

Definitions

  • the present invention relates to a rotation mechanism, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus.
  • a rotation mechanism that rotates a rotary stage or rotates a tool or a workpiece is used in a transfer device, a semiconductor manufacturing device, a machine tool, or the like.
  • a seal using a gas is sometimes used for the rotating part in order to suppress entry of liquid or foreign matter from the outside (for example, Patent Document 1).
  • Patent Document 1 a rotating mechanism that rotates by attaching a rotating body to both sides of the shaft.
  • the technique described in Patent Document 1 is intended for a rotating mechanism in which a rotating body is attached to one end of a shaft.
  • the rotating portion is sealed using gas. There is room for improvement.
  • An object of the present invention is to provide a rotation mechanism, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus suitable for rotating a rotating part by attaching a rotating body to both sides of a shaft when the rotating part is sealed with gas.
  • the present invention includes a housing, a shaft that is inserted through a first hole and a second hole provided in the housing, a bearing that is installed in the housing and rotatably supports the shaft, and a first end of the shaft
  • a projecting portion that is provided in a portion and rotates together with the shaft and projects to the outside of the first hole in the radial direction and to the side portion of the housing, and the overhanging portion has a predetermined size with respect to the side portion of the housing.
  • This rotating mechanism supplies gas from the first opening to the first gap on the first rotating member side, and supplies gas from the second opening to the second gap on the second rotating member side. Since this gas flows out of the housing through the first gap and the second gap, the first rotating member and the second rotating member, which are rotating bodies, are sealed. As described above, this rotation mechanism is suitable for a structure in which a rotating body is attached and rotated on both sides of the shaft when the rotating portion is sealed with gas.
  • the first rotating member is disposed above the second rotating member.
  • the first gap is formed between the side portion of the housing and the overhanging portion of the first rotating member, and when the first gap on the first rotating member side is disposed above, the gas is below the first opening. The outlet is located. For this reason, when the first rotary member provided with the first gap is disposed above the second rotary member, when the liquid enters the first gap when the gas supply is stopped, The liquid is easily discharged from the first gap.
  • the first gap is larger than the dimension of the first opening in the radial direction of the shaft, and the second gap is larger than the dimension of the second opening in the radial direction of the shaft.
  • gas can be uniformly discharged
  • the first gap is larger than the dimension of the first opening in the radial direction of the shaft, and the second gap is larger than the dimension of the second opening in the radial direction of the shaft, the gas flowing out from the first opening and the second opening Is reliably guided to the first gap and the second gap. For this reason, this rotation mechanism can seal the part in which the 1st rotation member and the 2nd rotation member are provided reliably.
  • the space between the first rotating body and the housing between the first hole and the first opening includes a portion smaller than the dimension of the first opening in the radial direction of the first hole, and the second It is preferable that a portion smaller than the dimension of the second opening in the radial direction of the first hole is included between the second rotating body and the housing between the hole and the second opening.
  • a portion of the housing adjacent to the first gap has a groove along the circumferential direction of the first hole.
  • a portion of the second rotating member adjacent to the second gap has a groove along the circumferential direction of the second hole.
  • the first opening is formed between two parts, extends in a direction orthogonal to the rotation center axis of the shaft, and has a gap smaller than that of the first opening.
  • Gas is supplied, and the second aperture is formed between the two parts in the second opening, extends in a direction orthogonal to the rotation center axis of the shaft, and has a smaller interval than the second opening. It is preferable that the gas is supplied through the section. In this way, there are fewer management items for the accuracy of the two parts forming the first throttle part and the two parts forming the second throttle part.
  • a first spacer is provided between two parts forming the first throttle part, and a second spacer is provided between two parts forming the second throttle part.
  • the machine tool includes the above-described rotation mechanism, the machine tool is suitable for being attached to a rotating body on both sides of the shaft for rotation when sealing the rotating portion with gas.
  • the semiconductor manufacturing apparatus includes the above-described rotation mechanism, it is suitable for a device in which a rotating body is attached and rotated on both sides of the shaft when the rotating portion is sealed with gas.
  • the present invention can provide a rotation mechanism, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus suitable for rotating a rotating portion by attaching a rotating body on both sides of a shaft when the rotating portion is sealed with gas.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the second embodiment.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the third embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the third embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the fourth embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the fifth embodiment.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the fifth embodiment.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a rotation mechanism according to the first embodiment.
  • FIG. 1 shows a cross section in which the rotation mechanism 1 is cut along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1 and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the direction indicated by arrow G in FIG. 1 is the direction in which gravity acts.
  • the rotation mechanism 1 is a mechanical element that transmits rotation, and is applied to, for example, a transport device, a semiconductor manufacturing apparatus, or a flat panel display manufacturing apparatus used in a special environment such as a machine tool or a vacuum chamber.
  • the rotation mechanism 1 is a spindle unit including a spindle as a rotation axis will be described.
  • the application target of the rotation mechanism 1 is not limited to this.
  • the rotating mechanism 1 includes a housing 2, a shaft 4, bearings 7A, 7B, and 7C, a first rotating member 5A as a rotating body, a second rotating member 5B as a rotating body, a first opening 11A, 2 openings 11B.
  • the housing 2 is a member that houses the bearings 7A, 7B, 7C, the electric motor 3, and the like.
  • the housing 2 includes a main body 2S that is a cylindrical member, a first structure 2FA provided at one end of the main body 2S, and a second provided at the other end of the main body 2S. And a structure 2FB.
  • the main body 2S, the first structure 2FA, and the second structure 2FB are a part of the housing 2.
  • the main body 2S is a cylindrical member and has a through hole 2SI from one end to the other end, that is, from the first structure 2FA to the second structure 2FB.
  • the first structure 2FA has a first member 2FAS and a second member 2FAR, and is a structure in which these are combined.
  • the second structure 2FB has a first member 2FBS and a second member 2FBR, and is a structure in which these are combined.
  • the first structure 2FA and the second structure 2FB are both plate-like members.
  • the shapes of the first structure 2FA and the second structure 2FB are circular in plan view, but these shapes are not limited to a circle.
  • the first member 2FAS and the second member 2FAR included in the first structure 2FA are both annular members.
  • the 2nd member 2FAR is attached to this from the one end part of the 1st member 2FAS, and is provided in the radial direction outer side of the 1st member 2FAS.
  • the first member 2FBS and the second member 2FBR included in the second structure 2FB are both annular members.
  • the second member 2FBR is attached to the inside in the radial direction of the first member 2FBS.
  • a predetermined gap 12A is provided between the first member 2FAS and the second member 2FAR of the first structure 2FA.
  • This gap 12A is open to the surface 2FAP of the first structure 2FA facing the first rotating member 5A.
  • This opening is the first opening 11A.
  • the first opening 11A faces the first rotating member 5A.
  • a groove 9A is provided along the circumferential direction on the inner circumferential surface of the second member 2FAR. The groove 9A is connected to the gap 12A.
  • the groove 9A is connected to the first gas passage 10A.
  • a predetermined gap 12B is provided between the first member 2FBS and the second member 2FBR of the second structure 2FB.
  • the gap 12B opens on a surface 2FBP of the second structure 2FB that faces the second rotating member 5B. This opening is the second opening 11B.
  • the first opening 11B faces the second rotating member 5B.
  • a groove 9B is provided along the circumferential direction on the inner peripheral surface of the second member 2FBR. The groove 9B is connected to the gap 12B.
  • the groove 9B is connected to the second gas passage 10B.
  • the first structure 2FA includes a first hole 2HA including the rotation center axis Zr of the shaft 4 and penetrating in the thickness direction.
  • the second structure 2FB includes a second hole 2HB that includes the rotation center axis Zr of the shaft 4 and penetrates in the thickness direction.
  • the shaft 4 is an output shaft of the rotation mechanism 1, and is provided in both the housing 2, more specifically, the first hole 2 HA included in the first structure 2 FA of the housing 2 and the second hole 2 HB included in the second structure 2 FB. Inserted.
  • the bearing 7A is installed on the inner peripheral part of the first member 2FAS of the first structure 2FA in the housing 2, in this embodiment, via the annular preloading member 8, and rotatably supports the shaft 4.
  • the bearings 7B and 7C are installed on the inner periphery of the housing 2, in the present embodiment, on the second rotating member 5B side of the main body 2S, and rotatably support the shaft 4.
  • the bearings 7B and 7C are attached to the second end 4TB side of the shaft 4.
  • the shaft 4 is supported on the housing 2 by the three bearings 7A, 7B, and 7C, but the number of bearings is not limited to two.
  • Bearings 7A, 7B, and 7C include an outer ring 7a, rolling elements 7b, and an inner ring 7c.
  • the inner ring 7c is disposed on the radially inner side of the outer ring 7a.
  • all the bearings 7A, 7B, and 7C are rolling bearings.
  • the rolling element 7b is disposed between the outer ring 7a and the inner ring 7c.
  • the outer ring 7a is in contact with the inner wall of the first member 2FAS of the first structure 2FA included in the housing 2.
  • the outer ring 7a is in contact with the inner wall of the through hole 2SI included in the main body 2S of the housing 2.
  • the bearings 7A, 7B, and 7C are attached to the housing 2.
  • both the bearings 7A, 7B, and 7C are ball bearings, but the types of the bearings 7A, 7B, and 7C as rolling bearings are not limited to ball bearings.
  • the bearings 7A, 7B, and 7C are all rolling bearings, but may be sliding bearings, hydrostatic bearings, or magnetic bearings.
  • the hydrostatic bearing is provided with an exhaust groove along the circumferential direction of the first hole 2HA on the inner peripheral surface of the first hole 2HA included in the first member 2FAS of the first structure 2FA. This can be realized by providing an exhaust groove along the circumferential direction of the second hole 2HB on the inner peripheral surface of the second hole 2HB of the second member 2FBR.
  • the first rotating member 5 ⁇ / b> A is provided at the first end 4 ⁇ / b> TA of the shaft 4 and rotates together with the shaft 4.
  • the first rotating member 5A is attached to the shaft 4 via the first support member 6A.
  • the second rotating member 5B is attached to the shaft 4 via the second support member 6B.
  • the second rotating member 5 ⁇ / b> B is provided at the second end 4 ⁇ / b> TB of the shaft 4 and rotates together with the shaft 4.
  • the first rotating member 5 ⁇ / b> A and the second rotating member 5 ⁇ / b> B rotate together with the shaft 4.
  • the first rotating member 5A is opposed to the side portion of the first structure 2FA with the first gap 13A having a predetermined size.
  • the first rotating member 5A has an overhang portion 5FA in which the outer peripheral portion on the first structure 2FA side extends to the second member 2FAR side of the first structure 2FA.
  • the overhang portion 5FA and the second member 2FAR overlap in the direction of the rotation center axis Zr of the first rotation member 5A.
  • 13 A of 1st clearance gaps are the inner periphery of side part 2FRAS of 2nd member 2FAR of 1st structure 2FA, and extension part 5FA of 1st rotation member 5A in the part where overhang
  • the part 5WI faces the part.
  • the second rotating member 5B faces the housing 2 with a second gap 13B having a predetermined size.
  • the first member 2FBS of the second structure 2FB included in the housing 2 has a protruding portion 2FBE in which the side portion on the second rotating member 5B side extends to the second rotating member 5B side. Yes.
  • the projecting portion 2FBE of the first member 2FBS and the second rotating member 5B overlap with each other in the direction of the rotation center axis Zr of the second rotating member 5B.
  • the second gap 13B is a portion where the second rotating member 5B and the overhanging portion 2FBE of the second member 2FAR overlap with each other, the side portion 5BE of the second rotating member 5B, and the first member 2FBS of the second structure 2FB. This is a portion facing the inner peripheral surface 2FBI of the overhang portion 2FBE.
  • the first rotating member 5A an object is placed on the surface 5APS opposite to the first end 4TA of the shaft 4.
  • the first rotating member 5A is a plate-like member and has a circular plan view.
  • the first rotating member 5A extends to the outside in the radial direction of the first hole 2HA provided in the first structure 2FA of the housing 2.
  • the portion of the first hole 2HA that protrudes to the outside in the radial direction faces the housing 2 with a predetermined gap 14A.
  • the gap 14A is formed between a surface 2FAP of the housing 2 facing the first rotating member 5A of the first member 2FAS and the second member 2FAR and a surface 5APR of the first rotating member 5A facing the first structure 2FA. Is done.
  • the second rotating member 5B an object is placed on the surface 5BPS opposite to the second end 4TB of the shaft 4.
  • the second rotating member 5B is a plate-like member and has a circular plan view.
  • the second rotating member 5B extends to the outside in the radial direction of the hole 2HB provided in the second structure 2FB of the housing 2.
  • the portion of the hole 2 ⁇ / b> HB that projects to the outside in the radial direction is opposed to the housing 2 with a predetermined gap 14 ⁇ / b> B.
  • the gap 14B is formed between the surface 2FBP of the housing 2 facing the second rotating member 5B of the first member 2FBS and the second member 2FBR and the surface 5BPR of the second rotating member 5B facing the second structure 2FB. Is done.
  • the first gas passage 10A is provided in a portion of the housing 2 that faces the first rotating member 5A, more specifically, in the second member 2FAR of the first structure 2FA of the housing 2.
  • the first gas passage 10A opens to the side portion 2FYA of the second member 2FAR of the first structure 2FA.
  • the second gas passage 10 ⁇ / b> B is provided in a portion facing the second rotating member 5 ⁇ / b> B of the housing 2, more specifically, in the first member 2 ⁇ / b> FBS of the second structure 2 ⁇ / b> FB of the housing 2.
  • the second gas passage 10B opens to the side portion 2FYB of the first member 2FBS of the second structure 2FB.
  • the first gas passage 10A and the second gas passage 10B are connected to the air supply device 50.
  • the air supply device 50 supplies gas (air in this embodiment) to the grooves 9A and 9B via the first gas passage 10A and the second gas passage 10B.
  • the air supply device 50 is, for example, a pump.
  • the gas from the first gas passage 10A flows out from the first opening 11A to the gap 14A and is supplied to the first gap 13A.
  • the gas from the second gas passage 10B flows out from the second opening 11B to the gap 14B and is supplied to the second gap 13B.
  • Gas is supplied to the first gap 13 ⁇ / b> A and the second gap 13 ⁇ / b> B, and the gas flows out of the housing 2, thereby sealing (sealing) the inside and the outside of the housing 2.
  • the rotation mechanism 1 has one first gas passage 10A and one second gas passage 10B, but the number thereof is not limited.
  • the rotation mechanism 1 has a plurality of first gas passages 10A and second gas passages 10B, respectively, it is preferable that these are provided at equal intervals around the rotation center axis Zr.
  • the electric motor 3 is provided inside the housing 2.
  • the electric motor 3 includes a rotor 3R and a stator 3S provided on the radially outer side of the rotor 3R.
  • the stator 3S is attached to the inner wall of the through hole 2SI included in the main body 2S.
  • the rotor 3R is provided between the first end 4TA and the second end 4TB of the shaft 4. With such a structure, the rotor 3R, the shaft 4, the first rotating member 5A, and the second rotating member 5B rotate integrally around the rotation center axis Zr.
  • the type of the electric motor 3 is not limited.
  • dust generated in the bearings 7A, 7B, and 7C is collected by the gas passing through the first hole 2HA and the second hole 2HB.
  • the main body 2 ⁇ / b> S of the housing 2 has an exhaust passage 19 that connects the outside and the through hole 2 ⁇ / b> SI and discharges the gas in the through hole 2 ⁇ / b> SI to the outside of the housing 2.
  • the exhaust passage 19 is preferably provided with a throttle valve. Since this throttle valve suppresses the flow rate of the gas passing through the exhaust passage 19, an increase in the amount of gas supplied from the first gas passage 10A and the second gas passage 10B is suppressed.
  • the gas flowing out from the first opening 11A and the second opening 11B flows out of the housing 2 after being supplied to the first gap 13A and the second gap 13B. For this reason, intrusion of foreign matter from the outside of the rotating mechanism 1 between the shaft 4 and the housing 2, entry of foreign matter into the bearings 7A, 7B, 7C and dust generation from the inside of the housing 2 flow out to the outside. It is suppressed. Dust generation from the inside of the housing 2 includes, for example, dust generation from the bearings 7A, 7B, and 7C and dust generation from the electric motor 3.
  • an exhaust device may be connected to the exhaust passage 19 or the exhaust passage 19 may be connected to a decompressed space so as to ensure the flow rate of the gas flowing through the exhaust passage 19. In this way, it is possible to reduce the possibility that dust from the bearings 7A, 7B, and 7C flows out of the housing 2.
  • the rotation mechanism 1 can use mechanical bearings that do not require gas supply, such as rolling bearings or sliding bearings, for the bearings 7A, 7B, and 7C.
  • rolling bearings are used for the bearings 7A, 7B, and 7C, the displacement of the shaft 4 in the gaps 14A and 14B directions due to reasons other than loads from the objects mounted on the first rotating member 5A and the second rotating member 5B is reduced. It is suppressed.
  • the size tsa of the first gap 13A is larger than the width ta of the first opening 11A, that is, the dimension of the first opening 11A in the radial direction of the hole 2HA.
  • the width ta of the first opening 11A is equal to the width of the gap 12A.
  • the size tsb of the second gap 13B is larger than the width tb of the second opening 11B, that is, the dimension of the second opening 11B in the radial direction of the hole 2HB.
  • the width tb of the second opening 11B is equal to the width of the gap 12B.
  • the first opening 13A has a size tsa larger than the width ta of the first opening 11A and the second gap 13B has a size tsb larger than the width tb of the second opening 11B.
  • the gas flowing out from 11A can be efficiently guided to the first gap 13A, and the gas flowing out from the second opening 11B can be efficiently guided to the second gap 13B, so that the sealing effect can be reliably exhibited.
  • a slot stop of a gas bearing can be used for the first opening 11A and the second opening 11B.
  • the width ta of the first opening 11A and the width tb of the second opening 11B are, for example, about several ⁇ m to several tens of ⁇ m.
  • the size tsa of the first gap 13A and the size tsb of the second gap 13B vary depending on the width ta of the first opening 11A and the width tb of the second opening 11B.
  • various throttle types for hydrostatic bearings such as a porous throttle or a self-made throttle, can be used.
  • the first opening 11A and the second opening 11B are formed along the circumferential direction of the hole 2HA and the hole 2HB. For this reason, the first opening 11A can inject gas uniformly in the circumferential direction between the first rotating member 5A and the first structure 2FA, and the second opening 11B has the second opening 11B. Gas can be uniformly injected in the circumferential direction between the rotating member 5B and the second structure 2FB.
  • an adjustment device for suppressing the flow rate of the gas flowing into the gap 12A and the gap 12B Can be provided in the first gas passage 10A and the second gas passage 10B or in the passage connected thereto.
  • the first opening 11A and the gap 12A are formed between the first member 2FAS and the second member 2FAR of the first structure 2FA. That is, the first opening 11A and the gap 12A are formed between the two members.
  • the second opening 11B and the gap 12B are formed between the first member 2FBS and the second member 2FBR of the second structure 2FB. That is, the first opening 11A and the gap 12A and the second opening 11B and the gap 12B are formed between the two members.
  • the first opening 11A and the second opening 11B do not allow gas to flow out from the gap between the rotating body and the housing.
  • first member 2FAS and the second member 2FAR of the first structure 2FA and the first member 2FBS and the second member 2FBR of the second structure 2FB management of their dimensional accuracy and geometrical tolerances such as cylindricity are given. Can be relaxed. As a result, the manufacturing cost of the first structure 2FA and the second structure 2FB can be reduced. Further, by forming the first opening 11A and the gap 12A and the second opening 11B and the gap 12B by, for example, connecting two members by fitting, the management of these dimensions becomes relatively easy. Furthermore, by forming the first structure 2FA and the second structure 2FB from two members, replacement of parts can be facilitated.
  • a material that is excellent in terms of corrosion resistance with respect to the atmosphere outside the housing 2 to be sealed but can not be employed in terms of workability.
  • a material excellent in corrosion resistance that could not be used so far is applied to the second member 2FBR provided outside the housing 2, or applied to the first member 2FBS of the second structure 2FB. You can do it.
  • the first gap 13A that exhibits the sealing function is a portion where the protruding portion 5FA of the first rotating member 5A and the second member 2FAR of the first structure 2FA overlap.
  • the second gap 13B that exhibits the sealing function is a portion where the side portion 5BE of the second rotating member 5B and the inner peripheral surface 2FBI of the overhang portion 2FBE of the first member 2FBS of the second structure 2FB overlap.
  • the gap 12A reduces the amount of gas supplied from the first opening 11A
  • the gap 12B reduces the amount of gas supplied from the second opening 11B.
  • the rotation mechanism 1 can suppress the intrusion of liquid or the like by the first gap 13A and the second gap 13B even when the supply of gas from the air supply device 50 is stopped. The same applies when liquid or the like is sprayed from the outside of the housing 2 to the first rotating member 5A and the second rotating member 5B.
  • the first rotating member 5A provided with the first gap 13A is disposed above the second rotating member 5B provided with the second gap 13B. That is, the first rotating member 5A is disposed on the side opposite to the direction of gravity and the second rotating member 5B is disposed on the direction of gravity.
  • the first rotating member 5A is disposed on the side opposite to the direction of gravity
  • the second rotating member 5B is disposed on the direction of gravity.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the first embodiment.
  • FIG. 2 shows a cross section of the rotation mechanism 1a taken along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1a and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the second member 2 ⁇ / b> FBR of the second structure 2 ⁇ / b> FB is in contact with the end of the main body 2 ⁇ / b> S of the housing 2.
  • the second member 2FBRa of the second structure 2FBa is different from the end of the main body 2S of the housing 2a.
  • the first member 2FBBSa of the second structure 2FBa has an overhanging portion 2FBF in which a portion in contact with the main body portion 2S side projects radially inward.
  • the second member 2FBRa of the second structure 2FBa is in contact with the main body portion 2S of the housing 2a via the overhang portion 2FBF.
  • the rotating mechanism 1 a can obtain the same operations and effects as the rotating mechanism 1.
  • the overhang portion 2FBF can position the second member 2FBRa of the second structure 2FBa in the direction of the rotation center axis Zr.
  • the rotation mechanisms 1 and 1a according to the first embodiment and the modifications thereof are suitable for rotating the shaft by attaching a rotating body to both sides of the shaft 4 when sealing the rotating portion with gas.
  • the configurations of the first embodiment and the modifications thereof can be applied as appropriate in the following embodiments. In this case, only a part of the configuration of the first embodiment and its modifications may be applied, or all the configurations may be applied.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the second embodiment.
  • FIG. 3 shows a cross section of the rotation mechanism 1b taken along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1b and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the dimension of the first opening 11A in the radial direction of the first hole 2HA that is, the width ta.
  • a small portion 18A hereinafter, referred to as a small gap portion 18A as appropriate).
  • the portion between the second rotation member 5Bb and the housing 2 between the second hole 2HB and the second opening 11B is a portion smaller than the dimension of the second opening 11B in the radial direction of the second hole 2HB, that is, the width tb. (Hereinafter referred to as small gap portion 18B as appropriate).
  • the small gap portion 18A on the first structure 2FAb side is a gap between the first member 2FASb of the first structure 2FA and the first rotating member 5Ab.
  • the size of the small gap portion 18A that is, the interval between the surface 2FAP of the first member 2FASb and the surface 5APR of the first rotating member 5Ab is tc.
  • the small gap portion 18B on the second structure 2FBb side is a gap between the second member 2FBRb and the second rotating member 5Bb of the second structure 2FB.
  • the size of the small gap portion 18B, that is, the interval between the surface 2FBP of the second member 2FBRb and the surface 5BPR of the second rotating member 5Bb is td.
  • the rotating mechanism 1b has a large gap portion 15A having a gap larger than the small gap portion 18A between the small gap portion 18A on the first structure 2FAb side and the first opening 11A.
  • the size of the large gap portion 15A is te.
  • the large gap portion 15A is connected to the first gap 13A.
  • the rotating mechanism 1b has a large gap portion 15B having a gap larger than the small gap portion 18B between the small gap portion 18B on the second structure 2FBb side and the second opening 11B.
  • the size of the large gap portion 15B is tf.
  • the large gap portion 15B is connected to the second gap 13B.
  • the relationship between the size te of the large gap portion 15A, the width ta of the first opening 11A, and the size tc of the small gap portion 18A is te> ta> tc.
  • the relationship between the size tf of the large gap portion 15B, the width tb of the second opening 11B, and the size td of the small gap portion 18B is tf> tb> td.
  • the width ta of the first opening 11A and the width tb of the second opening 11B are several ⁇ m to several tens ⁇ m.
  • the size tc of the small gap portion 18A and the size tf of the small gap portion 18B are about several ⁇ m to 20 ⁇ m, and the size te of the large gap portion 15A and the size tf of the large gap portion 15B are more than several tens of ⁇ m. large.
  • liquid can be accumulated between the first rotating member 5Ab and the first structure 2FA or between the second rotating member 5Bb and the second structure 2FBb due to an abnormality in the external environment of the housing 2b. There is sex.
  • the small gap portion 18A and the small gap portion 18B exhibit a sealing function, even when liquid enters the large gap portion 15A and the large gap portion 15B from the first gap 13A and the second gap 13B, This liquid can be prevented from reaching the portion of the shaft 4. In particular, it is preferable because the liquid can be effectively prevented from entering the portion of the shaft 4 even when the gas supply to the first opening 11A and the second opening 11B is stopped.
  • the rotation mechanism 1b according to the second embodiment is suitable for a structure in which a rotating body is attached and rotated on both sides of the shaft 4 when the rotating portion is sealed with gas.
  • the configuration of the second embodiment can be applied as appropriate in the following embodiments. In this case, only a part of the configuration of the second embodiment may be applied, or all the configurations may be applied.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the third embodiment.
  • FIG. 4 shows a cross section in which the rotation mechanism 1c is cut along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1c and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the rotation mechanism 1 and the rotation mechanism 1c described above have the second gap 13B extending in a direction parallel to the rotation center axis Zr.
  • the rotation mechanism 1c of Embodiment 3 has a second gap 13Bc between the surface 5BPR of the second rotation member 5Bc and the surface 2FBP of the second structure 2FBc of the housing 2c. That is, the rotation mechanism 1c is different in that it has a second gap 13Bc extending in a direction intersecting (orthogonal in this example) with the rotation center axis Zr.
  • the first member 2FBSc needs to have high strength. Since the second member 2FBRc is highly likely to come into contact with the liquid, corrosion resistance and the like are necessary.
  • a material having characteristics can be used. In this example, a high-strength material can be used for the first member 2FBSc, and a highly corrosion-resistant material can be used for the second member 2FBRc. As a result, the performance of the second structure 2FBc is improved.
  • the second rotating member 5Bc has a member 5BI and a member 5BJ.
  • the member 5BI is attached to the shaft 4, and the member 5BJ is attached to the outside of the member 5BI.
  • the second opening 11B is provided at a position facing the member 5BJ.
  • the member 5BI attached to the shaft 4 does not directly contact the environment outside the rotating mechanism 1c because the member 5BJ is attached to the outside. Since the member 5BJ directly contacts the environment outside the rotation mechanism 1c, corrosion resistance is required.
  • the member 5BI is required to be strong because the rotational force from the shaft 4 is transmitted.
  • the second rotating member 5B is formed of the two members 5BI and 5BJ
  • a material having properties suitable for the members 5BI and 5BI can be used.
  • a high-strength material can be used for the member 5BI
  • a material having high corrosion resistance can be used for the member 5BJ.
  • the diameter DR of the second rotating member 5Bc is larger than the diameter DS of the second structure 2FBc, but the size of both is not limited to this.
  • the second gap 13Bc extends in a direction intersecting the rotation center axis Zr.
  • the first gap 13A shown in FIG. 1 is arranged in a direction intersecting (for example, orthogonal to) the rotation center axis Zr. It may be extended.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the third embodiment.
  • FIG. 5 shows a cross section of the rotation mechanism 1d taken along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1d and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the rotation mechanism 1d extends the protruding portion 5FAd of the first rotation member 5Ad to the main body 2Sd of the housing 2d.
  • the first gap 13A is formed between the inner peripheral portion 5WI of the overhang portion 5FAd and the side portion 2FSAS of the first member 2FASd and the side portion 2FRAS of the second member 2FRAS of the first structure 2FAd. It is formed.
  • the end of the main body 2Sd of the housing 2d on the second rotating member 5Bd side has an overhang 2SHd that projects to the position of the second rotating member 5Bd.
  • the first member 2FBSd and the second member 2FBRd of the second structure 2FBd are attached to the inner peripheral portion 2SI of the overhang portion 2SHd.
  • the diameter DR of the second rotating member 5Bd is smaller than the inner diameter DI of the overhang portion 2SHd.
  • the side part 5BJd of the second rotating member 5Bd faces the inner peripheral part 2SI of the overhang part 2SHd.
  • a second gap 13Bd is formed between the second rotating member 5Bd and the second member 2FBRd of the second structure 2FBd.
  • the diameter DR of the second rotating member 5Bd is smaller than the inner diameter DI of the overhang portion 2SHd.
  • the parts described above are the first member 2FASd and the second member 2FARd of the first structure 2FAd, and the first member 2FBSd and the second member 2FBRd of the second structure 2FBd.
  • the rotation mechanisms 1c and 1d according to the third embodiment and the modifications thereof are suitable for rotating by attaching a rotating body to both sides of the shaft 4 when sealing the rotating portion with gas.
  • the third embodiment and the modifications thereof have been described, the configurations of the third embodiment and the modifications can be applied as appropriate in the following embodiments. In this case, only a part of the configuration of the third embodiment and its modification may be applied, or all the configurations may be applied.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the fourth embodiment.
  • FIG. 6 shows a cross section of the rotation mechanism 1e taken along a plane that includes the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1e and is parallel to the rotation center axis Zr.
  • the rotating mechanism 1e according to the fourth embodiment includes a groove 16 along the circumferential direction of the first hole 2HA in a portion adjacent to the first gap 13A of the housing 2e, and is adjacent to the second gap 13B of the second rotating member 5Be.
  • channel 17 along the circumferential direction of 2nd hole 2HB in the part to perform differs from the rotation mechanism 1 of Embodiment 1 mentioned above.
  • the groove 16 extends to the position of the overhanging portion 5FAe of the first rotating member 5Ae in the direction of the rotation center axis Zr.
  • the second rotating member 5Be is formed of two members, a member 5BIe and a member 5BJe, but the second rotating member 5Be may be a single member.
  • the rotation mechanisms 1, 1b, 1c, and 1d are all installed so that the rotation center axis Zr is parallel to the direction in which gravity acts.
  • the rotation mechanism 1e is installed so that the rotation center axis Zr intersects with the direction in which gravity acts (in the present embodiment, it is orthogonal). If liquid is contained in the external atmosphere of the housing 2e, there is a possibility that the liquid accumulates in the first gap 13A and the second gap 13B. For this reason, the rotation mechanism 1e has the groove 16 in the portion adjacent to the first gap 13A of the housing 2e, that is, the second member 2FBRe included in the first structure 2FAe in the present embodiment. Further, the rotation mechanism 1e has a groove 17 in a portion adjacent to the second gap 13B of the second rotation member 5Be, that is, a portion facing the first member 2FBSe included in the second structure 2FBe in the present embodiment.
  • the rotating mechanism 1e according to the fourth embodiment is suitable for a rotating portion that is attached with a rotating body on both sides of the shaft 4 and rotated when the rotating portion is sealed with gas.
  • the rotation center axis Zr intersects with the direction of gravity action. It is suitable for.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to the fifth embodiment.
  • FIG. 7 shows a cross section of the rotation mechanism 1f taken along a plane including the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1f and parallel to the rotation center axis Zr.
  • the first member 2FARf and the second member 2FASf of the first structure 2FAf are in contact with each other at their outer peripheral portions.
  • the second member 2FASf has an annular groove 9Af extending along the circumferential direction on the radially outer side.
  • the surface 2FARP of the first member 2FARf and the second member 2FASf surface 2FASP are in contact with each other on the radially outer side of the groove 9Af.
  • squeeze parts are formed between 1st member 2FARf and 2nd member 2FASf.
  • squeeze parts are formed between two components, ie, 1st member 2FARf, and 2nd member 2FASf, and are extended in the direction orthogonal to the rotation center axis Zr of the rotation mechanism 1f.
  • the first member 2FARf has a step in a portion of the surface 2FAEP and a portion radially inward of the surface 2FAEP in order to form the first diaphragm portion 30A.
  • the rotation mechanism 1f is provided with a protruding portion 2ST, a part of which protrudes in the direction of the rotation center axis Zr at the end of the main body 2Sf on the side where the second structure 2FBf is attached.
  • the second structure 2FBf is attached to the outside of the protrusion 2ST.
  • a part of the surface 2FBPf of the second structure 2FBf and a part of the end surface 2SP on the side where the second structure 2FBf of the main body 2Sf is attached are in contact with each other on the outside in the radial direction.
  • a second diaphragm 30B is formed between the end surface 2SP and the second structure 2FBf.
  • the second structure 2FBf has a step between a portion of the surface 2FBP and a portion radially inward of the surface 2FBP in order to form the second diaphragm portion 30B.
  • the interval between the second aperture portions 30B is about several ⁇ m to several tens of ⁇ m, and is smaller than the interval between the gaps 12B.
  • the second structure 2FBf has an annular groove 9Bf extending along the circumferential direction on the radially outer side.
  • the second throttle portion 30B is connected to the gap 12B on the radially inner side of the second structure 2FBf, and is connected to the groove 9Bf on the radially inner side of the second structure 2FBf.
  • the groove 9Bf is connected to the second gas passage 10B.
  • the rotation mechanism 1f requires only the flatness and level difference of the surface 2FARP for the first member 2FARf and only the flatness of the surface 2FASP for the second member 2FASf in order to form the first diaphragm portion 30A. .
  • the second structure 2FBf only requires the flatness and the level difference of the surface 2FBPf in order to form the second diaphragm portion 30B. For this reason, since the rotation mechanism 1f does not need to manage the diameter tolerance of the first member 2FARf, the second member 2FASf, and the second structure 2FBf, there is an advantage that the number of management items for the component accuracy can be reduced. As a result, the yield is improved.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a rotation mechanism according to a modification of the fifth embodiment.
  • FIG. 8 shows a cross section of the rotating mechanism 1g taken along a plane including the rotating center axis Zr of the rotating mechanism 1e and parallel to the rotating center axis Zr.
  • the rotating mechanism 1g of this modification includes a first spacer 31A between the first member 2FARf and the second member 2FASf of the rotating mechanism 1f of the fifth embodiment, and is between the main body 2Sf and the second structure 2FBf. The difference is that the second spacer 31B is provided.
  • the first diaphragm portion 30A and the second diaphragm portion 30B are formed by the thicknesses of the first spacer 31A and the second spacer 31B.
  • the rotation mechanism 1g can change the sizes of the first aperture portion 30A and the second aperture portion 30B by changing the thicknesses of the first spacer 31A and the second spacer 31B in accordance with the intended use.
  • the rotation mechanism 1g forms the first aperture portion 30A and the second aperture portion 30B by the first spacer 31A and the second spacer 31B
  • the first member 2FARg is required to have only the flatness of the surface 2FARP
  • the second member Only the flatness of the surface 2 FASP is required for 2FASg.
  • Only the flatness of the surface 2FBPg is required for the second structure 2FBg to form the second diaphragm portion 30B.
  • the rotation mechanism 1g does not require management of the diameter tolerances of the first member 2FARg, the second member 2FASg, and the second structure 2FBg, and therefore has an advantage that the number of component accuracy management items can be further reduced. As a result, the yield is further improved.
  • the first to fifth embodiments have been described.
  • the first to fifth embodiments are not limited to the above-described contents.
  • the above-described constituent elements include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, and those in a so-called equivalent range.
  • the above-described components can be appropriately combined.
  • at least one of various omissions, substitutions, and changes of the components can be made without departing from the spirit of the first to fifth embodiments.

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Abstract

　回転機構は、ハウジングと、シャフトと、シャフトを回転可能に支持する軸受と、シャフトの第１端部に設けられ、かつ第１孔の径方向外側かつハウジングの側部まで張り出した張出部を有し、張出部がハウジングの側部と所定の大きさの第１隙間を有して対向する第１回転部材と、シャフトの第２端部に設けられ、かつ第２孔の径方向外側まで張り出して第２端部側におけるハウジングと所定の大きさの第２隙間を有して対向する第２回転部材と、ハウジングの第１孔の径方向外側に開口して第１回転部材と対向し、かつ第１孔の周方向に沿って延在して、第１隙間に気体を供給する第１開口と、ハウジングの第２孔の径方向外側に開口して第２回転部材と対向し、かつ第２孔の周方向に沿って延在して、第２隙間に気体を供給する第２開口と、を含む。

Description

回転機構、工作機械及び半導体製造装置
　この発明は、回転機構、工作機械及び半導体製造装置に関する。
　搬送装置、半導体製造装置又は工作機械等には、回転ステージを回転させたり、工具又は工作物を回転させたりする回転機構が用いられる。このような回転機構は、外部からの液体又は異物等の侵入を抑制するため、回転部に気体を用いたシールが使用されることがある（例えば、特許文献１）。
特開平９－１５０３３６号公報
　ところで、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させる回転機構がある。特許文献１に記載された技術は、シャフトの一端に回転体が取り付けられた回転機構を対象としており、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させる回転機構について、気体を用いて回転部を封止することについては改善の余地がある。
　本発明は、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させるものに適した回転機構、工作機械及び半導体製造装置を提供することを目的とする。
　本発明は、ハウジングと、前記ハウジングに設けられた第１孔及び第２孔に挿通されるシャフトと、前記ハウジングに設置されて前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、前記シャフトの第１端部に設けられて前記シャフトともに回転し、前記第１孔の径方向外側かつ前記ハウジングの側部まで張り出した張出部を有し、前記張出部が前記ハウジングの側部と所定の大きさの第１隙間を有して対向する第１回転部材と、前記シャフトの第２端部に設けられて前記シャフトともに回転し、かつ前記第２孔の径方向外側まで張り出して前記第２端部側における前記ハウジングと所定の大きさの第２隙間を有して対向する第２回転部材と、前記ハウジングの前記第１孔の径方向外側に開口して前記第１回転部材と対向し、かつ前記第１孔の周方向に沿って延在して、前記第１隙間に気体を供給する第１開口と、前記ハウジングの前記第２孔の径方向外側に開口して前記第２回転部材と対向し、かつ前記第２孔の周方向に沿って延在して、前記第２隙間に気体を供給する第２開口と、を含む、回転機構である。
　この回転機構は、第１開口から第１回転部材側の第１隙間に気体を供給し、第２開口から第２回転部材側に第２隙間に気体を供給する。この気体が第１隙間及び第２隙間からハウジングの外部に流出するので、回転体である第１回転部材及び第２回転部材の部分が封止される。このように、この回転機構は、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。
　前記第１回転部材は前記第２回転部材よりも上に配置されることが好ましい。第１隙間は、ハウジングの側部と第１回転部材の張出部との間に形成され、第１回転部材側の第１隙間が上方に配置されると、第１開口よりも下方に気体の排出口が位置する。このため、第１隙間が設けられる第１回転部材が第２回転部材よりも上方に配置されることで、気体の供給が停止されたときに第１隙間に液体が浸入したような場合は、液体が第１隙間から排出されやすくなる。
　前記第１隙間は、前記シャフトの径方向における前記第１開口の寸法よりも大きく、前記第２隙間は、前記シャフトの径方向における前記第２開口の寸法よりも大きいことが好ましい。このようにすることで、第１開口及び第２開口からは、第１回転部材及び第２回転部材の周方向に沿って均一に気体を放出できる。また、第１隙間はシャフトの径方向における第１開口の寸法よりも大きく、第２隙間はシャフトの径方向における第２開口の寸法よりも大きいので、第１開口及び第２開口から流出した気体は、第１隙間及び第２隙間へ確実に導かれる。このため、この回転機構は、第１回転部材及び第２回転部材が設けられている部分を確実に封止することができる。
　前記第１孔と前記第１開口との間における前記第１回転体と前記ハウジングとの間は、前記第１孔の径方向における前記第１開口の寸法よりも小さい部分を含み、前記第２孔と前記第２開口との間における前記第２回転体と前記ハウジングとの間は、前記第１孔の径方向における前記第２開口の寸法よりも小さい部分を含むことが好ましい。このようにすることで、第１開口の寸法よりも小さい部分及び第２開口の寸法よりも小さい部分が封止機能を発揮するので、第１隙間及び第２隙間からハウジング内に液体が浸入した場合でも、この液体がシャフトの部分まで到達することを抑制できる。
　前記ハウジングの前記第１隙間と隣接する部分に、前記第１孔の周方向に沿った溝を有することが好ましい。このような構造により、第１回転部材及び第２回転部材の回転中心軸が重力の作用する方向に対して傾斜している場合でも、溝が第１隙間に溜まった液体をハウジングの外部に排出することができる。
　前記第２回転部材の前記第２隙間と隣接する部分に、前記第２孔の周方向に沿った溝を有することが好ましい。このような構造により、第１回転部材及び第２回転部材の回転中心軸が重力の作用する方向に対して傾斜している場合でも、溝が第２隙間に溜まった液体をハウジングの外部に排出することができる。
　前記第１開口には、２つの部品の間に形成されて、前記シャフトの回転中心軸と直交する方向に延在し、かつ前記第１開口よりも間隔が小さい第１絞り部を介して前記気体が供給され、前記第２開口には、２つの部品の間に形成されて、前記シャフトの回転中心軸と直交する方向に延在し、かつ前記第２開口よりも間隔が小さい第２絞り部を介して前記気体が供給されることが好ましい。このようにすれば、第１絞り部を形成する２つの部品及び第２絞り部を形成する２つの部品の精度の管理項目が少なくて済む。
　前記第１絞り部を形成する２つの部品の間には、第１スペーサが設けられ、前記第２絞り部を形成する２つの部品の間には、第２スペーサが設けられることが好ましい。第１スペーサ及び第２スペーサによって、第１絞り部を形成する２つの部品及び第２絞り部を形成する２つの部品の精度の管理項目をさらに少なくすることができる。
　本発明に係る工作機械は、前述した回転機構を備えるので、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。
　本発明に係る半導体製造装置は、前述した回転機構を備えるので、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。
　本発明は、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフトの両側に回転体を取り付けて回転させるものに適した回転機構、工作機械及び半導体製造装置を提供することができる。
図１は、実施形態１に係る回転機構を示す断面図である。 図２は、実施形態１の変形例に係る回転機構を示す断面図である。 図３は、実施形態２に係る回転機構を示す断面図である。 図４は、実施形態３に係る回転機構を示す断面図である。 図５は、実施形態３の変形例に係る回転機構を示す断面図である。 図６は、実施形態４に係る回転機構を示す断面図である。 図７は、実施形態５に係る回転機構を示す断面図である。 図８は、実施形態５の変形例に係る回転機構を示す断面図である。
（実施形態１）
　以下、本発明を実施するための形態（以下、実施形態１という）につき、図面を参照しつつ説明する。
　図１は、実施形態１に係る回転機構を示す断面図である。図１は、回転機構１の回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１を切った断面を示している。図１の矢印Ｇで示す方向は、重力の作用する方向である。回転機構１は、回転を伝達する機械要素であり、例えば、工作機械、真空チャンバ等の特殊環境下で使用される搬送装置、半導体製造装置又はフラットパネルディスプレイ製造装置等に適用される。ここでは、一例として、回転機構１が、スピンドルを回転軸として備えるスピンドルユニットである場合を説明するが、回転機構１の適用対象はこれに限定されるものではない。
　回転機構１は、ハウジング２と、シャフト４と、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃと、回転体としての第１回転部材５Ａと、回転体としての第２回転部材５Ｂと、第１開口１１Ａと、第２開口１１Ｂとを含む。ハウジング２は、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃ及び電動機３等を収容する部材である。本実施形態において、ハウジング２は、筒状の部材である本体部２Ｓと、本体部２Ｓの一端部に設けられた第１構造体２ＦＡと、本体部２Ｓの他端部に設けられた第２構造体２ＦＢとを有する。本体部２Ｓ、第１構造体２ＦＡ及び第２構造体２ＦＢは、ハウジング２の一部である。本実施形態において、本体部２Ｓは円筒形状の部材であり、一端部から他端部、すなわち第１構造体２ＦＡから第２構造体２ＦＢに向かう貫通孔２ＳＩを有している。
　第１構造体２ＦＡは、第１部材２ＦＡＳと、第２部材２ＦＡＲとを有し、これらが組み合わせられた構造体である。第２構造体２ＦＢは、第１部材２ＦＢＳと、第２部材２ＦＢＲとを有し、これらが組み合わせられた構造体である。第１構造体２ＦＡ及び第２構造体２ＦＢは、いずれも板状の部材である。本実施形態において、第１構造体２ＦＡ及び第２構造体２ＦＢの形状は、平面視が円形であるが、これらの形状は円形に限定されない。
　第１構造体２ＦＡが有する第１部材２ＦＡＳ及び第２部材２ＦＡＲは、いずれも環状の部材である。第２部材２ＦＡＲは、第１部材２ＦＡＳの一端部からこれに取り付けられ、第１部材２ＦＡＳの径方向外側に設けられる。第２構造体２ＦＢが有する第１部材２ＦＢＳ及び第２部材２ＦＢＲは、いずれも環状の部材である。第２部材２ＦＢＲは、第１部材２ＦＢＳの径方向内側に取り付けられる。
　孔２ＨＡの径方向において、第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳと第２部材２ＦＡＲとの間には、所定の隙間１２Ａが設けられている。この隙間１２Ａは、第１構造体２ＦＡの、第１回転部材５Ａ側と対向する面２ＦＡＰに開口している。この開口が第１開口１１Ａである。第１開口１１Ａは、第１回転部材５Ａと対向している。第２部材２ＦＡＲの内周面には、周方向に沿って溝９Ａが設けられている。溝９Ａは、隙間１２Ａと接続している。溝９Ａは、第１気体通路１０Ａと接続している。
　孔２ＨＢの径方向において、第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳと第２部材２ＦＢＲとの間には、所定の隙間１２Ｂが設けられている。この隙間１２Ｂは、第２構造体２ＦＢの、第２回転部材５Ｂ側と対向する面２ＦＢＰに開口している。この開口が第２開口１１Ｂである。第１開口１１Ｂは、第２回転部材５Ｂと対向している。第２部材２ＦＢＲの内周面には、周方向に沿って溝９Ｂが設けられている。溝９Ｂは、隙間１２Ｂと接続している。溝９Ｂは、第２気体通路１０Ｂと接続している。
　第１構造体２ＦＡは、シャフト４の回転中心軸Ｚｒを含み、かつ厚さ方向に貫通する第１孔２ＨＡを有している。第２構造体２ＦＢは、シャフト４の回転中心軸Ｚｒを含み、かつ厚さ方向に貫通する第２孔２ＨＢを有している。シャフト４は、回転機構１の出力軸であり、ハウジング２、より具体的にはハウジング２の第１構造体２ＦＡが有する第１孔２ＨＡ及び第２構造体２ＦＢが有する第２孔２ＨＢの両方に挿入される。
　軸受７Ａは、ハウジング２、本実施形態では第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳの内周部に、環状の予圧部材８を介して設置されてシャフト４を回転可能に支持する。軸受７Ｂ、７Ｃは、ハウジング２、本実施形態では本体部２Ｓの第２回転部材５Ｂ側の内周部に設置されて、シャフト４を回転可能に支持する。軸受７Ｂ、７Ｃはシャフト４の第２端部４ＴＢ側に取り付けられる。本実施形態において、シャフト４は、３個の軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃによってハウジング２に支持されるが、軸受の数は２個に限定されない。
　軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、外輪７ａと、転動体７ｂと、内輪７ｃとを含む。内輪７ｃは、外輪７ａの径方向内側に配置される。このように、本実施形態において、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、いずれも転がり軸受である。転動体７ｂは、外輪７ａと内輪７ｃとの間に配置される。軸受７Ａは、ハウジング２が有する第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳの内壁に外輪７ａが接している。軸受７Ｂ、７Ｃは、ハウジング２の本体部２Ｓが有する貫通孔２ＳＩの内壁に外輪７ａが接している。このような構造により、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、ハウジング２に取り付けられる。本実施形態において、両方の軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、いずれも玉軸受であるが、転がり軸受としての軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃの種類は玉軸受に限定されない。また、本実施形態において、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、いずれも転がり軸受であるが、滑り軸受、静圧軸受又は磁気軸受であってもよい。静圧軸受は、例えば、第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳが有する第１孔２ＨＡの内周面に、第１孔２ＨＡの周方向に沿った排気溝を設け、第２構造体２ＦＢの第２部材２ＦＢＲが有する第２孔２ＨＢの内周面に、第２孔２ＨＢの周方向に沿った排気溝を設けることにより実現できる。
　第１回転部材５Ａは、シャフト４の第１端部４ＴＡに設けられてシャフト４とともに回転する。本実施形態において、第１回転部材５Ａは、第１支持部材６Ａを介してシャフト４に取り付けられている。第２回転部材５Ｂは、第２支持部材６Ｂを介してシャフト４に取り付けられている。第２回転部材５Ｂは、シャフト４の第２端部４ＴＢに設けられてシャフト４とともに回転する。このように、第１回転部材５Ａ及び第２回転部材５Ｂは、シャフト４とともに回転する。
　第１回転部材５Ａは、第１構造体２ＦＡの側部と所定の大きさの第１隙間１３Ａを有して対向する。本実施形態において、第１回転部材５Ａは、第１構造体２ＦＡ側の外周部が、第１構造体２ＦＡの第２部材２ＦＡＲ側まで延在した張出部５ＦＡを有している。この張出部５ＦＡと第２部材２ＦＡＲとが、第１回転部材５Ａの回転中心軸Ｚｒ方向において重なっている。第１隙間１３Ａは、張出部５ＦＡと第２部材２ＦＡＲとが重なった部分において、第１構造体２ＦＡの第２部材２ＦＡＲの側部２ＦＲＡＳと第１回転部材５Ａの張出部５ＦＡの内周部５ＷＩとが対向した部分である。
　第２回転部材５Ｂは、ハウジング２と所定の大きさの第２隙間１３Ｂを有して対向する。本実施形態において、ハウジング２が有する第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳは、第２回転部材５Ｂ側の側部が、第２回転部材５Ｂ側まで延在した張出部２ＦＢＥを有している。この第１部材２ＦＢＳの張出部２ＦＢＥと第２回転部材５Ｂとが、第２回転部材５Ｂの回転中心軸Ｚｒ方向において重なっている。第２隙間１３Ｂは、第２回転部材５Ｂと第２部材２ＦＡＲの張出部２ＦＢＥとが重なった部分において、第２回転部材５Ｂの側部５ＢＥと、第２構造体２ＦＢが有する第１部材２ＦＢＳの張出部２ＦＢＥの内周面２ＦＢＩとが対向した部分である。
　第１回転部材５Ａは、シャフト４の第１端部４ＴＡとは反対側の面５ＡＰＳに物体が載置される。本実施形態において、第１回転部材５Ａは、板状の部材であって平面視が円形である。第１回転部材５Ａは、ハウジング２の第１構造体２ＦＡに設けられた第１孔２ＨＡの径方向外側まで張り出している。第１孔２ＨＡの径方向外側まで張り出した部分は、図１に示すように、ハウジング２と所定の隙間１４Ａを有して対向している。隙間１４Ａは、ハウジング２の第１部材２ＦＡＳ及び第２部材２ＦＡＲの第１回転部材５Ａと対向する面２ＦＡＰと、第１回転部材５Ａの第１構造体２ＦＡと対向する面５ＡＰＲとの間に形成される。
　第２回転部材５Ｂは、シャフト４の第２端部４ＴＢとは反対側の面５ＢＰＳに物体が載置される。本実施形態において、第２回転部材５Ｂは、板状の部材であって平面視が円形である。第２回転部材５Ｂは、ハウジング２の第２構造体２ＦＢに設けられた孔２ＨＢの径方向外側まで張り出している。孔２ＨＢの径方向外側まで張り出した部分は、図１に示すように、ハウジング２と所定の隙間１４Ｂを有して対向している。隙間１４Ｂは、ハウジング２の第１部材２ＦＢＳ及び第２部材２ＦＢＲの第２回転部材５Ｂと対向する面２ＦＢＰと、第２回転部材５Ｂの第２構造体２ＦＢと対向する面５ＢＰＲとの間に形成される。
　第１気体通路１０Ａは、ハウジング２の第１回転部材５Ａと対向する部分、より具体的にはハウジング２の第１構造体２ＦＡの第２部材２ＦＡＲに設けられる。第１気体通路１０Ａは、第１構造体２ＦＡの第２部材２ＦＡＲの側部２ＦＹＡに開口している。第２気体通路１０Ｂは、ハウジング２の第２回転部材５Ｂと対向する部分、より具体的にはハウジング２の第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳに設けられる。第２気体通路１０Ｂは、第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳの側部２ＦＹＢに開口している。
　第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂは、給気装置５０と接続されている。給気装置５０は、第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂを介して、溝９Ａ及び溝９Ｂに気体（本実施形態では空気）を供給する。給気装置５０は、例えば、ポンプである。第１気体通路１０Ａからの気体は、第１開口１１Ａから隙間１４Ａに流出し、第１隙間１３Ａに供給される。第２気体通路１０Ｂからの気体は、第２開口１１Ｂから隙間１４Ｂに流出し、第２隙間１３Ｂに供給される。第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂに気体が供給され、この気体がハウジング２の外部に流出することにより、ハウジング２の内部と外部とを封止（シール）する。
　本実施形態において、回転機構１が有する第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂはそれぞれ１個であるが、これらの数は限定されない。回転機構１がそれぞれ複数の第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂを有する場合、これらは、回転中心軸Ｚｒの周りに等間隔で設けられることが好ましい。
　ハウジング２の内部には、電動機３が設けられている。電動機３は、ローター３Ｒと、ローター３Ｒの径方向外側に設けられたステーター３Ｓとを含む。ステーター３Ｓは、本体部２Ｓが有する貫通孔２ＳＩの内壁に取り付けられる。ローター３Ｒは、シャフト４の第１端部４ＴＡと第２端部４ＴＢとの間に設けられる。このような構造により、ローター３Ｒとシャフト４と第１回転部材５Ａと第２回転部材５Ｂとは、一体となって回転中心軸Ｚｒの周りを回転する。本実施形態において、電動機３の形式は問わない。
　本実施形態では、第１孔２ＨＡ及び第２孔２ＨＢを通過する気体により、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃの発塵を回収する。貫通孔２ＳＩ内が密封されると、第１孔２ＨＡ及び第２孔２ＨＢを気体が通過しにくくなるので、貫通孔２ＳＩ内が密閉されないようにする。ハウジング２の本体部２Ｓは、外部と貫通孔２ＳＩとを接続して、貫通孔２ＳＩ内の気体をハウジング２の外部に排出する排気通路１９を有している。排気通路１９には絞り弁が設けられると好ましい。この絞り弁は、排気通路１９を通過する気体の流量を抑制するので、第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂから供給される気体の供給量の増加が抑制される。
　本実施形態においては、前述したように、第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂから流出した気体が、第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂに供給された後、ハウジング２の外部に流出する。このため、回転機構１の外部からシャフト４とハウジング２との間への異物の侵入、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃへの異物の侵入及びハウジング２の内部からの発塵が、その外側に流出することが抑制される。ハウジング２の内部からの発塵は、例えば、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃからの発塵及び電動機３からの発塵がある。
　排気通路１９が細かったり、長かったり又はその両方であったりした場合には、排気の抵抗が大きくなるため、貫通孔２ＳＩから気体が排出されにくくなる可能性がある。結果として、貫通孔２ＳＩ内の気体が第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂから流出した気体の流れに巻き込まれて、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃの発塵がハウジング２の外部に流出する可能性がある。これを回避するため、排気通路１９に排気装置を接続したり、減圧された空間に排気通路１９を接続したりして、排気通路１９を流れる気体の流量を確保するようにしてもよい。このようにすれば、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃの発塵がハウジング２の外部に流出する可能性を低減できる。
　回転機構１は、軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃに、転がり軸受又は滑り軸受等のように、気体供給を必要としない機械式の軸受を用いることができる。軸受７Ａ、７Ｂ、７Ｃに転がり軸受を用いると、第１回転部材５Ａ及び第２回転部材５Ｂに搭載される物体からの荷重以外に起因する理由による、隙間１４Ａ、１４Ｂ方向におけるシャフト４の変位が抑制される。
　本実施形態において、第１隙間１３Ａの大きさｔｓａは、第１開口１１Ａの幅ｔａ、すなわち孔２ＨＡの径方向における第１開口１１Ａの寸法よりも大きい。第１開口１１Ａの幅ｔａは、隙間１２Ａの幅に等しい。第２隙間１３Ｂの大きさｔｓｂは、第２開口１１Ｂの幅ｔｂ、すなわち孔２ＨＢの径方向における第２開口１１Ｂの寸法よりも大きい。第２開口１１Ｂの幅ｔｂは、隙間１２Ｂの幅に等しい。このように、第１隙間１３Ａの大きさｔｓａを第１開口１１Ａの幅ｔａよりも大きく、第２隙間１３Ｂの大きさｔｓｂを第２開口１１Ｂの幅ｔｂよりも大きくすることで、第１開口１１Ａから流出した気体を効率よく第１隙間１３Ａに、第２開口１１Ｂから流出した気体を効率よく第２隙間１３Ｂに導いて、封止効果を確実に発揮させることができる。
　第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂには、例えば、気体軸受のスロット絞りが利用できる。第１開口１１Ａの幅ｔａ及び第２開口１１Ｂの幅ｔｂは、例えば、数μｍ～数十μｍ程度である。第１隙間１３Ａの大きさｔｓａ及び第２隙間１３Ｂの大きさｔｓｂは、第１開口１１Ａの幅ｔａ及び第２開口１１Ｂの幅ｔｂの大きさによって異なる。第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂには、例えば、多孔質絞り又は自成絞り等、静圧軸受用の様々な絞り形式を用いることができる。
　第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂは、孔２ＨＡ及び孔２ＨＢの周方向に沿って形成されている。このため、第１開口１１Ａは、第１回転部材５Ａと第１構造体２ＦＡとの間に、これらの周方向に向かって均一に気体を噴射することができ、第２開口１１Ｂは、第２回転部材５Ｂと第２構造体２ＦＢとの間に、これらの周方向に向かって均一に気体を噴射することができる。気体を均一に噴射させることを目的として、１開口１１Ａの幅ｔａ及び第２開口１１Ｂの幅ｔｂを大きくしたい場合には、隙間１２Ａ及び隙間１２Ｂに流入する気体の流量を抑制するための調整機器を、第１気体通路１０Ａ及び第２気体通路１０Ｂ又はこれらに接続された通路に設けることができる。
　第１開口１１Ａ及び隙間１２Ａは、第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳと第２部材２ＦＡＲとの間に形成される。すなわち、第１開口１１Ａ及び隙間１２Ａは、２つの部材の間に形成される。第２開口１１Ｂ及び隙間１２Ｂは、第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳと第２部材２ＦＢＲとの間に形成される。すなわち、第１開口１１Ａ及び隙間１２Ａ並びに第２開口１１Ｂ及び隙間１２Ｂは、２つの部材の間に形成される。このように、第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂは、回転体と筐体との間の隙間から気体を流出させるものではない。このため、第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳ及び第２部材２ＦＡＲ並びに第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳと第２部材２ＦＢＲについて、これらの寸法精度の管理及び円筒度等の幾何公差を緩和できる。その結果、第１構造体２ＦＡ及び第２構造体２ＦＢの製造コストを低減できる。また、２つの部材を嵌め合いにより結合する等によって、第１開口１１Ａ及び隙間１２Ａ並びに第２開口１１Ｂ及び隙間１２Ｂを形成することで、これらの寸法の管理も比較的容易になる。さらに、第１構造体２ＦＡ及び第２構造体２ＦＢを２つの部材から形成することにより、部品の交換も容易になる。
　また、封止すべきハウジング２の外部の雰囲気に対して、耐食性の観点で優れた材料であるが、加工性の観点から採用できない材料を採用することができる。例えば、第１構造体２ＦＡにおいて、これまで採用できなかった耐食性に優れた材料を、ハウジング２の外側に設けられる第２部材２ＦＢＲに適用したり、第２構造体２ＦＢの第１部材２ＦＢＳに適用したりすることができる。
　封止機能を発揮する第１隙間１３Ａは、第１回転部材５Ａの張出部５ＦＡと第１構造体２ＦＡの第２部材２ＦＡＲとが重なった部分である。封止機能を発揮する第２隙間１３Ｂは、第２回転部材５Ｂの側部５ＢＥと第２構造体２ＦＢが有する第１部材２ＦＢＳの張出部２ＦＢＥの内周面２ＦＢＩとが重なった部分である。隙間１２Ａは第１開口１１Ａからの気体の供給量を、隙間１２Ｂは第２開口１１Ｂからの気体の供給量を低減する。
　回転機構１は、第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂによって、給気装置５０からの気体の供給が停止した場合でも、液体等の浸入を抑制できる。ハウジング２の外部から第１回転部材５Ａ及び第２回転部材５Ｂに液体等が吹き付けられた場合も同様である。
　本実施形態において、第１隙間１３Ａが設けられている第１回転部材５Ａは、第２隙間１３Ｂが設けられている第２回転部材５Ｂよりも上に配置される。すなわち、第１回転部材５Ａは、重力の作用方向とは反対側に、第２回転部材５Ｂは重力の作用方向側に配置される。このように配置すると、第１回転部材５Ａ側の第１隙間１３Ａに液体等が流入した場合、重力の作用により第１隙間１３Ａの下方（重力が作用する方向側）から液体が排出されやすくなる。また、第２回転部材５Ｂ側の第２隙間１３Ｂは、第２回転部材５Ｂの、シャフト４の第２端部４ＴＢとは反対側の面５ＢＰＳが下方を向いている。このため、第２隙間１３Ｂに液体等が流入した場合、重力の作用により第２隙間１３Ｂから液体が排出されやすくなる。さらに、給気装置５０殻の気体の供給が停止した場合でも、液体等の浸入を抑制できる。
（変形例）
　図２は、実施形態１の変形例に係る回転機構を示す断面図である。図２は、回転機構１ａの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ａを切った断面を示している。実施形態１の回転機構１は、図１に示すように、第２構造体２ＦＢの第２部材２ＦＢＲがハウジング２の本体部２Ｓの端部と接しているが、本変形例の回転機構１ａは、第２構造体２ＦＢａの第２部材２ＦＢＲａがハウジング２ａの本体部２Ｓの端部と接している点が異なる。このために、第２構造体２ＦＢａの第１部材２ＦＢＳａは、本体部２Ｓ側と接する部分が径方向内側に張り出す張出部２ＦＢＦを有している。第２構造体２ＦＢａの第２部材２ＦＢＲａは、張出部２ＦＢＦを介してハウジング２ａの本体部２Ｓと接している。このような構造であっても回転機構１ａは、回転機構１と同様の作用及び効果が得られる。また、回転機構１ａは、張出部２ＦＢＦが、回転中心軸Ｚｒ方向における第２構造体２ＦＢａの第２部材２ＦＢＲａの位置決めをすることもできる。
　以上説明したように、実施形態１及びその変形例の回転機構１、１ａは、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフト４の両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。実施形態１及びその変形例の構成は、以下の実施形態においても適宜適用することができる。この場合、実施形態１及びその変形例の一部の構成のみを適用してもよいし、すべての構成を適用してもよい。
（実施形態２）
　図３は、実施形態２に係る回転機構を示す断面図である。図３は、回転機構１ｂの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｂを切った断面を示している。回転機構１ｂは、第１孔２ＨＡと第１開口１１Ａとの間における第１回転部材５Ａｂとハウジング２ｂとの間は、第１孔２ＨＡの径方向における第１開口１１Ａの寸法、すなわち幅ｔａよりも小さい部分１８Ａ（以下、適宜小隙間部分１８Ａという）を含む。また、第２孔２ＨＢと第２開口１１Ｂとの間における第２回転部材５Ｂｂとハウジング２との間は、第２孔２ＨＢの径方向における第２開口１１Ｂの寸法、すなわち幅ｔｂよりも小さい部分（以下、適宜小隙間部分１８Ｂという）を含む。
　第１構造体２ＦＡｂ側の小隙間部分１８Ａは、第１構造体２ＦＡの第１部材２ＦＡＳｂと第１回転部材５Ａｂとの間の隙間である。小隙間部分１８Ａの大きさ、すなわち、第１部材２ＦＡＳｂの面２ＦＡＰと第１回転部材５Ａｂの面５ＡＰＲとの間隔は、ｔｃである。第２構造体２ＦＢｂ側の小隙間部分１８Ｂは、第２構造体２ＦＢの第２部材２ＦＢＲｂと第２回転部材５Ｂｂとの間の隙間である。小隙間部分１８Ｂの大きさ、すなわち、第２部材２ＦＢＲｂの面２ＦＢＰと第２回転部材５Ｂｂの面５ＢＰＲとの間隔は、ｔｄである。
　回転機構１ｂは、第１構造体２ＦＡｂ側の小隙間部分１８Ａと第１開口１１Ａとの間に、小隙間部分１８Ａよりも大きい隙間を有する大隙間部分１５Ａを有する。大隙間部分１５Ａの大きさはｔｅである。大隙間部分１５Ａは、第１隙間１３Ａと接続している。また、回転機構１ｂは、第２構造体２ＦＢｂ側の小隙間部分１８Ｂと第２開口１１Ｂとの間に、小隙間部分１８Ｂよりも大きい隙間を有する大隙間部分１５Ｂを有する。大隙間部分１５Ｂの大きさはｔｆである。大隙間部分１５Ｂは、第２隙間１３Ｂと接続している。
　第１回転部材５Ａｂ側において、大隙間部分１５Ａの大きさｔｅと、第１開口１１Ａの幅ｔａと、小隙間部分１８Ａの大きさｔｃとの関係は、ｔｅ＞ｔａ＞ｔｃとなる。第２回転部材５Ｂｂ側において、大隙間部分１５Ｂの大きさｔｆと、第２開口１１Ｂの幅ｔｂと、小隙間部分１８Ｂの大きさｔｄとの関係は、ｔｆ＞ｔｂ＞ｔｄとなる。
　前述したように、第１開口１１Ａの幅ｔａ及び第２開口１１Ｂの幅ｔｂは数μｍ～数十μｍである。小隙間部分１８Ａの大きさｔｃ及び小隙間部分１８Ｂの大きさｔｆは数μｍ～２０μｍ程度であり、大隙間部分１５Ａの大きさｔｅ及び大隙間部分１５Ｂの大きさｔｆは、数十μｍよりも大きい。
　第１開口１１Ａから大隙間部分１５Ａに流出した気体は、第１隙間１３Ａに供給されて、この部分を封止する。第２開口１１Ｂから大隙間部分１５Ｂに流出した気体は、第２隙間１３Ｂに供給されて、この部分を封止する。回転機構１ｂは、ハウジング２ｂの外部環境の異常等によって第１回転部材５Ａｂと第１構造体２ＦＡとの間又は第２回転部材５Ｂｂと第２構造体２ＦＢｂとの間に液体が蓄積される可能性がある。
　回転機構１ｂは、小隙間部分１８Ａ及び小隙間部分１８Ｂが封止機能を発揮するので、第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂから大隙間部分１５Ａ及び大隙間部分１５Ｂに液体が浸入した場合でも、この液体がシャフト４の部分まで到達することを抑制できる。特に、第１開口１１Ａ及び第２開口１１Ｂに対する気体の供給が停止した場合にもシャフト４の部分への液体の浸入を効果的に抑制できるので好ましい。
　以上説明したように、実施形態２の回転機構１ｂは、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフト４の両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。実施形態２の構成は、以下の実施形態においても適宜適用することができる。この場合、実施形態２の一部の構成のみを適用してもよいし、すべての構成を適用してもよい。
（実施形態３）
　図４は、実施形態３に係る回転機構を示す断面図である。図４は、回転機構１ｃの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｃを切った断面を示している。前述した回転機構１及び回転機構１ｃ等は、回転中心軸Ｚｒと平行な方向に延在する第２隙間１３Ｂを有していた。実施形態３の回転機構１ｃは、第２回転部材５Ｂｃの面５ＢＰＲと、ハウジング２ｃの第２構造体２ＦＢｃの面２ＦＢＰとの間に、第２隙間１３Ｂｃを有している。すなわち、回転機構１ｃは、回転中心軸Ｚｒと交差（この例では直交）する方向に延在する第２隙間１３Ｂｃを有している点が異なる。
　例えば、第１部材２ＦＢＳｃは高強度が必要である。第２部材２ＦＢＲｃは液体に接触する可能性が高いことから耐食性等が必要である。第２隙間１３Ｂｃを、回転中心軸Ｚｒと交差（この例では直交）する方向に延在させることにより、第２構造体２ＦＢｃの第１部材２ＦＢＳｃと第２部材２ＦＢＲｃとに、それぞれが必要とする特性を有する材料を用いることができる。この例では、第１部材２ＦＢＳｃに高強度材料を、第２部材２ＦＢＲｃに耐食性の高い材料を用いることができる。その結果、第２構造体２ＦＢｃの性能が向上する。
　本実施形態において、第２回転部材５Ｂｃは、部材５ＢＩと、部材５ＢＪとを有する。部材５ＢＩはシャフト４に取り付けられ、部材５ＢＪは部材５ＢＩの外側に取り付けられる。第２開口１１Ｂは、部材５ＢＪと対向する位置に設けられる。シャフト４に取り付けられる部材５ＢＩは、外側に部材５ＢＪが取り付けられるため、回転機構１ｃの外部に環境には直接接触しない。部材５ＢＪは、回転機構１ｃの外部に環境には直接接触するので、耐食性が要求される。部材５ＢＩは、シャフト４からの回転力が伝達されるため強度が要求される。
　第２回転部材５Ｂが、２つの部材５ＢＩ及び５ＢＪで形成されることにより、それぞれの部材５ＢＩ及び５ＢＩに適した性質を有する材料を用いることができる。この例では、部材５ＢＩに高強度材料を、部材５ＢＪに耐食性の高い材料を用いることができる。その結果、第２回転部材５Ｂｃの性能が向上する。第２回転部材５Ｂｃの直径ＤＲは、第２構造体２ＦＢｃの直径ＤＳよりも大きいが、両者の大きさは、これに限定されない。また、本実施形態では、第２隙間１３Ｂｃを、回転中心軸Ｚｒと交差する方向に延在させたが、図１に示す第１隙間１３Ａを回転中心軸Ｚｒと交差（例えば直交）する方向に延在させてもよい。
（変形例）
　図５は、実施形態３の変形例に係る回転機構を示す断面図である。図５は、回転機構１ｄの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｄを切った断面を示している。回転機構１ｄは、第１回転部材５Ａｄの張出部５ＦＡｄを、ハウジング２ｄの本体部２Ｓｄまで延在させている。このような構造により、第１隙間１３Ａは、張出部５ＦＡｄの内周部５ＷＩと、第１構造体２ＦＡｄの第１部材２ＦＡＳｄの側部２ＦＳＡＳ及び第２部材２ＦＲＡＳの側部２ＦＲＡＳとの間に形成される。
　ハウジング２ｄの本体部２Ｓｄの第２回転部材５Ｂｄ側における端部は、第２回転部材５Ｂｄの位置まで張り出す張出部２ＳＨｄを有している。張出部２ＳＨｄの内周部２ＳＩには、第２構造体２ＦＢｄの第１部材２ＦＢＳｄ及び第２部材２ＦＢＲｄが取り付けられる。第２回転部材５Ｂｄの直径ＤＲは、張出部２ＳＨｄの内径ＤＩよりも小さい。このため、第２回転部材５Ｂｄの側部５ＢＪｄは、張出部２ＳＨｄの内周部２ＳＩと対向する。第２回転部材５Ｂｄと第２構造体２ＦＢｄの第２部材２ＦＢＲｄとの間に、第２隙間１３Ｂｄが形成される。第２回転部材５Ｂｄの直径ＤＲは、張出部２ＳＨｄの内径ＤＩよりも小さい。
　このような構造により、第１開口１１Ａ及びこれに接続される隙間１２Ａ並びに第２開口１１Ｂ及びこれに接続される隙間１２Ｂを形成するための部品の材料を選定する際の自由度を向上させることができる。前述した部品は、第１構造体２ＦＡｄの第１部材２ＦＡＳｄ及び第２部材２ＦＡＲｄ並びに第２構造体２ＦＢｄの第１部材２ＦＢＳｄ及び第２部材２ＦＢＲｄである。
　以上説明したように、実施形態３及びその変形例の回転機構１ｃ、１ｄは、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフト４の両側に回転体を取り付けて回転させるものに適している。実施形態３及びその変形例について説明したが、実施形態３及びその変形例の構成は、以下の実施形態においても適宜適用することができる。この場合、実施形態３及びその変形例の一部の構成のみを適用してもよいし、すべての構成を適用してもよい。
（実施形態４）
　図６は、実施形態４に係る回転機構を示す断面図である。図６は、回転機構１ｅの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｅを切った断面を示している。実施形態４の回転機構１ｅは、ハウジング２ｅの第１隙間１３Ａと隣接する部分に、第１孔２ＨＡの周方向に沿った溝１６を有し、第２回転部材５Ｂｅの第２隙間１３Ｂと隣接する部分に、第２孔２ＨＢの周方向に沿った溝１７を有する点が、前述した実施形態１の回転機構１と異なる。溝１６は、回転中心軸Ｚｒの方向において、第１回転部材５Ａｅの張出部５ＦＡｅの位置まで延在している。本実施形態において、第２回転部材５Ｂｅは、部材５ＢＩｅ及び部材５ＢＪｅの２つから形成されるが、第２回転部材５Ｂｅは１つの部材であってもよい。
　実施形態１から実施形態３において、回転機構１、１ｂ、１ｃ、１ｄは、いずれも回転中心軸Ｚｒが重力の作用する方向と平行になるように設置される。本実施形態において、回転機構１ｅは、回転中心軸Ｚｒが重力の作用する方向と交差（本実施形態では直交）するように設置される。ハウジング２ｅの外部雰囲気中に液体が含まれていると、第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂに液体が溜まる可能性がある。このため、回転機構１ｅは、ハウジング２ｅの第１隙間１３Ａと隣接する部分、本実施形態では第１構造体２ＦＡｅが有する第２部材２ＦＢＲｅに、溝１６を有する。また、回転機構１ｅは、第２回転部材５Ｂｅの第２隙間１３Ｂと隣接する部分、本実施形態では第２構造体２ＦＢｅが有する第１部材２ＦＢＳｅと対向する部分に、溝１７を有する。
　溝１６は、第１隙間１３Ａに溜まった液体をハウジング２ｅの外部に排出する。溝１７は、第２隙間１３Ｂに溜まった液体をハウジング２ｅの外部に排出する。その結果、第１隙間１３Ａ及び第２隙間１３Ｂに液体が溜まることを抑制できる。実施形態４の回転機構１ｅは、回転部分を気体によって封止するにあたって、シャフト４の両側に回転体を取り付けて回転させるものに適し、特に、回転中心軸Ｚｒが重力の作用方向と交差する場合に好適である。実施形態４について説明したが、実施形態４の構成は、以下の実施形態においても適宜適用することができる。この場合、実施形態４の一部の構成のみを適用してもよいし、すべての構成を適用してもよい。
（実施形態５）
　図７は、実施形態５に係る回転機構を示す断面図である。図７は、回転機構１ｆの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｆを切った断面を示している。実施形態５の回転機構１ｆは、第１構造体２ＦＡｆが有する第１部材２ＦＡＲｆと第２部材２ＦＡＳｆとが、それぞれの外周部で接している。第２部材２ＦＡＳｆは、径方向外側に、周方向に沿って延在する環状の溝９Ａｆを有している。第１部材２ＦＡＲｆと第２部材２ＦＡＳｆとは、第１部材２ＦＡＲｆの面２ＦＡＲＰと第２部材２ＦＡＳｆ面２ＦＡＳＰとが溝９Ａｆの径方向外側で接している。
　第１部材２ＦＡＲｆと第２部材２ＦＡＳｆとの間には、第１絞り部３０Ａが形成される。第１絞り部３０Ａは、２つの部品、すなわち第１部材２ＦＡＲｆと第２部材２ＦＡＳｆとの間に形成されて、回転機構１ｆの回転中心軸Ｚｒと直交する方向に延在している。第１部材２ＦＡＲｆは、第１絞り部３０Ａを形成するために、面２ＦＡＥＰの部分と面２ＦＡＥＰよりも径方向内側の部分とに段差を有している。第１絞り部３０Ａは、第１構造体２ＦＡｆの径方向内側で隙間１２Ａと接続し、第１構造体２ＦＡｆの径方向内側で溝９Ａｆと接続している。溝９Ａｆは、第１気体通路１０Ａと接続している。このような構造により、給気装置５０から供給された気体は、第１気体通路１０Ａ及び溝９Ａｆを通って第１絞り部３０Ａに流入する。第１絞り部３０Ａに流入した気体は、隙間１２Ａを通って、第１開口１１Ａから流出する。第１絞り部３０Ａの間隔は、数μｍ～数十μｍ程度であり、隙間１２Ａの間隔よりも小さい。
　回転機構１ｆは、本体部２Ｓｆの第２構造体２ＦＢｆが取り付けられている側の端部に、一部が回転中心軸Ｚｒ方向に向かって突出した突起部２ＳＴが設けられる。この突起部２ＳＴの外側に、第２構造体２ＦＢｆが取り付けられる。第２構造体２ＦＢｆの面２ＦＢＰｆの一部と、本体部２Ｓｆの第２構造体２ＦＢｆが取り付けられている側の端面２ＳＰの一部とは、それぞれの径方向外側で接している。端面２ＳＰと第２構造体２ＦＢｆとの間には、第２絞り部３０Ｂが形成される。第２絞り部３０Ａは、本体部２ＳＦと第２構造体２ＦＢｆとの間に形成されて、回転機構１ｆの回転中心軸Ｚｒと直交する方向に延在している。第２構造体２ＦＢｆは、第２絞り部３０Ｂを形成するために、面２ＦＢＰの部分と面２ＦＢＰよりも径方向内側の部分とに段差を有している。第２絞り部３０Ｂの間隔は、数μｍ～数十μｍ程度であり、隙間１２Ｂの間隔よりも小さい。
　第２構造体２ＦＢｆは、径方向外側に、周方向に沿って延在する環状の溝９Ｂｆを有している。第２絞り部３０Ｂは、第２構造体２ＦＢｆの径方向内側で隙間１２Ｂと接続し、第２構造体２ＦＢｆの径方向内側で溝９Ｂｆと接続している。溝９Ｂｆは、第２気体通路１０Ｂと接続している。このような構造により、給気装置５０から供給された気体は、第２気体通路１０Ｂ及び溝９Ｂｆを通って第２絞り部３０Ｂに流入する。第２絞り部３０Ｂに流入した気体は、隙間１２Ｂを通って、第２開口１１Ｂから流出する。
　回転機構１ｆは、第１絞り部３０Ａを形成するために、第１部材２ＦＡＲｆには面２ＦＡＲＰの平面度及び段差のみが要求され、第２部材２ＦＡＳｆには面２ＦＡＳＰの平面度のみが要求される。第２構造体２ＦＢｆは、第２絞り部３０Ｂを形成するために、面２ＦＢＰｆの平面度及び段差のみが要求される。このため、回転機構１ｆは、第１部材２ＦＡＲｆ、第２部材２ＦＡＳｆ及び第２構造体２ＦＢｆの直径公差の管理が不要になるので、部品精度の管理項目が少なくて済むという利点がある。その結果、歩留まりが向上する。
（変形例）
　図８は、実施形態５の変形例に係る回転機構を示す断面図である。図８は、回転機構１ｅの回転中心軸Ｚｒを含み、かつ回転中心軸Ｚｒと平行な平面で回転機構１ｇを切った断面を示している。この変形例の回転機構１ｇは、実施形態５の回転機構１ｆの第１部材２ＦＡＲｆと第２部材２ＦＡＳｆとの間に第１スペーサ３１Ａを備え、本体部２Ｓｆと第２構造体２ＦＢｆとの間に第２スペーサ３１Ｂを備える点が異なる。回転機構１ｇは、第１スペーサ３１Ａ及び第２スペーサ３１Ｂの厚みによって第１絞り部３０Ａ及び第２絞り部３０Ｂが形成される。回転機構１ｇは、例えば、使用用途に応じて第１スペーサ３１Ａ及び第２スペーサ３１Ｂの厚みを変更することにより、第１絞り部３０Ａ及び第２絞り部３０Ｂの大きさを変更することができる。
　回転機構１ｇは、第１スペーサ３１Ａ及び第２スペーサ３１Ｂによって第１絞り部３０Ａ及び第２絞り部３０Ｂを形成するため、第１部材２ＦＡＲｇには面２ＦＡＲＰの平面度のみが要求され、第２部材２ＦＡＳｇには面２ＦＡＳＰの平面度のみが要求される。第２構造体２ＦＢｇは、第２絞り部３０Ｂを形成するために、面２ＦＢＰｇの平面度のみが要求される。このため、回転機構１ｇは、第１部材２ＦＡＲｇ、第２部材２ＦＡＳｇ及び第２構造体２ＦＢｇの直径公差の管理が不要になるので、部品精度の管理項目がさらに少なくて済むという利点がある。その結果、歩留まりがさらに向上する。
　以上、実施形態１から実施形態５を説明したが、前述した内容により実施形態１から実施形態５が限定されるものではない。また、前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。さらに、実施形態１から実施形態５の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも１つを行うことができる。
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ　回転機構
２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ　ハウジング
２ＳＩ　貫通孔
２ＨＡ　第１孔
２ＨＢ　第２孔
２ＦＡ、２ＦＢａ、２ＦＡｂ、２ＦＡｄ、２ＦＡｅ　第１構造体
２ＦＢ、２ＦＢａ、２ＦＢｂ、２ＦＢｃ、２ＦＢｄ、２ＦＢｄ　第２構造体
２ＦＡＰ、２ＦＢＰ　面
２ＦＡＳ、２ＦＡＳｂ、２ＦＡＳｄ、２ＦＢＳ、２ＦＢＳａ、２ＦＢＳｃ、２ＦＢＳｄ、２ＦＢＳｅ　第１部材
２ＦＡＲ、２ＦＡＲｄ、２ＦＢＲ、２ＦＢＲａ、２ＦＢＲｂ、２ＦＢＲｃ、２ＦＢＲｄ、２ＦＢＲｅ　第２部材
２ＦＲＡＳ、２ＦＳＡＳ、２ＦＹＡ、２ＦＹＢ　側部
２ＦＢＥ、２ＦＢＦ　張出部
２ＦＢＩ　内周面
２Ｓ、２Ｓｄ　本体部
２ＳＩ　内周部
２ＳＨｄ　張出部
３　電動機
４　シャフト
４ＴＡ　第１端部
４ＴＢ　第２端部
５Ａ、５Ａｂ、５Ａｃ、５Ａｄ　第１回転部材
５Ｂ、５Ｂｂ、５Ｂｃ、５Ｂｄ、５Ｂｅ　第２回転部材
５ＢＥ、５ＢＥｄ　側部
５ＦＡ、５ＦＡｄ　張出部
５ＷＩ　内周部
５ＢＪ、５ＢＪｅ、５ＢＩ、５ＢＩｅ　部材
５ＡＰＳ、５ＡＰＲ、５ＢＰＳ、５ＢＰＲ　面
６Ａ　第１支持部材
６Ｂ　第２支持部材
７Ａ、７Ｂ、７Ｃ　軸受
８　予圧部材
９Ａ、９Ｂ　溝
１０Ａ　第１気体通路
１０Ｂ　第２気体通路
１１Ａ　第１開口
１１Ｂ　第２開口
１２Ａ、１２Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ　隙間
１３Ａ　第１隙間
１３Ｂ、１３Ｂｃ、１３Ｂｄ　第２隙間
１５Ａ、１５Ｂ　部分（大隙間部分）
１６、１７　溝
１８Ａ、１８Ｂ　部分（小隙間部分）
５０　給気装置
Ｚｒ　回転中心軸

Claims (10)

  1. 　ハウジングと、
    　前記ハウジングに設けられた第１孔及び第２孔に挿通されるシャフトと、
    　前記ハウジングに設置されて前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
    　前記シャフトの第１端部に設けられて前記シャフトともに回転し、前記第１孔の径方向外側かつ前記ハウジングの側部まで張り出した張出部を有し、前記張出部が前記ハウジングの側部と所定の大きさの第１隙間を有して対向する第１回転部材と、
    　前記シャフトの第２端部に設けられて前記シャフトともに回転し、かつ前記第２孔の径方向外側まで張り出して前記第２端部側における前記ハウジングと所定の大きさの第２隙間を有して対向する第２回転部材と、
    　前記ハウジングの前記第１孔の径方向外側に開口して前記第１回転部材と対向し、かつ前記第１孔の周方向に沿って延在して、前記第１隙間に気体を供給する第１開口と、
    　前記ハウジングの前記第２孔の径方向外側に開口して前記第２回転部材と対向し、かつ前記第２孔の周方向に沿って延在して、前記第２隙間に気体を供給する第２開口と、
    　を含む、回転機構。
  2. 　前記第１回転部材は前記第２回転部材よりも上に配置される、請求項１に記載の回転機構。
  3. 　前記第１隙間は、前記シャフトの径方向における前記第１開口の寸法よりも大きく、前記第２隙間は、前記シャフトの径方向における前記第２開口の寸法よりも大きい、請求項１又は請求項２に記載の回転機構。
  4. 　前記第１孔と前記第１開口との間における前記第１回転体と前記ハウジングとの間は、前記第１孔の径方向における前記第１開口の寸法よりも小さい部分を含み、前記第２孔と前記第２開口との間における前記第２回転体と前記ハウジングとの間は、前記第１孔の径方向における前記第２開口の寸法よりも小さい部分を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の回転機構。
  5. 　前記ハウジングの前記第１隙間と隣接する部分に、前記第１孔の周方向に沿った溝を有する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の回転機構。
  6. 　前記第２回転部材の前記第２隙間と隣接する部分に、前記第２孔の周方向に沿った溝を有する、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の回転機構。
  7. 　前記第１開口には、２つの部品の間に形成されて、前記シャフトの回転中心軸と直交する方向に延在し、かつ前記第１開口よりも間隔が小さい第１絞り部を介して前記気体が供給され、
    　前記第２開口には、２つの部品の間に形成されて、前記シャフトの回転中心軸と直交する方向に延在し、かつ前記第２開口よりも間隔が小さい第２絞り部を介して前記気体が供給される、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の回転機構。
  8. 　前記第１絞り部を形成する２つの部品の間には、第１スペーサが設けられ、前記第２絞り部を形成する２つの部品の間には、第２スペーサが設けられる、請求項７に記載の回転機構。
  9. 　請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の回転機構を備える、工作機械。
  10. 　請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の回転機構を備える、半導体製造装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH09150336A (ja) 1995-11-24 1997-06-10 Toyoda Mach Works Ltd 主軸装置
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63169253U (ja) * 1987-04-22 1988-11-04
JPH09150336A (ja) 1995-11-24 1997-06-10 Toyoda Mach Works Ltd 主軸装置
JP2004197786A (ja) * 2002-12-17 2004-07-15 Tamagawa Machinery Co Ltd 濃縮装置

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