WO2015076185A1 - 蓋部材開閉機構及び基板検査装置 - Google Patents

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和哉 矢野
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Definitions

  • the present invention relates to a lid member opening / closing mechanism and a substrate inspection device for maintaining the state of a lid member of a substrate inspection device having a casing-like main body in an open state and a closed state, respectively.
  • a prober is known as an apparatus for inspecting the electrical characteristics of a semiconductor device such as a power device or a memory formed on a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”) as a substrate.
  • the prober includes a disk-shaped probe card having a large number of probe needles, a stage on which a wafer is placed and moved freely up and down, left and right, and a casing-like main body containing the stage.
  • Each probe needle of the probe card is brought into contact with an electrode pad or solder bump of the semiconductor device inside, and an electrical current is passed from each probe needle to the electrode pad or solder bump to inspect the electrical characteristics of the semiconductor device (for example, (See Patent Document 1).
  • the stage must be moved precisely to accurately align each probe needle to the electrode pads and solder bumps of the semiconductor device formed on the wafer to be placed. Maintenance is required.
  • a head plate that can be opened and closed is provided at the top of the main body so that the operator can easily handle the stage when maintaining the stage. The stage is exposed.
  • one end of the head plate is connected to a hinge mechanism provided on the upper part of the main body, and the head plate is opened by rotating around the hinge mechanism.
  • a rod-shaped support member 62 is interposed between the head plate 60 and the main body 61.
  • a lock mechanism 70 for the support member 62 is provided on the upper portion of the main body 61 (FIG. 7A).
  • the protrusion 71 protruding from the lock mechanism 70 is fitted into the recess 63 provided in the support member 62, so that the support member 62 is prevented from moving and the support member 62 maintains the head plate 60 in the open state. (FIG. 7B).
  • a support member 62a having a foldable structure is proposed so that the support member 62 does not protrude into the main body 61 when the head plate 60 is closed (FIG. 8A) (see, for example, Patent Document 2). .)
  • the support member 62a is divided into an upper member 62c and a lower member 62d with a bending point 62b as a boundary, and a lock mechanism 62e is provided at the bending point 62b.
  • the lock mechanism 62e includes a hook 62f provided at the upper end of the lower member 62d and a slidable shaft 62g provided at the lower end of the upper member 62c (FIG. 8B).
  • the hook 62f is engaged with the shaft 62g. Later, the shaft 62g is slid and pressed against the hook 62f, thereby fixing the hook 62f to the shaft 62g.
  • An object of the present invention is to provide a lid member opening / closing mechanism and a substrate inspection apparatus capable of suppressing an increase in cost and opening / closing a lid member without inconvenience.
  • a housing-like main body and an openable / closable lid member provided on an upper portion of the main body are accommodated, and the substrate is accommodated in the main body.
  • a rod-shaped support member that is interposed between the main body and the lid member when the lid member is in the open state, and has a protrusion on the main body side;
  • a guide groove that is provided on the main body and engages with the protrusion, and the protrusion moves along the guide groove, whereby the position of the lid member is adjusted via the support member,
  • the guide groove includes a restriction groove for restricting a position of the support member to maintain the lid member in the open state, and a support groove for moving the cover member to the closed state.
  • a receiving groove for receiving the The groove branches into the restriction groove and the accommodation groove in the upper part, the restriction groove is shorter than the accommodation groove, the restriction groove exists on the extending direction of the support member in the opened state, and the protrusion And a lid member opening / closing mechanism having an abutting portion that abuts on the surface.
  • the guide groove includes the restriction groove for restricting the position of the support member to maintain the lid member in the open state, and the support member to the inside of the main body for shifting the lid member to the closed state.
  • the regulating groove has a contact portion that is present on the extending direction of the support member in the opened state and contacts the protruding portion.
  • the abutting portion abuts on the protruding portion, and the support member can be prevented from moving through the protruding portion. That is, since it is not necessary to provide a new mechanism for preventing the movement of the support member, an increase in cost can be suppressed.
  • the operator can keep the lid member open by simply moving the protruding portion of the support member to the restriction groove, and the operator can move the lid by simply moving the protruding portion of the support member to the receiving groove. Since the member can be shifted to the closed state, the lid member can be opened and closed without inconvenience.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a prober as a substrate inspection apparatus to which a lid member opening / closing mechanism according to a first embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a side view schematically showing a configuration of an opening / closing mechanism of the head plate in FIG.
  • FIG. 3 is a partially enlarged side view showing the guide plate in FIG.
  • FIG. 4 is a side view schematically showing a configuration of a lid member opening / closing mechanism according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a partially enlarged side view showing the guide plate in FIG.
  • FIG. 6 is a perspective view schematically showing a configuration of a lid member opening / closing mechanism in a conventional substrate inspection apparatus.
  • FIG. 7B are process diagrams for explaining the operation of the lock mechanism in the conventional lid member opening / closing mechanism.
  • FIG. 8A is a side view schematically showing a configuration of a modified example of a conventional lid member opening / closing mechanism.
  • 8B is an enlarged partial perspective view showing the configuration of the lock mechanism in the lid member opening / closing mechanism of FIG. 8A.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a prober as a substrate inspection apparatus to which a lid member opening / closing mechanism according to the present embodiment is applied.
  • a prober 10 includes a main body 12 containing a stage 11 on which a wafer W is placed, a loader 13 disposed adjacent to the main body 12, and a test head 14 disposed so as to cover the main body 12.
  • the electrical characteristics of the semiconductor device formed on the wafer W having a large diameter, for example, a diameter of 300 mm or 450 mm, are inspected.
  • the main body 12 has a hollow casing shape, and a head plate 15 that exposes the stage 11 by opening the test head 14 when the test head 14 is removed from the main body 12 is provided above the main body 12.
  • the head plate 15 is formed of a substantially rectangular flat plate member, and an opening 15a that opens above the wafer W placed on the stage 11 when the head plate 15 is closed is provided at a substantially central portion of the head plate 15.
  • a disk-shaped probe card is fitted into the portion 15a via a substantially disk-shaped probe card holder (none of which is shown). As a result, the probe card faces the wafer W. Further, the wafer W is attracted to the stage 11 so that the relative position with respect to the stage 11 does not shift.
  • the test head 14 has a rectangular shape and is configured to be rotatable upward by a hinge mechanism 16 provided on the main body 12. When the test head 14 covers the main body 12, the test head 14 is electrically connected to the probe card via a contact ring (not shown). In addition, the test head 14 stores an electrical signal indicating electrical characteristics of the semiconductor device transmitted from the probe card as measurement data and the electrical of the semiconductor device of the wafer W to be inspected based on the measurement data. It has the determination part (all are not shown) which determines the presence or absence of a defect.
  • the loader 13 takes out a wafer W on which a semiconductor device is formed, which is housed in a FOUP (not shown), which is a transfer container, and places the wafer W on the stage 11 of the main body 12.
  • the finished wafer W is removed from the stage 11 and stored in the FOUP.
  • a large number of probe needles are arranged on the surface of the probe card facing the wafer W so as to correspond to the electrode pads and solder bumps of the semiconductor device formed on the wafer W.
  • the stage 11 adjusts the relative positions of the probe card and the wafer W to bring the electrode pads of the semiconductor device into contact with the probe needles.
  • FIG. 2 is a side view schematically showing the configuration of the opening and closing mechanism of the head plate in FIG.
  • a part of the main body 12 is shown in a transparent manner, the head plate 15 in the closed state is shown by a solid line, and the head plate 15 in the opened state is shown by a broken line. It is.
  • one end of the head plate 15 is connected to a hinge mechanism 17 provided on the upper portion of the main body 12, and the head plate 15 is opened by rotating around the hinge mechanism 17.
  • one end of a rod-shaped rod 18 as a support member is rotated on the lower surface side of the head plate 15. Connected movably.
  • the rod 18 is interposed between the head plate 15 and the main body 12, and supports the head plate 15 with respect to the main body 12 so as to maintain the open state of the head plate 15.
  • a guide plate 19 is erected along the vertical direction of the main body 12 so as to face the other end of the head plate 15 in the closed state.
  • a guide groove 20 is provided in the guide plate 19, and a protruding guide 21 (protrusion) provided at the other end of the rod 18 and protruding to the side of the rod 18 is engaged with the guide groove 20.
  • the guide groove 20 is formed along the vertical direction of the main body 12, is formed substantially parallel to the housing groove 22, and is formed substantially parallel to the housing groove 22.
  • it has a regulation groove 23 formed in about half of the accommodation groove 22.
  • the guide groove 20 has a communication groove 24 that connects the accommodation groove 22 and the regulation groove 23 to each other at the upper part thereof.
  • the regulation groove 23 is formed closer to the hinge mechanism 17 than the accommodation groove 22, and the communication groove 24 extends obliquely downward from the upper part of the regulation groove 23 toward the upper part of the accommodation groove 22. That is, the communication groove 24 is inclined so as to descend as it is away from the hinge mechanism 17.
  • the rod 18 and the guide groove 20 constitute a lid member opening / closing mechanism.
  • FIG. 3 is a partially enlarged side view showing the guide plate in FIG.
  • the lower end of the restriction groove 23 is formed in a semicircular shape, and the lower end is in contact with the cylindrical shaft portion 21 a of the guide 21 of the rod 18 in the opened state (hereinafter referred to as “stopper portion”). 23a.
  • the stopper portion 23 a supports the head plate 15 via the guide 21 and the rod 18.
  • the regulation groove 23 is shorter than the accommodation groove 22 and the stopper portion 23a is located above the lower end of the accommodation groove 22 with respect to the main body 12, the stopper portion 23a maintains the lid open state of the head plate 15 (FIG. (See “State A” in the middle.)
  • all the widths of the accommodation groove 22, the regulation groove 23, and the communication groove 24 are set to be larger than the diameter of the shaft 21 a of the guide 21. , And can be moved along the regulation groove 23 and the communication groove 24.
  • the operator moves the guide 21 along the communication groove 24 toward the accommodation groove 22.
  • the communication groove 24 is formed obliquely downward and is substantially parallel to the extending direction of the rod 18, so that the load from the rod 18 due to the weight of the head plate 15 and the rod 18 is almost equal to that of the communication groove 24. It does not act on the side wall or the like (see “State B” in the figure). As a result, the operator can smoothly move the guide 21 in the communication groove 24.
  • the operator pulls the guide 21 into the accommodation groove 22 (see “state C” in the figure), and further lowers the guide 21 to the lower end of the accommodation groove 22.
  • the accommodation groove 22 is formed almost to the vicinity of the lower end of the guide plate 19, when the guide 21 is lowered to the lower end of the accommodation groove 22, the entire rod 18 is accommodated inside the main body 12.
  • the head plate 15 is shifted to the closed state (see “state D” in the figure).
  • the guide groove 20 includes the regulation groove 23 that regulates the position of the rod 18 in order to maintain the head plate 15 in the open state, and the head plate 15 in the closed state.
  • the restriction groove 23 exists in the extending direction of the rod 18 in the opened state, and is in contact with the shaft portion 21a of the guide 21. It has a stopper portion 23a in contact therewith. The stopper portion 23 a abuts on the shaft portion 21 a of the guide 21 and can prevent the rod 18 from moving through the guide 21. That is, since it is not necessary to provide a new mechanism for preventing the movement of the rod 18, an increase in cost can be suppressed.
  • the operator can maintain the head plate 15 in the open state only by moving the guide 21 of the rod 18 from the receiving groove 22 to the restricting groove 23. Further, the operator can hold the guide 21 of the rod 18 in the restricting groove. Since the head plate 15 can be shifted to the closed state simply by moving from 23 to the accommodation groove 22, the head plate 15 can be opened and closed without any inconvenience.
  • This embodiment is basically the same in configuration and operation as the above-described first embodiment, and only the shape of the guide groove 26 in the guide plate 25 is different from the above-described first embodiment. Therefore, the description of the duplicated configuration and operation is omitted, and the description of the different configuration and operation is given below.
  • FIG. 4 is a side view schematically showing the configuration of the lid member opening / closing mechanism according to the present embodiment. Also in FIG. 4, in order to explain the lid member opening / closing mechanism, a part of the main body 12 is shown in a transparent manner, the head plate 15 in the closed state is shown by a solid line, and the head plate 15 in the opened state is shown by a broken line. It is.
  • a guide groove 26 is provided in a guide plate 25 erected inside the main body 12 like the guide plate 19, and a guide 21 of the rod 18 is engaged with the guide groove 26.
  • the guide groove 26 is formed along the vertical direction of the main body 12, and is formed closer to the hinge mechanism 17 than the accommodation groove 27, and the accommodation groove 27 formed almost to the vicinity of the lower end of the guide plate 25.
  • a regulating groove 28 directly connected to the accommodation groove 27 at the upper part.
  • the restriction groove 28 extends obliquely upward toward the upper part of the accommodation groove 27. That is, the regulation groove 28 is inclined so as to rise as it is separated from the hinge mechanism 17.
  • the rod 18 and the guide groove 26 constitute a lid member opening / closing mechanism.
  • FIG. 5 is a partially enlarged side view showing the guide plate in FIG.
  • the lower end of the regulation groove 28 has a U-shape with rounded corners, and the lower end has a stopper portion 28 a that contacts the shaft portion 21 a of the guide 21 of the rod 18 in the opened state.
  • the stopper portion 28a also supports the head plate 15 via the guide 21 and the rod 18, and maintains the open state of the head plate 15 (see “state A” in the figure).
  • the upper extension angle of the restriction groove 28 is, for example, such that the extension direction of the rod 18 and the extension direction of the restriction groove 28 form a narrow angle in the open state (see “state A” in the figure).
  • the intersection angle is set to be 70 ° or less.
  • the widths of both the accommodation groove 27 and the regulation groove 28 are set larger than the diameter of the shaft 21 a of the guide 21, the operator can remove the guide 21 by the relatively light force. Can be moved along.
  • the regulation groove 28 is capable of rotating around the one end of the rod 18 by the guide 21 pulled up from the stopper portion 28a inside the regulation groove 28 (the locus is indicated by a one-dot chain line in the figure).
  • the width is, for example, twice or more the diameter of the shaft portion 21a of the guide 21.
  • the operator When shifting the head plate 15 from the open state to the closed state, the operator pulls up the guide 21 from the stopper portion 28 a of the restriction groove 28 while holding the rod 18, and rotates around the one end of the rod 18. To move the guide 21 to the upper part of the accommodation groove 27 (see “state B” in the figure). As described above, since the regulation groove 28 has a width that allows the guide 21 to rotate around the one end of the rod 18, the operator smoothly moves the guide 21 from the stopper portion 28 a to the upper portion of the accommodation groove 27. Can be made.
  • the operator pulls the guide 21 into the accommodation groove 27 (see “state C” in the figure), and further lowers the guide 21 to the lower end of the accommodation groove 27, thereby bringing the rod 18 into the main body 12.
  • the head plate 15 is accommodated and the head plate 15 is moved to the closed state (see “state D” in the figure).
  • the operator pulls up the guide 21 from the lower end of the receiving groove 27 to the upper portion of the receiving groove 27, and rotates the guide 21 inside the regulating groove 28. Thereafter, the guide 21 is lowered to the stopper portion 28a.
  • the regulation groove 28 and the accommodation groove 27 are directly connected to each other at the upper portion thereof, so that the operator can connect the guide 21 of the rod 18 to each of the regulation groove 28 and the accommodation groove 27. Can be easily moved to.
  • the extending direction of the rod 18 in the opened state and the extending direction of the restricting groove 28 form a narrow angle, so that the guide 21 of the rod 18 serves as the head plate 15. Further, it is possible to prevent the rod 18 from moving along the restriction groove 28 due to its own weight.

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Abstract

コストの上昇を抑制し、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉可能な蓋部材開閉機構を提供する。プローバ１０は、筐体状の本体１２の上部に設けられた開閉可能なヘッドプレート１５と、本体１２及びヘッドプレート１５の間に介在し、本体１２側の端部にガイド２１を有する棒状のロッド１８と、本体１２に設けられてガイド２１と係合するガイド溝２０とを備え、ガイド溝２０は、ヘッドプレート１５を開蓋状態に維持するためにロッド１８の位置を規制する規制溝２３と、ヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させるためにロッド１８を本体１２の内部へ収容させる収容溝２２とを有し、ガイド溝２０は上部において規制溝２３及び収容溝２２に分岐し、規制溝２３は、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向上に存在し、ガイド２１と当接するストッパ部２３ａを有する。

Description

蓋部材開閉機構及び基板検査装置
　本発明は、筐体状の本体を有する基板検査装置の蓋部材の状態を開状態及び閉状態のそれぞれに維持する蓋部材開閉機構及び基板検査装置に関する。
　基板としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）に形成された半導体デバイス、例えば、パワーデバイスやメモリの電気的特性を検査する装置としてプローバが知られている。
　プローバは、多数のプローブ針を有する円板状のプローブカードと、ウエハを載置して上下左右に自在に移動するステージと、該ステージを内蔵する筐体状の本体とを備え、該本体の内部においてプローブカードの各プローブ針を半導体デバイスが有する電極パッドや半田バンプに接触させ、各プローブ針から電極パッドや半田バンプへ検査電流を流すことによって半導体デバイスの電気的特性を検査する（例えば、特許文献１参照。）。
　ステージは載置するウエハに形成された半導体デバイスの電極パッドや半田バンプへ各プローブ針を正確に正対させるために精密に移動する必要があり、精密な移動を実現するためにステージには定期的なメンテナンスを施す必要がある。
　これに対応して、ステージをメンテナンスする際に作業者が容易にステージを取り扱いすることができるように、本体の上部には開閉可能なヘッドプレートが設けられ、ヘッドプレートが開蓋すると本体の内部のステージが暴露される。
　通常、ヘッドプレートの一端は本体の上部に設けられたヒンジ機構に接続され、ヘッドプレートはヒンジ機構を中心に回動することによって開蓋するが、開蓋状態を維持するために、図６に示すように、ヘッドプレート６０と本体６１の間にロッド状の支持部材６２を介在させる。
　本体６１の上部には、支持部材６２のロック機構７０が設けられ（図７Ａ）、ヘッドプレート６０を開蓋してヘッドプレート６０と本体６１の間にロッド状の支持部材６２を介在させる際、ロック機構７０から突出した突出部７１が支持部材６２に設けられた凹部６３に嵌合することにより、支持部材６２の移動が阻止されて該支持部材６２がヘッドプレート６０の開蓋状態を維持する（図７Ｂ）。
　また、ヘッドプレート６０を閉蓋する際、支持部材６２が本体６１の内部へ突出しないように、折り畳み可能な構造を有する支持部材６２ａが提案されている（図８Ａ）（例えば、特許文献２参照。）。
　この支持部材６２ａは屈曲点６２ｂを境に上部材６２ｃ及び下部材６２ｄに分かれ、屈曲点６２ｂにおいてロック機構６２ｅが設けられる。ロック機構６２ｅは、下部材６２ｄの上端に設けられたフック６２ｆと、上部材６２ｃの下端に設けられたスライド可能なシャフト６２ｇとからなり（図８Ｂ）、フック６２ｆをシャフト６２ｇに係合させた後にシャフト６２ｇをスライドさせてフック６２ｆへ押圧させることにより、フック６２ｆをシャフト６２ｇへ固定する。
特開平７−２９７２４２号公報 特開２０１１−１６３８２１号公報
　しかしながら、上述した支持部材６２，６２ａのいずれもロック機構７０，６２ｅを必要とするため、構造が複雑となり、コストの上昇を招く。また、ヘッドプレート６０を開閉する際、作業者は、支持部材６２，６２ａを保持するだけでなく、ロック機構７０，６２ｅを操作する必要があるため、ヘッドプレート６０の開閉に煩わしさが伴う。
　本発明の目的は、コストの上昇を抑制し、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉可能な蓋部材開閉機構及び基板検査装置を提供することにある。
　上記課題を解決するために、本発明によれば、筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有する蓋部材開閉機構が提供される。
　本発明によれば、ガイド溝は、蓋部材を開蓋状態に維持するために支持部材の位置を規制する規制溝と、蓋部材を閉蓋状態に移行させるために支持部材を本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、規制溝は、開蓋状態における支持部材の延伸方向上に存在し、突出部と当接する当接部を有する。当接部は突出部と当接し、当該突出部を介して支持部材の移動を阻止することができる。すなわち、支持部材の移動を阻止するために新たな機構を設ける必要が無いので、コストの上昇を抑制することができる。また、作業者は支持部材の突出部を規制溝へ移動させるだけで蓋部材を開蓋状態に維持することができ、さらに、作業者は支持部材の突出部を収容溝へ移動させるだけで蓋部材を閉蓋状態に移行させることができるので、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉することができる。
　［図１］本発明の第１の実施の形態に係る蓋部材開閉機構が適用される基板検査装置としてのプローバの構成を概略的に説明する斜視図である。
　［図２］図１におけるヘッドプレートの開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。
　［図３］図２におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
　［図４］本発明の第２の実施の形態に係る蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。
　［図５］図４におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
　［図６］従来の基板検査装置における蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す斜視図である。
　［図７Ａ乃至図７Ｂ］従来の蓋部材開閉機構におけるロック機構の作動を説明するための工程図である。
　［図８Ａ］従来の蓋部材開閉機構の変形例の構成を概略的に示す側面図である。
　［図８Ｂ］図８Ａの蓋部材開閉機構におけるロック機構の構成を示す拡大部分斜視図である。
　以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
　まず、本発明の第１の実施の形態に係る蓋部材開閉機構について説明する。
　図１は、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構が適用される基板検査装置としてのプローバの構成を概略的に説明する斜視図である。
　図１において、プローバ１０は、ウエハＷを載置するステージ１１を内蔵する本体１２と、該本体１２に隣接して配置されるローダ１３と、本体１２を覆うように配置されるテストヘッド１４とを備え、大口径、例えば、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍのウエハＷに形成された半導体デバイスの電気的特性の検査を行う。
　本体１２は内部が空洞の筐体形状を呈し、当該本体１２の上部には、テストヘッド１４を本体１２から除去した際に、開蓋することによってステージ１１を暴露するヘッドプレート１５が設けられる。ヘッドプレート１５は略矩形の平板状部材からなり、その略中心部には、ヘッドプレート１５の閉蓋時にステージ１１に載置されたウエハＷの上方で開口する開口部１５ａが設けられ、該開口部１５ａには、略円板状のプローブカードホルダを介して円板状のプローブカードが嵌合される（いずれも図示しない）。これにより、プローブカードはウエハＷと対向する。また、ウエハＷはステージ１１に対する相対位置がずれないように該ステージ１１へ吸着される。
　テストヘッド１４は方体形状を呈し、本体１２上に設けられたヒンジ機構１６によって上方向へ回動可能に構成される。テストヘッド１４が本体１２を覆う際、該テストヘッド１４はコンタクトリング（図示しない）を介してプローブカードと電気的に接続される。また、テストヘッド１４はプローブカードから伝送される半導体デバイスの電気的特性を示す電気信号を測定データとして記憶するデータ記憶部や該測定データに基づいて検査対象のウエハＷの半導体デバイスの電気的な欠陥の有無を判定する判定部（いずれも図示しない）を有する。
　ローダ１３は、搬送容器であるＦＯＵＰ（図示しない）に収容される、半導体デバイスが形成されたウエハＷを取り出して本体１２のステージ１１へ載置し、また、半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハＷをステージ１１から除去してＦＯＵＰへ収容する。
　プローブカードにおけるウエハＷと対向する面にはウエハＷに形成された半導体デバイスの電極パッドや半田バンプに対応して多数のプローブ針が配置される。ステージ１１はプローブカード及びウエハＷの相対位置を調整して半導体デバイスの電極パッド等を各プローブ針へ当接させる。
　図２は、図１におけるヘッドプレートの開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。図２では、蓋部材開閉機構を説明するために本体１２の一部が透過して示され、さらに閉蓋状態のヘッドプレート１５が実線で示され、開蓋状態のヘッドプレート１５が破線で示される。
　図２において、ヘッドプレート１５の一端は本体１２の上部に設けられたヒンジ機構１７に接続され、ヘッドプレート１５はヒンジ機構１７を中心に回動することによって開蓋する。
　また、ヘッドプレート１５の一端とは反対側の他端（以下、単に「他端」という。）の近傍において、当該ヘッドプレート１５の下面側には支持部材である棒状のロッド１８の一端が回動可能に接続される。ヘッドプレート１５の開蓋状態において、ロッド１８はヘッドプレート１５及び本体１２の間に介在し、ヘッドプレート１５の開蓋状態を維持するように本体１２に対してヘッドプレート１５を支持する。
　本体１２の内部には、閉蓋状態のヘッドプレート１５の他端に対向するように、ガイド板１９が本体１２の上下方向に沿って立設される。ガイド板１９にはガイド溝２０が設けられ、該ガイド溝２０には、ロッド１８の他端に設けられてロッド１８の側方に突出する突起状のガイド２１（突出部）が係合する。
　ガイド板１９において、ガイド溝２０は、本体１２の上下方向に沿って形成され、ほぼガイド板１９の下端近傍まで形成される収容溝２２と、収容溝２２と略平行に形成され、収容溝２２よりも短く、例えば、収容溝２２の約１／２程度に形成される規制溝２３とを有する。また、ガイド溝２０は、収容溝２２及び規制溝２３をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝２４を有する。
　規制溝２３は収容溝２２よりもヒンジ機構１７の近くに形成され、連絡溝２４は規制溝２３の上部から収容溝２２の上部へ向けて斜め下方に延伸する。すなわち、連絡溝２４はヒンジ機構１７から離れるに従って下降するように傾斜する。
　なお、本実施の形態ではロッド１８及びガイド溝２０が蓋部材開閉機構を構成する。
　図３は、図２におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
　図３において、規制溝２３の下端は半円状に形成され、該下端は開蓋状態におけるロッド１８のガイド２１の円柱状のシャフト部２１ａと当接する部位（以下、「ストッパ部」という。）２３ａを有する。ストッパ部２３ａはガイド２１及びロッド１８を介してヘッドプレート１５を支持する。ここで、規制溝２３は収容溝２２よりも短く、ストッパ部２３ａは本体１２に関して収容溝２２の下端よりも上方に位置するので、ストッパ部２３ａはヘッドプレート１５の開蓋状態を維持する（図中「状態Ａ」参照。）。
　ガイド溝２０では、収容溝２２、規制溝２３及び連絡溝２４のいずれの幅もガイド２１のシャフト２１ａの直径より大きく設定されるため、作業者は比較的に軽い力でガイド２１を収容溝２２、規制溝２３及び連絡溝２４に沿って移動させることができる。
　ヘッドプレート１５を開蓋状態から閉蓋状態へ移行させる際、作業者はロッド１８を保持しながら、ガイド２１を規制溝２３のストッパ部２３ａから離間させ、規制溝２３及び連絡溝２４の連結部まで引き上げる。
　次いで、作業者は、ガイド２１を連絡溝２４に沿って収容溝２２へ向けて移動させる。連絡溝２４は、上述したように、斜め下方に形成されてロッド１８の延伸方向とほぼ平行であるため、ヘッドプレート１５やロッド１８の自重に起因するロッド１８からの荷重が殆ど連絡溝２４の側壁等へ作用しない（図中「状態Ｂ」参照。）。これにより、作業者は連絡溝２４においてガイド２１を円滑に移動させることができる。
　次いで、作業者は、ガイド２１を収容溝２２へ引きこみ（図中「状態Ｃ」参照。）、さらに、ガイド２１を収容溝２２の下端まで下降させる。ここで、上述したように、収容溝２２はほぼガイド板１９の下端近傍まで形成されるため、ガイド２１が収容溝２２の下端まで下降すると、ロッド１８の全体が本体１２の内部に収容されてヘッドプレート１５を閉蓋状態へ移行させる（図中「状態Ｄ」参照。）。
　ヘッドプレート１５を閉蓋状態から開蓋状態へ移行させる際、作業者は、ガイド２１を収容溝２２の下端から連絡溝２４を経由して規制溝２３の上部まで引き上げ、その後、規制溝２３のストッパ部２３ａまで下降させる。
　本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、ガイド溝２０は、ヘッドプレート１５を開蓋状態に維持するためにロッド１８の位置を規制する規制溝２３と、ヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させるためにロッド１８を本体１２の内部へ収容させる収容溝２２とを有し、規制溝２３は、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向上に存在し、ガイド２１のシャフト部２１ａと当接するストッパ部２３ａを有する。ストッパ部２３ａはガイド２１のシャフト部２１ａと当接し、ガイド２１を介してロッド１８の移動を阻止することができる。すなわち、ロッド１８の移動を阻止するために新たな機構を設ける必要が無いので、コストの上昇を抑制することができる。また、作業者はロッド１８のガイド２１を収容溝２２から規制溝２３へ移動させるだけでヘッドプレート１５を開蓋状態に維持することができ、さらに、作業者はロッド１８のガイド２１を規制溝２３から収容溝２２へ移動させるだけでヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させることができるので、煩わしさを伴うことなくヘッドプレート１５を開閉することができる。
　次に、本発明の第２の実施の形態に係る蓋部材開閉機構について説明する。
　本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、ガイド板２５におけるガイド溝２６の形状のみが上述した第１の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
　図４は、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。図４でも、蓋部材開閉機構を説明するために本体１２の一部が透過して示され、さらに閉蓋状態のヘッドプレート１５が実線で示され、開蓋状態のヘッドプレート１５が破線で示される。
　図４において、ガイド板１９と同様に本体１２の内部に立設されるガイド板２５にはガイド溝２６が設けられ、該ガイド溝２６には、ロッド１８のガイド２１が係合する。ガイド板２５において、ガイド溝２６は、本体１２の上下方向に沿って形成され、ほぼガイド板２５の下端近傍まで形成される収容溝２７と、収容溝２７よりもヒンジ機構１７の近くに形成され、上部において直接収容溝２７へ連結する規制溝２８とを有する。規制溝２８は収容溝２７の上部へ向けて斜め上方に延伸する。すなわち、規制溝２８はヒンジ機構１７から離れるに従って上昇するように傾斜する。
　なお、本実施の形態ではロッド１８及びガイド溝２６が蓋部材開閉機構を構成する。
　図５は、図４におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
　図５において、規制溝２８の下端は角部が円形処理されたコの字形状を呈し、該下端は開蓋状態におけるロッド１８のガイド２１のシャフト部２１ａと当接するストッパ部２８ａを有する。ストッパ部２８ａも、ストッパ部２３ａと同様に、ガイド２１及びロッド１８を介してヘッドプレート１５を支持し、ヘッドプレート１５の開蓋状態を維持する（図中「状態Ａ」参照。）。
　規制溝２８の上方延伸角は、開蓋状態（図中「状態Ａ」参照。）において、ロッド１８の延伸方向と、規制溝２８の延伸方向とは狭角をなすように、例えば、互いの交差角が７０°以下になるように設定される。
　ガイド溝２６では、収容溝２７及び規制溝２８のいずれの幅もガイド２１のシャフト２１ａの直径より大きく設定されるため、作業者は比較的に軽い力でガイド２１を収容溝２７及び規制溝２８に沿って移動させることができる。特に、規制溝２８は、当該規制溝２８の内部においてストッパ部２８ａから引き上げられたガイド２１がロッド１８の一端を中心とする回動運動（図中一点鎖線でその軌跡が示される。）可能な幅、例えば、ガイド２１のシャフト部２１ａの直径の２倍以上の幅を有する。
　ヘッドプレート１５を開蓋状態から閉蓋状態へ移行させる際、作業者はロッド１８を保持しながら、ガイド２１を規制溝２８のストッパ部２８ａから引き上げ、ロッド１８の一端を中心とする回動運動によってガイド２１を収容溝２７の上部まで移動させる（図中「状態Ｂ」参照。）。上述したように、規制溝２８は、ガイド２１がロッド１８の一端を中心とする回動運動可能な幅を有するので、作業者はガイド２１をストッパ部２８ａから収容溝２７の上部まで円滑に移動させることができる。
　次いで、作業者は、ガイド２１を収容溝２７へ引きこみ（図中「状態Ｃ」参照。）、さらに、ガイド２１を収容溝２７の下端まで下降させることにより、ロッド１８を本体１２の内部に収容してヘッドプレート１５を閉蓋状態へ移行させる（図中「状態Ｄ」参照。）。
　ヘッドプレート１５を閉蓋状態から開蓋状態へ移行させる際、作業者は、ガイド２１を収容溝２７の下端から収容溝２７の上部まで引き上げ、ガイド２１を規制溝２８の内部において回動運動させ、その後、ガイド２１をストッパ部２８ａまで下降させる。
　本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、規制溝２８及び収容溝２７はそれぞれの上部において直接互いに連結するので、作業者はロッド１８のガイド２１を規制溝２８及び収容溝２７のそれぞれへ容易に移動させることができる。
　また、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向と、規制溝２８の延伸方向とは狭角をなすので、ロッド１８のガイド２１がヘッドプレート１５やロッド１８の自重に起因して規制溝２８に沿って移動するのを防止することができる。
　以上、本発明について、上記実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
　本出願は、２０１３年１１月２１日に出願された日本出願第２０１３−２４１０４７号に基づく優先権を主張するものであり、当該日本出願に記載された全内容を本出願に援用する。
Ｗ　ウエハ
１１　ステージ
１２　本体
１５　ヘッドプレート
１８　ロッド
２０，２６　ガイド溝
２１　ガイド
２２，２７　収容溝
２３，２８　規制溝
２３ａ　ストッパ部
２４　連絡溝

Claims (7)

  1. 　筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、
    　前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側の端部に突出部を有する棒状の支持部材と、
    　前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、
    　前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
    　前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
    　前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
    　前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有することを特徴とする蓋部材開閉機構。
  2. 　前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
    　前記ガイド溝は、前記規制溝及び前記収容溝をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝を有することを特徴とする請求項１記載の蓋部材開閉機構。
  3. 　前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
    　前記規制溝及び前記収容溝はそれぞれの上部において直接互いに連結することを特徴とする請求項１記載の蓋部材開閉機構。
  4. 　前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向と、前記規制溝の延伸方向とは狭角をなすことを特徴とする請求項３記載の蓋部材開閉機構。
  5. 　前記規制溝は、前記支持部材が前記蓋部材と連結する部分を中心に回動する際、前記突出部が円弧運動可能な幅を有することを特徴とする請求項３又は４記載の蓋部材開閉機構。
  6. 　前記突出部は円柱状部材からなり、前記規制溝の幅は、前記突出部の直径の２倍以上であることを特徴とする請求項５記載の蓋部材開閉機構。
  7. 　筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材を開閉させる蓋部材開閉機構とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置において、
    　前記蓋部材開閉機構は、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを有し、
    　前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
    　前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
    　前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
    　前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有することを特徴とする基板検査装置。
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