WO2015068413A1

WO2015068413A1 - 制御弁

Info

Publication number: WO2015068413A1
Application number: PCT/JP2014/060742
Authority: WO
Inventors: 悠齊藤
Original assignee: 株式会社コガネイ
Priority date: 2013-11-05
Filing date: 2014-04-15
Publication date: 2015-05-14
Also published as: TW201518629A; JP2015090156A; JP6076880B2

Abstract

　制御弁は、空気圧源１１から供給された圧縮空気を被供給部材１２に供給するために使用され、被供給部材１２に対する圧縮空気の供給をスロースタート制御する。弁ハウジング１３には、一次側ポート１４と二次側ポート１５と連通孔２１とが設けられている。ピストン２３には弁軸２４が設けられ、弁軸２４は、連通孔２１を閉鎖する嵌合部２５と連通孔２１の連通開度を変化させるテーパ部２６とを有している。一次側ポート１４に圧縮空気が供給されていないときには嵌合部２５が連通孔２１を閉じ、一次側ポート１４に圧縮空気が供給されると、テーパ部２６により連通孔２１の連通開度が大きくなる。

Description

制御弁

　本発明は、被供給部材に対して圧縮空気の供給を開始するときに、徐々に供給量を増加させるようにした制御弁に関する。

　空気圧源から吐出された空気を、流路を介して被供給部材に供給する状態と、供給を停止する状態とに切り換えるために、流路を開閉する切換弁が空気圧源と被供給部材との間に設けられる。被供給部材に対する空気の供給量を制御する場合には、速度制御弁が流路を形成する配管に設けられる。速度制御弁を配管に設けることにより、被供給部材に対して空気流量を徐々に増加させて空気を供給した後に、最大流量の空気を供給するようにすることができる。しかしながら、速度制御弁を配管に設けると、空気圧回路が複雑になる。

　特許文献１には、ピストンの両側の圧力室が設けられた両動型の空気圧シリンダを被供給部材として、ピストンロッドの駆動を制御するための制御弁が記載されている。この制御弁は、５ポート３位置の切換弁と空気圧シリンダとの間に配置されている。空気圧シリンダのピストンロッドを突出させるときには、徐々に突出速度を高めるように、空気圧シリンダをスロースタート制御する。

実開昭５３－３１３２９号公報

　特許文献１に記載される制御弁は、入口ポートと出口ポートとの連通開度を制限する第１切換位置と、連通開度を全開とする第２切換位置とに位置するスプール弁体を有している。圧縮空気が一方の圧力室に供給されて、ピストンロッドを突出させると、スプール弁体は第１切換位置に設定される。圧縮空気により徐々に第１の切換位置における圧力が大きくなり、ピストンは、小さく制限された開口によるメータイン的制御でスロースタートされて徐々に移動する。制御弁は、スプール弁体を第２切換位置に設定するためのパイロットピストンを有しており、切換弁により他方の圧力室に圧縮空気を供給すると、スプール弁体はパイロットピストンにより第２の切換位置に設定される。

　このように、空気圧シリンダの他方の圧力室に供給するときにパイロットピストンを駆動するようにした制御弁においては、５ポート３位置の切換弁により制御弁を切換制御しなければならず、両動型の空気圧シリンダを駆動する場合に適用することができるが、単動型の空気圧シリンダや圧縮空気を噴出させるためのノズル等の空気圧機器を被供給部材とする場合には、適用することができない。

　本発明の目的は、一次側ポートに対する空気の給排を切り換えることにより、被供給部材に対する圧縮空気の供給をスロースタート制御し得る制御弁を提供することにある。

　本発明の制御弁は、空気圧源から供給された圧縮空気を被供給部材に供給する制御弁であって、前記空気圧源に接続される一次側ポート、前記被供給部材に接続される二次側ポート、および前記一次側ポートと前記二次側ポートとを連通させる連通孔が設けられた弁ハウジングと、前記弁ハウジングに前記連通孔と同軸に設けられたシリンダ孔に、軸方向に摺動自在に組み込まれるピストンと、前記連通孔を閉鎖する嵌合部と、前記連通孔の連通開度を変化させるテーパ部とを備え、前記ピストンに設けられる弁軸と、前記一次側ポートに圧縮空気が供給されると、前記連通開度を大きくする方向への前記弁軸の移動を制御する弁軸移動制御機構と、を有する。

　一次側ポートと二次側ポートとを連通させる連通孔に同軸となって、シリンダ孔が弁ハウジングに設けられている。シリンダ孔に組み込まれるピストンに設けられた弁軸は、連通孔を閉鎖する嵌合部と、連通孔の開度を変化させるテーパ部とを有している。制御弁の一次側ポートに圧縮空気が供給されていない状態のもとでは、連通孔は嵌合部により閉じられている。一次側ポートに圧縮空気が供給されると、弁軸が駆動されてテーパ部が連通孔の位置に移動し、連通孔の開度が徐々に大きくなる。これにより、空気圧源からの圧縮空気を被供給部材に供給する供給開始時には、圧縮空気が被供給部材に徐々に供給されることになり、被供給部材はスロースタート制御される。一次側ポートに対する圧縮空気の給排を切り換えることにより、制御弁を複雑な構造とすることなく、被供給部材をスロースタート制御することができる。

一実施の形態である制御弁を示す断面図である。第２実施の形態である制御弁を示す断面図である。第３実施の形態である制御弁を示す断面図である。第４実施の形態である制御弁を示す断面図である。第５実施の形態である制御弁を示す断面図である。第６実施の形態である制御弁を示す断面図である。第７実施の形態である制御弁を示す断面図である。第８実施の形態である制御弁を示す断面図である。

　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。それぞれの実施の形態においては、共通の機能を有する部材には同一の符号が付されている。

　図１に示されるように、制御弁１０ａは、空気圧源１１から供給された圧縮空気を被供給部材１２に供給するために使用される。この被供給部材１２は、例えば、空気圧シリンダやエアーノズル等の空気圧機器である。被供給部材が空気圧シリンダの場合には、ピストンロッドを突出させるときに圧縮空気を圧力室に供給し、ピストンロッドをばねにより戻すようにした単動型の空気圧シリンダや、ばねを有さない複動型の空気圧シリンダである。

　制御弁１０ａは、ブロック状の金属製の部材からなる弁ハウジング１３を有している。弁ハウジング１３には、一次側ポート１４と二次側ポート１５とが設けられている。一次側ポート１４は、弁ハウジング１３の一方の側面に開口し、一次側流路１６により空気圧源１１に接続される。二次側ポート１５は、弁ハウジング１３の他方の側面に開口し、二次側流路１７により被供給部材１２に接続される。弁ハウジング１３には、図１において上下方向に延びる段付きの取付孔１８が形成されている。一次側ポート１４と二次側ポート１５はそれぞれ取付孔１８に連通している。一次側ポート１４は弁ハウジング１３の一端部側に形成され、二次側ポート１５は一次側ポート１４に対して上方にずれた位置に形成されている。

　取付孔１８の一部は内径の小さい連通孔２１となっており、この連通孔２１を介して一次側ポート１４と二次側ポート１５とが連通する。取付孔１８のうち図１において上側の他端部側は、連通孔２１より内径が大きいシリンダ孔２２となっており、シリンダ孔２２は連通孔２１と同軸となっている。シリンダ孔２２にはピストン２３が組み込まれ、このピストン２３には弁軸２４が設けられている。連通孔２１を閉鎖する嵌合部２５が弁軸２４の先端部に設けられ、嵌合部２５に連るテーパ部２６が弁軸２４の基端部側に設けられている。

　円筒形状のポートプラグ２７が取付孔１８の上端部に取り付けられている。ピストン２３は、ポートプラグ２７に突き当てられる後退限位置と、弁ハウジング１３に設けられた第１のストッパ面２８に突き当てられる前進限位置との間を軸方向に往復動する。シリンダ孔２２は、ピストン２３の前面側の連通室２２ａと、後面側の弁軸移動制御室２２ｂとにピストン２３により仕切られている。シール部材２９がピストン２３に装着されており、連通室２２ａと弁軸移動制御室２２ｂはシール部材２９によりシールされ、摺動抵抗がシール部材２９によりピストン２３に加えられている。また、シール部材３０がポートプラグ２７に装着されている。後退方向のばね力をピストン２３に付勢するために、ばね部材３１が弁軸２４の外側に装着されている。後退方向のばね力が、ばね部材３１により弁軸２４に付勢される。弁軸２４は、この後退方向のばね力によって、嵌合部２５が連通孔２１に嵌まり合って連通孔２１を閉鎖する位置に向かう。ばね部材３１は圧縮コイルばねであり、ばね部材３１の一端はピストン２３の前面に当接し、ばね部材３１の他端は、弁ハウジング１３に形成された第２のストッパ面３２に当接している。取付孔１８の下端部は閉塞プラグ３３により閉塞されている。

　電磁弁つまり切換弁３４が一次側流路１６に設けられており、この切換弁３４は空気圧源１１から供給された圧縮空気を一次側ポート１４に供給する位置と、供給を停止する位置との２位置に位置する。ポートプラグ２７に設けられたパイロットポート３５は、弁軸移動制御室２２ｂに連通している。パイロット流路３６がパイロットポート３５と一次側流路１６との間に設けられており、一次側ポート１４に供給される圧縮空気は、パイロット流路３６によりパイロットポート３５に供給される。パイロットポート３５に圧縮空気が供給されると、ばね力に対抗する前進方向の推力がピストン２３に加えられる。

　ピストン２３が一次側ポート１４に向かう方向をピストン２３の前進方向とし、逆方向を後退方向とする。連通孔２１を閉鎖する嵌合部２５が、弁軸２４の先端部に設けられている。嵌合部２５が連通孔２１を閉鎖すると、連通孔２１は全閉状態となる。弁軸２４の基端部側には嵌合部２５に連なるテーパ部２６が設けられており、テーパ部２６は嵌合部２５からピストン２３に向けてその外径が漸次減少する。ピストン２３が前進方向に駆動されて、テーパ部２６が連通孔２１の位置となると、連通孔２１の連通開度が弁軸２４の位置に応じて変化する。流量をあらかじめ設定できる絞り弁３７がパイロット流路３６に設けられており、パイロットポート３５を介して弁軸移動制御室２２ｂに供給される圧縮空気の流量は、一次側ポート１４に供給される圧縮空気よりも少なく設定される。バイパス流路３８がパイロット流路３６に接続されており、逆止弁３９がこのバイパス流路３８に設けられている。この逆止弁３９は空気圧源１１からパイロットポート３５に向かう空気の流れを阻止し、逆方向の流れを許容する。

　後退方向のばね力が、ばね部材３１によりピストン２３に付勢される。前進方向の推力が、パイロット流路３６から弁軸移動制御室２２ｂに供給される圧縮空気により、ピストン２３に加えられる。圧縮空気が一次側ポート１４に供給されていないときには、弁軸２４がばね力により後退方向に駆動されて、嵌合部２５が連通孔２１を閉じる。圧縮空気が一次側ポート１４に供給されると、テーパ部２６による連通孔２１の連通開度を大きくする方向に弁軸２４が駆動される。弁軸２４が圧縮空気により前進方向に駆動されて、テーパ部２６と連通孔２１の間の連通開度を大きくする。

　図１においては、切換弁３４が一次側流路１６を閉じる位置となっている。この状態のもとでは、ピストン２３はばね部材３１のばね力により後退限位置となっており、連通孔２１は弁軸２４の嵌合部２５により閉じられている。この状態のもとで、切換弁３４が切換られ、空気圧源１１が一次側ポート１４とパイロットポート３５とに連通すると、圧縮空気が絞り弁３７とパイロットポート３５を介して弁軸移動制御室２２ｂに徐々に供給される。これにより、ピストン２３および弁軸２４は、ばね力に抗して徐々に前進駆動する。このときには、摺動抵抗がシール部材２９によりピストン２３に僅かに加わることになる。弁軸２４が前進駆動されると、嵌合部２５が連通孔２１から離れて、テーパ部２６が連通孔２１の位置となる。テーパ部２６の基端部側が小径となっているので、弁軸２４が前進移動するに従って、連通孔２１の開度つまり一次側ポート１４と二次側ポート１５とを連通させる連通開度が徐々に大きくなる。したがって、切換弁３４を切換えて被供給部材１２を始動させるときには、被供給部材１２に供給される圧縮空気の流量が徐々に増加することになる。これにより、被供給部材１２は制御弁１０ａによりスロースタート制御される。

　図１において、弁軸２４が前進限位置となった状態が破線で示されており、弁軸２４が前進限位置となると、連通孔２１の連通開度は全開状態となる。これにより、一定流量の圧縮空気が被供給部材１２に供給される定量供給制御となって、被供給部材１２が駆動される。スロースタート制御から定量供給制御への移行タイミングは、絞り弁３７の絞り度により調整される。図１に示されるように、この制御弁１０ａは、切換弁３４により一次側ポート１４に対する空気の給排を切り換えるときに、被供給部材１２に対する圧縮空気の供給をスロースタート制御する。

　例えば、被供給部材１２が空気圧シリンダの場合には、スロースタート制御時には、徐々に圧縮空気の流量が増加しながらピストンが駆動され、定量供給制御に移行すると、一定速度でピストンが駆動される。ピストンがストローク端の位置まで駆動されると、ピストンは停止される。また、被供給部材１２がエアーノズルの場合には、スロースタート制御時には、徐々にエアーノズルからの吐出空気の流量が増加し、定量供給制御に移行すると、一定量の空気がエアーノズルから吐出される。

　図２に示す制御弁１０ｂにおいては、樹脂製のスリーブ４１がシリンダ孔２２内に設けられている。ピストン２３は、スリーブ４１内に組み込まれており、スリーブ４１により軸方向摺動自在に案内される。図１に示した制御弁１０ａにおいては、ピストン２３とシール部材２９が金属面と摺動接触する。これに対し、図２に示すように、スリーブ４１がフッ素樹脂等の樹脂により形成されると、ピストン２３とシール部材２９は樹脂面に摺動接触する。したがって、図１に示した制御弁１０ａに比して、ピストン２３とシール部材２９の摺動性が高められる。図１に示した制御弁１０ａが使用される空気圧回路においては、ピストン２３等の摺動性を高めるために、空気圧源１１から供給される圧縮空気に油分が混入されることがある。これに対し、図２に示すように、ピストン２３が樹脂製のスリーブ４１に摺動すると、圧縮空気に油分を混入させたり、弁ハウジング１３を樹脂製としたりすることなく、ピストン２３を円滑に作動させることができる。

　図３に示す制御弁１０ｃにおいては、嵌合部２５よりも大径のポペット型の閉鎖弁４２が弁軸２４の先端部に設けられている。この閉鎖弁４２は、弁軸２４が後退移動したときに、連通孔２１の一次側端面４３に突き当てられて連通孔２１を密閉する。一次側端面４３に対向する閉鎖弁４２の対向面には、シール部材４４が設けられている。このシール部材４４を一次側端面４３に取り付けるようにしても良い。

　嵌合部２５を連通孔２１に摺動させるために、嵌合部２５と連通孔２１との間には僅かな隙間を設ける必要がある。したがって、図１に示した制御弁１０ａ、および図２に示した制御弁１０ｂにおいては、嵌合部２５が連通孔２１を閉鎖した状態のもとでも、一次側ポート１４に供給された空気の一部が連通孔２１から二次側ポート１５に向けて僅かに流れることになる。それに対して、図３に示す制御弁１０ｃにおいては、弁軸２４が後退限位置となると、連通孔２１は密閉状態となって連通孔２１における空気の流れは発生しない。

　図４に示す制御弁１０ｄにおいては、可変の絞り弁３７が弁ハウジング１３に組み込まれている。弁ハウジング１３に形成された取付孔１８には、段付き円筒形状のニードル受け部材４５が装着されている。ピストン２３がニードル受け部材４５に突き当てられると、ピストン２３は後退限位置に位置する。パイロットポート３５が弁ハウジング１３に形成されている。パイロットポート３５に連通する貫通孔４６が、ニードル受け部材４５の円筒部に形成されている。貫通孔４６により、パイロットポート３５に供給された圧縮空気がピストン２３の後端面側の弁軸移動制御室２２ｂに案内される。絞り孔４７がニードル受け部材４５の先端部に形成されている。絞り孔４７は、軸方向に延びて貫通孔４６とピストン２３の上側の室とを連通させる。

　ニードル弁軸４８がニードル受け部材４５に軸方向に移動自在に配置されている。ニードル部４９がニードル弁軸４８の先端部に設けられている。ニードル部４９は先端に向けて外径が小さくなるように傾斜している。ニードル部４９の軸方向の位置を変化させると、絞り孔４７の開度が調整される。これにより、弁軸移動制御室２２ｂに供給されて、ピストン２３に対し前進方向に付勢される圧縮空気の流量が調整される。

　円筒形状のエンドキャップ５１が取付孔１８の端部に固定されている。ニードル弁軸４８に設けられた雄ねじ部５２は、エンドキャップ５１の雌ねじにねじ結合されている。ニードル弁軸４８を回転させると、ニードル部４９と絞り孔４７との間を流れる空気の流量が調整される。ロックナット５３が雄ねじ部５２の突出端部にねじ結合されている。ロックナット５３がエンドキャップ５１に締結されると、ニードル弁軸４８の回転が規制される。このように、弁ハウジング１３に絞り弁３７を組み込むと、上述した場合と相違して、絞り弁３７をパイロット流路３６に設けることが不要となる。ニードル受け部材４５と取付孔１８との間はシール部材３０ａ，３０ｂによりシールされ、ニードル弁軸４８とニードル受け部材４５との間はシール部材３０ｃによりシールされる。

　図５は図４に示した制御弁１０ｄの変形例である制御弁１０ｅを示す。図４に示した制御弁１０ｄにおいては、パイロット流路３６が弁ハウジング１３の外部に設けられているのに対し、図５に示した制御弁１０ｅにおいては、パイロット流路３６が弁ハウジング１３に設けられている。シリンダ孔２２に連通して弁ハウジング１３に設けられたパイロットポート３５は、パイロット流路３６により一次側ポート１４に連通している。

　図６は、図１に示した制御弁１０ａの変形例である制御弁１０ｆを示す。この制御弁１０ｆにおいては、上述したばね部材３１が設けられていない。図６に示した制御弁１０ｆは、以下のように動作する。一次側ポートに圧縮空気が供給された時に、弁軸２４が図中の下限に位置していた場合には、連通室２２ａに導入された圧縮空気によりピストン２３に対して上向きの力が作用する。したがって、ピストン２３と嵌合部２５は即座に図中の上限位置に移動する。これにより、圧縮空気が一次側ポート１４に供給された直後に、圧縮空気が二次側ポート１５にそのまま流出することはないので、スロースタートすることが確保される。

　図１～図６に示した制御弁１０ａ～１０ｆは、ピストン２３に推力を加える一次側の圧縮空気の流量を絞り弁３７により調整するようにしたタイプであり、メータイン制御となっている。それぞれの絞り弁３７は、弁軸の移動が制御される機構となっている。

　図７に示す制御弁１０ｇおいては、弁ハウジング１３に設けられた取付孔１８の一端部側が一次側ポート１４となっており、一次側ポート１４と連通孔２１とシリンダ孔２２は同軸となっている。二次側ポート１５は一次側ポート１４よりも弁ハウジング１３の他端部側に設けられており、一次側ポート１４と二次側ポート１５は連通孔２１を介して連通している。

　一次側ポート１４は一次側流路１６により空気圧源１１に接続され、切換弁３４が一次側流路１６に設けられている。二次側ポート１５は、二次側流路１７により被供給部材１２に接続される。図６に示されるように、一次側ポート１４は弁ハウジング１３の下端面に開口されているが、図１～図５に示したように、一次側ポート１４を弁ハウジング１３の側面に開口させるようにしても良い。なお、図１～図４に示した制御弁においても、一次側ポート１４を弁ハウジング１３の下端面に開口させるようにしても良い。

　ばね部材３１ａが、取付孔１８の端部に固定されたエンドキャップ５４とピストン２３との間の弁軸移動制御室２２ｂに装着されている。ばね部材３１ａは、前進方向のばね力をピストン２３に対して付勢する。このばね部材３１ａは、圧縮コイルばねであり、一端がエンドキャップ５４に当接し、他端がピストン２３に当接している。テーパ部２６ａがピストン２３に設けられた弁軸２４の先端部に設けられており、嵌合部２５ａが弁軸２４の基端部側に設けられている。ピストン２３および弁軸２４がばね力により前進限位置に位置すると、嵌合部２５ａが連通孔２１を閉鎖する。

　テーパ部２６ａは、嵌合部２５ａから弁軸２４の先端に向けて外径が漸次減少するように傾斜しており、一次側ポート１４に向けて突出している。したがって、圧縮空気が一次側ポート１４に供給されて、一次側の圧力が弁軸２４に加わると、弁軸２４はピストン２３とともに後退方向に駆動される。これにより、弁軸２４が後退方向に移動する長さに応じて、テーパ部２６ａと連通孔２１の間の連通開度が変化する。

　ピストン２３が後退移動するときに、弁軸移動制御室２２ｂから外部に排出される空気を絞るために、絞り孔５５がエンドキャップ５４に設けられている。この絞り孔５５は、ピストン２３が前進移動するときには、外部の空気を弁軸移動制御室２２ｂ内に案内する。このように、絞り弁３７は絞り孔５５を有するエンドキャップ５４により構成される。絞り弁３７の構造としては、エンドキャップ５４に大径の孔を設け、その大径の孔に連通する流路に、上述した絞り弁３７と逆止弁３９とを設けるようにしても良い。その場合には、絞り弁３７は、空気が弁軸移動制御室２２ｂから外部に流れるときの流量を絞り、逆止弁３９は、空気が弁軸移動制御室２２ｂから外部に流れるときには空気の流れを阻止し、逆方向への空気の流れを許容する。

　シール部材５７が弁軸２４に設けられている。シール部材５７は、弁軸２４が前進限位置となったときに、連通孔２１の二次側端面５６に突き当てられる。シール部材５７が二次側端面５６に突き当てられると、連通孔２１は密閉される。シール部材５７を二次側端面５６に取り付けるようにし、シール部材５７に突き当てられる段部を弁軸２４に設けるようにしても良い。

　図８に示す制御弁１０ｈにおいては、図２に示した制御弁１０ｂと同様に、樹脂製のスリーブ４１がシリンダ孔２２内に設けられている。ピストン２３は、スリーブ４１内に組み込まれており、スリーブ４１により軸方向摺動自在に案内される。ピストン２３を樹脂製のスリーブ４１に摺動させるようにすると、上述したように、圧縮空気に油分を混入させたり、弁ハウジング１３を樹脂製としたりすることなく、ピストン２３を円滑に作動させることができる。

　図７および図８に示すように、エンドキャップ５４には、内径が小さい絞り孔５５が設けられている。ピストン２３の後退移動時には、弁軸移動制御室２２ｂから絞り孔５５を介して外部に排出される空気が、絞り孔５５によって絞られている。つまり、制御弁１０ｇ，１０ｈはメータアウト制御となっている。エンドキャップ５４に絞り孔５５を設けない場合には、エンドキャップ５４に設けられた連通孔に給排管を接続して、その給排管に絞り弁が設けられる。

　上述したように、本発明の制御弁は、一次側ポートに対して圧縮空気の供給を開始させると、供給開始初期には、被供給部材１２に供給される圧縮空気の流量が徐々に増加することになる。一次側ポートに対して圧縮空気を供給する状態と供給を停止する状態とに切り換える切換弁を、制御弁と空気圧源との間に設けることにより、簡単な構造の制御弁により被供給部材１２をスロースタート制御することができる。

　本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

　本発明の制御弁は、空気圧源から吐出された空気を、被供給部材に供給するための空気圧回路に利用される。

Claims

　空気圧源から供給された圧縮空気を被供給部材に供給する制御弁であって、
　前記空気圧源に接続される一次側ポート、前記被供給部材に接続される二次側ポート、および前記一次側ポートと前記二次側ポートとを連通させる連通孔が設けられた弁ハウジングと、
　前記弁ハウジングに前記連通孔と同軸に設けられたシリンダ孔に、軸方向に摺動自在に組み込まれるピストンと、
　前記連通孔を閉鎖する嵌合部と、前記連通孔の連通開度を変化させるテーパ部とを備え、前記ピストンに設けられる弁軸と、
　前記一次側ポートに圧縮空気が供給されると、前記連通開度を大きくする方向への前記弁軸の移動を制御する弁軸移動制御機構と、
　を有する、制御弁。
　請求項１記載の制御弁において、前記弁軸移動制御機構は、前記嵌合部が前記連通孔を閉鎖する位置から前記テーパ部が前記連通孔の連通開度を変化させる位置に移動する際に、前記ピストンの移動速度を制御する絞り弁である、制御弁。
　請求項２記載の制御弁において、前記嵌合部は、前記弁軸の先端部に設けられ、前記テーパ部は前記嵌合部に連なって前記ピストンに向けて外径が漸次減少するように傾斜して前記弁軸の基端部側に設けられ、前記一次側ポートに連通して前記ピストンに前進方向の推力を加えるパイロット流路に前記絞り弁を設けた、制御弁。
　請求項２または３記載の制御弁において、前記弁ハウジングに設けられたパイロットポートに前記パイロット流路を接続し、前記絞り弁は、前記空気圧源から前記パイロットポートに向かう空気の流れを絞る、制御弁。
　請求項２または３記載の制御弁において、前記弁ハウジングに設けられたパイロットポートに前記パイロット流路を接続し、前記パイロットポートと前記ピストンとの間に前記絞り弁を設けた、制御弁。
　請求項２～４のいずれか１項に記載の制御弁において、前記弁軸が後退移動したときに前記連通孔の一次側端面に突き当てられる閉鎖弁を前記弁軸の先端に設けた、制御弁。
　請求項１～５のいずれか１項に記載の制御弁において、前記ピストンを軸方向摺動自在に案内する樹脂製のスリーブを前記シリンダ孔内に設けた、制御弁。
　請求項１または２記載の制御弁において、前記テーパ部は前記弁軸の先端部に、当該先端部に向けて外径が漸次減少するように傾斜して設けられ、前記嵌合部は前記テーパ部に連なって前記弁軸の基端部側に設けられた、制御弁。