TWI747474B - 流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置 - Google Patents

流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置 Download PDF

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Abstract

流量控制器(22、22A)及驅動裝置(20)係於殼體(30)內具備：第一流路(42)；第二流路(44)，係與第一流路(42)並設；第一節流閥(36)，係設於第一流路(42)；第二節流閥(38)，係設於第二流路(44)；先導逆止閥(48)，係設於第二流路(44)且與第二節流閥(38)串聯連接；先導空氣流路(46)，係連通於先導逆止閥(48)的先導埠口(48c)而進行先導空氣的供給及排出；及第三節流閥(40)，係設於先導空氣流路(46)；先導逆止閥(48)係依據先導空氣的壓力而切換容許從氣壓缸(10)排出之排出空氣通過的狀態，以及阻止排出空氣通過的狀態。

Description

流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置
本發明係關於一種氣壓缸之流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置。
至今為止，一種衝擊緩衝機構係使用於世，該衝擊緩衝機構係在氣壓缸的端部安裝由橡膠、胺甲酸酯(urethane)等軟質樹脂所作成的緩衝材或油阻尼器等，以緩和行程終端的衝擊。然而，機械性地減緩氣壓缸之衝擊的衝擊緩衝機構係有動作次數上的限制，需要定期地維修。
為了解決此缺失，日本特許第5578502號公報揭示一種速度控制器(流量控制器)，該速度控制器係在行程終端附近縮減來自氣壓缸的排出空氣，以降低氣壓缸的動作速度。
然而，習知的流量控制器其零件數量多。此外，若要於縮減排出空氣的切換構件使用三向閥時，需要用到必須進行研磨之滑閥等耗費生產工時的零件，而有無法廉價地製造的問題。
本發明之目的在於提供一種流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置，可將裝置構成簡化且製造容易。
本發明之一型態為一種流量控制器，其係連接於氣壓缸的埠口(port，又稱通口)與對於前述氣壓缸切換高壓空氣供給源或排氣口而連接的動作切換閥之間，該流量控制器係具備：殼體，係具有連接於前述氣壓缸之埠口的缸側埠口及連接於動作切換閥的閥側埠口；第一流路，係設於前述殼體內，且連結前述缸側埠口與前述閥側埠口；第一節流閥，係設於前述第一流路；第二流路，係設於前述殼體內，且與前述第一流路並設；第二節流閥，係設於前述第二流路；先導(pilot，又稱引導)逆止閥，係設於前述第二流路且與前述第二節流閥串聯連接；先導空氣流路，係設於前述殼體內，且連接前述閥側埠口與前述先導逆止閥的先導埠口，對於前述先導逆止閥進行先導空氣的供給及排出；及第三節流閥，係設於前述先導空氣流路；前述先導逆止閥係依據前述先導空氣的壓力而切換容許從前述氣壓缸排出之排出空氣通過的狀態，以及阻止前述排出空氣通過的狀態。
本發明之另一型態為一種氣壓缸的驅動裝置，其係具備：高壓空氣供給源，係將高壓空氣供給至前述氣壓缸；排氣口，係排出前述氣壓缸的排出空氣；動作切換閥，係對於前述氣壓缸的埠口切換前述高壓空氣供給源與前述排氣口而連接；殼體，係具備流量控制器，該流量控制器係連接於前述動作切換閥與前述氣壓缸之前述埠口之間，且前述流量控制器係具有：缸側埠口，係連接於前述氣壓缸之前述埠口；及閥側埠口，係連接於前述動作切換閥；第一流路，係設於前述殼體內，且連結前述缸側埠口與前述閥側埠口；第一節流閥，係設於前 述第一流路；第二流路，係設於前述殼體內，且與前述第一流路並設；第二節流閥，係設於前述第二流路；先導逆止閥，係設於前述第二流路且與前述第二節流閥串聯連接；先導空氣流路，係設於前述殼體內，且連接前述閥側埠口與前述先導逆止閥的先導埠口，對於前述先導逆止閥進行先導空氣的供給及排出；及第三節流閥，係設於前述先導空氣流路；前述先導逆止閥係依據前述先導空氣的壓力而切換容許前述排出空氣通過的狀態，以及阻止前述排出空氣通過的狀態。
依據上述型態之流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置，可使裝置構成簡化且製造變得容易。
參照所附圖式而進行之以下較佳實施型態例的說明，應將可更明瞭上述目的、特徵及優點。
10:氣壓缸
12:缸筒
12a:頭側壓力室
12b:桿側壓力室
12c:缸室
14:活塞
16:活塞桿
18:頭側埠口
18A:桿側埠口
20:驅動裝置
22,22A:流量控制器
24:高壓空氣供給源
26:排氣口
28:動作切換閥
28a:第一埠口
28b:第二埠口
28c:第三埠口
28d:第四埠口
28e:第五埠口
30:殼體
30a:正面
30b:上面
30c:第一側面
30d:第二側面
30e:背面
32:缸側埠口
32a:埠口形成孔
32b:連接構件
34:閥側埠口
34a:埠口形成孔
34b:連接構件
36:第一節流閥
36a:閥孔
36b,48a:入口
36c,48b:出口
38:第二節流閥
38a,40a:節流閥
38b,40b:逆止閥
39,41:閥孔
40:第三節流閥
42:第一流路
42a:第一孔部
42b:第二孔部
44:第二流路
46:先導空氣流路
48:先導逆止閥
48c:先導埠口
50,76:流路構件
52a:開口部
52b,76a:內側流路
54a,76b:外側流路
56,80:逆止密封構件
58:棒狀構件
58a:螺合機構
59:把手部
60:貫通孔
60a:活塞室
60b:中間部
60c:逆止閥收容部
60d:縮徑部
62:封蓋
62a:受容部
64:封蓋
65:脫氣孔
66:先導活塞
66a:活塞部
66b:引導部
66c:桿部
68:復位彈簧
70:閥體
70a:封閉部
70b:軸部
72:復位彈簧
74,78:閥針
74a:螺合機構
A,B,B1,B2:箭頭
圖1係顯示第一實施型態之氣壓缸之流量控制器及驅動裝置的流體線路圖。
圖2係顯示圖1之流量控制器之外觀的立體圖。
圖3係顯示圖2之流量控制器之節流閥及流路之佈局的俯視透視圖。
圖4係沿著圖6之IV-IV線的剖面圖。
圖5係顯示圖4之先導逆止閥切換為可供空氣雙向通過時之狀態的剖面圖。
圖6係沿著圖3之VI-VI線的剖面圖。
圖7係沿著圖3之VII-VII線的剖面圖。
圖8係圖1之桿側的流量控制器切換為第二控制流程時之空氣之氣流的流體線路圖。
以下列舉本發明之較佳實施型態且參照所附圖式詳細地說明。
如圖1所示，氣壓缸10係使用於自動設備生產線上等的複動型缸。氣壓缸10係具備圓筒狀的缸筒12。缸筒12的內部係設有分隔缸室12c的活塞14及連結於活塞14的活塞桿16。頭側壓力室12a係設有頭側埠口18，而桿側壓力室12b係設有桿側埠口18A。
頭側埠口18及桿側埠口18A係連接有驅動裝置20。驅動裝置20係具備：連接於頭側埠口18之頭側的流量控制器22；連接於桿側埠口18A之桿側的流量控制器22A；高壓空氣供給源24；排氣口26；及動作切換閥28。
如圖2所示，頭側的流量控制器22係具有扁平箱形的殼體30。殼體30的正面30a係設有：缸側埠口32，係連接於氣壓缸10的頭側埠口18；閥側埠口34，係連接於動作切換閥28；及第二節流閥38，係設定氣壓缸10的行程速度。此外，殼體30的上面30b係設有：第一節流閥36，係調整活塞14之動作速度之限制的程度；及第三節流閥40，係設定要開始限制活塞14之動作速度的時機。缸側埠口32係設有連接構件32b，而閥側埠口34則設有連接構件34b。
圖3中，如虛線所示，殼體30係於內部具備有第一流路42、先導空氣流路46、及先導逆止閥48。以下參照圖4至圖7的剖面圖來說明殼體30的內部構造。
如圖4所示，閥側埠口34係設於殼體30之第一側面30c附近所設的埠口形成孔34a。埠口形成孔34a係在殼體30的正面30a開口且朝向背面30e而形 成。埠口形成孔34a的正面30a係裝設有用以連接配管的連接構件34b。埠口形成孔34a之背面30e側的端部係開設有第一流路42、及先導空氣流路46。
如圖1所示，第一流路42及第二流路44係連結閥側埠口34與缸側埠口32的流路，且並列地配置。如圖4所示，第一流路42係包含：第一孔部42a，係從埠口形成孔34a朝向第二側面30d呈直線狀地延伸；及第二孔部42b，係從第一孔部42a彎曲地朝向缸側埠口32延伸。此外，第一孔部42a之第二側面30d側的端部係作為第二流路44的一部分而連通於第二節流閥38。
第二節流閥38係設於閥側埠口34與缸側埠口32之間所形成的閥孔39。閥孔39係在殼體30的正面側開口，且朝向背面30e延伸。閥孔39的側部係有第一孔部42a的開口，且閥孔39之背面30e側的端部係連通於後述先導逆止閥48的入口48a。
第二節流閥38係由節流閥38a與逆止閥38b一體地形成之附設逆止閥的節流閥，如圖1所示，節流閥38a與逆止閥38b係並列地配置。如圖4所示，第二節流閥38係具備：管狀的流路構件50；棒狀構件58，係配置於流路構件50的內周部；把手部59，係接合於棒狀構件58的端部；及逆止密封構件56，係裝設於流路構件50的外周部。流路構件50係嵌合於閥孔39的入口側且位在閥孔39的深入側的部分比入口側更為縮徑，將閥孔39分隔成流路構件50之內周側的內側流路52b、及流路構件50之外側的外側流路54a。內側流路52b係端部朝向閥孔39的深入側開口，且在側部具備與第一孔部42a連通的開口部52a。外側流路54a係形成為流路構件50之外周與閥孔39之間的間隙。來自第一孔部42a的空氣可流動於開口部52a及外側流路54a的二個流路。
第二節流閥38的棒狀構件58係配置成可藉由螺合機構58a進退於內側流路52b的內部。棒狀構件58係可與把手部59一同轉動，藉由使把手部59轉動，可變地調整內側流路52b之流路的剖面面積，而構成節流閥38a。
此外，外側流路54a係設有逆止密封構件56。逆止密封構件56係裝設於流路構件50之外周的環狀密封構件，且於深入側形成凹部而形成為剖面大致呈V字形。對於從第一孔部42a朝向閥孔39之深入側之空氣的氣流，逆止密封構件56係使外周部縮徑而彈性變形，使空氣自由流通。此外，對於從閥孔39之深入側朝向第一孔部42a流動的空氣，藉由逆止密封構件56的外周部緊貼於閥孔39的內周面，阻止空氣經由外側流路54a通過。因此，從閥孔39之深入側朝向第一孔部42a流動的空氣係僅可通過內側流路52b，且以棒狀構件58所限制的流量來流動。
閥孔39之背面30e側係設有先導逆止閥48。先導逆止閥48係設於從第一側面30c貫通第二側面30d的貫通孔60。貫通孔60之第一側面30c側係由封蓋64封閉，第二側面30d側係由封蓋62封閉。封蓋62及封蓋64的內側係形成有活塞室60a、中間部60b、及逆止閥收容部60c。活塞室60a係剖面為圓形的空室，且先導空氣流路46係在封蓋64的附近開口作為先導埠口48c。此外，活塞室60a之中間部60b側的端部附近係開設有開放於大氣的脫氣孔65。此外，中間部60b係形成於活塞室60a的第二側面30d側，且形成為內徑比活塞室60a更小。
活塞室60a及中間部60b係配置有對應於先導空氣的壓力而沿貫通孔60之軸向位移的先導活塞66。先導活塞66係具有：活塞部66a，係滑接於活塞室60a內；引導部66b，係從活塞部66a朝向中間部60b延伸出；及桿部66c，係突出於引導部66b的前端側(第二側面30d側)。活塞部66a係將活塞室60a分隔成連 通於先導空氣流路46的區域、及連通於脫氣孔65的區域。在活塞部66a之中間部60b側的活塞室60a配置有復位彈簧68，當先導空氣未作用時，先導活塞66係藉由復位彈簧68的彈力而彈推至封蓋64側。
引導部66b係形成為可插通中間部60b的內徑，且構成為隨著中間部60b的引導而接觸滑動。桿部66c係從引導部66b的前端突出。桿部66c係形成為外徑比中間部60b之內徑更小，且與中間部60b之內周面之間形成可供空氣通過的流路。中間部60b之第二側面30d側的端部係形成有將中間部60b之內徑縮徑而成的縮徑部60d。上述桿部66c係形成為直徑比縮徑部60d之內徑更小，且桿部66c係形成為可突出於逆止閥收容部60c側。此外，桿部66c係配置成其前端部與逆止閥收容部60c之後述閥體70抵接。
中間部60b的第二側面30d側係形成有逆止閥收容部60c。逆止閥收容部60c係形成為內徑比中間部60b更大之剖面圓形的空室，且在其內部配置有構成逆止閥的閥體70。閥體70係具有：圓板狀的封閉部70a，係形成為可將中間部60b之縮徑部60d封閉的直徑；及軸部70b，係從封閉部70a朝封蓋62側突出。封閉部70a係覆有緊貼性優異的彈性構件。軸部70b係插入於從封蓋62突出地設置的管狀受容部62a，閥體70係以封蓋62支撐為可沿貫通孔60之軸向位移。此外，在閥體70與封蓋62之間設有復位彈簧72，閥體70係藉由此復位彈簧72的彈力而朝向縮徑部60d被彈推。第二流路44係在逆止閥收容部60c的側部開口作為出口48b。第二流路44係朝向正面30a延伸，且連通於缸側埠口32的埠口形成孔32a。
閥體70係在空氣要從出口48b朝向入口48a逆流時，因空氣的壓力施力將縮徑部60d封閉而阻止空氣的逆流。然而，如圖5所示，當先導活塞66的桿 部66c因先導空氣的壓力而突出於逆止閥收容部60c的情形下，閥體70係保持於離開縮徑部60d的狀態，而容許從出口48b逆流至入口48a之空氣的通過。
另一方面，如圖6所示，第一流路42的第二孔部42b係繞過第二節流閥38之閥孔39而朝向第二側面30d側延伸，且經由第一節流閥36而合流於第一流路42之缸側埠口32附近的部分。第一節流閥36係設於從上面30b側所形成的閥孔36a。第二孔部42b係在閥孔36a的下端部開口作為第一節流閥36的入口36b，並且第二孔部42b係在閥孔36a的側部開口作為出口36c。第一節流閥36係具備藉由螺合機構74a而固定於閥孔36a的閥針74，使閥針74轉動而使閥針74朝入口36b側前進時，第二孔部42b之流路的剖面面積縮小。如此，第一節流閥36係能夠可變地調整第一流路42的流量。
如圖7所示，第三節流閥40係設於閥孔41，該閥孔41係設於先導空氣流路46的中途。閥孔41係從上面30b側形成，在閥孔41的底部及側部開設有先導空氣流路46。第三節流閥40係由節流閥40a與逆止閥40b一體地形成之附設逆止閥的節流閥，且具備流路構件76、閥針78、及逆止密封構件80。
流路構件76係密封閥孔41的上端且將閥孔41的底部側分隔成內側流路76a與外側流路76b之管狀的構件。閥針78係插入於流路構件76的內側而可變地調整內側流路76a的剖面面積。逆止密封構件80(逆止閥40b)係由裝設於流路構件76之外周部的圓環狀彈性構件所構成。逆止密封構件80之於上面30b側具有凹部而形成為剖面大致呈V字形，使朝向先導埠口48c的先導空氣自由流動地通過，而阻止其反向之空氣的通過。因此，第三節流閥40中，藉由節流閥40a調節要從先導埠口48c排出的先導空氣。
構成頭側的流量控制器22之構件的連接關係形成為如圖1所示。
另一方面，圖1中，連接於桿側埠口18A之桿側的流量控制器22A，係與頭側的流量控制器22實質上相同地構成。對於流量控制器22A中與頭側的流量控制器22之構成要素相同的構成要素，係附上相同符號而省略詳細的說明。
接著說明連接於頭側的流量控制器22及桿側的流量控制器22A之動作切換閥28側的構成。動作切換閥28係電性切換高壓空氣之連接對象的五埠口閥，其具有第一埠口28a至第五埠口28e。第一埠口28a係連接於頭側的流量控制器22的閥側埠口34，第二埠口28b係連接於桿側的流量控制器22A的閥側埠口34。第三埠口28c及第五埠口28e係連接於排氣口26，而第四埠口28d係連接於高壓空氣供給源24。
圖1所示之第一位置中，動作切換閥28係使第一埠口28a與第四埠口28d連通，且使第二埠口28b與第五埠口28e連通。如此，動作切換閥28係將高壓空氣供給源24的高壓空氣供給至頭側的流量控制器22，且使桿側壓力室12b的排出空氣從排氣口26排出。
此外，第二位置中，動作切換閥28係使第一埠口28a與第三埠口28c連通，且使第二埠口28b與第四埠口28d連通。如此，動作切換閥28係將高壓空氣供給源24之高壓空氣供給至桿側的流量控制器22A，且使頭側壓力室12a的排出空氣從排氣口26排出。
本實施型態之流量控制器22、22A及驅動裝置20係如上地構成，以下就其作用與動作一同進行說明。在此，參照圖1及圖8，以使活塞14朝向桿側埠口18A移動之作動行程為例進行說明。
如圖1所示，作動行程中，動作切換閥28係切換為第一位置，高壓空氣供給源24係連接於頭側的流量控制器22。高壓空氣係通過閥側埠口34流入 於流量控制器22，而流進第一流路42、第二流路44及先導空氣流路46。如箭頭A所示，高壓空氣主要通過第二流路44的逆止閥38b及先導逆止閥48而自由流動地供給至氣壓缸10的頭側埠口18。此外，流進先導空氣流路46的高壓空氣係作為先導空氣，順向流經逆止閥40b，而蓄積於先導逆止閥48的活塞室60a(參照圖5)。
另一方面，從桿側壓力室12b所排出的排出空氣係從缸側埠口32流入至桿側的流量控制器22A。流量控制器22A之先導逆止閥48的活塞室60a係殘留有前一次之行程時所蓄積的先導空氣，使得先導活塞66如圖5所示，突出於逆止閥收容部60c側。因此，如圖1所示，先導逆止閥48係容許從出口48b朝向入口48a之排出空氣的通過。
因此，排出空氣係如箭頭B1所示通過第一流路42而流動，並且如箭頭B2所示流動於第二流路44。排出空氣係經第一流路42的第一節流閥36及第二節流閥38節流，如箭頭B1+B2所示，通過動作切換閥28而從排氣口26排出。氣壓缸10之活塞14的動作速度係取決於桿側的流量控制器22A之排出空氣的流量。
此外，活塞14進行作動行程之期間，桿側之先導逆止閥48的先導空氣係通過先導空氣流路46及第三節流閥40漸漸排出。伴隨於此，先導逆止閥48之先導空氣的壓力慢慢地降低。
當桿側之先導逆止閥48的壓力低於預定值時，如圖4所示，先導活塞66藉由復位彈簧68的彈力而向封蓋64側位移，使得桿部66c向中間部60b側縮入。結果，逆止閥收容部60c的閥體70將縮徑部60d封閉，使先導逆止閥48切換為阻止排出空氣通過的狀態。
再者，如圖8所示，排出空氣係如箭頭B1所示僅通過第一流路42。由於排出空氣的流量受到第一節流閥36的節流，故活塞14的動作速度降低。藉此，可緩和活塞14到達行程終端時之氣壓缸10的衝擊。
綜上所述，氣壓缸10之驅動裝置20所進行的行程動作完成。之後，動作切換閥28切換為第二位置以進行復位行程。復位行程中，排出空氣流經頭側的流量控制器22，高壓空氣流經桿側的流量控制器22A。復位行程中之驅動裝置20的動作僅係上述作動行程的動作中之頭側的流量控制器22與桿側的流量控制器22A的對調，基本上均相同，故其說明從略。
本實施型態之流量控制器22、22A及驅動裝置20係達成如下的功效。
一種流量控制器22、22A，其係連接於氣壓缸10的埠口與對於氣壓缸10切換高壓空氣供給源24或排氣口26而連接的動作切換閥28之間，該流量控制器22、22A係具備：殼體30，係具有連接於氣壓缸10之埠口的缸側埠口32、及連接於動作切換閥28的閥側埠口34；第一流路42，係設於殼體30內，且連結缸側埠口32與閥側埠口34；第一節流閥36，係設於第一流路42；第二流路44，係設於殼體30內，且與第一流路42並設；第二節流閥38，係設於第二流路44；先導逆止閥48，係設於第二流路44且與第二節流閥38串聯連接；先導空氣流路46，係設於殼體30內，且連接閥側埠口34與先導逆止閥48的先導埠口48c，對於先導逆止閥48進行先導空氣的供給及排出；及第三節流閥40，係設於先導空氣流路46；先導逆止閥48係依據先導空氣的壓力而切換容許從氣壓缸10排出之排出空氣通過的狀態，以及阻止排出空氣通過的狀態。
依據上述構成，於切換排出空氣的控制流程使用構造簡單的先導逆止閥48，故不需要使用梭動閥、三向閥等切換閥，可簡化內部構造。此外，由於不需用到構成梭動閥、三向閥之套筒、滑閥等有精確度需求的構件，故無需耗費生產工時的研磨及表面處理，而可廉價地製造。
上述流量控制器22、22A中亦可更設有逆止閥38b，該逆止閥38b係設於第二節流閥38，使從閥側埠口34朝向缸側埠口32流動的空氣通過。藉由設置此逆止閥38b，可通過逆止閥38b將高壓空氣自由流動地供給至氣壓缸10，而可對應氣壓缸10的高速動作。
上述流量控制器22、22A中，第三節流閥40亦可具備節流閥40a及逆止閥40b，該逆止閥40b係與節流閥40a並列配置，使朝向先導埠口48c流動的空氣通過。藉由如此地構成，能夠以簡單的裝置構成來調整先導逆止閥48切換的時機。
上述流量控制器22、22A中，先導逆止閥48係具備：貫通孔60，其係具有：活塞室60a，係連通於先導埠口48c；逆止閥收容部60c，係連通於缸側埠口32；及中間部60b，係連接活塞室60a與逆止閥收容部60c，且與第二節流閥38連通；先導活塞66，係配置於活塞室60a及中間部60b，依據先導空氣的壓力，朝向逆止閥收容部60c突出，或從逆止閥收容部60c朝中間部60b側退避；及閥體70，係設於逆止閥收容部60c，配置成可封閉中間部60b與逆止閥收容部60c之連接部分；閥體70係在先導活塞66朝中間部60b側退避的狀態下，使從閥側埠口34朝向缸側埠口32的高壓空氣通過，而阻止反向之排出空氣的通過，並且在先導活塞66突出於逆止閥收容部60c側的狀態下，使高壓空氣及排出空氣通過。
依據上述構成，由於不需要滑閥等之研磨、表面處理之類之製造工時較多的零件即可實現進行流路切換的流量控制器22、22A，故可抑制流量控制器22、22A的製造成本。
上述流量控制器22、22A中，先導逆止閥48亦可構成為在先導空氣的壓力成為預定值以上時，使先導活塞66突出於逆止閥收容部60c側，而使高壓空氣及排出空氣通過。藉由如此地構成，可通過第二流路44將高壓空氣自由流動地供給至氣壓缸10，而可使氣壓缸10高速地動作。
此外，本實施型態之驅動裝置20係氣壓缸10的驅動裝置20，其係具備：高壓空氣供給源24，係將高壓空氣供給至氣壓缸10；排氣口26，係排出氣壓缸10的排出空氣；動作切換閥28，係對於氣壓缸10的埠口切換高壓空氣供給源24與排氣口26而連接；及殼體30，係具備流量控制器22、22A，該流量控制器22、22A係連接於動作切換閥28與氣壓缸10之埠口之間，且該流量控制器22、22A係具有：缸側埠口32，係連接於氣壓缸10之埠口；及閥側埠口34，係連接於動作切換閥28；第一流路42，係設於殼體30內，且連結缸側埠口32與閥側埠口34；第一節流閥36，係設於第一流路42；第二流路44，係設於殼體30內，且與第一流路42並設；第二節流閥38，係設於第二流路44；先導逆止閥48，係設於第二流路44且與第二節流閥38串聯連接；先導空氣流路46，係設於殼體30內，且連接閥側埠口34與先導逆止閥48的先導埠口48C，對於先導逆止閥48進行先導空氣的供給及排出；及第三節流閥40，係設於先導空氣流路46；先導逆止閥48係依據先導空氣的壓力而切換容許排出空氣通過的狀態，以及阻止排出空氣通過的狀態。
以上已列舉較佳實施型態說明了本發明，但本發明不限於前述實施型態，在不脫離本發明之旨趣的範圍內，當然可進行各種變更。
22,22A:流量控制器
30:殼體
30a:正面
30c:第一側面
30d:第二側面
30e:背面
32:缸側埠口
32a:埠口形成孔
32b:連接構件
34:閥側埠口
34a:埠口形成孔
34b:連接構件
36:第一節流閥
36a:閥孔
38:第二節流閥
38a:節流閥
38b:逆止閥
39:閥孔
40:第三節流閥
42:第一流路
42a:第一孔部
42b:第二孔部
44:第二流路
46:先導空氣流路
48:先導逆止閥
48a:入口
48b:出口
48c:先導埠口
50:流路構件
52a:開口部
52b:內側流路
54a:外側流路
56:逆止密封構件
58:棒狀構件
58a:螺合機構
59:把手部
60:貫通孔
60a:活塞室
60b:中間部
60c:逆止閥收容部
60d:縮徑部
62:封蓋
62a:受容部
64:封蓋
65:脫氣孔
66:先導活塞
66a:活塞部
66b:引導部
66c:桿部
68:復位彈簧
70:閥體
70a:封閉部
70b:軸部
72:復位彈簧

Claims (6)

  1. 一種流量控制器(22、22A)，係連接於氣壓缸(10)的埠口與對於前述氣壓缸切換高壓空氣供給源(24)或排氣口(26)而連接的動作切換閥(28)之間，該流量控制器(22、22A)係具備：殼體(30)，係具有連接於前述氣壓缸之埠口的缸側埠口(32)及連接於前述動作切換閥的閥側埠口(34)；第一流路(42)，係設於前述殼體內，且連結前述缸側埠口與前述閥側埠口；第一節流閥(36)，係設於前述第一流路；第二流路(44)，係設於前述殼體內，且與前述第一流路並設；第二節流閥(38)，係設於前述第二流路；先導逆止閥(48)，係設於前述第二流路且與前述第二節流閥串聯連接；先導空氣流路(46)，係設於前述殼體內，且連接前述閥側埠口與前述先導逆止閥的先導埠口(48c)，對於前述先導逆止閥進行與前述第一流路中流通的空氣為相同流向的先導空氣的供給及排出；及第三節流閥(40)，係設於前述先導空氣流路；前述先導逆止閥係依據前述先導空氣的壓力而切換容許從前述氣壓缸排出之排出空氣通過的狀態，以及阻止前述排出空氣通過的狀態。
  2. 如請求項1所述之流量控制器，更具備逆止閥(38b)，該逆止閥(38b)係設於前述第二節流閥，使從前述閥側埠口朝向前述缸側埠口流動的空氣通過。
  3. 如請求項1或2所述之流量控制器，其中，前述第三節流閥係具備節流閥(40a)及逆止閥(40b)，該逆止閥(40b)係與節流閥(40a)並列配置，使朝向前述先導埠口流動的空氣通過。
  4. 如請求項1或2所述之流量控制器，其中，前述先導逆止閥係具備：貫通孔(60)，其係具有：活塞室，係連通於前述先導埠口；逆止閥收容部(60c)，係連通於前述缸側埠口；及中間部(60b)，係連接前述活塞室與逆止閥收容部，且與前述第二節流閥連通；先導活塞(66)，係配置於前述活塞室及前述中間部，依據前述先導空氣的壓力，朝向前述逆止閥收容部突出，或從前述逆止閥收容部朝前述中間部側退避；及閥體(70)，係設於前述逆止閥收容部，配置成可封閉前述中間部與前述逆止閥收容部之連接部分；前述閥體係在前述先導活塞朝前述中間部側退避的狀態下，使從前述閥側埠口朝向前述缸側埠口的高壓空氣通過，而阻止反向之前述排出空氣的通過，並且在前述先導活塞突出於前述逆止閥收容部側的狀態下，使前述高壓空氣及前述排出空氣通過。
  5. 如請求項4所述之流量控制器，其中，前述先導逆止閥係在前述先導空氣的壓力成為預定值以上時，使前述先導活塞突出於前述逆止閥收容部側，而使前述高壓空氣及前述排出空氣通過。
  6. 一種氣壓缸的驅動裝置(20)，該驅動裝置(20)係具備：高壓空氣供給源，係將高壓空氣供給至前述氣壓缸； 排氣口，係排出前述氣壓缸的排出空氣；動作切換閥，係對於前述氣壓缸的埠口切換前述高壓空氣供給源與前述排氣口而連接；及殼體，係具備流量控制器，該流量控制器係連接於前述動作切換閥與前述氣壓缸之前述埠口之間，且前述流量控制器係具有：缸側埠口，係連接於前述氣壓缸之前述埠口；及閥側埠口，係連接於前述動作切換閥；第一流路，係設於前述殼體內，且連結前述缸側埠口與前述閥側埠口；第一節流閥，係設於前述第一流路；第二流路，係設於前述殼體內，且與前述第一流路並設；第二節流閥，係設於前述第二流路；先導逆止閥，係設於前述第二流路且與前述第二節流閥串聯連接；先導空氣流路，係設於前述殼體內，且連接前述閥側埠口與前述先導逆止閥的先導埠口，對於前述先導逆止閥進行與前述第一流路中流通的空氣為相同流向的先導空氣的供給及排出；及第三節流閥，係設於前述先導空氣流路；前述先導逆止閥係依據前述先導空氣的壓力而切換容許前述排出空氣通過的狀態，以及阻止前述排出空氣通過的狀態。
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