JPH0341202A - 流体駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は流体駆動装置、特に流体供給源から流体圧を供
給し続けるのみでピストン運動による動力が得られるよ
うにした動力駆動装置に関するしのである。

〈従来の技術〉 例えば旋盤のような工作機械では工具で工作物を加工す
るのに、工具を工作物に近づけたり遠ざけたりする必要
がある。このために、一般の工作機械では、テーブルの
上にねじ送り機構を設け、手動によって工具をねじ送り
し、加工を行っている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、工具を工作物に対して決まった移動距離たけ動
かさなければならないような場合、前記の如き手動では
正確な操作ができない恐れがある。また、往復動作を正
確に行なおうとすると、コンピュータ制御等が必要とな
って装置自体が複雑になるばかりでなく高価になるとい
う不具合もある。

本発明は、このような従来の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的は、簡単な構造で円滑且つ正確な動作を実
現することの出来る流体駆動装置を提供することである
。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明は、ピストン運動に
よって流体供給路を切り替えるメインスプールと、メイ
ンスプールによる流体供給路の切替に伴って往復運動に
よる駆動を行なう動力部と、動力部によって動作せしめ
られ且つメインスプールへの流体供給路を切り替えるこ
とにより、当該メインスプールのピストン運動を行なわ
せるサブスプールと、動力部に組み込まれた第２のピス
トン部材に対して直径方向対称の位置に対にして配置さ
れた第１のオイルシリンダ装置と第２のオイルシリンダ
装置とから成り、前記第２のピストン部材に接続されて
当該ピストン部材の衝撃を和らげるダンパと、から成る
流体駆動装置を要旨とする。

く作用〉 流体供給源からはメインスプールとサブスプールとの所
定の流体供給ポートに流体圧が加えられる。成る一時点
についてみると、メインスプールと動力部とを結ぶ連結
ポートの対のうち一方は流体供給側となっており、他方
は排出側となっている。また前記一方の側に連結ポート
は動力部の流体流入室の一方の側に連され、他方の連結
ポートは流体流入室の他方の側に連通されている。した
がって、動力部においてはメインスプールで流路選択さ
れた流体が流れ込んでピストンを一方の向きにストロー
ク運動させる。このとき、動力部のピストンに一体的に
連結されているサブスプールのピストンも一緒にストロ
ーク運動し、メインスプール作動用の流体の通路を切り
替える。これによってメインスプール内では切替部材と
しての機能を持つピストンがストローク運動して先とは
別の位置をとる。これによって一対の連結ポートの流体
供給側と排出側とが入れ変わる。

したがって、動力部についても流体が供給される側の流
体流入室が逆転しピストンは先とは逆の方向へストロー
ク運動する。この逆方向への動力部の作動中においても
サブスプールは動力部のピストンと共にストローク運動
し、所定の場所までストローク運動した所でメインスプ
ールへの流体供給路を切り替える。この動作をくり返す
ことによって動力部に置けるストローク運動が行われる
。

動力部の運動の緩衝はこれに接続されたダンパによって
行われる。ダンパは動力部に組み込まれたピストン部材
に対して直径方向に対称に一定の間隔に配置された第１
及び第２のオイルシリンダ装置によって構成されている
から、前記ピストン部材に対してこじれを生じさせるこ
となくダンピング作用を及ぼす。

〈実施例〉 第１図乃至第７図は本発明による流体駆動装置の一実施
例を示す図である。

このうち第１図は前記実施例の全体構成を示す斜視図、
第２図は第１図中の線ＩＩ　−ＩＩにおける断面図であ
る。これらの図において、符号１は圧力流体の供給路を
切り替えるメインスプール、２はメインスプール１によ
って切り替えられた流体供給路を通って供給された流体
によって往復ピストン運動を行なう動力部、３は動力部
２によって動作せしめられ、メインスプールを作動させ
て流体供給路の切替を行なわせるサブスプールを示す。

また符号４及び５は動力部２に連結された第１及び第２
のオイルシリンダ装置、６はこれら第１及び第２のオイ
ルシリンダ装置４．５に接続された補助タンクを示し、
第１及び第２のオイルシリンダ装置４．５と補助タンク
６とによって動力部２の往復ピストン運動を和らげるダ
ンパを構成している。

流体装置の筐体７上面にはパイプ８ａを通して動力部２
駆動用の流体であるエアーを注入するための吸気部材８
が取りつけられ、また筐体７の前面部分には動力部２の
作動スピードを調整する第１及び第２のコントロールつ
まみ９．１０が設けられている。

メインスプール１はシリンダ体１１（これを第１のシリ
ンダ体とする）と、この第１のシリンダ体１１の中で往
復運動する第１のピストン部材１２とを有して成る。第
１のシリンダ体１１には吸気部材８に接続される流体供
給ポート１３と、流体排出ポート１４．１５とか設けら
れている。また、この第１のシリンダ体５の一端部（第
３図、第４図で見て左端部、これを前方端とする）には
サブスプール３を経由して流体が流入せしめられる前側
供給ポート１６が設けられる一方、後端部には後側供給
ポート１７が設けられている。第１のピストン部材工２
には前方から順次第１の凹部１８、第２の凹部１９、第
３の凹部２０が設けられており、それぞれ第１のシリン
ダ体との間で第１の流体収容室２１、第２の流体収容室
２２および第３の流体収容室２３を形成している。更に
第１のシリンダ体１１には動力部２へ流体を交互に供給
したり排出したりする一対の連結ポート２４と２５とが
設けられている。そして、第１のピストン部材１２のス
トローク運動にかかわらず、流体供給ポート↓３は第２
の流体収容室２２に連通ずる一方、流体排出ポート１４
は第１の流体収容室２１に、流体排出ポート１５は第３
の流体収容室２３に連通している。

動力部２は、第２のシリンダ体２６と、先端に工具５０
を取り付けこの第２のシリンダ体２６の中で往復運動す
る第２のピストン部材２７とを有して成る。第２のシリ
ンダ体２６にはその前端部に、連結ポート２５に接続さ
れる前側人出孔２８が設けられ、また後端部には連結ポ
ート２４に接続される後側入出２９が設けられている。

第２のピストン部材２７は全体としては第２のシリンダ
体２６よりも小径に形成され、この小径の第２のピスト
ン部材２７と第２のシリンダ体２６との間には前後端部
分において軸受３０，３１が固定取り付けされることに
より、前記第２のピストン部材２７がストローク運動出
来るようにしている。

また第２のピストン部材２７の長手方向中間部分にはフ
ランジ構造のシール突起３２が設けられ、この部位にお
いて第２のピストン部材２７と第２のシリンダ体２６と
を摺動接触させている。そしてまた、第２のシリンダ体
２６と第２のピストン部材２７との間には流体収容室３
３が形成されている。このため、第２のピストン部材２
７のストローク運動によってシール突起３２が第２のシ
リンダ体２６の長手方向中間部分にあるとき、流体収容
室３３は前側入出孔２８に連通ずる前側室３３ａと後側
人出孔２９に連通する後側室３３ｂとに分割される。さ
らに、シール突起３２の前側端には、その外周に近い部
分に、当該前側端を切り欠いて形成された凹部３４が設
けられ、第２のピストン部材２７の前進運動によってシ
ール突起３２が軸受３０の内側壁に衝接したときでも、
前側人出孔２３に連通する小室３５が形成される。

次にサブスプール３は、第３のシリンダ体３６と、この
第３のシリンダ体３６の中で往復運動する第３のピスト
ン部材３７とを有して成る。第３のシリンダ体３６は、
流体供給用の吸気部材８に接続される流体供給ポート３
８と、第３のシリンダ体３６の前後端部に設けられた前
後排出ポート３９．４０と、前側排出ポート３つの近く
に設けられ且つメインスプール１の前側供給ポート１６
に接続される前側送出ポート４１と、後側排出ポート４
０の近くに設けられ且つ後側供給ポート１７に接続され
る後側送出ポート４２とが設けられている。第３のピス
トン部材３７は、はぼ中央部分において第３のシリンダ
体３６の内壁にシール接触する大径部４３が設けられる
一方、この大径部４３の両側は小径部となっている。そ
してこの小径部と第３のシリンダ体３６との間には前側
流体収容室４４と後側流体収容室４５とが形成されてい
る。また第３のピストン部材３７の前端部分にも前側大
径部４６が設けられている。

ダンパを構成する第１及び第２のオイルシリンダ装置４
．５と補助タンク６とのうち、第１のオイルシリンダ装
置４と第２のオイルシリンダ装置５は、第２図から明ら
かなように、動力部２を挟んで直径方向に対称になるよ
うに筐体７に設けられている。そして、第１のオイルシ
リンダ装置４は、第４のシリンダ体４７と、この第４の
シリンダ体４７の中で往復運動する第４のピストン部材
４８とを有して戊る。第４のシリンダ体４７の前？＆　
Ａｉｔ部分には互いに連通ずるオイル通路４９ａ。

４９ｂか設けられている。また、第４のシリンダ体４７
には前記オイル通路４９ａ、４９ｂを通して補助タンク
６が接続されている。又、前記オイル通路４９ａ、４９
ｂとは別に、第４のシリンダ体４７の前？＆端部分には
、第４のシリンダ体４７の中へ流体を供給したり排出し
たりするための前側流体人出孔５１と後側流体人出孔５
２とが設けられている。これらの前後流体入出孔５Ｌ５
２は、−長筒４のシリンダ体４７の中にオイルが注入さ
れてしまった後は通常閉塞される。

第４のピストン部材４８は、その全体構造についてみる
と、第４のシリンダ体４７の内径よりも小さな外径寸法
に設定された小径部としてのピストンロッド５３を有し
ている一方、このピストンロッド５３の前端部には第４
のシリンダ体４７の内壁にシール接触する大径部５４が
設けられ、更に後端部においては第４のシリンダ体４７
との間に介装されたシール部材５５によってシールされ
ている。このため、第４のシリンダ体４７と第４のピス
トン部材４８との間には流体収容室５６が形成されてい
る。

補助タンク６は、筐体７の内部に画成されたシリンダ構
造の中空室５７と、中空室５７の中にストローク運動可
能に収容されたピストン部材５８と、ピストン部材５８
の一方の端面とこの端面に対向する中空室５７の内壁と
の間に設けられたばね部材５９とを有する。中空室Ｓ７
は、オイル通路４９ａ、４９ｂから分かれた通路（これ
を分岐オイル通路という）４９ｃによって第４のシリン
ダ体４７に接続されている。分岐オイル通路４９Ｃの中
空室５７への開口部は、ピストン部材５８に対してばね
部材５つの設置位置とは反対側の部位に設けられている
。

また、オイル通路４９ａ、４９ｂのそれぞれには、中間
部分位置にオイルの流れ速度を調整するスピードコント
ローラ６０ａ、５Ｑｂが接続されている。このうち、ス
ピードコントローラ６０ａは動力部２の前進運動をコン
トロールするためのものであり、スピードコントローラ
６０ｂは動力部２の後退運動をコントロールするための
ものである。この第４のシリンダ体４７と補助タンク６
との構造上の関係をモデル化したものが第５図及び第６
図に示しであるが、これらの図から明らかなようにスピ
ードコントローラ６０ａ、６０ｂのそれぞれは絞り弁６
１ａ、６１ｂと、絞り弁６１ａ、６１ｂに対して並列に
設けられた逆止弁６２ａ、６２ｂとから構成されている
。逆止弁６２ａ、６２ｂはいずれも、補助タンク６側か
ら第４のシリンダ体４７側へは自由にオイルを流すが、
その逆へはオイルの流れを阻止する構成となっている。

スピードコントローラ６０ａ、６０ｂの一例カ第７図に
示されている。このスピードコントローラ（６０ａで代
表させる）は、筐体７内の所定の位置に形成された孔６
３と、この孔６３の中に装着された筒体６４と、筒体６
４の内側において孔６３内に嵌入装填された中空のスリ
ーブ６５と、スリーブ６５の中に装着された同じく中空
のプラグ６６と、スリーブ６５およびプラグ６６の中心
軸に沿って形成された中心孔６７内に挿入されたスピン
ドル６８と、スピンドル６８の上端部分にねじ６９によ
って固定されたコントロールつまみ９とから成る。孔６
３はオイル通路４９ａを通して第４のシリンダ体４７に
接続されており、また分岐オイル通路４９ｃを通して補
助タンク６に接続されている。筒部６４の、分岐オイル
通路４９Ｃに対応する部位には流通孔７ｏが設けられ、
また、この流通孔７０に対面するスリーブ６５の部位に
はオイル通し孔７１が設けられている。スリーブ６５は
中心孔６７を有する一方、このスリーブ６５と筒体６４
との間には両部材の径寸法を違えることにより（スリー
ブ６５の外径　く筒体６４の内径）隙間が作られ外周路
７２が形成されているため、流通孔７０から筒体６４内
部に入ったオイルはオイル通し孔７１を通って中心孔６
７へ流れ込むかまたは外周路７２へ流れ込む。

これらの二つのオイルの通り路である中心孔６７と外周
路７２とは正妃の如く分岐したのち、孔６３の中で再び
合流しオイル通路４９ａに繋がる。

中心孔６７は、オイル通し孔７１の部分を境目にして、
大径部分６７ａと小径部分６７ｂとから成っている。一
方、スピンドル６８はその棒状の本体部分が中心孔６７
の大径部分６７ａに嵌入されると共に、先端部分６８ａ
はテーバ構造となっており小径部分６７ｂに差し込まれ
ている。また、スピンドル６８の上端部分にはおねじ７
３が形成される一方、プラグ６６の中心孔６７内面にほ
めねじ７４が形成されて両者はねし係合している。この
ため、コントロールつまみ９を回転動作させることによ
りスピンドル６８を中心孔６７に沿って上下運動させ、
先端のテーバ部分６８ａで中心孔６７の小径部分６７ｂ
を開閉する絞り弁６１ａが構成される。

また一方、外周路７２の中間部分において、肩体６４と
スリーブ６５との間には逆止弁（３２ａが設けられてい
る。この逆止弁６２ａはゴムのような弾性材料で出来た
リンク体から構成され、スＪ−プロ５の外周面に形成さ
れた凹部に嵌着するノング本体７５と、リング本体７５
と一体成形され、且つこのリング本体７５から半径方向
外方−５延びて篩体６４に圧接する、全構造の弁体７Ｇ
とから成る。弁体７６は第７図から明らかなように、上
方から下方へ向けて次第に拡開するようｌ形で外周路７
２内に装填されている。そのため、補助タンク６側から
第４のシリンダ体４７側へのオイルの流れに対しては、
弁体７６は変形して外周路７２を開放する一方、これと
は逆向きのオーイルの流れに対しては筒体０４の内壁に
固く圧接してオイルの流れを阻止する。なお孔６３とス
リーブ６５との接触部分にはオイルシール７７及び〇−
リング７８が設けられ、またスリーブ６５とプラク６６
との接触部分にはオイルシール７９が、プラグ６６とス
ピンドル６８との間にはＯ−リング８０が設けられるこ
とにより、各々の部材間におけるシールを実現している
。

なお、第１のオイルシリンダ装置４と同様な第２のオイ
ルシリンダ装置５については、両者の構造はまったく同
じであり、また両者共絞り弁６１ａ、６１ｂ及び逆止弁
６２　ａ　、　６２　ｂを有するオイル通路４９ａ、４
９ｂ、４９ｃを通して補助タンク６にそれぞれ接続され
ているので、前記′ｆＪ２のオイルシリンダ装置５につ
いての説明は省略する。

さらに、動力部２、サブスプール３、第■のオイルシリ
ンダ装置４および第２のオイルシリンダ装置５の間には
アーム部材８１が設けられ、このアーム部材８１によっ
て第２、第３、第４のピストン部材２７．３７．４８及
び第２のオイルシリンダ装置５のピストン部材が一体的
に連結されている。したがって、動力部２における第２
のピストン部材２７が流体の作動によって前方へ移動す
れば、第３、第４のピストン部材３７．４８及び第２の
オイルシリンダ装置５のピストン部材も前方へ移動し、
その逆のときは後方へ移動する。これに対して、メイン
スプール１内の第１のピストン部材■２は、サブスプー
ル３を経由して来た流体の作動によって往復運動する。

このような構成を有する・流体駆動装置について、以下
その作用を説明する。

先ず、第３図に示すように、メインスプール１において
第１のピストン部材１２が後端部に位置し、動力部２、
サブスプール３、第１及び第２のオイルシリンダ装置４
．５においてそれぞれのピストン部材２７．３７．４８
が前端部に位置している場合についてみる。この場合、
流体供給ポート↓３は連結ポート２５に連通し、さらに
動力部２の前側入出孔２８に連通ずる。これによって動
力部２の小室３５に流体が供給され、その流体圧によっ
て第２のピストン部材２７を後方へ押し始める。この第
２のピストン部材２７の初期動作においては、小室３５
の受圧が小さいため第２のピストン部材２７はきわめて
緩慢に移動し始める。

そして、シール突起３２がシール部材３のから離れると
、このシール突起３２の全受圧面で流体圧作用を受け、
第２のピストン部材２７は所定の速度で後方へ向けて移
動する。この第２のピストン部材２７の後退運動はアー
ム部材８１を介して第３のピストン部材３７、第４のピ
ストン部材４８および第２のオイルシリンダ装置５のピ
ストン部材に伝えられ、これらのピストン部材３７．４
８等も同様に後退運動を行なう。

そして、サブスプール３において、第２のピストン部材
３７の大径部４３が第４図に示すように後側送出ポート
４２を通過すると、このサブスプール３における流体の
流れ方向が流体供給ポート３８から後側送出ポート４２
へと変わる。そして、メインスプール１においては、後
側供給ポート１７へと流体が供給されるようになり、第
１のピストン部材１２が前進し始める。この前進によっ
て第■のピストン部材１２が前端位置に達すると流体供
給ポート１３は今度は連結ポート２４に連誦する。この
連結ポート２４には動力部２の後側人出孔２９が接続さ
れているから、今度は流体は後側室３３ｂへ供給される
ようになり、第２のピストン部材２２は前進し始める。

そして、この第２のピストン部材２７の前進運動に伴っ
て、第３、第４のピストン部材３７．４８及び第２のオ
イルシリンダ装置５のピストン部材も前進をし始め、再
び第２のピストン部材２７がそのストロークの前端に達
したところでサブスプール３の第３のピストン部材３７
も前端に達し、このサブスプール３における流体の流れ
が流体供給ポート３８から前側送出ポート４■へと変わ
る。そして、メインスプール１においては第１のピスト
ン部材１２が後退し始め、最初に説明した動作に戻る。

このピストン動作の間において、動力部２における衝撃
を第１のオイルシリンダ装置４及び第２のオイルシリン
ダ装置５から成るダンパがやわらげる働きをする。この
ダンパの動作を第５図乃至第７図を参照しながら説明す
ると、第５図において動力部２のピストン部材である第
２のピストン部材２７が前進運動すると、オイルシリン
ダ装置（ここでは第１のオイルシリンダ装置４で代表さ
せる）において、第４のピストン部材４８が一緒に前進
する。この前進動作によって、第４のシンダ体４７内の
オイルは、前側端からオイル通路４９ａを通してスピー
ドコントローラ６０ａに流入する。スピードコントロー
ラ６０ａでは、オイルは逆止弁６２ａを通過することは
出来ず絞り弁６・１ａのみを通過することが出来るから
、絞り弁６１ａにおいてコントロールつまみ９の操作に
よってスピンドル６８の位置をあらかじめ設定しておけ
ばスピードコントローラ６０ａでは一定のオイルの流速
が得られ、ダンピング作用が実現される。そして、スピ
ードコントローラ６０ａを通過したオイルはもう一方の
スピードコントローラ６ｏｂを通って第４のシリンダ体
４７の後端に入る。スピードコントローラ６０ｂでは逆
止弁６２ｂが自由にオイルを通すため、ここではオイル
の流れに対して何ら抵抗は働かず、オイルは第４のシリ
ンダ体４７の中に円滑に戻る。そして、この前進運動の
終了時には第６図に示すようになるが、このようになっ
たときのピストンロッド５３の第４のシリンダ体４７内
への進入による体積増加分に相当するオイルは分岐オイ
ル通路４９ｃを通って補助タンク６内へ流れ込む。この
ため、補助タンク６内においては、ピストン部材５８が
ばね部材の作用に対抗して前方に移動する。また−方、
動力部２が後退運動するときは、上に述べたのとは逆に
第４のシリンダ体４７の中のオイルはオイル通路４９ｂ
を通してスピードコントローラ６０ｂへ流入し、ここで
流速調整を受け、ダンピング作用が行われる。このとき
の流速は絞り弁６１ｂの設定によって決まる。そして後
退運動によって第４のピストン部材４８のピストンロッ
ド５３が第４のシリンダ体４７から退出するため、この
ときの体積減少分のオイルは補助タンク６から供給され
る。このようなピストン部材のストローフ運動は、動力
部２に備えられた第２のピストン部材２７に対して直径
方向に対称に配置された第１及び第２のオイルシリンダ
装置において行われるから、第２のピストン部材２７に
対して、ダンピング作用による緩衝力は均等に加わり、
第２のピストン部材２７がこしれを起こすことはない。

このような一連の動作をくり返すことによって流体供給
ポート１３．３８に常時流体を供給し続けるのみで、動
力部２の往復運動をスムーズに行なわせることが出来る
。したがって、第２のピストン部材２７の先端に取り付
けられた工具５０はきわめて良好に進退運動せしめられ
る。

発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、動力部における往
復運動を円滑に行なわせるために、二基のスプールを用
い動力部における作動方向を流体の流れ方向を切り替え
ることで変更するようにし、さらに動力部のピストン部
材に対して直径方向に対称な緩衝用のピストン部材を有
するダンパを備えたため、簡単な構成で円滑且つ確実な
動作を作り出すことが出来る。また動作切替を行なう部
材としてスプールを使っているため、装置自体を安価に
作ることができるようになり、コストの低減も実現する
ことができる等、種々の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

無÷拳嚇−−析面図、第３図は第２図における■■線に
おける断面図であり、動力部が前進位置にあって後退運
動を開始するときの状態を示す図、第４図は第３図と同
し断面における、動力部が前進運動を開始するときの状
態を示す図、第５図はダンパの構成及び動作をモデル化
して示す図で、オイルシリンダ装置が前進運動をして行
くときの状態を示す図、第６図は第５図と同様の図で、
オイルシリンダ装置が後退運動をして行くときの状態を
示す図、第７図はダンパに組み込まれる絞り弁及び逆止
弁の構造例を示す図である。 ■・・・メインスプール　　　　　２・・・動力部３・
・・サブスプール ４・・・第１のオイルシリンダ装置 ５・・・第２のオイルシリンダ装置 ６・・・補助タンク　　　　　　　　７・・・筐体１１
・・・第１のシリンダ体 １２・・・第１のピストン部材 １３・・・流体供給ポート １４．１５・・・流体排出ポート ２４．２５・・・連結ポート ２６・・・第２のシリンダ体 ２７・・・第２のピストン部材　　２８・・・前側人出
孔２つ・・・後側人出孔　　　　　　３２・・・シール
突起３３流体収容室　　　　３６・・・第３のシリンダ
体３７・・・第３のピストン部材 ３８・・・成体供給ポート　４７・・・第４のシリンダ
体４８・・・第４のピストン部材　　４９・・・オイル
通路６０・・・スピードコントローラ 第 図 弔 ５ 図 第６ 図 第７図 ／

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 流体供給ポートと、排気ポートと、流体供給ポートに切
   替接続される一対の連結ポートとを有する第１のシリン
   ダ体、及びこの第１のシリンダ体内で往復運動し連結ポ
   ートへの流体の供給を切り替える第１のピストン部材と
   を備えたメインスプールと、 第２のシリンダ体と、この第２のシリンダ体の中で往復
   運動する第２のピストン部材とを有し、前記一対の連結
   ポートのそれぞれから流体の供給を前後端に受け第２の
   ピストン部材が往復運動する動力部材と、 第３のシリンダ体と、前記第２のピストン部材に結合さ
   れて一体的に運動する第３のピストン部材とを備え、第
   ３のピストン部材の移動位置によって前記メインスプー
   ルへの流体の流れ方向を変え、当該メインスプールの第
   １のピストンを往復させて流体供給を切り替えるサブス
   プールと、 動力部に組み込まれた第２のピストン部材に対して直径
   方向対称の位置に対にして配置された第１のオイルシリ
   ンダ装置と第２のオイルシリンダ装置とから成り、前記
   第２のピストン部材に接続されて当該ピストン部材の衝
   撃を和らげるダンパと、から成る流体駆動装置。