WO2015000700A1 - Turbomolekularpumpe-statorscheibe mit ununterbrochenen und geschlossenen übergängen zwischen schaufeln und scheibenring - Google Patents

Turbomolekularpumpe-statorscheibe mit ununterbrochenen und geschlossenen übergängen zwischen schaufeln und scheibenring Download PDF

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WO2015000700A1 PCT/EP2014/062759 EP2014062759W WO2015000700A1 WO 2015000700 A1 WO2015000700 A1 WO 2015000700A1 EP 2014062759 W EP2014062759 W EP 2014062759W WO 2015000700 A1 WO2015000700 A1 WO 2015000700A1
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stator disk
stator
wings
transitions
disk according
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Inventor
Michael Richter
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Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers

Definitions

  • the invention relates to a stator disk, in particular for a compression stage of a turbomolecular pump.
  • a typical turbomolecular pump has a rotating rotor with multiple rotor disks with a plurality of rotor blades.
  • a stator disk is arranged between each two rotor disks, two adjacent stator disks being held at a distance by a stator ring.
  • a stator disc on several wings, which are connected at their respective end with an inner ring or an outer ring.
  • they are made of a sheet metal.
  • the wing is cut out of the sheet, with a small web remains as a connection to the inner ring or outer ring. The wing is twisted around this bridge.
  • the only connection between the wing and the inner ring or outer ring consists of the twisted bridge.
  • the stability of the stator is considerably reduced.
  • the production of a stator is made of a Sheet metal only for small stators possible or the thickness of the sheet used must be increased so that bending of the stator is prevented in a shock ventilation.
  • the object of the invention is to improve the stability of a stator.
  • the stator disk according to the invention in particular for use in a compression stage of a turbomolecular pump, has an inner ring and an outer ring.
  • the inner ring is connected to the outer ring via a plurality of wings.
  • the transitions from the wings to the inner ring and / or outer ring are substantially closed, so that in the region of the closed transitions a connection between the respective wing and the inner ring and / or outer ring is present.
  • it is preferred that the transitions are closed by more than 70 percent, and more preferably more than 90 percent, via a width of the vanes considered in the radial view.
  • transitions that are closed less than 70 percent can already ensure the required stability.
  • the inner ring Since the inner ring has a smaller radius and thus inherently has a higher stability, it may be sufficient only to form the transitions from the wings to the outer ring substantially closed. The greatest stability of the stator is achieved, however, when the transitions from the wings to the inner ring and the outer ring are substantially closed. It may also be provided that the transitions from the wing to the inner ring are closed over a smaller width than the transitions from the wings to the outer ring in the same stator, since as stated above, the inner ring inherently has a greater stability.
  • stator disk is a stator disk half. This makes it possible when assembling the pump to arrange the Statorinhtag to a rotor. In this case, two stator disk halves form a stator disk.
  • the transitions from the wings to the inner ring and / or the outer ring form completely closed, ie. the transitions are closed over the entire radial width of the wings. This also reduces possible backflow within the pump since it is no longer necessary for the outside and / or inside of the blade to close to a stator housing.
  • stator is integrally formed, whereby the cost of a complex assembly of components omitted and a further increase in stability is achieved. If the stator disk is a stator disk half, the stator disk half is correspondingly formed in one piece.
  • the stator disks can in particular have an enlarged diameter of more than 20 cm and preferably more than 25 cm.
  • the stator disks can in particular have an enlarged diameter of more than 20 cm and preferably more than 25 cm.
  • the transitions are at least partially and in particular completely bent.
  • the transitions thus have at least one bend on.
  • This bend preferably has in particular a radius of 1 to 8 mm and particularly preferably a radius of 1 to 5 mm. Larger radii reduce the rigidity of the stator disc. On the other hand, too small radii of less than 1 mm can produce kinks.
  • the transitions smoothly and / or interruption pass into the inner ring and / or the outer ring, whereby kinks to stabilize the stator are avoided.
  • the transitions preferably have at least two oppositely bent sections, whereby the transition passes without interruption from the respective wing in the inner and / or the outer ring.
  • the stator disk is preferably formed from a sheet metal, in particular an aluminum sheet, the shaping taking place particularly preferably by embossing. If the stator disk is a stator disk half, then correspondingly each stator disk half is formed in each case from a sheet metal.
  • the sheet has a thickness of less than 3 mm and preferably a thickness of less than 2 mm.
  • the wings each have a front and a rear edge.
  • the front edge is tilted downwards or upwards and accordingly the trailing edge is tilted upwards or downwards to form a wing.
  • the transitions on both sides ie in the region of the tilted-up portion of the wing and in the region of the tilted down portion of the wing, substantially and preferably completely closed.
  • the blades of the stator disk are preferably arranged such that they point away from the stator disk only in the direction of an upper side. It is irrelevant which of the two sides of the stator is referred to as the top.
  • the inner radius of the inner ring has a flange.
  • the outer radius of the outer ring additionally or alternatively on a flange.
  • the invention relates to a method of manufacturing a stator disc having the features described above, the manufacturing comprising the steps of cutting the wings, embossing the transitions and tilting the wings. These steps can be carried out simultaneously by a common process step. However, it is also possible that the steps are carried out consecutively or that at least two steps are combined in one process step, so that z. As the embossing of the transitions and the tilting of the wings take place simultaneously.
  • the method is preferably developed according to the aforementioned features.
  • 1 is a perspective view of a stator half
  • 2 is a side view of a stator half
  • FIG. 3 is a detail view of the closed transition from a wing to the outer ring
  • Fig. 4 is a detail view of the closed transition from a wing to the outer ring of another embodiment
  • FIG. 5 another embodiment in radial view.
  • the stator according to the invention is designed as Statorinhtag 10 and has an inner ring 12 and an outer ring 14.
  • Inner ring 12 and outer ring 14 are connected by a plurality of wings 16.
  • the transition 18 of the inner ring 12 to the respective wing 16 is formed closed.
  • the transition 20 is formed by the respective wing 16 to the outer ring 14 closed.
  • the transitions 18 and 20 are formed completely closed.
  • a transition is completely closed if it extends in a radial view over the complete width L (see FIG. In Fig. 5, an embodiment is shown in radial view, in which the transition extends over the length I, where I is smaller than the entire width L of the respective wing.
  • the transition in FIG. 5 substantially closed if l / L> 70%.
  • the inner radius or the inner edge 22 of the inner ring 12 has a flange 24.
  • the outer radius or the outer edge 26 of the outer ring 14 is provided with a flange 28.
  • Fig. 2 a side view of the stator half 10 is shown.
  • the wings 16 have a front edge 30 and a trailing edge 32.
  • the front 30 is formed from the plane 34 formed by the inner ring 12 and the outer ring 14 is tilted.
  • all wings are tilted exclusively in one direction.
  • the trailing edge remains substantially in the plane 34.
  • the bottom 36 in the area of the wings 16 is flat.
  • the wings 16 are tilted exclusively in the direction of the top 38.
  • a detail view of the transition 20 from the respective wing 16 to the outer ring 14 is shown.
  • the transition 20 in this case has a bent portion 40, which merges into the front edge 30 continuously and without interruption.
  • the bent portion 40 has a radius R, wherein R is about 5 mm in the illustrated embodiment.
  • the bent portion 40 is on the side facing away from the front edge 30 in an unbent portion 42 on.
  • This unbent portion 42 terminates with the outer ring 14, wherein the transition from the unbent portion 42 to the outer ring 14 is not continuous.
  • a sectionally curved transition can be provided in the same way (see Fig. 2), which has an unbent portion and does not pass continuously into the inner ring 12.
  • Fig. 4 the detail view of a further embodiment is shown, which also has a first bent portion 40.
  • a second bent portion 44 connects, with the bending of the bent portions 40 and 44 in opposite directions.
  • the transition 18 can pass continuously into the inner ring 12.
  • an unbent portion may be provided on the transition 18, not shown, from the respective wing 16 to the inner ring 12, so that the transition 18 does not pass continuously into the inner ring 12.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Eine Statorscheibe weist einen Innenring und einen Außenring auf. Außenring und Innenring sind über eine Vielzahl von Flügeln miteinander verbunden, wobei die Übergänge von den Flügeln zum Innenring und/oder Außenring im Wesentlichen geschlossen sind.

Description

TURBOMOLE KULARPUMPE-STATORSCHEIBE MIT UNUNTERBROCHENEN UND GESCHLOSSENEN ÜBERGÄNGEN ZWISCHEN SCHAUFELN UND SCHEIBENRING
Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe insbesondere für eine Kompressionsstufe einer Turbomolekularpumpe.
Eine übliche Turbomolekularpumpe weist einen sich drehenden Rotor mit mehreren Rotorscheiben mit einer Vielzahl von Rotorflügeln auf. Innerhalb eines Gehäuses der Turbomolekularpumpe ist zwischen jeweils zwei Rotorscheiben ein Statorscheibe angeordnet, wobei zwei benachbarte Statorscheiben durch einen Statorring auf Abstand gehalten werden. Dabei weist eine Statorscheibe mehrere Flügel auf, die an deren jeweiligem Ende mit einem Innenring bzw. einem Außenring verbunden sind. Um die Kosten für eine Statorscheibe zu reduzieren, werden diese aus einem Blech gefertigt. Hierzu wird der Flügel aus dem Blech ausgeschnitten, wobei ein kleiner Steg als Verbindung zum Innenring bzw. Außenring verbleibt. Um diesen Steg wird der Flügel verdreht. Die einzige Verbindung zwischen dem Flügel und dem Innenring bzw. Außenring besteht über den verdrehten Steg . Hierdurch ist die Stabilität der Statorscheibe erheblich reduziert. Insbesondere bei einer Schockbelüftung und den dabei auftretenden großen Druckgradienten muss ein Verbiegen der Statorscheibe verhindert werden, um eine Beschädigung der Pumpe zu vermeiden. Somit ist die Fertigung einer Statorscheibe aus einem Blech nur für kleine Statoren möglich oder die Dicke des verwendeten Bleches muss so weit erhöht werden, dass ein Verbiegen der Statorscheibe bei einer Schockbelüftung verhindert wird . Dies führt allerdings zu steigenden Materialkosten, einem vergrößerten Platzbedarf der einzelnen Statorscheiben sowie einem Verlust an Performance.
Aufgabe der Erfindung ist es die Stabilität einer Statorscheibe zu verbessern.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Die erfindungsgemäße Statorscheibe, insbesondere zur Verwendung in einer Kompressionsstufe einer Turbomolekularpumpe weist einen Innenring und einen Außenring auf. Der Innenring ist mit dem Außenring über eine Vielzahl von Flügeln verbunden. Die Übergänge von den Flügeln zum Innenring und/oder Außenring sind dabei im Wesentlichen geschlossen, so dass im Bereich der geschlossenen Übergänge eine Verbindung zwischen dem jeweiligen Flügel und dem Innenring und/oder Außenring vorhanden ist. Hierbei ist bevorzugt, dass die Übergänge über eine in radialer Sicht betrachtete Breite der Flügel mehr als 70 Prozent und besonders bevorzugt mehr als 90 Prozent geschlossen sind. Jedoch können bei einer Verbesserung der Materialeigenschaften (Festigkeit, Materialstärke, etc.) Übergänge, die weniger als 70 Prozent geschlossen sind, die erforderliche Stabilität bereits gewährleisten.
Da der Innenring einen kleineren Radius aufweist und dadurch inhärent eine höhere Stabilität besitzt, kann es ausreichend sein nur die Übergänge von den Flügeln zum Außenring im Wesentlichen geschlossen auszubilden. Die größte Stabilität der Statorscheibe wird jedoch erreicht, wenn die Übergänge von den Flügeln zum Innenring und zum Außenring im Wesentlichen geschlossen sind. Es kann auch vorgesehen sein, dass die Übergänge vom Flügel zum Innenring über eine geringere Breite geschlossen sind als die Übergänge von den Flügeln zum Außenring bei der selben Statorscheibe, da wie oben dargelegt der Innenring inhärent eine größere Stabilität aufweist.
Insbesondere handelt es sich bei der Statorscheibe um eine Statorscheibenhälfte. Hierdurch ist es möglich beim Zusammensetzten der Pumpe die Statorscheibenhälfte um einen Rotor anzuordnen. Hierbei bilden zwei Statorscheibenhälften eine Statorscheibe.
Zur weiteren Erhöhung der Stabilität der Statorscheibe ist es bevorzugt die Übergänge von den Flügeln zum Innenring und/oder zum Außenring vollständig geschlossen auszubilden, d .h. dass die Übergänge über die gesamte in radialer Sicht betrachtete Breite der Flügel geschlossen sind . Hierdurch wird auch eine mögliche Rückwärtsströmung innerhalb der Pumpe reduziert, da es nicht mehr erforderlich ist, dass die Außen und/oder Innenseite des Flügels mit einem Statorgehäuse abschließt.
Insbesondere ist die Statorscheibe einstückig ausgebildet, wodurch die Kosten für ein aufwendiges Zusammensetzen von Bauteilen entfallen und eine weitere Erhöhung der Stabilität erreicht wird . Handelt es sich bei der Statorscheibe um eine Statorscheibenhälfte, so ist entsprechend die Statorscheibenhälfte einstückig ausgebildet.
Durch die erfindungsgemäße Erhöhung der Stabilität können die Statorscheiben insbesondere einen vergrößerten Durchmesser von mehr als 20 cm und vorzugsweise mehr als 25 cm aufweisen. Somit ist es möglich eine große Statorscheibe zu schaffen für Pumpen mit Saugvermögen von mehr als 600 Liter pro Sekunde.
Insbesondere sind die Übergänge zumindest abschnittsweise und insbesondere vollständig gebogen. Die Übergänge weisen somit mindestens eine Biegung auf. Bevorzugt weist diese Biegung insbesondere einen Radius von 1 bis 8 mm und besonders bevorzugt einen Radius von 1 bis 5 mm auf. Hierbei reduzieren größere Radien die Steifigkeit der Statorscheibe. Dahingegen können zu kleine Radien von unter 1mm Knickstellen erzeugen. Somit ist es insbesondere vorgesehen, dass die Übergänge stetig und/oder unterbrechungsfrei in den Innenring und/oder den Außenring übergehen, wodurch Knickstellen zur Stabilisierung der Statorsscheibe vermieden werden. Hierzu weisen die Übergänge bevorzugt mindestens zwei entgegengesetzt gebogene Abschnitte auf, wodurch der Übergang unterbrechungsfrei vom jeweiligen Flügel in den Innen- und/oder den Außenring übergeht.
Bevorzugt wird die Statorscheibe aus einem Blech, insbesondere einem Aluminiumblech, geformt, wobei besonders bevorzugt die Formung durch eine Prägung erfolgt. Handelt es sich bei der Statorscheibe um eine Statorscheibenhälfte, so wird entsprechend jede Statorscheibenhälfte jeweils aus einem Blech geformt. Das Blech weist dabei eine Dicke von weniger als 3 mm und bevorzugt eine Dicke von weniger als 2 mm auf. Durch die Verringerung der Material stärke und das danach anzuwendende Fertigungsverfahren können Kosten reduziert werden.
Insbesondere weisen die Flügel jeweils eine Vorder- und eine Hinterkante auf. So ist insbesondere die Vorderkante nach unten oder oben verkippt und entsprechend die Hinterkante zur Bildung eines Flügels nach oben oder unten verkippt. Dabei sind die Übergänge auf beiden Seiten, also im Bereich des nach oben verkippten Anteils des Flügels und im Bereich des nach unten verkippten Anteils des Flügels, im Wesentlichen und bevorzugt vollständig geschlossen. Bevorzugt sind die Flügel der Statorscheibe jedoch so angeordnet, dass diese nur in Richtung einer Oberseite von der Statorscheibe wegweisen. Hierbei ist es unerheblich, welche der beiden Seiten der Statorscheibe als Oberseite bezeichnet wird . Erheblich ist nur, dass kein wesentlicher Teil des Flügels auf der der entsprechenden Oberseite abgewandten Seite liegt und insbesondere unterhalb der von dem Innenring und dem Außenring gebildeten Ebene. Hierzu wird nur die Vorderkante oder die Hinterkante verkippt. Die nichtverkippte Kante verbleibt entsprechend in der von dem Innenring und dem Außenring gebildeten Ebene. Hierdurch ist insbesondere die Unterseite der Statorscheibe im Bereich der Flügel im Wesentlichen eben. Hierdurch sind die Statorscheiben insbesonsondere stapelbar, was auch zu einer Reduzierung der Lagerkosten führt.
Zur weiteren Erhöhung der Stabilität der Statorscheibe weist insbesondere der Innenradius des Innenrings eine Bördelung auf. Bevorzugt weist der Außenradius des Außenrings zusätzlich oder alternativ eine Bördelung auf. Durch die Bördelung des Innenrings und/oder des Außenrings weisen diese eine größere Anlagefläche auf, sodass sich die Statorscheiben beim Zusammenbau einfacher zentrieren lassen.
Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe mit den zuvor beschriebenen Merkmalen, wobei die Herstellung die Schritte umfasst: Schneiden der Flügel, Prägen der Übergänge und Kippen der Flügel . Diese Schritte können gleichzeitig erfolgen durch einen gemeinsamen Verfahrensschritt. Jedoch ist es auch möglich, dass die Schritte konsekutiv ausgeführt werden oder dass mindestens zwei Schritte in einem Verfahrensschritt zusammengefasst werden, so dass z. B. das Prägen der Übergänge und das Kippen der Flügel gleichzeitig erfolgen.
Das Verfahren ist entsprechend der vorausgenannten Merkmale bevorzugt weitergebildet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen :
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Statorscheibenhälfte, Fig. 2 die Seitenansicht eines Statorscheibenhälfte,
Fig. 3 eine Detailansicht des geschlossenen Übergangs von einem Flügel zum Außenring,
Fig. 4 eine Detailansicht des geschlossenen Übergangs von einem Flügel zum Außenring einer weiteren Ausführungsform und
Fig. 5. eine weitere Ausführungsform in radialer Sicht.
Die erfindungsgemäße Statorscheibe ist ausgebildet als Statorscheibenhälfte 10 und weist einen Innenring 12 sowie einen Außenring 14 auf. Innenring 12 und Außenring 14 sind verbunden durch eine Vielzahl von Flügeln 16. Der Übergang 18 von Innenring 12 zum jeweiligen Flügel 16 ist dabei geschlossen ausgebildet. Ebenso ist der Übergang 20 vom jeweiligen Flügel 16 zum Außenring 14 geschlossen ausgebildet. Hierbei sind die Übergänge 18 und 20 vollständig geschlossen ausgebildet.
Vollständig geschlossen ist dabei ein Übergang, falls er sich in radialer Sicht über die vollständige Breite L (s. Fig . 5) des jeweiligen Flügels 16 erstreckt. In Fig. 5 ist eine Ausführungsform gezeigt in radialer Sicht, bei der sich der Übergang über die Länge I erstreckt, wobei I kleiner ist als die gesamte Breite L des jeweiligen Flügels. Dabei ist der Übergang in Fig . 5 im Wesentlichen geschlossen, falls l/L > 70%.
Zur weiteren Versteifung der Statorscheibe weist der Innenradius bzw. die Innenkante 22 des Innenrings 12 eine Bördelung 24 auf. Auch der Außenradius bzw. die Außenkante 26 des Außenrings 14 ist mit einer Bördelung 28 versehen. In Fig . 2 ist eine Seitenansicht der Statorscheibenhälfte 10 gezeigt. Die Flügel 16 weisen eine Vorderkante 30 und eine Hinterkante 32 auf. Bei der dargestellten Statorscheibenhälfte 10 ist nur die Vorderseite 30 aus der Ebene 34 gebildet durch den Innenring 12 und den Außenring 14 verkippt. Insbesondere sind alle Flügel ausschließlich in eine Richtung verkippt. Die Hinterkante verbleibt im Wesentichen in der Ebene 34. Hierdurch ist die Unterseite 36 im Bereich der Flügel 16 eben. Die Flügel 16 sind ausschließlich in Richtung der Oberseite 38 verkippt.
In Fig . 3 ist eine Detailansicht des Übergangs 20 vom jeweiligen Flügel 16 zum Außenring 14 dargestellt. Der Übergang 20 weist dabei einen gebogenen Abschnitt 40 auf, der stetig und unterbrechungsfrei in die Vorderkante 30 übergeht. Der gebogene Abschnitt 40 weist einen Radius R auf, wobei R in der dargestellten Ausführungsform ca. 5 mm beträgt. Der gebogene Abschnitt 40 geht auf der der Vorderkante 30 abgewandten Seite in einen ungebogenen Abschnitt 42 über. Dieser ungebogene Abschnitt 42 schließt mit dem Außenring 14 ab, wobei der Übergang vom ungebogenen Abschnitt 42 zum Außenring 14 nicht stetig erfolgt. Beim Übergang 18 vom jeweiligen Flügel 16 zum Innenring 12 kann auf gleiche Weise ein abschnittsweise gebogener Übergang vorgesehen sein (s. Fig. 2), der einen ungebogenen Abschnitt aufweist und nicht kontinuierlich in den Innenring 12 übergeht. Es ist jedoch auch möglich den Übergang 18 vom jeweiligen Flügel 16 zum Innenring 12 derart auszubilden, dass dieser zwei entgegengesetzt gebogene Abschnitte aufweist und kontinuierlich in den Innenring 12 übergeht.
In Fig . 4 ist die Detailansicht einer weiteren Ausführungsform gezeigt, die ebenfalls einen ersten gebogenen Abschnitt 40 aufweist. An diesen schließt sich jedoch ein zweiter gebogener Abschnitt 44 an, wobei die Biegung der gebogenen Abschnitte 40 und 44 in entgegengesetzte Richtungen zeigen. Durch den zweiten gebogenen Abschnitt 44 wird ein stetiger und unterbrechungsfreier Übergang zum Außenring 14 geschaffen. In gleicher Weise kann der Übergang 18 kontinuierlich in den Innenring 12 übergehen. Alternativ kann ein ungebogener Abschnitt vorgesehen sein am nicht gezeigten Übergang 18 vom jeweiligen Flügel 16 zum Innenring 12, so dass der Übergang 18 nicht kontinuierlich in den Innenring 12 übergeht.

Claims

Patentansprüche
Statorscheibe, insbesondere für ein Kompressionsstufe einer Turbomolekularpumpe, mit einem Innenring (12), einem Außenring (14) und mehreren den Innenring (12) mit dem Außenring (14) verbindenden Flügeln (16) dadurch gekennzeichnet, dass die Übergänge (18, 20) von den Flügeln (16) zum Innenring (12) und/oder Außenring (14) im Wesentlichen geschlossen sind.
Statorscheibe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Statorscheibe um eine Statorscheibenhälfte (10) handelt.
Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Übergange (18, 20) von den Flügeln (16) zum Innenring (12) und/oder Außenring (14) vollständig geschlossen sind.
Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorscheibe einstückig ausgebildet ist.
Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorscheibe einen Durchmesser von mehr als 20 cm und insbesondere mehr als 25 cm aufweist.
6. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Übergänge (18, 20) zumindest abschnittsweise und insbesondere vollständig gebogen sind.
7. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die gebogenen Abschnitte (40, 44) der Übergänge (18, 20) einen Radius von 1 - 8 mm und insbesondere einen Radius von 2 - 5 mm aufweisen.
8. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Übergänge (18, 20) stetig in den Innenring (12) und/oder den Außenring (14) übergehen und insbesondere mindestens zwei entgegengesetzt gebogene Abschnitte (40, 44) aufweisen.
9. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Statorscheibe aus einem Blech insbesondere durch eine Prägung geformt ist.
10. Statorscheibe nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, dass das Blech eine Dicke von weniger als 3 mm und insbesondere weniger als 2 mm aufweist.
11. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Flügel (16) nur in Richtung einer Oberseite (38) von der Statorscheibe wegweisen.
12. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass eine Unterseite (36) der Statorscheibe im Bereich der Flügel (16) im Wesentlichen eben ist. - I I
IS. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenradius (22) des Innenrings (12) eine Bördelung (24) aufweist.
14. Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Außenradius (26) des Außenrings (14) eine Bördelung (28) aufweist.
15. Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, mit den Schritten
Schneiden der Flügel (16),
Prägen der Übergänge (18, 20) und
Kippen der Flügel (16).
16. Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe nach Anspruch 15, bei welchem die Flügel (16) nur in eine Richtung verkippt werden.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1275386A (en) * 1970-04-10 1972-05-24 Balzers Patent Beteilig Ag Disc for a molecular vacuum pump
JPS62258187A (ja) * 1986-05-02 1987-11-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法
JPH01219393A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Daikin Ind Ltd 分子式真空ポンプ
WO2002027189A1 (de) * 2000-09-21 2002-04-04 Leybold Vakuum Gmbh Compound-reibungsvakuumpumpe

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19937393A1 (de) * 1999-08-07 2001-02-08 Leybold Vakuum Gmbh Statorring für eine Turbomolekularvakuumpumpe
DE102005027097A1 (de) * 2005-06-11 2006-12-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für Turbomolekularpumpe

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1275386A (en) * 1970-04-10 1972-05-24 Balzers Patent Beteilig Ag Disc for a molecular vacuum pump
JPS62258187A (ja) * 1986-05-02 1987-11-10 Mitsubishi Heavy Ind Ltd タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法
JPH01219393A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Daikin Ind Ltd 分子式真空ポンプ
WO2002027189A1 (de) * 2000-09-21 2002-04-04 Leybold Vakuum Gmbh Compound-reibungsvakuumpumpe

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