WO2014181194A3 - Appareil et procédé de production en phase condensée de trisilylamine - Google Patents

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Matthew Damien STEPHENS
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L'air Liquide Societe Anonyme Pour I'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
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Abstract

La présente invention concerne un procédé par lots, en phase condensée, pour la synthèse de trisilylamine (TSA). Selon l'invention, un procédé de synthèse amélioré consiste à incorporer un solvant pour aider à favoriser une réaction en phase condensée entre de l'ammoniac gazeux (ou liquide) et du monochlorosilane (MCS) liquéfié, avec de bons rendements. Ce procédé favorise l'élimination de sous-produits résiduaires, avec un temps d'arrêt de réacteur faible à nul, une réduction sensible de la contamination par des matières solides en aval, et l'obtention d'un produit de pureté élevée provenant d'une distillation de première passe.
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