WO2014136557A1 - 流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造 - Google Patents

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    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus and the like, and a thermal sensor installation structure in the fluid control device, and more particularly, a fluid control device formed by integrating a plurality of fluid control devices and such a fluid.
  • the present invention relates to a structure for installing a thermal sensor in a control device.
  • a pipe or a joint is formed by arranging a line in which a plurality of fluid control devices are arranged adjacent to each other and attached to a support member in parallel on a base member. Integration which constitutes a fluid control device without going through is progressing, and a heating means may be provided for this (patent document 1).
  • a preferable sensor for this purpose is a thermal sensor.
  • the integrated fluid control device since a plurality of fluid control devices are arranged adjacent to each other, there is not enough space for installing the thermal sensor, and there is a problem that the installation is difficult.
  • An object of the present invention is to make it possible to install a thermal sensor for temperature management with simple construction by effectively using a space in the fluid control device, and a thermal sensor installation structure in the fluid control device. Is to provide.
  • a fluid control apparatus includes a first fluid control device and a second fluid control device that are adjacent to each other, and a thermal sensor that measures the temperature of the fluid flowing through the fluid passage of the first fluid control device.
  • the fluid control device further includes a support member that is attached to one of the first fluid control device and the second fluid control device and supports the thermal sensor.
  • the fluid control device is usually formed by a first fluid control device and a second fluid control device that are adjacent in series, and a plurality of fluid control devices such as third and fourth that are arranged in series in the fluid control device. It is assumed that a plurality of arranged lines are arranged in parallel.
  • the thermal sensor is, for example, a sensor that uses a thermoelectromotive force (Seebeck effect) generated by a temperature gradient between different metals.
  • Thermal sensors may be installed in all lines of the fluid control device, and may be installed in some lines.
  • the support member that supports the thermal sensor is attached to one of the first fluid control device and the second fluid control device.
  • the support member may be attached using the second fluid control device, but it is easier to attach the support member to the first fluid control device.
  • the support member may be attached using the first fluid control device.
  • the first fluid control device measured by the thermal sensor is, for example, a flow rate controller, but is not limited to this, and an on-off valve, a regulator, a filter, a passage block, etc. are appropriately measured by the thermal sensor.
  • the second fluid control device adjacent to the first fluid control device measured by the thermal sensor is, for example, an on-off valve.
  • a flow rate controller, a regulator, a filter, a passage block, and the like are appropriately provided as the first fluid control device.
  • the second fluid control device is adjacent to the fluid control device.
  • the first fluid control device controls a flow rate (such as a mass flow controller or a fluid variable flow control device), and the second fluid control device opens and closes the fluid passage of the first fluid control device.
  • a flow rate such as a mass flow controller or a fluid variable flow control device
  • An on-off valve is preferred.
  • the second fluid control device (open / close valve) preferably has a casing with a built-in open / close mechanism, and the support member is detachably attached to the casing from above the casing.
  • Fluid control devices that control the flow rate are the main fluid control devices arranged in one line, and there must be an on-off valve adjacent to this. Be placed. Therefore, the temperature of the fluid flowing through the fluid control device that controls the flow rate is measured, and the support member of the thermal sensor is installed using the on-off valve, so that the number of fluid control devices that constitute one line. Even when the type or type changes, it is possible to avoid changing the installation structure of the thermal sensor.
  • the first fluid control device (that is, the mass flow controller, the fluid variable flow control device, etc.) has a leak port, and the detection end of the thermal sensor is inserted into the leak port.
  • a leak port is used when testing for the presence or absence of leaks. By using this, the temperature of the fluid can be measured at a position close to the fluid without additional processing. Can be measured accurately.
  • thermal sensors can be used as long as the temperature can be measured by inserting the detection end of the thermal sensor into the leak port.
  • the support member includes an annular main body provided with a slit in one circumferential direction, and a pair of protrusions provided integrally with the main body so as to extend the slit provided in the main body radially outward.
  • the inner peripheral surface of the main body has a shape corresponding to the outer peripheral surface of the top wall of the casing.
  • the support member can be easily attached to the fluid control device.
  • One protrusion is provided with a screw insertion hole for inserting a support member male screw from a surface opposite to the surface facing the other protrusion, and the other protrusion is supported by It is preferable that the female screw portion to which the member male screw is screwed is provided so as to extend in the same direction as the screw insertion hole.
  • the width of the slit becomes narrow and the support member is fixed to the fluid control device, so that the support member can be easily attached to the fluid control device. it can.
  • the screw insertion hole and the female thread portion are inclined with respect to the upper surface of the top wall of the casing so that the screw insertion hole is on the upper side. It is preferable that
  • a thermal sensor installation structure for a fluid control device includes a flow rate controller that controls a flow rate, a casing that is disposed adjacent to the flow rate controller, and that has a built-in opening / closing mechanism.
  • the detection end of the thermal sensor can be inserted into a leak port provided in the flow controller.
  • the support member includes an annular main body provided with a slit in one circumferential direction, and a pair of protrusions provided integrally with the main body so as to extend the slit provided in the main body radially outward.
  • the inner peripheral surface of the main body has a shape corresponding to the outer peripheral surface of the top wall of the casing of the on-off valve.
  • One protrusion is provided with a screw insertion hole for inserting a support member male screw from a surface opposite to the surface facing the other protrusion, and the other protrusion is supported by It is preferable that the female screw portion to which the member male screw is screwed is provided so as to extend in the same direction as the screw insertion hole.
  • the screw insertion hole and the female thread portion are inclined so that the screw insertion hole is on the upper side, and the support member male screw is a hexagon socket head cap screw.
  • the first fluid control device further includes the support member that is attached to one of the first fluid control device and the second fluid control device and supports the thermal sensor.
  • the thermal sensor can be attached to either of them, and the support member that supports the thermal sensor can be attached to one of the fluid control devices (the fluid control device that is easier to install), and the space in the fluid control device can be used effectively.
  • a thermal sensor can be installed with simple construction.
  • thermal sensor installation structure for the fluid control device of the present invention since the support member that supports the thermal sensor is detachably attached to the casing of the on-off valve from above the casing, the space in the fluid control device is effectively used.
  • a thermal sensor can be installed with simple construction.
  • FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of a fluid control device and a structure for installing a thermal sensor in the fluid control device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the main part of FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the thermal sensor unit.
  • the on-off valve side in FIG. 1 is the front, and the flow rate controller side is the rear.
  • This top / bottom / front / rear is convenient, and the front / rear may be reversed or the top / bottom may be left / right.
  • FIG. 1 shows a part of two lines (2) of an integrated fluid control device (1) composed of a plurality of lines.
  • Each line (2) includes a flow controller (first fluid control device) (3) and an on-off valve (second fluid control device) that opens and closes the fluid passage (not shown) of the flow controller (3). ) (4), multiple fluid control devices (not shown) (other on-off valves, regulators, filters, etc.) and thermal sensor unit for managing the temperature of the fluid flowing through the fluid passage of the flow controller (3) (5).
  • the flow controller (3) is called a mass flow controller and consists of a main body (11) with a built-in flow rate adjusting function and front and rear extension passage blocks (12) and (13) that support it.
  • the overhang passage block (12) is provided with a leak port (12a) used in a leak test of the flow rate controller (3) so as to open upward.
  • the on-off valve (4) is an air operated valve and is provided above the main body (14) and a rectangular parallelepiped block-shaped main body (14) in which a passage communicating with the fluid passage of the flow rate controller (3) is formed. And a casing (15) containing an actuator (opening / closing mechanism).
  • the casing (15) has a top wall (15a), and a joint portion (16) for connecting a compressed air introduction pipe for introducing compressed air into the casing (15) is provided at the center of the top wall (15a). ) Is provided.
  • the top wall (15a) has a shape in which both sides of the disc are cut off.
  • the fluid passage of the flow controller (3) and the fluid passage of the on-off valve (4) are below these so as to span both the front overhang passage block (12) and the body (14) of the on-off valve (4).
  • the passage block (6) is provided for communication.
  • the front overhanging passage block (12) and the main body (14) of the on-off valve (4) are fixed to the passage block (6) by a hexagon socket bolt (7) from above.
  • the thermal sensor unit (5) includes a cord-shaped thermal sensor (17) having a detection end (17a) at the tip, a flange (18) passed through the thermal sensor (17), and an on-off valve (4). And a support member (19) that supports the thermal sensor (17).
  • the thermal sensor (17) is provided with a sheath thermocouple.
  • the flange (18) has a rectangular plate shape, and is a screw through which the sensor insertion hole (18a) through which the thermal sensor (17) is inserted and the male screw for flange (20) to which the flange (18) is screwed are inserted.
  • An insertion hole (18b) is provided.
  • the support member (19) extends an annular main body (21) provided with a slit (22) at one place in the circumferential direction and a slit (22) provided in the main body (21) outward in the radial direction. And a pair of protrusions (a first protrusion (23) and a second protrusion (24)) provided integrally with the main body (21).
  • the main body (21) has a short cylindrical surface on the outer peripheral surface (21a), and the inner peripheral surface (21b) has a shape corresponding to the outer peripheral surface of the top wall (15a) of the casing (15) (for example, both sides of the cylindrical surface are Flat surface). Since the main body (21) is provided with the slit (22), the main body (21) has elasticity in a direction in which the width of the slit (22) is widened or narrowed.
  • the first protrusion (23) has a screw insertion hole (26) for inserting the supporting member male screw (25) from the surface opposite to the surface facing the second protrusion (24). Is provided.
  • the second projecting portion (24) is provided with a female screw portion (27) to which the support member male screw (25) is screwed so as to extend in the same direction as the screw insertion hole (26).
  • the second projecting portion (24) is further provided with a female screw portion (28) extending upward.
  • the screw insertion hole (26) and the female thread portion (27) are perpendicular to the direction in which the slit (22) extends as viewed from above, but the horizontal plane (open / close
  • the lower surface of the valve (4), the upper surface of the top wall (15a) of the casing (15), etc.) are provided so that the screw insertion hole (26) is on the upper side.
  • the support member external thread (25) is a hexagon socket head cap screw and can be tightened using a tightening jig for the hexagon socket head cap screw.
  • the inner peripheral surface (21b) of the annular main body (21) of the support member (19) has a shape that can be loosely fitted to the outer peripheral surface of the top wall (15a) of the casing (15).
  • the male screw (25) By tightening the male screw (25), the width of the slit (22) is narrowed, whereby the support member (19) is fixed to the casing (15).
  • the opposing surfaces of the pair of protrusions (23) and (24) are provided with semicircular recesses (29) and (30) extending in the vertical direction, respectively, and these two recesses ( 29)
  • the thermal sensor (17) is inserted through the through hole portion formed by (30).
  • the flange (18) with the thermal sensor (17) inserted into the sensor insertion hole (18a) is tightened with the flange male screw (20) with the support member (19) not attached to the on-off valve (4).
  • the support member (19) to which the thermal sensor (17) is attached is fitted onto the casing (15) from above, and in this state, the detection end (17a) of the thermal sensor (17) is connected to the leak port (12a).
  • the support member external thread (25) is tightened.
  • the screw insertion hole (26) and the female thread part (27) are inclined, so that the work from above the top wall (15a) of the casing (15) can be performed.
  • the support member (19) can be attached while avoiding interference with the top wall (15a) of the adjacent on-off valve (4) and the thermal sensor unit (5).
  • the thermal sensor unit (5) is detachably attached to the on-off valve (4).
  • the detection end (17a) of the thermal sensor (17) is preferable to arrange the detection end (17a) of the thermal sensor (17) as close as possible to the fluid.
  • the leak port (12a) provided in the overhanging block (12) of the flow rate controller (3) the temperature can be accurately measured.
  • the thermal sensor (17) When using the leak port (12a), the thermal sensor (17) is inserted using the hexagon socket bolt (7) that secures the overhanging passage block (12) on the front side to the passage block (6). It is also possible to fix the flange (18) to the front extension passage block (12), but in this case, it is necessary to remove the flow controller (3) when attaching or detaching the thermal sensor (17). The line was opened to the atmosphere, and there was a problem that it took much time to attach and detach the thermal sensor (17).
  • the thermal sensor unit (5) can be attached and detached without affecting the function of the fluid control device (1). Moreover, because the thermal sensor unit (5) is fixed using the on-off valve (4), the space existing in the fluid control device (1) is effectively used, and the hose is spatially used. Even when it is difficult to attach the thermal sensor (17) using the band, the thermal sensor unit (5) can be installed.
  • the mass flow controller is exemplified as the flow rate controller (3), but a fluid variable flow rate control device may be used as the flow rate controller (3).
  • a fluid variable flow rate control device may be used as the flow rate controller (3).
  • other two fluid control devices adjacent to each other can be used.
  • the shape of the inner peripheral surface of the main body of the support member is appropriately changed according to the shape of the fluid control device to which the support member is attached.
  • the outer peripheral surface shape of the main body of the support member may be a circumferential surface (cylindrical shape) as described above, or may be a rectangular tube shape.
  • the thermal sensor can be easily installed in the fluid control device used in the semiconductor manufacturing apparatus or the like, the control accuracy of the fluid control device can be improved and its application can be expanded.

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Abstract

　流体制御装置にあるスペースを効果的に使用して、簡単な施工で温度管理のためのサーマルセンサを設置することができる流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造を提供する。　流体制御装置1は、互いに隣り合う第１の流体制御機器3および第２の流体制御機器4と、第１の流体制御機器3内を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサ17とを備えている。流体制御装置1は、第２の流体制御機器4に取り付けられてサーマルセンサ17を支持する支持部材19をさらに備えている。

Description

流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造
　この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造に関し、特に、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置およびそのような流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造に関する。
　半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられたラインをベース部材上に並列状に設置することにより、パイプや継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでおり、これには、加熱手段が設けられることもある（特許文献１）。
　このような流体制御装置では、温度管理の必要があり、そのための好ましいセンサとしては、サーマルセンサがある。
特開２００６－３４９０７５号公報
　集積化された流体制御装置によると、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されていることから、サーマルセンサを設置するための十分なスペースが無く、設置が困難という問題があった。
　この発明の目的は、流体制御装置にあるスペースを効果的に使用して、簡単な施工で温度管理のためのサーマルセンサを設置することができる流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造を提供することにある。
　この発明による流体制御装置は、互いに隣り合う第１の流体制御機器および第２の流体制御機器と、第１の流体制御機器の流体通路を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサとを備えている流体制御装置であって、第１の流体制御機器および第２の流体制御機器のいずれか一方に取り付けられてサーマルセンサを支持する支持部材をさらに備えていることを特徴とするものである。
　流体制御装置は、通常、直列状に隣り合う第１の流体制御機器および第２の流体制御機器と、これらに直列状に配置された第３、第４などの複数の流体制御機器とによって形成されたラインが複数並列状に配置されたものとされる。
　サーマルセンサは、例えば、異種金属間における温度勾配により発生する熱起電力（ゼーベック効果）を利用したセンサとされる。サーマルセンサは、流体制御装置の全てのラインに設置されることがあり、一部のラインに設置されることがある。
　サーマルセンサを支持する支持部材は、第１の流体制御機器および第２の流体制御機器のいずれか一方に取り付けられる。サーマルセンサが第１の流体制御機器に取り付けられている場合に、支持部材は、第２の流体制御機器を利用して取り付ければよいが、第１の流体制御機器に取り付ける方が容易である場合には、支持部材は、第１の流体制御機器を利用して取り付けるようにしてもよい。これにより、流体制御装置にあるスペースを効果的に使用して、かつ、簡単な施工でサーマルセンサを設置することができる。
　サーマルセンサによって測定される第１の流体制御機器は、例えば、流量制御器とされるが、これに限定されるものではなく、開閉弁、レギュレータ、フィルター、通路ブロックなどが適宜サーマルセンサによって測定される第１の流体制御機器とされる。そして、このサーマルセンサによって測定される第１の流体制御機器に隣り合う第２の流体制御機器は、例えば、開閉弁とされるが、流量制御器、レギュレータ、フィルター、通路ブロックなどが適宜第１の流体制御機器に隣り合う第２の流体制御機器とされる。
　第１の流体制御機器は、流量を制御するもの（マスフローコントローラまたは流体可変型流量制御装置など）であり、第２の流体制御機器は、第１の流体制御機器の流体通路の遮断開放を行う開閉弁であることが好ましい。
　第２の流体制御機器（開閉弁）は、開閉機構を内蔵するケーシングを有しており、支持部材は、ケーシングにケーシング上方から着脱可能に取り付けられていることが好ましい。
　流量を制御する流体制御機器（すなわち、マスフローコントローラ、流体可変型流量制御装置など）は、１つのラインに１つ配置される主要な流体制御機器であり、これに隣り合うように開閉弁が必ず配置される。そこで、流量を制御する流体制御機器を流れる流体の温度を測定するようにするとともに、開閉弁を利用してサーマルセンサの支持部材を設置することで、１つのラインを構成する流体制御機器の数や種類が変化する場合でも、サーマルセンサの設置構造を変更せずに済むものとできる。
　第１の流体制御機器（すなわち、マスフローコントローラ、流体可変型流量制御装置など）は、リークポートを有しており、サーマルセンサの検出端部が該リークポートに差し込まれていることが好ましい。
　リークポートは、漏れの有無のテストを行う際に使用されるもので、これを利用することで、追加の加工を行うことなく、流体に近い位置で流体の温度を測定することができ、流体の温度を正確に測定することができる。
　サーマルセンサは、その検出端部をリークポートに挿入して温度を計測することができるものであれば、種々の形式のものを使用することができる。
　支持部材は、周方向の１カ所にスリットが設けられた環状の本体と、本体に設けられたスリットを径方向外方に延長するように本体に一体に設けられた１対の突出部とからなり、本体内周面は、ケーシングの頂壁の外周面に対応する形状とされていることが好ましい。
　このようにすると、支持部材の流体制御機器への取付けを容易に行うことができる。
　一方の突出部には、他方の突出部に対向している面の反対側の面から支持部材用おねじを挿通するためのねじ挿通孔が設けられており、他方の突出部には、支持部材用おねじがねじ合わされるめねじ部がねじ挿通孔と同じ方向にのびるように設けられていることが好ましい。
　このようにすると、支持部材用おねじを締め付けることで、スリットの幅が狭くなって、支持部材が流体制御機器に固定されるので、支持部材の流体制御機器への取付けを容易に行うことができる。
　ねじ挿通孔およびめねじ部は、ケーシングの頂壁の上面を基準にして、ねじ挿通孔の方が上方にあるように傾斜して設けられており、支持部材用おねじは、六角孔付きボルトとされていることが好ましい。
　集積化された流体制御装置では、複数のラインが並列状に設置されているため、作業スペースを確保することが難しいが、ねじ挿通孔（これに伴ってめねじ部も）を傾斜させることで、ケーシングの頂壁上方にあるスペースの利用が可能となり、ケーシングや支持部材などとの干渉を避けて支持部材の取付けをすることができる。
　この発明による流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造は、流量を制御する流量制御器と、流量制御器に隣り合って配置され、開閉機構を内蔵するケーシングを有し、流量制御器の流体通路の遮断開放を行う開閉弁と、を備えている流体制御装置に、流量制御器の流体通路を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサを設置するためのサーマルセンサ設置構造であって、サーマルセンサを支持する支持部材を備えており、支持部材が開閉弁のケーシングにケーシング上方から着脱可能に取り付けられることを特徴とするものである。
　サーマルセンサの検出端部は、流量制御器に設けられたリークポートに差し込み可能とされていることが好ましい。
　支持部材は、周方向の１カ所にスリットが設けられた環状の本体と、本体に設けられたスリットを径方向外方に延長するように本体に一体に設けられた１対の突出部とからなり、本体内周面は、開閉弁のケーシングの頂壁の外周面に対応する形状とされていることが好ましい。
　一方の突出部には、他方の突出部に対向している面の反対側の面から支持部材用おねじを挿通するためのねじ挿通孔が設けられており、他方の突出部には、支持部材用おねじがねじ合わされるめねじ部がねじ挿通孔と同じ方向にのびるように設けられていることが好ましい。
　ねじ挿通孔およびめねじ部は、ねじ挿通孔の方が上方にあるように傾斜して設けられており、支持部材用おねじは、六角孔付きボルトとされていることが好ましい。
　この発明の流体制御装置によると、第１の流体制御機器および第２の流体制御機器のいずれか一方に取り付けられてサーマルセンサを支持する支持部材をさらに備えているので、第１の流体制御機器にサーマルセンサを取り付けるとともに、サーマルセンサを支持する支持部材をいずれか一方の流体制御機器（取付けが容易な方の流体制御機器）に取り付ければよく、流体制御装置にあるスペースを効果的に使用して、かつ、簡単な施工でサーマルセンサを設置することができる。
　この発明の流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造によると、サーマルセンサを支持する支持部材が開閉弁のケーシングにケーシング上方から着脱可能に取り付けられるので、流体制御装置にあるスペースを効果的に使用して、かつ、簡単な施工でサーマルセンサを設置することができる。
図１は、この発明による流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造の１実施形態の斜視図である。 図２は、図１の要部の平面図である。 図３は、図２のIII-III線に沿う断面図である。 図４は、サーマルセンサユニットの分解斜視図である。
(1)：流体制御装置、(3)：流量制御器（第１の流体制御機器）、(4)：開閉弁（第２の流体制御機器）、(12a)：リークポート、(15)：ケーシング、(15a)：頂壁、(17)：サーマルセンサ、(17a)：検出端部、(19)：支持部材、(21)：本体、(21b)：内周面、(22)：スリット、(23)：第１の突出部、(24)：第２の突出部、(25)：支持部材用おねじ、(26)：ねじ挿通孔、(27)：めねじ部
　この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の上下を上下というものとする。また、図１における開閉弁側を前、流量制御器側を後というものとする。この上下・前後は便宜的なもので、前後が逆になったり、上下が左右になったりして使用されることもある。
　図１には、複数のラインからなる集積化流体制御装置(1)のうちの２つのライン(2)の一部を示している。
　各ライン(2)は、流量制御器（第１の流体制御機器）(3)と、流量制御器(3)の流体通路（図示略）の遮断開放を行う開閉弁（第２の流体制御機器）(4)と、図示を省略した複数の流体制御機器（別の開閉弁、レギュレータ、フィルタなど）と、流量制御器(3)の流体通路を流れる流体の温度を管理するためのサーマルセンサユニット(5)とを備えている。
　流量制御器(3)は、マスフローコントローラと称されているもので、流量の調整機能を内蔵する本体(11)と、これを支持する前後の張出し通路ブロック(12)(13)とからなる。張出し通路ブロック(12)には、流量制御器(3)の漏れ試験で使用されるリークポート(12a)が上方に開口するように設けられている。
　開閉弁(4)は、エアオペレートバルブで、流量制御器(3)の流体通路に連通する通路が形成されている直方体ブロック状の本体(14)と、本体(14)の上方に設けられてアクチュエータ（開閉機構）を内蔵するケーシング(15)とを備えている。
　ケーシング(15)は、頂壁(15a)を有しており、頂壁(15a)の中央部には、ケーシング(15)内部に圧縮空気を導入する圧縮空気導入管を接続する継手部(16)が設けられている。頂壁(15a)は、円板の両側が切り落とされた形状とされている。
　流量制御器(3)の流体通路と開閉弁(4)の流体通路とは、前側の張出し通路ブロック(12)および開閉弁(4)の本体(14)の両方にまたがるようにこれらの下方に設けられた通路ブロック(6)によって連通されている。前側の張出し通路ブロック(12)および開閉弁(4)の本体(14)は、上方からの六角孔付きボルト(7)によって通路ブロック(6)に固定されている。
　サーマルセンサユニット(5)は、先端に検出端部(17a)を有するコード状とされたサーマルセンサ(17)と、サーマルセンサ(17)に通されたフランジ(18)と、開閉弁(4)に取り付けられてサーマルセンサ(17)を支持する支持部材(19)とを備えている。
　サーマルセンサ(17)は、シース熱電対を備えたものとされている。
　フランジ(18)は、方形板状のもので、サーマルセンサ(17)が挿通されるセンサ挿通孔(18a)と、フランジ(18)をねじ止めするフランジ用おねじ(20)が挿通されるねじ挿通孔(18b)とが設けられている。
　支持部材(19)は、周方向の１カ所にスリット(22)が設けられた環状の本体(21)と、本体(21)に設けられたスリット(22)を径方向外方に延長するように本体(21)に一体に設けられた１対の突出部（第１の突出部(23)および第２の突出部(24)）とからなる。
　本体(21)は、外周面(21a)が短円筒面とされ、内周面(21b)は、ケーシング(15)の頂壁(15a)の外周面に対応する形状（例えば円筒面の両側が平坦面とされた形状）とされている。本体(21)は、スリット(22)が設けられていることで、スリット(22)の幅が広げられる方向または狭められる方向の弾性を有している。
　第１の突出部(23)には、第２の突出部(24)に対向している面の反対側の面から支持部材用おねじ(25)を挿通するためのねじ挿通孔(26)が設けられている。第２の突出部(24)には、支持部材用おねじ(25)がねじ合わされるめねじ部(27)がねじ挿通孔(26)と同じ方向にのびるように設けられている。第２の突出部(24)には、上方にのびるめねじ部(28)がさらに設けられている。
　ねじ挿通孔(26)およびめねじ部(27)は、図３によく示されているように、上方から見て、スリット(22)ののびる方向に対して直交しているが、水平面（開閉弁(4)の下面、ケーシング(15)の頂壁(15a)の上面など）を基準にした場合には、ねじ挿通孔(26)の方が上方にあるように傾斜して設けられている。支持部材用おねじ(25)は、六角孔付きボルトとされており、六角孔付きボルト用の締付け治具を使用して締め付けることができる。
　支持部材(19)の環状の本体(21)の内周面(21b)は、ケーシング(15)の頂壁(15a)の外周面に緩く嵌め合わせることができる形状とされており、支持部材用おねじ(25)を締め付けることで、スリット(22)の幅が狭められ、これにより、支持部材(19)がケーシング(15)に固定される。
　１対の突出部(23)(24)の互いに対向している面には、上下方向にのびる断面半円形の凹所(29)(30)がそれぞれ設けられており、これら２つの凹所(29)(30)によって形成された貫通孔状部分にサーマルセンサ(17)が挿通されている。支持部材(19)をケーシング(15)に固定するために、支持部材用おねじ(25)を締め付けると、凹所(29)(30)同士が接近し、２つの凹所(29)(30)によってサーマルセンサ(17)が挟持される。
　センサ挿通孔(18a)にサーマルセンサ(17)が挿通されたフランジ(18)は、支持部材(19)が開閉弁(4)に取り付けられていない状態で、フランジ用おねじ(20)を締め付けることで、支持部材(19)に取り付けられる。サーマルセンサ(17)が取り付けられた支持部材(19)は、ケーシング(15)に上方から嵌め合わせられ、この状態で、サーマルセンサ(17)の検出端部(17a)がリークポート(12a)に差し込まれ、この後、支持部材用おねじ(25)が締め付けられる。支持部材用おねじ(25)の締付けに際しては、ねじ挿通孔(26)およびめねじ部(27)が傾斜していることで、ケーシング(15)の頂壁(15a)の上方からの作業が可能であり、隣の開閉弁(4)の頂壁(15a)およびサーマルセンサユニット(5)との干渉を避けて支持部材(19)の取付けをすることができる。こうして、サーマルセンサユニット(5)が着脱可能に開閉弁(4)に取り付けられる。
　流体（ガス）の温度を測定するには、その流体に可能な限り近い場所にサーマルセンサ(17)の検出端部(17a)を配置することが好ましい。流量制御器(3)の張出しブロック(12)に設けられたリークポート(12a)を利用することで、精度よく温度を測定することができる。
　リークポート(12a)を利用する場合に、前側の張出し通路ブロック(12)を通路ブロック(6)に固定している六角孔付きボルト(7)を使用して、サーマルセンサ(17)が挿通されたフランジ(18)を前側の張出し通路ブロック(12)に固定することも可能であるが、この場合には、サーマルセンサ(17)の着脱時に流量制御器(3)を取り外す必要があり、そのため、ラインが大気開放されることになって、サーマルセンサ(17)の着脱に非常に手間がかかるという問題があった。
　上記の実施形態では、流量制御器(3)を取り外す必要はなく、流体制御装置(1)の機能に影響を及ぼすことなく、サーマルセンサユニット(5)の着脱ができる。しかも、開閉弁(4)を使用してサーマルセンサユニット(5)を固定していることで、流体制御装置(1)に存在しているスペースが効果的に利用されており、スペース的にホースバンドを使用してサーマルセンサ(17)を取り付けることが困難な場合であっても、サーマルセンサユニット(5)の設置が可能である。
　なお、上記において、流量制御器(3)として、マスフローコントローラを例示したが、流量制御器(3)として、流体可変型流量制御装置を使用してもよい。また、流量制御器(3)および開閉弁(4)を使用してサーマルセンサユニット(5)を設置するのに代えて、互いに隣り合う他の２つの流体制御機器を使用することもできる。この場合、支持部材の本体の内周面形状は、支持部材が取り付けられる流体制御機器の形状に応じて適宜変更される。支持部材の本体の外周面形状は、上記のように円周面（円筒状）であってもよいし、角筒状であってもよい。
　この発明によると、半導体製造装置等に使用される流体制御装置にサーマルセンサを容易に設置できるので、流体制御装置の制御精度が向上し、その用途を広げることができる。

Claims (12)

  1. 　互いに隣り合う第１の流体制御機器および第２の流体制御機器と、第１の流体制御機器の流体通路を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサとを備えている流体制御装置であって、
    　第１の流体制御機器および第２の流体制御機器のいずれか一方に取り付けられてサーマルセンサを支持する支持部材をさらに備えていることを特徴とする流体制御装置。
  2. 　第１の流体制御機器は、流量を制御するものであり、第２の流体制御機器は、第１の流体制御機器の流体通路の遮断開放を行う開閉弁であることを特徴とする請求項１の流体制御装置。
  3. 　第２の流体制御機器は、開閉機構を内蔵するケーシングを有しており、支持部材は、ケーシングにケーシング上方から着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項２の流体制御装置。
  4. 　第１の流体制御機器は、リークポートを有しており、サーマルセンサの検出端部が該リークポートに差し込まれていることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の流体制御装置。
  5. 　支持部材は、周方向の１カ所にスリットが設けられた環状の本体と、本体に設けられたスリットを径方向外方に延長するように本体に一体に設けられた１対の突出部とからなり、本体内周面は、ケーシングの頂壁の外周面に対応する形状とされていることを特徴とする請求項３の流体制御装置。
  6. 　一方の突出部には、他方の突出部に対向している面の反対側の面から支持部材用おねじを挿通するためのねじ挿通孔が設けられており、他方の突出部には、支持部材用おねじがねじ合わされるめねじ部がねじ挿通孔と同じ方向にのびるように設けられている請求項５の流体制御装置。
  7. 　ねじ挿通孔およびめねじ部は、ケーシングの頂壁の上面を基準にして、ねじ挿通孔の方が上方にあるように傾斜して設けられており、支持部材用おねじは、六角孔付きボルトとされていることを特徴とする請求項６の流体制御装置。
  8. 　流量を制御する流量制御器と、流量制御器に隣り合って配置され、開閉機構を内蔵するケーシングを有し、流量制御器の流体通路の遮断開放を行う開閉弁と、を備えている流体制御装置に、流量制御器の流体通路を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサを設置するためのサーマルセンサ設置構造であって、
    　サーマルセンサを支持する支持部材を備えており、支持部材が開閉弁のケーシングにケーシング上方から着脱可能に取り付けられることを特徴とする流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造。
  9. 　サーマルセンサの検出端部は、流量制御器に設けられたリークポートに差し込み可能とされていることを特徴とする請求項８の流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造。
  10. 　支持部材は、周方向の１カ所にスリットが設けられた環状の本体と、本体に設けられたスリットを径方向外方に延長するように本体に一体に設けられた１対の突出部とからなり、本体内周面は、開閉弁のケーシングの頂壁の外周面に対応する形状とされていることを特徴とする請求項８または９の流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造。
  11. 　一方の突出部には、他方の突出部に対向している面の反対側の面から支持部材用おねじを挿通するためのねじ挿通孔が設けられており、他方の突出部には、支持部材用おねじがねじ合わされるめねじ部がねじ挿通孔と同じ方向にのびるように設けられている請求項１０の流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造。
  12. 　ねじ挿通孔およびめねじ部は、ねじ挿通孔の方が上方にあるように傾斜して設けられており、支持部材用おねじは、六角孔付きボルトとされていることを特徴とする請求項１１の流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造。
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