JP2016180483A - 流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば特許文献1では、弁箱内で弁座に対して閉鎖部材をほぼ垂直方向へ開閉移動可能に設けて、その閉鎖部材にアクチュエータの開閉用移動部材を直列に連結し、上記の閉鎖部材の開閉状態を表示する表示器を上記アクチュエータのハウジングに支持可能に構成し、その表示器を、上記の移動部材の直線方向の移動量を検出する検出子と、上記ハウジングの外側空間に設けた表示具と、上記の検出子の検出量を上記の表示具へ伝達する伝達手段とによって構成したことを特徴とする開閉表示機能付きバルブが提案されている。
また、上記特許文献1記載の開閉表示機能付きバルブでは、アクチュエータ内で検出子が摺動するため、高い清浄度が求められるクリーンルーム内での使用には適さない。
図1及び図2に示されるように、本実施形態に係る流体制御装置1は、エアオペレートバルブ2と検知装置3とからなる。
なお、図1は、検知装置3をエアオペレートバルブ2上に載置する前の状態を示し、図2は、検知装置3をエアオペレートバルブ2上に載置した状態を示している。
一方、駆動圧導入室にエアが導入されなくなると、ピストンが付勢部材の付勢力に従って下方に押し下げられ、ダイヤフラムがシートに当接する。これによりバルブ本体21は閉弁した状態となって、流体の流通が遮断される。
本例における検知装置3は、エアオペレートバルブ2のアクチュエータ22の上面に検知装置3を載置した状態を示す図3のとおり、内部に貫通孔3bが設けられたリング状の外観形状を有しており、この貫通孔3bにより、エアオペレートバルブ2の上面側に設けられている呼吸口2bに干渉しないようになっている。もっとも、エアオペレートバルブ2の構成によってはアクチュエータ22の上面に呼吸口2bが形成されていない場合もあり、特にそのような場合には、検知装置3が本例のようなリング形状である必要はなく、また貫通孔3bを設ける必要もない。
なお、ここで予め設定される閾値は、バルブ本体21が開弁又は閉弁するときに、駆動圧導入室内あるいは圧力検出室311内において検出されるエアの圧力の検出値である。
また、流体通路211の開閉状態の表示については、圧力検出部31による圧力の検出値が所定の閾値を超えている場合に、ディスプレイ331上に流体通路211が開放されている旨が表示されると共に、当該検出値が所定の閾値を下回っている場合に、ディスプレイ331上に流体通路211が閉じている旨が表示されるが、流体通路211の開閉状態が切り替わったときにだけ、その旨を表示させるようにすることもできる。
この外部供給路4は、一端がエア供給源と連結し、他端が二股に分岐した基本供給路41、基本供給路41の他端からエアオペレートバルブ2側に分岐したバルブ側供給路42、及び基本供給路41の他端から検知装置3側に分岐した検知装置側供給路43を有している。
さらに、バルブ側供給路42は、一端側に取り付けられたワンタッチ継手421によってエアオペレートバルブ2の駆動圧導入口2aに連結し、検知装置側供給路43は、一端側に取り付けられたワンタッチ継手431によって検知装置3の駆動圧導入口3aに連結している。
そして、基本供給路41から分岐するバルブ側供給路42と検知装置側供給路43の内部は分岐箇所で連通しており、駆動圧導入室と圧力検出室311内のエアの圧力は同圧力に保持されている。これにより、圧力検出室311内のエアの圧力に基づき、駆動圧導入室内のエアの圧力を検出することが可能となっている。
流体制御装置1は、所定の操作に応じて流体通路211の開閉動作を繰り返すが、ここではまず、エアオペレートバルブ2の駆動圧導入室内にエアが導入されておらず、流体通路211が閉じている状態から開放された状態に至る流れから説明する。
これと同時に検知装置3の圧力検出室311にも、エア供給源から基本供給路41と検知装置側供給路43を介してエアが導入される。
これに応じて出力部33は、ディスプレイ331上に、流体通路211が開放された旨を表示する。
これと同時に検知装置3の圧力検出室311においても、エア供給源から基本供給路41と検知装置側供給路43を介して導入されていたエアの供給が止まり、圧力が減じる。
これに応じて出力部33は、ディスプレイ331上に、流体通路211が閉じた旨を表示する。
また、流体制御装置1は、外部供給路4において連通する駆動圧導入室内のエアの圧力を検出し、これにより流体通路211の開閉状態を判別するため、クリーンルームに求められる高い清浄度を損なうこともない。
2 エアオペレートバルブ
2a 駆動圧導入口
2b 呼吸口
21 バルブ本体
211 流体通路
211a 流体流入路
211b 流体流出路
22 アクチュエータ
3 検知装置
3a 駆動圧導入口
3b 貫通孔
31 圧力検出部
311 圧力検出室
312 感圧素子
313 変換素子
32 開閉判別部
33 出力部
331 ディスプレイ
4 外部供給路
41 基本供給路
42 バルブ側供給路
421 ワンタッチ継手
43 検知装置側供給路
431 ワンタッチ継手
Claims (4)
- 外部供給路を介して導入される駆動圧によって流体通路を開閉するエアオペレートバルブと、
上記エアオペレートバルブの流体通路の開閉状態を検知する検知装置と、からなる流体制御装置であって、
上記検知装置は、
上記外部供給路に連通して取り付けられ、
上記エアオペレートバルブ内の駆動圧導入室に駆動圧が導入されるのに応じて、当該駆動圧導入室の内部の駆動圧の圧力を検出する圧力検出手段と、
上記検出された圧力に基づき、上記流体通路の開閉状態を判別する開閉判別手段と、を有する、
ことを特徴とする流体制御装置。 - 上記検知装置は、
上記外部供給路から分岐して取り付けられ、
上記圧力検出手段は、
上記外部供給路から分岐して導入されると共に、上記駆動圧導入室と同圧力に保持された駆動圧の圧力を検出する、
請求項1記載の流体制御装置。 - 上記圧力検出手段は、
上記外部供給路から分岐して供給された駆動圧が導入される圧力検出室と、
上記駆動圧導入室内と同圧力に保持された上記圧力検出室内の圧力変化を検出する感圧素子と、
上記感圧素子による駆動圧の圧力変化の検出値を電気信号に変換する変換素子と、から構成される、
請求項2記載の流体制御装置。 - 上記流体通路の開閉状態の判別結果を出力する出力手段、をさらに有する、
請求項1乃至3いずれかの項に記載の流体制御装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015062080A JP6564213B2 (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 流体制御装置 |
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2015
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