WO2014087548A1 - Method of moving holding means, electronic component holding device, and electronic component conveyance device - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method measuring the amount a suction nozzle moves when transferring an electronic component to a unit, an electronic component holding device utilizing this method, and an electronic component conveyance device provided therewith. Rotation of a forward and backward drive motor (50) exerts a propulsive force on a suction nozzle (30) through a rod (42). A voice coil motor (47) imparts to the rod (37) an opposing pushing force identical to the resistance received by the rod (42) against the propulsive force of the suction nozzle (30), and changes in behavior of the voice coil motor (47) are detected that are caused by contact between the suction nozzle (30) and the electronic component (D) for transfer. The amount the suction nozzle (30) moves before detection of a behavior change in the voice coil motor (47) is measured.

Description

保持手段の移動方法、電子部品保持装置、及び電子部品搬送装置Method of moving holding means, electronic component holding device, and electronic component conveying device
　本発明は、電子部品を受け渡す保持手段の移動方法、その方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置に関する。 The present invention relates to a moving method of holding means for delivering an electronic component, an electronic component holding device using the method, and an electronic component conveying device including the same.
　電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタやＬＥＤや集積回路が挙げられ、電子部品としては、抵抗やコンデンサ等が挙げられる。この電子部品は、一般的に、搬送経路上を保持手段に保持されつつ搬送される。搬送経路上には、工程処理を施す各種の工程処理装置が並んでおり、保持手段は、それぞれが備えるステージに下降し、電子部品をステージに離脱させ、工程処理が終了するとステージから電子部品をピックアップして、次の工程処理へ搬送する。工程処理としては、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の前工程の処理、デバイスの電気特性測定、分類、マーキング、外観検査、梱包等の後工程の処理が挙げられる。また、これら各工程処理のための位置決め処理も工程処理に含まれる。 Electronic parts are parts used in electrical products and include semiconductor elements. Examples of semiconductor elements include transistors, LEDs, and integrated circuits, and examples of electronic components include resistors and capacitors. This electronic component is generally transported while being held by a holding means on the transport path. Various process processing devices that perform process processing are lined up on the conveyance path, and the holding means descends to the stage included in each, and the electronic component is detached from the stage. When the process processing is completed, the electronic component is removed from the stage. Pick up and transport to next process. Examples of the process include pre-processes such as dicing, mounting, bonding, and sealing, and post-process processes such as device electrical property measurement, classification, marking, appearance inspection, and packing. Further, the positioning process for each process is included in the process.
　各工程処理装置は、電子部品を載置するステージを有する。工程処理を電子部品に対して施すためには、保持手段のステージやステージに載置された電子部品に対する下降位置を、精度良く定めることが必要である。 Each process processing device has a stage on which electronic components are placed. In order to perform the process on the electronic component, it is necessary to accurately determine the stage of the holding unit and the lowered position with respect to the electronic component placed on the stage.
　例えば特許文献１では、保持手段の電子部品に対する下降位置を次のようにして測定している。すなわち、真空吸引回路を介して吸着ノズルに負圧を与えながら当該吸着ノズルを計測テーブルや基板に向けて降下させていき、その真空吸引回路内を流れる空気流量に基づき吸着ノズルがステージやステージに載置された電子部品に当接することを判定して高さ位置情報を求めている。 For example, in Patent Document 1, the lowered position of the holding means with respect to the electronic component is measured as follows. That is, while applying a negative pressure to the suction nozzle through the vacuum suction circuit, the suction nozzle is lowered toward the measurement table or substrate, and the suction nozzle is moved to the stage or stage based on the air flow rate flowing through the vacuum suction circuit. Height position information is obtained by determining contact with the placed electronic component.
特許第３８４６２６２号公報Japanese Patent No. 3846262
　下降位置を求める際に、実際にノズルを降下させてノズルの先端と電子部品とが実際に当接を確認する場合、ノズルの先端と電子部品との当接により、ノズルの先端部から電子部品に対して圧力が加わる。一方、ノズルの先端部に対しては、電子部品からの反作用の力が加わる。外力の影響を受けやすい電子部品の場合、ノズルの先端部から大きな外力が加わることで、変形やクラックの発生などの問題点があった。 When determining the lowered position, if the nozzle tip is actually lowered and the tip of the nozzle and the electronic component are actually in contact with each other, the electronic component from the tip of the nozzle is brought into contact with the tip of the nozzle and the electronic component. Pressure is applied to. On the other hand, reaction force from the electronic component is applied to the tip of the nozzle. In the case of an electronic component that is easily affected by external force, there is a problem such as deformation and occurrence of cracks when a large external force is applied from the tip of the nozzle.
　本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の受け渡しを行う保持手段の移動方法、その方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems of the prior art, and includes a method for moving a holding means for delivering electronic components, an electronic component holding device using the method, and a method therefor. Another object is to provide an electronic component conveying apparatus.
　上記のような課題を解決するために本発明は、電子部品を保持する電子部品保持装置の保持手段の移動方法であって、前記保持手段の到達地点を予め測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する測定ステップと、前記電子部品保持装置を稼動させて、前記測定ステップで測定された到達地点に基づく到達地点情報を用いて、前記保持手段の移動を行う移動制御ステップと、を含み、前記電子部品保持装置には、ボイスコイルモータに接続されたロッドと、前記ロッドを介して前記保持手段に推進力を与えて前記電子部品に到達させる進退駆動用モータと、を設けておき、前記測定ステップでは、前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが前記保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが前記ボイスコイルモータに沈みこもうとする力を、前記ボイスコイルモータによる対抗推力で阻止し、前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出し、前記相対的な浮き上がりを検出した地点を到達地点とし、到達地点に関する位置情報を到達地点情報として記憶し、前記移動制御ステップでは、その到達地点情報に基づいて前記保持手段を移動させること、を特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the present invention is a method of moving a holding unit of an electronic component holding device that holds an electronic component, and the destination of the holding unit is measured in advance, and the arrival based on the destination A measurement step for storing point information; and a movement control step for operating the electronic component holding device to move the holding means using the arrival point information based on the arrival point measured in the measurement step. The electronic component holding device includes a rod connected to a voice coil motor, and an advancing / retracting drive motor that applies a driving force to the holding means via the rod to reach the electronic component. In the measuring step, when the holding means has not reached the electronic component, the forward / backward driving motor applies a propulsive force to the holding means, whereby the rod is A force to sink into the coil motor is blocked by a counter thrust by the voice coil motor, and a relative lift between the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component is prevented. Detecting and detecting the relative lift as a destination, storing position information about the destination as destination information, and in the movement control step, moving the holding means based on the destination information It is characterized by.
　前記電子部品保持装置は、前記保持手段の電子部品と当接する部分にラバーコレットを更に設けても良い。 The electronic component holding device may further include a rubber collet at a portion of the holding means that contacts the electronic component.
　計測手段により、前記保持手段の現在位置を計測し、この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較し、前記保持手段を移動開始させ、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記保持手段を停止させても良い。 The measuring means measures the current position of the holding means, sequentially compares the current position information related to the current position and the arrival point information, starts moving the holding means, the current position information and the arrival point information, If they match, the holding means may be stopped.
　前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶し、前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成し、前記計測手段が計測した前記現在位置情報を、前記変異点情報及び前記到達地点情報とそれぞれを逐次比較し、前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させ、一方、前記現在位置情報と前記変異点情報とが一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると前記保持手段を停止させることもできる。 The initial speed information related to the initial moving speed of the advance / retreat driving motor and the next speed information related to the next speed information are stored in advance, and the mutation point information related to the movement distance to the mutation point is generated based on the arrival point information. The current position information measured by the measuring means is sequentially compared with the mutation point information and the arrival point information, respectively, and the holding means starts moving at a speed based on initial speed information, while the current position information And the variation point information match, the speed is changed based on the next speed information, and the holding means can be stopped if the current position information and the arrival point information match.
　一または複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶させることもできる。 A table on which one or a plurality of the holding means are arranged, and a conveyance motor that intermittently rotates the table at a predetermined angle, and the holding means stops at a stop position where the advance / retreat driving motor is provided. The destination information can be stored in association with information for identifying each holding means.
　前記移動位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有するので保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶させることもできる。 Since the moving device has other devices that deliver electronic components, the holding means is positioned one by one so as to face the holding means, and the arrival point information is the holding means facing each other and the other holding means. Information for identifying a combination of means and information indicating the movement position may be stored in association with each other.
　前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータの回転数を示す回転速度情報であり、前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータの回転量を示す回転量情報とすることもできる。 The initial speed information and the next speed information are rotation speed information indicating the number of rotations of the forward / backward drive motor, and the arrival point information, the current position information, and the mutation point information indicate the rotation amount of the forward / backward drive motor. The rotation amount information shown can also be used.
　前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数であり、前記回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数とすることもできる。 The rotation speed information may be a pulse frequency given to the advance / retreat drive motor, and the rotation amount information may be a pulse number given to the advance / retreat drive motor.
　また、上記保持手段の移動方法を利用した電子部品保持装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置も本発明の一態様である。 Also, an electronic component holding device using the moving method of the holding means and an electronic component conveying device provided with the electronic component holding device are also one aspect of the present invention.
　本発明によれば、外力の影響を受けやすい電子部品に対してノズルを当接させる場合においても、保持手段の到達地点情報を測定することができ、その測定量に基づいて保持手段の移動を行うことで、電子部品の搬送を正確に行うことができる。 According to the present invention, even when the nozzle is brought into contact with an electronic component that is easily affected by an external force, it is possible to measure the arrival point information of the holding means, and to move the holding means based on the measurement amount. By doing so, the electronic component can be accurately conveyed.
本実施形態に係る電子部品搬送装置の全体構成を示す上面図である。It is a top view which shows the whole structure of the electronic component conveying apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of the electronic component conveying apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る電子部品保持装置の全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of the electronic component holding | maintenance apparatus which concerns on this embodiment. 保持装置の先端部分の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the front-end | tip part of a holding | maintenance apparatus. ボイスコイルモータの内部構成を示す側面図である。It is a side view which shows the internal structure of a voice coil motor. 電子部品保持装置が備える検出部の外部構成を示す拡大側面図である。It is an enlarged side view which shows the external structure of the detection part with which an electronic component holding apparatus is provided. 検出部の全体構成を示す図である。It is a figure which shows the whole structure of a detection part. 検出部の全体構成を示す図である。It is a figure which shows the whole structure of a detection part. 電子部品保持装置の制御部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control part of an electronic component holding apparatus. 電子部品保持装置の制御部の制御動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control operation of the control part of an electronic component holding apparatus. 通常時の電子部品保持装置の各部に掛かる力を示す側面図である。It is a side view which shows the force applied to each part of the electronic component holding device at the normal time. 通常時の検出部の状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state of the detection part at the normal time. 保持手段が電子部品に接触した時の電子部品保持装置の各部に掛かる力を示す側面図である。It is a side view which shows the force applied to each part of an electronic component holding device when a holding means contacts an electronic component. 保持手段が電子部品に接触した時の検出部の状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state of a detection part when a holding means contacts an electronic component. 電子部品保持装置の制御部の制御動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control operation of the control part of an electronic component holding apparatus. 第２の実施形態における電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of the electronic component conveying apparatus in 2nd Embodiment. 電子部品搬送装置の制御部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control part of an electronic component conveying apparatus. 第３の実施形態における電子部品搬送装置の全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of the electronic component conveying apparatus in 3rd Embodiment.
［第１の実施形態］
　以下、本発明に係る電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。 [First Embodiment]
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of an electronic component transport device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
（電子部品搬送装置１）
　図１，２に示すように、電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄの搬送経路１１を形成し、その搬送経路１１に沿って並べられた各工程処理ユニット１４に対して順番に電子部品Ｄを搬送する。この搬送経路１１は、ターンテーブル１２と電子部品保持装置２とにより形成されている。ターンテーブル１２は、中心が搬送用モータ１３の回転軸で支持されており、搬送用モータ１３の駆動に従って間欠的に所定角度回転する。搬送用モータ１３は、例えばダイレクトドライブモータである。 (Electronic component transport device 1)
As shown in FIGS. 1 and 2, the electronic component transport apparatus 1 forms a transport path 11 for the electronic component D, and the electronic components D are sequentially arranged with respect to the process processing units 14 arranged along the transport path 11. Transport. The transport path 11 is formed by the turntable 12 and the electronic component holding device 2. The center of the turntable 12 is supported by the rotation shaft of the transport motor 13 and rotates intermittently at a predetermined angle as the transport motor 13 is driven. The conveyance motor 13 is, for example, a direct drive motor.
　電子部品保持装置２は、電子部品Ｄを工程処理ユニット１４に受け渡す装置であり、電子部品Ｄを保持する吸着ノズル３０を備えている。吸着ノズル３０は、このターンテーブル１２の外周縁に円周等配位置となるように複数設置されている。具体的には、ターンテーブル１２の外周縁に固定されたアーム３１に支持されている。吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２が間欠回転することにより、ターンテーブル１２の外周に沿って平行移動する。吸着ノズル３０の配置間隔は、ターンテーブル１２の１ピッチの回転角度と等しい。換言すると、搬送用モータ１３は、吸着ノズル３０の配置間隔と同一のピッチでターンテーブル１２を間欠回転させる。 The electronic component holding device 2 is a device that delivers the electronic component D to the process processing unit 14 and includes a suction nozzle 30 that holds the electronic component D. A plurality of suction nozzles 30 are installed on the outer peripheral edge of the turntable 12 so as to be circumferentially equidistant positions. Specifically, it is supported by an arm 31 fixed to the outer peripheral edge of the turntable 12. The suction nozzle 30 moves in parallel along the outer periphery of the turntable 12 when the turntable 12 rotates intermittently. The arrangement interval of the suction nozzles 30 is equal to the rotation angle of one pitch of the turntable 12. In other words, the transport motor 13 intermittently rotates the turntable 12 at the same pitch as the arrangement interval of the suction nozzles 30.
　この吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２の外周に沿った平行移動の他、ターンテーブル１２が拡がる平面と直交するように昇降する。すなわち、電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０に対して昇降方向の推進力を付与する進退駆動部４を更に備えている。その設置位置は、吸着ノズル３０の停止位置直上であり、進退駆動部４は不動のブロックに設置されている。進退駆動部４は、吸着ノズル３０を直上から押圧する押圧体４０と、その押圧体４０を摺動可能に支持するリニアガイド４１とを備える。リニアガイド４１は、吸着ノズル３０の停止位置直上に固定される。押圧体４０は、リニアガイド４１に支持されることにより、ターンテーブル１２の上方に位置する。 The suction nozzle 30 moves up and down so as to be orthogonal to the plane in which the turntable 12 spreads, in addition to the parallel movement along the outer periphery of the turntable 12. That is, the electronic component holding device 2 further includes an advance / retreat drive unit 4 that applies a propelling force in the up-down direction to the suction nozzle 30. The installation position is just above the stop position of the suction nozzle 30, and the advance / retreat drive unit 4 is installed in a stationary block. The advancing / retreating drive unit 4 includes a pressing body 40 that presses the suction nozzle 30 from directly above, and a linear guide 41 that slidably supports the pressing body 40. The linear guide 41 is fixed immediately above the stop position of the suction nozzle 30. The pressing body 40 is positioned above the turntable 12 by being supported by the linear guide 41.
　このような電子部品搬送装置１において、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル３０は、ターンテーブル１２の間欠回転に従って、順に円周等配位置に設定された停止位置に移動する。吸着ノズル３０が停止位置に位置すると、吸着ノズル３０の上方に存在する進退駆動部４は、押圧ブロック４０で吸着ノズル３０を押圧することで、吸着ノズル３０を到達地点まで下降させる。吸着ノズル３０の下降先には、工程処理ユニット１４が存在する。工程処理ユニット１４は、例えば、位置補正ユニット１４ａである。 In such an electronic component conveying apparatus 1, the suction nozzle 30 holding the electronic component D is sequentially moved to the stop position set at the circumferentially equidistant position according to the intermittent rotation of the turntable 12. When the suction nozzle 30 is positioned at the stop position, the advancing / retreating drive unit 4 existing above the suction nozzle 30 presses the suction nozzle 30 with the pressing block 40 to lower the suction nozzle 30 to the arrival point. The process processing unit 14 exists at the lowering destination of the suction nozzle 30. The process processing unit 14 is, for example, a position correction unit 14a.
　（電子部品保持装置２）
　図３は、このような電子部品搬送装置１に設けられた電子部品保持装置２の全体構成を示す側面図である。図３に示す電子部品保持装置２は、電子部品Ｄを工程処理ユニット１４に受け渡す装置である。本実施形態では、工程処理ユニット１４として、位置補正ユニット１４ａを例示する。 (Electronic component holding device 2)
FIG. 3 is a side view showing the overall configuration of the electronic component holding device 2 provided in the electronic component transport apparatus 1. The electronic component holding device 2 shown in FIG. 3 is a device that delivers the electronic component D to the process processing unit 14. In the present embodiment, a position correction unit 14 a is illustrated as the process processing unit 14.
　この電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０の下降動作を予め定められたタイミングで終了させる。この下降動作終了のタイミングは、吸着ノズル３０と位置補正ユニット１４ａのステージ１５とに挟まれる電子部品Ｄに適切な荷重がかかるタイミングである。適切な荷重とは、例えば概略ゼロニュートンである。電子部品Ｄに過度な圧力を与えて破壊を誘因しないため、また、電子部品Ｄの位置がずれを防止するためである。そのため、この電子部品保持装置２は、吸着ノズル３０が到達地点へ達したことを示す到達地点情報を予め計測しておき、その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が到達地点に達したタイミングで下降動作が終了するように駆動する。 The electronic component holding device 2 ends the lowering operation of the suction nozzle 30 at a predetermined timing. The timing at which the lowering operation ends is a timing at which an appropriate load is applied to the electronic component D sandwiched between the suction nozzle 30 and the stage 15 of the position correction unit 14a. A suitable load is, for example, approximately zero Newton. This is because an excessive pressure is not applied to the electronic component D to induce destruction, and the position of the electronic component D is prevented from shifting. Therefore, the electronic component holding device 2 measures in advance arrival point information indicating that the suction nozzle 30 has reached the arrival point, and based on the arrival point information, the timing at which the suction nozzle 30 reaches the arrival point. To drive the descent operation to end.
（吸着ノズル３０）
　吸着ノズル３０は、外力により進退開始位置から到達地点まで摺動可能に構成される。進退開始位置は、外力が加わらない場合の吸着ノズル３０の位置である。到達地点は、吸着ノズル３０の摺動方向に一定の外力を加えた場合の吸着ノズル３０の位置である。 (Suction nozzle 30)
The suction nozzle 30 is configured to be slidable from an advance / retreat start position to an arrival point by an external force. The advance / retreat start position is the position of the suction nozzle 30 when no external force is applied. The arrival point is the position of the suction nozzle 30 when a constant external force is applied in the sliding direction of the suction nozzle 30.
　吸着ノズル３０は、ステージ１５上の電子部品Ｄの載置位置に対する高さが固定されたアーム３１に支持され、ステージ１５の上方の進退開始位置に位置している。アーム３１は、ステージ１５に対して略平行に延びており、先端にステージ１５に対して垂直な軸受け３２が貫設されている。吸着ノズル３０は、開口が設けられた先端をステージ１５に向けて軸受け３２に挿入され、進退開始位置から到達地点まで摺動可能にアーム３１に支持されている。 The suction nozzle 30 is supported by an arm 31 having a fixed height with respect to the mounting position of the electronic component D on the stage 15, and is positioned at an advance / retreat start position above the stage 15. The arm 31 extends substantially parallel to the stage 15, and a bearing 32 perpendicular to the stage 15 is penetrated at the tip. The suction nozzle 30 is inserted into the bearing 32 with the tip provided with an opening directed toward the stage 15 and supported by the arm 31 so as to be slidable from the advance / retreat start position to the arrival point.
　アーム３１の軸受け３２上縁には、圧縮バネ３３が設けられている。圧縮バネ３３は、吸着ノズル３０の突出部分に挿入されている。吸着ノズル３０の突出部分は、軸受け３２の上縁から突出した部分である。吸着ノズル３０の後端側には、フランジ３４が設けられており、圧縮バネ３３は、このフランジ３４を介して吸着ノズル３０をステージ１５から離反させる方向に付勢している。吸着ノズル３０に対するステージ１５に向かう外力が解除されると、吸着ノズル３０は、ステージ１５から離反し、進退開始位置まで移動する。 A compression spring 33 is provided on the upper edge of the bearing 32 of the arm 31. The compression spring 33 is inserted into the protruding portion of the suction nozzle 30. The protruding portion of the suction nozzle 30 is a portion protruding from the upper edge of the bearing 32. A flange 34 is provided on the rear end side of the suction nozzle 30, and the compression spring 33 urges the suction nozzle 30 in a direction to move away from the stage 15 via the flange 34. When the external force toward the stage 15 with respect to the suction nozzle 30 is released, the suction nozzle 30 moves away from the stage 15 and moves to the advance / retreat start position.
　吸着ノズル３０は、内部が中空のパイプであり、先端に開口を有する。吸着ノズル３０の後端に接続された継手３５を介してパイプ内部と空気圧回路とが連通しており、真空の発生により電子部品Ｄを先端で吸着し、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。大気解放により電子部品Ｄを離脱させてもよいし、真空破壊と大気解放を順次切り替えて電子部品Ｄを離脱させるようにしてもよい。 The suction nozzle 30 is a hollow pipe with an opening at the tip. The inside of the pipe and the pneumatic circuit communicate with each other through a joint 35 connected to the rear end of the suction nozzle 30. The electronic component D is sucked at the tip by generation of a vacuum, and the electronic component D is detached by vacuum break. The electronic component D may be released by releasing the atmosphere, or the electronic component D may be released by sequentially switching between vacuum break and releasing to the atmosphere.
　この吸着ノズル３０の先端部には、図４の様なラバーコレット３６を先端部分に設けることができる。このラバーコレット３６は、吸着ノズル３０の延び方向の圧力により、撓みを生じるように弾性力を有する。ラバーコレット３６は、この弾性力より電子部品Ｄと接触した際の接触による力を吸収するものである。 A rubber collet 36 as shown in FIG. 4 can be provided at the tip of the suction nozzle 30 at the tip. The rubber collet 36 has an elastic force so as to bend due to the pressure in the extending direction of the suction nozzle 30. The rubber collet 36 absorbs the force caused by the contact with the electronic component D due to this elastic force.
　図４に示すように、ラバーコレット３６は、円筒型の筐体部３７と、略円錐の接触部３８とを一体的に構成したものである。接触部３８は、筐体部３７の電子部品Ｄと対向する側に設けられる。接触部３８の頂点部分は、平坦部３９が設けられる。吸着ノズル３０が電子部品Ｄを保持する場合は、広い面積で電子部品Ｄと接触する。 As shown in FIG. 4, the rubber collet 36 is configured by integrally forming a cylindrical housing portion 37 and a substantially conical contact portion 38. The contact portion 38 is provided on the side of the housing portion 37 that faces the electronic component D. A flat portion 39 is provided at the apex portion of the contact portion 38. When the suction nozzle 30 holds the electronic component D, it contacts the electronic component D over a wide area.
　ラバーコレット３６内部は、吸着ノズル３０の空気圧回路と連通しており、真空の発生により電子部品Ｄを先端で吸着し、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。ラバーコレット３６は、接触部分から空気が漏れないように、吸着ノズル３０と密着して設けられる。例えば、ラバーコレット３６内部に凹部が設けられる。この凹部が、吸着ノズル３０の先端部分に設けられた凸部分と組み合わさることにより、ラバーコレット３６と吸着ノズル３０とは密着する。より密着させるために、吸着ノズル３０の凸部分の径は、ラバーコレット３６の凹部径よりも若干大きくしても良い。 The inside of the rubber collet 36 is in communication with the pneumatic circuit of the suction nozzle 30, and the electronic component D is sucked at the tip when a vacuum is generated, and the electronic component D is detached by vacuum break. The rubber collet 36 is provided in close contact with the suction nozzle 30 so that air does not leak from the contact portion. For example, a recess is provided inside the rubber collet 36. The rubber collet 36 and the suction nozzle 30 are in close contact with each other by combining this concave portion with a convex portion provided at the tip of the suction nozzle 30. In order to make it adhere more closely, the diameter of the convex part of the suction nozzle 30 may be slightly larger than the concave part diameter of the rubber collet 36.
（進退駆動部４）
　進退駆動部４は、押圧体４０と進退駆動用モータ５０で構成されている。押圧体４０は、主に進退駆動用モータ５０が発生させた推進力を吸着ノズル３０に伝達する。 (Advance / Retreat Drive 4)
The advance / retreat drive unit 4 includes a pressing body 40 and an advance / retreat drive motor 50. The pressing body 40 mainly transmits the propulsive force generated by the forward / backward drive motor 50 to the suction nozzle 30.
　押圧体４０は、吸着ノズル３０を押し下げる方向に摺動可能にリニアガイド４１に支持されている。リニアガイド４１のレール部分は、ステージ１５と垂直な方向に延び、高さは固定されている。押圧体４０の下端には、ロッド４２が延設されている。ロッド４２は、吸着ノズル３０の後端に向かい合わせて配置され、吸着ノズル３０と軸線が共通する。 The pressing body 40 is supported by the linear guide 41 so as to be slidable in the direction in which the suction nozzle 30 is pushed down. The rail portion of the linear guide 41 extends in a direction perpendicular to the stage 15 and has a fixed height. A rod 42 extends from the lower end of the pressing body 40. The rod 42 is disposed to face the rear end of the suction nozzle 30 and has the same axis as the suction nozzle 30.
　この押圧体４０は、略コの字形状のフレーム４３を有する。押圧体４０は、フレーム４３の背の部分でリニアガイド４１に支持され、フレーム４３の下腕４３ａにロッド４２を備えている。フレーム４３の下腕４３ａは、ステージ１５の載置面に対して水平に延び、その先端と吸着ノズル３０の軸線とが交わる部分にロッド４２が取り付けられる。ロッド４２は、下腕４３ａの延び方向と直交して取り付けられ、下腕４３ａの上下から先端及び後端が突出している。 The pressing body 40 has a substantially U-shaped frame 43. The pressing body 40 is supported by the linear guide 41 at the back portion of the frame 43, and includes a rod 42 on the lower arm 43 a of the frame 43. The lower arm 43 a of the frame 43 extends horizontally with respect to the mounting surface of the stage 15, and the rod 42 is attached to a portion where the tip and the axis of the suction nozzle 30 intersect. The rod 42 is attached perpendicular to the extending direction of the lower arm 43a, and the front end and the rear end protrude from the upper and lower sides of the lower arm 43a.
　フレーム４３の上腕４３ｂには、その上面にカムフォロア４４が設置されている。このカムフォロア４４は、進退駆動用モータ５０の回転力を伝達し、押圧体４０を押し下げるために設置されている。進退駆動用モータ５０は、例えばサーボモータである。進退駆動用モータ５０の回転軸には、円筒カム５１が固定されている。円筒カム５１とカムフォロア４４とは当接しており、カムフォロア４４は、円筒カム５１のカム面に沿って従動する。 The cam follower 44 is installed on the upper surface of the upper arm 43b of the frame 43. The cam follower 44 is installed to transmit the rotational force of the advance / retreat driving motor 50 and to push down the pressing body 40. The advance / retreat drive motor 50 is, for example, a servo motor. A cylindrical cam 51 is fixed to the rotation shaft of the advance / retreat drive motor 50. The cylindrical cam 51 and the cam follower 44 are in contact with each other, and the cam follower 44 is driven along the cam surface of the cylindrical cam 51.
　押圧体４０は、吸着ノズル３０が移動することによる電子部品Ｄとの接触を感知する検出機構を更に備えている。この検出機構は、ロッド４２の摺動機構、ロッド４２に推進力を与えるボイスコイルモータ４７、及びロッド４２のボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりを検出する検出部４８である。尚、ボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりは、言い換えると、ボイスコイルモータ４７へのロッド４２の埋入である。 The pressing body 40 further includes a detection mechanism that senses contact with the electronic component D due to movement of the suction nozzle 30. The detection mechanism includes a sliding mechanism of the rod 42, a voice coil motor 47 that applies a propulsive force to the rod 42, and a detection unit 48 that detects a relative lift of the rod 42 with respect to the voice coil motor 47. In addition, the relative lifting with respect to the voice coil motor 47 is, in other words, the embedding of the rod 42 into the voice coil motor 47.
　具体的には、フレーム４３の下腕４３ａには、ステージ１５の載置面に対して垂直な軸受け４５が貫設されている。ロッド４２は、この軸受け４５に挿入されており、ロッド４２の軸線方向に摺動可能となっている。尚、フレーム４３の下腕４３ａの下面には、ロッド４２をボイスコイルモータ４７から進出させる付勢力を有する圧縮バネ４６が設けられており、ボイスコイルモータ４７の推進力を補助している。 Specifically, a bearing 45 perpendicular to the mounting surface of the stage 15 is provided through the lower arm 43 a of the frame 43. The rod 42 is inserted into the bearing 45 and is slidable in the axial direction of the rod 42. A compression spring 46 having an urging force that moves the rod 42 out of the voice coil motor 47 is provided on the lower surface of the lower arm 43 a of the frame 43, and assists the propulsive force of the voice coil motor 47.
　ボイスコイルモータ４７は、フレーム４３の上腕４３ｂの下面に固定されている。このボイスコイルモータ４７は、ロッド４２の後端側を支持し、ロッド４２を進出及び後退させる。ボイスコイルモータ４７は、電流と推進力とが比例関係にあるリニアモータであり、図５に示すように、磁石４７ａ及び環状コイル４７ｂを有する。 The voice coil motor 47 is fixed to the lower surface of the upper arm 43b of the frame 43. The voice coil motor 47 supports the rear end side of the rod 42 and advances and retracts the rod 42. The voice coil motor 47 is a linear motor in which a current and a propulsive force are in a proportional relationship, and includes a magnet 47a and an annular coil 47b as shown in FIG.
　検出部４８は、パイプ４８ｃ内の空気圧の変化を直接検出することにより、ロッド４２が浮き上がったことを検出する。図６に示すように、蓋部４８ｂはパイプの一部であり、ロッド４２が浮き上がる前は、蓋がされることでパイプ４８ｃ内の密閉状態を保つ。例えば、図７に示すように、このパイプ４８ｃには、内部の圧力を検出する圧力計４８ｄが設けられ、内部の圧力を監視する。ロッド４２が浮き上がると、ロッド４２に設けられた蓋部４８ｂも浮き上がり、パイプ４８ｃ内の密閉状態が解放され、内部の圧力が変化する。圧力計４８ｄでは、この圧力の変化を検出する。 The detecting unit 48 detects that the rod 42 has been lifted by directly detecting a change in the air pressure in the pipe 48c. As shown in FIG. 6, the lid portion 48b is a part of the pipe, and before the rod 42 is lifted, the lid 48 is closed to keep the pipe 48c sealed. For example, as shown in FIG. 7, the pipe 48c is provided with a pressure gauge 48d for detecting the internal pressure, and monitors the internal pressure. When the rod 42 is lifted, the lid portion 48b provided on the rod 42 is also lifted, the sealed state in the pipe 48c is released, and the internal pressure changes. The pressure gauge 48d detects this change in pressure.
　また、検出部４８は、パイプ４８ｃ内の圧力を直接検出することで、ロッド４２の浮き上がりを検出するだけでなく、空気の流入または流出を検出することにより、ロッド４２の浮き上がりを検出することも可能である。例えば、図８に示すように、パイプ４８ｃ内部には流量計４８ｆが設けられる。流量計４８ｆとしては、例えば、パイプ４８ｃ内に突出するオリフィス４８ｇと、オリフィス４８ｇが区切る２つの領域の差圧を検出する差圧検出部である。 The detection unit 48 not only detects the lift of the rod 42 by directly detecting the pressure in the pipe 48c, but also detects the lift of the rod 42 by detecting the inflow or outflow of air. Is possible. For example, as shown in FIG. 8, a flow meter 48f is provided inside the pipe 48c. The flow meter 48f is, for example, an orifice 48g protruding into the pipe 48c and a differential pressure detection unit that detects a differential pressure between two regions separated by the orifice 48g.
　進退駆動用モータ５０は、後述する、制御部６からの、回転速度、回転量及びトルクの指示に基づいて、吸着ノズル３０への推進力を発生させ、また吸着ノズル３０の進退終点及び進退速度を制御している。 The advance / retreat drive motor 50 generates a propulsive force to the suction nozzle 30 based on an instruction of a rotation speed, a rotation amount, and a torque from the control unit 6, which will be described later. Is controlling.
（制御部６）
　図９は、このような構成を有する電子部品保持装置２の制御部６の構成を示すブロック図である。制御部６は、モード切替部６０と、モータ制御部６１と、速度情報記憶手段６２と、ＶＣＭ制御部６３と、接触判定部６４と、到達地点情報記憶手段６５と、生成手段６６と、変異点情報記憶手段６７と、計測手段６８と、比較手段６９と、速度記憶手段７０と、を備える。 (Control unit 6)
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of the control unit 6 of the electronic component holding apparatus 2 having such a configuration. The control unit 6 includes a mode switching unit 60, a motor control unit 61, a speed information storage unit 62, a VCM control unit 63, a contact determination unit 64, a destination information storage unit 65, a generation unit 66, and a mutation. Point information storage means 67, measurement means 68, comparison means 69, and speed storage means 70 are provided.
　モード切替部６０は、入力部６０ａからの入力に基づいて、吸着ノズル３０の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点の位置に関する情報である到達地点情報に基づいて吸着ノズル３０の移動の制御を行う移動制御モードとの切替えを行う。入力部６０ａは、ユーザからの入力を受け付けるインターフェースであり、キーボード、マウス、タッチパネル、液晶端末など種々の入力装置を利用する。 The mode switching unit 60 is based on the arrival point measurement mode for measuring the arrival point of the suction nozzle 30 based on the input from the input unit 60a and the arrival point information that is information on the position of the measured arrival point. Is switched to the movement control mode for controlling the movement. The input unit 60a is an interface that receives input from the user, and uses various input devices such as a keyboard, a mouse, a touch panel, and a liquid crystal terminal.
　モータ制御部６１は、進退駆動用モータ５０の回転速度、回転量及びトルクを制御する。回転速度は回転角の速度、回転量は回転角度である。この際、指示したトルク、回転速度、及び回転量と、進退駆動用モータ５０のエンコーダやトルク検出器からの検出した回転速度、回転量及びトルクとを比較しフィードバック制御を行うこともできる。 The motor control unit 61 controls the rotation speed, rotation amount, and torque of the forward / backward drive motor 50. The rotation speed is the rotation angle speed, and the rotation amount is the rotation angle. At this time, it is also possible to perform feedback control by comparing the instructed torque, rotation speed, and rotation amount with the rotation speed, rotation amount, and torque detected from the encoder and torque detector of the advance / retreat drive motor 50.
　速度情報記憶手段６２は、モータ制御部６１にて進退駆動用モータ５０の駆動を行う際の当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを記憶する。当初の移動速度とは、吸着ノズル３０が進退開始位置から移動する際の進退駆動用モータ５０の駆動速度である。次の速度情報とは、吸着ノズル３０が進退開始位置から所定量移動した後の進退駆動用モータ５０の駆動速度である。この速度情報は、モータの回転速度、または、パルス周波数で表わされる。 The speed information storage means 62 stores initial speed information related to the initial moving speed and next speed information related to the next speed information when the motor controller 61 drives the motor 50 for advancing / retreating. The initial moving speed is the driving speed of the advance / retreat driving motor 50 when the suction nozzle 30 moves from the advance / retreat start position. The next speed information is the drive speed of the advance / retreat drive motor 50 after the suction nozzle 30 has moved a predetermined amount from the advance / retreat start position. This speed information is represented by the rotational speed of the motor or the pulse frequency.
　ＶＣＭ制御部６３は、ボイスコイルモータ４７の推力を制御する。接触判定部６４は、検出部４８からの信号を入力し、電子部品Ｄと吸着ノズル３０との接触を判定する。 The VCM control unit 63 controls the thrust of the voice coil motor 47. The contact determination unit 64 receives a signal from the detection unit 48 and determines contact between the electronic component D and the suction nozzle 30.
　到達地点情報記憶手段６５は、到達地点の位置情報に関する到達地点情報を記憶する。到達地点情報記憶手段６５としては、不揮発性のメモリなどの記憶手段を用いる。到達地点情報は、進退駆動用モータ５０の回転数で表させる。この回転量は、吸着ノズル３０が進退開始位置時から移動し、ロッドの浮き上がりが発生するまでに進退駆動用モータ５０が何回転したかを示す値である。 The arrival point information storage unit 65 stores arrival point information regarding the position information of the arrival point. As the arrival point information storage unit 65, a storage unit such as a nonvolatile memory is used. The arrival point information is represented by the number of rotations of the forward / backward drive motor 50. This rotation amount is a value indicating how many times the advancing / retracting drive motor 50 has rotated until the suction nozzle 30 moves from the advancing / retreating start position and the rod is lifted.
　生成手段６６は、到達地点情報に基づいて、変異点情報を生成する。変異点情報は、吸着ノズル３０の移動速度を変化させる変異点の位置情報である。変異点は、進退開始位置と、到達地点との間に設けられる。変異点は、吸着ノズル３０が電子部品Ｄと当接する直前で、移動速度を遅くすることで、吸着ノズル３０の移動時間に対する影響が少ない範囲で、当接時の衝撃を緩和する。このため、変異点は、到達地点の間近に設けることが望ましい。この変異点の位置情報は、到達地点情報として記憶する回転量から、所定の回転量の差分をとった回転量で表される。変異点情報記憶手段６７は、生成手段６６で生成した変異点情報を記憶する。 The generation means 66 generates mutation point information based on the arrival point information. The mutation point information is position information of a mutation point that changes the moving speed of the suction nozzle 30. The mutation point is provided between the advance / retreat start position and the arrival point. The variation point is to reduce the impact at the time of contact within a range where the influence on the moving time of the suction nozzle 30 is small by slowing the moving speed immediately before the suction nozzle 30 contacts the electronic component D. For this reason, it is desirable to provide the mutation point close to the arrival point. The position information of the mutation point is represented by a rotation amount obtained by taking a difference of a predetermined rotation amount from the rotation amount stored as arrival point information. The mutation point information storage unit 67 stores the mutation point information generated by the generation unit 66.
　計測手段６８は、前記吸着ノズル３０の現在位置情報を計測する。現在位置情報は、吸着ノズル３０が、現在、どの地点に存在するかを示す位置情報である。現在位置情報は、吸着ノズル３０が進退開始位置時から現在位置まで移動するために、駆動用モータ５０が何回転したかを示す値で表される。 The measuring means 68 measures the current position information of the suction nozzle 30. The current position information is position information indicating where the suction nozzle 30 currently exists. The current position information is represented by a value indicating how many times the drive motor 50 has rotated in order for the suction nozzle 30 to move from the advance / retreat start position to the current position.
　比較手段６９は、現在位置情報と、到達地点情報または変異点情報とを逐次比較する。現在位置情報と、到達地点情報または変異点情報との比較は、現在位置情報と到達地点情報との差分、現在位置情報と変異点情報との差分をとることで行う。 The comparing means 69 sequentially compares the current position information with the arrival point information or the mutation point information. The comparison between the current position information and the arrival point information or the mutation point information is performed by taking the difference between the current position information and the arrival point information and the difference between the current position information and the mutation point information.
　尚、この制御部６は、電子部品搬送装置１の制御部の一部として設けられていてもよいし、電子部品保持装置２の構成の一部として設けられていてもよい。 The control unit 6 may be provided as a part of the control unit of the electronic component transport apparatus 1 or may be provided as a part of the configuration of the electronic component holding apparatus 2.
（作用）
　この様な構成を備える電子部品保持装置２の作用を図１０～図１６を参照して説明する。電子部品保持装置２においては、（１）吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定と、（２）吸着ノズル３０を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御とを行う。 (Function)
The operation of the electronic component holding apparatus 2 having such a configuration will be described with reference to FIGS. The electronic component holding device 2 performs (1) measurement of the arrival point where the suction nozzle 30 and the electronic component D abut and (2) control for moving the suction nozzle 30 from the advance / retreat start position to the arrival point.
（１）吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法
　図１０は、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法を示すフローチャートであり、以下、制御部６の制御動作とともに電子部品保持装置２の状態を説明する。 (1) Method for Measuring Arrival Point Where Adsorption Nozzle 30 and Electronic Component D Abut FIG. 10 is a flowchart showing a method for measuring the arrival point where adsorption nozzle 30 and electronic component D abut. The state of the electronic component holding device 2 will be described together with the control operation.
　初めに、入力部６０ａからの入力に基づいて、モード切替部６０は、到達地点測定モードを設定する（ステップＳ０１）。到達地点測定モードが設定されると、ターンテーブル１２が回転し、停止位置に吸着ノズル３０が配置される。位置補正ユニット１４ａのステージ１５には、搬送対象となる電子部品Ｄを載置しておく。到達地点測定モードでは、停止位置に停止した吸着ノズル３０を、ステージ１５に載置した電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定する。 First, based on the input from the input unit 60a, the mode switching unit 60 sets the arrival point measurement mode (step S01). When the arrival point measurement mode is set, the turntable 12 rotates and the suction nozzle 30 is disposed at the stop position. An electronic component D to be conveyed is placed on the stage 15 of the position correction unit 14a. In the arrival point measurement mode, the suction nozzle 30 stopped at the stop position is moved with respect to the electronic component D placed on the stage 15, and the arrival point where the suction nozzle 30 and the electronic component D abut is measured.
　次に、吸着ノズル３０の移動段階では、ステップＳ０２において、モータ制御部６１は、進退駆動用モータ５０の駆動を開始させる。モータ制御部６１は、吸着ノズル３０がロッド４２と一緒に当該ロッド４２を介して下降する力を進退駆動用モータ５０に発生させる。 Next, in the moving stage of the suction nozzle 30, in step S <b> 02, the motor control unit 61 starts driving the advance / retreat driving motor 50. The motor control unit 61 causes the advancing / retracting drive motor 50 to generate a force by which the suction nozzle 30 moves down together with the rod 42 via the rod 42.
　この進退駆動用モータ５０の駆動により、円筒カム５１は回転し、円筒カム５１のカム面に当接しているカムフォロア４４は、ステージ１５に向かう推進力を受ける。ステージ１５に向かう推進力は、吸着ノズル３０へ向かう押圧体４０の推進力となり、押圧体４０は、リニアガイド４１に沿って下降する。押圧体４０が下降すると、ロッド４２が吸着ノズル３０の後端に当接する。モータ制御部６１が進退駆動用モータ５０を更に駆動させることにより、押圧体４０は、吸着ノズル３０を押し下げる。吸着ノズル３０は、圧縮バネ３３の押し上げ付勢力に抗して下降を開始する。 The driving of the advance / retreat driving motor 50 causes the cylindrical cam 51 to rotate, and the cam follower 44 in contact with the cam surface of the cylindrical cam 51 receives a propulsive force toward the stage 15. The propulsive force toward the stage 15 becomes the propulsive force of the pressing body 40 toward the suction nozzle 30, and the pressing body 40 descends along the linear guide 41. When the pressing body 40 is lowered, the rod 42 comes into contact with the rear end of the suction nozzle 30. When the motor control unit 61 further drives the advance / retreat driving motor 50, the pressing body 40 pushes down the suction nozzle 30. The suction nozzle 30 starts to descend against the pushing biasing force of the compression spring 33.
　このとき、図１１に示すように、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒを受けており、ロッド４２は、その反作用力Ｆｃｒを受けることとなる。この反作用力Ｆｃｒは、吸着ノズル３０を押し上げる圧縮バネ３３が設けられている場合には、伸び方向に付勢された圧縮バネ３３の弾性力に対する抗力に等しい。また、ロッド４２を押し下げる圧縮バネ４６が設けられている場合には、ロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒは、この圧縮バネ４６の弾性力を吸着ノズル３０の圧縮バネ３３の弾性力から差し引いた力に対する抗力に等しい。 At this time, as shown in FIG. 11, the suction nozzle 30 receives the downward force Fr from the rod 42, and the rod 42 receives the reaction force Fcr. This reaction force Fcr is equal to the resistance against the elastic force of the compression spring 33 biased in the extension direction when the compression spring 33 that pushes up the suction nozzle 30 is provided. When the compression spring 46 that pushes down the rod 42 is provided, the reaction force Fcr that the rod 42 receives is based on the force obtained by subtracting the elastic force of the compression spring 46 from the elastic force of the compression spring 33 of the suction nozzle 30. Equal to drag.
　また、吸着ノズル３０の下降段階では、ステップＳ０３において、ＶＣＭ制御部６２は、ボイスコイルモータ４７の駆動を開始させ、ロッド４２に反作用力Ｆｃｒと同等の対抗推力Ｆｏｐｐを発生させる。このボイスコイルモータ４７の駆動開始は、進退駆動用モータ５０の推力発生と同時、若しくは、ロッド４２が吸着ノズル３０に当接する直前である。反作用力Ｆｃｒと同等の対抗推力Ｆｏｐｐは、反作用力Ｆｃｒと力の大きさは同じであるが、向きが反対の推力である。厳密には、圧縮バネ３３が圧縮されるに従って、反作用力Ｆｃｒは増大するが、ＶＣＭ制御部６２により、対抗推力Ｆｏｐｐを反作用力Ｆｃｒに比例して増大するように制御してもよい。 In the descending stage of the suction nozzle 30, in step S03, the VCM control unit 62 starts driving the voice coil motor 47 and causes the rod 42 to generate a counter thrust Fopp equivalent to the reaction force Fcr. The drive of the voice coil motor 47 starts at the same time as the thrust of the advance / retreat drive motor 50 is generated, or immediately before the rod 42 contacts the suction nozzle 30. The counter thrust Fopp equivalent to the reaction force Fcr is a thrust having the same magnitude as the reaction force Fcr but having the opposite direction. Strictly speaking, the reaction force Fcr increases as the compression spring 33 is compressed, but the VCM control unit 62 may control the counter thrust Fopp to increase in proportion to the reaction force Fcr.
　このとき、図１２に示すように、ロッド４２は、反作用力Ｆｃｒを受けているが、ボイスコイルモータ４７から対抗推力Ｆｏｐｐを受けているため、ロッド４２に作用する力は釣り合い、ロッド４２は平衡状態を維持し、ボイスコイルモータ４７に対して進退しない。また、図１２に示すように、ロッド４２の平衡状態が維持されている場合には、蓋部４８ｂは空気口４８ａに被さっており、空気口４８ａからは空気の流入又は流出はない。 At this time, as shown in FIG. 12, the rod 42 receives the reaction force Fcr, but receives the counter thrust Fopp from the voice coil motor 47, so the force acting on the rod 42 is balanced and the rod 42 is balanced. The state is maintained and the voice coil motor 47 is not advanced or retracted. Further, as shown in FIG. 12, when the equilibrium state of the rod 42 is maintained, the lid portion 48b covers the air port 48a, and no air flows in or out from the air port 48a.
　次に、接触判定段階では、ステップＳ０４において、接触判定部６４は、検出部４８がロッド４２の浮き上がりを検出したかを判定する。 Next, in the contact determination stage, in step S04, the contact determination unit 64 determines whether the detection unit 48 has detected the lifting of the rod 42.
　吸着ノズル３０が電子部品Ｄに未達の場合、ロッド４２が平衡状態を維持している。つまり、ロッド４２によるボイスコイルモータ４７に対する相対的な浮き上がりはないため、蓋部４８ｂは空気口４８ａに被さったままである。そのため、圧力計４８ｄの値に変化はなく、検出部４８は不変値を接触判定部６４に出力する。接触判定部６４は、予め記憶している閾値と検出部４８の出力値とを比較することで、当該出力値が不変値であることを確認し、当該確認を以てロッド４２の浮き上がりが検出されていないこととする。 When the suction nozzle 30 does not reach the electronic component D, the rod 42 is maintained in an equilibrium state. That is, since the rod 42 does not lift up relative to the voice coil motor 47, the lid portion 48b remains over the air port 48a. Therefore, there is no change in the value of the pressure gauge 48d, and the detection unit 48 outputs an invariant value to the contact determination unit 64. The contact determination unit 64 compares the threshold value stored in advance with the output value of the detection unit 48 to confirm that the output value is an invariant value, and the lifting of the rod 42 is detected with the confirmation. Suppose there is no
　一方、図１３に示すように、吸着ノズル３０が下降し、ステージ１５に載置された電子部品Ｄと接触すると、ロッド４２には吸着ノズル３０を介して抵抗力Ｆｄが掛かる。抵抗力Ｆｄは、電子部品Ｄと接触した際に、ロッド４２が受ける吸着ノズル３０自体の重量やロッド４２が動く際に生じる摩擦などの力である。つまり、この力は、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒと比較すると、極めて弱い力である。そのため、電子部品Ｄとの接触により、電子部品Ｄには、過大な荷重がかかることを防止することができる。 On the other hand, as shown in FIG. 13, when the suction nozzle 30 descends and comes into contact with the electronic component D placed on the stage 15, a resistance force Fd is applied to the rod 42 via the suction nozzle 30. The resistance force Fd is a force such as the weight of the suction nozzle 30 itself received by the rod 42 when it comes into contact with the electronic component D or friction generated when the rod 42 moves. That is, this force is very weak compared with the descending force Fr from the rod 42 by the suction nozzle 30. Therefore, it is possible to prevent an excessive load from being applied to the electronic component D due to contact with the electronic component D.
　ボイスコイルモータ４７は、ロッド４２に対して｜Ｆｃｒ｜＝｜Ｆｏｐｐ｜となる対抗推力Ｆｏｐｐのみを与えているため、｜Ｆｏｐｐ｜＜｜Ｆｃｒ＋Ｆｄ｜となり、ロッド４２に対して浮き上がり力Ｆｆが発生し、平衡状態は崩れる。そのため、ロッド４２は、ボイスコイルモータ４７に対して相対的に浮き上がり、ステージ１５とは逆の方向に移動する。 Since the voice coil motor 47 gives only a counter thrust Fopp which satisfies | Fcr | = | Fopp | to the rod 42, | Fopp | <| Fcr + Fd |, and a lifting force Ff is generated on the rod 42. The equilibrium state collapses. Therefore, the rod 42 floats relative to the voice coil motor 47 and moves in the direction opposite to the stage 15.
　図１４に示すように、ロッド４２が浮き上がると、空気口４８ａを被覆していた蓋部４８ｂは、空気口４８ａから離れる。蓋部４８ｂから開放された空気口４８ａには、空気が流入又は流出し、圧力計４８ｄの値は変化する。接触判定部６４は、閾値と検出部４８の出力値とを比較することで、当該出力値が変化値であることを確認し、当該確認を以てロッド４２の浮き上がりが検出されたこととする。 As shown in FIG. 14, when the rod 42 is lifted, the lid portion 48b covering the air port 48a is separated from the air port 48a. Air flows into or out of the air port 48a opened from the lid portion 48b, and the value of the pressure gauge 48d changes. The contact determination unit 64 compares the threshold value with the output value of the detection unit 48 to confirm that the output value is a change value, and suppose that the lifting of the rod 42 is detected by the confirmation.
　ロッド４２の浮き上がりが検出されなければ（ステップＳ０４，Ｎｏ）、モータ制御部６１は、ロッド４２が浮き上がるまで、吸着ノズル３０の下降を続ける。吸着ノズル３０の降下中に、ロッド４２の浮き上がりが検出されれば（ステップＳ０４，Ｙｅｓ）、それは、吸着ノズル３０が電子部品Ｄと接触していることを示す。ロッド４２の浮き上がりが検出された場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を停止する（ステップＳ０５）。これにより、過度に電子部品Ｄに荷重をかけることを防止する。 If the lifting of the rod 42 is not detected (step S04, No), the motor control unit 61 continues to lower the suction nozzle 30 until the rod 42 is lifted. If lifting of the rod 42 is detected during the lowering of the suction nozzle 30 (step S04, Yes), it indicates that the suction nozzle 30 is in contact with the electronic component D. When the lifting of the rod 42 is detected, the drive of the advance / retreat drive motor 50 is stopped (step S05). This prevents an excessive load from being applied to the electronic component D.
　また、ロッド４２の浮き上がりが検出された場合には、モータ制御部６１は、駆動用モータ５０の回転量を到達地点情報記憶手段６５に対して送信する。到達地点情報記憶手段６５では、受信した回転量を到達地点情報として記憶する。（ステップＳ０６）。 When the lifting of the rod 42 is detected, the motor control unit 61 transmits the rotation amount of the driving motor 50 to the arrival point information storage unit 65. The arrival point information storage means 65 stores the received rotation amount as arrival point information. (Step S06).
（２）吸着ノズル３０を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御
　図１５は、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点に関する到達地点情報を参照し、吸着ノズル３０を到達位置まで移動する移動制御モードを示すフローチャートである。 (2) Control for moving the suction nozzle 30 from the advance / retreat start position to the arrival point FIG. 15 refers to the arrival point information related to the arrival point stored in the arrival point information storage means 65, and moves the adsorption nozzle 30 to the arrival position. It is a flowchart which shows the movement control mode to perform.
　移動制御モードでは、初めに、入力部６０ａからの入力に基づいて、モード切替部６０は、到達地点測定モードを設定する（ステップＳ１１）。停止位置に配置される吸着ノズル３０に対して、進退駆動用モータ５０の推進力を加え、吸着ノズル３０が保持する電子部品Ｄをステージ１５に対して降下させる。この時、モータ制御部６１は、当初速度情報に基づいて進退駆動用モータ５０を駆動する（ステップＳ１２）。当初速度情報は、速度情報記憶手段６２に記憶されており、モータ制御部が速度情報記憶手段６２を参照する形で呼び出す。 In the movement control mode, first, the mode switching unit 60 sets the arrival point measurement mode based on the input from the input unit 60a (step S11). A propulsive force of the advance / retreat driving motor 50 is applied to the suction nozzle 30 disposed at the stop position, and the electronic component D held by the suction nozzle 30 is lowered with respect to the stage 15. At this time, the motor control unit 61 drives the forward / backward drive motor 50 based on the initial speed information (step S12). The initial speed information is stored in the speed information storage means 62, and is called by the motor control unit with reference to the speed information storage means 62.
　ステップＳ１３では、比較手段６９により、吸着ノズル３０の現在位置情報が到達地点情報と一致するかを判定する。吸着ノズル３０の現在位置情報を、計測手段８４により計測する。比較手段６９は、吸着ノズル３０の現在位置情報と、到達地点情報とを比較し、一致するかを判定する。一致しない場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を当初速度で続ける（ステップＳ１３のＮＯ）。 In step S13, the comparison unit 69 determines whether the current position information of the suction nozzle 30 matches the arrival point information. Information on the current position of the suction nozzle 30 is measured by the measuring means 84. The comparison unit 69 compares the current position information of the suction nozzle 30 with the arrival point information and determines whether they match. If they do not match, the drive of the forward / backward drive motor 50 is continued at the initial speed (NO in step S13).
　吸着ノズル３０の現在位置情報と到達地点情報とが、一致する場合には、進退駆動用モータ５０の駆動速度を次速度に変更する（ステップＳ１４）。次速度は、速度情報記憶手段６２に記憶されており、モータ制御部が速度情報記憶手段６２を参照する形で呼び出す。 If the current position information and the arrival point information of the suction nozzle 30 match, the drive speed of the advance / retreat drive motor 50 is changed to the next speed (step S14). The next speed is stored in the speed information storage means 62, and is called by the motor control unit with reference to the speed information storage means 62.
　ステップＳ１５では、比較手段６９により、吸着ノズル３０の現在位置情報が変異点位置情報と一致するかを判定する。吸着ノズル３０の現在位置情報は、計測手段８４により計測し、比較手段６９に出力する。比較手段６９は、吸着ノズル３０の現在位置情報と、変異点位置情報とを比較し、一致するかを判定する。一致しない場合には、進退駆動用モータ５０の駆動を当初速度で続ける（ステップＳ１５のＮＯ）。 In step S15, the comparison unit 69 determines whether the current position information of the suction nozzle 30 matches the mutation point position information. The current position information of the suction nozzle 30 is measured by the measuring unit 84 and output to the comparing unit 69. The comparison unit 69 compares the current position information of the suction nozzle 30 with the mutation point position information and determines whether they match. If they do not match, the drive of the advance / retreat drive motor 50 is continued at the initial speed (NO in step S15).
　吸着ノズル３０の現在位置情報と到達地点情報とが、一致する場合には、進退駆動用モータ５０を停止する（ステップＳ１６）。 If the current position information and the arrival point information of the suction nozzle 30 match, the forward / backward drive motor 50 is stopped (step S16).
　（効果）
　以上、説明したように、本実施形態では、到達地点測定モードにおいて、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定し、到達地点情報を記憶する。移動制御モードでは、その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。これにより、以下の効果を奏することができる。 (effect)
As described above, in the present embodiment, in the arrival point measurement mode, the arrival point where the suction nozzle 30 and the electronic component D abut is measured, and the arrival point information is stored. In the movement control mode, based on the arrival point information, the movement is terminated at the timing when the suction nozzle 30 reaches the arrival point from the advance / retreat start position. Thereby, the following effects can be produced.
（１）到達地点測定モードでは、ボイスコイルモータ４７を吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの接触検出の一構成として機能させている。ロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒと同等な対抗推力Ｆｏｐｐをロッド４２に掛けることで、ロッド４２に掛かる総合的な荷重を０ニュートンとする。これにより、吸着ノズル３０と電子部品Ｄの接触に際し生じる抵抗力Ｆｄを感知している。 (1) In the arrival point measurement mode, the voice coil motor 47 is caused to function as one configuration for detecting contact between the suction nozzle 30 and the electronic component D. By applying a counter thrust Fopp equivalent to the reaction force Fcr received by the rod 42 to the rod 42, the total load applied to the rod 42 is set to 0 Newton. Thus, the resistance force Fd generated when the suction nozzle 30 and the electronic component D are in contact is sensed.
　抵抗力Ｆｄは、吸着ノズル３０はロッド４２から下降力Ｆｒと比較すると、極めて弱い力である。ロッド４２に掛かる総合的な荷重を０ニュートンとすることで、この抵抗力Ｆｄを感知することができる。そのため、ロッド４２と電子部品Ｄとの接触時の荷重を低荷重とすることができ、電子部品Ｄに過度な圧力を与えて破壊を誘因しない。また、電子部品Ｄの位置がずれを防止することができる。 The resistance force Fd is an extremely weak force compared to the descending force Fr from the rod 42 by the suction nozzle 30. This resistance force Fd can be sensed by setting the total load applied to the rod 42 to 0 Newton. Therefore, the load at the time of the contact between the rod 42 and the electronic component D can be reduced, and an excessive pressure is applied to the electronic component D so as not to cause destruction. Moreover, the position of the electronic component D can be prevented from shifting.
　この抵抗力Ｆｄを感知した時の吸着ノズル３０の到達地点情報を記憶しておく。吸着ノズル３０の到達地点情報は、進退駆動用モータ５０の回転量などの数値で表すことができるため、人間の感覚などに頼らずにすみ、ノズルの移動量の測定を簡易化することができる。 The arrival point information of the suction nozzle 30 when this resistance force Fd is sensed is stored. The arrival point information of the suction nozzle 30 can be expressed by a numerical value such as the amount of rotation of the advance / retreat driving motor 50, so that the measurement of the movement amount of the nozzle can be simplified without relying on human senses. .
　また、電子部品搬送装置１がターンテーブル１２に複数の吸着ノズル３０を備える場合などは、それぞれの吸着ノズル３０ごとの到達地点情報を到達地点情報記憶手段６２に記憶し、管理する。これにより、各ノズルの長さに誤差がある場合など、それぞれの吸着ノズル３０で移動量が異なる場合にでも、予めその吸着ノズル３０の到達地点情報を記憶しておく。その到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。これにより、電子部品搬送装置１に複数の吸着ノズル３０がある場合にでも、吸着ノズル３０ごとの移動量を個別に記憶、管理することができる。 Further, when the electronic component transport apparatus 1 includes a plurality of suction nozzles 30 on the turntable 12, the arrival point information for each suction nozzle 30 is stored in the arrival point information storage means 62 and managed. Thereby, even when the amount of movement of each suction nozzle 30 is different, such as when there is an error in the length of each nozzle, the arrival point information of the suction nozzle 30 is stored in advance. Based on the arrival point information, the movement is terminated at the timing when the suction nozzle 30 reaches the arrival point from the advance / retreat start position. Thereby, even when there are a plurality of suction nozzles 30 in the electronic component transport apparatus 1, the movement amount for each suction nozzle 30 can be individually stored and managed.
　製品ごとに吸着ノズル３０やチャックの種類を変更する場合には、交換後の各吸着ノズル３０やチャックの到達地点情報の測定し、新たな到達地点情報として記憶する。吸着ノズル３０やチャックの種類の変更にも対応することができる。 When changing the type of suction nozzle 30 or chuck for each product, the arrival point information of each suction nozzle 30 or chuck after replacement is measured and stored as new arrival point information. It is also possible to cope with changes in the types of the suction nozzle 30 and the chuck.
（２）移動制御モードでは、到達地点情報に基づいて、吸着ノズル３０が進退開始位置から到達地点まで達したタイミングで移動を終了させる。この時、到達地点に達した吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間にクリアランスがあると、電子部品Ｄを吸着する際の衝撃が吸着ノズル３０に加わる。この衝撃が吸着ノズル３０の先端を摩耗させる原因となっていた。また、到達地点に達した吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間にクリアランスが０でも、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの間に大きな力が加わると、この力により吸着ノズル３０の先端を摩耗する。吸着ノズル３０が到達地点まで達したタイミングでは、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとのクリアランスは０であり、また、吸着ノズル３０には、電子部品Ｄに対してきわめて弱い力である抵抗力Ｆｄの大きさの力しかかからない。そのため、吸着ノズル３０の先端の摩耗が生じなくなる。 (2) In the movement control mode, the movement is terminated at the timing when the suction nozzle 30 reaches the arrival point from the advance / retreat start position based on the arrival point information. At this time, if there is a clearance between the suction nozzle 30 that has reached the arrival point and the electronic component D, an impact when sucking the electronic component D is applied to the suction nozzle 30. This impact caused the tip of the suction nozzle 30 to wear. Even if the clearance between the suction nozzle 30 and the electronic component D reaching the arrival point is zero, if a large force is applied between the suction nozzle 30 and the electronic component D, the tip of the suction nozzle 30 is worn by this force. To do. At the timing when the suction nozzle 30 reaches the arrival point, the clearance between the suction nozzle 30 and the electronic component D is 0, and the suction nozzle 30 has a resistance force Fd which is a very weak force against the electronic component D. It only takes the power of size. Therefore, the tip of the suction nozzle 30 is not worn.
（３）また、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとの当接時の影響を低減するために、吸着ノズル３０の先端にラバーコレット３６を設けた場合は、当接時にラバーコレット３６に対して電子部品Ｄからの力が加わり、ラバーコレット３６が変形していた。このため、吸着ノズルの到達地点の測定においては、ラバーコレット３６の変形により、正確な吸着ノズルの到達地点を測定することは困難であった。 (3) Further, when the rubber collet 36 is provided at the tip of the suction nozzle 30 in order to reduce the influence at the time of contact between the suction nozzle 30 and the electronic component D, an electron is applied to the rubber collet 36 at the time of contact. The force from the part D was added and the rubber collet 36 was deform | transforming. For this reason, in the measurement of the arrival point of the suction nozzle, it is difficult to measure the accurate arrival point of the suction nozzle due to the deformation of the rubber collet 36.
　本実施形態で、吸着ノズルの先端にラバーコレット３６を設けた場合には、抵抗力Ｆｄを、ラバーコレット３６が、撓む力未満の大きさとするこができる。そのため、ラバーコレット３６が撓むことなく、到達地点を測定することが可能であり、その到達地点の情報に基づいて吸着ノズル３０の下降動作を予め定められたタイミングで終了させる。これにより、ラバーコレット３６の撓みを勘案してノズルの移動量の調整をする必要もなくなる。従来であれば、ラバーコレット３６の変形具合を目視で確認し、ノズルの移動量を測定していた。しかしながら、本実施形態では、熟練した作業員でも調整に時間がかかる目視での確認のような人力による調整を必要とせず、正確に吸着ノズル３０の到達地点を測定することが可能となる。 In the present embodiment, when the rubber collet 36 is provided at the tip of the suction nozzle, the resistance force Fd can be made smaller than the force with which the rubber collet 36 bends. Therefore, the arrival point can be measured without the rubber collet 36 being bent, and the lowering operation of the suction nozzle 30 is terminated at a predetermined timing based on the information on the arrival point. This eliminates the need to adjust the amount of movement of the nozzle in consideration of the bending of the rubber collet 36. Conventionally, the degree of deformation of the rubber collet 36 is visually confirmed, and the amount of movement of the nozzle is measured. However, in this embodiment, even a skilled worker does not require adjustment by human power such as visual confirmation that takes time for adjustment, and the arrival point of the suction nozzle 30 can be accurately measured.
　さらに、多品種少量生産において、電子部品Ｄの品種交換は、頻繁に行われる。特に、小ロットの品種の切り替えが頻発すると、吸着ノズルの調整に時間がとられて、電子部品保持装置の稼働時間が低下する。本実施形態では、ラバーコレット３６を用いた場合でも、正確に到達地点を測定することが可能となる。そのため、電子部品Ｄの品種の切り替えが頻繁に発生しても、その都度の調整を短時間で行うことができ、電子部品保持装置の稼働時間の低下を抑制することができる。 Furthermore, in the high-mix low-volume production, the electronic component D is frequently exchanged. In particular, when frequent switching of small lot types occurs, it takes time to adjust the suction nozzle, and the operating time of the electronic component holding device decreases. In the present embodiment, even when the rubber collet 36 is used, it is possible to accurately measure the arrival point. Therefore, even if the type of electronic component D is frequently switched, the adjustment can be performed in a short time, and a reduction in operating time of the electronic component holding device can be suppressed.
（４）電子部品保持装置を長時間運用すると、吸着ノズル３０の先端の先端が摩耗する。これにより、それまでの到達地点まで移動したタイミングでは、吸着ノズル３０と、電子部品Ｄとが当接しなくなる。この場合、メンテナンス時に、到達地点の測定を改めて行い、新たな到達地点の位置情報を到達地点情報として更新する。移動制御モードでは、新たな到達地点に基づいて、進退駆動用モータ５０の制御を行い、吸着ノズル３０を新たな到達地点まで移動させる。 (4) When the electronic component holding device is operated for a long time, the tip of the suction nozzle 30 is worn. As a result, the suction nozzle 30 and the electronic component D do not come into contact with each other at the timing of moving to the arrival point. In this case, at the time of maintenance, the arrival point is measured again, and the position information of the new arrival point is updated as the arrival point information. In the movement control mode, the forward / backward drive motor 50 is controlled based on the new arrival point, and the suction nozzle 30 is moved to the new arrival point.
　また、搬送対象となる電子部品Ｄの種類の変更を行った場合は、新たな電子部品Ｄに合わせて到達地点の測定を行う必要がある。この場合にも、到達地点の測定を改めて行う。移動制御モードでは、新たな到達地点情報に基づいて、進退駆動用モータ５０の制御を行い、吸着ノズル３０を新たな電子部品Ｄに合わせて移動させる。これにより、搬送対象となる電子部品Ｄの種類が変更された場合においても、到達地点の計測を行うことで、吸着ノズル３０を正確に移動することができる。 In addition, when the type of the electronic component D to be transported is changed, it is necessary to measure the arrival point according to the new electronic component D. In this case, the arrival point is measured again. In the movement control mode, the forward / backward drive motor 50 is controlled based on the new arrival point information, and the suction nozzle 30 is moved in accordance with the new electronic component D. Thereby, even when the type of the electronic component D to be transported is changed, the suction nozzle 30 can be accurately moved by measuring the arrival point.
　本実施形態では、吸着ノズル３０の到達地点を極めて簡単且つ精度よく検出することができるので、メンテナンスや電子部品Ｄの種類の変更を行った際にも、短時間で吸着ノズルの移動量を決定することができる。 In the present embodiment, since the arrival point of the suction nozzle 30 can be detected extremely easily and accurately, the amount of movement of the suction nozzle can be determined in a short time even when the type of maintenance or electronic component D is changed. can do.
（５）さらに、吸着ノズル３０が進退開始位置から変異点まで移動するタイミングで、移動速度を変更することも可能である。すなわち、吸着ノズル３０の進退開始位置からの当初速度で移動し、変異点において、次速度に変更する。 (5) Furthermore, the moving speed can be changed at the timing when the suction nozzle 30 moves from the advance / retreat start position to the mutation point. That is, it moves at the initial speed from the advance / retreat start position of the suction nozzle 30 and changes to the next speed at the mutation point.
　変異点の位置情報は、到達地点の測定が行わるごとに、変異点情報記憶手段６７に記憶される。この変異点は、到達地点から所定の距離、吸着ノズル３０の進退開始位置に近い側に設けられるものである。そのため、到達地点が測定され到達地点情報が更新されるたびに変異点の位置情報も更新される。 The position information of the mutation point is stored in the mutation point information storage means 67 every time the arrival point is measured. This mutation point is provided at a predetermined distance from the arrival point and on the side closer to the advance / retreat start position of the suction nozzle 30. Therefore, whenever the arrival point is measured and the arrival point information is updated, the position information of the mutation point is also updated.
　予め、次速度を当初速度より低速に設定する。進退開始位置から吸着ノズル３０を高速で移動させることで、吸着ノズル３０が電子部品Ｄに近づく時間を短縮することができる。一方、変異点において、吸着ノズル３０の移動速度を低速に変更することで電子部品Ｄとの接触の影響を低減することができる。 予 め Set the next speed to be lower than the initial speed in advance. By moving the suction nozzle 30 from the advance / retreat start position at a high speed, the time for the suction nozzle 30 to approach the electronic component D can be shortened. On the other hand, at the mutation point, the influence of contact with the electronic component D can be reduced by changing the moving speed of the suction nozzle 30 to a low speed.
（６）本実施形態では、変異点を１つ設け、その変異点で吸着ノズルの移動速度を変更したが、変異点は１つに限らず、複数設けることもできる。例えば、２つの変異点Ａ，Ｂを設ける場合に、１つ目の変異点Ａまでは、吸着ノズル３０を一定の加速度で加速させる。１つ目の変異点Ａを過ぎるタイミングで、吸着ノズル３０を一定の加速度で減速させる。その後、２つ目の変異点Ｂを過ぎるタイミングで、吸着ノズル３０を等速で移動させる。 (6) In this embodiment, one mutation point is provided, and the moving speed of the suction nozzle is changed at the mutation point. However, the number of mutation points is not limited to one, and a plurality of mutation points may be provided. For example, when two mutation points A and B are provided, the suction nozzle 30 is accelerated at a constant acceleration up to the first mutation point A. At the timing when the first mutation point A is passed, the suction nozzle 30 is decelerated at a constant acceleration. Thereafter, at the timing when the second mutation point B is passed, the suction nozzle 30 is moved at a constant speed.
　このようにすることで、加速、減速、等速のタイミングを組み合わせることにより、吸着ノズル３０と電子部品Ｄの当接時には、吸着ノズル３０を等速で運動させることを前提に、吸着ノズル３０をより短時間で電子部品Ｄに接近させることができる。等速で吸着ノズル３０と電子部品Ｄを接触させることができるので、等速時にはロッド４２にかかる力が一定であるため、精度高くロッド４２の浮き上がりを検出することができる。 By combining the timings of acceleration, deceleration, and constant speed in this way, the suction nozzle 30 is moved on the assumption that the suction nozzle 30 is moved at a constant speed when the suction nozzle 30 and the electronic component D are in contact with each other. The electronic component D can be approached in a shorter time. Since the suction nozzle 30 and the electronic component D can be brought into contact with each other at a constant speed, the force applied to the rod 42 is constant at the constant speed, so that the lifting of the rod 42 can be detected with high accuracy.
（７）また、その他の工程処理ユニット１４における工程処理において適切な荷重を電子部品Ｄに与えることに利用されていたボイスコイルモータ４７を転用又は併用でき、特別な機械的構成は必要としない。 (7) Further, the voice coil motor 47 used for applying an appropriate load to the electronic component D in the process processing in the other process processing unit 14 can be diverted or used together, and no special mechanical configuration is required.
［第２の実施形態］
　以下、本発明の第２の実施形態に係る電子部品搬送装置について図１６を参照しつつ詳細に説明する。本実施形態は、第１の実施形態の電子部品搬送装置１に電子部品の受け渡し手段であるロータリーテーブル８０が配置されたものである。ロータリーテーブル８０は、ピックアップ地点Ｂでウェハ９１から電子部品Ｄを取り出す。その後、受け渡し地点Ａで電子部品搬送装置１のターンテーブル１２の吸着ノズル３０に電子部品を渡す。これにより、電子部品搬送装置１の搬送経路に電子部品Ｄが流れることになる。すなわち、ロータリーテーブル８０は、ウェハ９１から電子部品搬送装置１に電子部品Ｄを載せ替える受け渡し手段である。 [Second Embodiment]
Hereinafter, an electronic component conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In the present embodiment, a rotary table 80 serving as an electronic component delivery unit is arranged in the electronic component transport apparatus 1 of the first embodiment. The rotary table 80 takes out the electronic component D from the wafer 91 at the pickup point B. Thereafter, the electronic component is delivered to the suction nozzle 30 of the turntable 12 of the electronic component transport apparatus 1 at the delivery point A. As a result, the electronic component D flows through the transport path of the electronic component transport apparatus 1. That is, the rotary table 80 is a delivery unit that transfers the electronic component D from the wafer 91 to the electronic component transport apparatus 1.
　ターンテーブル１２の吸着ノズル３０には、それぞれシリアルナンバーが付される。ターンテーブル１２に８つの吸着ノズルが設けられる場合、吸着ノズルにはＴ００１～Ｔ００８のシリアルナンバーが付与される。同様に、ロータリーテーブル８０に８つの吸着ノズルが設けられる場合、吸着ノズルにはＲ８０１～Ｒ８０８のシリアルナンバーが付与される。 A serial number is assigned to each suction nozzle 30 of the turntable 12. When eight suction nozzles are provided on the turntable 12, serial numbers T001 to T008 are assigned to the suction nozzles. Similarly, when eight suction nozzles are provided on the rotary table 80, serial numbers R801 to R808 are assigned to the suction nozzles.
　すなわち、ロータリーテーブル８０は、電子部品Ｄを先端で保持及び離脱させる複数の吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８を備えている。この吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は、同一円周上に円周等配位置で設置され、その円周中心から半径方向に沿って延びている。吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は、先端を外方に向けて配置されている。ロータリーテーブル８０は、電子部品を保持した吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転中心として所定角度ずつ回転させる。 That is, the rotary table 80 includes a plurality of suction nozzles R801 to R808 that hold and detach the electronic component D at the tip. The suction nozzles R801 to R808 are installed at equal circumferential positions on the same circumference, and extend in the radial direction from the center of the circumference. The suction nozzles R801 to R808 are arranged with their tips directed outward. The rotary table 80 rotates the suction nozzles R801 to R808 holding electronic components by a predetermined angle about an axis perpendicular to the radial direction through the circumferential center.
　このロータリーテーブル８０は、垂直方向に回転を行う。つまり、ロータリーテーブル８０の回転軸は、水平方向に延びる。ロータリーテーブル８０は、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８に保持した電子部品Ｄを垂直方向に移動させる。 This rotary table 80 rotates in the vertical direction. That is, the rotary shaft of the rotary table 80 extends in the horizontal direction. The rotary table 80 moves the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808 in the vertical direction.
　ロータリーテーブル８０の間欠回転により、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は、少なくともテーブルの頂点で、停止するように調整されている。この頂点では、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は、電子部品搬送装置１のターンテーブル１２の吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の停止位置の１か所の直下に位置する。この停止位置では、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８とが互いに先端を向き合わせて停止する。この停止位置で、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄを吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８に渡す。すなわち、この停止位置が、受け渡し地点Ａとなる。 By the intermittent rotation of the rotary table 80, the suction nozzles R801 to R808 are adjusted to stop at least at the top of the table. At this apex, the suction nozzles R801 to R808 are located immediately below one of the stop positions of the suction nozzles T001 to T008 of the turntable 12 of the electronic component transport apparatus 1. At this stop position, the suction nozzles T001 to T008 and the suction nozzles R801 to R808 stop with their tips facing each other. At this stop position, the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808 is transferred to the suction nozzles T001 to T008. That is, this stop position becomes the delivery point A.
　受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は、その先端で電子部品Ｄの一面を保持している。つまり、電子部品Ｄの反対面を、受け渡し地点Ａで対向する吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８に向けている。受け取り側の吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８は、その反対面を先端で保持する。その後、ターンテーブル１２が回転することにより、ターンテーブル１２の他の停止位置まで電子部品Ｄを保持し搬送する。 At the delivery point A, the suction nozzles R801 to R808 hold one surface of the electronic component D at their tips. That is, the opposite surface of the electronic component D is directed to the suction nozzles T001 to T008 that face each other at the delivery point A. The suction nozzles T001 to T008 on the receiving side hold the opposite surfaces at the tips. Thereafter, the turntable 12 rotates to hold and convey the electronic component D to another stop position of the turntable 12.
　ウェハ９１は、ロータリーテーブル８０の下降点の一か所に配置されている。ステージ装置９は、電子部品が取り出されるウェハ９１に電子部品Ｄを載せながらＸＹ方向に平行移動することで、各電子部品Ｄを一つずつピックアップ地点Ｂに位置させる。 The wafer 91 is arranged at one place of the descending point of the rotary table 80. The stage device 9 moves each electronic component D to the pickup point B one by one by moving in parallel in the XY direction while placing the electronic component D on the wafer 91 from which the electronic component is taken out.
　ピックアップ地点Ｂは、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８のウェハ９１の最寄り停止位置である。本実施形態では、ターンテーブル１２とロータリーテーブル８０が上下に配置され、ロータリーテーブル８０の上部が受け渡し位置Ａ、直下がピックアップ地点Ｂとなっている。 Pickup point B is the nearest stop position of the wafer 91 of the suction nozzles R801 to R808. In the present embodiment, the turntable 12 and the rotary table 80 are arranged above and below, the upper part of the rotary table 80 is the delivery position A, and the pickup position B is directly below.
　（進退駆動部４）
　押圧体４０と進退駆動用モータ５０とからなる進退駆動部４は、ターンテーブル１２の停止位置の受け渡し地点Ａと、ロータリーテーブル８０の停止位置のピックアップ地点Ｂに設置されている。 (Advance / Retreat Drive 4)
The advancing / retreating drive unit 4 composed of the pressing body 40 and the advancing / retreating driving motor 50 is installed at a delivery point A at the stop position of the turntable 12 and a pickup point B at the stop position of the rotary table 80.
　受け渡し地点Ａにおいては、ターンテーブル１２側にのみ進退駆動部４が設けられる。すなわち、受け渡し地点Ａにおい吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８が、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８へ向かって電子部品の受け渡しのために迎えに行く構成となる。 At the delivery point A, the advance / retreat drive unit 4 is provided only on the turntable 12 side. That is, at the delivery point A, the suction nozzles T001 to T008 are picked up for delivery of electronic components toward the suction nozzles R801 to R808.
　ピックアップ地点Ｂにおいては、ロータリーテーブル８０に進退駆動部４が設けられる。すなわち、ピックアップ地点Ｂにおいては、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が、ウェハ９１に対して電子部品を迎えに行く構成となる。 At the pickup point B, the advance / retreat drive unit 4 is provided on the rotary table 80. That is, at the pick-up point B, the suction nozzles R801 to R808 are configured to pick up electronic components from the wafer 91.
（制御部６）
　本実施形態の制御部では、図１７に示すように、第１の実施形態の制御部６の構成に加えて、ノズル識別部７０が設けられる。 (Control unit 6)
In the control unit of the present embodiment, as shown in FIG. 17, in addition to the configuration of the control unit 6 of the first embodiment, a nozzle identification unit 70 is provided.
　ノズル識別部７０は、受け渡し地点Ａに停止する吸着ノズルを識別する。ターンテーブル１２の吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と、ロータリーテーブル８０の吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８に夫々の異なる位置に、切り欠き部を設けておく。ノズル識別部７０は、光センサ４９を備え、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との切り欠き部分の有無を検出し、予め記憶してある切り欠き部分と対応付ける。 The nozzle identification unit 70 identifies the suction nozzle that stops at the delivery point A. Cutout portions are provided at different positions in the suction nozzles T001 to T008 of the turntable 12 and the suction nozzles R801 to R808 of the rotary table 80, respectively. The nozzle identification unit 70 includes an optical sensor 49, detects presence / absence of notch portions between the suction nozzles T001 to T008 and the suction nozzles R801 to R808, and associates them with the notch portions stored in advance.
　光センサ４９は、発光部から光を照射し、受光部でその光を受けとるセンサである。発光部としては、ＬＥＤ、受光部としては、フォトトランジスタやフォトダイオードを利用する。この光センサ４９の発光部と受光部を、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の停止位置を挟んで配置する。 The optical sensor 49 is a sensor that emits light from the light emitting unit and receives the light from the light receiving unit. An LED is used as the light emitting unit, and a phototransistor or a photodiode is used as the light receiving unit. The light emitting portion and the light receiving portion of the optical sensor 49 are arranged with the stop positions of the suction nozzles T001 to T008 interposed therebetween.
　この時、発光部と受光部との間に、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の切り欠き部が配置されるようにする。ノズル識別部７０は、光センサ４９により、切り欠き部分の有無を検出し、予め記憶してある切り欠き部分と対応付ける。これにより、吸着ノズル識別部７０は、受け渡し地点Ａに停止する吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８を識別する。同様のノズル識別部７０をロータリーテーブル８０に設けることで、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８を識別する。 At this time, the notch portions of the suction nozzles T001 to T008 are arranged between the light emitting portion and the light receiving portion. The nozzle identification part 70 detects the presence or absence of a notch part by the optical sensor 49 and associates it with a notch part stored in advance. As a result, the suction nozzle identifying unit 70 identifies suction nozzles T001 to T008 that stop at the delivery point A. By providing the same nozzle identification unit 70 on the rotary table 80, the suction nozzles R801 to R808 are identified.
　吸着ノズルＴ００１が、吸着ノズルＲ８０１に対して到達地点の測定を行った場合には、Ｔ００１－Ｒ８０１の組み合わせにおける到達地点として、到達地点情報を到達地点情報記憶手段６５に記憶する。 When the suction nozzle T001 measures the arrival point for the suction nozzle R801, the arrival point information is stored in the arrival point information storage means 65 as the arrival point in the combination of T001-R801.
　変異点情報記憶手段６７は、生成手段６６で生成した変異点情報を記憶する。生成手段６６は、到達地点情報に基づいて、変異点に関する変異点情報を生成する。変異点情報の生成は、到達地点情報記憶手段６５に記憶した到達地点情報ごとに行われる。吸着ノズルＴ００１が、吸着ノズルＲ８０１に対して到達地点の測定を行った場合には、吸着ノズルの組み合わせＴ００１－Ｒ８０１の変異点情報を生成し、記憶する。 The mutation point information storage unit 67 stores the mutation point information generated by the generation unit 66. The generation means 66 generates mutation point information related to the mutation point based on the arrival point information. The generation of the mutation point information is performed for each arrival point information stored in the arrival point information storage unit 65. When the suction nozzle T001 measures the arrival point for the suction nozzle R801, the variation point information of the suction nozzle combination T001-R801 is generated and stored.
（１）吸着ノズルと電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定
　受け渡し地点Ａにおける吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄとが当接する到達地点の測定方法では、第１の実施形態の電子部品搬送装置１での到達地点の測定と同様に行う。 (1) Measurement of the arrival point where the suction nozzle and the electronic component D abut In the method of measuring the arrival point where the suction nozzles T001 to T008 at the transfer point A and the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808 abut, This is performed in the same manner as the measurement of the arrival point in the electronic component transport apparatus 1 of the first embodiment.
　設定モードが設定されると、ターンテーブル１２とロータリーテーブル８０とに設置されたシリアルナンバーが若い吸着ノズル３０が受け渡し地点Ａに配置される（Ｔ００１－Ｒ８０１）。このとき吸着ノズルＲ８０１は、受け渡し対象となる電子部品Ｄを保持している。そして、進退駆動用モータ５０を駆動し吸着ノズルＴ００１の移動を開始する。吸着ノズルＴ００１が吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄと当接することで、ロッド４２の浮き上がりを検出する。これにより、吸着ノズルＴ００１の吸着ノズルＲ８０１が保持する電子部品Ｄに対する到達地点の測定を行う。 When the setting mode is set, the suction nozzle 30 with a lower serial number installed on the turntable 12 and the rotary table 80 is placed at the delivery point A (T001-R801). At this time, the suction nozzle R801 holds the electronic component D to be delivered. Then, the advance / retreat driving motor 50 is driven to start the movement of the suction nozzle T001. When the suction nozzle T001 comes into contact with the electronic component D held by the suction nozzle R801, the lifting of the rod 42 is detected. Thus, the arrival point of the suction nozzle T001 with respect to the electronic component D held by the suction nozzle R801 is measured.
　次に、ターンテーブル１２を回転し、吸着ノズルＴ００２を受け渡し地点Ａに配置する。同様に、吸着ノズルＴ００２を吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズルＴ００２の到達地点の測定を行う。このように、到達地点の測定終了ごとに、ターンテーブル１２を回転し、受け渡し地点Ａに吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８を配置する。吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の吸着ノズルＲ８０１の保持する電子部品Ｄに対する測定が終了した後、ロータリーテーブル８０を回転させ、受け渡し地点ＡにＲ８０２を配置する。このように、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対する測定を行う。その後、測定結果を到達地点情報記憶手段６５に記憶し、到達地点測定モードが終了する。 Next, the turntable 12 is rotated to place the suction nozzle T002 at the delivery point A. Similarly, the suction nozzle T002 is moved with respect to the electronic component D held by the suction nozzle R801, and the arrival point of the suction nozzle T002 is measured. As described above, the turntable 12 is rotated every time the arrival point measurement is completed, and the suction nozzles T001 to T008 are arranged at the delivery point A. After the measurement on the electronic component D held by the suction nozzle R801 of the suction nozzles T001 to T008 is completed, the rotary table 80 is rotated and R802 is arranged at the delivery point A. In this way, measurement is performed on the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808 of the suction nozzles T001 to T008. Then, a measurement result is memorize | stored in the arrival point information storage means 65, and an arrival point measurement mode is complete | finished.
（２）吸着ノズルを進退開始位置から到達地点までの移動させる制御
　吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御では、第１の実施形態と同様に、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点情報を参照し、行う。 (2) Control for moving the suction nozzle from the advance / retreat start position to the arrival point In the control for moving the suction nozzles T001 to T008 from the advance / retreat start position to the arrival point, as in the first embodiment, the arrival point information storage means Reference is made to the arrival point information stored in 65.
　受け渡し地点Ａに、吸着ノズルＴ００１と吸着ノズルＲ８０１とが配置される場合、到達地点情報記憶手段６５から、Ｔ００１－Ｒ８０１の組み合わせにおける吸着ノズルＴ００１の到達地点情報を呼び出す。その到達地点情報に基づいて進退駆動用モータ５０の駆動を開始する。比較手段６９は、Ｔ００１－Ｒ８０１における吸着ノズルＴ００１の到達地点情報と、吸着ノズルＴ００１の現在位置情報との比較を行う。そして、一致する場合には、進退駆動用モータを停止する。 When the suction nozzle T001 and the suction nozzle R801 are arranged at the delivery point A, the arrival point information of the suction nozzle T001 in the combination of T001-R801 is called from the arrival point information storage unit 65. Based on the arrival point information, the driving of the forward / backward drive motor 50 is started. The comparison unit 69 compares the arrival point information of the suction nozzle T001 in T001-R801 with the current position information of the suction nozzle T001. If they match, the forward / backward drive motor is stopped.
（効果）
　以上説明したように、本実施形態では、特に、電子部品搬送装置１に電子部品の受け渡し手段であるロータリーテーブル８０が配置された場合、受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の移動距離を、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせと関連付けて記憶する。そのため、測定モードでは、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせごとに到達地点が異なる場合においても、組み合わせごとに適正な到達地点の測定が可能となる。これにより、第１の実施形態の効果に加えて、以下の効果を奏することができる。 (effect)
As described above, in the present embodiment, in particular, when the rotary table 80 serving as the electronic component delivery means is arranged in the electronic component transport apparatus 1, the transfer distance of the suction nozzles T001 to T008 is set at the delivery point A. The information is stored in association with the combination of the suction nozzles R801 to R808. Therefore, in the measurement mode, even when the arrival points differ for each combination of the suction nozzles T001 to T008 and the suction nozzles R801 to R808, it is possible to measure an appropriate arrival point for each combination. Thereby, in addition to the effect of 1st Embodiment, there can exist the following effects.
（１）移動制御モードでは、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８と吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせごとの適正な到達地点に基づいて、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の移動を行う。そのため、受け渡し地点Ａにどの組み合わせの吸着ノズルが配置されようとも、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８を適正な位置まで移動することができる。これにより、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対して、大きな荷重をかけず、電子部品Ｄの脱落を防止する。また、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、ターンテーブル１２側に進退駆動部４が設けたが、ロータリーテーブル８０側に進退駆動部４を設けることもできる。この場合、電子部品Ｄを保持するＲ８０１～Ｒ８０８を移動する構成としても良い。 (1) In the movement control mode, the suction nozzles T001 to T008 are moved based on an appropriate arrival point for each combination of the suction nozzles T001 to T008 and the suction nozzles R801 to R808. Therefore, regardless of which combination of suction nozzles is arranged at the delivery point A, the suction nozzles T001 to T008 can be moved to an appropriate position. Thus, a large load is not applied to the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808, and the electronic component D is prevented from falling off. In this embodiment, at the delivery point A, the advance / retreat drive unit 4 is provided on the turntable 12 side. However, the advance / retreat drive unit 4 may be provided on the rotary table 80 side. In this case, R801 to R808 holding the electronic component D may be moved.
　また、本実施形態においても、吸着ノズル３０の先端にラバーコレット３６を設けることができる。特に、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８の先端にラバーコレット３６を設けた場合には、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の到達地点の測定の際には、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８は電子部品Ｄを保持している。そのため、従来のように、目視での確認のような人力による調整では、ラバーコレットの変形具合が、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８との接触によるものなのか、電子部品Ｄの自重によるものなのか判断がつきにくい。しかしながら、本実施形態では、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８に保持された電子部品Ｄと、吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の接触を、ラバーコレット３６が撓む力未満の大きさの抵抗力Ｆｄにより検知することができる。正確に吸着ノズルＴ００１～Ｔ００８の到達地点を測定することが可能となる。 Also in this embodiment, the rubber collet 36 can be provided at the tip of the suction nozzle 30. In particular, when the rubber collet 36 is provided at the tip of the suction nozzles R801 to R808, the suction nozzles R801 to R808 hold the electronic component D when measuring the arrival points of the suction nozzles T001 to T008. Therefore, as in the past, in the adjustment by human power such as visual confirmation, it is determined whether the deformation of the rubber collet is due to contact with the suction nozzles T001 to T008 or due to the weight of the electronic component D. Hard to stick. However, in this embodiment, the contact between the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808 and the suction nozzles T001 to T008 can be detected by the resistance force Fd having a magnitude less than the force with which the rubber collet 36 bends. it can. It is possible to accurately measure the arrival points of the suction nozzles T001 to T008.
　以上では、受け取り位置Ａにおける位置測定モードと、移動制御モードについて述べたが、ピックアップ地点Ｂにおける吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８の到達地点の測定にも応用することが可能である。 In the above, the position measurement mode and the movement control mode at the reception position A have been described. However, the present invention can also be applied to the measurement of the arrival points of the suction nozzles R801 to R808 at the pickup point B.
（２）本実施形態においても前記第１の実施形態と同様に、吸着ノズル３０の移動の制御を行うことも可能である。 (2) In the present embodiment as well, the movement of the suction nozzle 30 can be controlled as in the first embodiment.
（３）受け渡し位置Ａまたは、ピックアップ地点Ｂにおける吸着ノズル３０の移動の制御を、記憶部６に記憶された到達地点情報を参照し、決定する。吸着ノズル３０の移動の制御では、吸着ノズル３０の移動速度を進退開始位置から移動開始時と、電子部品Ｄの接触前で変更することも可能である。 (3) The control of the movement of the suction nozzle 30 at the delivery position A or the pickup point B is determined with reference to the arrival point information stored in the storage unit 6. In the control of the movement of the suction nozzle 30, it is possible to change the movement speed of the suction nozzle 30 from the advance / retreat start position at the start of movement and before the electronic component D contacts.
　これにより、進退開始位置から吸着ノズル３０を高速で移動させることで、吸着ノズル３０が電子部品Ｄに近づく時間を短縮することができる。一方、到達地点の手前で、吸着ノズル３０を低速で移動させることで、電子部品Ｄとの接触の影響を低減することができる。 Thus, by moving the suction nozzle 30 at a high speed from the advance / retreat start position, the time for the suction nozzle 30 to approach the electronic component D can be shortened. On the other hand, the influence of the contact with the electronic component D can be reduced by moving the suction nozzle 30 at a low speed before the arrival point.
［第３の実施形態］
　以下、本発明の第３の実施形態に係る電子部品搬送装置１について図面を参照しつつ詳細に説明する。本実施形態は、第１実施形態の電子部品搬送装置１の搬送経路を形成するターンテーブル１２を、２つのロータリーテーブル８０，８１に変更したものである。 [Third Embodiment]
Hereinafter, an electronic component conveying apparatus 1 according to a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the present embodiment, the turntable 12 that forms the transport path of the electronic component transport apparatus 1 of the first embodiment is changed to two rotary tables 80 and 81.
　ロータリーテーブル８０は、ピックアップ地点Ｂでトレイ９２から電子部品Ｄを取り出す。その後、受け渡し地点Ａでロータリーテーブル８１の吸着ノズル３０に電子部品Ｄを渡す。電子部品Ｄを受け取ったロータリーテーブル８１は、離脱地点Ｃで他方のトレイ９２に位置させる。これにより、トレイ９２から他方のトレイ９２まで、電子部品Ｄが搬送されることになる。また、２連のロータリーテーブル８０，８１は、一方のトレイ９２から他方のトレイ９２までの一連の搬送路であるとともに、電子部品Ｄの表裏反転機構ともなっている。 The rotary table 80 takes out the electronic component D from the tray 92 at the pickup point B. Thereafter, the electronic component D is delivered to the suction nozzle 30 of the rotary table 81 at the delivery point A. The rotary table 81 that has received the electronic component D is positioned on the other tray 92 at the separation point C. As a result, the electronic component D is conveyed from the tray 92 to the other tray 92. The two rotary tables 80 and 81 are a series of conveyance paths from one tray 92 to the other tray 92 and also serve as a front / back reversing mechanism for the electronic component D.
　ロータリーテーブル８０，８１の吸着ノズル３０には、それぞれＲ８０１～Ｒ８０８、Ｒ８１１～Ｒ８１８のシリアルナンバーが付される。吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８と、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８とが互いに先端を向き合わせて停止し、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄを吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８に渡す。すなわち、この停止位置が、受け渡し地点Ａとなる。 The suction nozzles 30 of the rotary tables 80 and 81 are given serial numbers R801 to R808 and R811 to R818, respectively. The suction nozzles R801 to R808 and the suction nozzles R811 to R818 stop with their tips facing each other, and the electronic components D held by the suction nozzles R801 to R808 are transferred to the suction nozzles R811 to R818. That is, this stop position becomes the delivery point A.
　受け渡し地点Ａにおいては、ロータリーテーブル８１側にのみ進退駆動部４が設けられる。すなわち、受け渡し地点Ａにおい吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８が、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８へ向かって電子部品Ｄの受け渡しのために迎えに行く構成となる。 At the delivery point A, the advance / retreat drive unit 4 is provided only on the rotary table 81 side. That is, at the delivery point A, the suction nozzles R811 to R818 are picked up for delivery of the electronic component D toward the suction nozzles R801 to R808.
　本実施形態では、搬送経路として２つのロータリーテーブル８０，８１が設けられた場合、受け渡し地点Ａでは、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８の移動距離を、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせと関連付けて記憶する。そのため、測定モードでは、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８と吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせごとに到達地点が異なる場合においても、組み合わせごとに適正な到達地点の測定が可能となる。また、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８を進退開始位置から到達地点までの移動させる制御では、第１，２の実施形態と同様に、到達地点情報記憶手段６５に記憶された到達地点情報を参照し、行う。これにより、第１，２の実施形態の効果に加えて、以下の効果を奏することができる。 In the present embodiment, when the two rotary tables 80 and 81 are provided as the transport path, the transfer distance of the suction nozzles R811 to R818 is stored in association with the combination with the suction nozzles R801 to R808 at the transfer point A. Therefore, in the measurement mode, even when the arrival points are different for each combination of the suction nozzles R811 to R818 and the suction nozzles R801 to R808, it is possible to measure an appropriate arrival point for each combination. Further, the control for moving the suction nozzles R811 to R818 from the advance / retreat start position to the arrival point is performed by referring to the arrival point information stored in the arrival point information storage means 65 as in the first and second embodiments. . Thereby, in addition to the effects of the first and second embodiments, the following effects can be achieved.
（１）移動制御モードでは、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８と吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８との組み合わせごとの適正な到達地点に基づいて、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８の移動を行う。そのため、受け渡し地点Ａにどの吸着ノズルが配置されようとも、吸着ノズルＲ８１１～Ｒ８１８を適正な位置まで移動することができる。これにより、吸着ノズルＲ８０１～Ｒ８０８が保持する電子部品Ｄに対して、大きな荷重をかけず、電子部品Ｄの脱落を防止する。また、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、ロータリーテーブル８１側にのみ進退駆動部４が設けたが、ロータリーテーブル８０側に進退駆動部を設けることもできる。この場合、電子部品Ｄを保持するＲ８０１～Ｒ８０８を移動する構成としても良い。 (1) In the movement control mode, the suction nozzles R811 to R818 are moved based on an appropriate arrival point for each combination of the suction nozzles R811 to R818 and the suction nozzles R801 to R808. Therefore, regardless of which suction nozzle is disposed at the delivery point A, the suction nozzles R811 to R818 can be moved to an appropriate position. Thus, a large load is not applied to the electronic component D held by the suction nozzles R801 to R808, and the electronic component D is prevented from falling off. In the present embodiment, at the delivery point A, the advance / retreat drive unit 4 is provided only on the rotary table 81 side. However, an advance / retreat drive unit can be provided on the rotary table 80 side. In this case, R801 to R808 holding the electronic component D may be moved.
（２）本実施形態においては、１つの搬送路で同時に複数の品種を搬送することもできる。例えば、品種Ａについては、偶数番目の吸着ノズル３０を使用し、品種Ｂについては、奇数番目の吸着ノズル３０を使用することで、同時に２種類の品種を搬送することができる。この場合、品種Ａ，Ｂを保持した吸着ノズルに対して、もう一方の吸着ノズルを移動させ、各ノズルの到達地点を各ノズルの組み合わせと関連付けて、記憶する。これにより、２つの品種の電子部品Ｄを同時に１つの搬送路で搬送することができる。 (2) In the present embodiment, it is possible to simultaneously transport a plurality of varieties through one transport path. For example, by using the even-numbered suction nozzle 30 for the product type A and using the odd-numbered suction nozzle 30 for the product type B, two types of product can be conveyed simultaneously. In this case, the other suction nozzle is moved with respect to the suction nozzles holding the varieties A and B, and the arrival point of each nozzle is stored in association with each nozzle combination. As a result, two types of electronic components D can be simultaneously conveyed on one conveyance path.
　また、品種Ａのみを搬送する場合に、偶数番目のみの吸着ノズルを使用し、ロータリーテーブルを２ピッチずつ移動させる。一方、奇数番目の吸着ノズルを使用し、ロータリーテーブルを２ピッチずつ移動させる。これにより、電子部品Ｄを吸着する吸着ノズルを選択することで、ノズルの移動距離の調整を行うことなく、搬送する電子部品の品種の切り替えを可能とした電子部品搬送装置として機能する。 Also, when only the product type A is transported, the even numbered suction nozzle is used and the rotary table is moved by 2 pitches. On the other hand, an odd-numbered suction nozzle is used to move the rotary table by two pitches. Thus, by selecting a suction nozzle that picks up the electronic component D, it functions as an electronic component transport device that can switch the type of electronic component to be transported without adjusting the movement distance of the nozzle.
［他の実施形態］
　以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 [Other Embodiments]
Although the embodiments of the present invention have been described above, various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. And this embodiment and its deformation | transformation are included in the invention described in the claim, and its equivalent range while being included in the range and summary of invention.
（１）各実施形態では、位置補正ユニット１４ａのステージ１５上に電子部品Ｄを載置し、到達地点測定モードにおいて、吸着ノズル３０をステージ１５に載置した電子部品Ｄに対して移動させ、吸着ノズル３０と電子部品Ｄとが当接する到達地点を測定した。これだけでなく、吸着ノズル３０に電子部品Ｄを保持させ、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル３０をステージ１５に対して移動させ、吸着ノズル３０が保持する電子部品Ｄとステージ１５との当接する到達地点を測定しても良い。 (1) In each embodiment, the electronic component D is placed on the stage 15 of the position correction unit 14a, and in the arrival point measurement mode, the suction nozzle 30 is moved with respect to the electronic component D placed on the stage 15, The arrival point where the suction nozzle 30 and the electronic component D abut was measured. Not only this, the suction nozzle 30 holds the electronic component D, the suction nozzle 30 holding the electronic component D is moved with respect to the stage 15, and the electronic component D held by the suction nozzle 30 and the stage 15 come into contact with each other. A point may be measured.
　これにより、ステージ１５に載置した電子部品Ｄに対する吸着ノズルの到達地点だけでなく、保持した電子部品Ｄをステージ１５に載置する際の、吸着ノズル３０の到達地点を測定することができる。 Thereby, not only the arrival point of the suction nozzle with respect to the electronic component D placed on the stage 15 but also the arrival point of the suction nozzle 30 when the held electronic component D is placed on the stage 15 can be measured.
（２）また、各実施形態では、進退駆動用モータ５０としてサーボモータを用いる場合を例に説明したが、モータとしては、ステッピングモータ等公知であれば何れも適用が可能である。 (2) In each embodiment, the case where a servo motor is used as the forward / backward drive motor 50 has been described as an example. However, any known motor such as a stepping motor can be applied as the motor.
（３）到達地点情報として、吸着ノズル３０が進退開始位置時から移動し、ロッド４２の浮き上がりが発生するまでに進退駆動用モータ５０が何回転したかを示す回転量としたが、到達地点情報としては、他の情報を利用することもできる。例えば、吸着ノズル３０が進退開始位置時から、ロッド４２の浮き上がりが発生するまでの進退駆動用モータ５０の回転速度を駆動時間で積分したものを、到達地点情報としても良い。 (3) As the arrival point information, the suction nozzle 30 is moved from the advance / retreat start position, and the amount of rotation indicating how many times the advance / retreat driving motor 50 has rotated before the rod 42 is lifted is used. Other information can also be used. For example, the arrival point information may be obtained by integrating the rotation speed of the advance / retreat driving motor 50 from the time when the suction nozzle 30 is in the advance / retreat start position until the rod 42 is lifted up by the drive time.
（４）吸着ノズル３０として吸着ノズルを例に採り説明したが、吸着ノズル以外に替えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。 (4) Although the suction nozzle has been described as an example of the suction nozzle 30, instead of the suction nozzle, an electrostatic suction method, a Bernoulli chuck method, or a chuck mechanism that mechanically clamps the electronic component D may be arranged. Good.
（５）吸着ノズルの先端にラバーコレット３６を設ける例に採り説明したが、ラバーコレット３６としては、ゴム製のラバーコレット以外にも、弾性部材であれば種々のコレットを使用することもできる。 (5) Although an example in which the rubber collet 36 is provided at the tip of the suction nozzle has been described, as the rubber collet 36, various collets can be used as long as they are elastic members in addition to the rubber rubber collet.
（６）圧縮バネ３３、３６の両方を備えることも、何れか一方を備えることも、両方を備えないものであってもよく、その態様に応じてロッド４２が受ける反作用力Ｆｃｒと同等な対抗推力Ｆｏｐｐを発生させればよい。すなわち、推進力Ｆｒとは、圧縮バネ３３、３６のない吸着ノズル３０のみを移動させる力、圧縮バネ３３に抗して吸着ノズル３０のみを移動させる力、又は圧縮バネ３３、３６の弾性力の差分に抗して吸着ノズル３０のみを移動させる力を含み、反作用力Ｆｃｒは、その推進力Ｆｒに対応する意である。 (6) Both of the compression springs 33 and 36 may be provided, or one of them may be provided, or both may not be provided, and a countermeasure equivalent to the reaction force Fcr received by the rod 42 depending on the mode. What is necessary is just to generate thrust Fopp. That is, the propulsive force Fr is a force that moves only the suction nozzle 30 without the compression springs 33 and 36, a force that moves only the suction nozzle 30 against the compression spring 33, or an elastic force of the compression springs 33 and 36. The reaction force Fcr includes a force that moves only the suction nozzle 30 against the difference, and the reaction force Fcr corresponds to the propulsion force Fr.
（７）ノズル識別部７０は光センサ４９を備える例を採り説明したが、停止位置に停止した吸着ノズル３０のシリアルナンバーを識別することができる方法であれば、他の方法と代替可能である。例えば、各吸着ノズルは、ID情報を埋め込んだRFタグを設け、停止位置に停止した吸着ノズル３０のRFタグからの情報を無線通信により読み出すことで、吸着ノズル３０のシリアルナンバーを識別することも可能である。また、各吸着ノズル３０にシリアルナンバーを示すバーコードを付し、停止位置に停止した吸着ノズル３０のバーコードを読み出すことも可能である。 (7) The nozzle identification unit 70 has been described by taking an example including the optical sensor 49. However, any other method can be used as long as the method can identify the serial number of the suction nozzle 30 stopped at the stop position. . For example, each suction nozzle is provided with an RF tag in which ID information is embedded, and the serial number of the suction nozzle 30 can be identified by reading information from the RF tag of the suction nozzle 30 stopped at the stop position by wireless communication. Is possible. It is also possible to attach a barcode indicating a serial number to each suction nozzle 30 and read the barcode of the suction nozzle 30 stopped at the stop position.
　さらに、ノズル識別部７０は機械的に外部よりノズルを識別するものだけでなく、プログラムを用いてソフト的に識別して良い。例えば、ノズル識別部７０は、ＣＰＵを含んで構成されるノズル位置とノズルの停止位置とを対応づけたデータベースを更新するものであり、ターンテーブル１２の一回転ごとにデータベース上の停止位置情報を、次の位置情報に更新しているものである。 Furthermore, the nozzle identifying unit 70 may identify not only mechanically the nozzle from the outside but also software by using a program. For example, the nozzle identifying unit 70 updates a database in which nozzle positions including a CPU and nozzle stop positions are associated with each other, and the stop position information on the database is updated every rotation of the turntable 12. , Updated to the next position information.
（８）回転速度情報として進退駆動用モータ４０の回転数、回転量情報として進退駆動用モータ４０の回転量を挙げたが、この他にも、進退駆動用モータの回転速度情報、回転量情報を表すことができる情報であれば、種々のパラメータを利用することができる。例えば、回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数であり、前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数である。 (8) The rotational speed information includes the rotational speed of the advance / retreat drive motor 40 and the rotational amount information includes the rotational amount of the advance / retreat drive motor 40. Various parameters can be used as long as the information can represent. For example, the rotation amount information is the number of pulses given to the advance / retreat drive motor, and the rotation speed information is a pulse frequency given to the advance / retreat drive motor.
（９）電子部品保持装置２の検出部４８は、パイプ内の空気圧の変化や、空気口４８ａを通じた空気の流入又は流出を検出することにより、ロッド４２がボイスコイルモータ４７に対して相対的に浮き上がったことを検出したが、他の方法によりロッド４２の浮き上がりを検出することも可能である。 (9) The detection unit 48 of the electronic component holding device 2 detects the change in the air pressure in the pipe and the inflow or outflow of air through the air port 48 a, so that the rod 42 is relative to the voice coil motor 47. However, it is also possible to detect the lifting of the rod 42 by other methods.
（１０）工程処理ユニット１４として、位置補正ユニット１４ａの例を挙げたが、その他の工程処理ユニット１４としては、パーツフィーダ、位置補正ユニット、テストコンタクト装置、マーキングユニット、外観検査装置、分類ソート機構、不良品排出装置等のうちの一又は複数種類が選択的である。 (10) Although the example of the position correction unit 14a has been given as the process processing unit 14, the other process processing unit 14 includes a parts feeder, a position correction unit, a test contact device, a marking unit, an appearance inspection device, and a classification sorting mechanism. One or a plurality of types of defective product discharge devices and the like are optional.
（１１）一つのターンテーブル１２に各種の工程処理ユニット１４を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル１２で一の搬送経路１１を構成するようにしてもよい。各種の工程処理ユニット１４は、上記した種類に限られず、各種の工程処理ユニット１４と置き換えることが可能であり、配置順序も適宜変更可能である。 (11) The case where various process processing units 14 are arranged on one turntable 12 has been described as an example. However, the conveyance mechanism may be a linear conveyance system, or a plurality of turntables 12 may perform one conveyance. The path 11 may be configured. The various process processing units 14 are not limited to the types described above, and can be replaced with various process processing units 14, and the arrangement order can be changed as appropriate.
　１…電子部品搬送装置
１１…搬送経路
１２…ターンテーブル
１３…搬送用モータ
１４…工程処理ユニット
１４ａ…位置補正ユニット
１５…ステージ
　２…電子部品保持装置
３０…吸着ノズル
３１…アーム
３２…軸受け
３３…圧縮バネ
３４…フランジ
３５…継手
３６…ラバーコレット
３７…筐体部
３８…接触部
３９…平坦部
　４…進退駆動部
４０…押圧体
４１…リニアガイド
４２…ロッド
４３…フレーム
４３ａ…下腕
４３ｂ…上腕
４４…カムフォロア
４５…軸受け
４６…圧縮バネ
４７…ボイスコイルモータ
４７ａ…磁石
４７ｂ…環状コイル
４８…検出部
４８ａ…空気口
４８ｂ…蓋部
４８ｃ…パイプ
４８ｄ…圧力計
４８ｅ…空気圧回路
４８ｆ…流量計
４９ｆ…オリフィス
４９…光センサ
５０…進退駆動用モータ
５１…円筒カム
　６…制御部
６０…モード切替部
６０ａ…入力部
６１…モータ制御部
６２…速度情報記憶手段
６３…ＶＣＭ制御部
６４…接触判定部
６５…到達地点位置記憶手段
６６…生成手段
６７…変異点情報記憶手段
６８…計測手段
６９…比較手段
７０…ノズル識別部
８０，８１…ロータリーテーブル
９…ステージ装置
９１…ウェハ
９２…トレイ
１００…撮影光学系 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component conveyance apparatus 11 ... Conveyance path | route 12 ... Turntable 13 ... Conveyance motor 14 ... Process processing unit 14a ... Position correction unit 15 ... Stage 2 ... Electronic component holding device 30 ... Suction nozzle 31 ... Arm 32 ... Bearing 33 ... Compression spring 34 ... Flange 35 ... Joint 36 ... Rubber collet 37 ... Housing part 38 ... Contact part 39 ... Flat part 4 ... Advancing and retracting drive part 40 ... Pressing body 41 ... Linear guide 42 ... Rod 43 ... Frame 43a ... Lower arm 43b ... Upper arm 44 ... cam follower 45 ... bearing 46 ... compression spring 47 ... voice coil motor 47a ... magnet 47b ... annular coil 48 ... detection part 48a ... air port 48b ... lid part 48c ... pipe 48d ... pressure gauge 48e ... pneumatic circuit 48f ... flow meter 49f ... Orifice 49 ... Optical sensor 50 ... Advancing / retracting drive motor 51 ... Cylindrical cam 6 ... Control unit 60 ... Motor Switching unit 60a ... input unit 61 ... motor control unit 62 ... speed information storage unit 63 ... VCM control unit 64 ... contact determination unit 65 ... arrival point position storage unit 66 ... generation unit 67 ... mutation point information storage unit 68 ... measurement unit 69 ... Comparison means 70 ... Nozzle identification sections 80, 81 ... Rotary table 9 ... Stage device 91 ... Wafer 92 ... Tray 100 ... Photonic optical system

Claims (20)

  1. 　電子部品を保持する電子部品保持装置の保持手段の移動方法であって、
    　前記保持手段の到達地点を予め測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する測定ステップと、
    　前記電子部品保持装置を稼動させて、前記測定ステップで測定された到達地点に基づく到達地点情報を用いて、前記保持手段の移動を行う移動制御ステップと、
    　を含み、
    　前記電子部品保持装置には、
    　ボイスコイルモータに接続されたロッドと、
    　前記ロッドを介して前記保持手段に推進力を与えて前記電子部品に到達させる進退駆動用モータと、
    　を設けておき、
    　前記測定ステップでは、
    　前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが前記保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが前記ボイスコイルモータに沈みこもうとする力を、前記ボイスコイルモータによる対抗推力で阻止し、
    　前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出し、
    　前記相対的な浮き上がりを検出した地点を到達地点とし、到達地点に関する位置情報を到達地点情報として記憶し、
    　前記移動制御ステップでは、
    　その到達地点情報に基づいて前記保持手段を移動させること、
    　を特徴とする保持手段の移動方法。     A method of moving a holding means of an electronic component holding apparatus for holding an electronic component,
    A measurement step of measuring the arrival point of the holding means in advance and storing arrival point information based on the arrival point;
    A movement control step of operating the electronic component holding device and using the arrival point information based on the arrival point measured in the measurement step to move the holding means;
    Including
    In the electronic component holding device,
    A rod connected to the voice coil motor;
    An advancing / retracting drive motor that gives propulsive force to the holding means via the rod to reach the electronic component;
    Set up
    In the measuring step,
    When the holding means has not reached the electronic component, the forward / backward drive motor applies a propulsive force to the holding means, thereby causing the voice coil motor to exert a force that causes the rod to sink into the voice coil motor. Is blocked by the counter thrust by
    Detecting the relative lift of the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component;
    The point where the relative lift is detected is set as a destination point, and position information regarding the destination point is stored as destination point information,
    In the movement control step,
    Moving the holding means based on the arrival point information;
    A moving method of the holding means.
  2. 　前記電子部品保持装置には、前記保持手段の電子部品と当接する部分にラバーコレットを更に設けておくこと、
    　を特徴とする請求項１に記載の保持手段の移動方法。     In the electronic component holding device, a rubber collet is further provided in a portion that contacts the electronic component of the holding means,
    The moving method of the holding means according to claim 1.
  3. 　計測手段により、前記保持手段の現在位置を計測し、
    　この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較し、
    　前記保持手段を移動開始させ、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記保持手段を停止させることを、
    　を特徴とする請求項１または請求項２に記載の保持手段の移動方法。     By measuring means, measure the current position of the holding means,
    The current position information regarding the current position and the destination information are sequentially compared,
    Starting the movement of the holding means, and stopping the holding means when the current position information and the arrival point information match,
    The moving method of the holding means according to claim 1 or 2, characterized in that.
  4. 　前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶し、
    　前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成し、
    　前記計測手段が計測した前記現在位置情報を、前記変異点情報及び前記到達地点情報とそれぞれを逐次比較し、
    　前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させ、一方、前記現在位置情報と前記変異点情報とが一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると前記保持手段を停止させることを、
    　を特徴とする請求項３に記載の保持手段の移動方法。     Initial speed information related to the initial moving speed of the forward / backward drive motor and next speed information related to the next speed information are stored in advance;
    Based on the arrival point information, generate mutation point information regarding the travel distance to the mutation point,
    The current position information measured by the measuring means is sequentially compared with the mutation point information and the arrival point information,
    The holding means starts to move at a speed based on the initial speed information. On the other hand, if the current position information and the mutation point information match, the speed is changed to the speed based on the next speed information, and the current position information and the arrival Stopping the holding means when the point information matches,
    The method for moving the holding means according to claim 3.
  5. 　一または複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、
    　前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、
    　前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、
    　前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶されること、
    　を特徴する請求項１～４のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。     A table on which one or more of the holding means are arranged;
    A conveyance motor for intermittently rotating the table at a predetermined angle;
    The holding means stops at a stop position where the advance / retreat driving motor is provided,
    The destination information is stored in association with information for identifying each holding means;
    The method for moving the holding means according to any one of claims 1 to 4, wherein:
  6. 　前記移動位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有するので保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、
    　前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶されること、
    　を特徴する請求項１～５のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。     Since the moving device has other devices that deliver and receive electronic components, the holding means is located one by one so as to face the holding means,
    The destination information is stored in association with information identifying a combination of holding means facing each other and another holding means, and information indicating the movement position;
    The method for moving the holding means according to any one of claims 1 to 5, wherein:
  7. 　前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータの回転数を示す回転速度情報であり、
    　前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータの回転量を示す回転量情報であること、
    　を特徴とする請求項４～６のいずれか１項に記載の保持手段の移動方法。     The initial speed information and the next speed information are rotational speed information indicating the rotational speed of the forward / backward drive motor,
    The arrival point information, the current position information, and the mutation point information are rotation amount information indicating a rotation amount of a forward / backward drive motor,
    The method for moving the holding means according to any one of claims 4 to 6, wherein:
  8. 　前記回転速度情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス周波数であり、
    　前記回転量情報は、進退駆動用モータに与えられるパルス数であることを特徴とする請求項７に記載の保持手段の保持手段の移動方法。     The rotation speed information is a pulse frequency given to the forward / backward drive motor,
    The method according to claim 7, wherein the rotation amount information is a pulse number given to a forward / backward drive motor.
  9. 　電子部品を保持する保持手段を備えた電子部品保持装置であって、
    　ボイスコイルモータに接続されたロッドと、
    　前記ロッドを介して前記保持手段に推進力を与えて前記電子部品に到達させる進退駆動用モータと、
    　前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
    　入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定する到達地点測定モードと、測定した到達地点に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
    　前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出する検出手段と、
    　前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点の位置情報を記憶する到達地点情報記憶手段と、
    　前記到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
    　を備えることを特徴とする電子部品保持装置。     An electronic component holding apparatus having a holding means for holding an electronic component,
    A rod connected to the voice coil motor;
    An advancing / retracting drive motor that gives propulsive force to the holding means via the rod to reach the electronic component;
    A voice coil motor that prevents a force that the rod tries to sink by applying a propulsive force to the holding means when the holding means has not reached the electronic component by a counter thrust;
    A mode switching unit for switching between an arrival point measurement mode for measuring the arrival point of the holding means based on an input from the input unit, and a movement control mode for moving the holding means based on the measured arrival point;
    Detecting means for detecting a relative lift of the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component;
    Arrival point information storage means for storing position information of the arrival point where the relative lift is detected;
    A motor control unit for operating the forward / backward drive motor based on the arrival point information;
    An electronic component holding device comprising:
  10. 　前記電子部品保持装置には、前記保持手段の電子部品と当接する部分にラバーコレットを更に設けておくこと、
    　を特徴とする請求項９に記載の電子部品保持装置。     In the electronic component holding device, a rubber collet is further provided in a portion that contacts the electronic component of the holding means,
    The electronic component holding device according to claim 9.
  11. 　前記保持手段の現在位置を計測する計測手段と、
    　この現在位置に関する現在位置情報と前記到達地点情報とを逐次比較する比較手段とを備え、
    　前記モータ制御部は、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記進退駆動用モータを停止させることを、
    　を特徴とする請求項９または請求項１０に記載の電子部品保持装置。     Measuring means for measuring the current position of the holding means;
    Comparing means for sequentially comparing the current position information regarding the current position and the arrival point information,
    The motor control unit, when the current position information and the arrival point information match, to stop the advance / retreat driving motor,
    The electronic component holding apparatus according to claim 9 or 10, wherein
  12. 　前記進退駆動用モータの当初の移動速度に関する当初速度情報と、次の速度情報に関する次速度情報とを予め記憶する速度情報記憶手段と、
    　前記到達地点情報に基づき、変異点までの移動距離に関する変異点情報を生成する生成手段と、
    　を備え、
    　前記モータ制御部は、前記保持手段を当初速度情報に基づく速度で移動開始させる一方、前記比較手段により前記現在位置情報と前記変異点情報が一致であると前記次速度情報に基づく速度に変更し、前記比較手段により前記現在位置情報と前記到達地点情報と一致であると停止させることを、
    　を特徴とする請求項１１に記載の電子部品保持装置。     Speed information storage means for storing in advance initial speed information relating to the initial moving speed of the advance / retreat driving motor and next speed information relating to the next speed information;
    Based on the arrival point information, generating means for generating mutation point information related to the travel distance to the mutation point,
    With
    The motor control unit starts the movement of the holding unit at a speed based on initial speed information, and changes the speed based on the next speed information when the current position information and the mutation point information match by the comparison unit. And stopping the current position information and the arrival point information by the comparison means,
    The electronic component holding apparatus according to claim 11.
  13. 　前記当初速度情報及び次速度情報は、進退駆動用モータモータの回転数を示す回転速度情報であり、
    　前記到達地点情報、前記現在位置情報、及び前記変異点情報は、進退駆動用モータモータの回転量を示す回転量情報であること、
    　を特徴とする請求項１２に記載の電子部品保持装置。     The initial speed information and the next speed information are rotation speed information indicating the number of rotations of the forward / backward drive motor motor,
    The arrival point information, the current position information, and the mutation point information are rotation amount information indicating a rotation amount of a forward / backward drive motor,
    The electronic component holding apparatus according to claim 12.
  14. 　一または複数の前記保持手段が配置されるテーブルと、
    　前記テーブルを所定角度ごと間欠的に回転させる搬送用モータと、を備え、
    　前記保持手段は、前記進退駆動用モータが設けられる停止位置に停止し、
    　前記到達地点情報は、各保持手段を識別する情報と関連づけて記憶されること、
    　を特徴する請求項９～１３のいずれか１項に記載の電子部品保持装置。     A table on which one or more of the holding means are arranged;
    A conveyance motor for intermittently rotating the table at a predetermined angle;
    The holding means stops at a stop position where the advance / retreat driving motor is provided,
    The destination information is stored in association with information for identifying each holding means;
    The electronic component holding apparatus according to any one of claims 9 to 13, characterized in that:
  15. 　前記移動位置には、電子部品を受け渡しする他の装置が有するので保持手段が、前記保持手段に向かい合うように一機ずつ位置し、
    　前記到達地点情報は、向かい合わせになる保持手段と他の保持手段の組み合わせを識別する情報、及び前記移動位置を示す情報と関連づけて記憶されること、
    　を特徴する請求項９～１４のいずれか１項に記載の電子部品保持装置。     Since the moving device has other devices that deliver and receive electronic components, the holding means is located one by one so as to face the holding means,
    The destination information is stored in association with information identifying a combination of holding means facing each other and another holding means, and information indicating the movement position;
    The electronic component holding apparatus according to any one of claims 9 to 14, wherein:
  16. 　電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
    　前記保持手段を前記搬送経路に沿って周回させるとともに、前記保持手段を前記工程処理ユニットの受渡箇所上方に停止させる搬送用モータと、
    　前記電子部品を保持しつつ、外力によって昇降可能な保持手段と、
    　ボイスコイルモータに接続されたロッドと、
    　前記ロッドを介して前記保持手段に推進力を与えて前記電子部品に到達させる進退駆動用モータと、
    　前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
    　入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する到達地点測定モードと、この到達地点情報に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
    　前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出する検出手段と、
    　前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点の位置情報を記憶する到達地点情報記憶手段と、
    　前記到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
    　を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。     An electronic component transport device that transports electronic components along a transport path,
    A conveying motor that circulates the holding means along the conveying path and stops the holding means above the delivery point of the process unit;
    Holding means capable of moving up and down by an external force while holding the electronic component;
    A rod connected to the voice coil motor;
    An advancing / retracting drive motor that gives propulsive force to the holding means via the rod to reach the electronic component;
    A voice coil motor that prevents a force that the rod tries to sink by applying a propulsive force to the holding means when the holding means has not reached the electronic component by a counter thrust;
    Based on the input from the input unit, the arrival point of the holding unit is measured, the arrival point measurement mode for storing the arrival point information based on the arrival point, and the movement control for moving the holding unit based on the arrival point information A mode switching unit for switching between modes;
    Detecting means for detecting a relative lift of the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component;
    Arrival point information storage means for storing position information of the arrival point where the relative lift is detected;
    A motor control unit for operating the forward / backward drive motor based on the arrival point information;
    An electronic component conveying apparatus comprising:
  17. 　電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
    　前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持手段と、
    　前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第１のロータリーテーブルと、
    　前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第２のロータリーテーブルと、
    　を備え、
    　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、
    　互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置され、
    　双方が有する前記保持手段の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、
    　前記第１のロータリーテーブルは、
    　一方の収容体から取り出した前記電子部品の一面を保持させて前記受け渡し地点まで搬送し、
    　前記第２のロータリーテーブルは、
    　前記受け渡し地点で前記電子部品の反対面を保持させて他方の収容体へ離脱させ、
    　前記第１若しくは第２のロータリーテーブルの何れか一方には、
    　前記保持手段の推進力を発生させる進退駆動用モータと、
    　前記受渡箇所上方に停止した保持手段の上方に昇降可能に設けられ、前記保持手段と当接して、前記進退駆動用モータが発生させた前記推進力を前記保持手段へ伝達するロッドと、
    　前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
    　入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する到達地点測定モードと、この到達地点情報に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
    　前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出する検出手段と、
    　前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点の位置情報を記憶する到達地点情報記憶手段と、
    　前記到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
    　を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。     An electronic component transport device that transports electronic components along a transport path,
    Holding means for holding and releasing one surface of the electronic component at the tip;
    A plurality of the holding means arranged around a rotation axis, and a first rotary table that intermittently rotates by a predetermined angle around the rotation axis so that the tip always faces outward;
    A plurality of holding means arranged around the rotation axis, and a second rotary table that rotates intermittently at a predetermined angle around the rotation axis so that the tip always faces outward;
    With
    The first and second rotary tables are
    In order not to overlap each other, the rotating shafts are parallel and arranged adjacent to each other on the same plane,
    The front end of the holding means that both have has a common stop position facing each other, the stop position as a delivery point, the electronic component is delivered,
    The first rotary table is
    Holding one side of the electronic component taken out from one container and transporting it to the delivery point,
    The second rotary table is
    Holding the opposite surface of the electronic component at the delivery point and separating it to the other container,
    Either the first or second rotary table has
    A forward / backward drive motor for generating a propulsive force of the holding means;
    A rod that can be moved up and down above the holding means stopped above the delivery location, abuts against the holding means, and transmits the propulsive force generated by the advance / retreat driving motor to the holding means;
    A voice coil motor that prevents a force that the rod tries to sink by applying a propulsive force to the holding means while the holding means has not reached the electronic component by a counter thrust;
    Based on the input from the input unit, the arrival point of the holding unit is measured, the arrival point measurement mode for storing the arrival point information based on the arrival point, and the movement control for moving the holding unit based on the arrival point information A mode switching unit for switching between modes;
    Detecting means for detecting a relative lift of the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component;
    Arrival point information storage means for storing position information of the arrival point where the relative lift is detected;
    A motor control unit for operating the forward / backward drive motor based on the arrival point information;
    An electronic component conveying apparatus comprising:
  18. 　電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
    　前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持手段と、
    　前記保持手段を前記搬送経路に沿って複数配置し、その保持手段の延び方向が回転軸と平行となるように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるターンテーブルと、
    　前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるロータリーテーブルと、
    　を備え、
    　前記ターンテーブルと前記ロータリーテーブルとが有する前記保持手段の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、
    　前記ターンテーブルと、前記ロータリーテーブルのいずれか一方には、
    　前記保持手段の推進力を発生させる進退駆動用モータと、
    　前記受渡箇所上方に停止した保持手段の上方に昇降可能に設けられ、前記保持手段と当接して、前記進退駆動用モータが発生させた前記推進力を前記保持手段へ伝達するロッドと、
    　前記保持手段が前記電子部品へ未達の状態で、前記進退駆動用モータが保持手段に推進力を与えることにより前記ロッドが沈みこもうとする力を、対抗推力で阻止するボイスコイルモータと、
    　入力部からの入力に基づいて、保持手段の到達地点を測定し、当該到達地点に基づく到達地点情報を記憶する到達地点測定モードと、この到達地点情報に基づいて保持手段の移動を行う移動制御モードとの切替えを行うモード切替部と、
    　前記保持手段の前記電子部品への到達によって生じる、前記ボイスコイルモータと前記ロッドとの相対的な浮き上がりを検出する検出手段と、
    　前記相対的な浮き上がりを検出した到達地点の位置情報を記憶する到達地点情報記憶手段と、
    　前記到達地点情報に基づいて前記進退駆動用モータを稼動するモータ制御部と、
    　を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。     An electronic component transport device that transports electronic components along a transport path,
    Holding means for holding and releasing one surface of the electronic component at the tip;
    A plurality of the holding means disposed along the transport path, and a turntable that intermittently rotates the rotating shaft by a predetermined angle around the rotating shaft so that the extending direction of the holding device is parallel to the rotating shaft;
    A plurality of the holding means are arranged around the rotation axis, and a rotary table that intermittently rotates by a predetermined angle around the rotation axis so that the tip always faces outward,
    With
    The turntable and the rotary table have a common stop position where the front ends of the holding means face each other, and the electronic component is delivered as the stop position,
    On either the turntable or the rotary table,
    A forward / backward drive motor for generating a propulsive force of the holding means;
    A rod that can be moved up and down above the holding means stopped above the delivery location, abuts against the holding means, and transmits the propulsive force generated by the advance / retreat driving motor to the holding means;
    A voice coil motor that prevents a force that the rod tries to sink by applying a propulsive force to the holding means while the holding means has not reached the electronic component by a counter thrust;
    Based on the input from the input unit, the arrival point of the holding unit is measured, the arrival point measurement mode for storing the arrival point information based on the arrival point, and the movement control for moving the holding unit based on the arrival point information A mode switching unit for switching between modes;
    Detecting means for detecting a relative lift of the voice coil motor and the rod caused by the holding means reaching the electronic component;
    Arrival point information storage means for storing position information of the arrival point where the relative lift is detected;
    A motor control unit for operating the forward / backward drive motor based on the arrival point information;
    An electronic component conveying apparatus comprising:
  19. 　前記保持手段の電子部品と当接する部分にラバーコレットを更に設けておくこと、
    　を特徴とする請求項１６、１７、または１８に記載の電子部品搬送装置。     A rubber collet is further provided on the portion of the holding means that contacts the electronic component,
    The electronic component carrying device according to claim 16, 17, or 18.
  20. 　前記保持手段の現在の移動距離に関する現在位置情報を計測する計測手段と、
    　前記計測手段が計測した前記現在位置情報を前記到達地点情報とを、それぞれを逐次比較する比較手段とを備え、
    　前記モータ制御部は、前記現在位置情報と前記到達地点情報とが一致であると、前記進退駆動用モータを停止させることを、
    　を特徴とする請求項１６～１９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。     Measuring means for measuring current position information regarding the current moving distance of the holding means;
    Comparing means that sequentially compares the current position information measured by the measuring means with the arrival point information,
    The motor control unit, when the current position information and the arrival point information match, to stop the advance / retreat driving motor,
    The electronic component carrying apparatus according to any one of claims 16 to 19, wherein:
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