WO2014071647A1 - 一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) manufacturing technology, and more particularly to a method and apparatus for repairing a liquid crystal display array substrate disconnection.
  • TFT-LCD thin film transistor liquid crystal display
  • Fig. 1 it is a schematic view of a conventional disconnection of a pattern line on an array substrate; Fig. 1 shows only a partial array substrate. Among them, the substrate 1 is plated to form the first pattern 2 and the second pattern 3. The second pattern is broken at 40 and 41, thereby breaking the pattern 3 into three parts (30, 31, 32).
  • a fill line path 4 can be recoated, one end of which is in communication with the 30 area of pattern 3, and the other end is in communication with the area 32 of pattern 3, thereby reconnecting pattern 3.
  • FIG. 3 it is a schematic structural view after the line is added according to the AA cross section of FIG. 2; as can be seen from the AA cross section of FIG. 2, the wire filling device 5 (only one part is shown) along The line path in FIG. 2 is moved from left to right at a uniform speed for coating. At the position across the pattern 2, since the pattern 2 and the substrate 1 have a large height change, it is easy to break and discontinue in the line path 4. In this case, the patch fails, resulting in a substrate yield that is not ideal.
  • the technical problem to be solved by the present invention is to provide a method and a device for repairing disconnection of a liquid crystal display array substrate, which can improve the success rate when repairing a liquid crystal display array substrate is broken.
  • an aspect of the embodiments of the present invention provides a method for repairing a disconnection of a liquid crystal display array substrate, comprising the following steps:
  • the coating is performed at the determined corresponding coating speed to form a continuous plating film on the winding path.
  • the step of scanning the patch path is:
  • the patch path is scanned by white light interference or laser scanning to obtain height data for each point on the patch path.
  • the step of dividing the patch line into at least two path sections according to the scan result of the patch path, and setting a corresponding coating speed for each section path section is specifically: Divided into at least two path segments;
  • a corresponding coating speed is set for the path section, wherein a slower coating speed is set for the path section where the height data changes greatly.
  • the step of dividing the patch line into at least two path sections according to the scan result of the patch path, and setting a corresponding coating speed for each section path section is specifically: according to the patch path a scan result confirming an interval of the edge of the pattern line that has been plated on the array substrate passing through the line path;
  • a slower coating speed is set for the path section passing through the edge of the pattern line, and a faster coating speed is set for the path section of the other edge of the pattern line.
  • another aspect of the present invention provides a method for repairing a broken line of a liquid crystal display array substrate, comprising the following steps:
  • the patching path is determined
  • the coating is performed at the determined corresponding coating speed to form a continuous plating film on the winding path.
  • a slower coating speed is set for the path section passing through the edge of the pattern line, and a faster coating speed is set for the path section of the other edge of the pattern line.
  • the connected plating film formed on the pay-line path reconnects the disconnection of the pattern in which the disconnection occurs, and is insulated from other patterns through which the disconnection does not occur.
  • a further aspect of the embodiments of the present invention provides an apparatus for repairing a disconnection of a liquid crystal display array substrate, including:
  • a detecting module configured to detect whether a pattern on the liquid crystal display array substrate is broken; and a scanning module, configured to: when the detecting device detects that a pattern on the liquid crystal display array substrate is broken, determine and scan the pattern The line of the line at the break;
  • a setting module according to a scan result of the scan module, dividing the fill line path into at least two path sections, and setting a corresponding coating speed for each section of the path section;
  • the coating device performs coating at a predetermined coating speed on each of the path sections provided in the setting module to form a continuous plating film on the bonding path.
  • the scanning module scans the patch path by means of white light interference or laser scanning to obtain height data of each point on the line path.
  • the setting module is large according to the change of the height data of each point in each path section. Small, a corresponding coating speed is set for the path section, wherein a slower coating speed is set for the path section where the height data changes greatly.
  • the setting module is configured to set, according to a result of the scanning module, a section of the line of the pattern line that passes through the edge of the pattern line and a section that is not the edge of the pattern line to different path sections;
  • the path interval at the edge of the pattern line sets a slower coating speed, setting a faster coating speed for other path intervals that are not edged by the pattern line.
  • the coating may be performed by using different coating speeds in different path sections, for example, the pattern
  • the path interval of the edge of the line is set to a slower coating speed to increase the coating thickness of the path section, so that a continuous plating film can be formed on the line path, thereby improving the success rate of the line.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a disconnection of a pattern line on an array substrate in the prior art
  • FIG. 2 is a schematic view showing a structure of a conventional line in FIG. 1;
  • FIG. 2 is a schematic view showing a structure of a conventional line in FIG. 1;
  • Figure 3 is a schematic view showing the structure of the A-A cross-section of Figure 2;
  • FIG. 4 is a schematic view showing the structure of repairing a broken line of a liquid crystal display array substrate in one embodiment of the present invention
  • Figure 5 is a graph showing the height obtained by scanning the fill-line path of Figure 4 in one embodiment of the present invention.
  • Fig. 6 is a schematic view showing the structure of the B-B cross section of Fig. 4 after the line is added.
  • a method for repairing a disconnection of a liquid crystal display array substrate is provided. Including the following steps:
  • the pattern on the liquid crystal display array substrate is broken, determining a line path at the disconnection of the pattern, and scanning the line path, specifically, by white light interference or laser scanning
  • the line path is scanned to obtain height data of each point on the line path; according to the scan result of the line path, the line path is divided into at least two path sections, and each path is The interval corresponding to the coating speed;
  • the coating is performed at the determined corresponding coating speed to form a continuous plating film on the winding path.
  • the step of dividing the patch path into at least two path segments according to the scan result of the patch path, and the step of setting a corresponding coating speed for each segment path segment specifically includes:
  • the step of dividing the patch line into at least two path regions according to the scan result of the patch path, and setting a corresponding coating speed for each segment path interval is specifically:
  • a corresponding coating speed is set for the path section, wherein a slower coating speed is set for the path section where the height data changes greatly.
  • the step of dividing the patch path into at least two path segments according to the scan result of the patch path, and the step of setting a corresponding coating speed for each segment path segment specifically includes:
  • a slower coating speed is set for the path section passing through the edge of the pattern line, and a faster coating speed is set for the path section of the other edge of the pattern line.
  • an apparatus for repairing a disconnection of a liquid crystal display array substrate includes: a detecting module for detecting whether a pattern on a liquid crystal display array substrate is broken; and a scanning module for using the detecting device When detecting that a pattern on the liquid crystal display array substrate is broken, determining and scanning a line of the line at the broken line of the pattern;
  • a setting module according to a scan result of the scan module, dividing the fill line path into at least two path sections, and setting a corresponding coating speed for each section of the path section;
  • the coating device performs coating at a predetermined coating speed on each of the path sections provided in the setting module to form a continuous plating film on the bonding path.
  • the scanning module scans the patch path by means of white light interference or laser scanning to obtain height data of each point on the line path.
  • the setting module is configured to set a corresponding coating speed for the path interval according to the change size of the height data of each point in each path section, wherein a slower coating is set for the path section where the height data changes greatly. speed.
  • the setting module is configured to set, according to a result of the scanning module, a section of the line of the pattern line that passes through the edge of the pattern line and a section that is not the edge of the pattern line to different path sections;
  • the path interval at the edge of the pattern line sets a slower coating speed, setting a faster coating speed for other path intervals that are not edged by the pattern line.
  • a first pattern 2 and a second pattern 3 are formed on the substrate 1, wherein a portion of the second pattern 3 overlaps with the first pattern and is insulated from each other. However, in the process of coating the second pattern 3, a disconnection occurred. When it is detected that the pattern 3 on the substrate 1 is broken, the line path 4 is determined.
  • the line path can be scanned by the scanning device.
  • the line path can be scanned by white light interference or laser scanning to obtain height data of each point on the line path, thereby forming FIG. 5.
  • the height curve of the fill path can be scanned by white light interference or laser scanning to obtain height data of each point on the line path, thereby forming FIG. 5.
  • the patch path is divided into a plurality of path sections, and a corresponding coating speed is set for each section of the path section; as shown in FIG. 4, the patch path can be divided into seven sections. They are ab segment, bc segment, cd segment, de segment, ef segment, fg segment, and gh segment. Among them, the heights of the ab segment, the bc segment, the de segment, the fg segment, and the gh segment do not change much, and the coating speeds of the path segments can be set to be the same or substantially the same, and the heights of the cd segment and the ef segment vary greatly. You can set its corresponding t speed to a slower coating speed.
  • the interval between the edge of the pattern line (such as the pattern 2) that has been plated on the array substrate passing through the line path can be directly confirmed according to the scan result of the line path.
  • the cd segment and the ef segment can be directly determined.
  • a slower coating speed is set for the path section passing through the edge of the pattern line, and a faster coating speed is set for the path section of the other edge of the pattern line, that is, a slower coating speed is set for (c-d section, e-f section).
  • FIG. 6 it is a schematic structural view of a method of repairing a disconnection of a liquid crystal display array substrate according to the present invention.
  • the plating is performed in accordance with the corresponding coating speed determined as described above, and a continuous plating film can be formed on the pay line path 4.
  • the slower coating speed in the cd segment and ef segment path interval can increase the thickness of the coating, thereby avoiding the occurrence of coating fracture in the prior art, thereby improving the success rate of the film, after the above-mentioned filling process , the coating on the wire bonding path 4 can reconnect the broken line of the second pattern 3 where the wire breakage occurs, and the other pattern that does not appear to be broken (such as the first pattern 2) can never be separated from above.
  • coating can be performed by using different coating speeds in different path sections, for example,
  • the path interval passing through the edge of the pattern line is set to a slower coating speed to increase the coating thickness of the path section, so that a continuous plating film can be formed on the line path, thereby improving the success rate of the line.

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Abstract

一种修补液晶显示阵列基板断线的方法，包括如下步骤：在发现液晶显示阵列基板（1）上的图案（3）出现断线时，确定所述图案（3）的断线处的补线路径（4），并扫描所述补线路径（4）；根据所述补线路径（4）的扫描结果，将所述补线路径（4）分成至少两段路径区间（c—d段、e—f段和a—b段、b—c段、d—e段、f—g段、g—h段），并为所述每一段路路径区间（c—d段、e—f段和a—b段、b—c段、d—e段、f—g段、g—h段）设置对应的镀膜速度；在每段路径区间（c—d段、e—f段和a—b段、b—c段、d—e段、f—g段、g—h段）上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径（4）上形成连通的镀膜。还公开了一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，通过上述的方法和装置，可以提高补线的成功率。

Description

一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置
本申请要求于 2012 年 11 月 12 日提交中国专利局、 申请号为 201210448371.7、 发明名称为 "一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装 置" 的中国专利申请的优先权， 上述专利的全部内容通过引用结合在本申请 中。 技术领域
本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器（ Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD )制造技术， 特别涉及一种修补液晶显示阵列基板断线的 方法及装置。
背景技术
在现有技术中， 在 TFT-LCD阵列基板（array )制程中常常会出现线路 断开缺陷 （line open defect ) 的情形。 此时需要对断开的线路进行补线， 以 重新连通所述线路。
如图 1所示，是现有的一种阵列基板上的图案线路出现断线情形的示意 图； 图 1只示出了局部的阵列基板。 其中， 在基板 1进行镀膜， 形成第一图 案 2和第二图案 3。 其中第二图案在 40和 41处断开， 从而将图案 3断开成 三部份（30、 31、 32 )。
如图 2所示， 示出了现有的一种补线结构的示意图。 从中可以看出， 可 以重新镀膜一条补线路径 4,其一端与图案 3的 30区域相连通， 另一端与图 案 3的 32区域相连通， 从而将图案 3重新连通。
如图 3所示， 是根据图 2的 A-A向剖面的补线后的结构示意图； 从图 2的 A-A向剖面可以看出， 补线装置 5 (图中仅示出了一部份） 沿着图 2中的补 线路径从左向右均速移动进行镀膜， 在横跨图案 2的位置处， 由于图案 2与 基板 1存在较大的高度变化， 容易在补线路径 4出现断裂、 不连续的情形， 从而使补线失败， 从而导致基板的良率不够理想。
发明内容 本发明所要解决的技术问题在于，提供一种修补液晶显示阵列基板断线 的方法及装置， 可以提高修补液晶显示阵列基板断线时的成功率。
为了解决上述技术问题，本发明实施例的一方面提供了一种修补液晶显 示阵列基板断线的方法， 包括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处 的补线路径， 并扫描所述补线路径；
根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路径区 间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上， 以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线 路径上形成连通的镀膜。
其中， 所述扫描所述补线路径的步骤为：
通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描， 获得所述补 线路径上每点的高度数据。
其中， 根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路 径区间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为： 将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小， 为所述路径区间设置 对应的镀膜速度， 其中， 为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜 速度。
其中， 根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路 径区间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为： 根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基 板已经镀好的图案线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘 的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
其中， 所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线 处重新连通， 而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。 相应地， 本发明的另一方面提供一种修补液晶显示阵列基板断线的方 法， 包括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板出现断线时， 确定补线路径；
将所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所述每一段路径区间设置 对应的镀膜速度；
在每段路径区间上， 以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线 路径上形成连通的镀膜。
其中， 将所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所述每一段路径区 间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
确认所述补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条边缘的 区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘 的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
其中， 所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线 处重新连通， 而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
相应地， 本发明实施例的再一方面提供一种修补液晶显示阵列基板断线 的装置， 包括：
检测模块， 用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线； 扫描模块， 用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现 断线时， 确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块， 根据所述扫描模块的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两 段路径区间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度；
镀膜装置， 在所述设置模块所设置的每段路径区间上， 以所确定的对应 的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中， 所述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径 进行扫描， 获得所述补线路径上每点的高度数据。
其中， 所述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大 小， 为所述路径区间设置对应的镀膜速度， 其中， 为所述高度数据变化大的 路径区间设置更慢的镀膜速度。
其中， 所述设置模块是根据所述扫描模块的结果， 将所述补线路径上的 经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的 路径区间； 并为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为 其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
实施本发明实施例， 具有如下有益效果：
根据本发明的实施例， 通过将补线路径分成多个路径区间， 且为每个路 径区间设置相应的镀膜速度， 可以通过在不同路径区间采用不同的镀膜速度 进行镀膜， 例如， 所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 以增加此路径区间的镀膜厚度， 可以使所述补线路径上形成连通的镀膜， 从 而提高补线的成功率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实 施例或现有技术描述中所需要使用的附图作筒单地介绍， 显而易见地， 下面 描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以根据这些附图获得其他的附图。
图 1为根据，是现有的一种阵列基板上的图案线路出现断线情形的示意 图；
图 2示出了现有的一种对图 1进行补线的结构的示意图；
图 3示出 ^^据图 2的 A-A向剖面的补线后的结构示意图；
图 4示出了本发明一个实施例中修补液晶显示阵列基板断线的结构示意 图；
图 5示出了本发明一个实施例中对图 4中的补线路径进行扫描获得的高 度曲线图；
图 6示出了 ^^据图 4的 B-B向剖面的补线后的结构示意图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。
本发明的一方面， 提供了一种修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其包 括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处 的补线路径， 并扫描所述补线路径， 具体地， 可以通过白光干涉或激光扫描 的方式对所述补线路径进行扫描， 获得所述补线路径上每点的高度数据； 根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路径区 间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上， 以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线 路径上形成连通的镀膜。
其中， 在一个实施方案中， 根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线 路径分成至少两段路径区间， 为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度 的步骤具体包括：
为根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区 间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小， 为所述路径区间设置 对应的镀膜速度， 其中， 为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜 速度。
在另一个实施方案中， 根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径 分成至少两段路径区间， 为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步 骤具体包括：
根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基 板已经镀好的图案线条边缘的区间， 一般在图案线条边缘处， 其高度数据变 化非常大；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘 的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
通过上述的补线步骤，使所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现 断线的图案的断线处重新连通， 而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝 本发明的另一方面，提供一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，包括： 检测模块， 用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线； 扫描模块， 用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现 断线时， 确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块， 根据所述扫描模块的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两 段路径区间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度；
镀膜装置， 在所述设置模块所设置的每段路径区间上， 以所确定的对应 的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中， 所述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径 进行扫描， 获得所述补线路径上每点的高度数据。
其中， 所述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大 小， 为所述路径区间设置对应的镀膜速度， 其中， 为所述高度数据变化大的 路径区间设置更慢的镀膜速度。
其中， 所述设置模块是根据所述扫描模块的结果， 将所述补线路径上的 经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的 路径区间； 并为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为 其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
下述参照图 4至图 6, 对本发明的修补液晶显示阵列基板断线的方法及 装置的实现过程进行详述。
其中， 参照图 4所示， 在基板 1形成有第一图案 2和第二图案 3 , 其中 第二图案 3有一部份与第一图案相重叠， 且相互绝缘。 但对第二图案 3进行 镀膜的过程中，出现了断线的情形。当检测到基板 1上的图案 3出现断线时， 确定出其补线路径 4。
此时， 可以通过扫描装置扫描该补线路径， 例如可以通过白光干涉或激 光扫描的方式对所述补线路径进行扫描， 获得所述补线路径上每点的高度数 据， 从而形成如图 5的补线路径的高度曲线图。
根据该扫描结果， 将所述补线路径分成多个路径区间， 并为所述每一段 路路径区间设置对应的镀膜速度； 如图 4中， 可以将该补线路径分为七段， 分别为 a-b段、 b-c段、 c-d段、 d-e段、 e-f段、 f-g段、 g-h段。 其中， a-b 段、 b-c段、 d-e段、 f-g段、 g-h段中高度变化不大， 可以将各路径区间的镀 膜速度设为相同或大致相同， 而的 c-d段、 e-f段中高度变化很大， 可以将其 对应的 t 速度设置为更慢的镀膜速度。
或者， 可以根据对补线路径的扫描结果， 直接确认补线路径上经过的所 述阵列基板已经镀好的图案线条（如图案 2 )边缘的区间， 例如， 可以直接 确定 c-d段、 e-f段为经过图案 2线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间 （c-d段、 e-f段）与未经 过图案线条边缘的区间 （a-b段、 b-c段、 d-e段、 f-g段、 g-h段）分别设置 成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度， 即为 （c-d段、 e-f段）设 置更慢的镀膜速度。
如图 6所示，是根据本发明的修补液晶显示阵列基板断线的方法的补线 后的结构示意图。 从中可以看出， 在每段路径区间上， 根据前述确定的对应 的镀膜速度进行镀膜， 可以使所述补线路径 4上形成连通的镀膜。 其中， 在 c-d段、 e-f段路径区间上采用更慢的镀膜速度， 可以增加镀膜的厚度， 从而 可以避免现在技术中出现镀膜断裂的情形， 从而提高补膜的成功率， 经过上 述的补线过程， 可以使补线路径 4上的镀膜使出现断线的第二图案 3的断线 处重新连通， 而与其经过的其他未出现断线的图案 （如第一图案 2 )之间绝 从上可以看出， 根据本发明的实施例， 通过将补线路径分成多个路径区 间， 且为每个路径区间设置相应的镀膜速度， 可以通过在不同路径区间采用 不同的镀膜速度进行镀膜， 例如， 所述经过图案线条边缘的路径区间设置更 慢的镀膜速度， 以增加此路径区间的镀膜厚度， 可以使所述补线路径上形成 连通的镀膜， 从而提高补线的成功率。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已， 当然不能以此来限定本发明 之权利范围， 因此等同变化， 仍属本发明所涵盖的范围。

Claims

权 利 要 求
1、 一种修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中包括如下步骤： 在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处 的补线路径， 并扫描所述补线路径；
根据所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路径区 间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上， 以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线 路径上形成连通的镀膜。
2、 如权利要求 1所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中所述 扫描所述补线路径的步骤为：
通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描， 获得所述补 线路径上每点的高度数据。
3、 如权利要求 2所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中根据 所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所 述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小， 为所述路径区间设置 对应的 t 速度， 其中， 为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜 速度。
4、 如权利要求 2所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中根据 所述补线路径的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所 述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基 板已经镀好的图案线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘 的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
5、 如权利要求 3所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中所述 补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通， 而 与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
6、 如权利要求 4所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中所述 补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通， 而 与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
7、 一种修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中包括如下步骤： 在发现液晶显示阵列基板出现断线时， 确定补线路径；
将所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所述每一段路径区间设置 对应的镀膜速度；
在每段路径区间上， 以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线 路径上形成连通的镀膜。
8、 如权利要求 7所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中， 将 所述补线路径分成至少两段路径区间， 并为所述每一段路径区间设置对应的 镀膜速度的步骤具体为：
确认所述补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条边缘的 区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘 的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经 过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
9、 如权利要求 8所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法， 其中所述 补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通， 而 与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
10、 一种修补液晶显示阵列基板断线的装置， 其中包括：
检测模块， 用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线； 扫描模块， 用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现 断线时， 确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块， 根据所述扫描模块的扫描结果， 将所述补线路径分成至少两 段路径区间， 并为所述每一段路路径区间设置对应的镀膜速度； 镀膜装置， 在所述设置模块所设置的每段路径区间上， 以所确定的对应 的镀膜速度进行镀膜， 使所述补线路径上形成连通的镀膜。
11、 如权利要求 10所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置， 其中所 述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获 得所述补线路径上每点的高度数据。
12、 如权利要求 11 所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置， 其中所 述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小， 为所述路径 区间设置对应的镀膜速度， 其中， 为所述高度数据变化大的路径区间设置更 慢的镀膜速度。
13、 如权利要求 11 所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置， 其中所 述设置模块是根据所述扫描模块的结果，将所述补线路径上的经过图案线条 边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间； 并为 所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度， 为其他未经过图案 线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
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