CN102914888B - 一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例公开了一种修补液晶显示阵列基板断线的方法，至少包括如下步骤：在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处的补线路径，并扫描所述补线路径；根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度；在每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。同时，本发明实施例提供了一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，根据本发明的实施例，可以提高补线的成功率。

Description

一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置
技术领域
本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD）制造技术，特别涉及一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置。
背景技术
在现有技术中，在TFT-LCD阵列基板（array）制程中常常会出现线路断开缺陷（line open defect）的情形。此时需要对断开的线路进行补线，以重新连通所述线路。
如图1所示，是现有的一种阵列基板上的图案线路出现断线情形的示意图；图1只示出了局部的阵列基板。其中，在基板1进行镀膜，形成第一图案2和第二图案3。其中第二图案在40和41处断开，从而将图案3断开成三部份（30、31、32）。 
如图2所示，示出了现有的一种补线结构的示意图。从中可以看出，可以重新镀膜一条补线路径4，其一端与图案3的30区域相连通，另一端与图案3的32区域相连通，从而将图案3重新连通。
如图3所示，是根据图2的A-A向剖面的补线后的结构示意图；从图2的A-A向剖面可以看出，补线装置5（图中仅示出了一部份）沿着图2中的补线路径从左向右均速移动进行镀膜，在横跨图案2的位置处，由于图案2与基板1存在较大的高度变化，容易在补线路径4出现断裂、不连续的情形，从而使补线失败，从而导致基板的良率不够理想。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置，可以提高修补液晶显示阵列基板断线时的成功率。
为了解决上述技术问题，本发明实施例的一方面提供了一种修补液晶显示阵列基板断线的方法，包括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处的补线路径，并扫描所述补线路径；
根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中，所述扫描所述补线路径的步骤为：
通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据。
其中，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
其中，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
其中，所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通，而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
相应地，本发明实施例的另一方面提供一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，包括：
检测模块，用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线；
扫描模块，用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块，根据所述扫描模块的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
镀膜装置，在所述设置模块所设置的每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中，所述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据。
其中，所述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
其中，所述设置模块是根据所述扫描模块的结果，将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；并为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
实施本发明实施例，具有如下有益效果：
根据本发明的实施例，通过将补线路径分成多个路径区间，且为每个路径区间设置相应的镀膜速度，可以通过在不同路径区间采用不同的镀膜速度进行镀膜，例如，所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，以增加此路径区间的镀膜厚度，可以使所述补线路径上形成连通的镀膜，从而提高补线的成功率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为根据，是现有的一种阵列基板上的图案线路出现断线情形的示意图；
图2示出了现有的一种对图1进行补线的结构的示意图；
图3示出根据图2的A-A向剖面的补线后的结构示意图；
图4示出了本发明一个实施例中修补液晶显示阵列基板断线的结构示意图；
图5示出了本发明一个实施例中对图4中的补线路径进行扫描获得的高度曲线图；
图6示出了根据图4的B-B向剖面的补线后的结构示意图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。
本发明的一方面，提供了一种修补液晶显示阵列基板断线的方法，其包括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处的补线路径，并扫描所述补线路径，具体地，可以通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据；
根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中，在一个实施方案中，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体包括：
为根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
在另一个实施方案中，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体包括：
根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条边缘的区间，一般在图案线条边缘处，其高度数据变化非常大；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
通过上述的补线步骤，使所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通，而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
本发明的另一方面，提供一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，包括：
检测模块，用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线；
扫描模块，用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块，根据所述扫描模块的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
镀膜装置，在所述设置模块所设置的每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
其中，所述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据。
其中，所述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
其中，所述设置模块是根据所述扫描模块的结果，将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；并为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
下述参照图4至图6，对本发明的修补液晶显示阵列基板断线的方法及装置的实现过程进行详述。
其中，参照图4所示，在基板1形成有第一图案2和第二图案3，其中第二图案3有一部份与第一图案相重叠，且相互绝缘。但对第二图案3进行镀膜的过程中，出现了断线的情形。当检测到基板1上的图案3出现断线时，确定出其补线路径4。
此时，可以通过扫描装置扫描该补线路径，例如可以通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据，从而形成如图5的补线路径的高度曲线图。
根据该扫描结果，将所述补线路径分成多个路径区间，并为所述每一段路径区间设置对应的镀膜速度；如图4中，可以将该补线路径分为七段，分别为a-b段、b-c段、c-d段、d-e段、e-f段、f-g段、g-h段。其中，a-b段、b-c段、d-e段、f-g段、g-h段中高度变化不大，可以将各路径区间的镀膜速度设为相同或大致相同，而的c-d段、e-f段中高度变化很大，可以将其对应的镀膜速度设置为更慢的镀膜速度。
或者，可以根据对补线路径的扫描结果，直接确认补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条（如图案2）边缘的区间，例如，可以直接确定c-d段、e-f段为经过图案2线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间（c-d段、e-f段）与未经过图案线条边缘的区间（a-b段、b-c段、d-e段、f-g段、g-h段）分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度，即为（c-d段、e-f段）设置更慢的镀膜速度。
如图6所示，是根据本发明的修补液晶显示阵列基板断线的方法的补线后的结构示意图。从中可以看出，在每段路径区间上，根据前述确定的对应的镀膜速度进行镀膜，可以使所述补线路径4上形成连通的镀膜。其中，在c-d段、e-f段路径区间上采用更慢的镀膜速度，可以增加镀膜的厚度，从而可以避免现在技术中出现镀膜断裂的情形，从而提高补膜的成功率，经过上述的补线过程，可以使补线路径4上的镀膜使出现断线的第二图案3的断线处重新连通，而与其经过的其他未出现断线的图案（如第一图案2）之间绝缘。。
从上可以看出，根据本发明的实施例，通过将补线路径分成多个路径区间，且为每个路径区间设置相应的镀膜速度，可以通过在不同路径区间采用不同的镀膜速度进行镀膜，例如，所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，以增加此路径区间的镀膜厚度，可以使所述补线路径上形成连通的镀膜，从而提高补线的成功率。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种修补液晶显示阵列基板断线的方法，其特征在于，包括如下步骤：
在发现液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定所述图案的断线处的补线路径，并扫描所述补线路径；
根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
在每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
2.如权利要求1所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法，其特征在于，所述扫描所述补线路径的步骤为：
通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据。
3.如权利要求2所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法，其特征在于，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
将所述补线路径分成至少两段路径区间；
根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
4.如权利要求2所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法，其特征在于，根据所述补线路径的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度的步骤具体为：
根据所述补线路径的扫描结果，确认所述补线路径上经过的所述阵列基板已经镀好的图案线条边缘的区间；
将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；
为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
5.如权利要求1-4任一项所述的修补液晶显示阵列基板断线的方法，其特征在于，所述补线路径上所形成连通的镀膜将所述出现断线的图案的断线处重新连通，而与其经过的其他未出现断线的图案之间绝缘。
6.一种修补液晶显示阵列基板断线的装置，其特征在于，包括：
检测模块，用于检测液晶显示阵列基板上的图案是否出现断线；
扫描模块，用于在所述检测装置检测至液晶显示阵列基板上的图案出现断线时，确定并扫描为所述图案的断线处的补线路径；
设置模块，根据所述扫描模块的扫描结果，将所述补线路径分成至少两段路径区间，并为每一段路径区间设置对应的镀膜速度；
镀膜装置，在所述设置模块所设置的每段路径区间上，以所确定的对应的镀膜速度进行镀膜，使所述补线路径上形成连通的镀膜。
7.如权利要求6所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置，其特征在于，所述扫描模块是通过白光干涉或激光扫描的方式对所述补线路径进行扫描，获得所述补线路径上每点的高度数据。
8.如权利要求7所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置，其特征在于，所述设置模块是根据每一路径区间中各点的高度数据的变化大小，为所述路径区间设置对应的镀膜速度，其中，为所述高度数据变化大的路径区间设置更慢的镀膜速度。
9.如权利要求7所述的修补液晶显示阵列基板断线的装置，其特征在于，所述设置模块是根据所述扫描模块的结果，将所述补线路径上的经过图案线条边缘的区间与未经过图案线条边缘的区间分别设置成不同的路径区间；并为所述经过图案线条边缘的路径区间设置更慢的镀膜速度，为其他未经过图案线条边缘的路径区间设置较快的镀膜速度。
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