WO2013189713A1 - Drehanode und verfahren zu deren herstellung - Google Patents

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tungsten
base body
ceramic
rotary anode
silicon carbide
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Jörg FREUDENBERGER
Stefan Lampenscherf
Gia Khanh Pham
Steffen Walter
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/083—Bonding or fixing with the support or substrate

Definitions

  • Rotary anode and method for its production The invention relates to a method for producing a
  • X-ray tubes as used for example in medical X-ray devices, comprise a cathode from which electrons are accelerated towards a rotating rotary anode.
  • the rotary anode comprises a base body, which carries a so-called tungsten or tungsten-rhenium alloy focal plane, which forms the actual anode. If electrons are sufficiently accelerated onto a focal track and decelerated in the fuel track material, electromagnetic radiation (X-ray radiation) having a characteristic wavelength is produced.
  • the rotation of the rotary anode while the thermal load should be kept as low as possible. Since increasingly higher radiation intensities are desired for X-ray tomography in particular, the focal spot of the electrons on the focal path should be focused as sharply and small as possible, which in turn leads to high power densities in the focal spot area and thus to a particularly high temperature development. In order to compensate for this, again particularly high rotational speeds of the rotary anode are desired.
  • Known rotary anodes have a base made of a titanium-zirconium-molybdenum alloy, which has a relatively high density with relatively low high-temperature strength. Due to the mechanical properties of such basic body can be realized in conventional rotary anodes only Drehfreguenzen from 200 Hz to 250 Hz.
  • Suitable materials for the production of base bodies for rotary anodes which have an improved high-temperature strength and are therefore suitable for higher rotation frequencies, are ceramics based on silicon carbide, in particular with the addition of high-temperature-resistant diborides.
  • the present invention is therefore based on the object to provide a method of the type mentioned above, which allows the reliable application of tungsten carbide tracks on rotary anodes with ceramic bodies based on SiC.
  • the invention is further based on the object to provide a rotary anode according to the preamble of claim 9, which has a particularly good hold of the tungsten carbide on the ceramic body. This object is achieved by a method having the features of patent claim 1 and by a rotary anode having the features of patent claim 9.
  • a base body made of a silicon carbide based ceramic is produced and provided with a tungsten filament, wherein between the tungsten filament and the base body an intermediate layer is produced, which comprises at least one tungsten silicide and / or tungsten carbide ,
  • Such an intermediate layer has a temperature resistance of up to 2100 ° C, so that it is possible to dispense with the use of additional high-temperature solders for connecting the tungsten fuel path to the main body. It is therefore ideally possible to create a high-temperature resistant and adhesion-promoting intermediate layer without additional process steps with the described method. It is expedient to start from an already sintered body and add this with the tungsten carbide. In a preferred embodiment of the invention, diffusion welding can be used for this purpose. In the process, tungsten rings or segments are fixed on the base body under mechanical pressure and heated to 1650-2000 ° C. Diffusion occurs between the tungsten and the ceramic, creating the desired tungsten carbide and / or silicide interlayer at the interface.
  • the joining of the base body and the tungsten fuel path can also be carried out by orbital friction welding.
  • tungsten platelets are applied in the form of segments on the base body. The friction during the friction welding process also increases the temperature in the joining zone to 1600-
  • the intermediate layer according to the invention is likewise formed by diffusion.
  • the selective laser melting is used, wherein tungsten powder is melted in the region of the focal path to be formed on the base body by means of laser radiation.
  • the energy input by the laser radiation also leads to the formation of the tungsten carbide or silicide intermediate layer.
  • field activated sintering also known as spark plasma sintering. If a ceramic base body has already been provided, by this method both tungsten powder and a prefabricated tungsten base body can be applied by the application of direct current under pressure in the form of the desired focal track. The electrical resistance converts the electrical power into heat output and likewise achieves the necessary sintering temperature for forming the intermediate layer.
  • the field-activated sintering also allows sintering of the base body and the fuel track simultaneously from respective powder precursors to the finished rotating anode.
  • the ceramic used for the production of the base body comprises at least one high-temperature-resistant diboride.
  • the invention further relates to a rotary anode, as obtainable by means of such a method.
  • a rotary anode as obtainable by means of such a method.
  • an intermediate layer of tungsten carbides and / or tungsten silicides between the tungsten filament and the silicon carbide-based main body of the rotary anode gives a particularly good mechanical and thermal resistance.
  • the main body in addition to silicon carbide comprises at least one high-temperature resistant diboride.
  • FIGURE shows a schematic sectional view through the connection region between a ceramic base body and a tungsten filament web of an embodiment of a rotary anode according to the invention.
  • a rotary anode for an X-ray tube which is denoted as a whole by 10 and only partially shown in the figure, comprises a base body 12 made of a ceramic and a focal track 14 made of tungsten, which emits X-radiation when exposed to electron radiation. Due to the high energy density in the operation of modern X-ray tubes 12 materials are required for the base body, which are both resistant to high temperatures, as well as a sufficient mechanical strength at high temperatures in order to withstand rotational frequencies of 300-400 Hz can. A suitable class of materials that meets these requirements are ceramics made of silicon carbide or silicon carbide / diboride compounds.
  • an intermediate layer 16 between the focal point 14 and the base body 12 is produced in the manufacture of the rotary anode 10, which consists of high-temperature resistant tungsten carbides and tungsten silicides.
  • the intermediate layer 16 is formed by thermally promoted diffusion processes between the metallic tungsten of the focal path 14 and the ceramic of the base body.
  • the representation of a clearly delimited intermediate layer 16 in the FIG is therefore to be understood schematically - in reality, the material compositions of the base body 12 and the focal path 14 merge into one another in a continuous interface zone.
  • tungsten rings or segments in the form of the focal path 14 to be formed are first placed on the base body 12 and fixed under mechanical pressure. By heating this composite to 1650-2000 ° C, it comes to the desired diffusion process between the tungsten and the ceramic, whereby the intermediate layer 16 is formed and the focal path 14 is fixedly fixed to the base body 12.
  • the orbital friction welding can be used to produce the rotary anode 12.
  • tungsten platelets are applied to the base 12 in the form of segments.
  • the main body 12 is then firmly clamped with the tungsten chips in a friction welding machine and the cores responding friction surfaces pressed. Due to an orbital movement of both sides, frictional heat results, which heats the connection region of the focal track 14 to 1600-2000 ° C., so that likewise a firm connection of the focal path 14 to the main body with formation of a tungsten carbide and
  • the focal path 14 is built up continuously from a bed of tungsten powder.
  • the base body 12 is rotatably mounted above the powder bed and initially coated with a thin layer of tungsten powder, which is first preheated by laser irradiation of relatively low power in order to improve the adhesion. Subsequently, the laser power is increased, wherein the tungsten particles sinter and by diffusion between the tungsten and the base body 12, the intermediate layer 16 is constructed.
  • a layer of the base body 12 is lowered and coated again with tungsten powder and the laser treatment is repeated until the desired focal length thickness is reached.
  • Another generative method that can be used to manufacture the rotating anode 10 is field-activated sintering or plasma spark sintering.
  • the powders or preforms to be sintered are precompressed in a negative mold and brought into contact with graphite electrodes.
  • a hydraulic press exerts pressure on the material throughout the sintering process.
  • the graphite electrodes are subjected to direct current of a few kiloamperes at voltages of a few volts.
  • both the focal track 14 and the base body 12 can be made simultaneously from appropriate Wolframit. SiC / diboride powders are constructed.
  • preformed moldings can also be used and sintered both for the main body 12 and for the focal web 14.
  • diffusion processes between the tungsten and the ceramic also lead to the formation of the intermediate layer 16.
  • the last-mentioned generative methods have the additional advantage that they allow the formation of complex shaped focal lengths 14 also on curved or otherwise complex shaped surfaces.
  • generative microstructures for reducing residual stresses and for controlling the crack structure can be introduced into the focal track 14.
  • a particularly rapid production of the rotary anode 10 is possible in particular with the field-activated sintering, which has cycle times of 2-4 h. Short sintering times are particularly important, since too long holding at sintering temperature can lead to giant grain growth and recrystallization in the tungsten of the focal path 14, which can affect their life.

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Abstract

Drehanode und Verfahren zu deren Herstellung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Drehanode (10) für eine Röntgenröhre, bei welchem ein Grundkörper (12) aus einer Keramik auf der Basis von Siliziumcarbid erzeugt und mit einer Wolframbrennbahn (14) versehen wird, wobei zwischen der Wolframbrennbahn (14) und dem Grund- körper (12) eine Zwischenschicht (16) erzeugt wird, welche zumindest ein Wolframsilicid und/oder Wolframcarbid umfasst.

Description

Beschreibung
Drehanode und Verfahren zu deren Herstellung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer
Drehanode mit einem keramischen Grundkörper auf der Basis von Siliziumcarbid sowie eine Drehanode nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 9. Röntgenröhren, wie sie beispielsweise in medizinischen Röntgengeräten Anwendung finden, umfassen eine Kathode, von der aus Elektronen auf eine rotierende Drehanode hin beschleunigt werden. Die Drehanode umfasst einen Grundkörper, der eine so genannte Brennbahn aus Wolfram oder einer Wolfram-Rhenium- Legierung trägt, welche die eigentliche Anode bildet. Werden Elektronen auf eine Brennbahn hinreichend beschleunigt und im Brennbahnmaterial abgebremst, so entsteht eine elektromagnetische Strahlung (Röntgenstrahlung) mit einer charakteristischen Wellenlänge.
Durch die Rotation der Drehanode soll dabei die thermische Belastung möglichst gering gehalten werden. Da gerade für die Röntgentomographie zunehmend höhere Strahlungsintensitäten erwünscht sind, soll dabei der Brennfleck der Elektronen auf der Brennbahn möglichst scharf fokussiert und klein sein, was wiederum zu hohen Leistungsdichten im Brennfleckbereich und damit zu einer besonders hohen Temperaturentwicklung führt. Um dies zu kompensieren sind wiederum besonders hohe Drehzahlen der Drehanode erwünscht.
Bekannte Drehanoden weisen einen Grundkörper aus einer Titan- Zirkon-Molybdän-Legierung auf, die eine relativ hohe Dichte bei relativ geringer Hochtemperaturfestigkeit aufweist. Aufgrund der mechanischen Eigenschaften derartiger Grundkörper können bei gängigen Drehanoden lediglich Drehfreguenzen von 200 Hz bis 250 Hz realisiert werden. Geeignete Werkstoffe für die Herstellung von Grundkörpern für Drehanoden, die eine verbesserte Hochtemperaturfestigkeit besitzen und daher für höhere Drehfreguenzen geeignet sind, sind Keramiken auf der Grundlage von Siliziumcarbid, insbe- sondere bei Zusatz von hochtemperaturfesten Diboriden.
Bei diesen Materialien hat es sich jedoch bislang als problematisch erwiesen, die Wolframbrennbahn der Drehanode zuverlässig mit dem Grundkörper zu fügen.
Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches die zuverlässige Applikation von Wolframbrennbahnen auf Drehanoden mit keramischen Grundkörpern auf SiC-Basis er- möglicht. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine Drehanode nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 9 bereitzustellen, die einen besonders guten Halt der Wolframbrennbahn am keramischen Grundkörper besitzt. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch eine Drehanode mit den Merkmalen des Patentanspruchs 9 gelöst.
Bei einem derartigen Verfahren zum Herstellen einer Drehanode für eine Röntgenröhre wird ein Grundkörper aus einer Keramik auf der Basis von Siliziumcarbid erzeugt und mit einer Wolframbrennbahn versehen, wobei zwischen der Wolframbrennbahn und dem Grundkörper eine Zwischenschicht erzeugt wird, welche zumindest ein Wolframsilicid und/oder Wolframcarbid umfasst.
Eine solche Zwischenschicht weist eine Temperaturbeständigkeit von bis zu 2100°C auf, so dass auf die Verwendung zusätzlicher Hochtemperaturlote zum Verbinden der Wolframbrennbahn mit dem Grundkörper verzichtet werden kann. Es ist daher im Idealfall möglich, mit dem beschriebenen Verfahren eine hochtemperaturfeste und haftungsvermittelnde Zwischenschicht ohne zusätzliche Verfahrensschritte zu schaffen. Es ist dabei zweckmäßig, von einem bereits gesinterten Grundkörper auszugehen und diesen mit der Wolframbrennbahn zu fügen. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann hierfür das Diffusionsschweißen Anwendung finden. Dabei wer- den Wolframringe oder -segmente auf dem Grundkörper unter mechanischem Druck fixiert und auf 1650-2000°C geheizt. Zwischen dem Wolfram und der Keramik kommt es zu Diffusion, wodurch an der Grenzfläche die gewünschte Wolframcarbid- und/oder -silicid-Zwischenschicht entsteht.
Alternativ kann das Fügen von Grundkörper und Wolframbrennbahn auch durch Orbitalreibschweißen erfolgen. Hier werden Wolframplättchen in Form von Segmenten auf den Grundkörper aufgebracht. Die Reibung während des Reibschweißprozesses er- höht auch hier die Temperatur in der Fügezone auf 1600-
2000°C, so dass ebenfalls durch Diffusion die erfindungsgemäße Zwischenschicht ausgebildet wird.
Neben den obenstehend beschriebenen Fügeverfahren können auch generative Verfahren eingesetzt werden. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird hierzu das selektive Laserschmelzen eingesetzt, wobei Wolframpulver im Bereich der zu bildenden Brennbahn auf den Grundkörper mittels LaserStrahlung aufgeschmolzen wird. Der Energieeintrag durch die LaserStrahlung führt auch hier zur Bildung der Wolfram- carbid- bzw. -silicid-Zwischenschicht.
Ein weiteres, alternativ einsetzbares Verfahren ist das feldaktivierte Sintern, auch als Spark-Plasma-Sintern bekannt. Wurde bereits ein keramischer Grundkörper bereitgestellt, so kann durch diese Methode sowohl Wolframpulver als auch ein vorgefertigter Wolframgrundkorper durch die Applikation von Gleichstrom unter Druck in Form der gewünschten Brennbahn aufgebracht werden. Durch den elektrischen Widerstand wird die elektrische Leistung in Wärmeleistung umgesetzt und ebenfalls die notwendige Sintertemperatur zur Bildung der Zwischenschicht erreicht. Neben der Verbindung von vorgesinterten Grundkörpern erlaubt es das feldaktivierte Sintern auch, Grundkörper und Brennbahn gleichzeitig aus jeweiligen Pulvervorprodukten gemeinsam zur fertigen Drehanode zu sintern.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die für die Erzeugung des Grundkörpers genutzte Keramik zumindest ein hochtemperaturbeständiges Diborid. Durch einen solchen Zusatz zu SiC-basierten Keramiken kann deren Temperaturbeständigkeit und mechanische Festigkeit gesteigert werden, so dass besonders haltbare Drehanoden erhalten werden .
Die Erfindung betrifft ferner eine Drehanode, wie sie mittels eines solchen Verfahrens erhältlich ist. Wie bereits anhand des erfindungsgemäßen Verfahrens geschildert, verleiht eine Zwischenschicht aus Wolframcarbiden und/oder Wolframsiliciden zwischen der Wolframbrennbahn und dem Siliciumcarbid- basierten Grundkörper der Drehanode eine besonders gute me- chanische und thermische Beständigkeit.
Auch hier ist es zur Verbesserung der Materialeigenschaften zweckmäßig, wenn der Grundkörper neben Siliziumcarbid zumindest ein hochtemperaturbeständiges Diborid umfasst.
Im Folgenden werden die Erfindung und ihre bevorzugten Ausführungsformen anhand der Zeichnung näher erläutert. Die einzige FIG zeigt hierbei eine schematische Schnittdarstellung durch den Verbindungsbereich zwischen einem keramischen Grundkörper und einer Wolframbrennbahn eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Drehanode.
Eine im Ganzen mit 10 bezeichnete, in der Figur nur ausschnittsweise gezeigte Drehanode für eine Röntgenröhre um- fasst einen Grundkörper 12 aus einer Keramik und eine Brennbahn 14 aus Wolfram, welche bei Elektronenbestrahlung Röntgenstrahlung abgibt. Aufgrund der hohen Energiedichte im Betrieb moderner Röntgenröhren sind für den Grundkörper 12 Materialien notwendig, die sowohl hochtemperaturbeständig sind, als auch eine hinreichende mechanische Festigkeit bei hohen Temperaturen aufwei- sen, um Drehfreguenzen von 300-400 Hz standhalten zu können. Eine geeignete Materialklasse, die diese Bedingungen erfüllt, sind Keramiken aus Siliziumcarbid oder Siliziumcar- bid/Diborid-Verbünden . Um den Halt der Brennbahn 14 auf einem Grundkörper aus solchen Materialien zu verbessern, wird bei der Herstellung der Drehanode 10 eine Zwischenschicht 16 zwischen Brennbahn 14 und Grundkörper 12 erzeugt, die aus hochtemperaturfesten Wolframcarbiden und Wolframsiliciden besteht. Die Zwischen- schicht 16 bildet sich dabei durch thermisch geförderte Diffusionsprozesse zwischen dem metallischen Wolfram der Brennbahn 14 und der Keramik des Grundkörpers. Die Darstellung einer deutlich abgegrenzten Zwischenschicht 16 in der FIG ist daher schematisch zu verstehen - in der Realität gehen die Materialzusammensetzungen von Grundkörper 12 und Brennbahn 14 in einer kontinuierlichen Interfacezone ineinander über.
Zur Erzeugung einer derartigen Verbindung zwischen Brennbahn 14 und Grundkörper 12 existieren mehrere Möglichkeiten.
Beim Diffusionsschweißen werden zunächst Wolframringe oder Segmente in Form der zu bildenden Brennbahn 14 auf den Grundkörper 12 aufgelegt und unter mechanischem Druck fixiert. Durch Aufheizen dieses Verbundes auf 1650-2000°C kommt es zum erwünschten Diffusionsprozess zwischen dem Wolfram und der Keramik, wodurch sich die Zwischenschicht 16 ausbildet und die Brennbahn 14 fest am Grundkörper 12 fixiert wird.
Alternativ kann auch das orbitale Reibschweißen zur Herstel- lung der Drehanode 12 verwendet werden. Hierbei werden Wolf- ramplättchen in Form von Segmenten auf den Grundkörper 12 appliziert. Der Grundkörper 12 wird dann mit den Wolframplätt- chen in einer Reibschweißanlage fest eingespannt und die kor- respondierenden Reibflächen angepresst. Durch eine orbitale Bewegung beider Seiten resultiert Reibungswärme, die den An- bindungsbereich der Brennbahn 14 auf 1600-2000°C erhitzt, so dass ebenfalls eine feste Anbindung der Brennbahn 14 am Grundkörper unter Ausbildung einer Wolframcarbide und
Wolframsilicide enthaltenden Zwischenschicht 16 zustande kommt .
Neben den bereits geschilderten Fügeverfahren können auch ge- nerative Verfahren zum Herstellen der Drehanode 10 verwendet werden. Ein Beispiel hierfür ist das selektive Laserschmelzen. Hierbei wird die Brennbahn 14 aus einem Bett von Wolframpulver kontinuierlich aufgebaut. Der Grundkörper 12 wird hierzu drehbar über dem Pulverbett montiert und anfangs mit einer dünnen Schicht Wolframpulver überzogen, welche zunächst durch Laserbestrahlung relativ geringer Leistung vorgewärmt wird, um die Haftung zu verbessern. Anschließend wird die Laserleistung gesteigert, wobei die Wolframpartikel versintern und durch Diffusion zwischen dem Wolfram und dem Grundkörper 12 die Zwischenschicht 16 aufgebaut wird. Nach Versintern einer Schicht wird der Grundkörper 12 abgesenkt und erneut mit Wolframpulver überzogen und die Laserbehandlung wiederholt, bis die gewünschte Brennbahndicke erreicht ist. Ein weiteres generatives Verfahren, welches zur Herstellung der Drehanode 10 eingesetzt werden kann, ist das feldaktivierte Sintern oder Plasma-Spark-Sintern . Bei diesem mit dem Heißpressen vergleichbaren Sinterverfahren werden die zu versinternden Pulver oder Vorkörper in einer Negativform vorver- dichtet und mit Graphitelektroden in Kontakt gebracht. Über eine hydraulische Presse wird über den gesamten Sinterprozess Druck auf das Material ausgeübt. Gleichzeitig werden die Graphitelektroden mit Gleichstrom von einigen Kiloampere bei Spannungen von einigen Volt beaufschlagt. Der direkt durch das zu versinternde Material geleitete Gleichstrom erzeugt aufgrund des Ohm' sehen Widerstands im Material Wärme, so dass dieses bis zur Sintertemperatur aufgeheizt wird. Bei diesem Verfahren können sowohl die Brennbahn 14 als auch der Grundkörper 12 gleichzeitig aus entsprechenden Wolframbzw. SiC/Diborid-Pulvern aufgebaut werden. Sowohl für den Grundkörper 12 als auch für die Brennbahn 14 können jedoch auch vorgeformte Formkörper eingesetzt und versintert werden. In allen Fällen kommt es auch hier zu Diffusionsprozessen zwischen dem Wolfram und der Keramik, die zur Ausbildung der Zwischenschicht 16 führen. Die zuletzt geschilderten generativen Verfahren bringen den zusätzlichen Vorteil mit sich, dass sie die Ausbildung komplex geformter Brennbahnen 14 auch auf gekrümmten oder andersartig komplex geformten Oberflächen ermöglichen. Gleichzeitig können generative Mikrostrukturen zur Reduzierung von Eigenspannungen und zur Kontrolle der Rissstruktur in die Brennbahn 14 eingebracht werden.
Eine besonders schnelle Herstellung der Drehanode 10 ist dabei insbesondere mit dem feldaktivierten Sintern möglich, welches Zykluszeiten von 2-4 h aufweist. Kurze Sinterzeiten sind insbesondere von Bedeutung, da zu langes Halten bei Sintertemperatur zu Riesenkornwachstum und Rekristallisation im Wolfram der Brennbahn 14 führen können, was deren Lebensdauer beeinträchtigen kann.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Herstellen einer Drehanode (10) für eine Röntgenröhre, bei welchem ein Grundkörper (12) aus einer Ke- ramik auf der Basis von Siliziumcarbid erzeugt und mit einer Wolframbrennbahn (14) versehen wird, wobei zwischen der Wolframbrennbahn (14) und dem Grundkörper (12) eine Zwischenschicht (16) erzeugt wird, welche zumindest ein Wolframsili- cid und/oder Wolframcarbid umfasst.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) durch Sintern einer Mischung von Keramikpulver aus Siliziumcarbid sowie wenigstens einem hochtemperaturbeständigen Diborid erzeugt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wolframbrennbahn (14) durch Diffusionsschweißen auf den Grundkörper (12) aufgebracht wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wolframbrennbahn (14) durch orbitales Reibschweißen auf den Grundkörper (12) aufgebracht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wolframbrennbahn (14) durch selektives Laserschmelzen auf den Grundkörper (12) aufgebracht wird.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wolframbrennbahn (14) durch feldaktiviertes Sintern auf den Grundkörper (12) aufgebracht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) gleichzeitig mit der Wolframbrennbahn (14) durch feldaktiviertes Sintern einer Mischung von Kera- mikpulver auf Basis von Siliziumcarbid in Gegenwart von Wolframpulver erzeugt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die zum Erzeugen des Grundkörpers (12) eingesetzte Keramik wenigstens ein hochtemperaturbeständiges Diborid umfasst.
9. Drehanode (10) für eine Röntgenröhre, mit einem keramischen Grundkörper (12) auf der Basis von Siliziumcarbid, welcher eine Brennbahn (14) aus Wolfram zur Abgabe von Röntgenstrahlung bei Elektronenbestrahlung trägt,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Grundkörper (12) über eine Zwischenschicht (16), welche zumindest ein Wolframsilicid und/oder Wolframcarbid umfasst, mit der Brennbahn (14) verbunden ist.
10. Drehanode (10) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Keramik des Grundkörpers (12) wenigstens ein hochtemperaturbeständiges Diborid umfasst.
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