WO2013175806A1 - Ｃｏ２リサイクリング装置およびｃｏ２リサイクリングシステム - Google Patents

Ｃｏ２リサイクリング装置およびｃｏ２リサイクリングシステム Download PDF

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recycling
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明彦 豊島
大前　伸夫
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株式会社ティサポート
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
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    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15—Nano-sized carbon materials
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15—Nano-sized carbon materials
    • C01B32/18—Nanoonions; Nanoscrolls; Nanohorns; Nanocones; Nanowalls

Definitions

  • the present invention immobilizes carbon (C) of carbon dioxide (CO 2 ) contained in exhaust gas from automobiles and ships to reduce the amount of CO 2 discharged into the environment, and to form a nanocarbon structure (carbon
  • the present invention relates to an apparatus and a system capable of producing advanced carbon materials with high added value such as nanotubes (CNT), carbon onions, carbon nanohorns, and the like.
  • CO 2 carbon dioxide
  • HC hydrocarbon
  • the CO 2 recycling apparatus that has already been proposed includes a substrate on which a catalyst layer such as iron is formed, a heat source means for heating the substrate, a gas introduction means for introducing CO 2 gas to the substrate surface, and a micro on the substrate surface.
  • An apparatus includes microwave plasma generating means for generating wave plasma and power supply means for supplying electric power to the microwave plasma generating means.
  • a microwave oscillator and a muffle furnace are installed around a quartz tube having a length of 800 mm, and hydrogen (H 2 ) is used as a carrier gas.
  • plasma of CO 2 gas and cause degradation, produced on substrate placed nanocarbon particles in a muffle furnace. Therefore, in the proposed CO 2 recycling device, the combined power consumption of the microwave oscillation device and the muffle furnace occurs, and the carbon (C) in the CO 2 gas is fixed, but the accompanying power consumption is large. There's a problem. Further, since a quartz tube having a length of 800 mm is used as a component of the apparatus, there is a problem that the apparatus size is large.
  • an object of the present invention is to provide a CO 2 recycling apparatus that has a compact apparatus size and can reduce power consumption.
  • the CO 2 recycling apparatus of the present invention is an apparatus for producing any one of multi-walled carbon nanotubes, carbon onions, and nanocarbons using a microwave plasma CVD method using CO 2 gas in a carbon oxide-containing gas as a carbon source. It consists of the following components.
  • Microwave Oscillator For the microwave, a magnetron with an oscillation frequency of 2.45 GHz and a maximum output of 500 W attached to a commercially available microwave oven can be suitably used. 2) Microwave waveguide Microwaves resonate in the waveguide and resonate. 3) A reaction tube provided inside the microwave waveguide, in which the gas introduction tube and the exhaust tube are folded in the microwave waveguide so that the gas introduction tube and the exhaust tube are folded in the microwave waveguide. By doing so, the size restriction of the quartz tube can be halved and the apparatus can be made compact. Since the reaction tube only needs to have a longer path for gas flow, for example, a spiral shape or a meandering shape is also useful.
  • Ceramic heater provided on the inner wall of the gas inlet tube
  • the temperature can be raised naturally by microwave irradiation.
  • the ceramic heater is effective and necessary for producing nanocarbons from CO 2 gas.
  • the presence or absence of a ceramic heater does not significantly affect the CO 2 gas reduction rate.
  • the CO 2 recycling apparatus generates microwave plasma at a site where the reaction tube is folded, and attaches any one of the generated multi-walled carbon nanotube, carbon onion, or nanocarbon to the inner wall of the exhaust pipe.
  • a substrate may be installed inside the exhaust pipe, and the generated multi-walled carbon nanotubes or the like may be attached to the installed substrate.
  • plasma CVD has an effect of decomposing or reducing CFC gas and toxic gas, and in addition to CO 2 gas, carbon oxide-containing gas containing CFC gas and toxic gas is supplied to the CO 2 recycling apparatus of the present invention. May be.
  • the microwave waveguide may be replaced with a microwave waveguide coaxial cable, and microwave plasma may be generated in a reaction tube provided adjacent to the microwave waveguide coaxial cable.
  • the CO 2 recycling apparatus according to another aspect of the present invention uses a microwave plasma CVD method using CO 2 gas in a carbon oxide-containing gas as a carbon source, and uses multi-walled carbon nanotubes, carbon onions, and nanocarbons.
  • the reaction tube in the CO 2 recycling apparatus of the present invention is specifically a U-shaped tube, and one side is a gas introduction tube and the other side is an exhaust tube.
  • the reaction tube is a U-shaped tube, the size restriction of the quartz tube can be halved and the apparatus can be made compact.
  • the gas introduction tube in the reaction tube has a spiral shape or a meandering shape, and lengthens the path through which the gas flows.
  • the reaction tubes in the CO 2 recycling apparatus of the present invention are two tubes having different diameters, the side having a smaller diameter is a gas introduction tube, the side having a larger diameter is an exhaust tube, and the gas introduction tube Is inserted into the exhaust pipe.
  • the gas introduction pipe is inserted into the exhaust pipe in the reaction tube, the size restriction of the quartz tube can be halved and the apparatus can be made compact.
  • the reaction tube only needs to have a long gas flow path.
  • the reaction tube may have a spiral shape or a meandering shape instead of a straight shape, and a gas introduction tube having a small diameter may be inserted into an exhaust tube having a large diameter. Good.
  • the semi-rack heater in the CO 2 recycling apparatus of the present invention is preferably silicon carbide (SiC).
  • SiC silicon carbide
  • Such a ceramic heater is heated by microwave irradiation from a microwave oscillator. Thereby, the electric power for heater heating becomes unnecessary and the power consumption of an apparatus can be reduced.
  • the ceramic heater is effective and necessary for producing nanocarbons from CO 2 gas, the presence or absence of the ceramic heater does not significantly affect the CO 2 gas reduction rate.
  • the pressure in the reaction tube in the CO 2 recycling apparatus of the present invention is preferably 100 to 200 Pa.
  • the pressure in the reaction tube is lower than 100 Pa, or when the pressure in the reaction tube is higher than 200 Pa, plasma is hardly generated by the microwave. If the pressure is too low or too high, it will be difficult to generate plasma by the microwave.
  • the reaction tube in the CO 2 recycling apparatus of the present invention is formed of a material selected from transparent quartz glass, opaque quartz glass, ceramic material, and metal material.
  • a quartz tube using transparent quartz glass is preferably used.
  • transparent quartz glass natural quartz is used as a raw material, an ingot is manufactured at a high temperature of about 1800 ° C. or higher using an oxyhydrogen flame or an electric furnace, and graphite is used as a mold at a high temperature of about 2000 ° C. or higher.
  • a transparent reaction tube is produced by molding in a U-shape.
  • silica is used as a raw material, and bubbles in the raw material remain to become an opaque reaction tube.
  • a reaction tube can be manufactured using a ceramic material, a metal material, or the like.
  • a reaction tube formed of a material selected from transparent quartz glass, opaque quartz glass, ceramic material, and metal material is made of any of multi-walled carbon nanotubes, carbon onions, and nanocarbons on the inner wall of the reaction tube by microwave plasma CVD. Can be generated and deposited.
  • the scale size of the microwave waveguide in the CO 2 recycling apparatus of the present invention is preferably 400 mm or less in length, 200 mm or less in width, and 100 mm or less in height. A portion where the reaction tube is folded is provided at substantially the center of the microwave waveguide of the above size to generate microwave plasma.
  • the inventor has been able to reduce the scale size of the microwave waveguide to a length of 400 mm or less, a width of 200 mm or less, and a height of 100 mm or less by trial and error. By setting the size to this level, the power of the microwave oscillator can be reduced, and a case where a CO 2 recycling system is constructed using a plurality of CO 2 recycling devices can be easily realized.
  • a microwave matching device is provided in the case of the microwave waveguide in the CO 2 recycling apparatus of the present invention. Further, in the case of a coaxial cable for microwave waveguide, it is preferable that a coaxial type sleeving tuner is provided.
  • the above-mentioned CO 2 recycling device A system provided in multiple stages, and an exhaust pipe of the preceding CO 2 recycling device, a gas introduction pipe of the subsequent CO 2 recycling device Are connected. By connecting in multiple stages, the CO 2 gas reduction rate can be further increased.
  • the above-mentioned CO 2 recycling apparatus is enlarged, that is, when the amount of CO 2 gas to be processed is large, a system in which a large number of CO 2 recycling apparatuses are arranged in parallel is constructed.
  • the gas introduction pipes of the CO 2 recycling apparatus are arranged in parallel, the CO 2 gas discharged from the large pipe duct is taken in by a bundle of small diameter gas introduction pipes, and the individual CO 2 recycling apparatus is taken from each gas introduction pipe. Share CO 2 gas.
  • CO decomposition is performed by removing carbon monoxide (CO) from the gas exhausted from the exhaust pipe of the preceding stage CO 2 recycling apparatus and sending it to the gas introduction pipe of the subsequent stage CO 2 recycling apparatus.
  • CO carbon monoxide
  • means are further provided.
  • Carbon monoxide (CO) obtained by removing carbon monoxide (CO) from the gas exhausted from the exhaust pipe of the CO 2 recycling apparatus can be reused as fuel by the CO decomposition means.
  • CO 2 generated using carbon monoxide (CO) as fuel is reduced by the CO 2 recycling apparatus of the present invention.
  • CO 2 can be fixed the carbon (C) in the gas, and apparatus size is compact, has an effect such power consumption can be reduced. Further, according to the CO 2 recycling apparatus of the present invention, since plasma CVD is used, there is an effect of decomposing or reducing CFC gas and toxic gas.
  • Block diagram of the CO 2 recycling apparatus of the present invention Configuration diagram (plan view) of CO 2 recycling apparatus of Example 1 Configuration diagram (front view) of CO 2 recycling apparatus of Example 1 Configuration diagram (plan view) of CO 2 recycling apparatus of embodiment 2 Configuration diagram (front view) of CO 2 recycling apparatus of Example 2 Graph showing correlation between input power and CO 2 decomposition rate Graph showing the correlation between input power and CO 2 dissociation energy Graph showing correlation between input power and equipment efficiency Graph showing correlation between gas composition and CO 2 decomposition rate
  • FIG. 1 shows a block diagram of the CO 2 recycling apparatus of the present invention.
  • the CO 2 recycling apparatus of the present invention includes a microwave waveguide 1, a microwave oscillator 2, and a reaction tube 3 provided inside the microwave waveguide 1.
  • the reaction tube 3 includes a gas introduction tube 5 and an exhaust tube 4, and is folded back in the microwave waveguide 1 (folded portion 8).
  • a ceramic heater 6 is provided on the inner wall of the gas introduction pipe 5.
  • the microwave oscillator 2 When the microwave oscillator 2 is operated, the microwave resonates in the microwave waveguide 1, and the microwave plasma 20 is generated near the portion 8 where the reaction tube 3 is folded.
  • the microwave oscillator 2 is supplied with power from a power source 7.
  • the power source 7 is, for example, one supplied from a general household 100W outlet.
  • the CO 2 gas is supplied from the outside of the microwave waveguide 1 to the gas introduction tube 5, passes through the folded portion 8 of the reaction tube 3, passes through the place where the microwave plasma 20 is generated, and is exhausted from the exhaust tube 4.
  • a ceramic heater is provided inside the microwave waveguide 1 and on the inner wall of the gas introduction tube 5 so that the temperature is naturally raised by microwave irradiation.
  • the CO 2 gas supplied from the outside and flowing into the gas introduction pipe 5 is heated when passing through the ceramic heater 6.
  • any one of multi-walled carbon nanotubes, carbon onions, and nanocarbons is generated by microwave plasma CVD at the place where the microwave plasma 20 is generated.
  • the produced multi-walled carbon nanotube, carbon onion, and nanocarbon adhere to the inner wall of the exhaust pipe.
  • the ceramic heater 6 Since the ceramic heater 6 is heated by the microwave irradiation from the microwave oscillator 2, a heater heating power source for separately raising the temperature is unnecessary. Therefore, the power consumption of the entire apparatus is only the power consumption of the microwave oscillator 2, and the power consumption of the apparatus can be reduced.
  • the CO 2 with the operation of the apparatus from the more specific shape of the reaction tube 3, the power consumption of the apparatus, the amount of generated multi-walled carbon nanotubes, carbon onion, nanocarbon, and CO 2 reduction amount is reduced. The reduction effect will be described quantitatively.
  • Example 1 a CO 2 recycling apparatus in which the reaction tube 3 in FIG. 1 is a U-shaped tube will be described.
  • 2 and 3 respectively show a plan view and a front view of the CO 2 recycling apparatus of the first embodiment.
  • the microwave waveguide 1 has a rectangular shape when viewed from above, and a U-shaped tube 10 is inserted to the vicinity of the center.
  • the microwave waveguide 1 has a high height (wide cross-sectional area) on the side opposite to the side where the U-shaped tube 10 is inserted, and a cross-sectional area from the middle. Is narrowing. The height decreases from the left side of FIG.
  • the height is constant from the middle to the right side.
  • the height h at the left end, the distance A from the left side to the middle, and the distance B from the middle to the right side are set.
  • a and B are substantially equal distances, and the actual scale of the apparatus is about 180 mm.
  • h is about 50 mm.
  • a U-shaped tube 10 is provided inside the microwave waveguide 1. In the U-shaped tube 10, the gas introduction tube 5 and the exhaust tube 4 are folded around the middle of the microwave waveguide 1.
  • a ceramic heater 6 is provided on the inner wall of the gas introduction pipe 5 of the U-shaped pipe 10. Ceramic fibers are provided on both sides of the ceramic heater 6. This semi-rack heater is silicon carbide (SiC). Microwave plasma is generated near the portion 8 where the U-shaped tube 10 is folded.
  • a microwave matching unit 12 for adjusting the resonance of the microwave and tuning the conditions for generating the microwave plasma is provided (see FIG. 3).
  • C CO 2 carbon
  • Table 1 shows that CO 2 20 sccm, H 2 (carrier gas) 80 sccm is introduced from the gas introduction pipe 5 of the U-shaped tube 10, CO 2 is decomposed by microwave plasma, and the inner wall of the exhaust pipe 4 of the U-shaped tube 10. The result of having measured the relationship between the input electric power of the apparatus and the CO 2 decomposition rate in the state where the deposits are generated on is shown.
  • FIG. 6 is a graph in which the results of Table 1 are plotted, and shows the correlation between the input power and the CO 2 decomposition rate.
  • the input power is 100 W
  • the CO 2 decomposition rate is about 70%, and it can be confirmed that the CO 2 decomposition rate increases as the input power increases.
  • the dissociation energy for dissociating CO 2 to C requires 1597.9 [kJ] from the following.
  • FIG. 8 is a graph showing the correlation between the input power and the device efficiency.
  • the theoretical maximum value is a CO 2 decomposition rate of 100%.
  • the theoretical maximum value of A is A *, and the theoretical maximum value of apparatus efficiency is apparatus efficiency *.
  • FIG. 9 shows a graph showing the correlation between the gas composition and the CO 2 decomposition rate. It can be confirmed that the CO 2 decomposition rate decreases as the CO 2 concentration of the introduced gas increases. Experimental results show that the U-tube decomposition rate is higher than that of the T-tube.
  • the CO 2 recycling device A system provided in multiple stages, by connecting the exhaust pipe of the preceding CO 2 recycling device, a gas introduction pipe of the subsequent CO 2 recycling device, connected to the multi-stage It can be seen that the reduction rate of CO 2 gas can be further increased.
  • the present invention is intended to synthesize a nano-carbon material from CO 2, and eventually contribute to the establishment of effective use and the method of fixing the new CO 2 which is characterized by having a high added value compound It is.
  • a description will be given of how much CO 2 is fixed as a fibrous precipitate to the raw material gas used.
  • the carbon mass m 0 (g) of the source gas can be obtained from the following formula (1), where the CO 2 flow rate is Q (sccm) and the microwave plasma CVD time is t (min).
  • Example 2 an apparatus in which the CO 2 recycling apparatus using the U-shaped tube shown in FIGS. 2 and 3 as a reaction tube is connected in two stages (may be referred to as two stations) will be described.
  • the device connected in two stages is a device in which the exhaust pipe 4 of the former apparatus and the gas introduction pipe 5 of the latter apparatus are connected.
  • the gas introduced from the gas introduction pipe 5 of the preceding apparatus is subjected to the first CO 2 decomposition / reduction by the microwave plasma generated near the portion 8 where the U-shaped pipe of the preceding apparatus is folded. And it is discharged
  • Table 3 below shows that 20 sccm of CO 2 and 80 sccm of H 2 (carrier gas) are supplied from the gas introduction pipe to the CO 2 recycling apparatus having one U-shaped tube (one series) and two U-shaped tubes (two stations). This is a comparison of measurement results of the CO 2 decomposition rate (reduction rate) of the apparatus in a state where CO 2 was decomposed by microwave plasma and deposits were generated on the inner wall of the exhaust pipe.
  • the input power is 100 (W) per U-tube. In the case of two U-tubes (two stations), 100 (W) of power is supplied to both of the two U-tubes.
  • Example 1 a U-shaped tube was used as the reaction tube, but two tubes with different diameters, the smaller diameter side as the gas introduction tube, and the larger diameter side as the exhaust tube, A gas introduction pipe may be inserted into the exhaust pipe (see FIGS. 4 and 5). Further, the shape of the reaction vessel may be a spiral shape or a meandering shape, as long as the path through which the gas flows is long.
  • the microwave waveguide is used in the first embodiment, a coaxial waveguide for microwave waveguide may be used. In the case of a microwave waveguide coaxial cable, it is provided adjacent to the folded portion of the reaction tube.
  • the present invention is useful as a recycling apparatus for CO 2 emitted from engines such as automobiles and ships, and CO 2 emitted from public facilities, commercial facilities, and general households.

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Abstract

　装置サイズがコンパクトで、消費電力を低減できるＣＯ２リサイクリング装置を提供する。炭素酸化物含有ガス中のＣＯ２ガスを炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製する装置であって、マイクロ波発振器，マイクロ波導波管，マイクロ波導波管の内部に設けられた反応管であって、ガス導入管と排気管がマイクロ波導波管内で折り返される反応管，ガス導入管の内壁に設けられたセラミック系ヒーターから構成される。そして、反応管の折り返される部位でマイクロ波プラズマを発生させ、排気管の内壁に、生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを付着させる。

Description

ＣＯ２リサイクリング装置およびＣＯ２リサイクリングシステム
　本発明は、自動車や船舶からの排気ガス中に含まれる二酸化炭素（ＣＯ２）の炭素（Ｃ）を固定化して、ＣＯ２の環境への排出量を低減すると共に、ナノカーボン構造体（カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、カーボンオニオン、カーボンナノホーンなど）といった付加価値の高い先進炭素材料を作製できる装置ならびにシステムに関するものである。
　一般に、二酸化炭素（ＣＯ２）は、一酸化炭素（ＣＯ）やハイドロカーボン（ＨＣ）に比べて、その結合を解離するに必要なエネルギーが極めて高いことから、ＣＯ２の処理は困難である。
　かかる状況下、本発明者の大前は、炭素酸化物含有ガス中の二酸化炭素（ＣＯ２ガス）を炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製できることの知見を得て、既にＣＯ２リサイクリング装置を提案している（特許文献１）。
　既に提案したＣＯ２リサイクリング装置は、鉄などの触媒層が表面に形成された基板と、基板を加熱する熱源手段と、基板表面にＣＯ２ガスを導入するガス導入手段と、基板表面にマイクロ波プラズマを発生させるマイクロ波プラズマの発生手段と、マイクロ波プラズマの発生手段に電力を供給する電源手段を備えた装置である。
国際公開パンフレットＷＯ２０１１／００４６０９
　上述した提案中のＣＯ２リサイクリング装置は、長さ８００ｍｍの石英管の周囲にマイクロ波発振装置とマッフル炉が設置され、キャリアガスとして水素（Ｈ２）を用いており、石英管の中でＣＯ２ガスのプラズマ化、分解を生じさせて、ナノカーボン粒子をマッフル炉中に設置した基板上に生成する。そのため、提案中のＣＯ２リサイクリング装置では、マイクロ波発振装置とマッフル炉の合算の消費電力が生じ、ＣＯ２ガス中の炭素（Ｃ）を固定化するものの、それに伴う消費電力量が大きいといった問題がある。
　また、長さ８００ｍｍの石英管を装置の構成要素とするため、装置サイズが大きいといった問題がある。
　上記状況に鑑みて、本発明は、装置サイズがコンパクトで、消費電力を低減できるＣＯ２リサイクリング装置を提供することを目的とする。
　上記問題を解決すべく、本発明者らは、トライアンドエラーを積み重ねて本発明に係るＣＯ２リサイクリング装置を完成した。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置は、炭素酸化物含有ガス中のＣＯ２ガスを炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製する装置であって、以下の構成要素から成る。
１）マイクロ波発振器
　マイクロ波は市販の電子レンジに付属する発振周波数２．４５ＧＨｚ,　最大出力５００Ｗのマグネトロンを好適に用いることができる。
２）マイクロ波導波管
　導波管内をマイクロ波が行き来して共振する。
３）マイクロ波導波管の内部に設けられた反応管であって、ガス導入管と排気管がマイクロ波導波管内で折り返される反応管
　ガス導入管と排気管がマイクロ波導波管内で折り返されるようにすることにより、石英管のサイズの制約を半減し、装置をコンパクト化できる。
　反応管は、ガスが流れる行路を長くすればいいので、例えばスパイラル形状や蛇行形状でも有用である。
４）ガス導入管の内壁に設けられたセラミック系ヒーター
　セラミック系ヒーターを採用することにより、マイクロ波照射によって自然に昇温できる。ここで、セラミック系ヒーターは、ＣＯ２ガスからナノカーボン類を作製するために有効で必要なものである。しかしながら、セラミック系ヒーターの有無は、ＣＯ２ガスの削減率にはあまり影響しない。
　ＣＯ２リサイクリング装置は、上記の構成によって、反応管の折り返される部位でマイクロ波プラズマを発生させ、排気管の内壁に、生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを付着させる。排気管の内部に基板を設置し、この設置した基板に生成された多層カーボンナノチューブ等を付着させてもよい。
　また、プラズマＣＶＤは、フロンガスや有毒ガスの分解や削減の効果があり、ＣＯ２ガスに加えて、フロンガスや有毒ガスを含む炭素酸化物含有ガスを、本発明のＣＯ２リサイクリング装置に供給させてもよい。
　また、上記構成のＣＯ２リサイクリング装置おいて、マイクロ波導波管をマイクロ波導波用同軸ケーブルに置き換え、マイクロ波導波用同軸ケーブルに隣接して設けられた反応管内でマイクロ波プラズマを行うものでもよい。
　すなわち、本発明の他の観点のＣＯ２リサイクリング装置は、炭素酸化物含有ガス中のＣＯ２ガスを炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製する装置であって、マイクロ波発振器と、マイクロ波導波用同軸ケーブルと、マイクロ波導波用同軸ケーブルに隣接して設けられた反応管であって、ガス導入管と排気管がマイクロ波導波用同軸ケーブルに隣接した部位で折り返される反応管と、ガス導入管の内壁に設けられたセラミック系ヒーターとを備える。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置における反応管は、具体的にはＵ字状の管であり、一方側をガス導入管とし、他方側を排気管とするものである。
　反応管をＵ字状の管とすることで、石英管のサイズの制約を半減し、装置をコンパクト化できる。
　また好ましくは、反応管におけるガス導入管は、スパイラル形状や蛇行形状を呈し、ガスが流れる行路を長くする。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置における反応管は、具体的には径の異なる２本の管であって、径の小さい側をガス導入管とし、径の大きい側を排気管とし、ガス導入管を排気管内に挿入したものである。
　反応管において、ガス導入管を排気管内に挿入した構成とすることで、石英管のサイズの制約を半減し、装置をコンパクト化できる。
　上述の如く、反応管は、ガスが流れる行路を長くすればよく、例えば直線形状でなくともスパイラル形状や蛇行形状にして、径の小さいガス導入管を、径の大きい排気管内に挿入してもよい。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置におけるセミラック系ヒーターは、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）であることが好ましい。
　かかるセラミック系ヒーターは、マイクロ波発振器からのマイクロ波照射によって、昇温される。これにより、ヒーター加熱のための電力が不要となり、装置の消費電力を低減できる。上述の如く、セラミック系ヒーターは、ＣＯ２ガスからナノカーボン類を作製するために有効で必要なものの、セラミック系ヒーターの有無は、ＣＯ２ガスの削減率にはあまり影響しない。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置における反応管内の圧力は、１００～２００Ｐａであることが好ましい。反応管内の圧力が１００Ｐａより低い場合や、反応管内の圧力が２００Ｐａより高い場合、マイクロ波によってプラズマが発生しにくくなる。圧力が低すぎたり、高すぎるとマイクロ波によってプラズマが発生しにくくなる。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置における反応管は、透明石英ガラス、不透明石英ガラス、セラミック材料、金属材料から選択される材で形成される。特に、透明石英ガラスを用いた石英管が好適に用いられる。透明石英ガラスを用いる場合、天然の水晶を原料とし、酸水素炎あるいは電気炉を用いて略１８００℃以上の高温でインゴットを製造し、グラファイトをモールドとして電気炉中で略２０００℃以上の高温でＵ字状に成形して作製され透明の反応管になる。不透明石英管を用いる場合、原料としてはケイ石を用い、原料中の気泡が残存して不透明の反応管になる。その他、セラミック材料、金属材料などを使用して反応管を作製することも可能である。透明石英ガラス、不透明石英ガラス、セラミック材料、金属材料から選択される材で形成される反応管は、マイクロ波プラズマＣＶＤ法によって、反応管の内壁に、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを生成し付着させることができる。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置におけるマイクロ波導波管のスケールサイズは、長さ４００ｍｍ以下、幅２００ｍｍ以下、高さ１００ｍｍ以下であることが好ましい。
　上記サイズのマイクロ波導波管の略中央に反応管の折り返される部位を設け、マイクロ波プラズマを発生させる。
　本発明者は、トライアンドエラーにより、マイクロ波導波管のスケールサイズを、長さ４００ｍｍ以下、幅２００ｍｍ以下、高さ１００ｍｍ以下にすることができた。この程度の大きさにすることで、マイクロ波発振器の電力を低減でき、かつ、複数のＣＯ２リサイクリング装置を用いて、ＣＯ２リサイクリングシステムを構築するケースを容易に実現できた。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置におけるマイクロ波導波管の場合、マイクロ波整合器が設けられていることが好ましい。また、マイクロ波導波用同軸ケーブルの場合、同軸タイプのスリースタブチューナーが設けられていることが好ましい。
　本発明のＣＯ２リサイクリングシステムは、上記のＣＯ２リサイクリング装置を多段に設けたシステムであって、前段のＣＯ２リサイクリング装置の排気管と、後段のＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管を接続するものである。多段に接続することによって、ＣＯ２ガスの削減率を更に高めることができる。
　また、上記のＣＯ２リサイクリング装置を大型化する場合、すなわち、処理すべきＣＯ２ガス量が多い場合、多数のＣＯ２リサイクリング装置を並列化したシステムを構築する。ＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管を並列に並べ、大きな配管ダクトから排出されるＣＯ２ガスを、小さな径のガス導入管の束で取り込み、各々のガス導入管から個々のＣＯ２リサイクリング装置が分担してＣＯ２ガスを処理する。
　本発明のＣＯ２リサイクリングシステムにおいて、前段のＣＯ２リサイクリング装置の排気管から排気されるガスから一酸化炭素（ＣＯ）を取り除き、後段のＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管へ送り込むＣＯ分解手段が更に設けられたことが好ましい。ＣＯ分解手段によって、ＣＯ２リサイクリング装置の排気管から排気されるガスから一酸化炭素（ＣＯ）を取り除くことにより得た一酸化炭素（ＣＯ）を燃料として再使用できる。一酸化炭素（ＣＯ）を燃料として発生するＣＯ２は、本発明のＣＯ２リサイクリング装置で削減する。
　本発明のＣＯ２リサイクリング装置によれば、ＣＯ２ガス中の炭素（Ｃ）を固定化でき、かつ装置サイズがコンパクトで、消費電力を低減できるといった効果を有する。
　また、本発明のＣＯ２リサイクリング装置によれば、プラズマＣＶＤを用いることから、フロンガスや有毒ガスの分解や削減の効果もある。
本発明のＣＯ２リサイクリング装置のブロック図 実施例１のＣＯ２リサイクリング装置の構成図（平面図） 実施例１のＣＯ２リサイクリング装置の構成図（正面図） 実施例２のＣＯ２リサイクリング装置の構成図（平面図） 実施例２のＣＯ２リサイクリング装置の構成図（正面図） 投入電力とＣＯ２分解率の相関を示すグラフ 投入電力とＣＯ２解離エネルギーの相関を示すグラフ 投入電力と装置効率の相関を示すグラフ ガス組成とＣＯ２分解率の相関を示すグラフ
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明していく。なお、本発明の範囲は、以下の実施例や図示例に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。
　図１は、本発明のＣＯ２リサイクリング装置のブロック図を示している。本発明のＣＯ２リサイクリング装置は、マイクロ波導波管１とマイクロ波発振器２と、マイクロ波導波管１の内部に設けられた反応管３を備える。反応管３は、ガス導入管５と排気管４から成り、マイクロ波導波管１内で折り返される（折り返し部位８）。また、ガス導入管５の内壁には、セラミック系ヒーター６が設けられている。
　マイクロ波発振器２が作動すると、マイクロ波導波管１でマイクロ波が共振して、反応管３の折り返される部位８付近で、マイクロ波プラズマ２０が発生する。マイクロ波発振器２は、電源７から電力供給される。電源７は、例えば、一般家庭用の１００Ｗコンセントから供給されるものをいう。ＣＯ２ガスは、マイクロ波導波管１の外部からガス導入管５に供給され、反応管３の折り返し部位８を通り、マイクロ波プラズマ２０の発生場所を通って、排気管４から排気される。ガス導入管５と排気管４がマイクロ波導波管１内で折り返されるようにすることにより、反応管３の全長を短くすることができ、その結果、装置全体をコンパクト化できる。
　また、マイクロ波導波管１の内部であって、ガス導入管５の内壁には、セラミック系ヒーターが設けられており、マイクロ波照射によって自然に昇温されるようになっている。
　外部から供給されてガス導入管５に流れるＣＯ２ガスは、セラミック系ヒーター６を通過する際に加熱される。そして、折り返し部位８を通過した付近で、マイクロ波プラズマ２０の発生場所でマイクロ波プラズマＣＶＤより多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれか生成される。生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンは、排気管の内壁に付着する。
　セラミック系ヒーター６は、マイクロ波発振器２からのマイクロ波照射によって、昇温されるため、別途昇温のためのヒーター加熱電源が不要である。そのため、装置全体の消費電力は、マイクロ波発振器２の消費電力のみとなり、装置の消費電力を低減できることになる。
　以下の実施例では、反応管３のより具体的な形状と、装置の消費電力と生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンの量、ＣＯ２削減量から装置の稼働に伴い、ＣＯ２削減効果について定量的に説明する。
　実施例１では、図１における反応管３がＵ字管であるＣＯ２リサイクリング装置について説明する。図２、図３は、それぞれ実施例１のＣＯ２リサイクリング装置の平面図と正面図を示している。
　平面図（図２）に示すように、マイクロ波導波管１は、上から見ると長方形の形状を呈しており、中央付近までＵ字管１０が挿入されている。また、正面図（図３）に示すように、マイクロ波導波管１は、Ｕ字管１０が挿入されている側とは反対側は高さが高く（断面積が広く）、途中から断面積が狭まっている。図３の左側から真ん中に向かうに従い、高さは狭まり、真ん中から右側は高さが一定である。ここで、左端の高さｈ，左側から真ん中の距離Ａ，真ん中から右側の距離Ｂとする。ＡとＢは略等しい距離であり、実際の装置のスケールは、１８０ｍｍ程度である。ｈは５０ｍｍ程度である。
　図２，３において、マイクロ波発振器の配置は、マイクロ波導波管１の右端に隣接する位置であるが、マイクロ波発振器は図示していない。
　マイクロ波導波管１の内部にＵ字管１０が設けられている。Ｕ字管１０は、ガス導入管５と排気管４がマイクロ波導波管１の真ん中辺りで折り返されている。また、Ｕ字管１０のガス導入管５の内壁には、セラミック系ヒーター６が設けられている。セラミック系ヒーター６の両側にはセラミックファイバーが設けられている。このセミラック系ヒーターは、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）である。
　Ｕ字管１０の折り返される部位８付近でマイクロ波プラズマが発生する。マイクロ波の共振を調整し、マイクロ波プラズマを発生する条件のチューニングするためのマイクロ波整合器１２が設けられている（図３参照）。
　マイクロ波プラズマによって、Ｕ字管１０の排気管４の内壁に、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかが付着する。これらの付着物はＣＯ２の炭素（Ｃ）を固定化した産物であり、ＣＯ２が分解されているため、排気管４から排気されるガスには、ガス導入管５から流入したガスからＣＯ２が削減されている。
　次に、本装置を用いた場合のＣＯ２削減量や削減率について具体的に説明する。
　下表１は、ＣＯ２２０ｓｃｃｍ，Ｈ２（キャリアガス）８０ｓｃｃｍをＵ字管１０のガス導入管５から導入し、マイクロ波プラズマによってＣＯ２を分解し、Ｕ字管１０の排気管４の内壁に付着物を生じさせた状態で、装置の投入電力とＣＯ２分解率の関係を測定した結果を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　また、図６は、表１の結果をプロットしたグラフで、投入電力とＣＯ２分解率の相関を示す。投入電力が１００ＷでＣＯ２分解率が約７０％であり、投入電力が大きくなるに従い、ＣＯ２分解率が高くなることが確認できる。
　ここで、ＣＯ２のＣにまで解離するための解離エネルギーは、下記から、１５９７．９[ｋＪ]が必要である。
　ＣＯ２＋ ５２６．１[ｋＪ] ＝ ＣＯ ＋ Ｏ
　ＣＯ
＋ １０７１．８[ｋＪ] ＝ Ｃ ＋ Ｏ
　ＣＯ２を２０ｓｃｃｍ導入した場合、２０×１０－３／２２．４×１／６０（ｍｏｌ／ｓ）＝１．４８８×１０－５（ｍｏｌ／ｓ）のＣＯ２が流れることになる。従って、導入したＣＯ２２０ｓｃｃｍ全てを分解するには、１．４８８×１０－５（ｍｏｌ／ｓ）×１５９７．９[ｋＪ]＝２３．７８×１０－３[ｋＪ／ｓ]＝２３．７８（Ｗ）必要となる。
　導入したＣＯ２すべてを分解するために必要なエネルギー）×ＣＯ２分解率＝Ａとすると、投入電力１００（Ｗ），ＣＯ２分解率６８．５％の場合、Ａ＝２３．７８（Ｗ）×０．６８５＝１６．２９（Ｗ）となる。装置効率は、投入電力とＡの比率から算出して、１６．２９（Ｗ）／１００（Ｗ）＝０．１６２９となり、１６．２９％であることが判る。
　また、投入電力１５０（Ｗ），ＣＯ２分解率７３．０％の場合、Ａ＝２３．７８（Ｗ）×０．７３＝１７．３６（Ｗ）となる。装置効率は、１７．３６（Ｗ）／１５０（Ｗ）＝０．１１５７となり、１１．５７％であることが判る。
　また、投入電力２００（Ｗ），ＣＯ２分解率８１．０％の場合、Ａ＝２３．７８（Ｗ）×０．８１＝１９．２６（Ｗ）となる。装置効率は、１９．２６（Ｗ）／２００（Ｗ）＝０．０９６３となり、９．６３％であることが判る。
　同様に、投入電力２５０（Ｗ），・・・，４００（Ｗ）の時のＡと装置効率を計算しまとめたものを下表２に示す。また、表２のデータをグラフ化したもので、投入電力と上記Ａ（＝導入したＣＯ２すべてを分解するために必要なエネルギー×ＣＯ２分解率）との相関グラフを図７に示す。表２のデータをグラフ化したもので、投入電力と装置効率との相関グラフを図８に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　図７，８の相関グラフの理論最高値について説明する。理論最高値とはＣＯ２分解率を１００％とするものであり、上記Ａの理論最高値をＡ＊、装置効率の理論最高値を装置効率＊とする。
　投入電力１００（Ｗ）の場合、Ａ＊＝２３．７８（Ｗ）×１＝２３．７８（Ｗ）となる。装置効率＊は、投入電力とＡ＊の比率から算出して、２３．７８（Ｗ）／１００（Ｗ）＝０．２３７８となり、２３．７８％となる。
　同様に、投入電力１５０（Ｗ）の場合、Ａ＊＝２３．７８（Ｗ）×１＝２３．７８（Ｗ）となる。装置効率＊は、投入電力とＡ＊の比率から算出して、２３．７８（Ｗ）／１５０（Ｗ）＝０．１５８５となり、１５．８５％となる。
　同様に、投入電力２００（Ｗ）の場合、Ａ＊＝２３．７８（Ｗ）×１＝２３．７８（Ｗ）となる。装置効率＊は、投入電力とＡ＊の比率から算出して、２３．７８（Ｗ）／２００（Ｗ）＝０．１１８９となり、１１．８９％となる。
　図９は、ガス組成とＣＯ２分解率の相関を示すグラフを示している。導入するガスのＣＯ２濃度が大きくなると、ＣＯ２分解率が下がっていることが確認できる。実験結果は、Ｕ字管の分解率の方がＴ字管より上回っていることを示している。
　これから、ＣＯ２リサイクリング装置を多段に設けたシステムであって、前段のＣＯ２リサイクリング装置の排気管と、後段のＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管を接続し、多段に接続することによって、ＣＯ２ガスの削減率を更に高めることができることが判る。
  本発明はＣＯ２からナノカーボン材料を合成することを目的とし、最終的には合成物が高い付加価値を持つことを特徴とした新たなＣＯ２の有効利用および固定方法の確立に貢献するものである。用いた原料ガスに対して繊維状析出物としてＣＯ２をどれだけ固定化したかについて説明する。
  まず、原料ガスのうちの炭素質量ｍ０（ｇ）はＣＯ２流量をＱ（ｓｃｃｍ）,　マイクロ波プラズマＣＶＤ時間をｔ（ｍｉｎ）とすると下記数式（１）から求められる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　繊維状析出物を合成した際のＣＶＤ
条件をＣＯ２ 流量２０（ｓｃｃｍ）,１０（ｍｉｎ）とすると、上記数式（１）からｍ０＝０．１０７（ｇ）となる。さらに繊維状析出物の長さを１（ｎｍ），直径Ｄ（ｎｍ），析出密度ｄｄ（μｍ－２），墓板面積Ｓ（ｃｍ２），アモルファスカーボンの密度ｄｃ
（ｇ／ｃｍ３）とすると，繊維状析出物として直定化された炭素の質量ｍ（ｇ）は以下の下記数式（２）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　上記の計算では、長さＩ＝９００（ｎｍ），直径Ｄ ＝ ４５（ｎｍ），析出密度ｄｄ＝
２０（μｍ－２），基板面積Ｓ＝０．５（ｃｍ２）としている。また密度ｄｃは真密度であることを考慮して、一般に報告されているアモルファスカーボンのかさ密度は適用できず、内部のｓｐ２，ｓｐ３，結合の割合や水素含有量も不明であるため理論計算も困難である。そのためこの真密度は、ダイアモンドの密度３．５２（ｇ／ｃｍ３）を越えない程度であるｄｃ＝１．０～３．０（ｇ／ｃｍ３）として算出する。その結果、ｍ＝１．４３～４．２９×１０－６（ｇ）となった。繊維状析出物として固定した炭素の質量割合ｓは下記数式（３）で表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
  上記数式（３）から、ｓ＝１．３４～４．００×１０－５となる。これはあくまで概算であり数値は精確ではないものの、オーダーとしては大きく外れていないものと考えられる。このs値の改善、つまり繊維状析出物をより多く合成することが重要である。ナノカーボンを堆積させる基板を大きくする、ガス量を増大する等の効果によって、繊維状析出物の合成量を拡大できるものと期待する。
　実施例２では、図２及び図３に示すＵ字管を反応管として用いたＣＯ２リサイクリング装置を２段（２連と称してもよい）に接続した装置について説明する。２段に接続した装置とは、前段の装置の排気管４と後段の装置のガス導入管５を接続したものである。前段の装置のガス導入管５から導入されたガスは、前段の装置のＵ字管の折り返される部位８付近で発生するマイクロ波プラズマによって、第１回目のＣＯ２分解・削減が生じる。そして、前段の装置の排気管４から排出される。前段の装置の排気管４と後段の装置のガス導入管５とは接続されているため、後段の装置のガス導入管５から導入されたガスは、ＣＯ２が既に分解・削減されている。後段の装置のＵ字管の折り返される部位８付近で発生するマイクロ波プラズマによって、第２回目のＣＯ２分解・削減が生じる。
　下記表３は、Ｕ字管１段（１連）とＵ字管２段（２連）のＣＯ２リサイクリング装置に対して、ＣＯ２２０ｓｃｃｍ，Ｈ２（キャリアガス）８０ｓｃｃｍをガス導入管から導入し、マイクロ波プラズマによってＣＯ２を分解し、排気管の内壁に付着物を生じさせた状態で、装置のＣＯ２分解率（削減率）の測定結果を比較したものである。投入電力はＵ字管１本当たり１００（Ｗ）である。Ｕ字管２段（２連）の場合、２つのＵ字管の両方に１００（Ｗ）の電力を投入している。結果は、Ｕ字管１段（１連）のＣＯ２削減率が６８．５％であるのに対して、Ｕ字管２段（２連）のＣＯ２削減率は７９．５％であった。かかる結果から、装置を２段にすれば、装置単独よりもＣＯ２を分解・削減できることが確認できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
（その他の実施例）
（１）上記実施例１では、反応管としてＵ字管を用いたが、径の異なる２本の管であって、径の小さい側をガス導入管とし、径の大きい側を排気管とし、ガス導入管を排気管内に挿入したものでもよい（図４、図５を参照）。また、反応菅の形状は、ガスが流れる行路を長くすればよく、スパイラル形状や蛇行形状でも構わない。
（２）上記実施例１では、マイクロ波導波管を用いたが、マイクロ波導波用同軸ケーブルを用いてもよい。マイクロ波導波用同軸ケーブルの場合、反応管の折り返し部位に隣接して設ける。
　本発明は、自動車、船舶などのエンジンから排出されるＣＯ２や、公共施設、商業施設、一般家庭から排出されるＣＯ２のリサイクル装置として有用である。
　　１　　マイクロ波導波管
　　２　　マイクロ波発振器
　　３　　反応管
　　４　　排気管
　　５　　ガス導入管
　　６　　セラミック系ヒーター
　　７　　電源
　　８　　折り返される部位
　　１０　Ｕ字管
　　１１　２層管
　　１２　マイクロ波整合器（スタブ）
　　１４　フランジ
　　１６　プレート
　　１７　ストッパー
　　１８　支持部材
　　２０　プラズマ発生部
 

Claims (14)

  1. 　炭素酸化物含有ガス中のＣＯ２ガスを炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製する装置であって、
    　マイクロ波発振器と、
    　マイクロ波導波管と、
    　前記マイクロ波導波管の内部に設けられた反応管であって、ガス導入管と排気管が前記マイクロ波導波管内で折り返される反応管と、
    　前記ガス導入管の内壁に設けられたセラミック系ヒーターと、
    　を備え、
    　前記反応管の折り返される部位でマイクロ波プラズマを発生させ、
    　前記排気管の内壁に、生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを付着させる、
    　ことを特徴とするＣＯ２リサイクリング装置。
  2. 　炭素酸化物含有ガス中のＣＯ２ガスを炭素源として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて、多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを作製する装置であって、
    　マイクロ波発振器と、
    　マイクロ波導波用同軸ケーブルと、
    　前記マイクロ波導波用同軸ケーブルに隣接して設けられた反応管であって、ガス導入管と排気管が前記マイクロ波導波用同軸ケーブルに隣接した部位で折り返される反応管と、
    　前記ガス導入管の内壁に設けられたセラミック系ヒーターと、
    　を備え、
    　前記反応管の折り返される部位でマイクロ波プラズマを発生させ、
    　前記排気管の内壁に、生成された多層カーボンナノチューブ、カーボンオニオン、ナノカーボンのいずれかを付着させる、
    　ことを特徴とするＣＯ２リサイクリング装置。
  3. 　前記反応管は、Ｕ字状の管であり、一方側をガス導入管とし、他方側を排気管とするものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  4. 　前記反応管は、径の異なる２本の管であって、径の小さい側をガス導入管とし、径の大きい側を排気管とし、ガス導入管を排気管内に挿入したものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  5. 　前記反応管における前記ガス導入管は、スパイラル形状や蛇行形状を呈し、ガスが流れる行路を長くすることを特徴とする請求項３又は４に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  6. 　前記セミラック系ヒーターは、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  7. 　前記セラミック系ヒーターは、マイクロ波照射によって、昇温されることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  8. 　前記反応管内の圧力は、１００～２００Ｐａであることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  9. 　前記反応管は、透明石英ガラス、不透明石英ガラス、セラミック材料、金属材料から選択される材で形成されることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  10. 　前記マイクロ波導波管のスケールサイズは、長さ４００ｍｍ以下、幅２００ｍｍ以下、高さ１００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  11. 　前記マイクロ波導波管には、マイクロ波整合器が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  12. 　前記マイクロ波導波用同軸ケーブルには、同軸タイプのスリースタブチューナーが設けられていることを特徴とする請求項２に記載のＣＯ２リサイクリング装置。
  13. 　請求項１～請求項１２の何れかのＣＯ２リサイクリング装置を多段に設けたシステムであって、前段のＣＯ２リサイクリング装置の排気管と、後段のＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管を接続することを特徴とするＣＯ２リサイクリングシステム。
  14. 　前段のＣＯ２リサイクリング装置の排気管から排気されるガスから一酸化炭素（ＣＯ）を取り除き、後段のＣＯ２リサイクリング装置のガス導入管へ送り込むＣＯ分解手段が更に設けられたことを特徴とする請求項１３に記載のＣＯ２リサイクリングシステム。
     
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