WO2013171782A1 - 位置決め装置、処理装置、処理システム及び位置決め方法 - Google Patents

Abstract

　本発明は、矩形ワークの位置決めを行う位置決め装置を提供する。この位置決め装置は、矩形ワークが水平姿勢で載置される載置部と、前記矩形ワークの位置を規定する複数の規定部を備えた調整機構と、各々の前記規定部に対して、前記載置部上の前記矩形ワークを押圧する押圧機構と、を備える。前記調整機構は、前記規定部を垂直軸周りに回動させる第１乃至第３調整機構を含む。

Description

位置決め装置、処理装置、処理システム及び位置決め方法

　本発明は矩形ワークの位置決め技術に関する。

　矩形のワークを位置決めする装置としては、ワークの外形を利用してその位置決めを行う装置が提案されている。例えば、特許文献１には、固定の当接ピンに対して矩形基板の端縁（辺）を当接させることで、矩形基板の位置決めを行う装置が開示されている。しかし、特許文献１の装置では、ワークの外形を基準とした１種類の位置決めしか行うことができない。特許文献２には、複数の押し込み装置によりワークの位置決めを行う装置が開示されている。各押し込み装置は、ワークの端縁に当接する可動のロッドを備える。ロッドとワークとの当接位置を変更できるため、多様な位置決めが可能である。

特開平０５－０５８５１５号公報 特開２０１２－００６４９８号公報

　しかし、特許文献２の装置では、ロッドがその長手方向に直線的に往復移動する構成である。ロッドのストロークを確保するために、装置が大型化し易い。

　本発明の目的は、多様な位置決めを可能としながら、装置の小型化を図ることにある。

　本発明によれば、矩形ワークの位置決めを行う位置決め装置であって、前記矩形ワークが水平姿勢で載置される載置部と、前記矩形ワークの位置を規定する複数の規定部を備えた調整機構と、各々の前記規定部に対して、前記載置部上の前記矩形ワークを押圧する押圧機構と、を備え、前記複数の規定部は、前記矩形ワークの４辺のうちの第１辺が当接する第１規定部と、前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第１辺と非対向の第２辺が当接する第２及び第３規定部と、を含み、前記押圧機構は、前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第１辺に対向する第３辺に当接して前記矩形ワークを前記第１規定部に対して押圧する第１押圧機構と、前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第２辺に対向する第４辺に当接して前記矩形ワークを前記第２及び第３規定部に対して押圧する第２押圧機構と、を含み、前記調整機構は、前記第１規定部を第１垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第１調整機構と、前記第２規定部を第２垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第２調整機構と、前記第３規定部を第３垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第３調整機構と、を含む位置決め装置が提供される。

　また、本発明によれば、上記位置決め装置を利用した処理装置、処理システム及び位置決め方法が提供される。

　本発明によれば、多様な位置決めを可能としながら、装置の小型化を図ることができる。

本発明の一実施形態に係る処理システムのレイアウト図。 本発明の一実施形態に係る位置決め装置の斜視図。 保持ユニット及び摩擦低減機構の説明図。 図２の位置決め装置の制御ユニットのブロック図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 図２の位置決め装置の動作説明図。 押圧機構の別例の説明図。 摩擦低減機構の別例の説明図。

　以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。

　＜処理システム＞
　図１は本発明の一実施形態に係る処理システム１００のレイアウト図である。処理システム１００は、ワークＷに対して所定の処理を行うシステムである。ワークＷは、本実施形態の場合、矩形の基板である。しかし、矩形のワークであれば、基板以外のワークにも本発明は適用可能である。

　処理システム１００は、格納装置１０１及び１０２、搬送装置１０３、測定装置１０５、及び、複数の処理装置１０６を備える。

　格納装置１０１は、未処理のワークＷを格納する装置である。搬送装置１０３は、格納装置１０１から未処理のワークＷを一枚ずつ取り出し、測定装置１０５に供給する。格納装置１０２は、処理済みのワークＷを格納する装置である。搬送装置１０３は、処理装置１０６から処理済みのワークＷを取り出し、格納装置１０２へ一枚ずつ供給する。

　搬送装置１０３は水平面における任意の搬送方向（ここではＸ方向）に延設されたレール状の案内部材１０４に沿って往復移動可能であると共に、ワークＷを搬送方向と直交する方向（ここではＹ方向）に移載するための移載機構（不図示）を備える。この移載機構は、例えば、多関節アーム等であり、搬送装置１０３と格納装置１０１及び１０２との間でのワークＷの移載の他、搬送装置１０３と測定装置１０５及び処理装置１０６との間でのワークＷの移載を行う。

　搬送装置１０３の往復移動機構としては、ボールネジ機構や、リニアサーボ機構や、ラック・ピニオン機構或いはベルト伝動機構を採用可能である。なお、本実施形態では、案内部材１０４の一方の側方に格納装置１０１及び１０２が配置され、他方の側方に沿って測定装置１０５及び処理装置１０６が配置された例を示している。

　測定装置１０５は、位置決め装置１を備える。測定装置１０５は、位置決め装置１によって、ワークＷの規定位置からの位置ずれ量を測定する。位置決め装置１の詳細は後述する。

　各処理装置１０６は、位置決め装置１と、移動ユニット２と、処理ユニット３と、を備える。位置決め装置１は、測定装置１０５が備える位置決め装置１と同様の構成である。但し、測定装置１０５の位置決め装置１が検出ユニット１５を備えているのに対して、各処理装置１０６の位置決め装置１は検出ユニット１５を備えていない。各処理装置１０６の位置決め装置１は、測定装置１０５で測定された位置ずれ量に基づいてワークＷの位置決めを行う。

　処理ユニット３は、ワークＷに対して所定の処理を行う。処理の内容としては、例えば、ワークＷの一部の切断や、ワークＷに対する塗料の塗布等が挙げられる。

　移動ユニット２は、位置決めユニット１の載置部１１上で位置決めされたワークＷに対して処理ユニット３を３次元的に移動させる。移動ユニット２を設けたことで、ワークＷの複数の作業対象部位に対して処理ユニット３を移動できる。本実施形態では、処理ユニット３を移動する構成としたが、処理ユニット３は固定し、ワークＷ側を処理ユニット３に対して移動する構成（例えば、位置決め装置１を移動する構成）としてもよい。或いは、ワークＷと処理ユニット３との双方を移動する構成としてもよい。

　移動ユニット２は、ガントリタイプのロボットであって、一対の案内部材２１、２１と、移動体２２と、移動体２２における梁部２２ｂ（後述）に沿って移動する移動体２３と、昇降ユニット２４と、を備える。案内部材２１は、Ｘ方向に延設されたレール状の部材である。一対の案内部材２１、２１は、Ｙ方向に離間して配置されており、位置決め装置１の両側に位置している。

　移動体２２は、一対の案内部材２１、２１上を移動する一対の柱部２２ａ、２２ａと、これらの柱部２２ａ、２２ａ間に架設された梁部２２ｂと、を備えた門型をなしている。移動体２２は、一対の案内部材２１、２１の案内によりＸ方向に往復移動可能である。梁部２２ｂは位置決め装置１を跨るように配設されている。

　移動体２３は、梁部２２ｂに、梁部２２ｂの長手方向に沿って移動可能に設けられている。移動体２３は、梁部２２ｂの案内によりＹ方向に不図示の駆動機構により往復移動可能である。昇降ユニット２４は移動体２３に支持されている。処理ユニット３は昇降ユニット２４に支持されている。昇降ユニット２４は処理ユニット３をＺ方向に不図示の駆動機構により往復移動可能である。

　このような構成により、移動ユニット２は、載置部１１上のワークＷの任意の部位に対して処理ユニット３を移動させ、かつ昇降させることができる。また、ワークＷと平行な方向に処理ユニット３を移動させることができる。なお、移動体２２及び２３並びに昇降ユニット２４の駆動機構としては、ボールネジ機構や、ラック・ピニオン機構或いはベルト伝動機構を採用可能である。

　＜処理の流れ＞
　次に、処理システム１００による処理の流れについて概説する。処理システム１００は、ホストコンピュータ（図４のホストコンピュータ１０７）を中心とした制御システムによって、その動作が制御される。まず、搬送装置１０３が格納装置１０１からワークＷを受け取り、測定装置１０５へ移載する。測定装置１０５では、ワークＷの規定位置からの位置ずれ量を測定する。位置ずれ量の測定の詳細は後述する。測定した位置ずれ量に関する位置決め情報は、ワークＷに固有のＩＤと共にホストコンピュータに送信されて管理される。

　次に、搬送装置１０３が測定装置１０５からワークＷを受け取る。その後、ホストコンピュータは搬送装置１０３を任意の処理装置１０６の位置へ移動させ、搬送装置１０３から処理装置１０６にワークＷを移載する。ホストコンピュータは、そのワークＷの位置決め情報を処理装置１０６へ送信する。処理装置１０６は、受信した位置決め情報に基づいてワークＷの位置決めを位置決め装置１によって行う。このときの位置決めの詳細は後述する。その後、処理ユニット３及び移動ユニット２によって、ワークＷに対して所定の処理を行う。

　処理装置１０６による処理が完了すると、搬送装置１０３が処理装置１０６からワークＷを受け取る。その後、搬送装置１０３を格納装置１０２の位置へ移動させ、搬送装置１０３から格納装置１０２にワークＷを移載する。以上により一単位の処理が終了する。

　本実施形態では、測定装置１０５でワークＷの規定位置からの位置ずれ量を測定することで、処理装置１０６でのワークＷの位置決めに要する時間を短縮できる。

　本実施形態では、複数の処理装置１０６が、同じ処理を行う場合を想定したが、異なる処理を行ってもよい。その場合、ワークＷは、各処理装置１０６に順番に搬送され、所定の処理が行われることになる。この場合も、測定装置１０５で各ワークＷの規定位置からの位置ずれ量がそれぞれ測定されているので、各処理装置１０６では各ワークＷの位置決めに要する時間を短縮できる。

　なお、本実施形態では、処理装置１０６を複数設けたが１つでもよい。また、処理装置１０６を３つとしたが４つ以上であってもよいし、２つであってもよい。

　＜位置決め装置＞
　次に、図２を参照して位置決め装置１について説明する。図２は位置決め装置１の斜視図である。位置決め装置１は、載置部１１と、ベース部材１２と、調整機構１３Ａ乃至１３Ｃ（以下、総称するときは調整機構１３という。）と、押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃ（以下、総称するときは押圧機構１４という。）と、を主要な構成として備える。なお、上述した通り、測定装置１０５用の位置決め装置１は検出ユニット１５を備えるが、処理装置１０６用の位置決め装置は検出ユニット１５を備えない。

　＜ベース部材＞
　ベース部材１２は、本実施形態の場合、板状をなしている。位置決め装置１の各構成（載置部１１、調整機構１３、押圧機構１４、及び検出ユニット１５）は、ベース部材１２に支持される。共通のベース部材１２で各構成を支持することで、ベース部材１２に対して各構成の位置合わせをしてユニット化しておけば、位置決め装置１の設置時には、設置個所に対するベース部材１２の位置合わせをすることで、各構成の位置合わせが完了する。本実施形態では、ベース部材１２が板状体である場合を例に挙げたが、ベース部材１２の構成はこれに限られない。例えば、ベース部材１２が、位置決め装置１の主要な構成を取り囲む枠体、壁体、又は殻体などであってもよい。

　＜載置部、保持ユニット及び摩擦低減機構＞
　載置部１１は、その上面に載置面１１１を備える。載置面１１１は水平面をなしており、ワークＷは載置面１１１に水平姿勢で載置される。処理装置１０６では、載置面１１１上でワークＷの位置決めを行った後、所定の処理の間、位置決め状態を維持する必要がある。そこで、位置決め装置１は載置面１１１上でワークＷを保持解除可能に保持する保持ユニットを備える。図２及び図３を参照して保持ユニットについて説明する。図３は保持ユニット１６１の説明図である。なお、測定装置１０５用の位置決め装置１では、ワークＷの保持は必須ではない。

　本実施形態の場合、ワークＷの保持は真空吸着を利用している。保持ユニット１６１は、ポンプ１６１ａと制御弁１６１ｂとを備える。載置面１１１には複数の空気孔１１２が開口している。各空気孔１１２は制御弁１６１ｂを介してポンプ１６１ａと連通している。載置部１１にワークＷを保持する場合、ポンプ１６１ａによって各空気孔１１２から空気を吸引し、載置部１１にワークＷを吸着保持する。ワークＷの保持解除を行う場合は、ポンプ１６１ａによる空気の吸引を停止し、載置部１１によるワークＷの吸着保持を解除する。

　こうしてワークＷを載置面１１１上で保持し、また、載置面１１１へのワークＷの保持を解除することができる。なお、本実施形態では、真空吸着を利用してワークＷの保持を行ったが、他の方式でワークＷの保持を行ってもよい。例えば、ワークＷが金属である場合、磁力によってワークＷを保持する構成でもよい。また、クランプ装置のようにワークＷを機械的に載置部１１に保持してもよい。

　ここで、ワークＷを位置決めする際には、載置面１１１上でワークＷが移動することになる。ワークＷが載置面１１１上で円滑に移動するよう、載置面１１１とワークＷとの摩擦は低いことが好ましい。そこで、本実施形態では、載置面１１１とワークＷとの摩擦を低減する摩擦低減機構１６２を設けている。

　摩擦低減機構１６２は、ポンプ１６２ａと制御弁１６２ｂとを備える。ポンプ１６２ａも、制御弁１６２ｂを介して各空気孔１１２と連通している。摩擦を低減する場合には、ポンプ１６２ａによって、各空気孔１１２から空気を排気（ブロー）する。各空気孔１１２から空気を排気することで、ワークＷを浮上させ、ワークＷと載置面１１１との間に空間を生じさせることができる。この結果、載置面１１１とワークＷとの摩擦を低下することができる。各空気孔１１２に対する保持ユニット１６１と摩擦低減機構１６２との接続切替は、制御弁１６１ｂおよび１６２ｂの開閉を切り替えることで行うことができる。

　なお、摩擦低減機構としては、別の方式も採用可能である。図１４は摩擦低減機構の別例の説明図である。同図の摩擦低減機構１６２’は、ノズル１６２ｃによって載置面１１１とワークＷとの間にその側方から空気を噴出している例である。図３の例のようにワークＷの下方から空気を噴出する以外に、図１４の例のように、ワークＷの側方から空気を噴出する構成も採用可能である。

　図２に戻り、載置部１１は脚部１１３を備える。つまり、載置部１１は脚部１３５を介してベース部材１２に支持されている。

　＜調整機構＞
　図１及び図２を参照して調整機構１３について説明する。本実施形態では、調整機構１３が、３つの調整機構１３Ａ乃至１３Ｃから構成されているが、４つ以上であってもよい。

　各調整機構１３Ａ乃至１３Ｃは同じ構成であり、それぞれがワークＷの位置を規定する規定部１３１を備える。調整機構１３全体でみると、複数（３つ）の規定部１３１を備えていることになる。各調整機構１３Ａ乃至１３Ｃは、載置部１１の周囲に配置され、各規定部１３１は、載置部１１の端部に接近または離間可能に構成される。

　本実施形態の場合、各規定部１３１はＺ方向に延設された円柱状をなしており、その周面にワークＷの辺（端縁）が当接することでワークＷの位置を規定する。なお、規定部１３１の形状は円柱状に限られない。

　ここで、ワークＷの４辺を図１に示すように辺Ｅ１乃至辺Ｅ４として表す。辺Ｅ１と辺Ｅ４、及び、辺Ｅ２と辺Ｅ３とは互いに対向している。辺Ｅ１と、辺Ｅ２及び辺Ｅ３とは非対向である。同様に辺Ｅ４と、辺Ｅ２及び辺Ｅ３とは非対向である。

　調整機構１３Ａの規定部１３１は辺Ｅ１に当接する。調整機構１３Ｂの規定部１３１及び調整機構１３Ｃの規定部１３１は辺Ｅ２に当接する。これら３つの規定部１３１によって、ワークＷの載置面１１１上におけるＸ－Ｙ平面上の位置と、Ｚ軸周りの向き（傾き）とを規定することができる。

　各調整機構１３Ａ乃至１３Ｃは、それぞれ、規定部材１３２と、駆動ユニット１３３と、支持部材１３４と、脚部１３５と、を備える。

　規定部材１３２は、全体として円盤（円柱）状をなし、その上面に規定部１３１を有している。規定部材１３２は駆動ユニット１３３によって、仮想の垂直軸ｚａ、ｚｂ又はｚｃ（以下、総称するときは垂直軸ｚという。）周りに回動される。具体的には、調整機構１３Ａでは規定部材１３２は垂直軸ｚａ周りに回動され、調整機構１３Ｂでは規定部材１３２は垂直軸ｚｂ周りに回動され、調整機構１３Ｃでは規定部材１３２は垂直軸ｚｃ周りに回動される。

　規定部材１３２の上面は、Ｚ方向において載置面１１１より下方に位置する。規定部１３１は、規定部材１３２の上面から、Ｚ方向に載置面１１１よりも高い位置まで突出している。このため、載置面１１１上のワークＷが規定部１３１に当接することが可能になる。

　規定部１３１は垂直軸ｚから離間した位置において規定部材１３２に固定されている。つまり、規定部１３１は、規定部材１３２の回動中心から偏心した位置に設けられている。このため、規定部材１３２が垂直軸ｚ周りに回動することにより、規定部１３１はＸ方向及びＹ方向に変位しつつ回動する。このように規定部１３１を回動させることで、ワークＷと規定部１３１との当接位置を調整することができる。

　なお、規定部材１３２は、本実施例においては、全体として円盤（円柱）状の部材としているが規定部１３１（の中心軸）がそれぞれの垂直軸ｚに対して水平方向にずれた位置（偏心位置）に配置させることが可能であれば、他の形状（例えば、長円、楕円、矩形など）でもよい。

　駆動ユニット１３３は、本実施形態の場合、サーボモータであり、その出力軸（駆動軸）に規定部材１３２が固定されている。つまり、駆動ユニット１３３の出力軸が垂直軸ｚを構成している。本実施形態では、サーボモータの出力軸に規定部材１３２を直接固定する直結構造としている。しかし、サーボモータ等の駆動源に加えて減速機を設けると共に減速機の出力軸に規定部材１３２を固定する構成でもよい。尤も、直結構造の方が機械的誤差を小さくすることが可能となり、規定部材１３２の回転量の精度を向上できる場合がある。

　駆動ユニット１３３は支持部材１３４に支持されている。また、駆動ユニット１３３には、センサ１３３ａが設けられている。センサ１３３ａは例えばロータリエンコーダであり、駆動ユニット１３３の出力軸の回転量を検出する。駆動ユニット１３３の出力軸の回転量は、規定部１３１の移動量（回動量）に関連する。本実施形態の場合、このセンサ１３３ａによって、後述するように規定部１３１の基準位置からの移動量を検出する。なお、規定部１３１の移動量を検出するセンサは他のセンサであってもよい。

　脚部１３５は支持部材１３４を支持すると共にベース部材１２に固定されている。つまり、各調整機構１３Ａ乃至１３Ｃは脚部１３５を介してベース部材１２に支持されている。

　＜押圧機構＞
　図１及び図２を参照して押圧機構１４について説明する。本実施形態では、押圧機構１４が、３つの押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃから構成されているが、個別の押圧機構は２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。なお、２つの場合の機構例については図１３を参照して後述する。

　各押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃは、同じ構成であって、各規定部１３１に対して、載置面１１１上のワークＷを押圧する。具体的には、押圧機構１４ＡはワークＷの辺Ｅ４に当接してワークＷを、調整機構１３Ａの規定部１３１に対して押圧する。押圧機構１４Ｂ及び１４Ｃは、それぞれ、ワークＷの辺Ｅ３に当接してワークＷを、調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの規定部１３１、１３１に対して押圧する。押圧機構１４でワークＷを各規定部１３１へ押圧することによって、各規定部１３１の位置にしたがってワークＷの位置決めを行うことができる。

　各押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃは、それぞれ、ワークＷに当接する当接部１４１を備える。本実施形態の場合、当接部１４１はＺ方向の軸周りに回転自在に支持されたローラである。各押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃは、それぞれ、当接部１４１をワークＷに対して進退させる駆動機構として、支持部材１４２、駆動ユニット１４３を備える。なお、押圧機構１４Ａの当接部１４１の進退方向はＸ方向であり、押圧機構１４Ｂ及びＣの各当接部１４１の進退方向はＹ方向である。

　当接部１４１は、その下面の位置が載置面１１１よりも僅かに高い。このため、当接部１４１は載置面１１１上のワークＷとは当接する一方、載置部１１とは干渉せずに、載置面１１１の外方から上方に渡って進退可能となっている。

　支持部材１４２は当接部１４１を、そのＺ方向下側に回転自在に支持する。駆動ユニット１４３は支持部材１４３と共に当接部１４１を進退させる付勢力を発生する。駆動ユニット１４３は、例えば、モータや電動シリンダ等の駆動源を含む。駆動ユニット１４３は、また、駆動源からの駆動力を支持部材１４２の移動付勢力に変換する動力伝達機構を含んでもよい。支持部材１４２と駆動ユニット１４３との間には、コイルバネ等の弾性部材を介在させることが好ましい。これにより弾性部材の弾性変形の範囲内で当接部１４１及び支持部材１４２の自由移動が可能となり、当接部１４１がワークＷに当接する際に、その衝撃を緩和できる他、ワークＷの姿勢や位置の変化に対する当接部１４１の追従性を向上できる。

　各押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃは、それぞれ、脚部１４４を備える。脚部１４４は、駆動ユニット１４３を支持すると共にベース部材１２に固定されている。つまり、各押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃは脚部１３５を介してベース部材１２に支持されている。

　次に、図１３を参照して押圧機構１４を２つとした場合の構成例について説明する。本構成例では、押圧機構１４Ａについての変更はないが、図１や図２に示した押圧機構１４Ｂと１４Ｃを１つにまとめた押圧機構１４Ｄで構成した場合を想定している。押圧機構１４Ｄは、簡単にいうと、押圧機構１４Ｂと１４Ｃについて、１つの駆動ユニット１４３を共用したものである。

　押圧機構１４Ｄは、ローラである当接部１４１ｂ、１４１ｃと、これらをそれぞれ回転自在に支持する支持部材１４２ｂ、１４２ｃと、を備える。当接部１４１ｂと支持部材１４２ｂとは、押圧機構１４Ｂの当接部１４１、支持部材１４２に相当する。また、当接部１４１ｃと支持部材１４２ｃとは、押圧機構１４Ｃの当接部１４１、支持部材１４２に相当する。

　支持部材１４２ｂ及び１４２ｃは、Ｘ方向に延びる支持部材１４５の両端部にそれぞれ固定されている。支持部材１４５は、その中央部において軸１４６を介して支持部材１４７に連結されており、軸１４６周りに回動自在となっている。駆動ユニット１４３は支持部材１４７をＹ方向に進退させる付勢力を発生する。

　係る構成からなる押圧機構１４Ｄでは、駆動ユニット１４３の付勢による支持部材１４７の進退動作によって、当接部１４１ｂ、１４１ｃをＹ方向に進退移動させることができる。当接部１４１ｂと当接部１４１ｃとを全く独立して進退移動させることはできないが、支持部材１４５が軸１４６周りに回動自在となっているため、当接部１４１ｂと当接部１４１ｃとのＹ方向の位置を互いにずらすことができる。このため、ワークＷが傾いた姿勢の場合であっても、辺Ｅ３に当接部１４１ｂと当接部１４１ｃとが共に当接して、押圧することが可能である。

　＜検出ユニット＞
　図２を参照して検出ユニット１５について説明する。検出ユニット１５は、ワークＷの位置決め用指標部を検出する。位置決め用指標部は、ワークＷの位置決めの基準となる指標である。本実施形態の場合、位置決め用指標部は、後述するようにワークＷの上面に記されたアライメントマークであるが、ワークＷの角部等、ワークＷの一部を利用するものであってもよい。

　検出ユニット１５は、本実施形態の場合、ワークＷの位置決め用指標部を撮影する撮像装置（カメラ）である。撮像装置はイメージセンサ等を含み、位置決め用指標部の画像データを出力する。検出ユニット１５は、載置面１１１の上方に配置されており、不図示の支持部材を介してベース部材１２に支持されている。検出ユニット１５は、載置面１１１上の予め定めた範囲をその上方から撮影する。

　本実施形態の場合、検出ユニット１５を撮像装置としたが、位置決め用指標部を検出し、その位置と向きを検出可能であれば、どのようなものであってもよい。

　＜制御ユニット＞
　位置決め装置１を制御する制御ユニットについて図４を参照して説明する。図４は制御ユニット１７のブロック図である。制御ユニット１７は、調整機構１３、押圧機構１４を含む位置決め装置１全体を制御する。制御ユニット１７は位置決め装置１毎に個別に設けられ、各位置決め装置１を独立して制御する。

　制御ユニット１７は、ＣＰＵ等の処理部１７１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部１７２と、外部デバイスと処理部１７１とをインターフェースするインターフェース部１７３と、を備える。

　処理部１７１は記憶部１７２に記憶されたプログラムを実行し、各種センサ１７５の検出結果やホストコンピュータ１０７からのコマンドに基づいて、各種アクチュエータ１７４や検出ユニット１５の制御を行う。なお、ホストコンピュータ１０７は処理システム１００全体を制御するホストコンピュータである。

　各種センサ１７５には、センサ１３３ａ等、位置決め装置１が備える各種のセンサが含まれる。各種アクチュエータ１７４には、モータ１３３、駆動ユニット１４３、ポンプ１６１ａ及び１６２ａ、制御弁１６２ｂ及び１６２ｂ等、位置決め装置１が備える各種のアクチュエータが含まれる。

　処理装置１０６用の位置決め装置１の場合、ワークＷに固有のＩＤと共に、測定装置１０５で測定した位置ずれ量に関する位置決め情報がホストコンピュータ１０７から処理装置１０６用の位置決め装置１に送信される。処理部１７１は受信したＩＤと位置決め情報とを対応づけて記憶部１７２に記憶する。そして、ワークＷの位置決めを行う場合に、そのＩＤに対応する位置決め情報を読み出してワークＷの位置決めを行うことになる。

　なお、本実施形態では、ホストコンピュータ１０７から位置決め情報を送信する構成としたが、各処理装置１０６が備える制御ユニットが、ワークＷの情報をホストコンピュータ１０７の記憶部にアクセスして読み取りを行ってもよい。また、ワークＷの固有のＩＤは、ワークＷに設けられた識別部材（例えば、バーコード）であってもよい。

　＜位置決め装置１の制御例＞
　位置決め装置１の制御例について図５乃至図１２を参照して説明する。図５乃至図１２は、位置決め装置１の動作説明図である。ここでは、準備制御、測定制御、及び、位置決め制御について説明する。

　各制御について概説すると、測定制御は、測定装置１０５において位置決め装置１でワークＷの位置ずれ量を測定するための制御である。この位置ずれ量の測定のためには、基準となるワークＷの規定位置を事前に定義しておく必要がある。準備制御は、基準ワークを用いて、規定位置を定義するための制御である。位置決め制御は、処理装置１０６において位置決め装置１でワークＷの位置決めを行うための制御である。以下、順次説明する。

　＜準備制御＞
　図５及び図６は準備制御における位置決め装置１の動作説明図である。準備制御は、測定装置１０５の位置決め装置１で行う。まず、各規定部１３１を基準位置に位置させる。図５の状態ＳＴ１は各規定部１３１が基準位置に位置している場合を示す。以下、基準位置について説明する。

　図５の状態ＳＴ１において、基準線Ｌｘは垂直軸ｚｂ及びｚｃを通過するＸ方向の仮想線である。基準線Ｌｙは垂直軸ｚａを通過するＹ方向の仮想線である。調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１の基準位置は、状態ＳＴ１に示すように規定部１３１の中心が基準線Ｌｘ上に位置する状態（原点位置）である。調整機構１３Ａの規定部１３１の基準位置は、状態ＳＴ１に示すように規定部１３１の中心が基準線Ｌｙ上に位置する状態（原点位置）である。それぞれの基準線Ｌｘおよび基準線Ｌｙは、直角に交わる。

　各規定部１３１を基準位置に位置させた後、図５の状態ＳＴ２に示すように、基準ワークＷ０を載置面１１１上に移載する。基準ワークＷ０は、準備制御にのみ用いるためのダミーのワークであってもよいが、実際のワークＷと同形状で、同じ位置決め用指標部ＳＹ０を有している。

　本実施形態の場合、位置決め用指標部ＳＹ０は基準ワークＷ０の中央部分に記された十字型のアライメントマークであり、二直線が互いに直交している。二直線の交点がＸ－Ｙ平面上での位置を規定し、各直線がＺ軸周りの向き（傾き）を規定する。

　位置決め用指標部ＳＹ０は、印刷するか、シールとして貼り付けることで基準ワークＷ０に設けることができる。位置決め用指標部ＳＹ０は、このようなアライメントマーク以外に、基準ワークＷ０の角部形状を利用してもよく、Ｘ－Ｙ平面上での位置とＺ軸周りの向きとを規定可能であればどのようなものでもよい。

　次に、図６の状態ＳＴ３に示すように押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃによって基準ワークＷ０を各規定部１３１へ押圧し、基準ワークＷ０の辺Ｅ１を調整機構１３Ａの規定部１３１に当接させ、基準ワークＷ０の辺Ｅ２を調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１に当接させる。このとき、空気孔１１２から空気を噴出して基準ワークＷ０と載置面１１１との摩擦を低減することが好ましい。

　本実施形態の場合、位置決め用指標部ＳＹＯの位置及び向きにより規定位置を定義する。具体的には、基準ワークＷ０の辺Ｅ１が基準位置に待機する調整機構１３Ａの規定部１３１に当接し、基準ワークＷ０の辺Ｅ２を基準位置に待機する調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１に当接したときの、位置決め用指標部ＳＹＯの位置及び向きを規定位置とする。規定位置をデータ化するため、検出ユニット１５によって、基準ワークＷ０を撮影する。基準撮影画像ＩＭ０には位置決め用指標部ＳＹ０が含まれる。この基準撮影画像ＩＭ０は記憶部１７２に保存される。以上により、準備制御を終了する。

　＜測定制御＞
　図７乃至図１１は測定制御における位置決め装置１の動作説明図である。測定制御は、測定装置１０５の位置決め装置１で行う。まず、各規定部１３１を基準位置に位置させた後、図７の状態ＳＴ１１に示すように、処理対象となる実際のワークＷを載置面１１１上に移載する。ワークＷは、位置決め指標部ＳＹ０と同様の位置決め用指標部ＳＹを有している。

　次に、図７の状態ＳＴ１２に示すように押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１へ押圧し、ワークＷの辺Ｅ１を基準位置に待機する調整機構１３Ａの規定部１３１に当接させ、基準ワークＷ０の辺Ｅ２を基準位置に待機する調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１に当接させる。つまり、準備制御における図６の状態ＳＴ３と同じ状態とする。なお、状態ＳＴ３の場合と同様、空気孔１１２から空気を噴出してワークＷと載置面１１１との摩擦を低減することが好ましく、以下において、ワークＷの移動を伴う場合は同様に摩擦低減することが好ましい。

　次に、図８の状態ＳＴ１３に示すように検出ユニット１５によって、ワークＷを撮影する。撮影画像ＩＭには位置決め用指標部ＳＹが含まれる。本実施形態では、検出ユニット１５の検出結果である撮影画像ＩＭおよび基準撮影画像ＩＭ０に基づき、ワークＷを規定位置に位置合わせする。そして、ワークＷを規定位置に位置させたときの各規定部１３１の基準位置からの移動量を、そのワークＷの位置決め情報とする。具体的には以下の通りである。

　まず、記憶部１７２から基準撮影画像ＩＭ０を読み出し、撮影画像ＩＭと対比する。そして、準備制御で撮影した位置決め用指標部ＳＹ０と、今回撮影した位置決め用指標部ＳＹとの位置ずれ量を演算する。この位置ずれ量がワークＷの位置ずれ量となる。

　続いて演算した位置ずれ量を解消するように各規定部１３１を移動する。ワークＷの位置ずれには、Ｘ方向及びＹ方向の位置ずれと、Ｚ軸周りの向き（傾き）のずれとに大別される。位置決め用指標部ＳＹ０と位置決め用指標部ＳＹとの対比から、これらの各ずれに基づく各規定部１３１の移動量を一度に演算することも可能であるが、ここでは、精度向上を目的として、順次演算する場合を例示する。その際、Ｘ方向及びＹ方向の位置ずれと、Ｚ軸周りの向きのずれとのうち、どちらを先に演算してもよいが、ここではＺ軸周りの向きのずれを先に演算して、位置ずれ量を解消する場合を説明する。

　まず、図８に示すように位置決め用指標部ＳＹ０と位置決め用指標部ＳＹとの対比から、Ｚ軸周りの向きのずれ量である角度ｄθを演算する。そして、角ｄ度θ分だけワークＷを回転させるために必要な各規定部１３１の移動量を演算する。そして、演算によって得られた移動量分だけ、各規定部１３１を移動させる。つまり、各規定部材１３２を回動する。そして、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１へ押圧する。このとき、一部の押圧機構１４はその当接部１４１が退避方向に移動する場合がある。

　図９の状態ＳＴ１４は、各規定部１３１を移動し、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１に対して押圧した状態を示す。この動作にともなって、ワークＷ全体が回動される。押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃのうち、押圧機構１４Ｂについては、その当接部１４１が退避方向に移動している。

　各当接部１４１は、各規定部１３１の移動が完了した後に移動してもよいが、各規定部１３１を移動させると共に各当接部１４１も移動させるようにしてよい。これにより、測定時間の短縮化を図れる。

　続いて、Ｘ方向及びＹ方向の位置ずれを解消する処理に移行する。位置決め用指標部ＳＹ０と位置決め用指標部ＳＹとの対比から、Ｘ方向及びＹ方向の各ずれに基づく各規定部１３１の移動量を一度に演算することも可能であるが、ここでは、精度向上を目的として、順次演算する場合を例示する。その際、Ｘ方向の位置ずれと、Ｙ方向の位置ずれとのうち、どちらを先に演算してもよいが、ここではＹ方向の位置ずれを先に演算して、解消する場合を説明する。

　まず、検出ユニット１５によって、ワークＷを再び撮影する。そして、記憶部１７２から基準撮影画像ＩＭ０を基準データとして再び読み出し、今回撮影した撮影画像ＩＭと対比する。図９に示すように位置決め用指標部ＳＹ０と位置決め用指標部ＳＹとの対比から、Ｙ方向のずれ量ｄｙを演算する。そして、ずれ量ｄｙだけワークＷを移動させるために必要な各規定部１３１の移動量を演算する。

　３つの規定部１３１のうち、ワークＷのＹ方向の移動に関与するのは、調整機構１３Ｂの規定部１３１と調整機構１３Ｃの規定部１３１である。これらを、Ｙ方向にｄｙだけ変位させると、ワークＷのＺ軸周りの向きのずれを解消した状態のまま、Ｙ方向のずれ量ｄｙを解消できることになる。調整機構１３Ａの規定部１３１はワークＷのＹ方向の移動に関与しないので移動させない。

　図１０の状態ＳＴ１５は、調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１を移動し、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１に対して押圧した状態を示す。この動作にともなって、ワークＷは回動することなく（傾きはそのままで）、Ｙ方向に移動される。押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃのうち、押圧機構１４Ｂ及び１４Ｃについては、その当接部１４１が退避方向に移動している。

　続いて、Ｘ方向の位置ずれを解消する処理に移行する。まず、検出ユニット１５によって、ワークＷを再び撮影する。そして、記憶部１７２から基準撮影画像ＩＭ０を再び読み出し、今回撮影した撮影画像ＩＭと対比する。図１０に示すように位置決め用指標部ＳＹ０と位置決め用指標部ＳＹとの対比から、Ｘ方向のずれ量ｄｘを演算する。そして、ずれ量ｄｘだけワークＷを移動させるために必要な各規定部１３１の移動量を演算する。

　３つの規定部１３１のうち、ワークＷのＸ方向の移動に関与するのは、調整機構１３Ａの規定部１３１である。これを、Ｘ方向にｄｘだけ変位させると、ワークＷのＺ軸周りの向きのずれとＹ方向のずれを解消した状態のまま、Ｘ方向のずれ量ｄｘを解消できることになる。調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの規定部１３１はワークＷのＸ方向の移動に関与しないので移動させない。

　図１１の状態ＳＴ１６は、調整機構１３Ａの規定部１３１を移動し、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１に対して押圧した状態を示す。この動作にともなって、ワークＷは回動することなく（傾きはそのままで）、Ｘ方向に移動される。押圧機構１４Ａ乃至１４Ｃのうち、押圧機構１４Ａの当接部１４１のみが進出方向に移動している。押圧機構１４Ｂ及び１４Ｃの各当接部１４１は退避方向に移動するか、停止している。

　このようにして、位置決め用指標部ＳＹに従ったワークＷの位置決めが完了する。この位置決めの際、本実施形態では大別すると２段階で位置ずれを解消する制御を行った。つまり、Ｚ軸周りの向きのずれ解消の第１制御と、Ｘ方向及びＹ方向の位置ずれ解消の第２制御と、である。

　第１制御では、３つの規定部１３１の少なくともいずれかを移動させる制御となる。上記の例では全ての規定部１３１を移動させたが１つのみを移動することでワークＷを回動させることも可能である。

　第２制御では、３つの規定部１３１のうち、調整機構１３Ａの規定部１３１と、調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１と、の少なくともいずれかを移動させる制御となる。すなわち、上記の通り、Ｘ方向の位置ずれを解消する場合は、調整機構１３Ａの規定部１３１を移動することになる。一方、Ｙ方向の位置ずれを解消する場合は調整機構１３Ｂ及び１３Ｃの各規定部１３１を移動することになる。

　こうした２段階の制御を行うことで、制御プログラムの簡素化と共に、より確実に位置決め用指標部ＳＹに準じた姿勢にワークＷを位置決めすることができる。

　次に、ワークＷの位置決めが完了すると、そのときの各規定部１３１の基準位置からの移動量を検出して、そのワークＷの測定結果とする。移動量はセンサ１３３ａの検出結果から特定する。例えば、各制御で移動させたそれぞれの移動量の合計値を演算（加減算）して特定する。図１１の状態ＳＴ１７はワークＷの位置決めが完了したときの各規定部１３１の基準位置からの移動量を示している。調整機構１３Ａの規定部１３１の移動量はθ１である。調整機構１３Ｂの規定部１３１の移動量はθ２である。調整機構１３Ｃの規定部１３１の移動量はθ３である。

　これらの移動量θ１、θ２及びθ３は、位置決め情報として、ワークＷに固有のＩＤと共にホストコンピュータ１０７に送信される。以上により測定制御を終了する。なお、ワークＷのＩＤは、例えば、ワークＷが測定装置１０５に搬送されたときホストコンピュータ１０７が測定装置１０５の位置決め装置１に送信することで特定することができる。ワークＷのＩＤと位置決め情報とを受信したホストコンピュータ１０７は、これらを対応づけて記憶することになる。

　＜位置決め制御＞
位置決め制御は、処理装置１０６の位置決め装置１で行う。位置決め制御では、測定制御で測定された位置決め情報に基づいて調整機構１３Ａ乃至１３Ｃを制御し、ワークＷの位置決めを行う。このため、位置決め情報を取得する必要がある。

　位置決め情報は、ホストコンピュータ１０７から取得する。ホストコンピュータ１０７はワークＷのＩＤと位置決め情報を位置決め装置１に送信し、位置決め装置１は受信したＩＤ及び位置決め情報を記憶部１７２に記憶する。

　ホストコンピュータ１０７がＩＤ及び位置決め情報を送信するタイミングとしては、例えば、ワークＷを処理装置１０６へ搬送するときが挙げられるが、搬送前に事前に送信するようにしてもよい。事前に送信しておく場合、ホストコンピュータ１０７はワークＷを処理装置１０６に搬送する際には、そのワークＷのＩＤのみを送信すればよい。

　図１２は位置決め制御における位置決め装置１の動作説明図である。位置決め制御では、まず、各規定部１３１を基準位置に位置させておく。その後、ワークＷが位置決め装置１に搬送される。図１２の状態ＳＴ２１はワークＷが搬送されてきた状態を示す。

　次に、位置決め動作を行う。まず、記憶部１７２からそのワークＷの位置決め情報を読み出す。そして、図１２の状態ＳＴ２１に示すように、位置決め情報に従って各規定部１３１を移動させる。また、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１へ押圧する。このとき、一部の押圧機構１４はその当接部１４１が退避方向に移動する場合がある。

　測定制御の場合と同様、各当接部１４１は、各規定部１３１の移動が完了した後に移動する。また、ワークＷの移動の際は、空気孔１１２から空気を噴出してワークＷと載置面１１１との摩擦を低減することが好ましい。

　既に説明したとおり、処理装置１０６の位置決め装置１は、測定装置１０５の位置決め装置１と同じ構成である。したがって、位置決め情報に従って各規定部１３１を移動させることで、測定制御における位置決め完了時と同じ位置に各規定部１３１が位置することになる。そして、押圧機構１４Ａ乃至１４ＣによってワークＷを各規定部１３１へ押圧することで、処理装置１０６での載置面１１１上におけるワークＷの位置決めが完了する。

　位置決めが完了すると、保持ユニット１６によりワークＷを載置面１１１上に保持する。各規定部１３１を基準位置へ移動し、また、各当接部１４１を退避させた後、ワークＷに対する処理を開始することができる。

　このように本実施形態では、測定装置１０５においてワークＷに対する測定制御を１回行えば、その後の各処理装置１０６における位置決めにおいては、測定結果を利用することで、短時間でワークＷの位置決めを行える。

　また、位置決め装置１は、各規定部１３１の位置を変更することができるので、ワークＷの多様な位置決めを可能とする。各規定部１３１の位置変更は、規定部材１３２の回動により行うので、直線的に往復移動する構成と比較して装置の小型化を図ることができる。特に、位置決め装置１に不図示の移動機構を構成して一方向に移動させる際は、最小限の動作範囲を確保することで所定の処理を行うことも可能となる。

　本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。

Claims (15)

1. 　矩形ワークの位置決めを行う位置決め装置であって、
   　前記矩形ワークが水平姿勢で載置される載置部と、
   　前記矩形ワークの位置を規定する複数の規定部を備えた調整機構と、
   　各々の前記規定部に対して、前記載置部上の前記矩形ワークを押圧する押圧機構と、を備え、
   　前記複数の規定部は、
   　前記矩形ワークの４辺のうちの第１辺が当接する第１規定部と、
   　前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第１辺と非対向の第２辺が当接する第２及び第３規定部と、を含み、
   　前記押圧機構は、
   　前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第１辺に対向する第３辺に当接して前記矩形ワークを前記第１規定部に対して押圧する第１押圧機構と、
   　前記矩形ワークの４辺のうちの、前記第２辺に対向する第４辺に当接して前記矩形ワークを前記第２及び第３規定部に対して押圧する第２押圧機構と、を含み、
   　前記調整機構は、
   　前記第１規定部を第１垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第１調整機構と、
   　前記第２規定部を第２垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第２調整機構と、
   　前記第３規定部を第３垂直軸周りに回動させ、前記矩形ワークとの当接位置を調整する第３調整機構と、
   を含む位置決め装置。
2. 　前記第１乃至第３調整機構は、それぞれ、
   　前記規定部を有する規定部材と、
   　前記規定部材に固定された駆動軸を前記垂直軸として備え、前記規定部材を回動する駆動ユニットと、を備え、
   　前記駆動軸は、前記規定部から離間した位置において前記規定部材に固定された請求項１に記載の位置決め装置。
3. 　前記第１乃至第３規定部のそれぞれの、基準位置からの移動量を検出するセンサを更に備える請求項１に記載の位置決め装置。
4. 　前記第１乃至第３調整機構を制御する制御ユニットを更に備え、
   　前記制御ユニットは、
   　前記第１乃至第３規定部のそれぞれの、基準位置からの移動量を示す情報に基づいて前記第１乃至第３調整機構を制御する請求項１に記載の位置決め装置。
5. 　前記矩形ワークの位置決め用指標部を検出する検出ユニットと、
   　前記検出ユニットの検出結果に基づいて、前記第１乃至第３調整機構を制御する制御ユニットと、を更に備える請求項１に記載の位置決め装置。
6. 　前記制御ユニットは、
   　前記第１乃至第３規定部の少なくともいずれかを移動させる第１制御と、
   　前記第１規定部と、前記第２及び第３規定部と、の少なくともいずれかを移動させる第２制御と、を備える請求項５に記載の位置決め装置。
7. 　前記第１及び第２押圧機構は、それぞれ、
   　前記矩形ワークに当接する当接部と、
   　前記矩形ワークに対して前記当接部を進退させる駆動機構と、を備える、
   請求項１に記載の位置決め装置。
8. 　前記制御ユニットは、
   　前記検出ユニットの検出結果に基づいて、前記矩形ワークが所定の位置に位置決めされるように前記第１乃至第３調整機構を制御し、かつ、
   　前記矩形ワークの位置決めが完了したときの、前記第１乃至第３規定部の基準位置からの移動量を記憶する記憶部を備えた請求項５に記載の位置決め装置。
9. 　前記矩形ワークを、前記載置部上で保持解除可能に保持する保持ユニットを更に備えた請求項１に記載の位置決め装置。
10. 　請求項１に記載の位置決め装置と、
    　前記矩形ワークに所定の処理を行う処理ユニットと、
    　前記位置決め装置と前記処理ユニットとの少なくともいずれか一方を移動する移動ユニットと、を備える処理装置。
11. 　前記位置決め装置は、
    　前記矩形ワークを、前記載置部上で保持解除可能に保持する保持ユニットと、
    　前記載置部と前記矩形ワークとの摩擦を低減する摩擦低減機構と、
    　前記載置部と前記調整機構と前記押圧機構とを支持するベース部材と、
    を更に備えた請求項１０に記載の処理装置。
12. 　測定装置と、少なくとも1つの処理装置と、を備えた処理システムであって、
    　前記測定装置は、
    　請求項１に記載の位置決め装置を備え、
    　前記処理装置は、
    　請求項１に記載の位置決め装置と、
    　前記矩形ワークに所定の処理を行う処理ユニットと、
    　前記位置決め装置と前記処理ユニットとの少なくともいずれか一方を移動する移動ユニットと、
    を備える処理システム。
13. 　請求項５に記載の位置決め装置である第１位置決め装置において、前記検出ユニットの検出結果に基づいて、前記矩形ワークが所定の位置に位置決めされるように前記第１乃至第３調整機構を制御する第１制御工程と、
    　前記第１制御工程により、前記矩形ワークの位置決めが完了したときの、前記第１乃至第３規定部の基準位置からの移動量を示す情報を取得する取得工程と、
    を含む位置決め方法。
14. 　前記取得工程で取得された前記情報に基づいて、請求項４に記載の位置決め装置である第２位置決め装置を制御する第２制御工程を更に含む請求項１３に記載の位置決め方法。
15. 　請求項５に記載の位置決め装置である第１位置決め装置を備えた測定装置と、
    　請求項４に記載の位置決め装置である第２位置決め装置を備えた少なくとも1つの処理装置と、を備えた処理システムの制御方法であって、
    　前記測定装置に前記矩形ワークを搬送する工程と、
    　前記第１位置決め装置において、前記検出ユニットの検出結果に基づいて、前記測定装置に搬送された前記矩形ワークが所定の位置に位置決めされるように前記第１乃至第３調整機構を制御する第１制御工程と、
    　前記第１制御工程により、前記矩形ワークの位置決めが完了したときの、前記第１乃至第３規定部の基準位置からの移動量を示す情報を取得する取得工程と、
    　前記矩形ワークを前記測定装置から前記処理装置へ搬送する工程と、
    　前記取得工程で取得された前記情報に基づいて、前記処理装置に搬送された前記矩形ワークの位置決めを行うよう、前記第２位置決め装置を制御する第２制御工程と、
    を含む位置決め方法。

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