WO2013110315A1

WO2013110315A1 - Verfahren und vorrichtung zum permanenten bonden von wafern sowie spanwerkzeug

Info

Publication number: WO2013110315A1
Application number: PCT/EP2012/050974
Authority: WO
Inventors: Klaus MARTINSCHITZ; Markus Wimplinger; Bernhard REBHAN
Original assignee: Ev Group E. Thallner Gmbh
Priority date: 2012-01-23
Filing date: 2012-01-23
Publication date: 2013-08-01
Also published as: EP2646193A1; CN103328147A; KR101447390B1; EP2646193B1; US20140196842A1; JP2014511278A; CN103328147B; US9067363B2; TW201334027A; TWI517204B; SG186759A1; JP5769825B2; KR20130103707A

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden einer ersten Bondoberfläche (1o) eines ersten, aus einem ersten Material bestehenden Festkörpersubstrats (1) mit einer zweiten Bondoberfläche (2o) eines zweiten, aus einem zweiten Material bestehenden Festkörpersubstrats (2) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: - Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen (1o, 2o) mit einem Spanwerkzeug (5) bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit V_k und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k und bis zu einer Oberflächenrauigkeit 0 kleiner als Ι μm, - Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats (1) mit dem zweiten Festkörpersubstrat (2) an den Bondoberflächen (1o, 2o) und - Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten Festkörpersubstrate (1, 2) zur Ausbildung eines zumindest überwiegend durch Rekristallisation bewirkten permanenten Bonds an den Bondoberflächen (1o, 2o) jeweils bis in eine Rekristallisationstiefe R größer als die Oberflächenrauigkeit O der Bondoberflächen (1o, 2o) mit einer Bondtemperatur T_B oberhalb der Rekristallisationstemperatur. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine korrespondierende Vorrichtung sowie ein Spanwerkzeug zur Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit V_k und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k und bis zu einer Oberflächenrauigkeit O kleiner als 1 μm.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum permanenten Bonden von Wafern sowie

Spanwerkzeug

B e s c h r e i b u n g

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden einer ersten Bondoberfläche eines ersten, aus einem ersten Material bestehenden

Festkörpersubstrats mit einer zweiten Bondoberfläche eines zweiten, aus einem zweiten Material bestehenden Festkörpersubstrats gemäß

Patentanspruch 1 sowie einer korrespondierenden Vorrichtung gemäß Patentanspruch 7 und ein Spanwerkzeug gemäß Patentanspruch 9.

Ziel beim permanenten oder irreversiblen Bonden von Festkörpersubstraten ist es, zwischen den beiden Kontaktflächen der Festkörpersubstrate eine möglichst starke und insbesondere unwiderrufliche Verbindung, also eine hohe Bondkraft, zu erzeugen. Hierfür existieren im Stand der Technik verschiedene Ansätze und Herstellungsverfahren, insbesondere das

Verschweißen der bzw. das Herstellen eines Diffusionsbonds zwischen den Oberflächen bei höheren Temperaturen .

Permanent verbondet werden alle Arten von Materialien, vorwiegend allerdings Metalle und/oder Keramiken. Eines der wichtigsten Systeme des Permanentbondens sind Metall-Metall Systeme. Vor allem in den letzten Jahren traten die Cu-Cu Systeme vermehrt in Erscheinung. Die Entwicklung von 3D Strukturen verlangt nämlich meistens die Verbindung

unterschiedlicher funktionaler Schichten. Diese Verbindung wird immer häufiger über sogenannte TSVs (Through Silicon Vias) realisiert. Die

Kontaktierung dieser TSVs zueinander erfolgt sehr oft durch

Kupferkontaktstellen. Zum Zeitpunkt des Bondens liegen sehr oft bereits vollwertige, funktionstüchtige Strukturen, beispielsweise Mikrochips, an einer oder mehreren Oberflächen der Festkörpersubstrate vor. Da in den Mikrochips unterschiedliche Materialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten verwendet werden, ist eine Erhöhung der

Temperatur beim Bonden unerwünscht. Diese kann zu thermischen

Dehnungen und damit zu Thermospannungen führen, die Teile des

Mikrochips oder seiner Umgebung zerstören können.

Die bekannten Herstellungsverfahren und bisher verfolgten Ansätze führen häufig zu nicht oder schlecht reproduzierbaren und insbesondere kaum auf veränderte Bedingungen übertragbaren Ergebnissen. Insbesondere benutzen derzeit eingesetzte Herstellungsverfahren häufig hohe Temperaturen, insbesondere >400°C, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten.

Technische Probleme wie hoher Energieverbrauch und eine mögliche

Zerstörung von auf den Festkörpersubstraten vorhandenen Strukturen resultieren aus den bisher für eine hohe Bondkraft erforderlichen hohen Temperaturen von teilweise weit über 300°C .

Weitere Anforderungen bestehen in:

- der Front-end-of-line-Kompatibilität.

Darunter versteht man die Kompatibilität des Prozesses während der Herstellung der elektrisch aktiven Bauteile. Der Bondingprozess muss also so ausgelegt werden, dass aktive Bauelemente wie Transistoren, die bereits auf den Strukturwafern vorhanden sind, während der Prozessierung weder beeinträchtigt noch geschädigt werden . Zu den Kompatibi litätskriterien zählen vor allem die Reinheit an gewissen chemischen Elementen (vor allem bei CMOS Strukturen), mechanische Belastbarkeit, vor allem durch Thermospannungen.

- niedrige Kontamination.

- keine, oder möglichst niedrige, Krafteinbringung.

- möglichst niedrige Temperatur, insbesondere bei Materialien mit

unterschiedlichem Wärmeausdehnungskoeffizienten.

Vor diesem Hintergrund besteht seit langem ein Bedarf, eine direkte, permanente Verbindung zweier Metalloberflächen bei möglichst niedrigen Temperaturen und Drücken bzw Kräften herzustellen. Unter einer direkten, permanenten Verbindung versteht der Fachmann, mit Vorzug, das Erzeugen eines vollständig neuen Gefüges über die Grenzfläche zweier sich

kontaktierender Metalloberflächen hinweg.

Die Gefügeneubildung erfolgt dabei mit Vorzug durch Rekristallisation. Unter Rekristallisation versteht man eine Gefügeneubildung durch

Kornwachstum. Voraussetzung für ein solches Kornwachstum sind hohe Verformungsgrade, welche die Versetzungsdichte eines Materials erhöhen, und das Material damit in einen energetisch metastabilen Zustand bringen, was bei Überschreiten einer kritischen Temperatur zur Kornneubildung führt In der Schwerindustrie werden zum Erreichen hoher Versetzungsgrade vorwiegend Massivumformungsprozesse wie Walzen, Schmieden, Tiefziehen Tordieren, Scheren etc. verwendet.

Solche Massivumformungsprozesse, mit welchen die oben erwähnte metastabile, versetzungsreiche Mikrostruktur bei geringer Temperatur hergestellt werden kann, sind in der Halbleiterindustrie auf Grund der sehr dünnen Substrate mit extrem feinen Strukturen und der dünnen,

zerbrechlichen Wafer nicht einsetzbar. Weder die Strukturen, noch die Wafe können oder dürfen einer Massivumformung ausgesetzt werden, da sie sonst zerstört werden. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung beziehungsweise ein Spanwerkzeug anzugeben, mit dem das Bonden von zwei Festkörpersubstraten für die Substrate und etwaige

Strukturen auf den Substraten schonender und effektiver ausführbar ist.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche 1 , 7 und 9 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den

Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart gelten und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein.

Die Grundidee der vorliegenden Erfindung ist es, mindestens eine der beiden Bondoberflächen , vorzugsweise beide Bondoberflächen, vor Kontaktierung derart zu planarisieren, dass die Oberflächenrauigkcit O der

Bondoberfläche(n) minimiert wird, um die Grundoberflächen durch

Rekristallisation nach Kontaktierung optimal miteinander zu verschweißen beziehungsweise zu bonden. Dabei ist es insbesondere vorgesehen, auf chemisch-mechanische Polierprozesse (CMP) zu verzichten. Des Weiteren wird erfindungsgemäß eine metastabile Mikrostruktur an der Bondoberfläche erzeugt, um eine hohe Versetzungsdichte und/oder eine amorphe S chicht an der Bondoberfläche zu erhalten. Durch die hohe Versetzungsdichte und/oder die amorphe Schicht wird der Rekristallisationsprozess begünstigt und/oder beschleunigt. Insbesondere wird dabei eine glatte Oberfläche vorgesehen (Reduzierung der Oberflächenrauigkeit).

Weiterhin sind für ein verbessertes Bonden der beiden Oberflächen amorphe Bereiche in Oberflächennähe vorgesehen. Die Herstellung amorpher

Materialien erfolgt in der Industrie hauptsächlich durch das Aufdampfen eines Materials auf gekühlte Substrate, durch Beschuss von Ionen oder Bestrahlung, durch extrem starke mechanische Verformung etc. Die hier offenbarte Erfindung offenbart eine Möglichkeit, bereits existierende oberflächennahe Bereiche mit hohen Versetzungsdichten und/oder amorphen Bereichen zu erzeugen.

Bevorzugt erfolg die Planarisierung und die Erzeugung der metastabilen Struktur durch ein spanendes Verfahren.

Als erfindungsgemäße Festkörpersubstrate sind Festkörpersubstrate aus folgenden Materialien geeignet:

- Cu-Fe, Cu-Ge, Cu-In, Cu-Li, Cu-Mg, Cu-Mn, Cu-Nb, Cu-Nd, Cu-Ni, Cu-Si, Cu-Sn, Cu-Zn, Cu-Zr, Cu-Ti, Cu-W, Cu-Ti, Cu-Ta, Cu-Au, Cu-Al, Cu-Cu

- W-Fe, W-Ge, W-ln, W-Li, W-Mg, W-Mn, W-Nb, W-Nd, W-Ni,

W-Si, W-Sn, W-Zn, W-Zr, W-Ti, W-Ti, W-Ta, W-Au, W-Al

- Ti-Fe, Ti-Ge, Ti-In, Ti-Li, Ti-Mg, Ti-Mn, Ti-Nb, Ti-Nd,

Ti-Ni, Ti-Si, Ti-Sn, Ti-Zn, Ti-Zr, Ti-Ta, Ti-Au, Ti-Al

- Ta-Fe, Ta-Ge, Ta-In, Ta-Li, Ta-Mg, Ta-Mn, Ta-Nb, Ta-Nd, Ta-Ni, Ta-Si, Ta-Sn, Ta-Zn, Ta-Zr, Ta-Ti, Ta-W, Ta-Ti, Ta-Ta, Ta-Au, Ta- Al

- Au-Fe, Au-Ge, Au-In, Au-Li, Au-Mg, Au-Mn, Au-Nb, Au-Nd, Au- Ni, Au-Si, Au-Sn, Au-Zn, Au-Zr, Au-Ti, Au-W, Au-Ti, Au- Au, Au- Au, Au-Al

- Al-Fe, Al-Ge, Al-ln, Al-Li, Al-Mg, Al-Mn, Al-Nb, Al-Nd. Al-Ni, Al-Si, Al-Sn, Al-Zn, Al-Zr, Al-Ti, Al-W, Al-Ti, Al-Al, Al-Al, Al-Al

Als Festkörpersubstrate sind außerdem folgende Mischformen von

Halbleitern denkbar:

- Ill-V: GaP, GaAs, InP, InSb, InAs, GaSb, GaN, A1N, InN, Al_xGa,.

xAs, In_xGai_-xN - IV-IV: SiC, SiGe,

- III- VI: InAlP.

- nichtlineare Optik: LiNb0₃, LiTa0₃, KDP (KH₂P0₄)

- Solarzellen: CdS , CdSe, CdTe, CuInSe₂, CuInGaSe₂, CuInS₂,

CuInGaS₂

- Leitende Oxide: In_2-xSnx0_{3 -y}

Um die Anwendung der erfindungsgemäßen Idee auf Strukturen im Mikro- und/oder Nanokosmos zu erläutern, sollen zuerst allgemeine physikalische, chemische und werkstoffwissenschaftliche Erkenntnisse erläutert werden. Wenn im weiteren Verlauf von Werkzeug gesprochen wird, so ist damit im Allgemeinen j edes Werkzeug gemeint, welches in der Lage ist, bei einer gewissen Temperatur T mit einer Geschwindigkeit v auf ein Werkstück aufzutreffen. Es handelt sich daher um eine schlagende Beanspruchung des Werkstücks . Bei dem Werkzeug handelt es sich vorzugsweise um ein

genormtes Werkzeug, beispielsweise eine Kerbschlagprüfmaschine nach Charpy (D IN EN 1 0045 - 1 ) . Bei dem Werkstück handelt es sich bevorzugt um eine Normprobe. Die Figur 3 a und Figur 3b zeigen schematisch den Einfluss der Werkzeuggeschwindigkeit (Figur 3a) und der Temperatur (Figur 3b) auf die Trennbruchfestigkeit (T_f) und die Gleitbruchfestigkeit (Gf) bei

Bulkmetallen. Bei den Diagrammen handelt es sich um schematische

Darstellungen dieser beiden physikalischen Eigenschaften. Da die

Zahlenwerte für unterschiedliche Materialien verschieden sind, werden keine absoluten Zahlenwerte angegeben. In Figur 3 a ist die Abhängigkeit der Gleitbruch- und Trennfestigkeit des Materials als Funktion der

Werkzeuggeschwindigkeit dargestellt.

Die Trennbruchfestigkeit T_f ist der Widerstand, den der Werkstoff einer Kraft entgegensetzt, welche den Werkstoff ohne plastische Verformung, also ideal spröde, trennen möchte. Die Gleitfestigkeit G_f ist der Widerstand, den der Werkstoff einer Kraft, genauer einer Schubkraft, entgegensetzt, welche den Werkstoff plastisch verformen möchte. Die Mechanismen der plastischen Verformung sind dabei vor allem die mechanischen

Plastifizierungsmechanismen der Versetzungsbewegung- und

Versetzungserzeugung und die Bildung von kristallographischen Zwillingen. Die Unterscheidung in Trenn- und Gleitbruchfestigkeit kann nicht vollständig vom Werkstoff abhängig gemacht werden. So können durchaus auch duktile Materialien Sprödbruchverhalten zeigen, wenn sie eingelagerte

intermetallische Phasen besitzen oder ungünstige Spannungsverhältnisse aufgrund der Probengeometrie vorherrschen. Des Weiteren spielen die

Aufschlagsbedingungen von Werkzeugen und die Probentemperatur

entscheidende Rollen. Die Figuren 3a und 3b zeigen schematische Verläufe der Gleit- und Trennbruchfestigkeit als Funktion der Temperatur und der Werkzeuggeschwindigkeit für Metalle. In Figur 3a ist erkennbar, dass bei niedrigen Werkzeuggeschwindigkeiten unterhalb einer - jeweils für den Werkstoff (insbesondere unter Berücksichtigung der Dicke) empirisch ermittelten - kritischen Geschwindigkeit Vk die Gleitbruchfestigkeit Gr niedrigere Werte als die Trennbruchfestigkeit Tf besitzt. Demnach wi d das Material bei Werkzeuggeschwindigkeiten unterhalb der kritischen

Geschwindigkeit Vk eher durch Verformungsbruch (also Gleitbruch) brechen als durch Trennbruch. Oberhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk liegen die Werte der Trennbruchfestigkeit Tf unterhalb der Gleitbruchfestigkeit G_f.

Werkzeuge, die mit Geschwindigkeiten über der kritischen Geschwindigkeit Vk auf den Werkstoff auftreffen, werden diesen spröd, also durch Trennbruch, brechen lassen. Anhand der Figur 3a kann man erkennen, dass die

Gleitbruchfestigkeit G_f sehr stark von der Werkzeuggeschwindigkeit Vk abhängt, während sich die Trennbruchfestigkeit Tf kaum mit der

Werkzeuggeschwindigkeit ändert. Die Trennbruch- und

Gleitbruchfestigkeiten hängen zusätzlich von der Werkstofftemperatur ab (Figur 3b). Bei Temperaturen oberhalb der kritischen Temperatur Tk erfolgt das Werkstoffversagen vorwiegend durch Gleitbruch, wohin gegen unterhalb der kritischen Temperatur Tk der Werkstoff vorwiegend auf Grund von Sprödbruch (also Trennbruch) versagt. Erfindungsgemäß erfolgt somit ein „Einfrieren" der Versetzungen bei niedrigen Temperaturen. Die Versetzungsbewegung ist als materialphysikalischer Prozess explizit abhängig von der Temperatur. Je niedriger die Temperatur, desto geringer die Versetzungsmobilität und desto schwerer wird es, die Versetzungen der Festkörpersubstrate zu bewegen. Aus den Figuren 3 a und 3b kann man erkennen, dass ein Metall im Allgemeinen umso spröder bricht, j e höher die Werkzeuggeschwindigkeit und j e geringer die Temperatur ist. Um

unterschiedliche Materialien nach ihrem Bruchverhalten einzuteilen, wird die aus dem Experiment ermittelte Kerbschlagarbeit K, die benötigt wird um das Material zu brechen, als Funktion der Temperatur aufgetragen (Figur 3 c). Man erhält damit ein Kerbschlagarbeit-Temperaturdiagramm, welches, abhängig vom j eweiligen Werkstoff, einen expliziten Abfall der

Kerbschlagarbeit aufweist (2), oder dessen Kerbschlagarbeit sich über das Temperaturintervall nur leicht ändert ( 1 oder 3). Materialien mit dem

Kurvenverlauf ( 1 ) benötigen eine sehr hohe Kerbschl agarbeit über den gesamten Temperaturbereich und werden hauptsächlich durch

Verformungsbrüche gebrochen . Die höhere Kerbschlagarbeit kommt dadurch zustande, dass sehr viel Energie in die Erzeugung und Bewegung von

Versetzungen gesteckt wird. Materialien mit dem Kurvenverlauf (3 ) benötigen eine sehr geringe Kerbschlagarbeit über den gesamten

Temperaturbereich und werden hauptsächlich durch Trennbrüche gebrochen. Die niedrige Kerbschlagenergie kommt dadurch zustande, dass ein allfällig vorhandener oder gebildeter Riss nur jene Energie aufbringen muss, die nötig ist, um weiterzuwachsen, daher die Bindungsenergie zwischen den Atomen. Im Gegensatz zu den Verformungsbrüchen wird keine Energie für eine Versetzungsbildung und/oder Versetzungsbewegung verbraucht. Daher ist die Kerbschlagenergie geringer. Des Weiteren gibt es Materialien, deren

Kerbschlagenergie einen Kurvenverlauf (3) aufweist. Dieser Kurvenverlauf zeigt einen eindeutigen Übergang vom Verformungsbruch zum Trennbruch mit sinkender Temperatur. Bei Materialien mit dieser physikalischen

Eigenschaft kann demnach das Bruchverhalten explizit durch

Temperaturvariation beeinflusst werden. Es sei hierbei erwähnt, dass sich die Kerbschlagarbeit von Materialien wie AI, Cu, Ni oder austenitische Stähle (im Allgemeinen vorwiegend Materialien mit kubisch flächenzentriertem Kristallgitter) durch die Kurve ( 1 )

beschrieben wird. Das Bruchverhalten von kubisch raumzentrierten

Materialien wird vorwiegend durch Kurve (2) beschrieben. Hochfeste

Materialien, Glas und Keramik zeigen hauptsächlich das Verhalten nach Kurve (3 ). Dem Fachmann auf dem Gebiet sind all diese Eigenschaften aus der Physik der Werkstoffe, genauer aus der Gruppe der Bulkmaterialien, bestens bekannt. Alle hier offenbarten und dem Fachmann auf dem Gebiet bekannten Eigenschaften von Bulkmaterialien sollen nun ausgenutzt werden, um einerseits die Oberfläche von bereits sich auf einem Wafer befindenden Strukturen zu planarisieren und andererseits den oberflächennahen B ereich in einen metastabilen Zustand zu bringen, der das Bonden zu anderen

Oberflächen anderer Strukturen begünstigt und/oder beschl eun igt.

Damit eine Rekristal l i sati on stattfindet, sind erfindungsgemäß zwei

Bedingungen kumulativ zu erfüllen.

Erstens muss ein hoch verformtes Metal l über eine

Rekristallisationstemperatur erwärmt werden. Zinn beispielsweise

rekristallisiert bei ca. 0 °C, Zink bei ca. 20 °C, Aluminium bei ca. 100 °C, Kupfer bei ca. 270 °C, Ei sen bei ca. 450 °C und Wolfram bei ca. 1200 °C . Im Allgemeinen muss man davon ausgehen, dass die wirklichen

Rekristallisationstemperaturen über oder unter diesen Werten liegen. Ein entscheidender Einflussfaktor für die Rekristallisationstemperatur ist die Verunreinigung von Legierungszusätzen. So liegt beispielsweise die

Rekristallisationstemperatur von 99,999% Kupfer bei 120 °C, die

Rekristall isationstemperatur von elektrol yti sch abgeschi edenem Kupfer, welches naturgemäß eher unrein ist, allerdings bei ca. 200 °C . Die

Abscheidung von Kupfer durch Elektrolyse ist immer mit organischen Additiven, Ionen und Verunreinigungen verbunden. Abgeschiedenes Kupfer aus CVD und/oder PVD Prozessen ist hingegen hochrein. Die zweite Bedingung für eine Rekristallisation ist ein energetisch metastabiler Zustand. Dieser wird erfindungsgemäß durch eine hohe

Versetzungsdichte und/oder durch ein amorph-kristallines Gefüge und/oder durch quasikristalline Gefüge hergestellt. Vorzugsweise ist eine amorphe Matrix vorgesehen, in der partiell kristalline Phasen und/oder quasikristalline Phasen vorkommen, mit größtem Vorzug Mikro- und/oder Nanokristalle mit hoher Versetzungsdichte. Denkbar ist auch j ede beliebige Kombination aus Kristallen, Quasikristallen und amorphen Gefügebestandteilen in j edem beliebigen Volumenverhältnis. Um den weiteren Verlauf des Textes klarer zu gestalten wird vorwiegend von kristallin-amorphen Gefügen gesprochen werden.

Es ist bekannt, dass so gen annte„size-effects" das physikalisch-chemische Verhalten von Werkstoffen radikal verändern können. Die Rekristallisation von Kupfer, insbesondere für sehr kleine Abmessungen, kann bereits unterhal b der oben genannten minimalen Rekrist allisationstemperatur von 120 °C stattfinden. Somit können hochreine Materialien mit Mikro- und/oder Nanostrukturen, deren Oberflächen durch schnelle Werkzeuge bei den vorgesehenen Temperaturen bearbeitet werden, erfindungsgemäß eine effizientere Rekristallisation bei niedrigeren Temperaturen bewirken als entsprechende Bulkmaterialien.

Besonders vorteilhaft ist es erfindungsgemäß, wenn nach ersten Bearbeitung (und gegebenenfalls der zweiten Bearbeitung) möglichst zeitnah,

insbesondere innerhalb von 2 Stunden, vorzugsweise innerhalb von 30

Minuten, noch bevorzugter innerhalb von 10 Minuten, idealerweise innerhalb von 5 Minuten, die Kontaktierung der Festkörpersubstrate erfolgt. Durch diese Maßnahme werden etwaige unerwünschte Reaktionen wie Oxidierung der Funktionsschicht oder der Oberflächen der Festkörpersubstrate minimiert. Die erfindungsgemäßen Bondoberflächen werden auf eine

Oberflächenrauigkeit O mit einer quadratischen Rauheit (R_q) von weniger als 1 μπι, mit Vorzug weniger als 100 nm, mit größterem Vorzug weniger als 10 nm, mit allergrößtem Vorzug weniger als 1 nm bearbeitet. Diese empirischen Werte werden mit der Atomic Force Microscopy (AFM) ermittelt.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung besteht in der Ausbildung eines nahtlosen Übergangs zwischen den beiden zu bondenden Festkörpersubstraten. Unter einem nahtlosen Übergang wird ein polykristallines Gefüge verstanden, das sich ohne Unterbrechung der Kornstruktur von einer Seite des gebondeten Wafers auf die andere Seite erstreckt. Die Erzeugung eines solchen nahtlosen Übergangs wird insbesondere durch Rekristallisation bei den beschriebenen, insbesondere empiri sch bezogen auf das Material der Festkörpersubstrate und deren Abmessungen ermittelten Parametern durchgeführt. Eine

Rekristallisation ist ein durch eine hohe Versetzungsdichte und eine

erfindungsgemäß empirisch ermittelte Temperatur hervorgerufene

Gefügeneubi ldung durch Kornwachstum . Das G efüge befindet sich durch die erfindungsgemäß vorgesehene hohe Versetzungsdichte in einem metastabilen Zustand. D ieser metastabi le Zustand wird durch die sich überl agern den Dehnungsfelder der Versetzungen erzeugt. Unterhalb der

Rekristallisationstemperatur reicht die thermische Bewegung nicht dazu aus, dass die Versetzungen des Versetzungsnetzwerks durch die sich abstoßenden Dehnungsfelder von selbst zu gleiten beginnen. Die Versetzungen sind quasi „eingefroren". Überschreitet die Temperatur die Rekristallisationstemperatur, reicht die thermische Bewegung aus, die Versetzungsdichte durch

Versetzungsbewegung abzubauen. Mit dem Abbau der Versetzungsdichte geht eine vollständige Neubildung des Gefüges einher. Der erfindungsgemäß erzielte Effekt besteht darin, dass die Gefügeumbildung über das Bond- Interface (definiert beziehungsweise begrenzt durch die Oberflächenrauigkeit O) hinaus erfolgt und so das Interface praktisch vollkommen verschwinden zu lassen. Ein erfindungsgemäßes Verfahren weist demnach, insbesondere in seiner allgemeinsten Form, zum Bonden einer ersten Bondoberfläche eines ersten, aus einem ersten Material bestehenden Festkörpersubstrats mit einer zweiten Bondoberfläche eines zweiten, aus einem zweiten Material bestehenden Festkörpersubstrats folgende Schritte, insbesondere folgenden Ablauf auf:

- Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen mit einem Spanwerkzeug zur Erzeugung eines metastabilen Gefüges im

zumindest oberflächennahen Bereich und, insbesondere bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit Vk und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k, und, vorzugsweise einer gleichzeitigen und/oder anschließenden

Planarisierung auf eine quadratische Rauheit (R_q) von weniger als

1 μπι, mit Vorzug weni ger als 1 00 nm, mit größtem Vorzug weni ger als 10 nm, mit allergrößtem Vorzug weniger als 1 nm,

- Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats mit dem zweiten

Festkörpersubstrat an den Bondoberflächen und

- Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten Festkörpersubstrate zur Ausbildung eines zumindest überwiegend durch Rekristallisation bewirkten permanenten Bonds an den Bondoberflächen j eweils bis in eine Rekristallisationstiefe R größer als die Oberflächenrauigkeit O der Bondoberflächen mit einer Bondtemperatur TB oberhalb der Rekristallisationstemperatur.

Eine korrespondierende, erfindungsgemäße Vorrichtung weist, insbesondere in ihrer allgemeinsten Ausführung, folgende Merkmale auf:

- einem Spanwerkzeug zur Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen zur Erzeugung eines metastabi len Gefüges im zumindest oberflächennahen Bereich, insbesondere bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit Vk und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k, und bis zu einer Oberflächenrauigkeit O von weniger als 1 μπι, mit Vorzug weniger als 100 nm, mit größtem Vorzug weniger als 10 nm, mit allergrößtem Vorzug weniger als 1 nm,

- Mitteln zum Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats mit dem zweiten Festkörpersubstrat an den Bondoberflächen und

- Mittel zur Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten

Festkörpersubstrate zur Ausbildung eines zumindest überwiegend durch Rekristallisation bewirkten permanenten Bonds an den

Bondoberflächen j eweils bis in eine Rekristallisationstiefe R größer als die Oberflächenrauigkeit O der Bondoberflächen mit einer

Bondtemperatur TB oberhalb der Rekristallisationstemperatur.

Ein erfindungsgemäßes Spanwerkzeug i st zur Bearbeitung der ersten u nd/oder zweiten Bondoberfläche bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit Vk und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k und bis zu einer Oberflächenrauigkeit von weniger als 1 μηι , mit Vorzug weniger als 100 nm, mit größtem Vorzug weniger als 10 nm, mit allergrößtem Vorzug weniger als 1 nm ausgebildet.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das erste und das zweite Material identisch ausgewählt werden. Hierdurch wird die Rekristallisation begünstigt.

In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform ist vorgesehen, dass das erste und/oder das zweite Material metallisch sind. Die vorliegende Erfindung eignet sich insbesondere für metallische Materialien, so dass mit solchen ein optimales Ergebnis erzielt werden kann. Soweit die Ausbildung des permanenten Bonds bei einer Bondtemperatur T _B größer als der kritischen Temperatur T_k erfolgt, wird die Ausbildung des permanenten Bonds beschleunigt.

Gemäß einer weiteren, vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug derart erfolgt, dass an der ersten und/oder zweiten Bondoberfläche eine amorphe Schicht und/oder eine

Schicht erhöhter Versetzungsdichte gebildet wird. Die Parameter der

Bearbeitungsgeschwindigkeit und Temperatur sind dabei insbesondere abhängig von dem Material der Festkörpersubstrate und deren Abmessungen, insbesondere deren Dicke. Geeignete Parameter können, insbesondere materialspezifisch, empirisch ermittelt werden.

Mit Vortei l ist in einer weiteren Ausführungsform vorgesehen, dass nach der ersten Bearbeitung und vor dem Kontaktieren eine zweite Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen mit einem, insbesondere dem gleichen, Spanwerkzeug bei einer Geschwindigkeit v₀ oberhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk, insbesondere bei einer Temperatur T₀ unterhalb der kritischen Temperatur T_k, zur Reduzierung der Oberflächenrauigkeit O kleiner als 100 nm, vorzugsweise kleiner als 10 nm, noch bevorzugter kleiner als 1 nm, mit größtem Vorzug kleiner als 0, 1 nm, erfolgt. Hierdurch wird nach der Erzeugung der Mikrostruktur (erste Bearbeitung) die

Oberflächenrauigkeit O reduziert, insbesondere durch Trennbruch. Sollte die Oberflächenrauhigkeit bereits durch die erste Bearbeitung weit genug reduziert worden sein, ist dieser Prozessschritt nicht notwendig.

Grundsätzlich unterscheidet man zwei Arten des Trennbruchs, den

interkristallinen und den transkristallinen Trennbruch (Der Trennbruch wird in der Literatur auch sehr oft als Sprödbruch bezeichnet) . Beim

interkristallinen Trennbruch verläuft der Riss entlang der Korngrenzen eines Korns. Beim transkristallinen Trennbruch verläuft der Riss quer durch das Korn. Sollte sich durch die empirische Daten ergeben, dass das Material durch interkristallinen Bruch bricht und sich dadurch eine ungünstige, daher hohe, Oberflächenrauhigkeit ergibt, so hat man entsprechend die

erfindungsgemäßen Parameter so abzuändern, dass die Oberflächenrauhigkeit minimal wird. Dieser Zustand kann dann, entgegen der hier explizit

offenbarten Erfindung, sehr wohl auch nur durch Gleitbruchverformung ergeben. Es sei allerdings erwähnt, dass die Mikrostruktur der verwendeten Materialien mit Vorzug Körner im Nanometerbereich aufweist und es daher selbst bei einem interkristallinen Trennbruch nur eine Rauhigkeit im

Nanometerbereich geben kann. Im Besonderen ist der (mittlere)

Korndurchmesser dann die obere Schranke für diese (mittlere) Rauhigkeit. Sollte das Gefüge Körner im Mikrometerbereich besitzen, so ist auf alle Fälle ein transkristalliner Trennbruch erwünscht. Genannt seien hierbei

beispielhaft aber nicht ausschließend Korngrenzenausscheidungen,

intermetalli sche Phasen im Korni nneren, gerichtete M ikro strukture lernen tc welche Risse umleiten können etc. Im Allgemeinen kann erwähnt werden, dass ein Korn bevorzugt entlang der Korngrenze brechen wird, wenn di e Festi gkeit zwischen den Körnern geringer ist als die Festi gkei t der Atome innerhalb ein es Korns i st.

Die Erfindung betrifft somit ein Verfahren, mit dem die Rekristallisation eines Werkstoffs (Material der Festkörpersubstrate) bei vergleichsweise niedriger Temperatur in oberflächennahen Bereichen der Bondoberfläche durch die Erzeugung eines metastabilen Energiezustandes in der

Gefügestruktur durchgeführt wird. Somit werden zwei miteinander in Kontakt gebrachte Bondoberflächen mit einer vergleichsweise sehr geringen

Oberflächenrauigkeit O permanent und nahtlos miteinander verbunden.

Vorzugsweise wird nur in oberflächennahen Bereichen der Bondoberflächen ein metastabiler Energiezustand erzeugt. Dabei wird ein Spanwerkzeug, insbesondere bestehend aus mehreren W erkzeugen, verwendet, die oder das in der Lage ist/sind, durch Frequenz, S chneidegeschwindigkeit,

Werkzeuggeometrie, Werkzeugtemperatur und/oder Schneideneinsatzwinkel eine bestimmte Mikrostruktur an der Bondoberfläche einzuste l len . Dabei ist es erfindungsgemäß besonders vorteilhaft, wenn die Werkzeugparameter und Umgebungsparameter so gewählt werden, dass der oberflächennahe Bereich beziehungsweise die Bondoberflächen nach dem Durchlauf des Werkzeugs eine erhöhte Versetzungsdichte aufweisen.

Nach der Rekristallisation ist das Gefüge mit Vorzug möglichst grobkörni g . Ein grobkörniges Gefüge besitzt einen sehr geringen thermischen und vor allem elektrischen Widerstand. Damit eignen sich derartige grobkörnige, mit Vorzug über das Interface sogar einkristalline, Gefüge besonders für elektrisch leitende Verbindungen. Da die Industrie die erfindungsgemäße Methode bevorzugt, aber nicht ausschließlich für die Herstellung von

Interconnects, als elektrisch leitenden Verbindungen verwenden wird, ist daher eine möglichst niedriger elektrischer Widerstand und damit ein möglich grobkörniges Gefüge meist erwünscht. Für Bauteile, welche mit den erfindungsgemäßen Verfahren miteinander verbunden werden und nur einen mechanisch stabilisierenden, besonders thermo-mechanisch stabilisierenden Effekt haben sollen, ist dagegen ein feinkörniges Gefüge von Vorzug, da dieses besonders bei thermischer Wechselbelastung eine höhere

Dauerfesti gkeit besitzt.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung werden die

Werkzeugparameter und Umgebungsparameter so gewählt, dass die

Bondoberfläche beziehungsweise der oberflächennahe Bereich nach der ersten Bearbeitung, also dem Durchlauf des Werkzeugs, aus einer amorphen Schicht besteht, in welcher kristalline Bereiche vorgesehen sind, die vorzugsweise eine sehr hohe Versetzungsdichte aufweisen. Die Dicke der amorphen Schicht wird insbesondere durch die - empirisch ermittelte - Werkzeuggeschwindigkeit bestimmt.

Ein weiterer, elementarer Aspekt der Erfindung ist die Rekristallisation über die Kontaktebene beziehungsweise über die oberflächennahe Schicht des Kontakts (insbesondere im Bereich der Oberflächenrauigkeit O) hinweg. Dies wird erfindungsgemäß insbesondere dadurch erreicht beziehungsweise optimiert, indem die Oberflächenrauigkeit O vergleichsweise gering

eingestellt wird, nämlich durch die Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug.

Durch eine gezielte Einstellung der Geschwindigkeit des Werkzeuges und der Temperatur, kann die Oberflächenrauhigkeit O minimiert werden. Bei den meisten Materialien wird die minimale Oberflächenrauhigkeit O mit einer hohen Werkzeuggeschwindigkeit und einer tiefen Temperatur einhergehen, da Trennbruchoberflächen glatter sind als Oberflächen, die einen plastischen Verformungsprozess durchlaufen haben. Die geringere Oberflächenrauhigkeit ändert zwar physikalisch gesehen nichts an der Rekristallisation, also dem Gefügeumbau, erlaubt allerdings den neu gebildeten Körnern, die

Kontaktebene leichter zu überbrücken, da es mehr Kontaktstellen durch die geringere Oberflächenrauhigkeit gibt.

Die Rekristallisationstemperaturen sind abhängig von dem verwendeten Material der Festkörpersubstrate und diese ist insbesondere abhängig von der Versetzungsdichte des Materials . Für die Zwecke der vorliegenden

Beschreibung wird 50% der Schmelztemperatur des Materials als

Rekristallisationstemperatur angenommen (homologe Temperatur von 0.5) . Erfindungsgemäß ist es denkbar, die Rekristallisationstemperatur durch gezielte Zugabe von Zusätzen, insbesondere Legierungselementen oder gezielter Verunreinigung zu beeinflussen, mit Vorzug durch Verwendung hochreiner Metalle auf ein Minimum zu senken.

Die empirische Ermittlung von materialspezifischen Parametern kann, insbesondere durch Kerbschlagzähigkeitsmessung an Bulkmaterialien erfolgen. Weiterhin kann die empirische Ermittlung von erfindungsgemäßen Parametern anhand der tatsächlichen Ausführung und Versuchsreihen mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ermittelt werden. Dies ist insbesondere deshalb bevorzugt, weil eine Übertragung der Standardwerte von

Bulkmaterialien der erfindungsgemäßen Parameter auf die dünnen Substrate zumindest nicht ohne weiteres möglich ist. Weiterhin ist es erfindungsgemäß von Vorteil, in einer Ausführungsform der Erfindung den Schritt der Bearbeitung der ersten und/oder zweiten

Bondoberflächen in einem ersten Modul durchzuführen, während das

Kontaktieren, das Ausrichten (Alignment) und die Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten Festkörpersubstrate in einem separaten zweiten Modul (räumlich getrennt vom ersten Modul) erfolgt.

Beispielhaft aber nicht einschränkend wird in Figur 4 eine Oberansicht eines möglichen Werkzeughalters mit Spanwerkzeugen skizzenhaft und stark vereinfacht dargestellt, welcher sich um seine Achse dreht und durch einen Vorschub über den zu bearbeitenden Wafer geschoben wird. Dam Fachmann auf dem Gebiet sind diese Werkzeugarten oder ähnlich arbeitende Werkzeuge bestens bekannt.

Erfindungsgemäß ist auch ein Probenhalter vorgesehen der entsprechend aktiv geheizt und/oder gekühlt werden k ann, um den zu bearbeitenden Wa fer auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Des Weiteren wird offenbart, dass die beiden Wafer nach dem erfindungsgemäßen Behandlungsvorgang zueinander ausgerichtet werden können/müssen.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Diese zeigen in:

Figur l a einen erfindungsgemäßen Verfahrensschritt der Bearbeitung eines

Festkörpersubstrats mit einem erfindungsgemäßen Spanwerkzeug,

Figur l b eine erfindungsgemäß bearbeitete Bondoberfläche mit einer

oberflächennahen Schicht mit erhöhter Versetzungsdichte, Figur l c eine erfindungsgemäß bearbeitete Bondoberfläche mit einer oberflächennahen, amorphen Schicht,

Figur l d eine erfindungsgemäß bearbeitete Bondoberfläche mit einer

oberflächennahen, amorphen Schicht mit erhöhter

Versetzungsdichte,

Figur l e eine erfindungsgemäß bearbeitete Bondoberfläche mit einer

oberflächennahen, amorphen Schicht mit kristallinen Bereichen mit hoher Versetzungsdichte,

Figur 2a ein Verfahrensschritt der erfindungsgemäßen Bearbeitung einer ersten und einer zweiten Bondoberfläche analog Figur l b ,

Figur 2b ein erfindungsgemäßer Verfahrensschritt des Kontaktierens der

Festkörpersubstrate,

Figur 2c ein erfindungsgemäßer Verfahrensschritt der

Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten Festkörpersubstrate zur Ausbildung eines zumindest überwiegend durch die Kristallisation bewirkten permanenten Bonds an den Bondoberflächen,

Fi gur 3 a ein Diagramm zur Abhängigkeit der Trennbruchfestigkeit und der

Gleitbruchfestigkeit von der Geschwindigkeit des

Spanwerkzeugs,

Figur 3b ein Diagramm zur Abhängigkeit der Trennbruchfestigkeit und der

Gleitbruchfestigkeit von der Temperatur,

Figur 3 c ein Diagramm zur Abhängigkeit der Kerbschlagarbeit von der

Temperatur für drei typische Materialklassen und Figur 4 eine mögliche Ausführungsform des Spanabhebenden Werkzeuges.

In Figur l a ist ein aus einem ersten Material (hier Metall) bestehendes erstes Festkörpersubstrat 1 gezeigt, das an einer Bondseite l s eine vergleichsweise hohe Oberflächenrauigkeit O (mittlere quadratische Rauheit bezogen auf die gesamte Bondseite l s beziehungsweise eine zu bondende Bondoberfläche l o der Bondseite l s des ersten Festkörpersubstrats 1 ) aufweist. In den Fi guren l a bis l e sowie 2a bis 2c sind j eweils nur kleine Flächenquerschnitte des ersten Festkörpersubstrats 1 und eines zweiten Festkörpersubstrats 2 (Figuren 2a bis 2c) gezeigt.

Für einen ersten B earb e i tu ngs schritt der ersten Bondoberfläche 1 o ist ein Spanwerkzeug 5 vorgesehen, das mit einer Geschwindigkeit v_s entlang der ersten Bondoberfläche l o derart bewegbar ist, dass an der ersten

Bondoberfläche 1 o Material abgetragen wird . Auf den Materialabtrag hat insbesondere die Relativgeschwindigkeit v_s des Spanwerkzeugs 5 als auch die Temperatur T_s während der ersten Bearbeitung einen erheblichen Einfluss. Daneben sind Einflussfaktoren die Form des Spanwerkzeugs 5

(Werkzeuggeometrie), die Temperatur des Werkzeugs selbst als auch ein Schneideneinsatzwinkel α gegenüber der Bewegungsrichtung

(Geschwindigkeitsvektor v_s) des Spanwerkzeugs 5.

Die vorgenannten Parameter werden erfindungsgemäß derart eingestellt (insbesondere durch empirische Ermittlung der vorgenannten Parameter), dass nach der ersten Bearbeitung und gegebenenfalls mindestens einer weiteren Bearbeitung der Bondoberfläche l o ein oberflächennaher Bereich 3 (Figur l b), 3 ' (Figur l c), 3 " (Figur l d) oder 3 " ' (Figur l e) gebildet wird.

In der in Figur l b gezeigten Ausführungsform sind die obengenannten Parameter so gewählt, dass der oberflächennahe Bereich 3 nach der ersten Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug 5 eine verglichen mit dem ersten

Material des Festkörpersubstrats 1 gemäß Figur l a erhöhte Versetzungsdichte aufweist.

In der in Figur l c gezeigten Ausführungsform sind die obengenannten

Parameter so gewählt, dass der oberflächennahe Bereich 3 ' nach der ersten Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug 5 zumindest teilweise, vorzugsweise überwiegend, aus einem, insbesondere bereichsweise vollständig, amorphen Material 4 besteht.

In der in Figur l d gezeigten Ausführungsform werden die obengenannten Parameter so gewählt, dass der oberfl ächennahe Bereich 3 " nach der ersten Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug 5 zumindest teilweise, vorzugsweise überwiegend, aus einem, insbesondere bereichsweise vollständig, amorphen Material 4 besteht und, insbesondere im Bereich außerhalb des amorphen Materials, eine gegenüber dem ersten Festkörpersubstrat 1 vor der ersten Bearbeitung erhöhte Versetzungsdichte au fweist.

In der in Figur l e gezeigten Ausführungsform werden die obengenannten Parameter so gewählt, dass der oberflächennahe Bereich 3 ' " nach der ersten Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug 5 zumindest teilweise, insbesondere vollständig, aus einem zumindest teilweise, insbesondere überwiegend, amorphen Material 4 gebildet ist, in welchem kristalline Bereiche 6, insbesondere mit einer erhöhten Versetzungsdichte, gebildet sind.

Es ist erfindungsgemäß denkbar, die vorgenannten Parameter für die vorgenannten Ausführungsformen während der ersten Bearbeitung zu ändern und/oder weitere Bearbeitungsschritte vorzusehen, um die genannten

Merkmale zu erreichen. Jedenfalls arbeitet das Spanwerkzeug 5 zumindest überwiegend, vorzugsweise vollständig mit einer Geschwindigkeit v_s unterhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk gemäß Figur 3 a, so dass das Material überwiegend durch Verformungsbruch abgetragen wird. Gleichzeitig liegt die Temperatur während der ersten Bearbeitung zumindest überwiegend, vorzugsweise vollständig, oberhalb der kritischen Temperatur T_k gemäß Figur 3b, so dass auch hierdurch Verformungsbruch begünstigt wird.

Sollte nach diesem ersten Bearbeitungsschritt die nötige Planarität noch nicht erreicht sein, kann durch mindestens einen weiteren Bearbeitungsschritt die nötige Pl anarität eingestellt werden. Mit Vorzug besitzt das Spanwerkzeug 5 im zweiten Bearbeitungsschritt eine Geschwindigkeit v_s oberhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk gemäß Figur 3 a, so dass das Material überwiegend durch Trennbruch abgetragen wird. Gleichzeitig liegt die

Temperatur während der zweiten Bearbeitung zumindest überwiegend, vorzugsweise vollständig, unterhalb der kritischen Temperatur T_k gemäß Figur 3b, so dass auch hierdurch Trennbruch begünstigt wird.

Di e Di cke der Schicht aus amorphem Material 4 wird insbesondere durch d ie Werkzeuggeschwindigkeit v_s bestimmt, die materialspezifisch und abhängig von der Materi al temperatur empirisch ermittelbar ist.

Erfindungsgemäß wird in den Ausführungsformen gemäß Figuren l b bis l e nicht nur eine Veränderung des Materials der oberflächennahen Bereiche 3 , 3 ' , 3 " , 3 " ' bewirkt, sondern insbesondere eine erhebliche Reduzierung der Oberflächenrauigkeit O mindestens um einen Faktor 5 , insbesondere mindestens Faktor 1 0, vorzugsweise mindestens Faktor 20, so dass die Oberflächenrauigkeit O kleiner 1 μηι, insbesondere kleiner 1 00 nm, vorzugsweise kleiner 10 nm, noch bevorzugter kleiner l nm, mit größtem Vorzug unter 0, 1 nm, ist.

Durch die Kombination der vorgenannten Maßnahmen und die entsprechende Bearbeitung des zweiten Festkörpersubstrats 2 an dessen Bondseite 2s zur Erzielung einer analogen Bondoberfläche 2o nach der ersten Bearbeitung und gegebenenfalls weitere Bearbeitungsschritte werden das erste

Festkörpersubstrat 1 und das zweite Festkörpersubstrat 2 wie in Figur 2a gezeigt, zueinander ausgerichtet, so dass die Bondseite l s und die Bondseite 2s gegenüberliegend angeordnet sind.

In dem in Figur 2b gezeigten Verfahrensschritt wird das erste

Festkörpersubstrat 1 mit dem zweiten F estkörpersubstrat 2 an den

Bondoberflächen l o, 2o (Kontaktebene E) kontaktiert. Auf Grund der deutlich verringerten Oberflächenrauigkeit O beider Festkörpersubstrate 1 , 2 ist der Abstand zwischen den Festkörpersubstraten 1 , 2 äußerst gering, wodurch eine Rekristallisation des ersten Materials des ersten

Festkörpersubstrats 1 mit einem zweiten Material des zweiten

Festkörpersubstrats 2 begünstigt wird. Weiterhin und in Kombination dami t wird die Rekristallisation durch die erfindungsspezifische Ausbildung des oberflächennahen Bereichs 3 , 3 ' , 3 " , 3 " ' begünstigt, so dass nach einer Rekristallisationszeit, insbesondere unter Temperaturbeaufschlagung ein permanenter Bond bis in eine Rekristallisationstiefe R größer als die

Oberflächenrauigkeit 0, insbesondere größer als die Tiefe des

oberflächennahen Bereichs 3 , 3 ' , 3 " , 3 ' " bewirkt wird. Ein erfindungsgemäß gebondetes Festkörpersubstrat 7 ist in Figur 2c gezeigt, bei dem durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen die Bondoberflächen l o, 2o nicht mehr erkennbar sind, insbesondere auch kein amorphes Material 4 mehr vorliegt.

B e zu g s z e i c h e n l i s t e

1 erstes Festkörpersubstrat

lo Bondoberfläche

ls Bondseite

2 zweites Festkörpersubstrat

2o Bondoberfläche

2s Bondseite

3, 3', 3", 3"' oberflächennaher Bereich

4 amorphes Material

5 Spanwerkzeug

6 kristalline Bereiche

7 gebondetes Festkörpersubstrat

8 Werkzeughalter für mehrere Spanwerkzeuge s Temperatur

T_k kritische Temperatur

T_B Bondtemperatur

v_s Geschwindigkeit

v_k kritische Geschwindigkeit

0 Oberflächenrauigkeit

R Rekristallisationstiefe

E Kontaktebene

α Schneideneinsatz winkel

Claims

P at e n t an s p rü c h e

1. Verfahren zum Bonden einer ersten Bondoberfläche (lo) eines ersten, aus einem ersten Material bestehenden Festkörpersubstrats (1) mit einer zweiten Bondoberfläche (2o) eines zweiten, aus einem zweiten Material bestehenden Festkörpersubstrats (2) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf:

- Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen (lo, 2o) mit einem Spanwerkzeug (5) zur Erzeugung eines metastabilen Gefüges im zumindest oberflächennahen Bereich und einer

reduzierten Oberflächenrauhigkeit kleiner als 100 nm, vorzugsweise kleiner als 10 nm, noch bevorzugter kleiner als 1 nm, mit größtem Vorzug kleiner als 0,1 nm, erfolgt.

- Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats (1) mit dem zweiten Festkörpersubstrat (2) an den Bondoberflächen (lo, 2o) und

- Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten Festkörpersubstrate (1, 2) zur Ausbildung eines zumindest überwiegend durch

Rekristallisation bewirkten permanenten Bonds an den

Bondoberflächen (lo, 2o) jeweils bis in eine Rekristallisationstiefe R größer als die Oberflächenrauigkeit O der Bondoberflächen (lo, 2o) mit einer Bondtemperatur T_B oberhalb der

Rekristallisationstemperatur.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , bei dem das erste und das zweite Material identisch ausgewählt werden.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das

erste und/oder das zweite Material metallisch sind.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die

Ausbildung des permanenten Bonds bei einer Bondtemperatur TB größer als der kritischen Temperatur T_k erfolgt.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die

Bearbeitung mit dem Spanwerkzeug (5) derart erfolgt, dass an der ersten und/oder zweiten Bondoberfläche ( l o, 2o) eine amorphe Schicht (3) und/oder eine Schicht (2) erhöhter Versetzungsdichte gebildet wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem nach der ersten Bearbeitung und vor dem Kontaktieren eine zweite Bearbeitung der ersten und/oder zweiten Bondoberflächen ( l o, 2o) mit einem, insbesondere dem gleichen, Spanwerkzeug (5) bei einer

Geschwindigkeit v₀ oberhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk , insbesondere bei einer Temperatur T₀ unterhalb der kritischen

Temperatur T_k, zur Reduzierung der Oberflächenrauigkeit O kleiner als 1 00 nm, vorzugsweise kleiner als 10 nm, noch bevorzugter kleiner als

1 nm, mit größtem Vorzug kleiner als 0, 1 nm, erfolgt. Vorrichtung zum Bonden einer ersten Bondoberfläche ( l o) eines ersten, aus einem ersten Material bestehenden Festkörpersubstrats ( 1 ) mit einer zweiten Bondoberfläche (2o) eines zweiten, aus einem zweiten Material bestehenden Festkörpersubstrats (2) mit: einem Spanwerkzeug (5 ) zur Bearbeitung der ersten und/oder zweiten

Bondoberflächen ( l o, 2o) zur Erzeugung eines metastabilen Gefüges im zumindest oberflächennahen Bereich und einer reduzierten

Oberflächenrauhigkeit kleiner als 100 nm, vorzugsweise kleiner als 10 nm, noch bevorzugter kleiner als 1 nm, mit größtem Vorzug kleiner als 0, 1 nm, erfolgt,

- Mitteln zum Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats ( 1 ) mit dem zweiten Festkörpersubstrat (2) an den Bondoberflächen ( l o, 2o) und

- Mittel zur Temperaturbeaufschlagung der kontaktierten

Festkörpersubstrate ( 1 , 2) zur Ausbildung eines zumindest

überwiegend durch Rekristallisation bewirkten permanenten Bonds an den Bondoberflächen ( l o, 2o) j eweils bis in eine

Rekristallisationstiefe R größer als die Oberflächenrauigkeit O der Bondoberflächen ( l o, 2o) mit einer Bondtemperatur TB oberhalb der Rekrist al Ii sationstemperatur.

Vorrichtung nach Anspruch 7 , bei der das Spanwerkzeug (5 ) derart einstellbar ist, dass eine zweite Bearbeitung bei einer Geschwindigkeit v₀ oberhalb der kritischen Geschwindigkeit Vk, insbesondere bei einer Temperatur T₀ unterhalb der kritischen Temperatur T_k, zur Reduzierung der Oberflächenrauigkeit O kleiner als 100 nm, vorzugsweise kleiner als 10 nm, noch bevorzugter kleiner als 1 nm, mit größtem Vorzug kleiner als 0, 1 nm, erfolgt.

9. Spanwerkzeug (5) zur Bearbeitung der ersten und/oder zweiten

Bondoberflächen ( l o, 2o) bei einer Geschwindigkeit v_s unterhalb einer kritischen Geschwindigkeit Vk und bei einer Temperatur T_s oberhalb einer kritischen Temperatur T_k und bis zu einer Oberflächenrauigkeit O kleiner als 1 μηι.