WO2013034754A1

WO2013034754A1 - Verfahren und vorrichtung zur dreidimensionalen konfokalen vermessung

Info

Publication number: WO2013034754A1
Application number: PCT/EP2012/067619
Authority: WO
Inventors: Matus Banyay; Frank Thiel
Original assignee: Sirona Dental Systems Gmbh
Priority date: 2011-09-08
Filing date: 2012-09-10
Publication date: 2013-03-14
Also published as: US20140313524A1; JP2014531578A; EP2753267A1; EP2753267B1; IL230734A0; IL230734B; US9212898B2; JP6063942B2; DE102011082349B3

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (20) zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts (6) unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, umfassend eine Laserquelle (21) zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls (3), eine Fokussieroptik (4) zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls (3) auf mindestens einen Messpunkt (5, 23) auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts (6), einen Detektor (10) zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts (6) zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls (9), eine konfokale Beobachtungsoptik (7), die nur den auf die Oberfläche des Objekts (6) fokussierten Beobachtungsstrahl (9) zum Detektor (10) durchläset. Die Laserquelle (21) umfasst dabei mehrere kohärente Laserelemente (22), wobei die Laserelemente (22) gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen (3) abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte (5, 23) auf der Oberfläche des Objekts (6) fokussiert werden, wobei die Laserelemente (22) so angeordnet sind, dass ein Speckle-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten 3D-Bilddaten vermindert wird.

Description

Beschreibung

Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen konfokalen

Vermessung Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens. Die Vor^¬ richtung umfasst dabei eine Laserquelle zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls, eine Fokussieroptik zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls auf mindestens einen Messpunkt auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts, einen Detektor zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts zu^¬ rückgestrahlten Beobachtungsstrahls und eine konfokale Beo- bachtungsoptik, die nur den auf die Oberfläche des Objekts fokussierten Beobachtungsstrahl zum Detektor durchläset .

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik sind mehrere Verfahren und Vorrichtungen zur konfokalen Vermessung bekannt, die eine La- serquelle verwenden. Mit der Verwendung einer Laserquelle ist ein optisches Phänomen verbunden, das als Speckle- Effekt bezeichnet wird. Der Speckle-Effekt ist ein Interfe^¬ renzphänomen, das sich bei hinreichend kohärenter Beleuchtung von unebenen Objektoberflächen beobachten lässt. Dabei entsteht ein gesprenkeltes Speckle-Muster , das sich als räumliches und zeitabhängiges Rauschen bemerkbar macht. Zur Verminderung des Speckle-Effekts werden meist die Lichtpa^¬ rameter des beleuchtenden Laserstrahls, wie der Einfalls^¬ winkel, die Polarisation und die Wellenlänge, modifiziert. Dazu werden meist optische Diffusoren oder mechanisch bewegte optische Elemente verwendet. In der EP 1 505 425 Bl ist eine Vorrichtung zur konfokalen Abbildung offenbart, wobei die Abbildungsoptik eine opti^¬ sche Komponente umfasst, die beweglich ist, um den Fokus^¬ punkt auf dem Objekt innerhalb eines Bewegungsbereiches und innerhalb der Integrationszeit des Detektors zu einer An^¬ zahl verschiedener Stellen in einer Ebene zu bewegen, die senkrecht zu der optischen Achse verläuft. Dadurch wird die Lage des Fokuspunktes innerhalb der Integrationszeit des Detektors modelliert, so dass das konfokale Signal ver- schmiert wird und dadurch der Speckle-Effekt vermindert wird .

In der US 4,155,630 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verbesserung der Bilderzeugung mit einem kohärenten Vermessungssystem, wobei ein Spiegel mechanisch in eine Schaukelbewegung versetzt wird und damit der Einfallswinkel des Laserstrahls modifiziert wird.

In der US 6,081,381 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beseitigung des Speckle-Effekts eines optischen Systems offenbart, wobei ein Diffusor und ein rotierendes Mikrolin- sen-Array verwendet werden.

In der US 4,511,220 ist eine Vorrichtung zur Verminderung des Speckle-Effekts eines Lasersystems offenbart, wobei zwei polarisierte Laserstrahlen mit einer bekannten Kohärenzlänge, die zueinander nicht kohärent sind, überlagert werden und damit der Speckle-Effekt minimiert wird.

Ein Nachteil der genannten Verfahren besteht darin, dass zur Minimierung des Speckle-Effekts der Laserstrahl auf unterschiedliche Art und Weise unter Verwendung verschiedener beweglicher optischer Mittel modifiziert werden muss. Mit der Ansteuerung und der Integration dieser optischen Mittel ist ein erheblicher technischer Aufwand verbunden. Außerdem ist die Mechanik zur Verstellung dieser optischen Mittel fehleranfällig und kann zu einer Verschlechterung der Bildqualität der mittels der dreidimensionalen konfokalen Vermessung erzeugten 3D-Bilddaten führen.

Die Aufgabe der folgenden Erfindung liegt daher darin, eine Vorrichtung zur dreidimensionalen konfokalen Vermessung bereitzustellen, die auf eine einfache Art und Weise den Speckle-Effekt minimiert.

Darstellung der Erfindung

Ein Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur drei- dimensionalen Vermessung eines Objekts unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, umfassend eine Laser^¬ quelle zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls, eine Fokus- sieroptik zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls auf mindestens einen Messpunkt auf einer zu vermessenden Oberflä- che des Objekts, einen Detektor zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts zurückgestrahlten Beobachtungs^¬ strahls, eine konfokale Beobachtungsoptik, die nur den auf die Oberfläche des Objekts fokussierten Beobachtungsstrahl zum Detektor durchläset . Die Laserquelle umfasst dabei meh- rere kohärente Laserelemente, wobei die Laserelemente gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte auf der Oberfläche des Objekts fokussiert werden, wobei die Laserelemente so angeordnet sind, dass ein Speckle-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten 3D- Bilddaten im Vergleich zu einer Vermessung mit einer Vorrichtung, die nur eine punktförmige Laserquelle aufweist, vermindert wird.

Nach dem konfokalen Mikroskopierverfahren wird der Beleuchtungsstrahl mittels der Fokussieroptik, die eine Kollima- torlinse umfassen kann, auf einen Messpunkt in einer Fokus^¬ ebene auf der Oberfläche des zu vermessenden Objekts fokus^¬ siert. Der Beobachtungsstrahl wird vom Objekt zurückge- strahlt und gelangt über die Fokussieroptik zur Beobachtungsoptik, die eine Lochblende umfasst. Der Beobachtungs^¬ strahl kann mittels eines Strahlteilers zur Beobachtungsop^¬ tik umgelenkt werden. Die Lochblende ist dabei konfokal zur Fokusebene angeordnet, so dass nur das Licht aus der Fokus^¬ ebene zum Detektor gelangt. Das Objekt kann Punkt für Punkt abgescannt werden, um anschließend aus den Messdaten mit^¬ tels eines Computers eine dreidimensionale Aufnahme zusam^¬ menzusetzen. Der Fokuspunkt kann dabei in Richtung einer optischen Achse der Vorrichtung und orthogonal dazu verschoben werden.

Der zurückgestrahlte Beobachtungsstrahl bedeutet sowohl ei^¬ ne Reflektion als auch eine Streuung an der Oberfläche des Ob ekts .

Zur Verkürzung der Vermessungsdauer kann die Vorrichtung mehrere konfokale Kanäle aufweisen, wobei jeder konfokale Kanal eine Fokussieroptik mit einer eigenen Kollimatorlinse und eine Beobachtungsoptik mit einer eigenen Lochblende aufweist. Für jeden konfokalen Kanal kann eine eigene La- serquelle oder für alle Kanäle eine gemeinsame Laserquelle verwendet werden. Die Laserquellen können dabei in einer Ebene auf einer Platine angeordnet sein. Die Kollimatorlin^¬ sen können in einem Linsen-Array angeordnet sein. Die Lochblenden können ebenfalls in eine Ebene in einem Lochblen- den-Array angeordnet sein. Dadurch können gleichzeitig mehrere Fokuspunkte auf das Objekt projiziert werden, um eine Ebene des Objekts zu vermessen. Die Fokuspunkte können dann Schicht für Schicht in Richtung der optischen Achse der Vorrichtung verschoben werden, um das Objekt vollständig zu vermessen. Damit wird mit jedem der konfokalen Kanäle gleichzeitig ein Tiefenscan durchgeführt. Die einzelnen Laserquellen beziehungsweise jede der Laserquellen in einem Laserquellen-Array umfassen ihrerseits mehrere kohärente Laserelemente. Die Beleuchtungsstrahlen der Laserelemente einer Laserquelle werden auf ein Bündel von Messpunkten auf der Oberfläche des Objekts fokussiert. Bei einem Laserquellen-Array werden die Beleuchtungsstrahlen auf mehrere Bündel von Messpunkten fokussiert. Die Messpunkte innerhalb des Bündels sind so nah beieinander angeordnet, dass sie mittels der Beobachtungsoptik nicht aufgelöst werden können und dadurch die Anteile jedes der Laserelemente verschmieren. Die Anteile der Beobachtungs^¬ strahlen der Laserelemente werden demnach gemittelt, so dass auf dem Detektor nur ein Messpunkt mit einer gemittel- ten Intensität registriert wird. Dadurch wird der Speckle- Effekt vermindert.

Die verminderte Auflösung der Beobachtungsoptik kann beispielsweise durch die Beugung der Laserstrahlen an einer Apertur der gesamten Beobachtungsoptik verursacht werden, die zu sogenannten, abhängig von der Form der Blende, Beu- gungsscheibchen führt. Das optische Design der Beobachtungsoptik wirkt damit als ein limitierender Faktor für die Auflösung. Falls die Lochblende nicht korrekt konfokal po^¬ sitioniert ist oder die Größe der Lochblende in der Konfo^¬ kalebene falsch ist, kann dies ebenfalls in einer vermin- derten Auflösung des gesamten optischen Systems führen.

Ein Vorteil dieser Vorrichtung besteht darin, dass die Laserelemente der Laserquelle auf ein Bündel von Messpunkten fokussiert werden, um den Speckle-Effekt zu vermindern, so dass im Vergleich zu bekannten Verfahren keine mechanischen Mittel zur Modifikation des Laserstrahls erforderlich sind.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Vorrichtung besteht darin, dass die Vorrichtung kompakter als herkömmliche Vor- richtungen gestaltet werden kann, da mechanische Mittel und eine Ansteuerung dieser nicht erforderlich ist.

Vorteilhafterweise können die Laserelemente Beleuchtungs^¬ strahlen abstrahlen, die in ihrer Wellenlänge moduliert sind und eine voneinander abweichende Wellenlänge innerhalb eines Wellenlängenbereichs aufweisen.

Dadurch weichen die Wellenlängen der einzelnen Laserelemente voneinander ab, so dass zusätzlich durch die Modulation der Wellenlänge der Speckle-Effekt vermindert wird. Der Wellenlängenbereich ist dabei so groß gewählt, dass der

Speckle-Effekt bis zu einem erforderlichen Maß verringert wird .

Vorteilhafterweise können die vom Objekt zurückgestrahlten Beobachtungsstrahlen durch Beugung an einer Apertur der Be- obachtungsoptik verschmiert werden, so dass Anteile der Be^¬ obachtungsstrahlen gemittelt werden und der Detektor einen gemeinsamen Pro ektionspunkt mit einer gemittelten Intensi^¬ tät detektiert. Die Beugung der Beobachtungsstrahlen an der Apertur der Beobachtungsoptik kann dabei zu Beugungsscheib- chen führen, die abhängig von Form und Größe einer konfokal angeordneten Lochblende in der Beobachtungsoptik gestaltet sind .

Vorteilhafterweise kann der Wellenlängenbereich innerhalb dessen die Wellenlänge der Laserelemente moduliert ist höchstens 60 nm betragen.

Dadurch wird die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen der einzelnen Laserelemente noch stärker vermindert und führt daher zu einem schwächeren Speckle-Effekt .

Vorteilhafterweise können die Wellenlängen der einzelnen Laserelemente innerhalb des Wellenlängenbereichs nach einer zufälligen Verteilung verteilt sein. Dadurch sind die Wellenlängen nicht nach einem bestimmten Muster innerhalb des Wellenlängenbereichs verteilt, so dass die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen der Laserelemente gering ist. Vorteilhafterweise können die Laserelemente Beleuchtungs^¬ strahlen gleicher Wellenlänge abstrahlen.

Bei dieser Alternative der Vorrichtung strahlen alle Laserelemente Laserlicht gleicher Wellenlänge ab, so dass die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen der Laserele- mente und damit der Speckle-Effekt lediglich durch die Ver^¬ teilung der Messpunkte innerhalb des Bündelbereichs auf dem Objekt minimiert wird.

Vorteilhafterweise können die Laserelemente Laserdioden sein, die nebeneinander auf einer gemeinsamen Platine ange- ordnet sind.

Dadurch kann die Laserquelle sehr kompakt aufgebaut sein, um die Abmessungen der vorliegenden Vorrichtung, insbesondere im Hinblick auf die Verwendung im dentalen Bereich, gering zu halten. Vorteilhafterweise können die Laserelemente VCSEL-Elemente sein, die nebeneinander auf einem VCSEL-Chip angeordnet sind .

Das VCSEL-Element (Vertical Cavity Surface Emitting La^¬ ser) ist ein Halbleiterlaser, bei dem das Licht senkrecht zur Ebene eines Halbleiterchips abgestrahlt wird. Im Gegen^¬ satz dazu wird bei herkömmlichen Kantenemittern das Licht an einer oder zwei Flanken des Halbleiterchips abgestrahlt. Die Vorteile der Verwendung eines VCSEL-Elements bestehen in den geringen Herstellungskosten, im geringen Strom- verbrauch, einem gegenüber den Kantenemittern verbesserten Strahlprofil, der Abstimmbarkeit der Wellenlänge und der hohen intrinsischen Modulationsbandbreite. Außerdem können VCSEL-Elemente in Gitteranordnungen in einer Ebene hergestellt werden.

Vorteilhafterweise können die Laserelemente im gleichen Ab- stand zueinander entlang der Zeilen und der Spalten in einer zweidimensionalen orthogonalen Matrix, spiralförmig o- der in Form von konzentrischen Kreisen angeordnet sein.

Dadurch sind die Laserlemente in einem Laserlemente-Array in Form einer orthogonalen Matrix angeordnet, das auf ein- fache Art und Weise vollautomatisch hergestellt werden kann .

Vorteilhafterweise können die Laserelemente in einem Laser^¬ lemente-Array nach einer zufälligen Verteilung angeordnet sein . Dadurch werden Interferenzen, die durch wiederkehrende Muster entstehen können, vermindert.

Vorteilhafterweise kann eine Ebene, in der die Laserelemen^¬ te angeordnet sind, senkrecht zu einer Abstrahlrichtung der Beleuchtungsstrahlen ausgerichtet sein. Dadurch sind die Laserlemente in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse der Vorrichtung angeordnet, so dass die Verteilung der Messpunkte auf dem Objekt zu einer Verminde^¬ rung der Interferenz und damit des Speckle-Effekts führt.

Vorteilhafterweise kann die Laserquelle mindestens 50 La- serelemente umfassen.

Dadurch ist die Anzahl der Laserelemente ausreichend, um den Speckle-Effekt bis zu einem erforderlichen Maß zu vermindern .

Vorteilhafterweise kann die Vorrichtung in ihren Abmessun- gen so ausgestaltet sein, dass sie in ein herkömmliches dentales Handstück integrierbar ist und zur Vermessung von Zähnen als Objekt geeignet ist.

Dadurch kann die Vorrichtung im dentalen Bereich zur Vermessung von Zähnen und anderen dentalen Objekten verwendet werden.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, wobei eine Laser^¬ quelle einen Beleuchtungsstrahl abstrahlt, wobei der Be- leuchtungsstrahl auf mindestens einen Messpunkt auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts fokussiert wird, wo^¬ bei ein von der Oberfläche des Objekts zurückgestrahlter Beobachtungsstrahl mittels eines Detektors erfasst wird, wobei eine Beobachtungsoptik eine Blende aufweist, die nur den auf die Oberfläche des Objekts fokussierten Beobach^¬ tungsstrahl zum Detektors durchläset . Die Laserquelle um- fasst dabei mehrere kohärente Laserelemente, wobei die La^¬ serelemente während der Vermessung gleichzeitig Beleuch^¬ tungsstrahlen abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte auf der Oberfläche des Objekts fokussiert werden, wobei die La^¬ serelemente so angeordnet sind, dass ein Speckle-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten 3D-Bilddaten vermindert wird .

Ein Vorteil dieses Verfahrens ist, dass der Speckle-Effekt auf einfache Art und Weise minimiert wird, ohne mechanische Mittel, wie bei dem herkömmlichen Verfahren, zu verwenden.

Dadurch kann die Beobachtungsoptik die einzelnen Messpunkte der Laserelemente nicht auflösen, so dass auf dem Detektor lediglich der gemeinsamen Projektionspunkt mit einer gemit- telten Intensität detektiert wird. Vorteilhafterweise können die vom Objekt zurückgestrahlten Beobachtungsstrahlen durch Beugung an einer Apertur der Beobachtungsoptik verschmiert werden, so dass Anteile der Be^¬ obachtungsstrahlen gemittelt werden und der Detektor einen gemeinsamen Pro ektionspunkt mit einer gemittelten Intensi^¬ tät detektiert. Die Beugung der Beobachtungsstrahlen an der Apertur der Beobachtungsoptik kann dabei zu Beugungsscheib- chen führen, die abhängig von Form und Größe einer konfokal angeordneten Lochblende in der Beobachtungsoptik gestaltet sind.

Vorteilhafterweise können die Laserelemente Beleuchtungs^¬ strahlen abstrahlen, die in ihrer Wellenlänge moduliert werden und eine voneinander abweichende Wellenlänge inner^¬ halb eines Wellenlängenbereichs aufweisen.

Dadurch wird die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen und damit der Speckle-Effekt zusätzlich zur loka^¬ len Modulation durch die Verteilung der Laserelemente noch durch die Modulation der Wellenlänge der einzelnen Laserelemente vermindert .

Vorteilhafterweise können die Wellenlängen der einzelnen

Laserelemente innerhalb des Wellenlängenbereichs nach einer zufälligen Verteilung verteilt werden.

Durch die zufällige Verteilung der Wellenlänge innerhalb des Wellenlängenbereichs wird die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen besonders wirksam vermindert.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt. Es zeigt die

Fig. 1 eine herkömmliche Vorrichtung zur dreidimensiona- len Vermessung; Fig. 2 eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung nach der Erfindung;

Fig. 3 eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung mit mehreren konfokalen Kanälen;

Fig. 4 eine Skizze der Laserquelle mit VCSEL-Elementen;

Fig. 5 einer Anordnung der Laserelemente in Form von konzentrischen Kreisen; Fig. 6 einer Anordnung der Laserelemente in Form einer

Spirale .

Ausführungsbeispiele

Die Fig.l zeigt eine herkömmliche aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung 1 zur dreidimensionalen Vermessung ei- nes Objekts unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopie^¬ verfahrens. Die Vorrichtung 1 umfasst eine einfache Laser^¬ quelle 2 zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls 3, eine Fokussieroptik 4 aufweisend eine Kollimationslinse, die den Beleuchtungsstrahl 3 auf einen Messpunkt 5 auf eine zu ver- messende Oberfläche des Objekts 6 fokussiert. Die Vorrich^¬ tung weist weiterhin eine Beobachtungsoptik 7 mit einer Lochblende 8 auf, die konfokal zur Fokalebene der Fokus- sieroptik 4 angeordnet ist, so dass sie nur einen von der Oberfläche des Objekts 6 zurückgestrahlten Beobachtungs- strahl 9 zu einem Detektor 10 durchläset. Der Fokuspunkt 11 wird durch Verstellung der Fokussieroptik 4, die durch die Pfeile 12 dargestellt ist, solange entlang einer optischen Achse 13 der Vorrichtung 1 verschoben, bis der Fokuspunkt 11 auf die Oberfläche des Objekts 6 trifft und der Mess- punkt 5 mittels des Detektors 10 detektiert werden kann. Durch diesen Tiefenscan kann die z-Koordinate in Richtung der optischen Achse bestimmt werden. Durch Verschiebung des Fokuspunktes 11 entlang der x-Achse und der y-Achse wird dann das Objekt 6 Punkt für Punkt vollständig vermessen. Aus den Messdaten werden dann mittels eines Computers drei^¬ dimensionale Bilddaten des Objekts 6 berechnet. Bei der konfokalen Vermessung mittels der herkömmlichen Vorrichtung 1 von Objekten 6, die eine unebene Fläche aufweisen, tritt ein Interferenzphänomen auf, das als Speckle-Effekt bekannt ist. Beim Tiefenscan für jeden der Messpunkte 5 wird in Ab- hänigigkeit von der z-Koordinate ein Tiefenprofil 14 er^¬ zeugt. Anhand eines maximalen Werts 15 des Tiefenprofils kann dann die z-Koordinate des Messpunkts auf der Oberflä^¬ che des Objekts 6 ermittelt werden. Der Speckle-Effekt führt zum Signalrauschen 16, das mit der Intensität zu^¬ nimmt, und somit die konfokale Vermessung verfälscht.

Die Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung 20 nach der vorliegenden Erfindung. Im Unterschied zur herkömmlichen Vorrichtung 1 aus Fig. 1 weist die Vorrichtung 20 eine Laserquelle 21 auf, die aus mehreren Laserelementen 22 aufgebaut ist. In der dargestellten Ausführungsform sind die Laserelemente 22 in Form einer orthogonalen Matrix auf einer Platine angeordnet. Die Laserelemente 22 strahlen gleichzeitig Beleuch^¬ tungsstrahlen 3 ab, die auf mehrere Messpunkte 23 auf der Oberfläche des Objekts 6 fokussiert werden. Die Messpunkte 23 sind folglich ebenfalls in Form einer orthogonalen Matrix angeordnet. Die zurückgestrahlten Beobachtungsstrahlen 9 werden mittels eines Strahlteilers 24 zur Beobachtungsop^¬ tik mit der Lochblende 8 abgelenkt und treffen auf den De- tektor 10 auf. Die Beugung der Beobachtungsstrahlen 9 an einer Apertur der gesamten Beobachtungsoptik verursacht für jeden Beobachtungsstrahl so genannte Beugungsscheibchen 25. Dadurch kann die Beobachtungsoptik 7 die einzelnen Beobachtungsstrahlen 9 der Messpunkte 23 nicht auflösen, so dass die Anteile der Beobachtungsstrahlen 9 verschmiert werden und durch den Mittlungseffekt der Detektor lediglich einen einzelnen Messpunkt mit einer gemittelten Intensität detek- tiert. Dadurch werden die Interferenz zwischen den Beobachtungsstrahlen und damit auch der Speckle-Effekt vermindert. Das Tiefenprofil 14 verläuft nun im Vergleich zum Tiefenprofil aus Fig. 1 glatt, so dass der Maximalpunkt 15 und damit die z-Koordinate der Oberfläche des Objekts genauer ermittelt werden kann.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung 20 dargestellt, wobei im Vergleich zu der Vorrichtung aus Fig. 2 mehrere konfokale Kanäle vorhanden sind. Ein erster konfokaler Kanal weist eine erste Kollimatorlinse 30 und eine erste Lochblende 31 auf. Ein zweiter konfokaler Kanal weist eine zweite Kollimatorlinse 32 und eine zweite Loch^¬ blende 33 auf. Der dritte konfokale Kanal weist eine dritte Kollimatorlinse 34 und eine dritte Lochblende 35 auf. Die drei konfokalen Kanäle verwenden die Beleuchtungsstrahlen 3 der gemeinsamen Laserquelle 21. Alternativ dazu kann jeder konfokale Kanal eine eigene Laserquelle aufweisen. Die Kol^¬ limatorlinsen sind in einem Linsen-Array 36 in einer Ebene angeordnet. Die Lochblenden 31, 33 und 35 sind in einem Lochblenden-Array 37 in einer Ebene angeordnet. Durch den dargestellten optischen Aufbau wird ein erstes Bündel 38 von Messpunkten 23 des ersten konfokalen Kanals, ein zweites Bündel 39 und ein drittes Bündel 40 auf die Oberfläche des Objekts 6 projiziert. Dadurch können gleichzeitig drei Tiefenscans durchgeführt werden, um drei z-Koordinaten des Objekts 6 zu ermitteln. Bei mehreren konfokalen Kanälen, beispielsweise bei einer Matrix von 100 x 100 Kanälen kann das Objekt 6 vollständig Schicht für Schicht vermessen wer^¬ den. Dadurch wird die Vermessungsdauer verkürzt, da ein Ab- scannen des Objekts 6 entlang der x-Achse und der y-Achse entfällt. Der Tiefenscan mit dem ersten Kanal ergibt ein erstes Tiefenprofil 41. Der Tiefenscan mit dem zweiten Kanal ergibt ein zweites Tiefenprofil 42. Der Tiefenscan mit dem dritten Kanal ergibt ein drittes Tiefenprofil 43.

Die Fig. 4 zeigt eine Skizze der Laserquelle 21 aus Fig. 2 und Fig. 3, wobei die Laserelemente 22 VCSEL-Elemente sind, die nebeneinander auf einem Chip angeordnet sind. Jedes VCSEL-Element ist ein Halbleiterlaser, bei dem das Laserlicht senkrecht zu einer Ebene 50 abgestrahlt wird. Die lichterzeugenden Elemente 51 sind kreisförmig dargestellt. Die VCSEL-Elemente sind in Form einer orthogonalen Matrix angeordnet. Die VCSEL-Elemente sind aus mehreren Halblei^¬ terschichten 52 aufgebaut und weisen an der Unterseite e- lektrische Kontakte 53 auf, so dass eine direkte Kontaktie- rung erleichtert wird.

Die Fig. 5 zeigt eine Skizze einer Anordnung der Laserele- mente 22 in Form von konzentrischen Kreisen. Alternativ dazu zeigt die Fig. 6 eine Skizze einer Anordnung der Laserelemente 22 in Form einer Spirale.

Bezugs zeichenliste

1 herkömmliche Vorrichtung

2 Laserquelle

3 Beleuchtungsstrahl

4 Fokussieroptik

5 Messpunkt

6 Objekt

7 Beobachtungsoptik

8 Lochblende

9 Beobachtungsstrahl

10 Detektor

11 Fokuspunkt

12 Pfeile

13 optische Achse

14 Tiefenprofil

15 maximaler Wert

16 Signalrauschen

20 Vorrichtung nach der Erfindung

21 Laserquelle

22 Laserelemente

23 Messpunkte

24 Strahlteiler

25 Beugungsscheibchen

30 erste Kollimatorlinse

31 erste Lochblende 32 zweite Kollimatorlinse

33 zweite Lochblende

34 dritte Kollimatorlinse

35 dritte Lochblende

36 Linsen-Array

37 Lochblenden-Array

38 erstes Bündel

39 zweites Bündel

40 drittes Bündel

41 erstes Tiefenprofil

42 zweites Tiefenprofil

43 drittes Tiefenprofil

50 Ebene

51 lichterzeugende Elemente 52 Halbleiterschichten

53 elektrische Kontakte

Claims

PATENTANSPRÜCHE

Vorrichtung (20) zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts (6) unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, umfassend eine Laserquelle (21) zur Er^¬ zeugung eines Beleuchtungsstrahls (3), eine Fokussier- optik (4) zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls (3) auf mindestens einen Messpunkt (5, 23) auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts (6), einen Detektor (10) zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts (6) zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls (9), eine konfokale Beobachtungsoptik (7), die nur den auf die Oberfläche des Objekts (6) fokussierten Beobachtungs^¬ strahl (9) zum Detektor (10) durchläset, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserquelle (21) mehrere kohä^¬ rente Laserelemente (22) umfasst, wobei die Laserele^¬ mente (22) gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen (3) abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte (5, 23) auf der Oberfläche des Objekts (6) fokussiert werden, wobei die Laserelemente (22) so angeordnet sind, dass ein Speck- le-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten SD- Bilddaten vermindert wird.

Vorrichtung (20) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die vom Objekt (6) zurückgestrahlten Beobachtungsstrahlen (9) durch Beugung an einer Apertur der Beobachtungsoptik (7) verschmiert werden, so dass Anteile der Beobachtungsstrahlen (9) gemittelt werden und der Detektor (10) einen gemeinsamen Projektionspunkt mit einer gemittelten Intensität detektiert, wobei die Beugung der Beobachtungsstrahlen (9) an der Apertur der Beobachtungsoptik (7) zu Beugungsscheibchen (25) führt, die abhängig von Form und Größe einer konfokal angeord- neten Lochblende (8) in der Beobachtungsoptik (7) gestaltet sind.

3. Vorrichtung (20) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserelemente (22) Beleuchtungs- strahlen (3) abstrahlen, die in ihrer Wellenlänge moduliert sind und eine voneinander abweichende Wellenlänge innerhalb eines Wellenlängenbereichs aufweisen.

4. Vorrichtung (20) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenlängenbereich innerhalb dessen die Wellenlänge der Laserelemente (22) moduliert ist höchs^¬ tens 60 nm beträgt.

5. Vorrichtung (20) nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlängen der einzelnen Laserelemente (22) innerhalb des Wellenlängenbereichs nach einer zufälligen Verteilung verteilt sind.

6. Vorrichtung (20) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserelemente (22) Beleuchtungs^¬ strahlen (3) gleicher Wellenlänge abstrahlen.

7. Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da- durch gekennzeichnet, dass die Laserelemente (22) im gleichen Abstand zueinander entlang der Zeilen und der Spalten in einer zweidimensionalen orthogonalen Matrix, spiralförmig oder in Form von konzentrischen Kreisen angeordnet sind.

8. Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine Ebene, in der die La^¬ serelemente (22) angeordnet sind, senkrecht zu einer Abstrahlrichtung der Beleuchtungsstrahlen (3) ausgerichtet ist.

Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserquelle (21) mindes^¬ tens 50 Laserelemente (22) umfasst.

Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (20) in ih^¬ ren Abmessungen so ausgestaltet ist, dass sie in ein herkömmliches dentales Handstück integrierbar ist und zur Vermessung von Zähnen als Objekt (6) geeignet ist.

Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts (6) unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, wobei eine Laserquelle (21) einen Be^¬ leuchtungsstrahl (3) abstrahlt, wobei der Beleuchtungs^¬ strahl (3) auf mindestens einen Messpunkt (5, 23) auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts (6) fokus- siert wird, wobei ein von der Oberfläche des Objekts (6) zurückgestrahlter Beobachtungsstrahl (9) mittels eines Detektors (10) erfasst wird, wobei eine Beobach^¬ tungsoptik (7) eine Blende aufweist, die nur den auf die Oberfläche des Objekts (6) fokussierten Beobach^¬ tungsstrahl (9) zum Detektor (10) durchläset, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserquelle (21) mehrere kohä^¬ rente Laserelemente (22) umfasst, wobei die Laserele^¬ mente (22) gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen (3) abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte (5, 23) auf der Oberfläche des Objekts (6) fokussiert werden, wobei die Laserelemente (22) so angeordnet sind, dass ein Speck- le-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten SD- Bilddaten vermindert wird.

Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die vom Objekt (6) zurückgestrahlten Beobachtungs^¬ strahlen (9) durch Beugung an einer Apertur der Beobachtungsoptik (7) verschmiert werden, so dass Anteile der Beobachtungsstrahlen (9) gemittelt werden und der Detektor (10) einen gemeinsamen Pro ektionspunkt mit einer gemittelten Intensität detektiert, wobei die Beu^¬ gung der Beobachtungsstrahlen (9) an der Apertur der Beobachtungsoptik (7) zu Beugungsscheibchen (25) führt, die abhängig von Form und Größe einer konfokal angeord^¬ neten Lochblende (8) in der Beobachtungsoptik (7) gestaltet sind.

13. Vorrichtung (20) nach Anspruch 11 oder 12, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Laserelemente (22) Beleuchtungs^¬ strahlen (3) abstrahlen, die in ihrer Wellenlänge moduliert werden und eine voneinander abweichende Wellenlänge innerhalb eines Wellenlängenbereichs aufweisen.

14. Vorrichtung (20) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich- net, dass die Wellenlängen der einzelnen Laserelemente

(22) innerhalb des Wellenlängenbereichs nach einer zu^¬ fälligen Verteilung verteilt werden.