DE19600520C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen LinsenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur
Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen gemäß dem
Oberbegriff von Anspruch 1 und 9.
Ein solches Verfahren und eine solche Vorrichtung sind aus der
DE 42 18 988 A1 bekannt.
Beim Einbau von optischen Linsen, beispielsweise Sammellinsen
oder Zerstreuungslinsen in hochpräzise optische Instrumente wie
Mikroskope, Ferngläser, optische Meßeinrichtungen etc., treten in der
Regel Positionsabweichungen zwischen dem geometrischen
Mittelpunkt der optischen Achse einer Linse und dem die Linse
haltenden äußeren Trägerkörper auf. Hierdurch ergeben sich auch
bei hochpräzise gefertigten Linsen oder Linsensystemen Abbildungs
fehler, die die Güte und Auflösung eines aus mehreren optischen
Linsen zusammengesetzten optischen Instruments in der Regel in
hohem Maße herabsetzen. Die Positionsabweichungen, die im
folgenden auch als Dezentrierung bezeichnet werden, ergeben sich
beispielsweise dadurch, daß die Ränder der optischen Linsen nicht
hochpräzise gefertigt werden, der Trägerkörper der die Linse trägt,
keine vollständig symmetrische Form aufweist oder die Linse als
solche innerhalb des Trägerkörpers seitlich verschoben oder geneigt
angeordnet ist. So sind bei hochpräzisen optischen Instrumenten,
beispielsweise bei Mikroskopen oder bei Fernrohren, die eine
größere Anzahl von zueinander ausgerichteten Linsen aufweisen,
bereits Verschiebungen in der Größenordnung von nur wenigen
Zentel Mikrometern ausreichend, um die Abbildungsgüte eines
solchen hochpräzisen optischen Instruments in starkem Maße zu
verringern.
Um eine zuvor beschriebene Dezentrierung einer Linse ausgleichen
zu können, wird die Linse in ihrem Trägerkörper mit Hilfe von
radial am Linsenrand angreifenden Halteschrauben in der Weise
aufgehängt, daß diese durch ein Verdrehen der Schrauben justiert
werden kann. Hierzu können die Linsen beispielsweise durch zwei,
drei, vier oder mehr Schrauben gehalten werden.
Das Justieren des zusammengesetzten Linsensystems eines hoch
präzisen optischen Instruments erfolgt bei dessen Zusammenbau in
der Regel dadurch, daß das Instrument auf eine erste Linse justiert
wird, die Dezentrierung dieser Linse bestimmt und anschließend die
Linse durch Verstellen der Stellschrauben in der Weise justiert wird,
daß die Dezentrierung der ersten Linse verschwindet. Im Anschluß
daran wird eine nächste Linse eingesetzt, deren Dezentrierung
bestimmt und die Linse durch Verstellen der Stellschrauben wie
zuvor beschrieben justiert.
Die Bestimmung der Dezentrierung der einzelnen Linsen erfolgt
dabei mit bekannten Vorrichtungen, bei denen ein von einer
Lichtquelle beleuchtetes Objekt über ein Linsensystem auf eine der
Oberflächen einer zu justierenden optischen Linse projiziert wird,
das von der Oberfläche reflektierte Bild des Objektes über entspre
chende Linsen auf einem Schirm abgebildet wird und aus der sich bei
einer Rotation der zu untersuchenden Linse ergebenden Bewegung
des Bildes auf dem Schirm sodann die Dezentrierung der Linse
bestimmt wird. Durch entsprechendes Justieren der Linse in ihrer
Halterung mit Hilfe der Stellschrauben wird die Auslenkung des Bildes auf
dem Schirm auf Null reduziert und somit die Dezentrierung der Linse
beseitigt.
Die eingangs genannte DE 42 18 988 A1 beschreibt eine Vorrichtung zur Messung der Dezen
trierung von optischen Linsen, bei der Laserlicht über einen Strahlteiler
und ein Meßobjektiv auf die zu untersuchende Fläche eines rotierenden
Linsenprüflings abgebildet wird. Das vom Prüfling reflektierte Licht wird
anschließend über das Meßobjektiv, den Strahlteiler und ein Sensor
objektiv auf einen CCD-Zeilensensor projiziert. In Abhängigkeit von der
Winkelgradstellung des rotierenden Prüflings sowie der Ortspostion des
Lichtflecks auf dem CCD-Zeilensensor wird im Anschluß daran die
Dezentrierung durch einen Rechner bestimmt. Durch rechnergesteuertes
Wechseln des Meßobjektives sowie des Sensorobjektivs kann die
Vorrichtung an unterschiedliche Radien des Linsenprüflings angepaßt.
bzw. die Ausdehnung des Lichtflecks so gewählt werden, daß der Lichtfleck
auch bei den größten zu erwartenden Dezentrierungen noch auf dem CCD-
Zeilensensor abgebildet wird.
Aus dem Handbuch der Physik, S. Flügge, Hrsg., Bd. XXIX. Optische
Instrumente, Berlin u. a.: Springer 1967, S. 825-827 ist ein Verfahren und
eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen
bekannt, bei denen die zu untersuchende Linse durch einen drehbaren
Dorn gehalten und die Ablage des Krümmungsmittelpunktes der
Linsenfläche von der Drehachse mit Hilfe eines Autokollimationsfern
rohres, welches auf der Drehachse angeordnet ist, ausgemessen wird.
Die DD 250 571 A1 beschreibt eine Anordnung zum Justieren optischer
Achsen verkitteter optischer Linsensysteme, bei der das zu justierende
Linsensystem zwischen eine Ringschneide und einen Stempel gespannt
wird und ein die Ablage des Krümmungsmittelpunktes zu einer definierten
Achse anzeigendes Lichtbündel über ein Reflexbildgerät auf einen
photoelektrischen Detektor projiziert wird. Das Reflexbildgerät umfaßt
dabei ein fokussierbares Objektiv, einen teildurchlässigen Spiegel, eine Blende
und eine Beleuchtungseinrichtung. Unmittelbar vor dem Detektor ist eine
über einen Motor angetriebene drehbare Halbblende angeordnet, die
zusammen mit einer Winkelmeßeinrichtung ein Azimutsignal erzeugt,
welches einem Steuergerät zugeführt wird. In Abhängigkeit vom
Azimutsignal der Halbblende sowie dem zugehörigen Detektorsignal
werden anschließend die Positionen der einzelnen Linsen des
Linsensystems über Stellglieder solange justiert, bis das Detektorsignal
eine vorgegebene Abschaltschwelle unterschreitet. Die beschriebene
Anordnung gestattet zwar eine automatische Justierung eines Linsen
systems, sie besitzt jedoch eine vergleichsweise geringe Genauigkeit, mit
der die Dezentrierung der einzelnen Linsen des Linsensystems bestimmt
werden kann.
Aus der DE 40 38 727 A1 ist eine Anordnung zur Justierung von Linsen
bekannt, bei der die zu justierende Linse auf einer Ringschneide aufliegt
und mittels Unterdruck auf dieser gehalten wird. Die Ringschneide ist über
einen Kegel bezüglich der mechanischen Achse eines hochgenauen Lagers
ausgerichtet. Die Dezentrierung der Linse wird über ein optisches System
und einen Empfänger erfaßt. Dazu wird über eine Auswerte- und Steuerein
richtung zur Bestimmung der Phasenlage und der Größe der Dezentrierung
eine gezielte Verstellung der Linse auf der Ringschneide mit Hilfe eines
Manipulators erreicht. Zur Auswertung der Empfängersignale wird durch
über am mechanischen Aufbau definiert angeordnete Optokoppler ein
Referenzsignal während der Drehung des Aufbaus erzeugt.
Nachteilig bei diesen Vorrichtungen zur Bestimmung der Dezentrierung
von optischen Linsen nach dem Stand der Technik ist es, daß sie nur eine
vergleichsweise geringe Auflösung besitzen und Messungen mit einer
hohen Genauigkeit, die durch mehrfache Wiederholung von
Einzelmessungen vorgenommen werden, einen großen Zeitaufwand
erfordern oder oftmals überhaupt nicht möglich sind, insbesondere dann,
wenn der Signalpegel sehr klein ist. Darüber hinaus eignen sich die
Vorrichtungen nach dem Stand der Technik teilweise nicht zur Messung
der Dezentrierung von bestimmten Typen optischer Linsen.
Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, ein Verfahren und
eine Vorrichtung zu schaffen, mit denen sich die Dezentrierung von
optischen Linsen mit hoher Präzision und in kurzer Zeit bestimmen läßt.
Weiterhin ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren
und eine Vorrichtung zu schaffen, welche die Bestimmung der
Dezentrierung eines zusammengesetzten optischen Instruments mit einer
Vielzahl von Linsen ermöglichen.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale von
Anspruch 1 und 9 gelöst. Weitere Merkmale der Erfindung sind in den
Unteransprüchen enthalten.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung
liefern eine erhöhte Genauigkeit und ein erhöhtes Auflösungsvermögen bei
der Messung der Dezentrierung einer optischen Linse oder eines optischen
Linsensystems. Das Auflösungsvermögen, mit welchem die Fähigkeit
bezeichnet wird, die Dezentrierung von Linsenoberflächen zu messen,
deren Zentren nur einen sehr kleinen Abstand entfernt voneinander
angeordnet sind, wird erfindungsgemäß durch die Kombination der
adaptiven Steuerung des Lichts, dem
Space-Averaging eines Autokollimations-Bildmusters eines Testob
jekts, der Verwendung eines elektronischen Detektors in Form eines
CCD-Zeilensensors oder CCD-Flächensensors und der digitalen
Weiterverarbeitung des detektierten Bildmusters durch einen
Computer erreicht.
Die Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die Zeichnungen an
hand bevorzugter Ausführungsformen beschrieben.
In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer
Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung einer
optischen Linse nach der Erfindung,
Fig. 2 eine vergrößerte Darstellung des in einer
Vorichtung nach der Erfindung verwendeten
Drehspiegels mit dem zugehörigen Strahlengang des auf
die erste Seite des Spiegels auftreffenden Lichtes,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung des Strahlenganges an einer
zentrierten Linse (durchgezogen) sowie an einer
dezentrierten Linse (gestrichelt),
Fig. 4 eine vergrößerte Darstellung des Strahlenganges
zwischen der zweiten Seite des Drehspiegels und dem
CCD-Sensor im Falle einer zentrierten Linse
(durchgezogen) und im Falle einer dezentrierten Linse
(gestrichelt),
Fig. 5 den Verlauf der Intensität der Lichtquelle sowie die
zugehörige Winkelposition des Drehspiegel in
Abhängigkeit von der Zeit.
Die in Fig. 1 schematisch dargestellte erfindungsgemäße Vorrichtung
1 zur Bestimmung der Dezentrierung einer optischen Linse 2, die in
einer Halterung 4, z. B. dem Okular eines Fernrohres, dem Objektiv
eines Mikroskops oder allgemein dem Trägerkörper eines optischen
Instruments mittels Stellschrauben 6 gehalten wird, enthält eine
Lichtquelle 8, die ihr Licht über eine erste Linse oder ein erstes
Linsensystem 10, beispielsweise einen Kollimator, auf ein dem ersten
Linsensystem 10 nachgeordnetes Objekt 12 Wirft. Bei der bevor
zugten Ausführungsform der Erfindung wird die Lichtquelle 8 durch
eine Laserdiode gebildet, deren divergentes Laserlicht durch das als
Kollimator ausgebildete erste Linsensystem 10 im Bereich des
Objektes 12 kollimiert wird. Das Objekt 12 kann beispielsweise
durch ein Strichmuster, ein oder mehrere Kreuze oder ein beliebiges
anderes Muster gebildet werden und besteht bei der bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung aus einem sich in vertikaler Richtung
erstreckenden einzelnen Spalt.
Das von dem angestrahlten Objekt 12 ausgesandte Bildmuster wird
über einen Umlenkspiegel 14 und eine zweite, das vom Umlenkspie
gel 14 reflektierte Licht parallelisierende Linse oder ein Linsensys
tem 15 in im wesentlichen paralleler Form auf eine erste Reflexions
ebene oder Spiegeloberfläche 16 eines Scanners 18 projiziert. Bei
der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Scanner
18 durch einen Drehspiegel gebildet, der wie in Fig. 2 gezeigt, um
eine vorzugsweise vertikale Drehachse 19a periodisch zwischen zwei
Umkehrpunkten um entsprechende Winkel Φ1 und Φ2 durch einen
Motor 19 hin- und hergeschwenkt wird. Die Schwenkbewegung des
Drehspiegels 18, d. h. der Schwenkwinkel Φ des Drehspiegels 18 in
Abhängigkeit von der Zeit t, ist bei der bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung einstellbar und kann beispielsweise eine Sinus-
Funktion, eine in Fig. 5 dargestellte im wesentlichen dreiecksför
mige Funktion oder eine sonstige periodische Funktion sein. Die in
Fig. 5 dargestellte dreiecksförmige Funktion hat den Vorteil, daß die
Verweildauer des Drehspiegels 18 im Bereich der Nullpunktslage im
Vergleich zur Verweildauer an den Umkehrpunkten vergleichsweise
groß ist, wodurch sich eine verbesserte Auflösung der erfindungsge
mäßen Vorrichtung 1 erzielen läßt.
Der Schwenkwinkel Φ1 bzw. Φ2, um den der Drehspiegel 18
ausgelenkt wird, liegt im Bereich zwischen 0° und 2°, beispiels
weise 1°, in jede Richtung und ist vorzugsweise einstellbar. Der
Schwenkwinkel Φ1, Φ2 kann jedoch auch hiervon abweichende
Werte annehmen. Die Frequenz, mit der der Drehspiegel 18 hin- und
hergeschwenkt wird, ist einstellbar und liegt im Bereich zwischen
einigen Hertz und einigen 100 Hertz, beispielsweise 50 Hertz oder
200 Hertz. Im einfachsten Falle kann der Motor 19 ein Schrittmotor
sein, an dessen Welle 19a ein doppelseitiger Spiegel befestigt ist. Der
Motor 19 wird durch Anlegen von entsprechenden Steuerpulsen
abwechselnd um einen Schritt vor und anschließend um einen
Schritt zurück rotiert. In einer Hochpräzisions-Ausführungsform der
Erfindung wird der Scanner 18 vorzugsweise durch ein bekanntes
Spiegel-Galvanometer gebildet.
Das von der ersten Reflexionsebene oder Spiegeloberfläche 16 des
Drehspiegels 18 reflektierte Bildmuster des Objekts 12 wird
anschließend, wie in Fig. 1 gezeigt, über einen zweiten Umlenkspie
gel 22 einem Strahlteiler 24 zugeführt. Der Strahlteiler 24 kann bei
spielsweise durch einen halbdurchlässigen Spiegel 26 gebildet
werden oder einen solchen halbdurchlässigen Spiegel 26 enthalten,
an dem ein Teil des einfallenden Lichts reflektiert wird und der
andere Teil des Lichts durch diesen hindurchtritt. Das im wesentli
chen in paralleler Form von der Oberfläche des Spiegels 26
reflektierte Licht wird anschließend einem dritten Linsensystem 28,
beispielsweise einem Mikroobjektiv, mit einer ersten Linse 30 und
einer dieser ersten Linse in Richtung des einfallenden Lichts
gesehen nachgeordneten zweiten Linse 32 zugeführt, welches das
Bildmuster des Objekts 12 auf einer zu untersuchenden Oberfläche
34 der Linse 2 abbildet, deren Dezentrierung bestimmt werden soll.
Die Fokussierung des Linsensystems 28 ist bei der bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung derart gewählt, daß der Fokus des
Linsensystems 28 in einer Ebene 36 liegt, die im wesentlichen
senkrecht zur optischen Achse durch den Krümmungsmittelpunkt
40 der Linsenoberfläche 34 verläuft. Ein Teil des Lichts des
einfallenden Bildmusters wird an der zu untersuchenden Linsenober
fläche 34 reflektiert und gelangt auf dem Wege des einfallenden
Lichts zurück in das Linsensystem 28 (Autokollimation), aus
welchem es in im wesentlichen paralleler Form durch die Linse 30
austritt und am halbdurchlässigen Spiegel 26 des Strahlteilers 24 zu
einem Teil reflektiert wird und zum anderen Teil durch diesen
hindurchtritt. Das durch den Spiegel 26 des Strahlteilers 24
hindurchtretende Licht des Bildmusters wird von einem dritten
Umlenkspiegel 42 umgelenkt und in im wesentlichen paralleler
Form auf die zweite Reflexionsebene 17 des Drehspiegels 18
projiziert. Die zweite Reflexionsebene 17 des Drehspiegels 18 ist
vorzugsweise parallel zur ersten Reflexionsebene oder Spiegel
oberfläche 16, kann jedoch gegenüber dieser auch leicht geneigt
sein. Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die
erste Reflexionsebene 16 und die zweite Reflexionsebene 17 parallel
zueinander angeordnet.
Das von der zweiten Reflexionsebene 17 reflektierte Licht wird über
eine vierte Linse oder ein Linsensystem 44 auf den lichtempfind
lichen Bereich 46 eines optischen Sensors 48 fokussiert, wie dies
z. B. in Fig. 4 vergrößert dargestellt ist. Bei der bevorzugten Ausfüh
rungsform der Erfindung wird der optische Sensor 48 durch einen
im Stand der Technik bekannten CCD-Zeilensensor gebildet. Anstelle
eines CCD-Zeilensensors kann jedoch ebenfalls ein CCD-Flächensen
sor oder eine oder mehrere nebeneinander angeordnete herkömm
liche Fotozellen oder entsprechende elektronische Bauelemente mit
der gleichen Funktion verwendet werden.
Das auf den CCD-Zeilensensor 48 auftreffende Bildmuster des Objekts
12 wird von der entsprechenden Zelle des lichtempfindlichen
Bereichs 46 des Sensors 48 in eine entsprechende Ladungsmenge
umgewandelt, die anschließend von einer zentralen Steuerungs- und
Auswerteinrichtung 50 ausgelesen und ausgewertet wird. Der Bereich
der CCD-Zeile, in welchem sich die größte Ladungsmenge ange
sammelt hat, entspricht hierbei dem in Fig. 4 dargestellten Punkt P,
in dem das Bildmuster des Objekts 12 auf der CCD-Zeile abgebildet
wird. Als nächstes wird die Linse 2 um einen Winkelbetrag von 180°
rotiert, der CCD-Sensors 48 zurückgesetzt, eine erneute Messung
durchgeführt und in der oben beschriebenen Weise der Bereich P
der CCD-Zeile, in welchem sich z. B. die größte Ladungsmenge
angesammelt hat, bestimmt. Der geometrische Abstand zwischen
dem zuerst bestimmten Punkt P und dem nach einer Drehung der
Linse 2 um 180° bestimmten Punkt P ist ein unmittelbares Maß für
die Dezentrierung der Linse 2. Aus ihm kann ebenfalls der
Absolutwert der Dezentrierung der Linse 2 mit Hilfe der
Vergrößerungsfaktoren der Linsen oder Linsensysteme 28 und 44
berechnet werden.
Um die Genauigkeit der Bestimmung der Position des Bildmusters
des Objekts 12, welches auf den CCD-Sensor 48 auftrifft, und damit
das Auflösungsvermögen der erfindungsgemäßen Vorrichtung weiter
zu erhöhen, wird die Position des Bildmusters vorzugsweise durch
eine Berechnung des Zentrums der Energie-Symmetrie bestimmt,
was auch als "Digital Linear Filtering" bezeichnet wird. Daneben kann
die Position in gleicher Weise mit einer erhöhten Genauigkeit durch
Berechnung des Maximums einer Korrelations-Funktion, der
Centroid-Methode, dem sogenannten "Karmann-Filtering" oder
durch Anwendung einer anderen bekannten mathematischen
Methode bestimmt werden.
Gewünschtenfalls kann die Linse 2 anschließend um einen Winkel
von 90° rotiert werden, um die Dezentrierung der Linse 2 in einer
zweiten, zur ersten Richtung senkrechten Richtung zu bestimmen.
Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist es vorge
sehen, die Linse 2 in vorgebbaren Winkelschritten, beispielsweise in
1°-Schritten, um 180° oder 360° zu rotieren und nach jedem
Winkelschritt eine Bestimmung der Dezentrierung vorzunehmen, um
die Dezentrierung über den gesamten Winkelbereich von 360°
aufzunehmen. Das Rotieren der Linse 2 kann dabei beispielsweise
mit Hilfe eines motorbetriebenen Spindelantriebs 52 erfolgen, wel
cher durch die zentrale Steuerungs- und Auswerteinrichtung 50
gesteuert wird. Zur Messung der Winkelstellung des Spindelantriebs
52 kann ferner, wie in Fig. 1 gezeigt, ein Winkelmeßgeber 54
vorgesehen sein, welcher der zentralen Steuerungs- und Auswert
einrichtung 50 die jeweilige Winkelposition des Spindelantriebs 52
zuführt.
In dieser Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Berechung der
Dezentrierung durch die zentrale Steuerungs- und Auswert
einrichtung 50, welche in diesem Falle beispielsweise durch einen
bekannten IBM-compatiblen Personal Computer und entsprechende
Software gebildet sein kann, anhand der nachfolgend aufgeführten
Formeln:
worin
x0(j) die Position des Bildmusters des Testobjekts bei einem Rotationswinkel αj,
αj = 2π/n.j der j-te Winkelschritt der Spindelrotation,
j eine ganze Zahl 0, 1, 2, . . . n, und
b die gemeinsame optische Vergrößerung des optischen Linsensystems 32, der Linse 30 und der Linse 44 ist.
x0(j) die Position des Bildmusters des Testobjekts bei einem Rotationswinkel αj,
αj = 2π/n.j der j-te Winkelschritt der Spindelrotation,
j eine ganze Zahl 0, 1, 2, . . . n, und
b die gemeinsame optische Vergrößerung des optischen Linsensystems 32, der Linse 30 und der Linse 44 ist.
Das Bildmuster des von der Lichtquelle 8 beleuchteten Objekts 12
gelangt über den ersten Umlenkspiegel 14 auf die periodisch hin-
und hergeschwenkte erste Reflexionsebene oder Oberfläche 16 des
Drehspiegels 18 und wird von dieser in einen dem Schwenkwinkel
entsprechenden Raumwinkelbereich hinein reflektiert. Ein entspre
chender Strahlengang ist beispielsweise in Fig. 2 vergrößert darge
stellt. Zu dem Zeitpunkt, in dem der Drehspiegel 18 die in Fig. 1
dargestellte Ruheposition einnimmt, gelangt das Bildmuster über
den zweiten Umlenkspiegel 22 und den Strahlteiler 24 in das
Mikroobjektiv 28 und von dort aus auf die Oberfläche 34 der zu
untersuchenden Linse 2.
Wie in Fig. 3 im Detail gezeigt, wird das Bildmuster, welches entlang
der optischen Achse des Mikroobjektivs 28 auf die Linsenoberfläche
34 trifft, im Falle einer präzise zur optischen Achse 27 des Mikroob
jektivs 28 zentrierten Linse 2 (durchgezogene Linien) zu einem Teil
entlang der optischen Achse 27 in das Mikroobjektiv 28 zurückre
flektiert und gelangt von dort durch den Strahlteiler 24 hindurch
und den dritten Umlenkspiegel 42 auf die Rückseite 17 des Dreh
spiegels 18 und von dort aus wie zuvor beschrieben und in Fig. 4 im
Detail gezeigt, über die vierte Linse 44 in das Zentrum des CCD-
Zeilensensors 48.
Für den Fall, daß die Linse 2 dezentriert ist, d h. die optische Achse
38 der Linse 2 nicht mit der optischen Achse 27 des Mikroobjektivs
28 zusammenfällt (gestrichelte Linien in Fig. 3), wird das Bildmuster
entlang der gestrichelten Linien in Fig. 3 im Winkel zur optischen
Achse 27 in das Mikroobjektiv 28 zurückreflektiert und wird von
dort aus über die Rückseite 17 des sich in diesem Augenblick in der
Ruheposition befindenden Drehspiegels 18 und das Linsensystem 44
auf einen im Abstand d vom Zentrum des in Fig. 4 gezeigten CCD-
Zeilensensors 48 gelegenen Bereich oder Punkt P abgebildet.
Durch die Hin- und Herbewegung des Drehspiegels 18 wird
zusätzlich eine sogenannte Mittelung der von der Lichtquelle 8
ausgesandten Lichtintensität über einen bestimmten, durch den
Schwenkwinkel Φ des Drehspiegels 18 vorgegebenen Raumwinkel
bereich durchgeführt, welche im folgenden auch als Space-Averaging
bezeichnet wird. Das Space-Averaging führt dazu, daß das einfallende
Licht des Bildmusters infolge des sich ändernden Winkels des Dreh
spiegels 18 vergleichbar einem Scanner periodisch über die
Oberfläche 34 der Linse 2 streift. Die an den jeweiligen Winkelstel
lungen des Drehspiegels 18 von der Linsenoberfläche 34 ausge
sandten Lichtreflexe des Bildmusters gelangen teilweise zurück in
das Mikroobjektiv 28 und werden von dort aus über einen
bestimmten Raumwinkelbereich auf die zweite Spiegeloberfläche 17
des Drehspiegels 18 geworfen. Wie es sich gezeigt hat, weisen
diejenigen Lichtreflexe, die von der Linsenoberfläche 34 bei einer
45°-Stellung des Drehspiegels 18 wie in Fig. 4 gezeigt, entsprechend
der Dezentrierung der Linse in dem Bereich P des Sensors 48
abgebildet werden, eine höhere Lichtintensität auf, als die Licht
reflexe, die auf danebenliegende Punkte oder Bereiche abgebildet
werden.
Allgemein kann das elektrische Signal des CCD-Sensors 48 durch
folgende Formel ausgedrückt werden:
worin
E(Xs) das elektrische Signal des CCD-Sensors 48,
Xs die CCD-Ebene,
Q(Xs) die Intensitäts-Funktion des Objekts 12,
ti die Integrationszeit,
N(Xc) das Orts-Rauschen,
Xc die Koordinate in der Brennebene der Linse 30,
f1, f2 die Brennweiten der Linsen 44 und 30,
γ0 die Amplitude des Winkels Φ der Scannerbewegung,
E(Xs) das elektrische Signal des CCD-Sensors 48,
Xs die CCD-Ebene,
Q(Xs) die Intensitäts-Funktion des Objekts 12,
ti die Integrationszeit,
N(Xc) das Orts-Rauschen,
Xc die Koordinate in der Brennebene der Linse 30,
f1, f2 die Brennweiten der Linsen 44 und 30,
γ0 die Amplitude des Winkels Φ der Scannerbewegung,
Der erste Term der Formel (1) entspricht dem detektierten
Bildmuster des Test Objekts 12, wohingegen der zweite Term der
Formel (1) den Mittelwert des Orts-Rauschens beschreibt.
Durch eine Wiederholung des Scanvorgangs, beispielsweise für einige
einhundert mal, läßt sich insbesondere in Zusammenhang mit einem
CCD-Zeilensensor, der die Menge des in seine lichtempfindlichen
Zellen einfallenden Lichts bis zum Zurücksetzen des Sensors
kumulativ speichert, d h. eine Integration der in jede Zelle einfallen
den Lichtmenge durchführt, eine erhebliche Steigerung der
Auflösung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 erzielen. So lassen
sich hierdurch und/oder durch die zusätzliche Verwendung einer
der zuvor beschriebenen mathematischen Methoden zur genaueren
Bestimmung der Position des Bildmusters des Objekts 12 auf dem
CCD-Sensor 48 selbst die Lichtreflexe von sehr schwachen
Reflexionen, wie sie beispielsweise infolge der sehr geringen
Unterschiede im Brechungsindex zwischen dem optischen Kitt zum
Verbinden zweier Linsen und dem Linsenmaterial als solchem
auftreten, mit dem oben beschriebenen Verfahren, bzw. der oben
beschriebenen Vorrichtung durch wiederholtes Scannen der
Linsenoberfläche noch hinreichend gut auflösen. Hierdurch ist es
möglich, selbst bei mit Hilfe von optischem Kitt zusammengesetzten
mehrfachen Linsensystemen, wie sie in hochpräzisen optischen
Instrumenten verwendet werden, eine Bestimmung der Dezen
trierung jeder einzelnen Linse vorzunehmen, um das Linsensystem
entsprechend auch im nachhinein justieren zu können.
Eine weitere Steigerung der Auflösung läßt sich weiterhin dadurch
erzielen, daß die Intensität der Lichtquelle 8 und/oder die Pulslänge
des Lichts, welches von der Lichtquelle 8 emittiert wird, in Abhängig
keit von der Winkelposition des Scanners oder Drehspiegels 18
gesteuert wird. In diesem Falle wird die Intensität des Lichts an den
Wendepunkten des Drehspiegels 18, an denen sich der Spiegel in
der Regel mit einer gegenüber der in Fig. 5 gezeigten Nullpunktslage
O verringerten Geschwindigkeit bewegt, herabgesetzt, wodurch der
CCD-Zeilensensor 48 an den Wendepunkten nicht in die Sättigung
getrieben wird. Die Steuerung der Lichtintensität kann im Falle eines
Lasers beispielsweise über eine im Stand der Technik bekannte
Kerr-Zelle oder einen sonstigen Intensitäts- oder Pulslängenmodu
lator erfolgen. Für den Fall, daß die Lichtquelle 8 durch eine
herkömmliche elektrische Glühlampe gebildet wird, kann die
Lichtintensität beispielsweise ebenfalls durch Verändern der
zugeführten elektrischen Leistung gesteuert werden. Ein Beispiel für
den Intensitätsverlauf in Abhängigkeit von der Zeit, bzw. in
Abhängigkeit von der Winkelposition des Drehspiegels 18, ist in Fig. 5
dargestellt. Wie aus der Zeichnung hervorgeht, wird die Intensität I
der Lichtquelle 8 im Bereich der Umkehrpunkte des Drehspiegels
18 auf einen Wert I0 abgesenkt und in Bereich der Nullpunktslage O
des Drehspiegels 18 auf einen Wert I1 erhöht. Je nach Art der
verwendeten Lichtquelle oder des verwendeten Intensitäts- oder
Pulslängenmodulators kann die Intensität I0 bis auf null herabgesenkt
werden. Der in Fig. 5 gezeigte zeitliche Verlauf der Lichtintensität ist
lediglich beispielhaft und nicht auf die dort gezeigte Funktion
beschränkt. So kann der Intensitätsverlauf beispielsweise auch
sinusförmig oder dreiecksförmig sein oder kann eine sonstige
beliebige periodische Abhängigkeit aufweisen.
Durch das erfindungsgemäße Space-Averaging an der ersten und
zweiten Spiegeloberfläche 16, 17 des Drehspiegels 18 läßt sich
weiterhin eine beachtliche Steigerung der Meßgeschwindigkeit er
zielen. Somit ergibt sich durch den Einsatz des erfindungsgemäßen
Verfahrens, bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine erheb
liche Erhöhung der Auflösung und der Geschwindigkeit bei der Be
stimmung der Dezentrierung einer Linse oder eines Linsensystems 2.
Daneben bietet die erfindungsgemäße Vorrichtung eine erhöhte
Funktionalität, da es mit ihr möglich ist, selbst die Dezentrierung
von Linsen in einem fertig zusammengebauten optischen Instrument
durch einfaches Fokussieren des Mikroobjektivs 28 auf die entspre
chende Linse des optischen Instruments zu bestimmen.
Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die zentra
le Steuerungs- und Auswerteinrichtung 50 vorzugsweise durch einen
Personal Computer gebildet, der mit entsprechenden Schnittstellen
karten zur Steuerung der Intensität der Lichtquelle 8, der Frequenz
und/oder des Winkels Φ des Scanners oder Drehspiegels 18 sowie
des Spindelantriebs 52 ausgerüstet sein kann. Der Personal Compu
ter kann weiterhin entsprechende Schnittstellenkarten zum Ausle
sen und Zurücksetzen des CCD-Sensors 48 sowie zur Messung der
Winkelposition des Spindelantriebs 52 mit Hilfe des Winkel
meßgebers 54 sowie des Drehwinkels Φ des Drehspiegels 18
enthalten. Die Steuerschaltungen, die zum Betrieb der zuvor
genannten Komponenten benötigt werden, können entweder als in
den Figuren nicht dargestellte analoge Schaltungen ausgebildet sein.
In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind sie jedoch
als im PC enthaltene Softwareprogramme realisiert.
Claims (19)
1. Verfahren zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen
Linsen, bei dem Licht erzeugt und einem lichtempfindlichen,
ortsauflösenden Detektor (48) zugeführt wird,
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
Erzeugen eines optischen Bildmusters durch Anstrahlen eines Objektes (12) mit Licht, Reflexion des Bildmusters an einer ersten Reflexionsebene (16) eines periodisch hin- und herbewegten Reflexionsmediums (18), Projektion des reflektierten Bildmusters auf eine Oberfläche der zu untersuchenden optischen Linse (2),
Abbilden des von der Linsenoberfläche reflektierten Bildmusters auf eine zur ersten Reflexionsebene parallele zweite Reflexions ebene (17) des Reflexionsmediums (18), Abbilden des von der zweiten Reflexionsebene (17) reflektierten Bildmusters auf den lichtempfindlichen, ortsauflösenden Detektor (48) und Bestim mung der Ortsposition des auf den Detektor (48) auftreffenden Bildmusters.
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
Erzeugen eines optischen Bildmusters durch Anstrahlen eines Objektes (12) mit Licht, Reflexion des Bildmusters an einer ersten Reflexionsebene (16) eines periodisch hin- und herbewegten Reflexionsmediums (18), Projektion des reflektierten Bildmusters auf eine Oberfläche der zu untersuchenden optischen Linse (2),
Abbilden des von der Linsenoberfläche reflektierten Bildmusters auf eine zur ersten Reflexionsebene parallele zweite Reflexions ebene (17) des Reflexionsmediums (18), Abbilden des von der zweiten Reflexionsebene (17) reflektierten Bildmusters auf den lichtempfindlichen, ortsauflösenden Detektor (48) und Bestim mung der Ortsposition des auf den Detektor (48) auftreffenden Bildmusters.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu untersuchende optische Linse (2) nach der Bestimmung der
Ortsposition um einen vorgegebenen Winkelbetrag gedreht wird.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Ortsposition des auf den Detektor (48) abgebildeten
Bildmusters in Abhängigkeit von der Winkelposition der optischen
Linse (2) bestimmt wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Detektor (48) durch einen CCD-Sensor gebildet wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Reflexionsmedium (18) durch einen ebenen doppelseitigen
Spiegel gebildet wird, dessen einander gegenüberliegende
Spiegelflächen die erste und zweite Reflexionsebene (16, 17) bilden.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Reflexionsmedium (18) um eine Ruhelage motorisch hin- und
hergeschwenkt wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtintensität der Lichtquelle (8) in Abhängigkeit von der
Winkelposition des Reflexionsmediums (18) verändert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtintensität der Lichtquelle (8) an den Umkehrpunkten des
Reflexionsmediums (18) herabgesetzt wird.
9. Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen
Linsen, mit einer Lichtquelle (8) und einem lichtempfindlichen,
ortsauflösenden Detektor (48), zur Durchführung des Verfahrens
nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
eine ein Objekt (12) beleuchtende Lichtquelle (8) zur Erzeugung eines dem Objekt (12) entsprechenden Bildmusters,
ein periodisch hin- und herbewegtes, eine erste Reflexionsebene (16) und eine zu dieser parallele zweite Reflexionsebene (17) aufweisendes optisches Reflexionsmedium (18),
erste Mittel (14, 15) zum Abbilden des Bildmusters auf die erste Reflexionsebene (16) des Reflexionsmediums (18);
zweite Mittel (22, 24, 28) zum Abbilden des von der ersten Reflexionsebene (16) reflektierten Bildmusters auf eine Oberfläche (34) der zu untersuchenden optischen Linse (2); und
dritte Mittel (28, 24, 42) zum Abbilden des von der Oberfläche (34) der Linse (2) reflektierten Bildmusters auf die zweite Reflexionsebene (17) des Reflexionsmediums (18),
wobei der lichtempfindliche, ortsauflösende Detektor (48) das von der zweiten Reflexionsebene (17) reflektierte Bildmuster räumlich optisch detektiert.
gekennzeichnet durch
eine ein Objekt (12) beleuchtende Lichtquelle (8) zur Erzeugung eines dem Objekt (12) entsprechenden Bildmusters,
ein periodisch hin- und herbewegtes, eine erste Reflexionsebene (16) und eine zu dieser parallele zweite Reflexionsebene (17) aufweisendes optisches Reflexionsmedium (18),
erste Mittel (14, 15) zum Abbilden des Bildmusters auf die erste Reflexionsebene (16) des Reflexionsmediums (18);
zweite Mittel (22, 24, 28) zum Abbilden des von der ersten Reflexionsebene (16) reflektierten Bildmusters auf eine Oberfläche (34) der zu untersuchenden optischen Linse (2); und
dritte Mittel (28, 24, 42) zum Abbilden des von der Oberfläche (34) der Linse (2) reflektierten Bildmusters auf die zweite Reflexionsebene (17) des Reflexionsmediums (18),
wobei der lichtempfindliche, ortsauflösende Detektor (48) das von der zweiten Reflexionsebene (17) reflektierte Bildmuster räumlich optisch detektiert.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Reflexionsmedium (18) durch einen motorisch bewegten
ebenen doppelseitigen Spiegel gebildet wird, dessen einander
gegenüberliegende Spiegelflächen die erste und zweite
Reflexionsebene (16, 17) bilden.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10,
dadurch gekennzeichnet, da, daß
der Antrieb des Reflexionsmediums (18) durch einen Schritt
motor (19a) erfolgt.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Detektionsmittel
(48) durch einen CCD-Sensor gebildet werden.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu untersuchende Linse (2) nach der Bestimmung der
Ortsposition um einen vorgegebenen Winkelbetrag gedreht wird.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Drehung der Linse (2) durch einen Spindelantrieb (52)
erfolgt.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtintensität der Lichtquelle (8) in Abhängigkeit von der
Winkelposition (Φ) des Reflexionsmediums (18) verändert wird.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtintensität der Lichtquelle (18) an den Umkehrpunkten
des Reflexionsmediums (18) herabgesetzt wird.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine zentrale Steuerungs- und Auswerteinrichtung (50) zur
Bestimmung der Dezentrierung der Linse aus den vom
Detektionsmittel (48) aufgenommenen Meßdaten vorgesehen ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zentrale Steuerungs- und Auswerteinrichtung (50) die
Intensität der Lichtquelle (8) und/oder die Frequenz der
Schwenkbewegung des Reflexionsmediums (18) und/oder den
Winkel (Φ) des Reflexionsmediums (18) und/oder den
Drehwinkel des Spindelantriebs (52) und/oder die
Detektionsmittel (48) steuert.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zentrale Steuerungs- und Auswerteinrichtung (50) durch
einen entsprechende Steuerungs-, Meß- und Regelungssoftware
enthaltenden Personal Computer gebildet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996100520 DE19600520C2 (de) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996100520 DE19600520C2 (de) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19600520A1 DE19600520A1 (de) | 1997-07-10 |
DE19600520C2 true DE19600520C2 (de) | 2001-09-27 |
Family
ID=7782362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996100520 Expired - Fee Related DE19600520C2 (de) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung von optischen Linsen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19600520C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005013755C5 (de) * | 2005-03-22 | 2013-03-07 | Trioptics Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Systemen zusammengesetzter Linsen |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7133225B1 (en) | 2004-10-18 | 2006-11-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Method of manufacturing an optical system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD250571A1 (de) * | 1982-04-01 | 1987-10-14 | Volker Guyenot | Anordnung zum justieren optischer achsen verkitteter optischer linsensysteme |
DE4038727A1 (de) * | 1990-12-05 | 1992-06-11 | Ilmenau Tech Hochschule | Anordnung zur justierung von linsen |
DE4218988A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Messung des Zentrierzustandes optischer Komponenten |
-
1996
- 1996-01-09 DE DE1996100520 patent/DE19600520C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD250571A1 (de) * | 1982-04-01 | 1987-10-14 | Volker Guyenot | Anordnung zum justieren optischer achsen verkitteter optischer linsensysteme |
DE4038727A1 (de) * | 1990-12-05 | 1992-06-11 | Ilmenau Tech Hochschule | Anordnung zur justierung von linsen |
DE4218988A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Messung des Zentrierzustandes optischer Komponenten |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DE-B.: Handbuch der Physik, S. Flügge, Hrsg., Bd. XXIX, Optische Instrumente, Berlin u. a., Springer, 1967, S. 825-827 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005013755C5 (de) * | 2005-03-22 | 2013-03-07 | Trioptics Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Systemen zusammengesetzter Linsen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19600520A1 (de) | 1997-07-10 |
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