WO2012161458A2 - 피시비 기판 검사장치 - Google Patents

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WO2012161458A2
WO2012161458A2 PCT/KR2012/003832 KR2012003832W WO2012161458A2 WO 2012161458 A2 WO2012161458 A2 WO 2012161458A2 KR 2012003832 W KR2012003832 W KR 2012003832W WO 2012161458 A2 WO2012161458 A2 WO 2012161458A2
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pcb
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한충희
김기영
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주식회사 미르기술
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    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
    • G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
    • H—ELECTRICITY
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    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
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    • H05K13/0817—Monitoring of soldering processes
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    • H05K13/0815—Controlling of component placement on the substrate during or after manufacturing

Definitions

  • the present invention relates to a PCB substrate inspection apparatus, and more particularly, to a PCB substrate inspection apparatus capable of inspecting a PCB substrate stably and efficiently.
  • SMT Surface Mounting Technology
  • PCB substrates printed circuit boards
  • SMD surface-mounting devices
  • Surface mount lines consist of equipment such as surface mounters and vision inspection equipment.
  • the surface mounter is a device for mounting a surface mount component on a PCB, and receives various surface mount components supplied in a tape, stick, and tray form from a feeder and places them on a mounting position on the PCB. .
  • the vision inspection apparatus inspects the mounting state of the surface mount component before or after the soldering process of the surface mount component is completed and transfers the PCB to the next process according to the inspection result.
  • a typical vision inspection apparatus includes a lighting unit to which light is irradiated using a lamp, and a camera unit which is installed on an upper portion of the lighting unit to photograph image information of various parts mounted on an inspection object.
  • Conventional vision inspection method is to adjust the initial position in the positioning device when the inspection object is transported horizontally through the conveyor, and after the adjustment is completed, the lighting and the like irradiates the printed circuit board, and the camera and each surface-mounted component Take a picture of the lead.
  • the image information is output to the monitor and calculated to inspect the quantity / defect of the surface-mounted component which is the inspection object, or to check whether the surface-mounted component is mounted or not.
  • three-dimensional height is measured by irradiating light through a grating on a PCB substrate which is an inspection object and analyzing a shadow shape formed by the irradiated light on the surface of the inspection object.
  • An object of the present invention is to provide a PCB substrate inspection apparatus that can efficiently and stably inspect a PCB substrate.
  • Another object of the present invention is to provide a PCB substrate inspection apparatus which can improve inspection yield by enabling inspection of a PCB substrate quickly.
  • Another object of the present invention is to provide a PCB substrate inspection apparatus capable of precisely aligning a PCB substrate.
  • Another object of the present invention is to provide a PCB substrate inspection apparatus that can flexibly correspond to the width of a PCB substrate to be inspected.
  • a PCB substrate inspection apparatus includes a pair of first and second inlet shuttles for transferring an incoming PCB to an inspection region, and a pair of first and second substrates for inspecting the PCB substrate.
  • first and second discharge unit shuttles for receiving and discharging the finished PCB substrate from the first and second inspection unit conveyor parts at a position opposite to the sub shuttle.
  • the first and second inspection unit conveyors are arranged in a fixed position, all may be configured to include a pair of conveyor belts, respectively.
  • the pair of first and second inlet shuttles and the first and second outlet shuttles are configured to reciprocate in a direction perpendicular to the conveying direction of the PCB substrate by the pair of conveyor belts of the inlet shuttle. .
  • first and second inlet shuttle may include a pair of inlet shuttle conveyor for transferring the PCB substrate in the direction of the inspection unit conveyor.
  • the inspection unit conveyor each comprises a pair of PCB substrate transfer roller and the PCB substrate transfer belt.
  • the inspection unit conveyor may be configured to include a PCB substrate support for elastically supporting the PCB substrate.
  • the inspection unit conveyor may include a conveyor width adjusting member for adjusting a distance between the pair of PCB substrate transfer rollers and the PCB substrate transfer belt.
  • the inspection unit conveyor includes a substrate stop member configured to move in the vertical direction to block the progress of the PCB substrate.
  • the inspection unit conveyor may include a PCB sorting member for displacing the PCB substrate in a direction perpendicular to the direction conveyed by the pair of PCB substrate transfer belt.
  • the inspection unit conveyor may include an inlet detection sensor for detecting an inlet of the PCB.
  • the PCB substrate can be inspected efficiently and stably.
  • the inspection yield can be improved by allowing the inspection of the PCB substrate to be performed quickly.
  • the position of the PCB substrate can be precisely aligned.
  • FIG. 1 is a perspective view of a PCB substrate inspection apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of a PCB substrate inspection apparatus according to the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view of the inlet shuttle.
  • FIG. 4 is a perspective view of the inspection unit conveyor.
  • 5 is a perspective view of the inspection unit.
  • FIG. 1 is a perspective view of a PCB substrate inspection apparatus according to the present invention
  • FIG. 2 is a plan view of a PCB substrate inspection apparatus according to the present invention
  • FIG. 3 is a plan view of an inlet shuttle
  • a PCB substrate inspection apparatus inspects a pair of first and second introduction shuttles 20 and 26 and a PCB substrate for transferring an inserted PCB substrate to an inspection region.
  • the first and second discharge unit (60, 66) receiving the PCB substrate from the pair of first and second inspection unit (30, 35) and the first, second inlet shuttle (20, 26)
  • a pair of first and second inspection unit conveyors 40 and 50 for delivery to the first and second inspection unit conveyors 40 and 50 at a position opposite to the first and second inlet shuttles 20 and 26; 50 and the first and second discharge unit shuttle (60, 66) for receiving and dispensing the finished PCB substrate.
  • the inlet shuttle 20 and 26 are configured to receive a PCB substrate from a previous process, and include a pair of conveyor belts 22, 24, 23, and 25 configured to adjust an interval thereof, respectively. Placed in front.
  • the pair of first and second pull-in shuttles 20 and 26 may be reciprocated in a direction perpendicular to the conveying direction of the PCB substrate by the pair of conveyor belts 22 and 24 of the pull-in shuttle 20. It is configured to be.
  • the pair of inspection units 30 and 35 include a camera, a lens, and various lighting means to perform vision inspection on the PCB substrate, and a pair of lateral movement guides to move in the X and Y directions. It is arranged to be movable on the longitudinal movement guide members 34 and 36 movably disposed on the members 32 and 33.
  • the pair of inspection unit conveyors 40 and 50 receive a PCB substrate from the inlet shuttles 20 and 26 in the inspection area 10 and arrange the PCB substrate below the inspection units 30 and 35. to be.
  • the outlet shuttle 60, 66 includes a pair of conveyor belts 62, 64, 63, 65 that are configured to be adjustable in intervals, such as the inlet shuttle 20, respectively. It is arranged in the rear.
  • the pair of discharge shuttles (60, 66) is also configured to be reciprocated in a direction perpendicular to the conveying direction of the PCB substrate by the pair of conveyor belts (62, 64, 63, 65), the overall In the configuration, it is substantially the same as the inlet shuttles 20 and 26.
  • the inlet shuttle 20 and 26 each include a pair of PCB substrate transfer rollers 43 and a PCB substrate transfer belt 45.
  • the PCB substrate can be received from the inlet and transferred to the inspection unit conveyors 40 and 50.
  • the inlet shuttle 20, 26 includes a conveyor width adjusting member 47, 47-1 for adjusting the interval between the pair of belt for conveying the PCB substrate.
  • One or more conveyor width detection sensors may be installed in the inlet shuttle 20 and 26 to adjust the conveyor width as described above.
  • the inlet shuttle (20, 26) includes a substrate stop member (49) to allow the PCB substrate to stop at an appropriate position by the PCB substrate transfer belt 45.
  • the substrate stop member 49 is configured to be movable in the vertical direction by, for example, a configuration such as an air cylinder, and when configured to stop the PCB substrate at a predetermined position, it is configured to descend to block the PCB substrate, When the inspection is completed, the PCB substrate to be transferred in the direction of the discharge shuttle 60 is configured to be raised so as not to disturb the transfer of the PCB substrate.
  • At least one PCB detection sensor 53 may be installed at one side of the entrance shuttle 20 and 26 to detect the PCB substrate.
  • the inlet shuttle 20, 26 is provided with a shuttle drive member 57 capable of reciprocating the inlet shuttle in the direction of the arrow of FIG.
  • the shuttle driving member 57 is composed of, for example, a servo motor, a timing belt or a ball screw shaft, and the like, by rotating the timing belt 58 through a servo motor, or by rotating a ball screw shaft or the like through a servo motor.
  • the inlet shuttle 20, 26 is configured to be moved in the direction of the arrow of Figure 2 on the guide rail (58-1).
  • the inspection unit conveyor 40, 50 includes a PCB substrate support 46 is provided with a support pin 41 for elastically supporting the PCB substrate.
  • the PCB when the PCB is mounted on the inspection unit conveyors 40 and 50, the PCB is elastically supported to prevent bending of the substrate.
  • the inspection unit conveyor (40, 50) includes a conveyor width adjusting member (47-1) for adjusting the interval between a pair of PCB substrate transfer belt.
  • One or more conveyor width detection sensors may be installed in the inspection unit conveyor 40 to adjust the conveyor width as described above.
  • the inspection unit conveyor 40 also includes a substrate stop member 49-1 to allow the PCB substrate to be stopped at an appropriate position by the PCB substrate transfer belt 45.
  • the substrate stop member 49-1 is also configured to be moved upward and downward by, for example, a configuration such as an air cylinder, so that when the PCB is to be stopped at a predetermined position, the substrate stop member 49 is lowered to block the PCB. And, when the inspection is completed, the PCB substrate to be transferred in the direction of the discharge shuttle 60 is configured so as not to interfere with the transfer of the PCB substrate.
  • At least one PCB detection sensor may be installed at one side of the inspection unit conveyor 40 to detect the PCB.
  • the PCB support plate 52 is also raised to continuously support the edge portion of the PCB substrate, thereby supporting the PCB substrate as a whole.
  • the inspection unit conveyor 40 includes a PCB alignment member 51 for displacing the PCB substrate in a direction perpendicular to the direction transferred by the pair of PCB substrate transfer belts 45.
  • the PCB substrate is pushed in the direction of the frame 42 opposite to the frame on which the PCB alignment member 51 is installed to align the position of the PCB substrate.

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Abstract

본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치는 인입된 피시비 기판을 검사영역으로 이송시키기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 인입부셔틀과, 상기 피시비 기판을 검사하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀로부터 피시비 기판을 전달받아 제 1, 제 2 배출부셔틀에 전달하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부컨베이어와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀과 대향된 위치에서 상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어부로부터 검사가 완료된 피시비 기판을 전달받아 배출하기 위한 제 1, 제 2 배출부셔틀을 포함한다. 본 발명에 의해, 피시비 기판을 효율적이면서도 안정적으로 검사할 수 있다. 또한, 피시비 기판에 대한 검사를 신속하게 수행할 수 있도록 함으로써 검사 수율을 향상시킬 수 있으며, 피시비 기판의 위치를 정밀하게 정렬할 수 있다.

Description

피시비 기판 검사장치
본 발명은 피시비 기판 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 안정적이면서도 효율적으로 피시비 기판에 대한 검사를 수행할 수 있는 피시비 기판 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(PCB 기판) 등에 표면실장부품을 조립하는 표면실장기술(SMT; Surface Mounting Technology)은 표면실장부품(SMD; Surface Mounting Device)을 소형화/집적화하는 기술과, 이러한 표면실장부품을 정밀하게 조립하기 위한 정밀조립장비의 개발 및 각종 조립장비를 운용하는 기술을 포함한다.
표면실장라인은 표면실장기와 비전검사장치와 같은 장비로 구성된다. 상기 표면실장기는 표면실장부품을 피시비 기판상에 실장하는 장비로서 Tape, Stick, Tray 형태로 공급되는 각종 표면실장부품을 부품공급기(Feeder)로부터 공급받아 피시비 기판 상의 실장위치에 올려놓는 작업을 수행한다.
그리고, 상기 비전검사장치는 표면실장부품의 납땜공정 완료전 또는 완료 후, 표면실장부품의 실장상태를 검사하며 검사결과에 따라 다음공정으로 피시비 기판(PCB)을 이송시키게 된다.
통상적인 비전검사장치는 램프 등을 이용하여 광이 조사되는 조명부와, 상기 조명부의 상부에 설치되어 검사대상물에 실장된 각종 부품의 영상정보를 촬영하기 위한 카메라부를 포함하여 구성된다.
통상적인 비전검사방법은, 컨베이어를 통해 검사대상물이 수평 이송되면 위치조절장치에서 초기 위치를 조절하고, 조절이 완료된 후에는 조명 등이 인쇄회로기판을 조사하고 카메라는 검사대상물인 각 표면실장부품과 리드부를 촬영한다.
이후, 상기 영상정보를 모니터로 출력하고 연산하여 검사대상물인 표면실장부품의 양/불량을 검사하거나, 표면실장부품의 실장 유/무를 검사하게 된다.
또다른 비전검사방법으로서는, 검사대상물인 피시비 기판 상에 격자를 통해 광을 조사하고, 조사된 광이 검사대상물의 표면에 비쳐 형성된 그림자 형상을 분석함으로써, 3차원적 높이를 측정하게 된다.
이후 촬영 부분을 연산하고 기준값과 비교함으로써, 높이와 연관되는 부품 실장의 양호/불량을 검사하거나, 표면실장부품의 실장 유/무를 검사하게 된다.
본 발명의 목적은 피시비 기판을 효율적이면서도 안정적으로 검사할 수 있는 피시비 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 피시비 기판에 대한 검사를 신속하게 수행할 수 있도록 함으로써 검사 수율을 향상시킬 수 있는 피시비 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 피시비 기판의 위치를 정밀하게 정렬할 수 있는 피시비 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 검사 대상인 피시비 기판의 폭에 유연하게 대응할 수 있는 피시비 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치는 인입된 피시비 기판을 검사영역으로 이송시키기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 인입부셔틀과, 상기 피시비 기판을 검사하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀로부터 피시비 기판을 전달받아 제 1, 제 2 배출부셔틀에 전달하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부컨베이어와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀과 대향된 위치에서 상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어부로부터 검사가 완료된 피시비 기판을 전달받아 배출하기 위한 제 1, 제 2 배출부셔틀을 포함한다.
여기서, 상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어는 위치 고정된 상태로 배치되며, 모두 한쌍의 컨베이어 벨트를 각각 포함하여 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 한쌍의 제 1, 2 인입부셔틀과 제 1, 제 2 배출부셔틀은 상기 인입부셔틀의 한쌍의 컨베이어 밸트에 의한 피시비 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 왕복 이동되도록 구성된다.
또한, 상기 제 1, 2 인입부셔틀은 피시비 기판을 상기 검사부컨베이어 방향으로 이송시키기 위한 한쌍의 인입부셔틀컨베이어를 각각 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사부컨베이어는 각각 한쌍의 피시비 기판 이송용 롤러와 피시비 기판 이송용 벨트를 포함한다.
여기서, 상기 검사부컨베이어는 피시비 기판을 탄성적으로 지지하기 위한 피시비기판지지부를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 검사부컨베이어는 상기 한쌍의 피시비 기판 이송용 롤러와 피시비 기판 이송용 벨트의 간격을 조절하기 위한 컨베이어폭조절부재를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사부컨베이어는 피시비 기판의 진행을 가로막기 위해 상하방향으로 이동되도록 구성되는 기판멈춤부재를 포함한다.
또한, 상기 검사부컨베이어는 피시비 기판을 상기 한쌍의 피시비 기판 이송용 벨트에 의해 이송되는 방향에 수직한 방향으로 변위시키기 위한 피시비정렬부재를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 검사부컨베이어는 피시비 기판의 인입을 감지하기 위한 인입감지센서를 포함할 수 있다.
본 발명에 의해, 피시비 기판을 효율적이면서도 안정적으로 검사할 수 있다.
또한, 피시비 기판에 대한 검사를 신속하게 수행할 수 있도록 함으로써 검사 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 피시비 기판의 위치를 정밀하게 정렬할 수 있다.
또한, 검사 대상인 피시비 기판의 폭에 유연하게 대응할 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치의 사시도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치의 평면도이다.
도 3 은 인입부셔틀의 평면도이다.
도 4 는 검사부컨베이어의 사시도이다.
도 5 는 검사부의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치의 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치의 평면도이며, 도 3 은 인입부셔틀의 평면도이며, 도 4 는 검사부컨베이어의 사시도이며, 도 5 는 검사부의 사시도이다.
도 1 내지 5 를 참조하면, 본 발명에 따른 피시비 기판 검사장치는 인입된 피시비 기판을 검사영역으로 이송시키기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 인입부셔틀(20, 26)과, 상기 피시비 기판을 검사하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부(30, 35)와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀(20, 26)로부터 피시비 기판을 전달받아 제 1, 제 2 배출부셔틀(60, 66)에 전달하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부컨베이어(40, 50)와, 상기 제 1, 제 2 인입부셔틀(20, 26)과 대향된 위치에서 상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어(40, 50)로부터 검사가 완료된 피시비 기판을 전달받아 배출하기 위한 제 1, 제 2 배출부셔틀(60, 66)을 포함한다.
상기 인입부셔틀(20, 26)은 이전 공정으로부터 피시비 기판을 전달받기 위한 구성으로서, 간격이 조절가능하도록 구성되는 한쌍의 컨베이어벨트(22, 24, 23, 25)를 각각 포함하여 상기 검사영역의 전방에 배치된다.
여기서, 상기 한쌍의 제 1, 2 인입부셔틀(20, 26)은 상기 인입부셔틀(20)의 한쌍의 컨베이어 밸트(22, 24)에 의한 피시비 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 왕복 이동될 수 있도록 구성된다.
상기 한쌍의 검사부(30, 35)는 피시비 기판에 대한 비전 검사를 수행할 수 있도록 카메라와 렌즈 및 각종의 조명수단을 포함하여 구성되며, X, Y 방향으로 이동될 수 있도록 한쌍의 횡방향이동가이드부재(32, 33) 상에서 이동가능하게 배치된 종방향이동가이드부재(34, 36) 상에 이동 가능하게 배치된다.
상기 한쌍의 검사부컨베이어(40, 50)는 상기 검사영역(10) 내에서 상기 인입부셔틀(20, 26)로부터 피시비 기판을 전달받아 상기 검사부(30, 35) 아래로 피시비 기판을 배치하기 위한 구성이다.
상기 배출부셔틀(60, 66)은 상기 인입부셔틀(20)과 같이 간격이 조절가능하도록 구성되는 한쌍의 컨베이어 벨트(62, 64, 63, 65)를 각각 포함하여 상기 검사영역(10)의 후방에 배치된다.
여기서, 상기 한쌍의 배출부셔틀(60, 66) 역시 상기 한쌍의 컨베이어 밸트(62, 64, 63, 65)에 의한 피시비 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 왕복 이동될 수 있도록 구성되며, 그 전체적인 구성에 있어서는 상기 인입부셔틀(20, 26)과 대략적으로 동일하다.
상기 인입부셔틀(20, 26)은 각각 한쌍의 피시비 기판 이송용 롤러(43)와 피시비 기판 이송용 벨트(45)를 포함한다.
그리하여, 피시비 기판 이송용 벨트 구동모터(48)를 구동함으로써, 피시비 기판을 상기 인입부로부터 전달받고 상기 검사부컨베이어(40, 50)로 전달할 수 있다.
또한, 상기 인입부셔틀(20, 26)은 한쌍의 피시비 기판 이송용 벨트 사이의 간격을 조절하기 위한 컨베이어폭조절부재(47, 47-1)를 포함한다.
그리하여, 검사의 대상이 되는 피시비 기판의 종류에 따른 폭 크기에 따라 유연하게 대처가능하도록 구성된다.
상기와 같은 컨베이어 폭 조절을 위해 상기 인입부셔틀(20, 26)에는 하나 이상의 컨베이어폭감지센서가 설치될 수 있다.
한편, 상기 인입부셔틀(20, 26)에는 피시비 기판이 상기 피시비 기판 이송용 벨트(45)에 의해 적절한 위치에 정지하도록 하는 기판멈춤부재(49)를 포함한다.
상기 기판멈춤부재(49)는 예를 들어, 에어 실린더와 같은 구성에 의해 상하 방향으로 이동될 수 있도록 구성되어, 피시비 기판을 정해진 위치에 정지시켜야 할 경우에는 하강하여 피시비 기판을 가로막도록 구성되고, 검사가 완료된 피시비 기판을 상기 배출부셔틀(60) 방향으로 이송시켜야 할 경우에는 상승되어 피시비 기판의 이송을 방해하지 않도록 구성된다.
따라서, 상기 인입부셔틀(20, 26)의 일측에는 피시비 기판을 감지할 수 있는 피시비감지센서(53)가 하나 이상 설치된다.
또한, 상기 인입부셔틀(20, 26)에는 인입부셔틀을 도 2 의 화살표 방향으로 왕복이동시킬 수 있는 셔틀구동부재(57)가 설치된다.
상기 셔틀구동부재(57)는 예를 들어 서보모터와 타이밍벨드 또는 볼스크류축 등으로 구성되어, 서보모터를 통해 타이밍벨트(58)를 회전시키거나, 서보모터를 통해 볼스크류축 등을 회전시킴으로써, 인입부셔틀(20, 26)이 가이드레일(58-1) 상에서 도 2 의 화살표 방향으로 이동될 수 있도록 구성된다.
한편, 상기 검사부컨베이어(40, 50)는 피시비 기판을 탄성적으로 지지하기 위한 지지핀(41)이 설치된 피시비기판지지부(46)를 포함한다.
그리하여, 상기 검사부컨베이어(40, 50)에 피시비 기판이 장착되었을 경우 피시비 기판을 탄성적으로 지지함으로써, 피시기 기판의 휨을 방지한다.
또한, 상기 검사부컨베이어(40, 50)는 한쌍의 피시비 기판 이송용 벨트 사이의 간격을 조절하기 위한 컨베이어폭조절부재(47-1)를 포함한다.
그리하여, 검사의 대상이 되는 피시비 기판의 종류에 따른 폭 크기에 따라 유연하게 대처가능하도록 구성된다.
상기와 같은 컨베이어 폭 조절을 위해 상기 검사부컨베이어(40)에는 하나 이상의 컨베이어폭감지센서가 설치될 수 있다.
한편, 상기 검사부컨베이어(40) 역시 피시비 기판이 상기 피시비 기판 이송용 벨트(45)에 의해 적절한 위치에 정지하도록 하는 기판멈춤부재(49-1)를 포함한다.
상기 기판멈춤부재(49-1) 역시 예를 들어, 에어 실린더와 같은 구성에 의해 상하 방향으로 이동될 수 있도록 구성되어, 피시비 기판을 정해진 위치에 정지시켜야 할 경우에는 하강하여 피시비 기판을 가로막도록 구성되고, 검사가 완료된 피시비 기판을 상기 배출부셔틀(60) 방향으로 이송시켜야 할 경우에는 상승되어 피시비 기판의 이송을 방해하지 않도록 구성된다.
따라서, 상기 검사부컨베이어(40)의 일측에도 피시비 기판을 감지할 수 있는 피시비감지센서가 하나 이상 설치된다.
상기 기판멈춤부재(49-1)에 의해 정해진 위치에 피시비 기판이 배치되면 상기 피시비기판지지부(46)가 상승되면서 상기 지지핀(47)이 피시비 기판을 탄성적으로 지지하게 된다.
이때 피시비지지플레이트(52)도 함께 상승되어 피시비 기판의 가장자리부분을 연속적으로 지지함으로써, 피시비 기판이 전체적으로 평탄한 상태가 되도록 지지하게 된다.
또한, 상기 검사부컨베이어(40)는 피시비 기판을 상기 한쌍의 피시비 기판 이송용 벨트(45)에 의해 이송되는 방향에 수직한 방향으로 변위시키기 위한 피시비정렬부재(51)를 포함한다.
그리하여, 상기 피시비정렬부재(51)가 설치된 프레임의 맞은편 프레임(42) 방향으로 피시비 기판을 밀어붙여 피시비 기판의 위치를 정렬하게 된다.
상기와 같이 검사부컨베이어(40, 50)가 위치 고정된 상태에서 상기 인입부셔틀(20, 26)과 배출부셔틀(60, 66)이 왕복운동되도록 구성함으로써, 검사부(30, 35) 아래에 배치되는 피시비 기판을 보다 정확하고도 안정적으로 배치시킬 수 있다.
또한, 검사대상이 되는 다양한 피시비 기판의 종류 및 폭에 유연하게 대응하면서도 인입부로부터 인입되는 피시비 기판을 한쌍의 검사부(30, 35)에 의해 검사될 수 있도록 구성함으로써, 검사의 효율을 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.

Claims (10)

  1. 인입된 피시비 기판을 검사영역으로 이송시키기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 인입부셔틀과;
    상기 피시비 기판을 검사하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부와;
    상기 제 1, 제 2 인입부셔틀로부터 피시비 기판을 전달받아 제 1, 제 2 배출부셔틀에 전달하기 위한 한쌍의 제 1, 제 2 검사부컨베이어와;
    상기 제 1, 제 2 인입부셔틀과 대향된 위치에서 상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어부로부터 검사가 완료된 피시비 기판을 전달받아 배출하기 위한 제 1, 제 2 배출부셔틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 피비시 기판 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 검사부컨베이어는 위치 고정된 상태로 배치되며, 모두 한쌍의 컨베이어 벨트를 각각 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 한쌍의 제 1, 2 인입부셔틀과 제 1, 제 2 배출부셔틀은 상기 인입부셔틀의 한쌍의 컨베이어 밸트에 의한 피시비 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 왕복 이동되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 인입부셔틀은 피시비 기판을 상기 검사부컨베이어 방향으로 이송시키기 위한 한쌍의 인입부셔틀컨베이어를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 각각 한쌍의 피시비 기판 이송용 롤러와 피시비 기판 이송용 벨트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 피시비 기판을 탄성적으로 지지하기 위한 피시비기판지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 상기 한쌍의 피시비 기판 이송용 롤러와 피시비 기판 이송용 벨트의 간격을 조절하기 위한 컨베이어폭조절부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 피시비 기판의 진행을 가로막기 위해 상하방향으로 이동되도록 구성되는 기판멈춤부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 피시비 기판을 상기 한쌍의 피시비 기판 이송용 벨트에 의해 이송되는 방향에 수직한 방향으로 변위시키기 위한 피시비정렬부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 검사부컨베이어는 피시비 기판의 인입을 감지하기 위한 인입감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시비 기판 검사장치.
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