WO2012144209A1 - 光部品 - Google Patents

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博 照井
智世 柴崎
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    • G02B2006/1204—Lithium niobate (LiNbO3)

Definitions

  • the present invention relates to an optical component, and more specifically, a plurality of optical waveguides in which a first planar lightwave circuit and a second planar lightwave circuit having different refractive indexes are formed in respective planar lightwave circuits are optically coupled to each other.
  • Optical components that are butt-connected at their end faces.
  • a planar lightwave circuit can realize various lightwave circuits by forming an optical waveguide on a substrate, and is used as a component of an optical module.
  • planar lightwave circuits having different functions, or to realize hybrid optical modules in which space optical system components such as lenses and spatial phase modulators and planar lightwave circuits are integrated. It is done.
  • RZ-DQPSK Return to Zero Differential Quadrature Phase Shift Keying
  • a planar lightwave circuit composed of different materials such as silica glass and lithium niobate (LN) is optically coupled Etc.
  • n 2 is the refractive index of LN.
  • connection interface 3 is inclined at an angle ⁇ 1 with respect to the side wall 6 of the planar lightwave circuit, but if the optical waveguide is inclined near the interface, the connection interface 3 and the planar lightwave circuit are prevented while preventing reflection.
  • the angle formed by the side walls 6 of can be made at right angles.
  • the planar lightwave circuit can be formed into a square shape with four corners at right angles, which facilitates the processing of the planar lightwave circuit. Such an example is shown in FIG.
  • the optical fiber 3 and the first planar lightwave circuit 1 and the second planar lightwave circuit 2 arranged in the alignment member 4 are butt-connected.
  • the first planar lightwave circuit 1 and the second planar lightwave circuit 2 have a rectangular shape.
  • the angle that the optical waveguide of the first planar lightwave circuit 1 makes with the normal to the interface is ⁇ 1
  • the angle that the optical waveguide of the second planar lightwave circuit 2 makes with the normal to the interface is ⁇ It is assumed to be 1 .
  • Snell's law is as follows.
  • L is the waveguide spacing when the angular deviation ⁇ occurs
  • L 0 is the waveguide spacing when there is no angular deviation, that is, the design value.
  • the waveguide spacing L 0 is 2500 ⁇ m
  • the waveguide spacing shifts by 0.9 ⁇ m or more when the end face angle of the oblique waveguide of 6 degrees shifts by 0.2 degrees (see FIG. 4).
  • the connection loss increases by 0.2 dB or more, and when the environmental temperature changes by 50 degrees, it increases by 0.5 dB or more.
  • This increase in connection loss becomes more pronounced as the waveguide spacing increases. That is, when the angle of the end face where a plurality of optical waveguides are aligned is deviated, compared with the distance deviation of the optical waveguides near the center, the distance deviation of the optical waveguides at the ends becomes larger. There is no problem.
  • the present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to form a first planar lightwave circuit and a second planar lightwave circuit having different refractive indexes in respective planar lightwave circuits.
  • An object of the present invention is to provide an optical component which is stable against temperature change of a use environment, in an optical component in which a plurality of optical waveguides are butt-connected at an end face so as to optically couple the optical waveguides.
  • a first planar lightwave circuit having a first refractive index, and a second refractive index different from the first refractive index.
  • n-th is an integer of 2 or more
  • the position of the ith optical waveguide of the first planar lightwave circuit (i is an integer of 1 or more and n or less) and the ith optical waveguide of the second planar lightwave circuit corresponds to the first planar lightwave circuit and the first planar lightwave circuit.
  • the angle at which the i-th optical waveguide of the first or second planar lightwave circuit makes a match at the connection interface with the second planar lightwave circuit and the normal to the connection interface satisfies Snell's law i differ from one another and near the middle of the first optical waveguide and the nth optical waveguide at the connection interface Large enough optical waveguide location, characterized in that it decreases with increasing distance from the vicinity of the middle.
  • the direction of the angle of the ith optical waveguide is centered on the middle of the first optical waveguide and the nth optical waveguide.
  • the distance between the optical waveguide of i and the center is set to be smaller.
  • the first planar lightwave circuit and a second planar lightwave circuit having a second refractive index different from the first refractive index An end face perpendicular to the side face of the first planar lightwave circuit and an end face perpendicular to the side face of the second planar lightwave circuit are butted and connected.
  • the first flat light wave circuit is made of silica glass
  • the second flat light wave circuit is LN. It is characterized in that it is configured.
  • a plurality of optical waveguides are respectively formed in the first planar lightwave circuit and the second planar lightwave circuit, and each light guide of the first or second planar lightwave circuit within a range satisfying Snell's law.
  • the angle between the waveguide and the normal to the connection interface is different, and the optical waveguide located near the middle between the first optical waveguide and the nth optical waveguide at the connection interface is larger and smaller as the distance from the middle is smaller.
  • the first planar lightwave circuit and the second planar lightwave circuit having different refractive indices are butt-connected at the end faces so as to optically couple the plurality of optical waveguides formed in the respective planar lightwave circuits.
  • an optical component it is possible to provide an optical component that is stable against temperature changes in the use environment.
  • FIG. 1 is a view showing an optical component according to a first embodiment of the present invention.
  • the first planar lightwave circuit is a PLC composed of silica-based glass
  • the second planar lightwave circuit is a diagram showing the amount of return loss when configured as LN. It is a figure which shows the optical component which concerns on the 2nd Embodiment of this invention.
  • FIG. 5 shows an optical component according to the first embodiment of the present invention.
  • the optical component 500 includes a first planar lightwave circuit 501 having a first refractive index n 1, a second planar lightwave circuit 502 having a first refractive index n 1 is different from the second refractive index n 2 is Butt connected.
  • the connection end face 503 of the first planar lightwave circuit 501 and the second planar lightwave circuit 502 is perpendicular to the side surface 506 of the first planar lightwave circuit and the side surface 507 of the second planar lightwave circuit.
  • the first to n-th (n is an integer of 2 or more) optical waveguides are formed in the first planar lightwave circuit 501, and the first to n-th optical waveguides are similarly formed in the second planar lightwave circuit 502. An optical waveguide is formed.
  • the i-th (i is an integer of 1 or more and n or less) optical waveguide 504 of the first planar lightwave circuit 501 and the i-th optical waveguide 505 of the second planar lightwave circuit 502. Align and connect so that the positions coincide at the connection interface.
  • a plurality of optical waveguides of each planar lightwave circuit are formed inclined in the vicinity of the interface, and the i-th optical waveguide of the first planar lightwave circuit 501 is normal to the interface.
  • the angle phi i formed with the can the more first optical waveguide and the optical waveguide which is located near the middle of the optical waveguide of the n in the connection interface increases, to be smaller with increasing distance from the vicinity of the middle.
  • the angle formed by the optical waveguide of the first planar lightwave circuit 501 and the optical waveguide of the second planar lightwave circuit 502 with the normal to the connection interface is set in a range satisfying the Snell's law. That is, the angle between the optical waveguide and the normal to the connection interface is larger at the connection interface as the optical waveguide near the middle and smaller at the end.
  • the gap deviation of the optical waveguides at a position separated from near the middle between the first optical waveguide and the n-th optical waveguide. Also, if the angles of the optical waveguides at both ends are set to satisfy the target value of the return loss, the return loss of the optical waveguide disposed inside is sufficiently larger than the target value, which is good. It becomes a value.
  • the angle theta i of the optical waveguides of the i forms with the surface of the second planar lightwave circuit 502, because they are selected to satisfy the Snell's law, a different value for naturally every i.
  • FIG. 6 shows an example of the return loss when the first planar lightwave circuit is a PLC made of silica glass and the second planar lightwave circuit is made of LN in the optical component 500 according to the present invention. .
  • an LN end face is provided with a non-reflective coating film to reduce reflection. Therefore, the return loss of the PLC which is the first planar lightwave circuit will be described.
  • the return loss amount is 45 dB.
  • the angles of the optical waveguides at both ends are set to 3 degrees and the angles of the optical waveguides disposed inside the optical waveguides are set to be larger than 3 degrees, the return loss of each optical waveguide is naturally set to 45 dB or more Is possible.
  • FIG. 7 shows an optical component according to a second embodiment of the present invention.
  • the optical component 700 includes a first planar lightwave circuit 701, a second planar lightwave circuit 702 having a first refractive index n 1 is different from the second refractive index n 2 with a first refractive index n 1, A third planar lightwave circuit 703 having a first refractive index n1 is butt connected.
  • the first planar lightwave circuit 701 and the third planar lightwave circuit 703 are formed of silica-based optical waveguides on a silicon substrate, and each of six oblique light waveguides is connected to the interface connected to the second planar lightwave circuit 702 Waveguides 711 to 716 and 731 to 736 and a Y-branch waveguide are provided.
  • the second planar lightwave circuit 702 is formed of an optical waveguide on the LN substrate, and six oblique optical waveguides 721 to 726 are formed, and electrodes 751 are formed at intervals of 500 ⁇ m on each optical waveguide. Function as a phase modulator. The spacing of the electrodes is limited by the electrical cross-talk between the electrodes and is therefore extremely difficult to narrow. In this configuration, the electrode pair 741 and 742 are used for PSK modulation, and the electrode pair 743 is driven for RZ modulation to function as an RZ-DQPSK module.
  • Optical waveguides 711, 712, 715, 716, 731, 732, 735, 736 have an angle of 3 degrees to the end face, and optical waveguides 713, 714, 733, 734 have 6 degrees, and are connected to the second plane
  • the optical waveguides 721 to 726 of the light wave circuit are set to an angle which satisfies Snell's law.
  • the waveguide spacing of the optical waveguides 711 to 716, 721 to 726, and 731 to 736 becomes narrow. Each optical waveguide is bent in the direction.
  • the direction of the angle of the optical waveguides is set to a direction in which the distance between each optical waveguide and the center becomes narrow with the middle of the optical waveguide 721 and the optical waveguide 726 as the center.
  • the waveguide spacing deviation is 0.4 ⁇ m or less, and the environmental temperature is 50 degrees, even if the angular deviation of the end face is 0.2 degree while the return loss amount is 40 dB or more. Even if it changes, it becomes possible to suppress loss fluctuation to 0.2 dB or less.

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Abstract

　屈折率が異なる第１の平面光波回路と第２の平面光波回路とが、それぞれの平面光波回路に形成された複数の光導波路同士を光結合するように端面で突き合わせ接続された光部品において、使用環境の温度変化に対して安定な光部品を提供する。光部品（５００）は、第１の屈折率ｎ1を有する第１の平面光波回路（５０１）と、第１の屈折率ｎ1と異なる第２の屈折率ｎ2を有する第２の平面光波回路（５０２）とが光軸方向に対して直角な端面で突き合わせ接続される。第１及び第２の平面光波回路には、それぞれ第１～第ｎ（ｎは２以上の整数）の光導波路が形成されている。第１の平面光波回路の第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数）の光導波路と第２の平面光波回路の第ｉの光導波路の位置が接続界面において一致するように調心して接続する。第１の平面光波回路の第ｉの光導波路が界面の法線となす角度φiがスネルの法則を満足する範囲でｉ毎に異なるようにする。

Description

光部品
　本発明は、光部品に関し、より詳細には、屈折率が異なる第１の平面光波回路と第２の平面光波回路とが、それぞれの平面光波回路に形成された複数の光導波路同士を光結合するように端面で突き合わせ接続された光部品に関する。
　光通信システムの高度化に伴い、高機能な光モジュール（光部品）の需要が高まっている。平面光波回路は、基板上に光導波路を形成することによって様々な光波回路を実現することができ、光モジュールの構成部品として用いられている。光モジュールの更なる高機能化のために、異なる機能を有する平面光波回路を集積化したり、レンズ・空間位相変調器等の空間光学系部品と平面光波回路とを集積化したハイブリッド光モジュールが実現されている。具体的な光モジュールの例としては、石英系ガラスとニオブ酸リチウム（ＬＮ）のように異なる材料で構成された平面光波回路を光結合したＲＺ－ＤＱＰＳＫ（Ｒｅｔｕｒｎ　ｔｏ　Ｚｅｒｏ　Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　Ｑｕａｄｒａｔｕｒｅ　Ｐｈａｓｅ　Ｓｈｉｆｔ　Ｋｅｙｉｎｇ）モジュール等が挙げられる。
　石英系ガラスで構成された第１の平面光波回路と、ＬＮで構成された第２の平面光波回路が突き合わせ接続された光モジュールを例に考える。図１に、特許文献１の従来例を示す。第１の平面光波回路１と第２の平面光波回路２との界面３において反射が生じる可能性があるが、これを防ぐためには、（１）まず、フレネルの反射Ｒが、戻り光として第１の平面光波回路１の光導波路４に結合しないように角度θを決める。一般には、角度θは４度から１２度である。ここで、フレネルの公式は次式の通りである。ｎ1及びｎaは、それぞれ石英系ガラス及びＬＮの屈折率である。ただし、第１の平面光波回路と第２の平面光波回路との間に接着剤がある場合は、ｎaは接着剤の屈折率となる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
（２）次に、次式のスネルの法則を満足するように第２の平面光波回路２の光導波路５の角度φを決める。ｎ2は、ＬＮの屈折率である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　図１では、接続界面３を平面光波回路の側壁６に対して角度α1だけ傾斜させているが、界面近傍において光導波路を傾斜させれば、反射を防止しつつ接続界面３と平面光波回路の側壁６のなす角を直角にすることができる。平面光波回路の側面に対して直角な端面で突き合わせ接続を行うと、平面光波回路を四隅を直角とした方形の形状にすることができ、平面光波回路の加工が容易となる。図２にそのような例を示す。整列部材４に並べられた光ファイバ３と第１の平面光波回路１と第２の平面光波回路２は、突き合わせ接続されている。この例では、第１の平面光波回路１と第２の平面光波回路２は、長方形の形状となっている。図１と標記が異なるが、第１の平面光波回路１の光導波路が界面の法線となす角をφ1、第２の平面光波回路２の光導波路が界面の法線となす角をθ1とする。この場合、スネルの法則は次式のようになる。
　上述の条件から、石英系ガラスで構成された第１の平面光波回路とＬＮで構成された第２の平面光波回路の突き合わせ接続では、φ1及びθ1として、それぞれ６度及び４度を用いるのが一般的である。
特開２００３－２０７６６４号公報
　しかしながら、図２の構成では、複数の光導波路同士を接続する場合に界面と光導波路のなす角がずれた際、導波路間隔が設計値から大きくずれてしまい、接続損失となる。更に、熱膨張係数の異なる平面光波回路同士の接続においては、使用環境の温度変化によって光学特性、特に接続損失が大きく変動するという問題がある。図３を参照して、端面に対して斜めに形成された斜め導波路の問題点を説明する。端面に対して角度ψで斜め導波路が形成されているときに、端面が研磨等の加工時に角度ずれθを生じた場合、導波路間隔ずれΔＬを計算すると次式のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　ここで、Ｌは角度ずれθが生じたときの導波路間隔、Ｌ0は角度ずれが無いとき導波路間隔、すなわち設計値である。
　たとえば、導波路間隔Ｌ0が２５００μｍの場合、６度の斜め導波路の端面角度が０．２度ずれると導波路間隔は０．９μｍ以上ずれる（図４参照）。導波路間隔が０．９μｍ以上ずれていると、接続損失は０．２ｄＢ以上増加し、更に環境温度が５０度変化したときには０．５ｄＢ以上増加する。この接続損失の増加は導波路間隔が大きくなればなるほど顕著になる。即ち、複数の光導波路が並んでいる端面の角度がずれた場合、中心付近の光導波路の間隔ずれに比べて、端の光導波路の間隔ずれが大きくなるという単一の光導波路同士の接続にはない問題がある。
　本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、屈折率が異なる第１の平面光波回路と第２の平面光波回路とが、それぞれの平面光波回路に形成された複数の光導波路同士を光結合するように端面で突き合わせ接続された光部品において、使用環境の温度変化に対して安定な光部品を提供することにある。
　このような目的を達成するために、本発明の第１の態様は、第１の屈折率を有する第１の平面光波回路と、前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する第２の平面光波回路とが突き合わせ接続された光部品であって、前記第１及び第２の平面光波回路は、それぞれ第１～第ｎ（ｎは２以上の整数）の光導波路を有し、前記第１の平面光波回路の第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数）の光導波路と前記第２の平面光波回路の第ｉの光導波路の位置が、前記第１の平面光波回路と前記第２の平面光波回路との接続界面において一致し、前記第１又は第２の平面光波回路の第ｉの光導波路が前記接続界面の法線となす角度が、スネルの法則を満足する範囲でｉ毎に異なり、かつ前記接続界面において第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間付近に位置する光導波路ほど大きく、前記中間付近から離れるにつれて小さくなっていることを特徴とする。
　また、第２の態様は、第１の態様において、前記接続界面において、前記第ｉの光導波路の前記角度の方向を第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間を中心として、前記第ｉの光導波路と前記中心との距離が小さくなる向きに設定されていることを特徴とする。
　また、第３の態様は、第１又は第２の態様において、前記第１の平面光波回路と、前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する第２の平面光波回路とは、前記第１の平面光波回路の側面に対して直角な端面と前記第２の平面光波回路の側面に対して直角な端面とが突き合わせ接続されていることを特徴とする。
　また、本発明の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様において、前記第１の平面光波回路が石英系ガラスで構成されており、前記第２の平面光波回路がＬＮで構成されていることを特徴とする。
　本発明によれば、第１の平面光波回路と第２の平面光波回路にそれぞれ複数の光導波路を形成し、スネルの法則を満足する範囲で、第１又は第２の平面光波回路の各光導波路が接続界面の法線となす角度がおのおの異なり、かつ接続界面において第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間付近に位置する光導波路ほど大きく、前記中間付近から離れるにつれて小さくなるようにすることにより、屈折率が異なる第１の平面光波回路と第２の平面光波回路とが、それぞれの平面光波回路に形成された複数の光導波路同士を光結合するように端面で突き合わせ接続された光部品において、使用環境の温度変化に対して安定な光部品を提供することができる。
石英系ガラスで構成された第１の平面光波回路と、ＬＮで構成された第２の平面光波回路が突き合わせ接続された従来例を示す図である。 直角な界面において反射を防止するための構成を示す図である。 端面に対して斜めに形成された斜め導波路の問題点を説明するための図である。 斜め導波路における導波路間隔と導波路間隔ずれの関係を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る光部品を示す図である。 本発明に係る光部品において、第１の平面光波回路を石英系ガラスで構成されたＰＬＣとし、第２の平面光波回路をＬＮで構成した場合の反射減衰量を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る光部品を示す図である。
　以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
　図５に、本発明の第１の実施形態に係る光部品を示す。光部品５００は、第１の屈折率ｎ1を有する第１の平面光波回路５０１と、第１の屈折率ｎ1と異なる第２の屈折率ｎ2を有する第２の平面光波回路５０２とが突き合わせ接続されている。第１の平面光波回路５０１及び第２の平面光波回路５０２の接続端面５０３は、第１の平面光波回路の側面５０６および第２の平面光波回路の側面５０７に対して直角である。第１の平面光波回路５０１には、第１～第ｎ（ｎは２以上の整数）の光導波路が形成されており、第２の平面光波回路５０２にも、同様に第１～第ｎの光導波路が形成されている。
　本発明に係る光部品５００においては、第１の平面光波回路５０１の第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数）の光導波路５０４と第２の平面光波回路５０２の第ｉの光導波路５０５の位置が接続界面において一致するように調心して接続する。この際、界面における反射を防止するために、各平面光波回路の複数の光導波路をそれぞれ界面近傍で傾斜させて形成し、第１の平面光波回路５０１の第ｉの光導波路が界面の法線となす角度φiが、接続界面において第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間付近に位置する光導波路ほど大きく、前記中間付近から離れるにつれて小さくなるようにする。また、第１の平面光波回路５０１の光導波路および第２の平面光波回路５０２の光導波路のそれぞれが接続界面の法線となす角は、スネルの法則を満足する範囲で設定する。即ち、光導波路と接続界面の法線となす角が接続界面において中間付近の光導波路ほど大きく、端になるほど小さくする。このような構成を採ることで、第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間付近から離れた位置にある光導波路の間隔ずれを小さくすることができる。また、両端の光導波路の角度は反射減衰量の目標値を満足する程度に設定しておけば、その内側に配置されている光導波路での反射減衰量は目標値よりも十分大きく、良好な値となる。なお、第２の平面光波回路５０２の第ｉの光導波路が界面となす角度θiは、スネルの法則を満足するように選択されるので、自ずとｉ毎に異なる値となる。
　図６に、本発明に係る光部品５００において、第１の平面光波回路を石英系ガラスで構成されたＰＬＣとし、第２の平面光波回路をＬＮで構成した場合の反射減衰量の例を示す。一般的に、ＬＮ端面はフレネル反射損失を低減させるため無反射コート膜が形成され、反射を低減されている。そこで，第１の平面光波回路であるＰＬＣの反射減衰量について述べる。この例では、ＰＬＣの光導波路と端面の角度が３度のとき、反射減衰量は４５ｄＢとなる。従って、両端の光導波路の角度を３度とし、その内側に配置されている光導波路の角度を３度よりも大きくしていけば、自ずと各光導波路の反射減衰量を４５ｄＢ以上に設定することが可能となる。
　図７に、本発明の第２の実施形態に係る光部品を示す。光部品７００は、第１の屈折率ｎ1を有する第１の平面光波回路７０１と、第１の屈折率ｎ1と異なる第２の屈折率ｎ2を有する第２の平面光波回路７０２と、第１の屈折率ｎ1を有する第３の平面光波回路７０３とが突き合わせ接続されている。第１の平面光波回路７０１及び第３の平面光波回路７０３は、シリコン基板上の石英系光導波路で形成されており、第２の平面光波回路７０２と接続される界面にそれぞれ６本の斜め光導波路７１１～７１６及び７３１～７３６と、Ｙ分岐導波路を備える構成となっている。第２の平面光波回路７０２は、ＬＮ基板上の光導波路で形成されており、６本の斜め光導波路７２１～７２６が形成されており、各光導波路には５００μｍ間隔で電極７５１が形成されており、位相変調器として機能する。電極の間隔は電極間の電気的クロストークによって制限されるため、極端に狭くすることが困難である。この構成において、電極ペア７４１、７４２をＰＳＫ変調用とし、電極ペア７４３をＲＺ変調用として駆動することによって、ＲＺ－ＤＱＰＳＫモジュールとして機能する。
　光導波路７１１、７１２、７１５、７１６、７３１、７３２、７３５、７３６は端面との角度を３度とし，光導波路７１３、７１４、７３３、７３４は６度とし、それぞれと接続される第２の平面光波回路の光導波路７２１～７２６は、スネルの法則を満足する角度に設定されている。また、第１の平面光波回路７０１または第３の平面光波回路７０３と第２の平面光波回路７０２との接続界面において光導波路７１１～７１６、７２１～７２６、７３１～７３６の導波路間隔が狭くなる方向に各光導波路が曲げられている。即ち、接続界面において、光導波路の角度の方向を光導波路７２１と光導波路７２６の中間を中心として、各光導波路と前記中心との距離が狭くなる向きに設定されていることによって、接続界面での導波路間隔を狭くしている。
　このような構成にすることによって、反射減衰量を４０ｄＢ以上にしつつ、端面の角度ずれが０．２度になっても、導波路間隔のずれは０．４μｍ以下になり、環境温度が５０度変化しても損失変動を０．２ｄＢ以下に抑制することが可能となる。
　５００　光部品
　５０１　第１の平面光波回路
　５０２　第２の平面光波回路

Claims (4)

  1. 　第１の屈折率を有する第１の平面光波回路と、前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する第２の平面光波回路とが突き合わせ接続された光部品であって、
    　前記第１及び第２の平面光波回路は、それぞれ第１～第ｎ（ｎは２以上の整数）の光導波路を有し、
    　前記第１の平面光波回路の第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数）の光導波路と前記第２の平面光波回路の第ｉの光導波路の位置が、前記第１の平面光波回路と前記第２の平面光波回路との接続界面において一致し、
    　前記第１又は第２の平面光波回路の第ｉの光導波路が前記接続界面の法線となす角度が、スネルの法則を満足する範囲でｉ毎に異なり、かつ前記接続界面において第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間付近に位置する光導波路ほど大きく、前記中間付近から離れるにつれて小さくなっていることを特徴とする光部品。
  2. 　前記接続界面において、前記第ｉの光導波路の前記角度の方向を第１の光導波路と第ｎの光導波路の中間を中心として、前記第ｉの光導波路と前記中心との距離が狭くなる向きに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の光部品。
  3. 　前記第１の平面光波回路と、前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する第２の平面光波回路とは、前記第１の平面光波回路の側面に対して直角な端面と前記第２の平面光波回路の側面に対して直角な端面とが突き合わせ接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光部品。
  4. 　前記第１の平面光波回路は、石英系ガラスで構成されており、前記第２の平面光波回路は、ＬＮで構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光部品。
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