WO2012090416A1 - 検査装置 - Google Patents

検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012090416A1
WO2012090416A1 PCT/JP2011/007022 JP2011007022W WO2012090416A1 WO 2012090416 A1 WO2012090416 A1 WO 2012090416A1 JP 2011007022 W JP2011007022 W JP 2011007022W WO 2012090416 A1 WO2012090416 A1 WO 2012090416A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
unit
detection unit
operation condition
light detection
light
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/007022
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
さおり 松本
Original Assignee
オリンパス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by オリンパス株式会社 filed Critical オリンパス株式会社
Priority to JP2012550699A priority Critical patent/JPWO2012090416A1/ja
Publication of WO2012090416A1 publication Critical patent/WO2012090416A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
    • G01J3/501—Colorimeters using spectrally-selective light sources, e.g. LEDs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
    • G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
    • G01J3/513—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters having fixed filter-detector pairs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/251—Colorimeters; Construction thereof

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus, and more particularly, to an inspection apparatus such as a microscope for inspecting an inspection object such as a specimen.
  • the necessary observation area of the object to be inspected is divided, and the divided images obtained by sequentially capturing images with a high-magnification objective lens while controlling the position of the object to be inspected are integrated to efficiently produce a wide-field and high-definition digital image.
  • a device for imaging well has also been proposed. Such an apparatus is required to continuously image a plurality of slides including the object to be inspected and to perform image processing at high speed. Further, since it is necessary to obtain spectral data in a relatively short time, spectroscopic measurement using a diffraction grating or the like is not practical.
  • the color filter is a filter that passes a specific wavelength range of visible light and blocks the specific wavelength range, and has various configurations. It is possible to control the pass wavelength electrically, such as those made of colored glass, those using pigments that coat the layer containing the pigment, those using interference such as so-called interference filters, and liquid crystal tunable filters.
  • the multispectral sensor is a sensor that can receive a plurality of lights having different spectral characteristics.
  • FIG. 8A is a diagram showing the spectral sensitivity of a sensor using a so-called cut-type color filter that cuts light having a wavelength less than a predetermined value so that light having a wavelength longer than a predetermined wavelength is transmitted and detected by the sensor. It is.
  • FIG. 8B is a diagram showing the spectral sensitivity characteristics of a sensor using a so-called band-type color filter that transmits only light in a predetermined wavelength range and detects the light by the sensor.
  • the amount of light incident on the sensor varies depending on the wavelength, and the characteristics of the light itself incident on the color filter vary depending on the type of light source used in the microscope.
  • the light source used in the microscope include a light emitting diode (LED) light source and a halogen light source.
  • the halogen light source may be used together with a color temperature conversion filter (for example, an LBD filter) depending on the application.
  • FIG. 9 is a diagram showing the spectral characteristics of each light source.
  • the LED light source (white) has a high peak near a wavelength of 460 nm and a relatively low peak near a wavelength of 560 nm.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating output values of the first sensor to the fifteenth sensor for the above-described three light sources, that is, a halogen light source including an LED light source, a halogen light source, and an infrared cut filter.
  • the vertical axis represents the relative value of the sensor output value when the maximum output is 1.
  • the numbers shown on the horizontal axis correspond to the numbers of the respective sensors.
  • the sensor has a peak on the longer wavelength side as the sensor number is larger.
  • the objective lens and the staining density of the subject can be observed during microscope observation.
  • the light incident on the sensor also changes depending on the assumed conditions. Therefore, the sensors constituting the multispectral sensor require a very wide dynamic range.
  • an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and with a simple and inexpensive configuration, it is possible to quickly determine optimum measurement conditions based on illumination information and sample information, and to enable measurement in a short time.
  • An object of the present invention is to provide an inspection apparatus.
  • a photoelectric detection unit a light detection unit that receives illumination light that has acted on the inspection object, an operation condition determination unit that determines an operation condition of the light detection unit, and the light detection based on the operation condition
  • a measurement control unit that controls a unit, and a color estimation processing unit that performs color estimation processing based on an output of the light detection unit controlled based on the operation condition, and the operation condition determination unit includes
  • the operation condition is determined based on at least one of illumination information related to the illumination light irradiated to the inspection object and inspection object information that is information related to the inspection object.
  • the illumination type is determined based on the output of the light detection unit controlled under a predetermined operating condition, and is acquired as illumination information. Therefore, the optimum condition according to the illumination type is obtained. Thus, the inspection object can be inspected.
  • the operation condition determination unit determines the type of the inspection object based on the output of the light detection unit controlled under a predetermined operation condition, and as the information on the inspection object It is preferable to obtain.
  • the optical detection unit and the inspection object are relatively moved, the inspection results of a plurality of locations of the inspection object are acquired, and a virtual slide is generated. It is preferable to further include a virtual slide generator.
  • the inspection object information is based on the output of the light detection unit controlled according to the operation condition based on the acquired illumination information and the output of the light detection unit acquired under the predetermined operation condition. Therefore, the inspection object can be inspected based on the inspection object information acquired quickly and with high accuracy and the illumination information.
  • the operation condition determination unit includes a reading unit, and the information recording unit is read by the reading unit to acquire the inspection object information.
  • the operation condition determination unit includes, as the operation condition, an amplification factor for each of a plurality of photoelectric conversion units included in the light detection unit, an integration time of an output of the light detection unit, It is preferable to determine at least one of the number of integration operations, the time interval of integration operations, and the number of integrations.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a microscope system to which a microscope apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. It is a block diagram which shows the outline of the optical structure of the microscope system shown in FIG. 6 is a flowchart for explaining the schematic operation of the microscope system shown in FIG. 5. The curve showing the spectral sensitivity characteristic of each filter which comprises a multispectral sensor is shown. It is a figure which shows the spectral characteristics of various light sources. It is a figure which shows the output value of the sensor about various light sources.
  • Staining of biological tissue specimens is the work of fixing the dye using chemical reaction to biological tissues that originally have individual differences, so it is difficult to always obtain a uniform result, and staining variation occurs between specimens. Yes. By arranging dyeing technicians with specialized skills, the variation in staining within the same facility can be reduced to some extent, but the variation in staining between different facilities still cannot be solved.
  • the operating condition determination part 11 determines with a light source being an LED light source, when it determines with LED light being in step S204 (Yes of step S204, step S205). On the other hand, if it is determined in step S204 that there is no LED light, the operating condition determination unit 11 determines that the light source is other than the halogen light source and the LED light source (Yes in step S204, S206). Here, the determination for the halogen light source is performed in step S202, and the determination for the LED light source is performed in step S204.
  • the light sources determined in these steps are not limited to the halogen light source and the LED light source. Any light source that can be mounted on the microscope apparatus 10 can be used. As described above, the operation condition determination unit 11 determines the type of illumination (light source) based on the output of the light detection unit 13 and obtains it as illumination information. Therefore, the optimum operation condition according to the type of illumination is determined. And the sample can be measured.
  • the operating condition determination unit 11 determines that the sample is stained for HE staining (Yes in step S302, step S303). On the other hand, when the operation condition determination unit 11 determines that the sensor output value does not match the standard data for HE staining, the operation condition determination unit 11 determines whether the sample staining is Masson trichrome (MT) staining (step S304). ). Similar to step S302, the determination is made by comparing the sensor output value with the standard data of Masson trichrome staining previously held in a database (not shown), and whether or not they match.
  • MT Masson trichrome
  • step S304 when the operation condition determination unit 11 determines that the sensor output value matches the standard data of Masson trichrome staining, the operating condition determination unit 11 determines that the staining of the sample is Masson trichrome staining (Yes in step S304, step S305). On the other hand, when the operation condition determination unit 11 determines in step S304 that the staining is not Masson trichrome staining, the specimen staining is determined to be special staining other than HE staining and Masson trichrome staining (No in step S304). Step S306).
  • the microscope 32 includes a microscope body 34 that is substantially U-shaped in a side view, and a lens barrel portion 33 that is placed on the microscope body 34.
  • the lens barrel 33 includes a camera unit 331, a binocular unit 332, a focus detection unit 333, and a measurement unit 334.
  • the camera unit 331 includes an imaging element such as a CCD or CMOS that forms a specimen image in the field of view of the objective lens 342, images the specimen, and outputs the specimen image to the host system 22.
  • the binocular unit 332 guides observation light so that the specimen 343 can be visually observed.
  • the measurement unit 334 acquires the spectrum information of the sample 343 and outputs it to the host system 22.
  • the stage is movable in the Z direction by a motor (not shown) and a Z drive control unit 31 that controls driving of the motor.
  • the Z drive control unit 31 detects a predetermined origin position in the Z direction of the stage by a Z position origin sensor (not shown), and controls the driving amount of the motor with this origin position as a base point, thereby controlling the predetermined high position.
  • the specimen is moved to an arbitrary Z position within the range.
  • FIG. 6 is a block diagram showing an outline of the optical configuration of the microscope system.
  • the illumination light emitted from the light source 3451 of the light source unit 345 passes through the color temperature conversion filter 3452 and the condenser lens 3453 and is irradiated on the sample 343, and the transmitted light enters the objective lens 342 as observation light.
  • the light that has passed through the objective lens 342 is divided by the half mirror 3331, one is introduced into the focus detection circuit 3332, and the other is introduced into the binocular unit 332.
  • the light introduced into the binocular unit 332 is irradiated to the eyepiece 3323 by the half mirrors 3321 and 3322, and an inspected image (specimen image) of the specimen 343 is visually observed by the spectroscope.
  • the light introduced into the binocular unit 332 is introduced into the measurement unit 334 by the half mirror 3321.
  • the light introduced into the measurement unit 334 is imaged on the imaging surface 3343 by the reflection mirror 3341 and the imaging lens 3342, and a field frame is provided on the imaging surface 3343, and a predetermined field in the imaging surface 3343 is formed. It is the structure which guides only the light. Accordingly, it is possible to cope with a change in the field frame of the imaging plane 3343 (for example, a change from 100 ⁇ m ⁇ 100 ⁇ m to 400 ⁇ m ⁇ 400 ⁇ m).
  • the light of a predetermined field in the imaging surface 3343 is then mixed or diffused by the light diffusing device 3344 (for example, an optical fiber or an integrating sphere) to mix or diffuse the light and irradiate the multispectral sensor 3346. Is done.
  • the light diffusing device 3344 for example, an optical fiber or an integrating sphere
  • an infrared cut filter 3345 may be arranged in front of the multispectral sensor 3346 so as to be removable.
  • the multispectral sensor 3346 includes a plurality of (for example, 4 to 20 colors) color sensors. Regarding the number of color sensors used, that is, the number of measurement spectrum channels, increase the number of channels if the subject has spectrally fine characteristics, and decrease the number of channels if high measurement accuracy is not required. Reduce measurement time. Information on the number of measured spectrum channels is included in the operating condition determined by the operating condition determining unit 11.
  • a plurality of high resolution images obtained by capturing a sample for each part using a high-magnification objective lens 342 are used. This is an image generated by connecting image images and having a wide field of view and a high-definition image showing the entire specimen.
  • FIG. 7 is a flowchart for explaining the schematic operation of the microscope system shown in FIG.
  • the controller 23 controls the Z drive control unit 31 and the XY drive control unit 30 by the stage unit control unit 29, and controls the focus detection unit 333 by the focus detection unit control unit 26, so that the low magnification objective lens 342 is obtained.
  • the stage unit 344 is moved so that the sample 343 is imaged at a low magnification (step S701).
  • an image captured at a low magnification is referred to as a thumbnail image.
  • the host system 22 calculates the number of shooting locations necessary for generating a virtual slide image based on the thumbnail image.
  • the camera unit control unit 24 determines whether or not the number n of imaging is equal to the number of imaging locations calculated by the host system 22 (step S710). If the number n of imaging does not match the number of imaging locations, the stage unit control unit 29 controls the Z drive control unit 31 and the XY drive control unit 30 (step S711), and the processing from step S708 to step S710 is performed. repeat.
  • the host system 22 performs a color estimation process (step S712), and complete
  • the color estimation processing in step S712 is sample spectrum estimation processing, pigment amount estimation processing, and sample image color homogenization development processing.
  • the sample spectrum estimation process is a process for estimating a spectrum from pixel values.
  • the dye amount estimation process is a process of estimating a spectrum from a pixel value and estimating a dye amount of each staining from the spectrum.
  • the sample image color homogenization process is a smoothing process using, for example, a Gaussian filter, a median filter, an average value filter, or the like.
  • the operation condition of the light detection unit 13 is set based on the illumination information and the specimen information before acquiring each divided image.
  • each divided image can be acquired under optimum conditions, and the inspection time can be reduced as compared with a device that performs calibration or the like each time each divided image is acquired.
  • the microscope apparatus is not limited to the transmission microscope as described above, and may be a reflection microscope in which the light detection unit 13 detects illumination light reflected by the sample (acting on the sample). Further, for example, it may be used in an apparatus other than a microscope, such as an inspection apparatus used at the time of manufacturing a semiconductor device.
  • the present embodiment describes a multispectral sensor having a configuration using a dye
  • interference may be used, and wavelength transmittance can be electrically controlled using a liquid crystal tunable filter or the like.
  • a multispectral sensor using a color filter may be used.
  • the sensitivity characteristics of the entire multispectral sensor are changed as a result of selecting the measurement channel of the sensor.
  • a color filter capable of electrically controlling the wavelength transmittance is used, The same effect can be obtained by changing the wavelength transmission characteristics of the filters of each sensor. In this case, a channel that is not used for measurement is generated in this embodiment, but the characteristics of the filter can be controlled so as not to generate this, so that light can be used more efficiently. Two or more of the filters described above may be combined.

Abstract

　測定対象である被検査物に作用した照明光に基づいて被検査物を検査する検査装置であって、分光感度特性が互いに異なる複数の光電変換部を有し、被検査物に作用した照明光を受光する光検出部１３と、光検出部１３の動作条件を決定する動作条件決定部１１と、動作条件に基づいて光検出部１３を制御する計測制御部１２と、動作条件に基づいて制御された前記光検出部１３の出力に基づいて色推定処理を行う色推定処理部１４と、を備え、動作条件決定部１１は、被検査物に対して照射する照明光に関する照明情報、及び被検査物に関する情報である被検査物情報の少なくとも一方に基づいて動作条件を決定する。

Description

検査装置 関連出願の相互参照
　本出願は、２０１０年１２月２８日に出願された日本国特許出願第２０１０－２９１９６７号の優先権を主張するものであり、この先の出願の開示全体をここに参照のために取り込む。
　本発明は、検査装置に関するものであり、特に、標本等の被検査物の検査を行う顕微鏡等の検査装置に関するものである。
　近年、顕微鏡や検査機等の機器において、標本等の被検査物の色等の特性を測定し、画像処理や、診断支援や画像検査等に利用する機器がある。
　例えば、染色された生体標本を解析する顕微鏡等において、標本の複数部位の分光特性を測定し、標本の染色ばらつきを推定して補正することにより、安定した標本画像を得る装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
　一方、被検査物の必要な観察領域を分割し、被検査物を位置制御しながら順次高倍率な対物レンズで撮像して得た分割画像を統合して広視野かつ高精細なデジタル画像を効率よく撮像する装置も提案されている。このような装置では、被検査物を含む複数のスライドを連続的に撮像して、高速で画像処理することが求められている。また、比較的短時間で分光データを得ることが必要となるため回折格子等を用いた分光測定は現実的ではない。このため、撮影に用いられる光の一部を光路分割して、カラーフィルタ等を用いたマルチスペクトルセンサで受光することにより比較的短時間に、簡易的な分光特性を得る技術が採用されてきた。
　ここでカラーフィルタは、可視光のうち特定の波長域を通過させ特定の波長域を阻止するフィルタであり、その構成は様々である。色ガラス製や、色素を含んだ層をコーティングするような色素を利用したものや、いわゆる干渉フィルタのように干渉を利用したもの、液晶チューナブルフィルタのように通過波長を電気的に制御可能なものなど多岐にわたる。また、ここでマルチスペクトルセンサとは複数のスペクトル特性の異なる光を受光可能なセンサである。
　しかし、カラーフィルタ等を用いたマルチスペクトルセンサは、コストやサイズの面で有利である反面、カラーフィルタで実現可能な各色のセンサ間の感度に差異が生じることがある。例えば色素タイプのカラーフィルタでは使用できる色素に制限があるために感度に差異が生じる。一方干渉を利用したフィルタや電気的に波長を制御可能なタイプでは、波長幅に生産上の制限は少ないが、用途によって、高精度にスペクトルの分解能を得たい波長領域と、そうでない波長領域と、がある場合など、取得波長の幅を異ならせることも多く、結果として各色のセンサ間の感度に差異が生じることになる。また、測定する光源や被測定物によっても入射する光量が異なる。
　これらを色素タイプのカラーフィルタの場合を例にとり図８から１０を用いて以下に詳細に記す。
　図８（Ａ）及び（Ｂ）では、横軸に波長を、縦軸に各波長における相対的な分光感度特性を示す。図８（Ａ）は所定未満の波長の光をカットすることで、所定以上の波長の光を透過し、センサに検出させる、いわゆる、カット型のカラーフィルタを用いたセンサの分光感度を示す図である。一方、図８（Ｂ）は、所定の波長域の光だけを透過させ、センサに検出させる、いわゆる、バンド型のカラーフィルタを用いたセンサの分光感度特性を示す図である。
　図８（Ａ）は、マルチスペクトルセンサを構成する１５個のフィルタに対応する各センサの分光感度特性を表す曲線を示す。例えば、最も左側を始点とする曲線に対応するセンサ（１番センサ）は波長５３０ｎｍ付近で最も分光感度が高く、他の曲線よりも全体的に分光感度が高い。すなわち、このような特性を有するセンサは、他のセンサと比較して透過する光量が多い。一方、最も右側（７２０ｎｍ付近）に始点を有する曲線に対応するセンサ（１５番センサ）は、波長７４０ｎｍ付近になだらかなピークを有し、他のセンサよりも全体的に分光感度が低い。すなわち、１５番センサのフィルタは、他のセンサのフィルタと比較して透過する光量が少ない。図８（Ｂ）に示すバンド型のカラーフィルタを用いたセンサの場合についても、同様に、センサを構成する各フィルタの分光感度は種々の波長域で異なる。
　このように、カラーフィルタの特性により、センサに入射する光量が波長ごとにばらつきがあることに加えて、顕微鏡に用いられる光源の種類に応じてカラーフィルタに入射する光自体の特性も異なる。顕微鏡に用いられる光源には、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源、ハロゲン光源等がある。ハロゲン光源は、用途に応じて、色温度変換フィルタ（例えば、ＬＢＤフィルタ）と共に用いられることもある。図９は、各光源の分光特性を示す図である。ＬＥＤ光源（白色）は、波長４６０ｎｍ付近に高いピークを有し、波長５６０ｎｍ付近で比較的低いピークを有する。ハロゲン光源は、可視光波長域ではピークは有さず、波長が高くなることに応じて強度が上昇する。他方、赤外線カットフィルタを備えるハロゲン光源は、ＬＥＤ光源のように分光感度特性を示す曲線が著しく高いピークを有することなく、可視光波長域で比較的安定した強度を有する。このように、光源の種類に応じて、センサに入射する光の強度が大きく異なる。
　さらに、マルチスペクトルセンサを構成するセンサについても、波長や光源ごとにセンサ出力が異なる。このことについて、図１０を参照して説明する。図１０は、上述した３種の光源、すなわち、ＬＥＤ光源、ハロゲン光源、赤外線カットフィルタを備えるハロゲン光源について、第１センサ～第１５センサの出力値を示す図である。縦軸は、最大出力を１とした場合の、センサ出力値の相対値を示す。横軸に示した番号は、それぞれ各センサの番号に対応する。また図８(Ａ)に示すように、センサ番号が大きいほど、より長波長側にピークを有するセンサとなる。
　各光源について、第１センサは、最大出力値１を示す。そして、第２センサ～第１５センサについて、検出する光の波長が大きくなるほど、センサ出力値は相対的に減少する。減少の傾向は、ハロゲン光源を用いた場合が最もなだらかであり、ＬＥＤ光源及び色温度変換フィルタを伴うハロゲン光源の場合は、ハロゲン光源の場合よりも、波長が高くなるにつれて急激にセンサ出力値が減少する。このように、光源の種類によっても、マルチスペクトルセンサに入射する光の特性が異なる。
　上述したような、マルチスペクトルセンサを構成するカラーフィルタの特性、センサの特性、そしてマルチスペクトルセンサに入射する光の光源自体の特性に加えて、対物レンズや、被写体の染色濃度といった、顕微鏡観察時に想定される諸条件によっても、センサに入射する光は変化する。したがって、マルチスペクトルセンサを構成するセンサは、非常に広いダイナミックレンジを必要とする。
　ところで、センサには、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）やＣＣＤ（Charge Coupled Device）など、フォトダイオードで生じる光電流を積分することによって入射光量検出を行う（すなわち、蓄積積分方式で検出を行う）センサが用いられてきた。よって、上述のように、マルチスペクトルセンサを構成する各センサに入射する光の特性が異なることで、各センサのフォトダイオード部に入射する光量に大きな差異が生じると、フォトダイオードとその読み出し回路には、非常に広いダイナミックレンジが必要となる。
　ここで、マルチスペクトルセンサを構成する各センサを、同一の積分時間で制御する場合、センサのダイナミックレンジが不足するため、明るさを変更して複数回積分を行う、異なるゲインで複数回測定を行う、光源のフリッカーをキャンセルする等の工夫が必要となり、測定に時間を要し、高速化ができないという課題があった。
　このような課題に対するセンサ側での対処方法としては、マルチスペクトルセンサを構成する各センサの開口面積を異ならせることや（例えば、特許文献２参照）、センサーデータ読み出し時の利得を各センサの感度に応じて異ならせること(例えば、特許文献３、特許文献４参照）ことが挙げられる。しかし、そのためには、ハードウェア的な構造が必要となり、センサ回路が複雑になると共に、様々な光源を用いて、様々な色の被写体を測定する場合には、全ての組み合わせに対応した制御パターンを設計時にハードウェアに組み込む必要があり、ハードウェア構成が大掛かりなものとなり、高コスト化するという問題がある。
特開２００９―１４３５４号公報 特開２００４－３１７１３２号公報 特開２００５－３０８７４７号公報 特開２００７－１０３３７号公報
　したがって、本発明の目的は、上記問題を解決するため、簡単且つ安価な構成で、照明情報及び標本情報に基づく最適な測定条件を迅速に決定することができ、短時間での測定を可能にする検査装置を提供することにある。
　上記課題を解決するため、本発明に係る検査装置は、測定対象である被検査物に作用した照明光に基づいて前記被検査物を検査する検査装置であって、分光感度特性が互いに異なる複数の光電変換部を有し、前記被検査物に作用した照明光を受光する光検出部と、前記光検出部の動作条件を決定する動作条件決定部と、前記動作条件に基づいて前記光検出部を制御する計測制御部と、前記動作条件に基づいて制御された前記光検出部の出力に基づいて色推定処理を行う色推定処理部と、を備え、前記動作条件決定部は、前記被検査物に対して照射する前記照明光に関する照明情報、及び前記被検査物に関する情報である被検査物情報の少なくとも一方に基づいて前記動作条件を決定することを特徴とする。
　本発明に係る検査装置によれば、照明情報や標本情報に基づいて測定条件を変えるので、最適な条件で被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、設定記憶部を備え、前記動作条件決定部は、前記設定記憶部に記憶された情報から、前記照明情報を取得することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、設定記憶部に記憶された情報から、照明情報を取得するので、最適な条件で、迅速に被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて照明の種別を判別し、前記照明情報として取得することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて照明の種別が判別され、照明情報として取得されるので、照明の種別に応じた最適な条件で、被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて前記被検査物の種別を判別し、前記被検査物の情報として取得することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて被検査物の種別が判別され、前記被検査物の情報として取得されるので、被検査物の種別に応じた最適な条件で、被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記光検出部と、前記被検査物とを相対的に移動させて、前記被検査物の複数個所の検査結果を取得して、バーチャルスライドを生成する、バーチャルスライド生成部を更に備えることが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、光源の照明情報や標本情報に基づいて測定条件を変えるので、最適な条件でバーチャルスライドを生成することができ、バーチャルスライドを高速に生成することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、取得した照明情報に基づく動作条件に従って制御された前記光検出部の出力と、前記所定の動作条件で取得した前記光検出部の出力と、に基づいて前記被検査物情報を取得することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、取得した照明情報に基づく動作条件に従って制御された光検出部の出力と、所定の動作条件で取得した光検出部の出力と、に基づいて被検査物情報を取得するので、迅速且つ高精度で取得した被検査物情報と、照明情報とに基づいて、被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は読取部を有し、当該読取部により情報記録部を読み取って、前記被検査物情報を取得することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、動作条件決定部は読取部を有し、当該読取部により情報記録部を読み取って、被検査物情報を取得するので、自動的に最適な条件を決定し、被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部が有する複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率、前記光検出部の出力の積分時間、積分動作回数、積分動作の時間間隔及び積算回数のうちの少なくとも一つを決定することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、動作条件として、光検出部が有する複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率、光検出部の出力の積分時間、積分動作回数、積分動作の時間間隔及び積算回数のうちの少なくとも一つを決定するので、簡単且つ低コストな構成で、照明又は被検査物に適した条件を決定し、被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部が有する前記複数の光電変換部のうち、使用する光電変換部を決定することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、動作条件として、光検出部が有する複数の光電変換部のうち、使用する光電変換部を決定するので、照明又は被検査物に適した条件で被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部のダイナミックレンジを拡大するように、前記光検出部で積分動作が複数回行われるように決定すると共に、順次の積分動作の時間間隔、及び前記積分動作の各回における前記光検出部による前記出力の積分時間、並びに前記複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率を決定することが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、光検出部のダイナミックレンジを拡大するように、検出部で積分動作が複数回行われるように決定すると共に、順次の積分動作の時間間隔、及び積分動作の各回における光検出部の出力の積分時間、並びに複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率を決定するので、迅速且つ高精度に被検査物を検査することができる。
　また、本発明に係る検査装置において、前記色推定処理部は、前記色推定処理として、前記被検査物の色の詳細判別処理及びスペクトル推定処理のうち、少なくとも一方を行うことが好ましい。
　本発明に係る検査装置によれば、被検査物の色の詳細判別処理及びスペクトル推定処理のうち少なくとも一方が行われるので、検査結果の可視化や判別処理の精度が改善される。
　本発明によれば、測定に先立って照明情報又は標本情報に基づいて光検出部の動作条件を予備設定し、光検出部の出力に基づいて標本の色推定処理を行うので、簡単且つ安価な構成で、照明情報及び標本情報に基づく最適な測定条件を迅速に決定して短時間での測定を可能にするとともに、測定結果の精度を改善することができるようになる。
本発明による一実施の形態に係る顕微鏡装置の構成を示すブロック図である。 動作条件決定部における、照明情報取得方法の一例を示すフローチャートである。 動作条件決定部における、標本情報取得方法の一例を示すフローチャートである。 本発明による一実施の形態に係る顕微鏡装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明による一実施の形態に係る顕微鏡装置を適用した顕微鏡システムの概略構成を示す図である。 図５に示す顕微鏡システムの光学構成の概略を示すブロック図である。 図５に示す顕微鏡システムの概略動作を説明するフローチャートである。 マルチスペクトルセンサを構成する各フィルタの分光感度特性を表す曲線を示す。 様々な光源の分光特性を示す図である。 様々な光源についてのセンサの出力値を示す図である。
　以下、本発明による検査装置の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
　（第１実施の形態）
　本発明による検査装置は、例えば、特定の色の検出や、画像化（現像）時の色再現性の向上などを目的に使用することができる。本実施形態では、一例として、臓器摘出によって得たブロック標本や針生検によって得た病理標本を測定対象である被検査物とし、病理標本を測定するための顕微鏡装置について説明する。よって、以下の説明では測定対象である被検査物のことを標本と称し、被検査物に関する情報である被検査物情報を標本情報と称する。薄切りされた標本は、光を殆ど吸収及び散乱せず無色透明に近いため、一般的に、観察に先立って色素による染色が施される。
　生体組織標本の染色は、元々個体差を有する生体組織に対し、化学反応を用いて色素を固定する作業であるため、常に均一な結果を得ることが難しく、標本間で染色のばらつきが生じている。専門の技能を有した染色技師を配置することで、同一施設内での染色ばらつきはある程度軽減できるが、異なる施設間での染色ばらつきは依然として解決できていない。
　染色にばらつきがあると、決定的な所見が見落とされる恐れがある。また、染色された標本を透過した光を検出及び測定して、可視化して画像処理する場合、染色ばらつきが画像処理精度に悪影響を及ぼすおそれがある。例えば、ある病変が特定の色を呈することが判っていたとしても、標本を撮像した観察画像から自動的にその病変に対応する画像領域を抽出することが難しくなる。
　そこで、本実施の形態による顕微鏡装置は、測定対象である染色標本を透過（作用）した光の検出及び測定に先立って、光の検出及び測定を行う光検出部の動作条件を決定すると共に、光検出部の出力に基づいて標本の色推定処理を行う。光検出部の動作条件を調節することで、標本の測定条件を最適化することが可能となる。
　図１は、一実施の形態による顕微鏡装置の要部概略構成を示すブロック図である。本実施の形態による顕微鏡装置１０は、動作条件決定部１１と、計測制御部１２と、光検出部１３と、を備える。また、図示しないが顕微鏡装置１０は、例えば、光源として、ＬＥＤ、ハロゲンランプ等を備えるものとする。
　光検出部１３は、分光感度特性が互いに異なる複数の光電変換部を有し、標本に作用した照明光を受光する。ここでは、光検出部１３は、図８（Ａ）に示したような特性を有するカラーフィルタを有するマルチスペクトルセンサを備えるものとする。光検出部１３は、光源から放射され、測定対象である標本を透過した光（測定光）を検出する。
　動作条件決定部１１は、光検出部１３の動作条件を決定する。特に、動作条件決定部１１は、標本に対して照射する照明光に関する照明情報、及び標本に関する情報である標本情報の少なくとも一方に基づいて光検出部１３の動作条件を決定する。更には、動作条件決定部１１は、所定の動作条件（以下、光検出予備動作と称する）で制御された光検出部１３の出力（センサ出力）に基づいて照明の種別を判別し、照明情報として取得する。動作条件決定部１１は、照明情報の取得にあたって、図２を参照して後述する方法に従って、標本に対して光を照射する光源（照明）の種別を判定する。また、動作条件決定部１１は、標本情報の取得にあたって、図３を参照して後述する方法に従って、標本の染色の種別を判定する。
　また、動作条件決定部１１は、図２及び図３を参照して後述するような方法に従って、照明情報及び標本情報を取得するだけではなく、ユーザインタフェースにより入力を受け付け、入力結果に基づいて照明情報及び標本情報を取得し、光検出部１３の動作条件を決定することもできる。この場合、情報の入力は、入力部を構成するキーボードを用いて手動により行うことができる。
　この場合、動作条件決定部１１は、読取部を有し、当該読取部により情報記録部を読み取って、標本情報を取得することが好ましい。この読取部は、自動読取りタイプのバーコードリーダによって構成されうる。そして、自動読取りタイプのバーコードリーダは、所定箇所に標本がセットされると、標本情報が埋め込まれたバーコードを自動的に読み取る。これにより、フルオートで標本情報を取得することができ、手入力が不要となり、操作が容易且つ迅速になるという効果が生じる。なお、バーコードにより標本情報を直接取得してもよいが、バーコードリーダで読取った情報に従って、インターネット等の通信手段により標本情報を取得してもよい。標本情報には、例えば、標本の作成施設、標本の染色方法、標本の臓器種類、及び標本の厚みの情報が含まれる。この他にも、標本の染色色素や画像情報等を含めてもよい。
　図２は、動作条件決定部１１における、照明情報取得方法の一例を示すフローチャートである。動作条件決定部１１は、予め所定の標準照明情報を有し、光検出部１３によるセンサ出力と、所定の標準照明情報との比較に基づいて照明情報を取得する。ここで、標準照明情報とは、例えば、ハロゲン光源やＬＥＤ光源等顕微鏡に備えられうる光源のスペクトル特性を表す基準値である。すなわち、ハロゲン光源についての標準照明情報は、赤色光（波長６２０ｎｍ～７５０ｎｍ程度）や赤外光（波長約７００ｎｍ～１ｍｍ）の光量の基準値であり、ＬＥＤ光源についての標準照明情報は、白色ＬＥＤ光のスペクトルのピークが存在する、波長４６０ｎｍ付近の光量の基準値でありうる。これら光量の基準値は絶対的な値でもよいし、所定の色（例えば５００ｎｍ～６００ｎｍ）に対する上記赤色光や赤外光の比などのような相対値でもよい。
　動作条件決定部１１は、予め定められた光検出予備動作に従って動作する光検出部１３によって検出される、光源から放射された光（照明光）についてのセンサ出力を取得する（ステップＳ２０１）。例えば、光検出予備動作は、顕微鏡装置１０のステージにセットした標本載置用のスライドガラス（標本を含まない）を透過した光（すなわち、標本に作用していない照明光）についてのセンサ出力を検出する動作である。動作条件決定部１１は、取得したセンサ出力を分析し、赤色光の有無を判定する（ステップＳ２０２）。判定は、マルチスペクトルセンサを構成する複数のセンサのうち、赤色光の波長帯の光を検出するために設けられたセンサのセンサ出力値に基づいて行われる。例えば、動作条件決定部１１は、図８（Ａ）に示したプロットラインのうち、左から１３番目に始点を有するプロットライン（第１３センサのプロットライン）のような分光感度特性を有するカラーフィルタを経た光を検出するセンサのセンサ出力値が所定値以上であるか否かを判定することによって、赤色光の有無を判定する。なお、ステップＳ２０２にて、赤色光ではなく、赤外光の有無を判定しても良い。また、上記に示す実施の形態では所定の波長帯の光の有無を所定の波長帯のセンサ出力に基づいて検出しているが、例えば、所定の波長帯と基準の波長帯（例えば５００ｎｍ～６００ｎｍ）のセンサ出力の比に基づき、比が所定値以上であるか否かを判定してもよい。
　そして、動作条件決定部１１は、ステップＳ２０２で赤色光ありと判定した場合、光源をハロゲン光源であると判定する（ステップＳ２０２のＹｅｓ、ステップＳ２０３）。一方、ステップＳ２０２で赤色光無しと判定した場合、ＬＥＤ光（特に、白色ＬＥＤ光）の有無を判定する（ステップＳ２０２のＮｏ、ステップＳ２０４）。判定は、例えば、白色ＬＥＤ光のスペクトルのピークが存在する、波長４６０ｎｍ付近の光量が所定値以上であるか否かを基準に行われる。例えば、動作条件決定部１１は、図８（Ａ）に示したプロットラインのうち、左から５番目に始点を有するプロットライン（第５センサのプロットライン）のような透過特性を有するカラーフィルタを経た光を検出するセンサの検出値を、左から６番目に始点を有するプロットライン（第６センサのプロットライン）のような透過特性を有するカラーフィルタを経た光を検出するセンサの検出値で除算して、その値が所定値より大きいか否かを判定する。
　そして、動作条件決定部１１は、ステップＳ２０４でＬＥＤ光ありと判定した場合、光源をＬＥＤ光源であると判定する（ステップＳ２０４のＹｅｓ、ステップＳ２０５）。一方、ステップＳ２０４でＬＥＤ光無しと判定した場合、動作条件決定部１１は、光源をハロゲン光源及びＬＥＤ光源以外であると判定する（ステップＳ２０４のＹｅｓ、Ｓ２０６）。なお、ここでは、ステップＳ２０２においてハロゲン光源についての判定を行い、ステップＳ２０４でＬＥＤ光源についての判定を行ったが、これらのステップにて判定される光源は、ハロゲン光源及びＬＥＤ光源には限定されず、顕微鏡装置１０に実装されうるあらゆる光源でありうる。このように、動作条件決定部１１は、光検出部１３の出力に基づいて照明（光源）の種別を判別して、照明情報として取得するので、照明の種別に応じた最適な動作条件を決定し、標本を測定することができる。
　図３は、動作条件決定部１１における、標本情報取得方法の一例を示すフローチャートである。動作条件決定部１１は、所定の動作条件で制御された光検出部１３の出力に基づいて標本の種別を判別し、標本情報として取得する。動作条件決定部１１は、光源から照射され、標本に作用（透過）した照明光（測定光）についての、光検出部１３のマルチスペクトルセンサのセンサ出力を取得する（ステップＳ３０１）。そして、動作条件決定部１１は、測定対象である標本の染色がＨＥ（Hematoxylin-Eosin）染色であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。例えば、判定は、取得したセンサ出力の値と、予めデータベース（図示せず）に保持しているＨＥ染色の標準データとを比較し、センサ出力の値がＨＥ染色の標準データと一致するか否かにより行われる。
　そして、動作条件決定部１１は、センサ出力値がＨＥ染色の標準データと一致すると判定した場合には、標本の染色をＨＥ染色と判定する（ステップＳ３０２のＹｅｓ、ステップＳ３０３）。一方、動作条件決定部１１は、センサ出力値がＨＥ染色の標準データと一致しないと判断した場合には、標本の染色がマッソントリクローム（ＭＴ）染色であるか否かを判定する（ステップＳ３０４）。判定は、ステップＳ３０２と同様に、センサ出力値を、予めデータベース（図示せず）に保持しているマッソントリクローム染色の標準データとを比較し、一致するか否かにより行われる。
　そして、動作条件決定部１１は、センサ出力値がマッソントリクローム染色の標準データと一致すると判定した場合には、標本の染色をマッソントリクローム染色と判定する（ステップＳ３０４のＹｅｓ、ステップＳ３０５）。一方、動作条件決定部１１は、ステップＳ３０４で、マッソントリクローム染色ではないと判定した場合、標本の染色はＨＥ染色及びマッソントリクローム染色以外の特殊染色であると判定する（ステップＳ３０４のＮｏ、ステップＳ３０６）。
　なお、マッソントリクローム染色はＨＥ染色よりも、多数の色に標本が染色されるため、より詳細な測定が必要になる。また、用途に応じて、ギムザ染色等の他の特殊染色を判別するように動作条件決定部１１を構成することも可能である。さらには、病理検査でいうところの標準染色であるＨＥ染色や、同特殊染色であるマッソントリクローム染色のみに限らず、免疫染色を判別するように動作条件決定部１１を構成することも可能である。
　計測制御部１２は、動作条件決定部１１が決定した動作条件に基づいて光検出部１３を制御する。表１に動作条件の一例を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、動作条件決定部１１は、光源（照明情報）及び染色方法（標本情報）毎に、測定に使用する測定チャネル（光電変換部）、積算回数、フリッカーキャンセルの有無、センサ積分時間、及び積分動作回数等の設定を予め保持している。また、動作条件決定部１１は、積分動作が複数回行われる場合の動作時間間隔の設定も予め保持している。さらに、動作条件決定部１１は、各センサのセンサ出力の各種増幅率も予め保持している。ここで測定チャネルとは、光検出部１３を構成するマルチスペクトルセンサが有する複数のセンサ（光電変換部）からのセンサ出力のうち、標本の測定に用いるセンサを示すものであり、番号は、特定された染色方法にて用いられる色の波長域の光を検出するためのセンサの番号（図１０に示すセンサ番号に同じ）に対応する。
　積算回数とは、例えば、複数回数測定してその平均値を採用する場合の測定回数のことをいう。積算回数を多くすることで、高い測定精度を得ることができるとともに被写体が暗い場合にも対応することが出来る。また、フリッカーキャンセルとは、例えば、ＬＥＤ光源の場合のＰＷＭ制御によるフリッカーの影響を除去することを含む。動作条件決定部１１は、動作条件として、光検出部１３が有する複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率、光検出部１３の出力の積分時間、積分動作回数、積分動作の時間間隔及び積算回数のうちの少なくとも一つを決定する。これにより、本実施形態に係る顕微鏡装置は、簡単且つ低コストな構成で、照明又は標本に適した条件を決定でき、標本を測定することができるようになる。
　さらに、センサ積分時間を変えて複数回測定することにより、ダイナミックレンジを拡大することができる。この場合、順次の積分動作の時間間隔、及び積分動作の各回における光検出部１３によるセンサ出力の積分時間、並びに複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率を決定する。これにより、本実施形態に係る顕微鏡装置は、迅速且つ高精度で標本を測定することができるようになる。
　このようにして、計測制御部１２は、動作条件決定部１１によって取得された照明情報及び標本情報に基づいて、光検出部１３の測定チャネル、当該測定チャネルによるセンサ出力の積算回数、フリッカーキャンセルの有無、及び、センサ積分時間を制御する。
　色推定処理部１４は、動作条件に基づいて制御された光検出部１３により得られたセンサ出力に基づいて色推定処理を行う。色推定処理は、標本の色の詳細判別処理及びスペクトル推定処理、標本の色素量推定処理の少なくともいずれかでありうる。色推定処理を行うことにより、光検出部１３により得られた検査結果である標本画像の視認性を向上させることができ、且つ、標本画像についての判別処理の精度を向上させることが可能になる。なお、色推定処理は、公知のウィナー推定等による色推定処理であっても良い。
　図４は本実施の形態に係る顕微鏡装置の動作を説明するフローチャートである。顕微鏡装置１０は、動作条件設定部１１によって、照明情報及び／又は標本情報を取得する（ステップＳ４０１）。そして、動作条件設定部１１によって、取得した各情報に対応する動作条件を決定する（ステップＳ４０２）。次に、計測制御部１２によって、決定した動作条件に従って光検出部１３を制御して計測を行い、センサ出力を取得する（ステップS４０３）。そして、色推定処理部１４によって、光検出部１３によるセンサ出力に基づいて色推定処理を行う（ステップＳ４０４）。
　このように、本実施形態の顕微鏡装置によれば、動作条件決定部１１を有することにより、照明や標本の種類や特徴に応じて光検出部１３の動作条件を変えることができるので、常に最適な条件で標本を測定することができるようになる。
　更に、動作条件決定部１１は、図２を参照して説明した、照明情報の取得にあたって、ユーザインタフェースを介した入力を受け付け、入力された光源の種別等の情報を照明情報として取得し、光検出部１３の動作条件を決定することもできる。この場合、図２に示したように測定に基づいて照明情報を取得する場合に比べて、標本の測定までに要する時間を短縮することができる。
　更に、動作条件決定部１１は、照明情報を、例えば、図示しない設定記憶部等に記憶された設定情報から取得することもできる。設定記憶部は、例えば、本実施の形態に係る顕微鏡装置に取り付けられた照明切り替えスイッチ等に連動される。動作条件決定部１１は、設定記憶部を参照することで、例えば、光源の種別（ＬＥＤ光源、ハロゲン光源等）の照明情報を取得する。この場合、動作条件決定部は照明情報取得のための照明光の測定を行わないので、迅速に、光検出部１３の動作条件を決定し、標本を測定することができる。動作条件決定部１１は、照明がハロゲン光源の場合には、色温度変換フィルタの有無に関する照明情報を、例えば、設定記憶部等に記憶されたフィルタオンオフスイッチの情報から取得する。そして、例えば、照明情報を、（１）LED光源で周波数制御又はＰＷＭ（Pulse Width Modulation）制御がある場合、（２）LED光源で周波数制御及びＰＷＭ（Pulse Width Modulation）制御がない場合、（３）ハロゲン光源で色温度変換フィルタがある場合、（４）ハロゲン光源のみの場合のいずれかに分類して取得する。そして、動作条件決定部１１は、上述の（１）のような照明情報を取得した場合には、フリッカーキャンセルが必要であると判定し、この判定結果に基づいて光検出部１３の動作条件を決定する。
　更には、動作条件決定部１１は、図２を参照して説明した方法に従って照明情報を取得するのではなく、予め設定された照明情報を有し、当該照明情報に基づいて光検出部１３の動作条件を決定することが可能である。
　更には、動作条件決定部１１は、図３を参照して説明した、標本情報の取得にあたって、標本を含むプレパラートに付されたバーコード等を読み取って、当該バーコードに埋め込まれた標本情報を取得することも可能である。これにより、標本情報の測定に要する時間を短縮でき、迅速に標本の測定を行うことが可能になる。
　更には、動作条件決定部１１は、図２を参照して説明した方法に従う等により取得した照明情報照明情報に基づく動作条件に従って制御された光検出部１３のセンサ出力と、所定の動作条件で取得した光検出部１３のセンサ出力と、に基づいて標本情報を取得することもできる。すなわち、動作条件決定部１１は、既に取得済みの照明情報を利用して標本情報を取得することができる。これにより、本実施形態に係る顕微鏡装置は、照明情報と、当該照明情報に基づいて迅速且つ高精度に取得した標本情報と、に基づいて標本を測定することができる。
　この場合、動作条件決定部１１は、取得済みの照明情報に基づいて決定した動作条件の下、光検出部１３によって標本を経た光についてのセンサ出力値を測定する。そして、このセンサ出力値と、照明情報を取得した際のセンサ出力値と、に基づいて、標本の分光透過率を推定する。このようにして、動作条件決定部１１は、標本に施された染色を特定する。なお、図３を参照して説明したように、動作条件決定部１１は、染色の特定は、例えば、予めデータベースに保持しているＨＥ染色やマッソントリクローム染色等の標準データとの比較により行うことができる。
　ここで、図５に、本実施の形態に係る顕微鏡装置を備える顕微鏡システムの具体的構成を示す概略図を示す。顕微鏡システムは、ユーザインタフェース２１と、ホストシステム２２と、制御コントローラ２３と、カメラユニット制御部２４と、測定ユニット制御部２５と、フォーカス検出ユニット制御部２６と、レボルバユニット制御部２７と、光源ユニット制御部２８と、ステージユニット制御部２９と、ＸＹ駆動制御部３０と、Ｚ駆動制御部３１と、顕微鏡３２とを備える。ホストシステム２２は、例えばＰＣであり、動作条件決定部１１及び色推定処理部１４に対応する。制御コントローラ２３は、計測制御部１２に対応する。
　顕微鏡３２は、側面視略コ字状の顕微鏡本体３４と、顕微鏡本体３４の上部に載置された鏡筒部３３とを備える。鏡筒部３３は、カメラユニット３３１と、双眼ユニット３３２と、フォーカス検出ユニット３３３と、測定ユニット３３４とを備える。カメラユニット３３１は、対物レンズ３４２の視野範囲の標本像を結像するＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えて構成され、標本を撮像し、標本画像をホストシステム２２に出力する。双眼ユニット３３２は、標本３４３を目視観察できるように観察光を導く。測定ユニット３３４は、標本３４３のスペクトル情報を取得し、ホストシステム２２に出力する。
　顕微鏡本体３４は、対物レンズ３４２を保持するレボルバユニット３４１と、標本３４３が載置されるステージユニット３４４と、顕微鏡本体３４の底部後方に内設された光源ユニット３４５とを備える。
　レボルバユニット３４１が保持するレボルバは、顕微鏡本体３４に対して回転自在であり、対物レンズ３４２を標本３４３の上方に配置する。対物レンズ３４２は、レボルバに対して倍率（観察倍率）の異なる他の対物レンズとともに交換自在に装着されており、レボルバの回転に応じて観察光の光路上に挿入されて標本３４３の観察に用いる対物レンズ３４２が択一的に切換えられるようになっている。
　ここで、対物レンズ３４２の光軸方向をＺ方向とし、Ｚ方向と垂直な平面をＸＹ平面として定義すると、ステージユニット３４４のステージは、ＸＹＺ方向に移動自在に構成されている。すなわち、ステージは、モータ（図示せず）及び該モータの駆動を制御するＸＹ駆動制御部３０によってＸＹ平面内で移動自在である。ＸＹ駆動制御部３０は、ＸＹ位置の原点センサ（図示せず）によってステージのＸＹ平面における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、標本の観察視野を移動させる。
　また、ステージは、モータ（図示せず）及び該モータの駆動を制御するＺ駆動制御部３１によってＺ方向に移動自在である。Ｚ駆動制御部３１は、Ｚ位置の原点センサ（図示せず）によってステージのＺ方向における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、所定の高さ範囲内の任意のＺ位置に標本を焦準移動させる。
　制御コントローラ２３は、ホストシステム２２の制御に基づいて、顕微鏡装置３２を構成する各部の動作を統括的に制御する。例えば、制御コントローラ２３は、レボルバを回転させて観察光の光路上に配置する対物レンズ３４２を切換える処理や、切換えた対物レンズ３４２の倍率等に応じた光源の調光制御や各種光学素子の切換え、あるいはＸＹ駆動制御部３０やＺ駆動制御部３１に対するステージの移動指示等、標本３４３の観察に伴う顕微鏡３２の各部の調整を行うとともに、各部の状態を適宜ホストシステム２２に通知する。
　また、制御コントローラ２３は、フォーカス検出ユニット３３３を制御して顕微鏡３２のフォーカス状態に関する情報を取得し、その結果に応じてＺ駆動制御部３１に対するステージの移動指示を行うことで標本に自動的にピントを合わせるオートフォーカス制御を実現する。
　さらに、制御コントローラ２３は、ホストシステム２２の制御に基づいて、カメラユニット３３１の自動ゲイン制御のＯＮ／ＯＦＦ切換、ゲインの設定、自動露出制御のＯＮ／ＯＦＦ切換、露光時間の設定等を行ってカメラユニット３３１を駆動し、カメラの撮像動作を制御する。また、測定ユニット３３４によるスペクトルの取得の際の測定視野や測定箇所、測定数、測定の際の積算回数や使用するマルチスペクトルセンサのチャネル数、フィルタ設定等を制御する。
　図６は、顕微鏡システムの光学構成の概略を示すブロック図である。光源ユニット３４５の光源３４５１から射出された照明光は、色温度変換フィルタ３４５２とコンデンサレンズ３４５３とを通過して標本３４３に照射され、その透過光が観察光として対物レンズ３４２に入射する。
　対物レンズ３４２を通過した光はハーフミラー３３３１によって分割され、一方はフォーカス検出回路３３３２に導入され、他方は双眼ユニット３３２に導入される。双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１及び３３２２によって接眼レンズ３３２３へ照射され、標本３４３の被検査画像（標本像）が検鏡者に目視観察される。
　また、双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１及び３３２２によってカメラユニット３３１へ導入される。カメラユニット３３１へ導入された光は、結像レンズ３３１１を介してカメラ結像面３３１２に結像される。
　また、双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１によって測定ユニット３３４へ導入される。測定ユニット３３４へ導入された光は、反射ミラー３３４１及び結像レンズ３３４２により結像面３３４３で結像され、結像面３３４３上には視野枠が設けられ、結像面３３４３中の所定の視野の光のみを導く構成となっている。これにより、結像面３３４３の視野枠の変更（例えば、１００μｍ×１００μｍから４００μｍ×４００μｍへの変更）に対応可能となる。結像面３３４３中の所定の視野の光はその後光拡散デバイス３３４４（例えば、光ファイバ又は積分球）により、結像面３３４３の光を混合又は拡散して均一化され、マルチスペクトルセンサ３３４６に照射される。なお、マルチスペクトルセンサ３３４６の前には赤外カットフィルタ３３４５を挿脱可能なように配置することも可能である。
　マルチスペクトルセンサ３３４６は、複数（例えば、４～２０色）のカラーセンサで構成されている。使用するカラーセンサ数、すなわち計測スペクトルチャネル数については、被写体が分光的に細かい特性を持っている場合にはチャネル数を多くし、高い測定精度を必要としない場合にはチャネル数を少なくして計測時間を短縮する。測定スペクトルチャネル数の情報は、動作条件決定部１１で決定される動作条件に含まれる。
　上述の顕微鏡システムでバーチャルスライドを作成する場合には、制御コントローラ２３は、ホストシステム２２の制御に基づいて、ＸＹ駆動制御部３０やＺ駆動制御部３１に対するステージの移動指示と、カメラユニット制御部２４に対する撮像指示との同期をとる。すなわち、光検出部１３を構成するカメラユニット３３１に対して、標本３４３を移動させて、標本３４３の複数個所の検査結果である標本画像を取得して、バーチャルスライドを生成する。上述したような各機能ブロックは、バーチャルスライド生成部を構成する。そして、ホストシステム２２は、顕微鏡３２により取得された複数の部分的な対象標本画像をそれぞれ処理して、バーチャルスライド画像を生成する。ここで、バーチャルスライド画像とは、顕微鏡３２よって撮像した１枚以上の画像を繋ぎ合せて生成した画像であり、例えば高倍率の対物レンズ３４２を用いて標本を部分毎に撮像した複数の高解像画像を繋ぎ合せて生成した画像であって、標本の全域を映した広視野でかつ高精細の画像のことを言う。
　図７は、図５に示す顕微鏡システムの概略動作を説明するフローチャートである。ここでは、顕微鏡システムにセットされた、染色標本から作成したプレパラートについて計測及び撮影を行い、バーチャルスライド画像を生成するものとする。まず、制御コントローラ２３は、ステージユニット制御部２９によってＺ駆動制御部３１及びＸＹ駆動制御部３０を制御し、フォーカス検出ユニット制御部２６によってフォーカス検出ユニット３３３を制御して、低倍率の対物レンズ３４２で標本３４３を低倍率で撮像するようにステージユニット３４４を移動させる（ステップＳ７０１）。以下、低倍率で撮像された画像をサムネイル画像と称する。そして、ホストシステム２２は、サムネイル画像に基づいて、バーチャルスライド画像を生成するために必要な撮影箇所数を算出する。
　そして、制御コントローラ２３は、カメラユニット制御部２４によってカメラユニット３３１を制御して、撮影を行う（ステップＳ７０２）。そして、ホストシステム２２は、撮像した画像に基づいて、標本領域を検出する（ステップＳ７０３）。標本領域は、サムネイル画像から取得した標本の位置情報に基づいて検出する。そして、制御コントローラ２３は、レボルバユニット制御部２７によってレボルバユニット３４１を制御して、高倍率の対物レンズ３４２をセットし、そして、測定ユニット制御部２５によって測定ユニット３３４を制御して、サムネイル画像から取得した標本の位置情報に基づいて照明情報及び／又は標本情報を測定可能な位置にセットし、照明情報及び／又は標本情報を取得する（ステップＳ７０４及びＳ７０５）。そして、ホストシステム２２は、取得した照明情報及び／又は標本情報に基づいて測定ユニット３３４の動作条件を決定する（ステップＳ７０６）。このとき、ホストシステム２２は、予め記憶している照明情報及び標本情報のテーブルや、ネットワークを介して随時取得した照明情報及び標本情報を含む諸情報に基づいて動作条件を決定する。
　カメラユニット制御部２４は、複数箇所の撮像を行うため、撮像回数ｎに初期値０を設定する（ステップＳ７０７）。カメラユニット３３１により、標本３４３の撮像を行うとともに、測定ユニット３３４により、撮像に同期して標本３４３の測定を行う（ステップＳ７０８）。ステップＳ７０８による処理が終了すると、カメラユニット制御部２４は、撮像回数ｎを１だけインクリメントする（ステップＳ７０９）。
　次に、カメラユニット制御部２４は、撮像回数ｎが、ホストシステム２２によって算出された撮像箇所数と一致しているか否かを判定する（ステップＳ７１０）。撮像回数ｎが撮像箇所数と一致していない場合には、ステージユニット制御部２９によってＺ駆動制御部３１及びＸＹ駆動制御部３０を制御し、（ステップＳ７１１）、ステップＳ７０８からステップＳ７１０の処理を繰り返す。一方、ホストシステム２２は、撮像回数ｎが撮像箇所数と一致した場合には、色推定処理を行い（ステップＳ７１２）、処理を終了する。ステップＳ７１２における色推定処理は、具体的には、標本スペクトル推定処理、色素量推定処理、標本画像色均質化現像処理である。標本スペクトル推定処理は画素値からスペクトルを推定する処理である。色素量推定処理は、画素値からスペクトルを推定し、スペクトルから各染色の色素量を推定する処理である。標本画像色均質化処理は、例えば、ガウシアンフィルタ、メディアンフィルタ、平均値フィルタ等を用いた平滑化処理である。
　このように、本実施の形態に係る顕微鏡システムによれば、標本のバーチャルスライドを生成する際に、各分割画像を取得する前に照明情報及び標本情報に基づいて光検出部１３の動作条件を決定するので、最適な条件で各分割画像を取得することができると共に、各分割画像を取得する度にキャリブレーション等を行う装置に比べて、検査時間を削減することができるようになる。
　さらに、上述の実施形態では、照明情報及び標本情報の両方を用いて光検出部１３の動作条件を決定したが、本発明に係る検査装置は、照明情報及び標本情報の一方のみに基づいて光検出部１３の動作条件を決定することもできる。以下、照明情報のみに基づいて光検出部の動作条件を決定して大規模バーチャルスライドを作成する例について説明する。
　本実施の形態に係る顕微鏡システムを用いて、連続的に複数枚のスライドを自動で入れ替えて撮影する大規模バーチャルスライドを作成することが可能である。複数枚のスライドから取得した画像をつなぎ合わせて生成する大規模バーチャルスライドでは、スライド毎に光源を変えて計測（撮像）を行うことは稀なため、スライド毎に照明情報を取得し直す必要は無い。よって、大規模バーチャルスライド作成時には、顕微鏡システムを起動し、大規模バーチャルスライドを作成すべき複数枚のスライドのうち最初の一枚について測定を行う前に、一旦、照明情報を取得すれば、照明情報を変更するための入力がない限りは、スライド毎に照明情報を取得する必要はない。よって、この場合、大規模バーチャルスライドを構成する複数のスライドのそれぞれについて照明情報を取得するための動作を行わないため、大規模バーチャルスライドの作成のための時間を短縮することができる。ここでは照明情報のみを取得しているが、もちろん、さらにスライド1枚ごと又は数枚に１回の頻度で標本情報を取得してもよい。
　このように、本発明の趣旨及び範囲内で、多くの変更及び置換ができることは当業者に明らかである。従って、本発明は、上述の実施形態によって制限するものと解するべきではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。例えば、顕微鏡装置は、上述したような透過型顕微鏡に限られず、標本で反射された（標本に作用した）照明光を光検出部１３で検出する反射型顕微鏡であっても良い。また、例えば、半導体デバイスの製造時利用される検査装置のような、顕微鏡以外の装置に用いられても良い。
　また、本実施の形態は色素を利用した構成のマルチスペクトルセンサについて記載されているが、干渉を利用しても良いし、液晶チューナブルフィルタ等を用いた電気的に波長透過率を制御可能なカラーフィルタを用いたマルチスペクトルセンサを用いても良い。本実施の形態ではセンサの測定チャネルを選択することで結果的にマルチスペクトルセンサ全体の感度特性を変更していたが、電気的に波長透過率を制御可能なカラーフィルタを用いる場合には、電気的に各センサのフィルタの波長の透過特性を変更させることで同様の効果を得ることができる。この場合、本実施の形態では測定に使用しないチャネルが発生していたが、これを発生させないようにフィルタの特性を制御することができるので、より光を効率的に利用することができる。また、上記に述べたフィルタを二つ以上組み合わせても良い。
　１１　　　動作条件決定部
　１２　　　計測制御部
　１３　　　光検出部
　１４　　　色推定処理部
　２１　　　情報取得部
　２２　　　ホストシステム
　２３　　　制御コントローラ
　２４　　　カメラユニット制御部
　２５　　　測定ユニット制御部
　２６　　　フォーカス検出ユニット制御部
　２７　　　レボルバユニット制御部
　２８　　　光源ユニット制御部
　２９　　　ステージユニット制御部
　３０　　　ＸＹ駆動制御部
　３１　　　Ｚ駆動制御部
　３２　　　顕微鏡
　３３　　　鏡筒部
　３４　　　顕微鏡本体
　１２１　　データベース
　３３１　　カメラユニット
　３３２　　双眼ユニット
　３３３　　フォーカス検出ユニット
　３３４　　測定ユニット
　３４１　　レボルバユニット
　３４２　　対物レンズ
　３４３　　標本
　３４４　　ステージユニット
　３４５　　光源ユニット
　３３１１，３３４２　結像レンズ
　３３１２　カメラ結像面
　３３２１，３３２２，３３３１　ハーフミラー
　３３２３　接眼レンズ
　３３３２　フォーカス検出回路
　３３４１　反射ミラー
　３３４３　結像面
　３３４４　光拡散デバイス
　３３４５　赤外カットフィルタ
　３４５２　色温度変換フィルタ
　３３４６　マルチスペクトルセンサ
　３４５１　光源
　３４５３　コンデンサレンズ
 

Claims (11)

  1. 　測定対象である被検査物に作用した照明光に基づいて前記被検査物を検査する検査装置であって、
    　分光感度特性が互いに異なる複数の光電変換部を有し、前記被検査物に作用した照明光を受光する光検出部と、
    　前記光検出部の動作条件を決定する動作条件決定部と、
    　前記動作条件に基づいて前記光検出部を制御する計測制御部と、
    　前記動作条件に基づいて制御された前記光検出部の出力に基づいて色推定処理を行う色推定処理部と、
    を備え、
    　前記動作条件決定部は、前記被検査物に対して照射する前記照明光に関する照明情報、及び前記被検査物に関する情報である被検査物情報の少なくとも一方に基づいて前記動作条件を決定する
    ことを特徴とする検査装置。
  2. 　設定記憶部を備え、
    　前記動作条件決定部は、前記設定記憶部に記憶された情報から、前記照明情報を取得することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記動作条件決定部は、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて照明の種別を判別し、前記照明情報として取得することを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査装置。
  4. 　前記動作条件決定部は、所定の動作条件で制御された光検出部の出力に基づいて前記被検査物の種別を判別し、前記被検査物の情報として取得することを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査装置。
  5. 　前記光検出部と、前記被検査物とを相対的に移動させて、前記被検査物の複数個所の検査結果を取得して、バーチャルスライドを生成する、バーチャルスライド生成部を更に備えることを特徴とする、請求項１～４のいずれか一項に記載の検査装置。
  6. 　前記動作条件決定部は、
    　取得した照明情報に基づく動作条件に従って制御された前記光検出部の出力と、
    　前記所定の動作条件で取得した前記光検出部の出力と、
    に基づいて前記被検査物情報を取得する
    ことを特徴とする、請求項２又は３に記載の検査装置。
  7. 　前記動作条件決定部は読取部を有し、当該読取部により情報記録部を読み取って、前記被検査物情報を取得することを特徴とする、請求項１～６のいずれか一項に記載の検査装置。
  8. 　前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部が有する複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率、前記光検出部の出力の積分時間、積分動作回数、積分動作の時間間隔及び積算回数のうちの少なくとも一つを決定することを特徴とする、請求項１～７のいずれか一項に記載の検査装置。
  9. 　前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部が有する前記複数の光電変換部のうち、使用する光電変換部を決定することを特徴とする、請求項１～８のいずれか一項に記載の検査装置。
  10. 　前記動作条件決定部は、前記動作条件として、前記光検出部のダイナミックレンジを拡大するように、前記光検出部で積分動作が複数回行われるように決定すると共に、順次の積分動作の時間間隔、及び前記積分動作の各回における前記光検出部による前記出力の積分時間、並びに前記複数の光電変換部のそれぞれについての増幅率を決定することを特徴とする、請求項１～９のいずれか一項に記載の検査装置。
  11. 　前記色推定処理部は、前記色推定処理として、前記被検査物の色の詳細判別処理及びスペクトル推定処理のうち、少なくとも一方を行うことを特徴とする、請求項１～１０のいずれか一項に記載の検査装置。
     
PCT/JP2011/007022 2010-12-28 2011-12-15 検査装置 WO2012090416A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012550699A JPWO2012090416A1 (ja) 2010-12-28 2011-12-15 検査装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-291967 2010-12-28
JP2010291967 2010-12-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012090416A1 true WO2012090416A1 (ja) 2012-07-05

Family

ID=46382558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/007022 WO2012090416A1 (ja) 2010-12-28 2011-12-15 検査装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20130286396A1 (ja)
JP (1) JPWO2012090416A1 (ja)
WO (1) WO2012090416A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016059946A1 (ja) * 2014-10-14 2016-04-21 住友電気工業株式会社 分光測定方法及び分光測定装置
WO2018212078A1 (ja) * 2017-05-17 2018-11-22 エバ・ジャパン株式会社 情報探索システム及び方法、情報探索プログラム
JP2018194541A (ja) * 2017-05-17 2018-12-06 エバ・ジャパン 株式会社 情報探索システム及び方法、情報探索プログラム
CN110637224A (zh) * 2018-03-27 2019-12-31 Eba日本株式会社 信息搜索系统及程序

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106872488A (zh) * 2017-04-20 2017-06-20 广东振华科技股份有限公司 一种快速大面积透明基片双表面缺陷视觉检测方法及装置
JP6969439B2 (ja) * 2018-02-23 2021-11-24 オムロン株式会社 外観検査装置、及び外観検査装置の照明条件設定方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05280973A (ja) * 1992-04-01 1993-10-29 Olympus Optical Co Ltd 測距装置
JPH07198493A (ja) * 1994-01-07 1995-08-01 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 容器の色識別装置
JP2559815B2 (ja) * 1988-07-08 1996-12-04 富士電機株式会社 色識別装置
JP2006030014A (ja) * 2004-07-16 2006-02-02 Olympus Corp 色推定システム及び色推定方法
JP2009520991A (ja) * 2005-12-20 2009-05-28 サイテック コーポレイション Ｌｅｄ照明源を有する顕微鏡
JP2010134195A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Olympus Corp 顕微鏡システム、標本観察方法およびプログラム
JP2010181833A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Olympus Corp 顕微鏡観察システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0758226B2 (ja) * 1987-09-10 1995-06-21 富士写真フイルム株式会社 光源検出装置
US5311568A (en) * 1992-05-01 1994-05-10 Picker International, Inc. Optical alignment means utilizing inverse projection of a test pattern/target
JPH06241998A (ja) * 1993-02-16 1994-09-02 Kubota Corp 分光分析装置
US6529622B1 (en) * 1998-10-30 2003-03-04 General Electric Company Method and apparatus for identifying defective regions in a discrete pixel detector
US20020177135A1 (en) * 1999-07-27 2002-11-28 Doung Hau H. Devices and methods for biochip multiplexing
US20030210262A1 (en) * 2002-05-10 2003-11-13 Tripath Imaging, Inc. Video microscopy system and multi-view virtual slide viewer capable of simultaneously acquiring and displaying various digital views of an area of interest located on a microscopic slide
JP4323343B2 (ja) * 2004-02-13 2009-09-02 株式会社ルネサステクノロジ 撮像装置及びフリッカ検出方法
JP5075648B2 (ja) * 2008-01-15 2012-11-21 オリンパス株式会社 画像処理装置、画像処理プログラムおよび画像処理方法
JP5478084B2 (ja) * 2009-01-23 2014-04-23 オリンパス株式会社 画像処理システム、画像処理装置および画像処理端末

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2559815B2 (ja) * 1988-07-08 1996-12-04 富士電機株式会社 色識別装置
JPH05280973A (ja) * 1992-04-01 1993-10-29 Olympus Optical Co Ltd 測距装置
JPH07198493A (ja) * 1994-01-07 1995-08-01 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 容器の色識別装置
JP2006030014A (ja) * 2004-07-16 2006-02-02 Olympus Corp 色推定システム及び色推定方法
JP2009520991A (ja) * 2005-12-20 2009-05-28 サイテック コーポレイション Ｌｅｄ照明源を有する顕微鏡
JP2010134195A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Olympus Corp 顕微鏡システム、標本観察方法およびプログラム
JP2010181833A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Olympus Corp 顕微鏡観察システム

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016059946A1 (ja) * 2014-10-14 2016-04-21 住友電気工業株式会社 分光測定方法及び分光測定装置
JP2016080429A (ja) * 2014-10-14 2016-05-16 住友電気工業株式会社 分光測定装置
WO2018212078A1 (ja) * 2017-05-17 2018-11-22 エバ・ジャパン株式会社 情報探索システム及び方法、情報探索プログラム
JP2018194541A (ja) * 2017-05-17 2018-12-06 エバ・ジャパン 株式会社 情報探索システム及び方法、情報探索プログラム
CN109313126A (zh) * 2017-05-17 2019-02-05 Eba日本株式会社 信息搜索系统和方法以及信息搜索程序
US10832088B2 (en) 2017-05-17 2020-11-10 EBA Japan Co., Ltd. Information search system, information search method, and information search program
CN110637224A (zh) * 2018-03-27 2019-12-31 Eba日本株式会社 信息搜索系统及程序
US10846325B2 (en) 2018-03-27 2020-11-24 EBA Japan Co., Ltd. Information search system and information search program

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2012090416A1 (ja) 2014-06-05
US20130286396A1 (en) 2013-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7424286B2 (ja) 蛍光観察装置及び蛍光観察方法
WO2012090416A1 (ja) 検査装置
US8908026B2 (en) Imaging method and microscope device
JP5806504B2 (ja) 撮像装置およびこれを備える顕微鏡システム
JP5185151B2 (ja) 顕微鏡観察システム
WO2015111349A1 (ja) 多色蛍光画像分析装置
JP6605716B2 (ja) 病理学的明視野画像における自動染色検出
US10684461B2 (en) Digital pathology system
EP3431966B1 (en) Display device for photometric analyzer
JP2012078156A (ja) 検査装置
JP2013003386A (ja) 撮像装置およびバーチャルスライド装置
US11486828B2 (en) Fluorescence photometer and observation method
WO2020044860A1 (ja) 分光イメージング装置および蛍光観察装置
EP2946398B1 (en) Optical and integrated inspection apparatus and method
JP2012189342A (ja) 顕微分光測定装置
EP2404208B1 (en) Method and setup for dark and/or bright field digitization of a sample in transmitted light
JP2013109205A (ja) 画像検出装置
WO2022080189A1 (ja) 生体試料検出システム、顕微鏡システム、蛍光顕微鏡システム、生体試料検出方法及びプログラム
US8929639B2 (en) Image processing apparatus, image processing method, image processing program, and virtual microscope system
US20230258918A1 (en) Digital microscope with artificial intelligence based imaging
JP6550341B2 (ja) 病理標本の染色標準化方法
WO2017006756A1 (ja) 色素測定装置および色素測定方法
US20120300223A1 (en) Microscope illumination and calibration apparatus
JP2016224368A (ja) 撮像装置、及び、撮像システム
JP2009162991A (ja) 撮像型顕微鏡装置における透過ディテクタのゲイン決定方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11853034

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2012550699

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11853034

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1