JP2016080429A - 分光測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度の分析を行うことが可能な分光測定装置を提供する。【解決手段】分光測定装置100では、測定対象物3の同じ単位領域の撮像を複数回(2回以上)行うと共に、測定対象物3のスペクトルデータとして、測定対象物3を撮像した単位領域のそれぞれで得られた複数回のスペクトルデータを積算して平均化することで、算出することを特徴とする。複数の単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化して測定物のスペクトルデータを算出する構成とすることで、S/Nが改善され、より高精度の分析を行うことができる。【選択図】図1
Description
本発明は、測定対象物のスペクトルデータを取得して分析を行う分光測定装置に関する。
対象物に対して測定光を照射することで、対象物のスペクトルデータを測定対象物上の複数の単位領域のそれぞれにおいて取得する装置では、複数の単位領域のスペクトルデータを平均化したスペクトルデータを用いることがある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、対象物に係るより高精度の分析が要求される場合、複数の単位領域のスペクトルデータを平均化する特許文献1記載の方法では、十分なS/N比が確保されない可能性がある。
そこで、高精度の分析を行うことが可能な分光測定装置の提供を目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る分光測定装置は、
(1) 測定対象物に対して測定光を照射する光源と、
前記光源からの測定光の照射によって出射される、前記測定対象物からの透過光又は拡散反射光を2次元配置された複数の画素で受光することで前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する撮像手段と、
前記撮像手段において得られた前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータに基づいて、前記測定対象物のスペクトルデータを算出するスペクトル算出手段と、
を備える分光測定装置であって、
前記撮像手段は、前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータの取得を複数回行い、
前記スペクトル算出手段は、前記測定対象物上の少なくとも一の単位領域及び当該一の単位領域に対して隣接する単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化することで、前記測定対象物のスペクトルデータを算出する分光測定装置
である。
(1) 測定対象物に対して測定光を照射する光源と、
前記光源からの測定光の照射によって出射される、前記測定対象物からの透過光又は拡散反射光を2次元配置された複数の画素で受光することで前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する撮像手段と、
前記撮像手段において得られた前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータに基づいて、前記測定対象物のスペクトルデータを算出するスペクトル算出手段と、
を備える分光測定装置であって、
前記撮像手段は、前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータの取得を複数回行い、
前記スペクトル算出手段は、前記測定対象物上の少なくとも一の単位領域及び当該一の単位領域に対して隣接する単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化することで、前記測定対象物のスペクトルデータを算出する分光測定装置
である。
上記の分光測定装置によれば、高精度の分析を行うことが可能となる。
[本発明の実施形態]
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
本発明の一態様に係る分光測定装置は、
(1) 測定対象物に対して測定光を照射する光源と、前記光源からの測定光の照射によって出射される、前記測定対象物からの透過光又は拡散反射光を2次元配置された複数の画素で受光することで前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する撮像手段と、前記撮像手段において得られた前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータに基づいて、前記測定対象物のスペクトルデータを算出するスペクトル算出手段と、を備える分光測定装置であって、前記撮像手段は、前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータの取得を複数回行い、前記スペクトル算出手段は、前記測定対象物上の少なくとも一の単位領域及び当該一の単位領域に対して隣接する単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化することで、前記測定対象物のスペクトルデータを算出する。このように、隣接する複数の画素において複数回取得されたスペクトルデータを平均化して測定物のスペクトルデータを算出する構成とすることで、S/Nが改善され、より高精度の分析を行うことができる。
(1) 測定対象物に対して測定光を照射する光源と、前記光源からの測定光の照射によって出射される、前記測定対象物からの透過光又は拡散反射光を2次元配置された複数の画素で受光することで前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する撮像手段と、前記撮像手段において得られた前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータに基づいて、前記測定対象物のスペクトルデータを算出するスペクトル算出手段と、を備える分光測定装置であって、前記撮像手段は、前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータの取得を複数回行い、前記スペクトル算出手段は、前記測定対象物上の少なくとも一の単位領域及び当該一の単位領域に対して隣接する単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化することで、前記測定対象物のスペクトルデータを算出する。このように、隣接する複数の画素において複数回取得されたスペクトルデータを平均化して測定物のスペクトルデータを算出する構成とすることで、S/Nが改善され、より高精度の分析を行うことができる。
(2)前記2次元配置された複数の画素は、第1の方向に配列する画素についてはそれぞれ波長情報を割り当てると共に、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に配列する画素についてはそれぞれ測定対象物の位置情報を割り当てて、前記測定対象物上の前記第2の方向に沿った各単位領域のスペクトルデータをそれぞれ取得する態様とすることができる。
(3)前記測定光には、1650nm〜1750nmの波長範囲の光が含まれる態様とすることができる。上記の波長範囲の光を測定光とすることで、水の吸収帯を避けて分析を行うことが可能となり、より高精度の分析が可能となる。
(4)前記測定光には、2100nm〜2200nmの波長範囲の光が含まれる態様とすることができる。上記の波長範囲の光を測定光とすることで、水の吸収帯を避けて分析を行うことが可能となり、より高精度の分析が可能となる。
(5)前記撮像手段は、200×200画素以上の画素によって構成される態様とすることができる。このような画素数の撮像手段を用いて、得られたスペクトルデータの平均化を行うことで、S/Nが格段に向上すると共に、S/Nの向上のために必要なデータ数をより高速に取得することができる。
(6)前記撮像手段は、前記複数の画素の前段に設けられた波長可変フィルタが時間的に透過波長を変化させることによって、前記複数の画素において前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する態様とすることができる。
[本発明の実施形態の詳細]
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態にかかる分光測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態にかかる分光測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本実施形態に係る分光測定装置100について図1を用いて説明する。分光測定装置100は、測定台2上に載置された測定対象物3の特性等を評価する装置である。分光測定装置100の測定対象物3は特に限定されないが、単一の材料により構成された均質なものであることが好ましい。
分光測定装置100は、近赤外光である測定光を測定対象物3に対して照射することにより得られる拡散反射光のスペクトルを測定し、そのスペクトルに基づいて測定対象物3の分光測定を行う。このため、分光測定装置100は、光源ユニット10、検出ユニット20(撮像手段)、及び分析ユニット30(スペクトル算出手段)を備える。なお、以下の実施形態では近赤外光を分光測定に使用する場合について説明するが、他の波長範囲の光を測定に用いてもよい。また、拡散反射光のスペクトルに替えて透過光のスペクトルを測定してもよい。
光源ユニット10は、近赤外光である測定光を、測定台2上における所定の照射領域A1へ向けて照射する。光源ユニット10が照射する測定光の波長範囲は、測定対象物3によって適宜選択される。測定光としては、具体的には、波長範囲が800nm〜2500nmの光が好適に用いられ、特に1000nm〜2300nmの光が好適に用いられる。なお、本実施形態では、ハロゲンランプからなる光源11を含む光源ユニット10について説明する。近赤外光の測定光を用いる場合、水の吸収帯とは異なる波長範囲の光を用いた測定を行うことが好ましく、例えば、1500nm〜1800nm(特に1650nm〜1750nm)、2100nm〜2200nmの波長範囲の光を用いることが好ましい。
照射領域A1とは、測定対象物3を載置する測定台2の表面の一部の領域である。この照射領域A1は、測定台2の一の方向(図1のx軸方向)に広がるライン状に延びる領域である。
光源ユニット10は、光源11と、照射部12と、光源11と照射部12とを接続する光ファイバ13と、を備える。光源11は、近赤外光を発生させる。
光源11により発生された近赤外光は、光ファイバ13の一方の端面へ入射される。この近赤外光は、光ファイバ13のコア領域を導波し、もう一方の端面から照射部12に対して出射される。
照射部12は、光ファイバ13の端面から出射される近赤外光を測定対象物3が載置される照射領域A1に対して照射する。照射部12は、光ファイバ13から出射される近赤外光を入射して、照射領域A1に対応した1次元のライン状に出射するため、照射部12としてシリンドリカルレンズが好適に用いられる。このように照射部12においてライン状に整形された近赤外光L1が、照射部12から照射領域A1に対して照射される。
光源ユニット10から出力された近赤外光L1は、照射領域A1上に載置された測定対象物3により拡散反射される。そして、その一部が、拡散反射光L2として検出ユニット20に入射する。
検出ユニット20は、2次元に配置されたセンサによってハイパースペクトル画像を取得するハイパースペクトルセンサとしての機能を有する。ここで、本実施形態におけるハイパースペクトル画像について図2を用いて説明する。図2は、ハイパースペクトル画像についてその概略を説明する図である。図2に示すように、ハイパースペクトル画像とは、N個の単位領域P1〜PNにより構成されている画像である。図2ではそのうちの一例として2個の単位領域Pn及びPmについて具体的に示している。単位領域Pn及びPmには、それぞれ複数の強度データからなるスペクトル情報Sn及びSmが含まれている。この強度データとは、特定の波長(又は波長帯域)におけるスペクトル強度を示すデータであり、図2では、15個の強度データがスペクトル情報Sn及びSmとして保持されていて、これらを重ね合わせた状態で示している。このように、ハイパースペクトル画像Hは、画像を構成する単位領域毎に、それぞれ複数の強度データを持つという特徴から、画像としての二次元的要素と、スペクトルデータとしての要素をあわせ持った三次元的構成のデータである。なお、本実施形態では、ハイパースペクトル画像Hとは、1単位領域あたり少なくとも5つの波長帯域における強度データを保有している画像のことをいう。
図2では測定対象物3もあわせて示している。すなわち、図2においてPnは測定対象物3を撮像した測定対象物上の単位領域であり、Pmは背景(例えば、測定台2)上の単位領域である。このように、検出ユニット20では、測定対象物3だけでなく背景を撮像した画像も取得される。
図1に戻り、本実施形態に係る検出ユニット20は、カメラレンズ24と、スリット21と、分光器22と、受光部23と、を備える。この検出ユニット20は、その視野領域20s(撮像領域)が照射領域A1と同じ(x軸方向)に延びている。検出ユニット20の視野領域20sは、測定台2上の照射領域A1に含まれるライン状の領域であって、スリット21を通過した拡散反射光L2が受光部23上に像を結ぶ領域である。
スリット21は、照射領域A1の延在方向(x軸方向)と平行な方向に開口が設けられる。検出ユニット20のスリット21に入射した拡散反射光L2は、分光器22へ入射する。
分光器22は、スリット21の長手方向、すなわち照射領域A1の延在方向に垂直な方向(y軸方向)に拡散反射光L2を分光する。分光器22により分光された光は、受光部23によって受光される。
受光部23は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備え、各受光素子が光を受光する。これにより、受光部23が測定台2上の照射領域A1の延在方向(x軸方向)に沿った各単位領域で反射した拡散反射光L2の各波長の光をそれぞれ受光することとなる。各受光素子は、受光した光の強度に応じた信号を位置と波長とからなる二次元平面状の一点に関する情報として出力する。この受光部23の受光素子から出力される信号が、ハイパースペクトル画像に係る単位領域毎のスペクトルデータとして、検出ユニット20から分析ユニット30に送られる。
分析ユニット30は、入力された信号により拡散反射光L2のスペクトルを得て、この得られた単位領域毎のスペクトルデータを用いて、測定対象物3の測定を行う。
この分析ユニット30は、CPU(Central Processing Unit)、主記憶装置であるRAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)、検出ユニット等の他の機器との間の通信を行う通信モジュール、並びにハードディスク等の補助記憶装置等のハードウェアを備えるコンピュータとして構成される。そして、これらの構成要素が動作することにより、分析ユニット30としての機能が発揮される。
上記の分光測定装置100は、一度の撮像によって、照射領域A1の延在方向(x軸方向)に沿った各単位領域についての所謂1次元のスペクトル画像を取得することができる。したがって、測定対象物3が載置された測定台2を移動するか、又は、分光測定装置100による撮像領域を移動させることによって、測定対象物3全体についての2次元に配列された単位領域毎のスペクトルデータを取得することができる。
ここで、上記の分光測定装置100では、測定対象物3の同じ単位領域の撮像を複数回(2回以上)行うと共に、測定対象物3のスペクトルデータとして、測定対象物3を撮像した単位領域のそれぞれで得られた複数回のスペクトルデータを積算して平均化することで、算出する。なお、平均化する単位領域を固定せず、適宜選択して複数回のスペクトルデータを積算して平均化してもよい。
具体的には、分光測定装置100で測定対象物3を撮像した場合、1度の撮像でM個の単位領域によって測定対象物3のスペクトルデータを取得するとする。この分光測定装置100によってN回測定を繰り返すと、M×N個のスペクトルデータが取得される。このM×N個のスペクトルデータを平均化して得られるスペクトルデータは、1単位領域で撮像されたスペクトルデータに対してS/Nが√M倍増加することになる。このように、近隣のスペクトルデータを積算して平均化するのみでなく、複数回撮像して得られたスペクトルデータも含めて平均化して測定対象物3のスペクトルデータを算出する構成とすることで、S/Nを向上させることができる。
このような測定対象物3のスペクトルデータの算出には、2次元配置された複数個の単位領域のスペクトルデータを用いることが好ましく、高精度のスペクトルデータを得るためには、少なくとも1の単位領域に対してその上下左右に隣接する4つの単位領域のスペクトルデータを積算した5単位領域のスペクトルデータを平均化することが好ましい。また、測定対象物が液体のような均質な物質である場合には、上記の5単位領域以上の単位領域のスペクトルデータを用いて平均化することが好ましい。測定対象物3に関する高精度のスペクトルデータをより高速に取得するためには、測定対象物3のスペクトルデータを取得する画素数が200×200以上であることが好ましい。画素数を多くすることで、S/Nの改善がより顕著になると共に、S/N改善のための所望の数のスペクトルデータの撮像をより高速に行うことができる。
次に、上記の方法で測定対象物3のスペクトルデータを平均化した場合の効果について、実施例等を参照しながら説明する。
まず、図3は、同時に撮像した単位領域のうち平均化の対象とする単位領域の数、すなわち空間平均化の対象とする単位領域数を変化させたときのS/Nの変化を評価した結果を示した図である。ここでは、測定対象物3に代えて、標準白色反射板を撮像したものである。分光測定装置100では、フレームレート100fps、1フレームの蓄積時間を1msとし、撮像時間を1秒とした。すなわち、1単位領域について100個のスペクトルデータを得た。また、スペクトルデータを取得した波長範囲(撮像後の平均化等の処理を行った波長範囲)は1580nm〜1615nmであった。図3にも示す通り、一つの単位領域で撮像したスペクトルデータについて時間平均化を行うと、S/N=936という結果が得られるが、空間平均化対象の単位領域数が増加するに従い、S/Nが改善していることが確認できる。検討では5単位領域を平均することでS/N>2000となることが確認された。S/Nが2000を超えると、0.1%未満の定量計測が可能となる。さらに、100単位領域平均でS/N>5000となることが確認された。S/Nが5000を超えると、定量精度が0.02%まで改善する可能性が出てくるため、一般的に定量計測で求められる精度レベルに到達するため、この方法が定量計測に用いることができる可能性がある。現在定量計測に用いられる他の方法では、しばしば前処理に時間を要すことがある。また、定量計測は一般的に破壊試験となることから、本実施形態に係る分光測定装置100を用いた定量計測方法が実施できれば、他の方法に対して優位性を示してくることになる。
なお、当然ながら近隣の複数の単位領域のスペクトルデータを平均化する、すなわち、空間平均を行うことにより、画像上の空間分解能は劣化することになる。具体的には空間平均に使用した単位領域数に反比例して分解能は低下する。しかし、測定対象物が画素に対して大きなものや、比較的低分解能で観察できれば十分なもの、更には液体などの場合にはしばしば空間分解能よりも計測精度、S/Nが重要となることが考えられるため、そのような場合において本実施形態に係る分光測定装置による分析方法が好適に用いられる。
さらに調べた結果、空間平均に用いる単位領域数を300まで増やしてもS/Nは向上することが確認された。そこで、300単位領域に対して空間平均をとる条件で、時間平均数を増やした場合のS/Nの改善効果を確認した。
図3に示した評価と同様に、フレームレートを100fpsとし、1フレームの蓄積時間を1msとした場合の計測時間とS/Nとの関係を図4に示す。波長範囲は図3と同じく1585nm〜1615nmの値を使用した。横軸の最低値である0.01秒は、すなわち1フレームに相当するため、時間軸上には平均化していないことになる。300単位領域に対して空間平均をとる条件では、0.01秒の場合にS/N=8600となっていたが、5フレーム分(0.5秒)のスペクトルデータを用いて平均化することでS/Nが18000まで改善していることが確認された。さらに、200フレーム(2秒)まで平均化した場合に、<√測定時間>の関係でS/Nが改善しており、時間軸に沿って平均化を行うことによるS/Nの改善効果が確認された。なお、S/N>10000とは、分光計測器としてスペクトル解析を行うには十分な性能である。
次に、光源の出力変動等の外部要因の変動がS/Nに与える影響を確認するため、解析したスペクトルに対して標準正規変量(Standard Normal Variate;SNV)変換を施す効果について確認した。その結果を図5に示す。図5に示すように、SNV変換を行わない場合には時間軸方向に平均化するフレーム数を増加させてもすぐに飽和してしまっているが、SNV変換を施すことにより、S/N>150,000となることが確認された。このことから、高いS/Nを得るためには、空間方向、時間方向の平均化数の増加に加え、SNV,Multiplicative Scattering Correlation;MSC等に代表されるスペクトル正規化の処理を施すことが有効であると考えられる。
また、今回の解析では、検出ユニット20として、InGaAs/GaAsSb量子井戸型2次元センサを用いた。このセンサは1000〜2350nmに感度を有し、近赤外領域を一つのセンサでほぼカバーできる特徴を有する。上記のS/Nの評価結果では、波長範囲が限定されていたが、上記の2次元センサをハイパースペクトル画像撮像の構成で使用した場合、2次元のセンサのうちの1次元は上述したように波長成分に振り分けられる。そこで、空間平均化の対象となる単位領域数を300とし、時間方向に平均化数(平均フレーム数)を変化させた場合のS/Nの変化を波長に対してプロットした結果を図6に示す。
図6に示されるS/Nの変化は、光源のスペクトルや光学系の損失波長依存性も含んだ特性となっている。実際に測定対象物を撮像する場合には、測定対象物毎に分析のために必要となる波長帯が異なるため、所望の波長域で必要なS/Nが確保されることが必要となる。図6の結果に基づけば、平均化対象の単位領域数を500以上とすることで、近赤外領域でも特に長波長側の1700nm〜2200nmの波長範囲でS/N>50,000となることが確認された。したがって、空間・時間の同時平均化により、高速かつ高精度の分光測定装置の実現が可能になる。
ここで、空間方向の平均を用いることで、均質媒質を精度よく測定できる例として、酒石酸ナトリウム中の水分率の定量例を示す。上記の評価でも用いたInGaAs/GaAsSb量子井戸型2次元センサを搭載した分光測定装置を用いて、酒石酸ナトリウム(水分率0wt%)及び酒石酸ナトリウム2水和物(水分率15.66wt%)の吸光度スペクトルを測定した。フレームレートを200fpsとし、データの時間平均は行わず空間方向の平均化対象の単位領域数を変化させながら、吸光度平均スペクトルを取得した。
次に、1100nm〜2200nmの波長範囲における吸光度データ及び水分率をPLS回帰分析することで、水分率の検量線を作成した。この水分率の検量線の精度と、空間方向の単位領域平均数の関係を調査した。結果を図7に示す。
図7において検量線の精度は検量線標準誤差(RMSE)で評価した。この結果、空間方向の平均数が増加するに従って、RMSEが減少していることが確認できた。このように、本実施形態に係る分光測定装置によれば、空間方向の平均により測定時間を増すことなく、精度よく均質媒質を検量することが可能である。
なお、本発明に係る分光測定装置は上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態のように分光測定装置が光源ユニット、検出ユニットおよび分析ユニットを備えている構成には限定されない。
また、上記実施形態では、分光測定装置において、2次元配置された複数の画素が第1の方向に配列する画素についてはそれぞれ波長情報を割り当てると共に、第1の方向に対して直交する第2の方向に配列する画素についてはそれぞれ測定対象物の位置情報を割り当てて、第2の方向に沿った各単位領域のスペクトルデータをそれぞれ取得する態様とすることができる、所謂ハイパースペクトル画像を取得する構成について説明したが、他の装置構成であってもよい。具体的には、2次元配置されたセンサの前段に可変波長フィルタを備え、波長フィルタによる透過波長を連続的に変化させることで、センサにおいてスペクトルを取得する構成とすることで、測定対象物に係るスペクトルデータを単位領域毎に取得することとしてもよい。ただし、ハイパースペクトル画像を取得する構成とすることで、特定の単位領域に係るスペクトルデータをリアルタイムに取得することができるため、より高速に測定を行うことができる。
また、上記実施形態では、近赤外光を用いた測定について説明したが、例えば可視光領域等他の波長帯域の光を用いた測定にも適用することができる。
2…測定台、3…測定対象物、10…光源ユニット、20…検出ユニット、30…分析ユニット、100…分光測定装置。
Claims (6)
- 測定対象物に対して測定光を照射する光源と、
前記光源からの測定光の照射によって出射される、前記測定対象物からの透過光又は拡散反射光を2次元配置された複数の画素で受光することで前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する撮像手段と、
前記撮像手段において得られた前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータに基づいて、前記測定対象物のスペクトルデータを算出するスペクトル算出手段と、
を備える分光測定装置であって、
前記撮像手段は、前記複数の単位領域各々におけるスペクトルデータの取得を複数回行い、
前記スペクトル算出手段は、前記測定対象物上の少なくとも一の単位領域及び当該一の単位領域に対して隣接する単位領域において複数回取得されたスペクトルデータを平均化することで、前記測定対象物のスペクトルデータを算出する分光測定装置。 - 前記2次元配置された複数の画素は、第1の方向に配列する画素についてはそれぞれ波長情報を割り当てると共に、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に配列する画素についてはそれぞれ測定対象物の位置情報を割り当てて、前記測定対象物上の前記第2の方向に沿った各単位領域のスペクトルデータをそれぞれ取得する請求項1に記載の分光測定装置。
- 前記測定光には、1650nm〜1750nmの波長範囲の光が含まれる請求項1又は2に記載の分光測定装置。
- 前記測定光には、2100nm〜2200nmの波長範囲の光が含まれる請求項1〜3のいずれか一項に記載の分光測定装置。
- 前記撮像手段は、200×200画素以上の画素によって構成される請求項1〜4のいずれか一項に記載の分光測定装置。
- 前記撮像手段は、前記複数の画素の前段に設けられた波長可変フィルタが時間的に透過波長を変化させることによって、前記複数の画素において前記測定対象物上の複数の単位領域各々におけるスペクトルデータを取得する請求項1記載の分光測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019144005A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | Jfeテクノリサーチ株式会社 | 成分含有量測定装置 |
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Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
US10254215B2 (en) | 2016-04-07 | 2019-04-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
EP3488204A4 (en) | 2016-07-20 | 2020-07-22 | Verifood Ltd. | ACCESSORIES FOR HANDLABLE SPECTROMETERS |
US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
DE102017213419A1 (de) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | Deere & Company | Spektrometeranordnung |
TWI662261B (zh) * | 2018-01-17 | 2019-06-11 | 國立交通大學 | 同軸異質整合高光譜系統 |
DE102018221329A1 (de) * | 2018-12-10 | 2020-06-10 | BSH Hausgeräte GmbH | Verfahren zum Betreiben eines Haushalts-Gargeräts und Haushalts-Gargerät |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006226775A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Toyohashi Univ Of Technology | 果実の食味成分評価方法及び評価装置 |
JP2007225349A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Univ Of Tsukuba | 3次元光断層画像の画像処理方法 |
JP2008224473A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | 断層画像処理方法および装置ならびにプログラム |
US20090171591A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-02 | Weyerhaeuser Company | Methods for classification of somatic embryos comprising hyperspectral line imaging |
JP2010220569A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | National Institute For Agro-Environmental Science | 植物体の生育変化の連続測定方法 |
WO2012090416A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | オリンパス株式会社 | 検査装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6512577B1 (en) * | 2000-03-13 | 2003-01-28 | Richard M. Ozanich | Apparatus and method for measuring and correlating characteristics of fruit with visible/near infra-red spectrum |
WO2004069164A2 (en) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Euro Celtique Sa | Wireless blood glucose monitoring system |
KR101019650B1 (ko) * | 2003-10-17 | 2011-03-07 | 아스텔라스세이야쿠 가부시키가이샤 | 평면 분광기를 이용한 이종품 검출장치 |
CN101983329A (zh) * | 2008-04-01 | 2011-03-02 | 国立大学法人丰桥技术科学大学 | 辨别过滤装置、对象辨别方法、以及辨别过滤装置的过滤器的设计方法 |
-
2014
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-
2015
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-
2017
- 2017-04-14 US US15/488,009 patent/US20170219433A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006226775A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Toyohashi Univ Of Technology | 果実の食味成分評価方法及び評価装置 |
JP2007225349A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Univ Of Tsukuba | 3次元光断層画像の画像処理方法 |
JP2008224473A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | 断層画像処理方法および装置ならびにプログラム |
US20090171591A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-02 | Weyerhaeuser Company | Methods for classification of somatic embryos comprising hyperspectral line imaging |
JP2010220569A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | National Institute For Agro-Environmental Science | 植物体の生育変化の連続測定方法 |
WO2012090416A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | オリンパス株式会社 | 検査装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
GAO B C, LIU M: ""A Fast Smoothing Algorithm for Post-Processing of Surface Reflectance Spectra Retrieved from Airbor", SENSORS, vol. 13, JPN6015050029, 14 October 2013 (2013-10-14), pages 13879 - 13891, ISSN: 0003964236 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019144005A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | Jfeテクノリサーチ株式会社 | 成分含有量測定装置 |
KR102659164B1 (ko) | 2021-10-22 | 2024-04-19 | 삼성전자주식회사 | 초분광 이미지 센서 및 그의 동작 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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