WO2012056989A1 - 蛍光センサ - Google Patents

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WO2012056989A1
WO2012056989A1 PCT/JP2011/074164 JP2011074164W WO2012056989A1 WO 2012056989 A1 WO2012056989 A1 WO 2012056989A1 JP 2011074164 W JP2011074164 W JP 2011074164W WO 2012056989 A1 WO2012056989 A1 WO 2012056989A1
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fluorescence
photoelectric conversion
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conversion element
sensor
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PCT/JP2011/074164
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亮 太田
悦朗 清水
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オリンパス株式会社
テルモ株式会社
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    • G01N2021/7769—Measurement method of reaction-produced change in sensor
    • G01N2021/7786—Fluorescence

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to a fluorescence sensor that measures the concentration of an analyte, and more particularly to a fluorescence sensor that is a micro-fluorescence spectrophotometer fabricated using semiconductor manufacturing technology and MEMS technology.
  • Various analyzers have been developed to confirm the presence of analytes in liquids, that is, substances to be measured, or to measure concentrations.
  • a fluorescent dye whose properties change due to the presence of an analyte and emits fluorescence and a solution to be measured containing the analyte are injected into a transparent container of a certain volume, and the fluorescence intensity from the fluorescent dye is irradiated with excitation light
  • Fluorescence spectrophotometers are known that measure analyte concentration by measuring.
  • a small fluorescent spectrophotometer has a photodetector and an indicator layer containing a fluorescent dye. Then, by irradiating the indicator layer into which the analyte in the measured solution can enter with the excitation light E from the light source, the fluorescent dye in the indicator layer emits a fluorescence having a light amount corresponding to the analyte concentration in the measured solution. The fluorescence is generated and received by the photodetector.
  • the photodetector is a photoelectric conversion element and outputs an electrical signal corresponding to the amount of received light. The analyte concentration in the solution to be measured is measured from this electrical signal.
  • a fluorescent sensor 110 shown in FIGS. 1 and 2 is disclosed in US Pat. No. 5,039,490.
  • the fluorescence sensor 110 is an optical plate having a transparent support substrate 101 that can transmit excitation light E, a photoelectric conversion element portion 103 that converts fluorescence into an electrical signal, and a condensing function portion 105A that condenses the excitation light E. It comprises a part 105, an indicator layer 106 that generates fluorescence by the incidence of excitation light E by interacting with the analyte 9, and a cover layer 109.
  • the photoelectric conversion element unit 103 is, for example, a photoelectric conversion element formed on a substrate 103A made of silicon.
  • the substrate 103A does not transmit the excitation light E.
  • the fluorescence sensor 110 has a void region 120 that allows the excitation light E to pass around the photoelectric conversion element portion 103.
  • the excitation light E transmitted through the gap region 120 and incident on the optical plate-like portion 105 is condensed near the upper portion of the photoelectric conversion element portion 103 in the indicator layer 106 by the action of the optical plate-like portion 105.
  • the fluorescence F is generated by the interaction between the condensed excitation light E2 and the analyte 9 that has entered the indicator layer 106. Part of the generated fluorescence F enters the photoelectric conversion element unit 103, and a signal such as a current or a voltage proportional to the fluorescence intensity, that is, the concentration of the analyte 9 is generated in the photoelectric conversion element unit 103.
  • the excitation light E does not enter the photoelectric conversion element unit 103 due to the action of a filter (not shown) that covers the photoelectric conversion element unit 103.
  • the photodiode as the photoelectric conversion element portion 103 is formed on the transparent support substrate 101 on the substrate 103A in which the gap region 120 that is the passage of the excitation light E is secured.
  • the optical plate-like portion 105 and the indicator layer 106 are laminated.
  • the known fluorescent sensor 110 described above has the gap region 120 that is the passage of the excitation light E and the region of the photoelectric conversion element unit 103 on the same plane. For this reason, if the area of the gap region 120, which is a passage, is increased in order to guide more excitation light E to the indicator layer 106, the area of the photoelectric conversion element portion 103 is reduced, thereby increasing the sensitivity of the fluorescence sensor. It will not be. On the other hand, if the area of the photoelectric conversion element unit 103 is increased in order to increase the detection sensitivity of the photoelectric conversion element unit 103, the area of the void region 120, which is the path of the excitation light E, is reduced, and excitation light that is guided to the indicator layer 106. Since E decreases, the sensitivity of the fluorescent sensor is not increased. That is, with the fluorescent sensor 110, it is not easy to obtain high detection sensitivity.
  • An object of the embodiment of the present invention is to provide a fluorescent sensor with high detection sensitivity.
  • the first main surface has a recess having a bottom surface parallel to the first main surface, and at least a part of the side surface of the recess receives light and outputs a detection signal.
  • a photoelectric conversion element that is formed, a light emitting element that generates excitation light disposed on the bottom surface of the concave portion of the detection substrate portion, and an inside of the concave portion on the upper side of the light emitting element And an indicator layer for generating the fluorescence corresponding to the excitation light and the amount of analyte.
  • the needle-type fluorescent sensor 4 having the fluorescent sensor 10 constitutes a sensor system 1 together with the main body 2 and the receiver 3.
  • the sensor system 1 includes a needle-type fluorescence sensor 4, a main body 2, and a receiver 3 that receives and stores a signal from the main body 2. Transmission / reception of signals between the main body 2 and the receiver 3 is performed wirelessly or by wire.
  • the needle-type fluorescence sensor 4 includes a needle portion 7 having a needle tip portion 5 having a fluorescence sensor 10 which is a main functional portion and an elongated needle body portion 6, and a connector portion 8 integrated with a rear end portion of the needle body portion 6. And. Needle tip 5, needle body 6, and connector 8 may be integrally formed of the same material.
  • the connector part 8 is detachably fitted to the fitting part 2A of the main body part 2.
  • a plurality of wirings 60 extending from the fluorescence sensor 10 of the needle-type fluorescence sensor 4 are electrically connected to the main body 2 when the connector 8 is mechanically fitted to the fitting 2A of the main body 2. Is done.
  • each of the plurality of wirings 60 is indicated by a wiring 61 ( ⁇ 68).
  • the main unit 2 includes a calculation unit that processes a detection signal from the fluorescence sensor 10, a wireless antenna for transmitting and receiving a wireless signal between the receiver 3, and a battery.
  • the main body 2 when performing wired transmission / reception with the receiver 3, the main body 2 has a signal line instead of the wireless antenna.
  • Fluorescent sensor 10 is a disposable part that is disposed of after use to prevent infection, etc., while main body 2 and receiver 3 are reused parts that are repeatedly reused. Note that the receiver 3 is not necessary when the main body 2 has a memory unit having a necessary capacity.
  • the needle-type fluorescence sensor 4 is punctured from the body surface in a state where the needle-type fluorescent sensor 4 is fitted to the main body 2, and the needle tip 5 is left in the body.
  • the glucose concentration in the body fluid is continuously measured and stored in the memory of the receiver 3.
  • the fluorescent sensor 10 of the present embodiment is a short-term subcutaneous indwelling type sensor having a continuous use period of about one week.
  • the fluorescent sensor 10 which is a main functional part of the needle-type fluorescent sensor 4 includes a detection substrate part 20 and a light emitting diode (Light Emitting Diode) which is a light emitting element that generates excitation light E. (Hereinafter also referred to as “LED”), an element 12, a transparent resin layer 15, an indicator layer 16 that generates fluorescence F corresponding to excitation light E and the amount of analyte, and a light shielding layer 19.
  • LED Light Emitting Diode
  • the detection substrate unit 20 is manufactured by bonding the wiring substrate 30 and the frame substrate 40 in which the through holes 46 are formed. For this reason, the detection substrate unit 20 has a recess 23 having a bottom surface 22 parallel to the first main surface 21 on the first main surface 21. That is, the surface of the wiring substrate 30 is the bottom surface 22 of the recess 23, and the wall surface 45 of the through hole 46 of the frame-shaped substrate 40 is the side surface 24 of the recess 23.
  • an insulating layer is appropriately formed on the surface of the detection substrate unit 20 made of, for example, an N-type semiconductor, that is, the wiring substrate 30 and the frame substrate 40, it is not illustrated.
  • the LED element 12 is disposed on the bottom surface 22 of the recess 23, and the indicator layer 16 is disposed on the LED element 12 upper side inside the recess 23.
  • a reflective layer 12 ⁇ / b> A made of, for example, a highly reflective metal is formed on the bottom and side surfaces of the LED element 12, and the excitation light E is generated only toward the indicator layer 16.
  • the LED element 12 having the reflective layer 12A on the bottom surface irradiates the indicator layer 16 with excitation light E having a light quantity about twice that of the LED element without the reflective layer.
  • the reflection layer 12A on the side surface can prevent the indicator layer 16 from being irradiated with noise light caused by the excitation light E. Note that the same effect can be obtained when the PD element 13 is not formed in the region of the side surface 24 of the recess 23 facing the side surface of the LED element 12 instead of the reflective layer 12A.
  • the light emitting element is not limited to the LED element 12, but can be selected from various types of light emitting elements such as an organic EL element, an inorganic EL element, or a laser diode element.
  • the LED element 12 is preferable from the viewpoints of fluorescence transmittance, light generation efficiency, wide wavelength selectivity of the excitation light E, and generation of a small amount of light having a wavelength other than the ultraviolet light that serves as the excitation light E. .
  • the transparent resin layer 15 is a second protective layer.
  • an epoxy resin, a silicone resin, a transparent amorphous fluororesin, or the like can be used as the second protective layer.
  • the second protective layer is selected from materials having characteristics such as electrical insulation, moisture barrier properties, and good transmittance for excitation light E and fluorescence F.
  • the characteristic that the fluorescence F is small is an important characteristic of all the transparent materials of the fluorescent sensor 10 except the indicator layer 16.
  • the indicator layer 16 generates fluorescence F having a light amount corresponding to the concentration of the analyte 9 by the interaction with the analyte 9 that has entered and the excitation light E.
  • the thickness of the indicator layer 16 is set to about several tens ⁇ m to 200 ⁇ m.
  • the indicator layer 16 is made of a base material containing a fluorescent dye that generates fluorescence F having an intensity corresponding to the amount of the analyte 9, that is, the concentration of the analyte in the sample.
  • the fluorescent dye is selected according to the type of the analyte 9 and can be used for any fluorescent dye that reversibly changes the amount of the fluorescence F generated according to the amount of the analyte 9.
  • fluorescence F generated according to the amount of the analyte 9.
  • a fluorescent dye such as a ruthenium organic complex, a fluorescent phenylboronic acid derivative, or a substance that reversibly binds to glucose such as fluorescein bound to a protein can be used.
  • the fluorescent sensor 10 of the present invention is compatible with various uses such as an oxygen sensor, a glucose sensor, a pH sensor, an immunosensor, or a microorganism sensor, depending on the selection of the fluorescent dye.
  • the indicator layer 16 includes, for example, a hydrogel that easily contains water as a base material and contains or is bonded to the fluorescent dye in the hydrogel.
  • Hydrogel components include polysaccharides such as methylcellulose or dextran, acrylic hydrogels made by polymerizing monomers such as (meth) acrylamide, methylolacrylamide, or hydroxyethyl acrylate, or urethanes made from polyethylene glycol and diisocyanate. Hydrogel etc. can be used.
  • the indicator layer 16 is joined to the transparent resin layer 15 through an adhesive layer made of a silane coupling agent (not shown).
  • the indicator layer 16 may be directly bonded to the surface of the LED element 12 without forming the transparent resin layer 15.
  • the light shielding layer 19 is a layer formed on the upper surface side of the indicator layer 16 and having a thickness of several tens of ⁇ m or less.
  • the light shielding layer 19 prevents the excitation light E and the fluorescence F from leaking to the outside of the fluorescence sensor 10 and at the same time prevents external light from entering the recess 23.
  • a photodiode (Photo Diode: hereinafter) that receives fluorescence F and outputs a detection signal.
  • An element 13 also referred to as “PD”) is formed. That is, the PD element 13 is provided so as to surround the indicator layer 16 and is formed so that the light receiving surface faces the indicator layer 16.
  • the PD element 13 may be formed on the entire side surface 24, but may be formed only in a region facing the indicator layer 16 in order to efficiently receive only the fluorescence F.
  • the indicator layer 16 may be formed on all of the four side surfaces 24 or may be formed on only a part of the surfaces.
  • the PD element 13 only needs to be formed on at least a part of the side surface 24 of the recess 23.
  • the photoelectric conversion element may be a photoconductor (photoconductor) or a phototransistor (PhotoTransistor, PT).
  • a silicon oxide layer 42 which is a first protective layer for protecting the PD element 13 and a filter 41 are disposed so as to cover the PD element 13 formed on the side surface 24.
  • the filter 41 is formed on the light receiving surface side of the PD element 13 so as to cover the PD element 13.
  • the filter 41 is, for example, an absorptive filter that cuts the excitation light E without passing therethrough and allows the fluorescence F having a longer wavelength to pass therethrough.
  • a material for such a filter a silicon layer or a silicon carbide layer is suitable.
  • the filter 41 may be a band-pass filter that passes only the fluorescence F.
  • the frame-shaped substrate 40 transmits a drive signal to the two wires 61 and 62 for transmitting the detection signals output from the electrodes 43 and 44 of the PD element 13 to the main body 2 and the electrode 12B of the LED element.
  • the two wirings 63 and 64 are provided.
  • the electrode 44 is formed on the surface of the frame-shaped substrate 40, which is an N-type semiconductor, by partially introducing an N-type impurity, such as phosphorus or arsenic, to form a low-resistance region 40H having higher conductivity. ing.
  • the material of the frame-like substrate 40 is preferably single crystal silicon in order to form the PD element 13 on the frame-like substrate 40, but may be glass or ceramic.
  • the outer wall of the frame-shaped substrate 40 and the bottom surface of the wiring substrate 30, that is, the outer wall of the detection substrate unit 20 and the second main surface 25 are coated with the same material as the light shielding layer 19 or a resin mixed with carbon black, It is preferable to deposit a metal layer.
  • the excitation light E generated by the LED element 12 is applied to the fluorescent dye in the indicator layer 16.
  • a part of the fluorescence F generated by the interaction of the fluorescent dye with the analyte 9 passes through the filter 41 and reaches the PD element 13 and is converted into a detection signal.
  • the fluorescence sensor 10 has a high detection sensitivity because the PD element 13 formed on the side surface 24 surrounding the indicator layer 16 detects the fluorescence F.
  • 6A to 6E are partial sectional views of the region of one fluorescent sensor 10, but in an actual process, a large number of elements are collectively formed as a wafer process.
  • the conductive (N-type) first silicon wafer 40W is etched through the mask layer 47 to obtain a large number of frame-shaped substrates.
  • a pattern, that is, a through hole 46 to be the recess 23 is formed.
  • Various known methods can be used for etching.
  • the size of the opening of the through hole 46 is designed according to the specifications. However, since the arrangement location is the needle tip portion 5, it is preferable to have an elongated shape such as 150 ⁇ m in length and 500 ⁇ m in width. .
  • the side surface 24 of the recess 23 is perpendicular to the first main surface 21, but the side surface may have a predetermined angle, that is, a tapered shape, as will be described later.
  • the tapered recess can be produced, for example, by wet etching.
  • the PD element 13 is formed on the wall surface 45 (side surface 24 of the recess 23) of the through hole 46. That is, the ion implantation process is performed from four directions in a state where the first silicon wafer 40W on which the mask layer 47A is formed is inclined by 5 degrees to 30 degrees.
  • the conditions for implanting boron (B) are acceleration voltage: 10 to 100 keV and implantation amount: about 1 ⁇ 10 15 cm ⁇ 2 .
  • a thin oxide layer of 50 to 100 nm may be present on the first silicon wafer 40W.
  • a silicon oxide layer 42 and a filter 41 are sequentially formed by the CVD method so as to cover the PD element 13 on the wall surface 45 of the through hole 46 of the first silicon wafer 40W, and further electrodes 43 and 44 are formed. Is done.
  • a conductive (N-type) second silicon wafer 30W to be the wiring substrate 30 is prepared.
  • Wirings 61 and 62 for transmitting a detection signal from the PD element 13 and wirings 63 and 64 for supplying a driving signal to the LED element 12 are formed on the second silicon wafer 30W by a sputtering method or an evaporation method. Is done.
  • the first silicon wafer 40W is turned upside down and joined to the second silicon wafer 30W.
  • the through hole 46 of the frame-shaped substrate 40 becomes a recess 23 having the bottom surface 22.
  • the LED element 12 and the transparent resin layer 15 are disposed in each of the plurality of recesses 23 of the bonded wafer 20W, and a silane coupling agent or the like is further disposed on the upper side of the transparent resin layer 15.
  • the indicator layer 16 is disposed via an adhesive layer as necessary.
  • a bonding method using an optically transparent acrylic resin or silicone resin, or various bonding methods such as a flip chip bonding method can be used.
  • the bonded wafer 20 ⁇ / b> W is separated into pieces, and the fluorescent sensor 10 is completed. That is, the needle-type fluorescence sensor 4 having the fluorescence sensor 10 at the needle tip 5 is completed.
  • the method of manufacturing the fluorescent sensor is not limited to this, and after the separated wiring substrate 30 and the separated frame substrate 40 are joined, the LED element 12 and the like are arranged in the recess 23.
  • a method such as setting may be used.
  • the first silicon wafer may be processed so that the extended portion of the wiring board 30 constitutes the needle main body portion 6 of the needle portion 7, or the needle main body portion 6 and the fluorescent sensor 10 that are separately manufactured are included.
  • the needle portion 7 may be configured by joining the needle tip portion 5.
  • the fluorescent sensor 10 according to the present embodiment can be mass-produced in a batch by a wafer process. For this reason, the fluorescence sensor 10 can provide stable quality at low cost.
  • the LED element 12 emits pulsed excitation light E having a center wavelength of around 375 nm at intervals of, for example, once every 30 seconds.
  • the pulse current to the LED element 12 is 1 mA to 100 mA, and the pulse width of light emission is 10 ms to 100 ms.
  • the excitation light E generated by the LED element 12 passes through the transparent resin layer 15 and enters the indicator layer 16.
  • the indicator layer 16 emits fluorescence F having an intensity corresponding to the amount of the analyte 9.
  • the analyte 9 passes through the light shielding layer 19 and enters the indicator layer 16.
  • the fluorescent dye of the indicator layer 16 generates fluorescence F having a longer wavelength, for example, a wavelength of 460 nm with respect to the excitation light E having a wavelength of 375 nm.
  • a part of the fluorescence F generated by the indicator layer 16 enters the PD element 13 through the filter 41 and the silicon oxide layer 42. Then, the fluorescence F is photoelectrically converted in the PD element 13 to generate photogenerated charges, and is output as a detection signal. A part of the excitation light E generated by the LED element 12 also enters the side surface 24 of the recess 23, but hardly enters the PD element 13 due to the action of the filter 41.
  • a calculation unit (not shown) of the main body 2 performs calculation processing based on a detection signal, that is, a current caused by the photogenerated charge from the PD element 13 or a voltage caused by the accumulated photogenerated charge. And calculate the amount of analyte.
  • a detection signal that is, a current caused by the photogenerated charge from the PD element 13 or a voltage caused by the accumulated photogenerated charge.
  • the needle-type fluorescent sensor 4 may have a calculation unit or a detection signal processing circuit.
  • the fluorescent sensor 10 has the LED element 12 on the bottom surface 22 of the concave portion 23 of the detection substrate portion and the PD element 13 on the side surface 24, and thus has high detection sensitivity despite being ultra-compact.
  • the LED element 12 of the fluorescent sensor 10 of the first embodiment is made of a semiconductor 12N made of a gallium nitride compound having a thickness of about 10 ⁇ m formed on a sapphire substrate 12S having a thickness of about 60 to 100 ⁇ m. .
  • the thickness of the LED element 12 is 100 ⁇ m and the depth of the recess is 150 ⁇ m, the thickness of the indicator layer 16 of the fluorescent sensor 10 is 50 ⁇ m or less.
  • the LED element 12T of the fluorescence sensor 10A is mainly composed of a semiconductor 12N made of a gallium nitride compound, with most of the sapphire substrate 12S removed from the LED element 12. That is, the thickness of the LED element 12T is about 10 ⁇ m.
  • the reflective layer 12AA is also formed on the side surface of the LED element 12T. However, since the LED element 12T is thin, it may be formed only on the bottom surface.
  • the thickness of the indicator layer 16A can be 140 ⁇ m, which is larger than the indicator layer 16 of the fluorescent sensor 10.
  • the fluorescent sensor 10A has the effect of the fluorescent sensor 10 and can generate more fluorescent F because the indicator layer 16A is thick. For this reason, the fluorescence sensor 10A has higher detection sensitivity.
  • the needle-type fluorescence sensor 4B having the fluorescence sensor 10B according to the second embodiment of the present invention will be described. Since the fluorescence sensor 10B of the present embodiment is similar to the fluorescence sensor 10 of the first embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the fluorescence sensor 10B is a PD element 13A that is a first photoelectric conversion element formed on the side surface 24 (the wall surface 45 of the through hole 46 of the frame-shaped substrate 40) of the recess 23 of the detection substrate unit 20B.
  • the PD element 13B which is the second photoelectric conversion element, is also formed on the bottom surface 22 of the recess 23 (the upper surface of the wiring board 30B).
  • a silicon oxide layer 42B which is a third protective layer for protecting the PD element 13B, and a filter 41B are disposed so as to cover the PD element 13B formed on the bottom surface 22.
  • the silicon oxide layer 42B has the same function as the silicon oxide layers 42 and 42A, and the filter 41B has the same function as the filters 41 and 41A.
  • the reflective layer 12A1 of the LED element 12 is only formed on the side surface and is not formed on the bottom surface.
  • the LED element 12 is a light emitting element that transmits the fluorescence F.
  • the central portions of the PD element 13B, the LED element 12, and the indicator layer 16 are formed in the same region on the upper side of the wiring board 30B.
  • a large number of PD elements 13B and respective wirings 60 are formed on the surface of the second silicon wafer to be the wiring substrate 30B.
  • a silicon oxide layer 42B having a thickness of several tens to several hundreds of nanometers serving as a first protective layer is formed on the surface of the PD element 13B.
  • a filter 41B made of polycrystalline silicon or the like is formed on the surface of the silicon oxide layer 42B.
  • the subsequent steps are the same as the manufacturing steps of the fluorescent sensor 10 already described. Note that the detection signal of the PD element 13 ⁇ / b> B is transmitted to the main body 2 via the wirings 65 and 66.
  • the fluorescence sensor 10B In the fluorescence sensor 10B, a part of the fluorescence F generated by the indicator layer 16 reaches the PD element 13B through the LED element 12, so that the PD element 13B generates a detection signal B. That is, the LED element 12 that does not have a reflective layer on the bottom surface transmits the fluorescence F.
  • the fluorescent sensor 10B outputs not only the detection signal A output from the PD element 13A but also the detection signal B output from the PD element 13B to the main body 2.
  • the fluorescence sensor 10B has the effect that the fluorescence sensor 10 has, and further has higher detection sensitivity.
  • the PD element 13B does not have to be formed in a region facing the bottom surface of the LED element 12. That is, the PD element 13 ⁇ / b> B only needs to be formed on at least a part of the bottom surface 22 of the recess 23.
  • a thin layered LED element similar to the LED element 12T of the modified example of the first embodiment may be used.
  • the detection signal A output from the PD element 13A and the detection signal B output from the PD element 13B are sent to the main body 2 via separate wirings 61, 62, 65, 66, respectively. Output to.
  • the fluorescence sensor 10 ⁇ / b> C uses the two wires 67 and 68 to send the combined detection signal of the detection signal A output from the PD element 13 ⁇ / b> A and the detection signal B output from the PD element 13 ⁇ / b> B to the main body 2. Output.
  • a part of the PD element 13B formed on the wiring board 30C extends to a position directly below the frame substrate 40, and is connected to the wiring 68 of the PD element 13A immediately below. Further, the low resistance region 30H of the wiring substrate 30C formed by the same method as that of the low resistance region 40H is connected to the common wiring 67 immediately below the low resistance region 40H of the frame substrate 40.
  • flip-chip mounting technology or solder connection technology is used for electrical connection.
  • the fluorescent sensor 10C has the effect of the fluorescent sensor 10B and the like, and has a smaller size because the number of wirings 60 for outputting detection signals is as small as two.
  • a needle-type fluorescence sensor 4D having a fluorescence sensor 10D according to a modification of the third embodiment of the present invention will be described. Since the fluorescence sensor 10D of this modification is similar to the fluorescence sensor 10 of the first embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
  • the detection substrate portion 20D of the fluorescence sensor 10D is integrally manufactured by a silicon wafer 20DW that is a semiconductor substrate. That is, the recess 23D of the detection substrate unit 20D is a recess formed in the first main surface 21 of the silicon wafer 20DW, for example, by an etching method.
  • FIGS. 10A to 10E are partial cross-sectional views of the region of one fluorescent sensor 10D, but in an actual process, a large number of elements are collectively formed as a wafer process.
  • a mask layer 27 is formed on the first main surface 21 of the silicon wafer 20DW. Then, as shown in FIG. 10B, a recess 23D having a bottom surface 22D parallel to the first main surface 21 is formed by an etching method.
  • etching method a wet etching method using a tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution, a potassium hydroxide (KOH) aqueous solution, or the like is preferable, but dry etching such as reactive ion etching (RIE) or chemical dry etching (CDE) is used.
  • TMAH tetramethylammonium hydroxide
  • KOH potassium hydroxide
  • CDE chemical dry etching
  • the PD element 13D is formed on the side surface 24D of the recess 23D.
  • the concave portion 23D having the tapered side surface 24D has a larger area for forming the PD element than the concave portion 23 having the vertical side surface 24, and the PD element 13D can be easily formed on the side surface 24D of the concave portion 23D.
  • wirings 63 and 64 for driving signals of the LED element 12D, wirings 61D and 62D for detection signals of the PD element 13D, and the like are formed. Note that the through wirings 60S1, 60S2, and 60S3 for the LED element 12D and the PD element 13D may be formed before the PD element 13D is formed.
  • the low resistance region 20H is formed by the same method as the low resistance region 40H.
  • a silicon oxide layer 42D and a filter 41D are disposed so as to cover the PD element 13D on the side surface 24D.
  • the silicon oxide layer 42D has the same configuration and function as the silicon oxide layer 42
  • the filter 41D has the same configuration and function as the filter 41.
  • the LED element 12D having the reflective layer 12AD is disposed on the bottom surface 22D of the recess 23D, and the indicator layer 16D is disposed via the transparent resin layer 15D. Further, the fluorescence sensor 10D is completed by separating the silicon wafer 20DW on which the light shielding layer 19D is formed.
  • the side surface of the recess may be perpendicular to the first main surface 21 as in the fluorescent sensor 10.
  • the LED element 12D of the fluorescence sensor 10D of the third embodiment is a thin layered LED element similar to the LED element 12T of the modification of the first embodiment.
  • Fluorescent sensor 10D has the effects of fluorescent sensor 10 and the like, and is easy to manufacture and more sensitive.
  • a PD element 13E which is a photoelectric conversion element, is formed on the side surface 24D of the recess 23D and the bottom surface 22D of the recess 23D of the detection substrate unit 20D.
  • the PD element 13E is simultaneously formed on the side surface 24D and the bottom surface 22D of the recess 23D of the silicon wafer 20EW on which the recess 23D having the bottom surface 22D parallel to the first main surface 21 is formed. That is, the PD element formed on the side surface 24D and the PD element formed on the bottom surface are an integrated PD element 13E.
  • a silicon oxide layer 42E serving as a first protective layer of the PD element 13E is formed.
  • a filter 41E made of polycrystalline silicon or the like is formed on the surface of the silicon oxide layer 42E.
  • the subsequent steps are the same as the manufacturing method of the fluorescence sensor 10D of the third embodiment, but the LED element 12E does not have a reflective layer on the bottom surface.
  • the fluorescence sensor 10E of this embodiment has high detection sensitivity because the PD element 13E also detects the fluorescence F that has passed through the LED element 12E, similarly to the fluorescence sensor 10B.
  • the PD element 13E integrally formed on the side surface 24D and the bottom surface 22D is not only easy to form, but also requires two wiring lines 61E and 62E for detection signals. Further, the silicon oxide layer 42E and the filter 41E can be integrally formed on the side surface 24D and the bottom surface 22D.
  • the PD element 13D may be divided into a plurality of regions, and the detection signals in the respective regions may be transmitted to the main body 2 through separate wirings.
  • Fluorescent sensor 10E has the effects of fluorescent sensor 10D, and is highly sensitive and easy to manufacture.
  • a needle-type fluorescence sensor 4F (4F1, 4F2) having the fluorescence sensor 10F (10F1, 10F2) of the fourth embodiment of the present invention will be described. Since the fluorescent sensor 10F according to the present embodiment is similar to the fluorescent sensor 10 according to the first embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the fluorescence sensor 10 ⁇ / b> F has a high transmittance in the wavelength region of the fluorescence F among the light generated by the LED element 12, and has a low transmittance in the wavelength region longer than the fluorescence F and a long wavelength that cuts long wavelength light including excitation light.
  • a cut filter 51 is provided.
  • the LED element 12 generates excitation light E having a center wavelength of around 375 nm, for example, but may contain slightly longer-wavelength light than the fluorescence F.
  • minute light emission may appear from the LED element 12 in a wide wavelength range on the long wavelength side.
  • the light receiving sensitivity of the PD element 13 is high on the long wavelength side, and the transmittance of the filter is also high on the long wavelength side.
  • the longer wavelength component light than the fluorescence F of the LED element 12 does not contribute to the generation of the fluorescence of the indicator layer 16 but also causes a large noise component of the detection signal even if it is weak.
  • FIG. 12 shows an example of transmittance characteristics of the long wavelength cut filter 51 suitable for detecting the fluorescence F having a peak wavelength of 475 nm, a short wavelength end of 425 nm, and a long wavelength end of 650 nm.
  • the long wavelength cut filter 51 is transparent in the wavelength region of the fluorescence F.
  • the long wavelength cut filter 51 is, for example, a dielectric multilayer film formed by laminating multiple dielectrics such as LaF 3 , Al 2 O 3 , Pr 2 O 3 , Ta 2 O 3 , TiO 2, or Nb 2 O 5. It is.
  • the long wavelength cut filter 51A is disposed above the LED element 12F1 having the reflective layer 12F1A.
  • the long wavelength cut filters 51B1 and 51B2 are above and below the LED element 12, respectively. Arranged.
  • the long wavelength cut filter is not limited to a method of inserting a solid filter such as a dielectric multilayer film, but a method of applying / solidifying a fluid resin or a method of vapor deposition on both surfaces of the LED element 12 May be formed.
  • the fluorescence sensor 10F of the present embodiment since the long wavelength light generated by the LED element 12 is cut by the long wavelength cut filter 51, noise light that becomes an offset output is removed, so that the S / N of the detection signal is improves. For this reason, the fluorescence sensor 10F has the effect which the fluorescence sensor 10 grade

Abstract

蛍光センサ１０は、第１の主面２１に第１の主面２１と平行な底面２２のある凹部２３があり、凹部２３の側面２４に、蛍光Ｆを受光し検出信号を出力するＰＤ素子１３が形成されている検出基板部２０と、検出基板部２０の凹部２３の底面２２に配設された、励起光Ｅを発生するＬＥＤ素子１２と、ＬＥＤ素子１２の上の凹部２３の内部に配設された励起光Ｅとアナライト量とに応じた蛍光Ｆを発生するインジケータ層１６と、を具備する。

Description

蛍光センサ
　本発明の実施形態は、アナライトの濃度を計測する蛍光センサに関し、特に半導体製造技術およびＭＥＭＳ技術を用いて作製される微小蛍光分光光度計である蛍光センサに関する。
　液体中のアナライトすなわち被計測物質の存在確認、または、濃度を測定するための様々な分析装置が開発されている。例えば、一定容量の透明容器に、アナライトの存在によって性質が変化し蛍光を発生する蛍光色素と、アナライトを含む被計測溶液とを注入し、励起光Ｅを照射し蛍光色素からの蛍光強度を計測することによりアナライト濃度を計測する蛍光分光光度計が知られている。
　小型の蛍光分光光度計は、光検出器と蛍光色素を含有したインジケータ層とを有している。そして、被計測溶液中のアナライトが進入可能なインジケータ層に光源からの励起光Ｅを照射することで、インジケータ層内の蛍光色素が被計測溶液中のアナライト濃度に応じた光量の蛍光を発生し、その蛍光を光検出器が受光する。光検出器は光電変換素子であり、受光した光量に応じた電気信号を出力する。この電気信号から被計測溶液中のアナライト濃度が測定される。
　近年、微量試料中のアナライトを計測するために、半導体製造技術およびＭＥＭＳ技術を用いて作製される微小蛍光分光光度計が提案されている。以下、微小蛍光光度計のことを。「蛍光センサ」と呼ぶ。
　例えば、図１および図２に示す蛍光センサ１１０が米国特許第５０３９４９０号明細書に開示されている。蛍光センサ１１０は、励起光Ｅが透過可能な透明支持基板１０１と、蛍光を電気信号に変換する光電変換素子部１０３と、励起光Ｅを集光する集光機能部１０５Ａとを有する光学板状部１０５と、アナライト９と相互作用することによって励起光Ｅの入射により蛍光を発生するインジケータ層１０６と、カバー層１０９と、から構成されている。
　光電変換素子部１０３としては、例えばシリコンからなる基板１０３Ａに形成された光電変換素子である。基板１０３Ａは励起光Ｅを透過しない。このため、蛍光センサ１１０は、光電変換素子部１０３の周囲に励起光Ｅが透過可能な空隙領域１２０を有している。
　すなわち、空隙領域１２０を透過し光学板状部１０５に入射した励起光Ｅだけが、光学板状部１０５の作用により、インジケータ層１０６中の、光電変換素子部１０３の上部付近に集光される。集光された励起光Ｅ２と、インジケータ層１０６の内部に進入したアナライト９の相互作用により、蛍光Ｆが発生する。発生した蛍光Ｆの一部は光電変換素子部１０３に入射し、光電変換素子部１０３において蛍光強度、つまりアナライト９の濃度に比例した電流または電圧などの信号が発生する。なお励起光Ｅは、光電変換素子部１０３を覆うフィルタ（不図示）の作用により、光電変換素子部１０３には入射しない。
　以上の説明のように、蛍光センサ１１０は、透明支持基板１０１上に、光電変換素子部１０３であるフォトダイオードを励起光Ｅの通路である空隙領域１２０を確保した基板１０３Ａ上に形成し、その上側に、光学板状部１０５およびインジケータ層１０６が積層されている。
　しかし、上記の公知の蛍光センサ１１０は、励起光Ｅの通路である空隙領域１２０と光電変換素子部１０３の領域とを、同一平面上に有する。このため、より多くの励起光Ｅをインジケータ層１０６に導光するために通路である空隙領域１２０の面積を広くすると、光電変換素子部１０３の面積が狭くなるため、蛍光センサの感度を高めることにはならない。反対に光電変換素子部１０３の検出感度を高くするために光電変換素子部１０３の面積を広くすると、励起光Ｅの通路である空隙領域１２０の面積が狭くなりインジケータ層１０６に導光する励起光Ｅが減少してしまうために、やはり蛍光センサの感度を高めることにはならない。すなわち、蛍光センサ１１０では、高い検出感度を得ることは容易ではなかった。
　本発明の実施形態は、検出感度の高い蛍光センサを提供することを目的とする。
　本発明の一態様の蛍光センサは、第１の主面に前記第１の主面と平行な底面のある凹部があり、前記凹部の側面の少なくとも一部に、蛍光を受光し検出信号を出力する光電変換素子が、形成されている検出基板部と、前記検出基板部の前記凹部の前記底面に配設された、励起光を発生する発光素子と、前記発光素子の上側の前記凹部の内部に配設された、前記励起光とアナライト量とに応じた前記蛍光を発生するインジケータ層と、を具備する。
公知の蛍光センサの断面構造を示した説明図である。 公知の蛍光センサの構造を説明するための分解図である。 第１実施形態の蛍光センサを有するセンサシステムを説明するための説明図である。 第１実施形態の蛍光センサの構造を説明するための分解図である。 第１実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第１実施形態の変形例の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第２実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第２実施形態の変形例の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第３実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第３実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第３実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第３実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第３実施形態の蛍光センサの製造方法を説明するための断面構造を示す模式図である。 第４実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第５実施形態の蛍光センサの長波長カットフィルタの特性を示す図である。 第５実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。 第５実施形態の蛍光センサの断面構造を示す模式図である。
＜第１実施形態＞
　以下、本発明の第１実施形態の蛍光センサ１０について説明する。
　図３に示すように、蛍光センサ１０を有する針型蛍光センサ４は、本体部２およびレシーバー３と、ともにセンサシステム１を構成する。
　すなわち、センサシステム１は、針型蛍光センサ４と、本体部２と、本体部２からの信号を受信し記憶するレシーバー３と、を有する。本体部２とレシーバー３との間の信号の送受信は無線または有線で行われる。
　針型蛍光センサ４は、主要機能部である蛍光センサ１０を有する針先端部５と細長い針本体部６とを有する針部７と、針本体部６の後端部と一体化したコネクタ部８と、を具備する。針先端部５、針本体部６、コネクタ部８は同一材料により一体形成されていてもよい。
　コネクタ部８は、本体部２の嵌合部２Ａと着脱自在に嵌合する。針型蛍光センサ４の蛍光センサ１０から延設された複数の配線６０は、コネクタ部８が本体部２の嵌合部２Ａと機械的に嵌合することにより、本体部２と電気的に接続される。なお、以下、複数の配線６０のそれぞれを配線６１（～６８）で示す。
　図示しないが、本体部２は、蛍光センサ１０からの検知信号を処理する演算部と、レシーバー３との間で無線信号を送受信するための無線アンテナと、電池等と、を有する。なお、レシーバー３との間を有線送受信する場合には、本体部２は無線アンテナに代えて信号線を有する。
　蛍光センサ１０は感染防止等のために使用後は処分される使い捨て（ディスポ）部であるが、本体部２およびレシーバー３は繰り返し再使用されるリユース部である。なお、本体部２が必要な容量のメモリ部を有する場合にはレシーバー３は不要である。
　針型蛍光センサ４は本体部２と嵌合した状態で、被検者自身が体表面から穿刺して針先端部５が体内に留置される。そして、例えば体液中のグルコース濃度を連続して測定し、レシーバー３のメモリに記憶する。すなわち、本実施の形態の蛍光センサ１０は連続使用期間が一週間程度の短期皮下留置型のセンサである。
　そして、図４、図５に示すように、針型蛍光センサ４の主要機能部である蛍光センサ１０は、検出基板部２０と、励起光Ｅを発生する発光素子である発光ダイオード（Light Emitting Diode：以下「ＬＥＤ」ともいう）素子１２と、透明樹脂層１５と、励起光Ｅとアナライト量とに応じた蛍光Ｆを発生するインジケータ層１６と、遮光層１９と、を有する。
　検出基板部２０は、配線基板３０と、貫通孔４６が形成された枠状基板４０と、を接合することにより作製されている。このため、検出基板部２０には、第１の主面２１に、第１の主面２１と平行な底面２２のある凹部２３がある。すなわち、配線基板３０の表面が、凹部２３の底面２２であり、枠状基板４０の貫通孔４６の壁面４５が、凹部２３の側面２４である。なお、例えばＮ型半導体からなる検出基板部２０、すなわち配線基板３０および枠状基板４０の表面等には適宜、絶縁層が形成されているが、図示はしない。
　ＬＥＤ素子１２は、凹部２３の底面２２に配設されており、インジケータ層１６は、凹部２３の内部のＬＥＤ素子１２上側に配設されている。なお、ＬＥＤ素子１２の底面および側面には、例えば、高反射率の金属からなる反射層１２Ａが形成されており、インジケータ層１６に向けてのみ励起光Ｅを発生する。底面に反射層１２Ａを有するＬＥＤ素子１２は、反射層のないＬＥＤ素子の約２倍の光量の励起光Ｅをインジケータ層１６に向けて照射する。また側面の反射層１２Ａにより、励起光Ｅに起因するノイズ光のインジケータ層１６への照射を防止できる。なお、反射層１２Ａに替えて、ＬＥＤ素子１２の側面と対向する凹部２３の側面２４の領域にＰＤ素子１３を形成しない場合にも同様の効果を得ることができる。
　発光素子としては、ＬＥＤ素子１２に限られるものではなく、有機ＥＬ素子、無機ＥＬ素子、またはレーザダイオード素子など多様な種類の発光素子の中から選択される。そして、蛍光透過率、光発生効率、励起光Ｅの波長選択性の広さ、および励起光Ｅとなる紫外線以外の波長の光を僅かしか発生しないことなどの観点からは、ＬＥＤ素子１２が好ましい。
　透明樹脂層１５は第２の保護層である。第２の保護層としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、または透明な非晶性フッ素樹脂などが使用可能である。第２の保護層は、電気的絶縁性を有すること、水分遮断性を有すること、励起光Ｅおよび蛍光Ｆに対して良好な透過率を有すること、などの特性を有する材料から選択される。
　第２の保護層の特性として、励起光Ｅが照射されても層中での蛍光Ｆの発生が小さいことが重要である。なお、この蛍光Ｆが小さいという特性は、インジケータ層１６を除いた蛍光センサ１０の全ての透明材料の重要特性であることは言うまでもない。
　インジケータ層１６は、進入してきたアナライト９との相互作用および励起光Ｅによりアナライト９の濃度に応じた光量の蛍光Ｆを発生する。インジケータ層１６の層厚は数十μｍ～２００μｍ程度に設定されている。インジケータ層１６は、アナライト９の量、すなわち試料中のアナライト濃度に応じた強度の蛍光Ｆを発生する蛍光色素が含まれたベース材料から構成されている。
　蛍光色素は、アナライト９の種類に応じて選択され、アナライト９の量に応じて発生する蛍光Ｆの光量が可逆的に変化する蛍光色素ならば、どのようなものにも使用できる。例えば生体内の水素イオン濃度または二酸化炭素を測定する場合には、ヒドロキシピレントリスルホン酸誘導体、糖類を測定する場合には蛍光残基を有するフェニルボロン酸誘導体、カリウムイオンを測定する場合には蛍光残基を有するクラウンエーテル誘導体などを用いることができる。そして、グルコースのような糖類を測定する場合には、蛍光色素として、ルテニウム有機錯体、蛍光フェニルボロン酸誘導体、または蛋白と結合したフルオレセイン等のグルコースと可逆結合する物質を用いることができる。
　以上の説明のように、本発明の蛍光センサ１０は、蛍光色素の選択によって、酸素センサ、グルコースセンサ、ｐＨセンサ、免疫センサ、または微生物センサなど、多様な用途に対応している。
　インジケータ層１６は、例えば、含水し易いハイドロゲルをベース材料として、ハイドロゲル内に上記蛍光色素を含有するまたは結合されている。ハイドロゲルの成分としてはメチルセルロースもしくはデキストランなどの多糖類、（メタ）アクリルアミド、メチロールアクリルアミド、もしくはヒドロキシエチルアクリレート等のモノマーを重合して作製するアクリル系ハイドロゲル、またはポリエチレングリコールとジイソシアネートから作製するウレタン系ハイドロゲルなどを用いることができる。
　インジケータ層１６は、透明樹脂層１５上に、図示していないシランカップリング剤などよりなる接着層を介して接合されている。なお、透明樹脂層１５を形成しないで、インジケータ層１６がＬＥＤ素子１２の表面に、直接、接合された構造であってもよい。
　遮光層１９は、インジケータ層１６の上部表面側に形成された、厚さが数十μｍ以下の層である。遮光層１９は、励起光Ｅおよび蛍光Ｆが蛍光センサ１０の外部へ漏光するのを防止すると同時に、外光が凹部２３に進入するのを防止する。
　一方、枠状基板４０の貫通孔４６の壁面４５、すなわち検出基板部２０の凹部２３の側面２４には、蛍光Ｆを受光し検出信号を出力する光電変換素子であるフォトダイオード（Photo Diode：以下「ＰＤ」ともいう）素子１３が形成されている。すなわち、ＰＤ素子１３は、インジケータ層１６を囲むように設けられ、受光面がインジケータ層１６に向くように形成されている。
　ＰＤ素子１３は、側面２４の全体に形成されていてもよいが、蛍光Ｆのみを効率的に受光するために、インジケータ層１６との対向領域にのみに形成してもよい。またインジケータ層１６は、４面ある側面２４の全てに形成されていてもよいし、一部の面のみに形成されていてもよい。
　すなわち、ＰＤ素子１３は、凹部２３の側面２４の少なくとも一部に、形成されていればよい。
　光電変換素子としては、フォトコンダクタ（光導電体）、またはフォトトランジスタ（Photo Transistor、ＰＴ）などでもよい。
　側面２４に形成されたＰＤ素子１３を覆うように、ＰＤ素子１３を保護する第１の保護層である酸化シリコン層４２と、フィルタ４１と、が配設されている。フィルタ４１はＰＤ素子１３の受光面側に、ＰＤ素子１３を覆うように形成されている。
　フィルタ４１は、例えば、励起光Ｅは通さずカットし、それよりも長波長の蛍光Ｆは通す吸収型フィルタである。このようなフィルタの材料としては、シリコン層または炭化シリコン層が好適である。なお、フィルタ４１として蛍光Ｆのみを通すバンドパスフィルタであってもよい。
　枠状基板４０は、ＰＤ素子１３の電極４３、４４から出力される検出信号を本体部２に伝達するための２本の配線６１、６２、およびＬＥＤ素子の電極１２Ｂに駆動信号を伝達するための２本の配線６３、６４を有する。電極４４はＮ型半導体である枠状基板４０の表面に部分的にＮ型不純物、例えばリンまたはヒ素等を導入して、より導電率の高い低抵抗領域４０Ｈを形成し、その上に形成されている。
　枠状基板４０の材料は、ＰＤ素子１３を枠状基板４０に形成するためには単結晶シリコンが好ましいが、ガラスまたはセラミック等でもよい。
　インジケータ層１６が発生する蛍光Ｆが外部に漏光することを防ぎ、外光が凹部２３に進入するのを防ぐために遮光することが好ましい。すなわち、枠状基板４０の外壁および配線基板３０の底面、すなわち、検出基板部２０の外壁および第２の主面２５を、遮光層１９と同じ材料またはカーボンブラックを配合した樹脂でコーティングしたり、金属層を蒸着したりすることが好ましい。
　ＬＥＤ素子１２が発生した励起光Ｅは、インジケータ層１６中の蛍光色素に照射される。そして、蛍光色素がアナライト９との相互作用により発生した蛍光Ｆの一部は、フィルタ４１を通過してＰＤ素子１３に到達し、検出信号に変換される。
　蛍光センサ１０は、インジケータ層１６を取り囲む側面２４に形成されたＰＤ素子１３により蛍光Ｆを検出するために、検出感度が高い。
　次に、蛍光センサ１０の製造方法について簡単に説明する。なお、図６Ａ～図６Ｅでは１個の蛍光センサ１０の領域の部分断面図であるが、実際の工程では、ウエハプロセスとして一括して多数の素子を形成する。
　最初に、図６Ａに示すように、枠状基板４０の作製では、導電性（Ｎ型）の第１のシリコンウエハ４０Ｗに対して、マスク層４７を介してエッチングが行われ、多数の枠状パターン、すなわち凹部２３となる貫通孔４６が形成される。エッチングには公知の各種の方法を用いることができる。
　なお、貫通孔４６の開口の大きさは仕様に応じて設計されるが、配設箇所が針先端部５であるために、例えば、縦１５０μｍ、横５００μｍのように細長い形状であることが好ましい。
　また、蛍光センサ１０では、凹部２３の側面２４は第１の主面２１に垂直であるが、後述するように、側面は所定の角度、すなわちテーパーのある形状であってもよい。テーパー形状の凹部は例えばウエットエッチングにより作製することができる。
　次に、図６Ｂに示すように、貫通孔４６の壁面４５（凹部２３の側面２４）にＰＤ素子１３が形成される。すなわち、マスク層４７Ａが形成された第１のシリコンウエハ４０Ｗを５度～３０度に傾けた状態で、４方向からイオン注入処理が行われる。例えば、ほう素（Ｂ）を注入する場合の条件は、加速電圧：１０～１００ｋｅＶ、注入量：１×１０１５ｃｍ－２程度である。このとき第１のシリコンウエハ４０Ｗに、５０～１００ｎｍの薄い酸化物層があってもよい。
　そして、第１のシリコンウエハ４０Ｗの貫通孔４６の壁面４５のＰＤ素子１３を覆うように、酸化シリコン層４２と、フィルタ４１と、が順にＣＶＤ法により、形成され、さらに電極４３、４４が形成される。
　別途、配線基板３０となる導電性（Ｎ型）の第２のシリコンウエハ３０Ｗが準備される。第２のシリコンウエハ３０Ｗには、ＰＤ素子１３からの検出信号を送信するための配線６１、６２およびＬＥＤ素子１２に駆動信号を供給するための配線６３、６４がスパッタ法または蒸着法等により形成される。
　図６Ｃに示すように、第１のシリコンウエハ４０Ｗが上下反転されて、第２のシリコンウエハ３０Ｗと接合される。
　すると図６Ｄに示すように、２枚のウエハが接合された接合ウエハ２０Ｗでは、枠状基板４０の貫通孔４６は、底面２２のある凹部２３となる。
　そして、図６Ｅに示すように、接合ウエハ２０Ｗの複数の凹部２３のそれぞれの内部に、ＬＥＤ素子１２および透明樹脂層１５が配設され、さらに透明樹脂層１５の上側にシランカップリング剤などの接着層を必要に応じて介して、インジケータ層１６が配設される。
　ＬＥＤ素子１２の配設には、光学的に透明なアクリル樹脂もしくはシリコーン樹脂などを使用した接着法、または、フリップチップボンディング法などの各種接合法などの方法が使用可能である。
　最後に遮光層１９がインジケータ層１６を覆うように形成された後、接合ウエハ２０Ｗが個片化されて、蛍光センサ１０が完成する。すなわち、蛍光センサ１０を針先端部５に有する針型蛍光センサ４が完成する。
　蛍光センサの製造方法としては、これに限られるものではなく、個片化された配線基板３０と、個片化された枠状基板４０とを接合した後に、凹部２３にＬＥＤ素子１２等を配設する等の方法を用いてもよい。
　また、配線基板３０の延設部が針部７の針本体部６を構成するように第１のシリコンウエハを加工してもよいし、別途作製した針本体部６と、蛍光センサ１０を有する針先端部５とを接合して針部７を構成してもよい。
　以上の説明のように、本実施の形態の蛍光センサ１０は、ウエハプロセスにより一括大量生産が可能である。このため、蛍光センサ１０は、安価に安定した品質を提供できる。
　次に、図５を参照して、蛍光センサ１０の動作を説明する。
　ＬＥＤ素子１２は、例えば３０秒に１回の間隔で中心波長が３７５ｎｍ前後の励起光Ｅをパルス発光する。例えば、ＬＥＤ素子１２へのパルス電流は１ｍＡ～１００ｍＡであり、発光のパルス幅は１０ｍｓ～１００ｍｓである。
　ＬＥＤ素子１２が発生した励起光Ｅは透明樹脂層１５を通過して、インジケータ層１６に入射する。インジケータ層１６は、アナライト９の量に対応した強度の蛍光Ｆを発する。なお、アナライト９は遮光層１９を通過して、インジケータ層１６に進入する。インジケータ層１６の蛍光色素は波長３７５ｎｍの励起光Ｅに対して、より長波長の例えば波長４６０ｎｍの蛍光Ｆを発生する。
　インジケータ層１６が発生した蛍光Ｆの一部は、フィルタ４１と酸化シリコン層４２と介して、ＰＤ素子１３に入射する。そして蛍光Ｆは、ＰＤ素子１３において光電変換され光発生電荷を生じることで、検出信号として出力される。なお、ＬＥＤ素子１２が発生する励起光Ｅも一部は、凹部２３の側面２４に入射するが、フィルタ４１の作用によりＰＤ素子１３へは殆ど入射しない。
　蛍光センサ１０では、本体部２の演算部（不図示）が検出信号、すなわち、ＰＤ素子１３からの光発生電荷に起因する電流または蓄積した光発生電荷に起因する電圧をもとに演算処理を行い、アナライト量を算出する。なお、針型蛍光センサ４が演算部または検出信号処理回路等を有していてもよい。
　蛍光センサ１０は、検出基板部の凹部２３の底面２２にＬＥＤ素子１２を有し、側面２４にＰＤ素子１３を有するため、超小型であるにも関わらず、検出感度が高い。
＜第１実施形態の変形例＞
　次に、本発明の第１実施形態の変形例の蛍光センサ１０Ａを有する針型蛍光センサ４Ａについて説明する。本変形例の蛍光センサ１０Ａは第１実施形態の蛍光センサ１０と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図７Ａに示すように、第１実施形態の蛍光センサ１０のＬＥＤ素子１２は、６０～１００μｍ程度の厚さのサファイア基板１２Ｓに形成された厚み１０μｍ程度の窒化ガリウム系化合物からなる半導体１２Ｎからなる。
　このため、例えば、ＬＥＤ素子１２の厚さが１００μm、凹部の深さが１５０μmの場合、蛍光センサ１０のインジケータ層１６の厚さは５０μm以下である。
　これに対して、図７Ｂに示すように、蛍光センサ１０ＡのＬＥＤ素子１２Ｔは、ＬＥＤ素子１２から大部分のサファイア基板１２Ｓが除去され、窒化ガリウム系化合物からなる半導体１２Ｎを主体とする。すなわち、ＬＥＤ素子１２Ｔの厚さは、１０μｍ程度である。なお、反射層１２ＡＡはＬＥＤ素子１２Ｔの側面にも形成されているが、ＬＥＤ素子１２Ｔの厚さが薄いため底面のみに形成してもよい。
　蛍光センサ１０Ａでは、例えば、凹部の深さが１５０μmの場合、インジケータ層１６Ａの厚さを１４０μmと、蛍光センサ１０のインジケータ層１６よりも厚くすることができる。
　蛍光センサ１０Ａは、蛍光センサ１０が有する効果を有し、さらにインジケータ層１６Ａが厚いために、より多くの蛍光Ｆを発生することができる。このために、蛍光センサ１０Ａは、より検出感度が高い。
＜第２実施形態＞
　次に、本発明の第２実施形態の蛍光センサ１０Ｂを有する針型蛍光センサ４Ｂについて説明する。本実施形態の蛍光センサ１０Ｂは第１実施形態の蛍光センサ１０と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図８に示すように、蛍光センサ１０Ｂは、検出基板部２０Ｂの凹部２３の側面２４（枠状基板４０の貫通孔４６の壁面４５）に形成された第１の光電変換素子であるＰＤ素子１３Ａに加えて、凹部２３の底面２２（配線基板３０Ｂの上面）にも第２の光電変換素子であるＰＤ素子１３Ｂが形成されている。
　底面２２に形成されたＰＤ素子１３Ｂを覆うように、ＰＤ素子１３Ｂを保護する第３の保護層である酸化シリコン層４２Ｂと、フィルタ４１Ｂと、が配設されている。酸化シリコン層４２Ｂは酸化シリコン層４２、４２Ａと同じ機能を有し、フィルタ４１Ｂはフィルタ４１、４１Ａと同じ機能を有する。なお、ＬＥＤ素子１２の反射層１２Ａ１は側面のみで底面には形成されていない。また、ＬＥＤ素子１２は、蛍光Ｆを透過する発光素子である。
　そして、ＰＤ素子１３Ｂと、ＬＥＤ素子１２と、インジケータ層１６のそれぞれの中央部が配線基板３０Ｂの上側の同一領域内に形成されている。
　蛍光センサ１０Ｂの製造工程では、配線基板３０Ｂとなる第２のシリコンウエハの表面には、多数のＰＤ素子１３Ｂと、それぞれの配線６０（６１～６６）が形成される。そしてＰＤ素子１３Ｂの表面に第１の保護層となる数十～数百ｎｍの厚さを有する酸化シリコン層４２Ｂが形成される。さらに酸化シリコン層４２Ｂの表面に、多結晶シリコン等からなるフィルタ４１Ｂが形成される。
　以降の工程はすでに説明した蛍光センサ１０の製造工程と同様である。なお、ＰＤ素子１３Ｂの検出信号は配線６５、６６を介して本体部２に伝達される。
　蛍光センサ１０Ｂでは、インジケータ層１６が発生した蛍光Ｆの一部は、ＬＥＤ素子１２を通ってＰＤ素子１３Ｂに到達するために、ＰＤ素子１３Ｂは検出信号Ｂを発生する。すなわち、底面に反射層を有していないＬＥＤ素子１２は蛍光Ｆを透過する。
　蛍光センサ１０Ｂは、ＰＤ素子１３Ａが出力する検出信号Ａだけでなく、ＰＤ素子１３Ｂが出力する検出信号Ｂも、本体部２に出力する。
　このため、蛍光センサ１０Ｂは、蛍光センサ１０が有する効果を有し、さらに、より検出感度が高い。
　なお、ＬＥＤ素子１２の大きさが、ＰＤ素子１３Ｂよりも小さい場合には、ＬＥＤ素子１２の底面にも反射層を形成してもよい。この場合には、蛍光Ｆの一部は、反射層１２Ａにより反射されてしまうためにＰＤ素子１３Ｂには入射しない。しかし、ＬＥＤ素子１２からの励起光Ｅに起因するＰＤ素子１３Ｂの検出信号のノイズ光成分を、より減ずることができる。
　また、ノイズ光成分を減ずるために、ＬＥＤ素子１２の底面と対向する領域にはＰＤ素子１３Ｂを形成しなくともよい。すなわち、ＰＤ素子１３Ｂは、凹部２３の底面２２の少なくとも一部に、形成されていればよい。
　また、第２実施形態の蛍光センサ１０Ｂにおいても、第１実施形態の変形例のＬＥＤ素子１２Ｔと同様の薄層化ＬＥＤ素子を用いてもよい。
＜第２実施形態の変形例＞
　次に、本発明の第２実施形態の変形例の蛍光センサ１０Ｃを有する針型蛍光センサ４Ｃについて説明する。本変形例の蛍光センサ１０Ｃは第２実施形態の蛍光センサ１０Ｂと類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　第２実施形態の蛍光センサ１０Ｂは、ＰＤ素子１３Ａが出力する検出信号Ａと、ＰＤ素子１３Ｂが出力する検出信号Ｂとを、それぞれ別の配線６１、６２、６５、６６を介して本体部２に出力した。
　これに対して、蛍光センサ１０Ｃは、ＰＤ素子１３Ａが出力する検出信号Ａと、ＰＤ素子１３Ｂが出力する検出信号Ｂとの合算検出信号を２本の配線６７、６８を用いて本体部２に出力する。
　すなわち、図９に示すように、配線基板３０Ｃに形成されたＰＤ素子１３Ｂは、その一部分が枠状基板４０の直下まで延設され、ＰＤ素子１３Ａの配線６８と直下で接続されている。また、低抵抗領域４０Ｈと同様の方法で形成された配線基板３０Ｃの低抵抗領域３０Ｈは、枠状基板４０の低抵抗領域４０Ｈの直下で共通の配線６７と接続されている。
　電気的接続箇所には、例えばフリップチップ実装技術または半田接続技術を用いて行われる。
　蛍光センサ１０Ｃは、蛍光センサ１０Ｂ等が有する効果を有し、さらに検出信号を出力するための配線６０の数が２本と少ないため、より小型である。
＜第３実施形態＞
　次に、本発明の第３実施形態の変形例の蛍光センサ１０Ｄを有する針型蛍光センサ４Ｄについて説明する。本変形例の蛍光センサ１０Ｄは第１実施形態の蛍光センサ１０等と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　蛍光センサ１０Ｄの検出基板部２０Ｄは、半導体基板であるシリコンウエハ２０ＤＷにより一体的に作製されている。すなわち、検出基板部２０Ｄの凹部２３Ｄは、例えばエッチング法によりシリコンウエハ２０ＤＷの第１の主面２１に形成された凹部である。
　次に、図１０Ａ～図１０Ｅを用いて、蛍光センサ１０Ｄの製造方法について説明する。なお、図１０Ａ～図１０Ｅでは１個の蛍光センサ１０Ｄの領域の部分断面図であるが、実際の工程では、ウエハプロセスとして一括して多数の素子を形成する。
　図１０Ａに示すように、シリコンウエハ２０ＤＷの第１の主面２１にマスク層２７が作製される。そして、図１０Ｂに示すように、エッチング法により、第１の主面２１と平行な底面２２Ｄのある凹部２３Ｄが形成される。
　エッチング法としては、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液などを用いるウエットエッチング法が望ましいが、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、ケミカルドライエッチング（ＣＤＥ）などのドライエッチング法も用いることができる
　例えば、シリコンウエハ２０ＤＷとしてシリコン（１００）面を用いた場合には、（１１１）面のエッチング速度が（１００）面に比べて遅い異方性エッチングとなるため、凹部２３Ｄの側面２４Ｄは（１１１）面となり、（１００）面との角度θ１は５４．７４度となる。すなわち、凹部２３Ｄは開口が底面よりも広く、側面２４Ｄはテーパー形状である。
　次に、図１０Ｃに示すように、凹部２３Ｄの側面２４ＤにＰＤ素子１３Ｄが形成される。側面２４Ｄがテーパーのある凹部２３Ｄは、側面２４が垂直な凹部２３に比べてＰＤ素子を形成する面積が広いだけでなく、凹部２３Ｄの側面２４ＤへのＰＤ素子１３Ｄの形成が容易である。
　さらに、ＬＥＤ素子１２Ｄの駆動信号用の配線６３、６４、ＰＤ素子１３Ｄの検出信号用の配線６１Ｄ、６２Ｄ等が形成される。なお、ＬＥＤ素子１２ＤおよびＰＤ素子１３Ｄのための貫通配線６０Ｓ１、６０Ｓ２、６０Ｓ３はＰＤ素子１３Ｄ形成前に作製しておいてもよい。また低抵抗領域２０Ｈは低抵抗領域４０Ｈと同様の方法で形成される。
　次に、図１０Ｄに示すように、側面２４ＤのＰＤ素子１３Ｄを覆うように酸化シリコン層４２Ｄおよびフィルタ４１Ｄが配設される。酸化シリコン層４２Ｄは酸化シリコン層４２と同様の構成および機能を有し、フィルタ４１Ｄはフィルタ４１と同様の構成および機能を有する。
　次に、図１０Ｅに示すように、凹部２３Ｄの底面２２Ｄに、反射層１２ＡＤを有するＬＥＤ素子１２Ｄが配設され、さらに透明樹脂層１５Ｄを介して、インジケータ層１６Ｄが配設される。さらに、遮光層１９Ｄが形成されたシリコンウエハ２０ＤＷを個片化することにより蛍光センサ１０Ｄが完成する。
　なお、蛍光センサの仕様によっては、蛍光センサ１０のように、凹部の側面は第１の主面２１に垂直であってもよい。
　なお、第３実施形態の蛍光センサ１０ＤのＬＥＤ素子１２Ｄは、第１実施形態の変形例のＬＥＤ素子１２Ｔと同様の薄層化ＬＥＤ素子である。
　蛍光センサ１０Ｄは蛍光センサ１０等が有する効果を有し、さらに、製造が容易で、より高感度である。
＜第３実施形態の変形例＞
　次に、本発明の第３実施形態の変形例の蛍光センサ１０Ｅを有する針型蛍光センサ４Ｅについて説明する。本変形例の蛍光センサ１０Ｅは第３実施形態の蛍光センサ１０Ｄ等と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図１１に示すように、蛍光センサ１０Ｅは、検出基板部２０Ｄの凹部２３Ｄの側面２４Ｄおよび凹部２３Ｄの底面２２Ｄに、光電変換素子であるＰＤ素子１３Ｅが形成されている。
　蛍光センサ１０Ｅの製造工程では、第１の主面２１と平行な底面２２Ｄのある凹部２３Ｄが形成されたシリコンウエハ２０ＥＷの凹部２３Ｄの側面２４Ｄおよび底面２２Ｄに同時に、ＰＤ素子１３Ｅが形成される。すなわち側面２４Ｄに形成されたＰＤ素子と底面に形成されたＰＤ素子は一体のＰＤ素子１３Ｅである。
　さらに、ＰＤ素子１３Ｅの第１の保護層となる酸化シリコン層４２Ｅが形成される。そして酸化シリコン層４２Ｅの表面に、多結晶シリコン等からなるフィルタ４１Ｅが形成される。
　以降の工程は、第３の実施形態の蛍光センサ１０Ｄの製造方法と同様であるが、ＬＥＤ素子１２Ｅは底面には反射層を有していない。
　本実施形態の蛍光センサ１０Ｅは、蛍光センサ１０Ｂと同様に、ＬＥＤ素子１２Ｅを透過した蛍光ＦもＰＤ素子１３Ｅが検出するために、検出感度が高い。
　さらに、側面２４Ｄおよび底面２２Ｄに一体形成されたＰＤ素子１３Ｅは形成が容易であるだけでなく、検出信号のための配線が６１Ｅ、６２Ｅの２本でよい。また酸化シリコン層４２Ｅおよびフィルタ４１Ｅも側面２４Ｄおよび底面２２Ｄに一体形成できる。
　なお、ＰＤ素子１３Ｄを、複数の領域に分割して、それぞれの領域の検出信号を別々の配線により本体部２に伝達してもよい。
　蛍光センサ１０Ｅは、蛍光センサ１０Ｄが有する効果を有し、さらに高感度かつ製造が容易である。
＜第４実施形態＞
　次に、本発明の第４実施形態の蛍光センサ１０Ｆ（１０Ｆ１、１０Ｆ２）を有する針型蛍光センサ４Ｆ（４Ｆ１、４Ｆ２）について説明する。本実施の形態の蛍光センサ１０Ｆは第１実施形態の蛍光センサ１０等と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　蛍光センサ１０Ｆは、ＬＥＤ素子１２が発生する光のうち、蛍光Ｆの波長領域では透過率が高く、蛍光Ｆよりも長波長領域では透過率が低く励起光を含む長波長光をカットする長波長カットフィルタ５１を有する。
　すでに説明したように、ＬＥＤ素子１２は、例えば中心波長が３７５ｎｍ前後の励起光Ｅを発生するが、蛍光Ｆよりも、さらに長波長の光も僅かに含むことがある。すなわちＬＥＤ素子１２を構成する結晶に内在する結晶欠陥の影響を受け、ＬＥＤ素子１２からは長波長側に広い波長域で微小な発光が現れる場合がある。さらに、ＰＤ素子１３の受光感度は長波長側で高く、また、フィルタの透過率も長波長側で高い。
　このため、ＬＥＤ素子１２の蛍光Ｆよりも長波長成分光は、インジケータ層１６の蛍光発生に寄与しないだけでなく、微弱であっても、検出信号のノイズ成分の大きな原因となる。
　図１２に、ピーク波長が４７５ｎｍ、短波長端が４２５ｎｍ、長波長端が６５０ｎｍの蛍光Ｆの検出に適した長波長カットフィルタ５１の透過率特性の一例を示す。長波長カットフィルタ５１は蛍光Ｆの波長領域では透明である。
　長波長カットフィルタ５１は、例えば、ＬａＦ３、Ａｌ２Ｏ３、Ｐｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ３、ＴｉＯ２またはＮｂ２Ｏ５等の誘電体を多層積層して作製される誘電体多層膜である。
　図１３Ａに示すように、ＬＥＤ素子１２Ｆ１が上方にのみ励起光Ｅを出射する蛍光センサ１０Ｆ１では、長波長カットフィルタ５１Ａは、反射層１２Ｆ１Ａを有するＬＥＤ素子１２Ｆ１の上方に配設される。また、図１３Ｂに示すように、反射層１２Ｆ２Ａを有するＬＥＤ素子１２Ｆ２が上方および下方に励起光Ｅを出射する蛍光センサ１０Ｆ２では、長波長カットフィルタ５１Ｂ１、５１Ｂ２は、ＬＥＤ素子１２の上方および下方に配設される。
　長波長カットフィルタは、誘電体多層膜等の固体状のフィルタを挿入する方法に限られるものではなく、流体状の樹脂を塗布／固化する方法、または、ＬＥＤ素子１２の両面に蒸着等する方法で形成してもよい。
　本実施の形態の蛍光センサ１０Ｆは、ＬＥＤ素子１２が発生する長波長光が長波長カットフィルタ５１でカットされるので、オフセット出力になるノイズ光が除去されるので、検知信号のＳ／Ｎが向上する。このため、蛍光センサ１０Ｆは、蛍光センサ１０等が有する効果を有し、さらに、より高感度である。
　本発明は、上述した実施形態または変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、実施形態または変形例の組み合わせ、種々の変更、改変等ができる。
　本出願は、２０１０年１０月２５日に日本国に出願された特願２０１０－２３８８０２号を優先権主張の基礎として出願するものであり、上記の開示内容は、本願明細書、請求の範囲、図面に引用されたものとする。

Claims (17)

  1. 　第１の主面に前記第１の主面と平行な底面のある凹部があり、前記凹部の側面の少なくとも一部に蛍光を受光し検出信号を出力する光電変換素子が形成されている検出基板部と、
    　前記検出基板部の前記凹部の前記底面に配設された、励起光を発生する発光素子と、
    　前記発光素子の上側の前記凹部の内部に配設された、前記励起光とアナライト量とに応じた前記蛍光を発生するインジケータ層と、を具備することを特徴とする蛍光センサ。
  2. 　前記検出基板部が、配線基板と、前記配線基板と接合された前記凹部となる貫通孔が形成され枠状基板と、からなり、
    　前記配線基板の表面が前記凹部の前記底面であり、前記枠状基板の前記貫通孔の壁面が前記凹部の前記側面であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光センサ。
  3. 　前記光電変換素子の受光面を覆うように、前記蛍光を透過し前記励起光をカットするフィルタが形成されていることを特徴とする請求項２に記載の蛍光センサ。
  4. 　前記発光素子が発生する前記励起光の長波長成分をカットする長波長カットフィルタを有することを特徴とする請求項３に記載の蛍光センサ。
  5. 　体外に配置される本体部の嵌合部と嵌合するコネクタ部を有し、体内のアナライトを計測する針型センサであることを特徴とする請求項４に記載の蛍光センサ。
  6. 　前記凹部の前記底面の少なくとも一部に、前記蛍光を受光し第２の検出信号を出力する第２の光電変換素子が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の蛍光センサ。
  7. 　前記第２の光電変換素子と、前記発光素子と、前記インジケータ層のそれぞれの中央部が前記凹部内の同一領域内に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の蛍光センサ。
  8. 　前記光電変換素子の検出信号と、前記第２の光電変換素子の第２の検出信号と、の合算検出信号を出力する配線を有することを特徴とする請求項７に記載の蛍光センサ。
  9. 　前記凹部が、半導体基板からなる前記検出基板部に形成された凹部であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光センサ。
  10. 　前記凹部の開口が前記底面よりも広く、前記側面はテーパー形状であることを特徴とする請求項９に記載の蛍光センサ。
  11. 　前記光電変換素子の受光面を覆うように、前記蛍光を透過し前記励起光をカットするフィルタが形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の蛍光センサ。
  12. 　前記発光素子が発生する前記励起光の長波長成分をカットする長波長カットフィルタを有することを特徴とする請求項１１に記載の蛍光センサ。
  13. 　体外に配置される本体部の嵌合部と嵌合するコネクタ部を有し、体内のアナライトを計測する針型センサであることを特徴とする請求項１２に記載の蛍光センサ。
  14. 　前記凹部の前記底面の少なくとも一部に、前記蛍光を受光し第２の検出信号を出力する第２の光電変換素子が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の蛍光センサ。
  15. 　前記光電変換素子および前記第２の光電変換素子が、前記凹部の前記側面および前記底面に、同時に一体形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の蛍光センサ。
  16. 　前記第２の光電変換素子と、前記発光素子と、前記インジケータ層のそれぞれの中央部が前記凹部内の同一領域内に形成されていることを特徴とする請求項１５に記載の蛍光センサ。
  17. 　前記光電変換素子の検出信号と、前記第２の光電変換素子の第２の検出信号と、の合算検出信号を出力する配線を有することを特徴とする請求項１４に記載の蛍光センサ。
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