WO2012039035A1 - 高周波電源 - Google Patents
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Abstract
Description
Controlled Oscillator(VCO)を用いて変化させている。しかし、同調回路から真空可変コンデンサなどの可変素子を排除したため、誘導コイルの抵抗成分の変化に対応できない。
これらの方式においては、負荷インピーダンスに変化が生じた場合でも、その負荷インピーダンスで定まる共振周波数で発振が持続し、MOSFETなどのスイッチング素子も共振回路からのフィードバックにより自動的に同じ周波数で駆動されるため、共振回路と駆動回路の位相制御などの処理が不要となる。
しかし、特許文献5の方式では、共振回路の電流をトランス結合により抵抗に流してMOSFETのゲート電圧として利用しているため、抵抗による電力損失が生じる。特に、大出力を必要とするMOSFETにおいてはゲート容量が大きいため、ゲート容量を充電するためにゲート電圧の位相が遅れるという問題が生じ、MOSFETのスイッチング損失を増加させることになる。
[数式2]V0=I1×(-jX1)
[数式3]V0/I0=R0
[数式4]V1/I1=(X1×X1)/R0
さらに、プラズマへの投入電力が最大の場合に、第1のループと第2のループについての二つの共振条件が成立するように設定しておけば、抵抗成分R0が小さくなった場合に、ハーフブリッジ駆動回路10から見た負荷のインピーダンス(X1×X1)/R0はX1よりもはるかに大きくなり、共振条件がX1の約6%ずれたことによる位相の誤差は完全に無視できる大きさとなる。
LCR直列共振回路30の電流I0は、ハーフブリッジ駆動回路10の電圧V1に比例するため、プラズマへの投入電力を制御するためには、誘導コイルの抵抗成分32に発生する電圧V0に比例するハーフブリッジ駆動回路10の電流I1を制御する。具体的にはハーフブリッジ駆動回路10の電圧V1と電流I1の積が一定になるように、ハーフブリッジ駆動回路10の電圧V1を制御する。発振はフィードバック回路によって安定に維持されているため、電力制御回路の応答速度は、特に高速である必要はない。また、発振を停止する時には、ハーフブリッジ駆動回路10の電圧V1を十分に低くすることにより、LCR直列共振回路30の電流I0を小さくする。フィードバック駆動のMOSFETのゲート電圧がスレッショールド電圧を超えなくなると、MOSFETがON状態に切り替わることができなくなり、発振は停止する。
これにより、高速な応答が要求される制御回路を使用しないため、安価に簡単で安全な高周波電源を構成することが可能となる。
11、12…駆動用MOSFET
13、14…コンデンサ
15、16…フィードバック用トランスの2次コイル
17、18…フィードバック用トランスの1次コイル
20…T型定電流変換回路
21、22、23…リアクタンス素子
24、25、26…リアクタンス素子
27…π型定電流変換回路
30…LCR直列共振回路
31…誘導コイルのインダクタンス成分
32…誘導コイルの抵抗成分
33…容量素子
35、36、37…コンデンサ
41、43、45…インダクタ
42、44…コンデンサ
50…プラズマトーチ
51…誘導コイル
52…チョークコイル
61、62…起動用MOSFET
63、64…コンデンサ
65、66…起動用トランスの2次コイル
67、68…起動用トランスの1次コイル
70…起動用ゲートドライバ回路
71、72…MOSFETドライバ
80…バイパスコンデンサ
90…DC電源
Claims (10)
- 直流電圧源と、一つ以上のハーフブリッジ駆動回路と、定電流変換回路と、直列共振回路とから構成される高周波電源において、
前記直流電圧源は、前記ハーフブリッジ駆動回路の電圧を制御し、
前記ハーフブリッジ駆動回路は、少なくとも一対の半導体スイッチング素子を有し、それぞれの前記半導体スイッチング素子の制御端子には交互にON状態とOFF状態を切り替えるために、トランスの2次巻き線が接続され、
前記直列共振回路は、誘導コイルと少なくとも一つのコンデンサと前記トランスの1次巻き線が直列に接続され、特定の共振周波数ωにおいてリアクタンスの総和はゼロとなり、
前記定電流変換回路は、前記共振周波数ωにおいてT型定電流変換回路もしくはπ型定電流変換回路であることを特徴とする高周波電源。 - 前記T型定電流変換回路は、前記共振周波数ωにおいて、中央のリアクタンス素子を含んで入力端子側に形成されるループのリアクタンスの総和がゼロとなり、さらに、前記中央のリアクタンス素子を含んで出力端子側に形成されるループのリアクタンスの総和がゼロとなることを特徴とする請求項1に記載された高周波電源。
- 前記π型定電流変換回路は、前記共振周波数ωにおいて、中央のリアクタンス素子を含んで入力端子側に形成されるループのリアクタンスの総和がゼロとなり、さらに、前記中央のリアクタンス素子を含んで出力端子側に形成されるループのリアクタンスの総和がゼロとなることを特徴とする請求項1に記載された高周波電源。
- 前記半導体スイッチング素子の制御端子には前記トランスの2次巻き線と並列にコンデンサが接続されることを特徴とする請求項1に記載された高周波電源。
- 前記半導体スイッチング素子はMOSFETであることを特徴とする請求項1に記載された高周波電源。
- 前記直流電圧源は電流と電圧の積を一定に制御する機構を有することを特徴とする請求項1に記載された高周波電源。
- 直流電圧源と、ハーフブリッジ駆動回路を有する高周波電源において、
前記直流電圧源は、前記ハーフブリッジ駆動回路の電圧を制御し、
前記ハーフブリッジ駆動回路は、少なくとも一対の半導体スイッチング素子を有し、それぞれの前記半導体スイッチング素子の制御端子には交互にON状態とOFF状態を切り替えるために、トランスの2次巻き線が接続され、
前記ハーフブリッジ駆動回路の出力端子には、複数のリアクタンス素子からなる第1のループが形成され、
前記複数のリアクタンス素子の一部分と、誘導コイルと、少なくとも一つのコンデンサと、前記トランスの1次巻き線とが直列に接続されて第2のループが形成され、
特定の共振周波数ωにおいて前記第2のループのリアクタンスの総和はゼロとなり、さらに、前記共振周波数ωにおいて前記第1のループのリアクタンスの総和はゼロとなることを特徴とする高周波電源。 - 前記半導体スイッチング素子の制御端子には前記トランスの2次巻き線と並列にコンデンサが接続されることを特徴とする請求項7に記載された高周波電源。
- 前記半導体スイッチング素子はMOSFETであることを特徴とする請求項7に記載された高周波電源。
- 前記直流電圧源は電流と電圧の積を一定に制御する機構を有することを特徴とする請求項7に記載された高周波電源。
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