WO2012029657A1 - 光電変換装置及びその製造方法 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a photoelectric conversion device and a manufacturing method thereof.
- a photoelectric conversion device in which semiconductor thin films such as amorphous and microcrystals are stacked is used.
- FIG. 9 shows a cross-sectional view of the basic configuration in the vicinity of the peripheral end of the conventional photoelectric conversion device 100.
- FIG. 9 is a cross-sectional view of the end portion of the photoelectric conversion device 100.
- the photoelectric conversion device 100 includes a photoelectric conversion cell 102 in which a transparent electrode layer 12, a photoelectric conversion layer 14, and a back electrode 16 are formed on a glass substrate 10, and both ends of the photoelectric conversion device 100.
- the insulating coating material 22 that prevents direct contact between the current collector wiring 20 and the photoelectric conversion cell 102, the back surface of the photoelectric conversion cell 102, the first current collector wiring 18, and the second current collector wiring 20 are sealed.
- the back glass 24 and a filler 26 (EVA) filled between the photoelectric conversion cell 102 and the back glass 24 are configured.
- the back glass 24 is provided with an opening 24a serving as an output terminal outlet.
- the opening is used to prevent moisture and the like from entering the inside from the opening 24a.
- a hot melt material is injected into 24 a using a heat gun, and the opening 24 a is sealed with the opening sealing material 28.
- the heat gun pushes the hot melt material from the narrow mouth while heating it with a heater and supplies it into the opening 24a.
- the hot melt material does not sufficiently reach the corner portion in the opening 24 a, and the opening sealing material 28, the glass substrate 10, the photoelectric conversion cell 102, and the second current collecting wiring 20.
- a gap 24b may be formed between them.
- One aspect of the present invention is a first step of forming a plurality of photoelectric conversion cells by laminating a first electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a second electrode layer on a surface glass substrate, and is output from the photoelectric conversion cell.
- a sixth step of sealing the photoelectric conversion cell with the back glass substrate is a first step of forming a plurality of photoelectric conversion cells by laminating a first electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a second electrode layer on a surface glass substrate, and is output from the photoelectric conversion cell.
- Another aspect of the present invention includes a surface glass substrate, a plurality of photoelectric conversion cells configured by laminating a first electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a second electrode layer on the surface glass substrate, and an output from the photoelectric conversion cell.
- a backside glass comprising a current collecting wiring for collecting the power to be collected, a filler covering the photoelectric conversion cell, and a back glass substrate provided with an opening for drawing out a part of the current collecting wiring and covering the photoelectric conversion cell.
- This is a photoelectric conversion device in which a hot melt material is sandwiched between a filler and a back glass substrate in the peripheral portion of the opening of the substrate.
- the terminal outlet of the photoelectric conversion device can be more reliably sealed.
- FIG. 1 is a plan view of the photoelectric conversion device 200 as viewed from the back side opposite to the light receiving surface.
- FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
- FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG.
- FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG.
- FIG. 1 in order to clearly show the configuration of the photoelectric conversion device 200, components that are not actually seen overlapping are also shown by solid lines. Also, in FIGS. 1 to 4, the dimensions of each part are shown different from actual ones in order to clearly show the configuration.
- the photoelectric conversion device 200 includes a substrate 30, a transparent electrode layer 32, a photoelectric conversion layer 34, a back electrode 36, a first current collector wiring 38, a first insulating coating material 40, and a second current collector.
- seat part 54b) are comprised. Is done.
- the 1st insulation coating material 40 and the 2nd insulation coating material 44 are tape shape, a sheet form, and a film form.
- the substrate 30 is a member that mechanically supports the photoelectric conversion panel of the photoelectric conversion device 200. Since the photoelectric conversion device 200 is configured to generate power by making light incident from the substrate 30 side, the substrate 30 is made of a material having transparency in at least a visible light wavelength region, such as a glass substrate or a plastic substrate.
- a transparent electrode layer 32 is formed on the substrate 30.
- the transparent electrode layer 32 is doped with tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO), etc. with tin (Sn), antimony (Sb), fluorine (F), aluminum (Al), etc. It is preferable to use at least one or a combination of a plurality of transparent conductive oxides (TCO). In particular, zinc oxide (ZnO) is preferable because it has high translucency, low resistivity, and excellent plasma resistance.
- the transparent electrode layer 32 can be formed by a sputtering method or a CVD method.
- the transparent electrode layer 32 is divided into strips by patterning.
- the first slit S1 is formed in the transparent electrode layer 32 along the vertical direction in FIG.
- the transparent electrode layer 32 is divided
- the second slit S2 is formed and divided in the transparent electrode layer 32 along the horizontal direction of FIG.
- the transparent electrode layer 32 can be patterned using a YAG laser having a wavelength of 1064 nm, an energy density of 13 J / cm 2 , and a pulse frequency of 3 kHz.
- a photoelectric conversion layer 34 is formed by sequentially laminating a p-type layer, an i-type layer, and an n-type silicon thin film on the transparent electrode layer 32.
- the photoelectric conversion layer 34 can be a thin film photoelectric conversion layer such as an amorphous silicon thin film photoelectric conversion layer or a microcrystalline silicon thin film photoelectric conversion layer. Alternatively, a tandem or triple photoelectric conversion layer in which these photoelectric conversion layers are stacked may be used.
- Amorphous silicon thin film photoelectric conversion layer and microcrystalline silicon thin film photoelectric conversion layer are made of silicon-containing gas such as silane (SiH 4 ), disilane (Si 2 H 6 ), dichlorosilane (SiH 2 Cl 2 ), methane (CH 4 ), etc.
- a mixed gas obtained by mixing a carbon-containing gas, a p-type dopant-containing gas such as diborane (B 2 H 6 ), an n-type dopant-containing gas such as phosphine (PH 3 ), and a diluent gas such as hydrogen (H 2 ) is converted into plasma. It can be formed by a plasma chemical vapor deposition method (CVD method) in which a film is formed.
- CVD method for example, a 13.56 MHz parallel plate RF plasma CVD method is preferably applied.
- the photoelectric conversion layer 34 is divided into strips by patterning.
- a YAG laser is irradiated to a position 50 ⁇ m lateral from the first slit S1 dividing the transparent electrode layer 32 to form a third slit S3, and the photoelectric conversion layer 34 is patterned into a strip shape.
- a YAG laser having an energy density of 0.7 J / cm 2 and a pulse frequency of 3 kHz is preferably used.
- a back electrode 36 is formed on the photoelectric conversion layer 34.
- the back electrode 36 preferably has a structure in which a transparent conductive oxide (TCO) and a reflective metal are laminated in this order.
- a transparent conductive oxide (TCO) such as tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO), or these transparent conductive oxides
- TCO transparent conductive oxide
- a material (TCO) doped with impurities is used.
- zinc oxide (ZnO) doped with aluminum (Al) as an impurity may be used.
- metals such as silver (Ag) and aluminum (Al), are used.
- the transparent conductive oxide (TCO) and the reflective metal can be formed by, for example, a sputtering method or a CVD method. It is preferable that at least one of the transparent conductive oxide (TCO) and the reflective metal is provided with unevenness for enhancing the light confinement effect.
- the back electrode 36 is divided into strips by patterning.
- a YAG laser is irradiated to a position 50 ⁇ m lateral from the position of the third slit S3 for patterning the photoelectric conversion layer 34 to form a fourth slit S4, and the back electrode 36 is patterned into a strip shape.
- the photoelectric conversion layer 34 is divided in parallel, the photoelectric conversion layer 34 formed in the second slit S2 dividing the transparent electrode layer 32 and the fifth slit S5 dividing the back electrode 36 are formed. And split.
- a YAG laser having an energy density of 0.7 J / cm 2 and a pulse frequency of 4 kHz is preferably used.
- the transparent electrode layer 32, the photoelectric conversion layer 34, and the back electrode 36 are laminated on the substrate 30 to form the photoelectric conversion cell 202.
- the first current collecting wiring 38 and the second current collecting wiring 42 are formed in order to take out the electric power generated by the photoelectric conversion cell 202.
- the first current collecting wiring 38 is a wiring for collecting current from the photoelectric conversion cells 202 divided in parallel, and the second current collecting wiring 42 connects the first current collecting wiring 38 to the terminal box 52. Wiring.
- the first current collector wiring 38 is extended on the back electrode 36 of the photoelectric conversion cell 202.
- the first current collector wiring 38 is formed to connect the positive electrodes and the negative electrodes of the photoelectric conversion layer 34 that are divided in parallel near the end of the photoelectric conversion device 200. Therefore, the first current collection wiring 38 extends along a direction orthogonal to the parallel division direction of the photoelectric conversion layer 34. That is, as shown in FIGS. 1 and 3, the photoelectric conversion cells 202 divided in parallel by the slits S2 and S5 are extended on the back electrode 36 across the slits S2 and S5 so as to be connected in parallel. .
- the 1st current collection wiring 38 is extended along the up-and-down direction on the right-and-left end sides in FIG.
- the first current collector wiring 38 is electrically connected to the back electrode 36 by ultrasonic soldering or the like. Thereby, the positive electrodes and the negative electrodes of the photoelectric conversion cells 202 connected in series are connected in parallel.
- a first insulating covering material 40 is provided. As shown in FIGS. 1, 2, and 4, the first insulating covering material 40 is formed in a central terminal box 52 from the vicinity of the first current collector wiring 38 provided along the left and right edges of the photoelectric conversion device 200. Is extended along the direction orthogonal to the serial division direction on the back electrode 36 across the slit S4 up to the arrangement position.
- the first insulating covering material 40 extends in the left-right direction from the vicinity of the left and right first current collecting wires 38 toward the terminal box 52.
- the first insulating coating material 40 is preferably made of an insulating material having a resistivity of 10 16 ( ⁇ cm) or more.
- an insulating material having a resistivity of 10 16 ( ⁇ cm) or more for example, polyester (PE), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, polyvinyl fluoride and the like are suitable.
- PET polyethylene terephthalate
- PET polyethylene naphthalate
- polyvinyl fluoride and the like are suitable.
- the second current collecting wiring 42 is directed from the left and right first current collecting wirings 38 to the center of the photoelectric conversion device 200 along the first insulating coating material 40. Extended.
- the first insulating coating material 40 is sandwiched between the second current collector wiring 42 and the back electrode 36 so that there is no direct electrical contact between the second current collector wiring 42 and the back electrode 36.
- one end of the second current collecting wiring 42 extends to the first current collecting wiring 38 and is electrically connected to the first current collecting wiring 38.
- the second current collecting wiring 42 is preferably electrically connected to the first current collecting wiring 38 by ultrasonic soldering or the like. As shown in FIG.
- the other end of the second current collector wiring 42 is drawn out from the opening of the back surface protective material 46.
- the other end of the second current collector wiring 42 is connected to the electrode terminal in the terminal box 52. Thereby, the electric power generated by the photoelectric conversion cell 202 is taken out of the photoelectric conversion device 200.
- the second insulating coating material 44 is disposed.
- the second insulating coating material 44 is provided so as to cover at least a part of the transparent electrode layer 32, the photoelectric conversion layer 34, the back electrode 36, and the first current collector wiring 38 located in the vicinity of the end sealing resin 50 described later.
- at least a part of the transparent electrode layer 32, the photoelectric conversion layer 34, the back electrode 36, and the first current collector wiring 38 facing the end sealing resin 50 (transparent electrode layer 32, photoelectric conversion layer 34, back electrode) 36 and end faces of the first current collector wiring 38) are preferably provided so as to cover them.
- the second insulating coating material 44 covers the ends of the transparent electrode layer 32, the photoelectric conversion layer 34, the back electrode 36, and the first current collector wiring 38,
- the photoelectric conversion layer 34 extends along a direction orthogonal to the parallel division direction so as not to reach the end of the first insulating coating material 40.
- the second insulating coating material 44 is preferably made of an insulating material having a resistivity of 10 16 ( ⁇ cm) or more.
- an insulating material having a resistivity of 10 16 ( ⁇ cm) or more for example, polyester (PE), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, polyvinyl fluoride and the like are suitable. Further, it is preferable to use the second insulating coating material 44 having a back surface coated with an adhesive in a sealing manner. Thereby, the trouble at the time of arrange
- the end sealing resin 50 is disposed.
- the end sealing resin 50 is disposed in a portion (width of about 7 mm to 15 mm) around the end of the photoelectric conversion device 200 where the photoelectric conversion cell 202 is not formed.
- the transparent electrode layer 32, the photoelectric conversion layer 34, and the back electrode 36 are not formed when the photoelectric conversion cell 202 is formed.
- the frame member may be used to mask the periphery of the substrate 30 for film formation, or after the photoelectric conversion cell 202 is formed, the photoelectric conversion cell 202 around the end of the photoelectric conversion device 200 may be formed by laser, sandblasting or etching. It may be removed.
- the end sealing resin 50 is provided by applying to the portion where the photoelectric conversion cell 202 around the end of the photoelectric conversion device 200 thus formed is not formed.
- the end sealing resin 50 is an insulating material having a resistivity of 10 10 ( ⁇ cm) or more.
- the end sealing resin 50 is preferably made of a material with low moisture permeability in order to prevent moisture from entering from the end of the photoelectric conversion device 200.
- the end sealing resin 50 is preferably made of a material having a moisture permeability lower than that of the filler 48.
- the end sealing resin 50 is preferably an epoxy resin or a butyl resin, and more specifically, it is preferable to apply hot melt butyl which is easy to apply and adhere at high temperatures. is there.
- the end sealing resin 50 has a width of about 6 mm to 10 mm and a thickness of about 0.05 mm to 0.2 mm thicker than the thickness of the filler 48. After the laminating process is performed, the thickness of the end sealing resin 50 becomes substantially the same as that of the charging material 48.
- FIG. 5 is a diagram for explaining a sealing processing method for the portion shown in FIG.
- a filler 48 is applied on the second current collector wiring 42 and the like.
- the filler 48 is an insulating resin. More specifically, the filler 48 is preferably an insulating material having a resistivity of about 10 14 ( ⁇ cm).
- the filler 48 may be ethylene vinyl acetate copolymer resin (EVA) or polyvinyl bratil (PVB). It is preferable to do.
- EVA ethylene vinyl acetate copolymer resin
- PVB polyvinyl bratil
- a sheet portion 54b constituting a part of the opening sealing material 54 is disposed.
- the sheet portion 54b is a resin material that is softened by heating and hardened by cooling.
- the thickness of the sheet portion 54b is preferably 0.2 mm or more and 1 mm or less.
- the sheet portion 54b has an opening X for drawing out the second current collecting wiring 42, and is disposed on the filler 48 in a state where the extraction electrode which is an end of the second current collecting wiring 42 is passed through the opening X. Is done.
- the back surface of the photoelectric conversion device 200 is covered with the back surface protective material 46.
- the back surface protection member 46 is disposed in a state where the end of the second current collection wire 42 is drawn out through the opening Y for drawing out the second current collection wire 42 provided on the back surface protection material 46.
- the back surface protective material 46 is preferably made of a material having electrical insulation, low moisture permeability, and high corrosion resistance.
- the back surface protective material 46 is preferably a glass plate, for example.
- the sheet portion 54b preferably has a width W2 and a length L2 which are larger than the width W1 and the length L1 of the opening Y provided in the back surface protective material 46.
- the width W2 is preferably about 4 mm to 6 mm larger than the width W1 of the opening Y
- the length L2 is preferably about 4 mm to 6 mm larger than the length L1 of the opening Y.
- the sealing material chip 54 c is put into the opening Y of the back surface protective material 46.
- the sealing material chip 54c is a resin material that is softened by heating and hardened by cooling.
- the sealing material chip 54c can have a spherical shape, a quadrangular prism shape, or the like. For example, a chip having a width of 2 mm, a length of 2 mm, and a thickness of 0.7 mm is preferable.
- the sealing material chip 54 c is supplied into the opening Y so as to fill the opening Y of the back surface protective material 46.
- the back surface protective material 46 is heated while being pressed toward the photoelectric conversion cell 202 side to perform a vacuum laminating process.
- the heat treatment is performed at about 150 ° C. in a vacuum (or reduced pressure) state, for example.
- FIG.5 (e) the back surface of the photoelectric conversion apparatus 200 is sealed with the back surface protection material 46.
- the sheet portion 54b and the sealing material chip 54c are softened with the heat treatment, and the opening Y of the back surface protective material 46 is also sealed.
- the sealing material chip 54 c is melted in the opening Y and becomes the main body 54 a of the opening sealing material 54. 4 and 5 (e), the main body portion 54a and the sheet portion 54b are shown as separate members.
- the main body portion 54a and the sheet portion 54b are integrated with each other by heat treatment in the vacuum laminating process. It is formed as an apertured sealing material 54 that has been converted into an opening.
- the integrated opening sealing material 54 is arranged in an inverted T shape with respect to the back surface protective material 46 even if a force that pulls the end of the second current collecting wiring 42 to the outside is applied. Therefore, it becomes difficult for the opening portion sealing material 54 to come out to the outside of the back surface protective material 46, and the reliability of the photoelectric conversion device 200 can be improved.
- the photoelectric conversion device 200 may be heated in a curing furnace to perform the curing process.
- the heat treatment in the curing process is preferably performed at 150 ° C. for about 30 minutes, for example.
- the back surface of the photoelectric conversion device 200 with the back surface protective material 46, it is possible to prevent moisture and corrosive substances from entering the photoelectric conversion layer 34 from the back surface.
- Environmental resistance can be improved.
- the sealing material chip 54c in a vacuum heating state, the sealing material spreads to the corner space of the opening Y, and the opening Y can be sealed without generating a gap. it can.
- the sheet portion 54b no gap is generated between the peripheral portion of the opening Y and the filler 48, and sealing can be performed more reliably. Thereby, infiltration of moisture and the like from the opening Y can be prevented more reliably.
- a terminal box 52 is attached in the vicinity of the end of the second current collecting wiring 42 drawn out from the back surface protective material 46 that seals the photoelectric conversion device 200.
- the terminal box 52 can be attached by bonding using silicone or the like.
- the end of the second current collecting wiring 42 is electrically connected to the terminal electrode in the terminal box 52 by soldering or the like, and the space in the terminal box 52 is filled with an insulating resin such as silicone and covered.
- the photoelectric conversion device 200 according to this embodiment is formed.
- only the main body portion 54 a may be formed by performing sealing using only the sealing material chip 54 c without using the sheet portion 54 b. Also in this case, since the sealing material chip 54c is melted and sealed in a vacuum heating process in the vacuum laminating process, there is no gap between the peripheral portion of the opening Y and the filler 48, and it is ensured. Can be sealed.
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Abstract
【課題】光電変換装置の端子取出し口の封止をより確実なものとする。 【解決手段】基板３０と、光電変換セル２０２と、光電変換セル２０２から出力される電力を集電する第２集電配線４２と、光電変換セル２０２を覆う充填材４８と、第２集電配線４２の一部を引き出す開口部が設けられ、光電変換セル２０２を覆う裏面保護材４６とを備えた光電変換装置２００において、裏面保護材４６の開口部の周辺部における充填材４８と裏面保護材４６との間に開口部封止材５４としてシート部５４ｂを挟み込む。
Description
本発明は、光電変換装置及びその製造方法に関する。
太陽光を利用した発電システムとして、アモルファスや微結晶等の半導体薄膜を積層した光電変換装置が用いられている。
図９に、従来の光電変換装置１００の周端部付近の基本構成の断面図を示す。図９は、光電変換装置１００の端部の断面図を示している。図９に示すように、光電変換装置１００は、ガラス基板１０上に透明電極層１２、光電変換層１４、裏面電極１６が形成された光電変換セル１０２と、光電変換装置１００の両端部に沿って延設されて光電変換セル１０２で発電された電力を集電するための第１集電配線１８と、第１集電配線１８から端子ボックスまで配線される第２集電配線２０と、第２集電配線２０と光電変換セル１０２との間の直接的な接触を防ぐ絶縁被覆材２２と、光電変換セル１０２の裏面、第１集電配線１８及び第２集電配線２０を封止する裏面ガラス２４と、及び光電変換セル１０２と裏面ガラス２４との間に充填される充填材２６（ＥＶＡ）とを含んで構成される。
裏面ガラス２４から第２集電配線２０の端子を引き出すために、図１０に示すように、裏面ガラス２４には出力端子の取出し口となる開口部２４ａが設けられている。光電変換装置１００の両端部から延設された第２集電配線２０の端部を開口部２４ａから外部に引き出した後、開口部２４ａから水分等を内部へ浸入させないようにするために開口部２４ａにヒートガンを用いてホットメルト材を注入し、開口部封止材２８によって開口部２４ａを封止する処理を行っている。
ところで、ヒートガンはヒータでホットメルト材を熱しながら細口から押し出して開口部２４ａ内へ供給する。このとき、図１０に示すように、開口部２４ａ内の隅の部分にホットメルト材が十分に行き渡らず、開口部封止材２８とガラス基板１０、光電変換セル１０２、第２集電配線２０等との間に隙間２４ｂが生じることがある。このような隙間２４ｂが生じた場合、十分な封止能力を得られない可能性がある。また、このような隙間２４ｂを生じさせないために、さらにホットメルト材を注入する必要が生ずる場合がある。
本発明の１つの態様は、表面ガラス基板上に第１電極層、光電変換層及び第２電極層を積層して複数の光電変換セルを形成する第１の工程と、光電変換セルから出力される電力を集電する集電配線を形成する第２の工程と、充填材によって光電変換セルを覆う第３の工程と、集電配線の一部を引き出すための開口部が設けられた裏面ガラス基板によって光電変換セルを覆う第４の工程と、裏面ガラス基板に設けられた開口部にホットメルト材チップを充填する第５の工程と、ホットメルト材チップを加熱して溶融させつつ、充填材及び裏面ガラス基板により光電変換セルを封止する第６の工程と、を備える、光電変換装置の製造方法である。
本発明の別の態様は、表面ガラス基板と、表面ガラス基板上に第１電極層、光電変換層及び第２電極層を積層して構成された複数の光電変換セルと、光電変換セルから出力される電力を集電する集電配線と、光電変換セルを覆う充填材と、集電配線の一部を引き出す開口部が設けられ、光電変換セルを覆う裏面ガラス基板と、を備え、裏面ガラス基板の開口部の周辺部における充填材と裏面ガラス基板との間にホットメルト材が挟み込まれている、光電変換装置である。
本発明によれば、光電変換装置の端子取出し口の封止をより確実なものとすることができる。
図１～図４は、本発明の実施の形態における光電変換装置２００の構成を示す。図１は、光電変換装置２００を受光面とは反対側である裏面からみた平面図である。図２は、図１のラインＡ－Ａに沿った断面図である。図３は、図１のラインＢ－Ｂに沿った断面図である。図４は、図１のラインＣ－Ｃに沿った断面図である。なお、図１では、光電変換装置２００の構成を明確に示すために実際には重なり合って見えない構成部分についても実線で示している。また、図１～図４では、構成を明確に示すために各部の寸法を実際のものとは変えて示している。
光電変換装置２００は、図１～図４に示すように、基板３０、透明電極層３２、光電変換層３４、裏面電極３６、第１集電配線３８、第１絶縁被覆材４０、第２集電配線４２、第２絶縁被覆材４４、裏面保護材４６、充填材４８、端部封止樹脂５０、端子ボックス５２及び開口部封止材５４（本体部５４ａ，シート部５４ｂ）を含んで構成される。なお、第１絶縁被覆材４０及び第２絶縁被覆材４４は、テープ状、シート状、フィルム状である。
基板３０は、光電変換装置２００の光電変換パネルを機械的に支持する部材である。光電変換装置２００では基板３０側から光を入射させて発電を行う構成であるので、基板３０は、例えば、ガラス基板、プラスチック基板等の少なくとも可視光波長領域において透過性を有する材料を適用する。基板３０上には透明電極層３２が形成される。透明電極層３２は、酸化錫（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等に錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、フッ素（Ｆ）、アルミニウム（Ａｌ）等をドープした透明導電性酸化物（ＴＣＯ）のうち少なくとも一種類又は複数種を組み合わせて用いることが好適である。特に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）は、透光性が高く、抵抗率が低く、耐プラズマ特性にも優れているので好適である。透明電極層３２はスパッタリング法又はＣＶＤ法で形成することができる。
光電変換層３４を複数直列に接続した構成とする場合、透明電極層３２を短冊状にパターニングして分割する。本実施の形態では、図１の上下方向に沿って透明電極層３２に第１スリットＳ１を形成して分割する。また、光電変換層３４を並列に分割した構成とする場合、上記直列接続を形成するための第１スリットＳ１に直交する方向に短冊状にパターンニングして透明電極層３２を分割する。本実施の形態では、図１の左右方向に沿って透明電極層３２に第２スリットＳ２を形成して分割する。例えば、波長１０６４ｎｍ、エネルギー密度１３Ｊ／ｃｍ２、パルス周波数３ｋＨｚのＹＡＧレーザを用いて透明電極層３２をパターニングすることができる。
透明電極層３２上に、ｐ型層、ｉ型層、ｎ型層のシリコン系薄膜を順に積層して光電変換層３４を形成する。光電変換層３４は、アモルファスシリコン薄膜光電変換層や微結晶シリコン薄膜光電変換層等の薄膜系光電変換層とすることができる。また、これらの光電変換層を積層したタンデム型やトリプル型の光電変換層としてもよい。
アモルファスシリコン薄膜光電変換層や微結晶シリコン薄膜光電変換層は、シラン（ＳｉＨ４）、ジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）、ジクロルシラン（ＳｉＨ２Ｃｌ２）等のシリコン含有ガス、メタン（ＣＨ４）等の炭素含有ガス、ジボラン（Ｂ２Ｈ６）等のｐ型ドーパント含有ガス、フォスフィン（ＰＨ３）等のｎ型ドーパント含有ガス及び水素（Ｈ２）等の希釈ガスを混合した混合ガスをプラズマ化して成膜を行うプラズマ化学気相成長法（ＣＶＤ法）により形成することができる。プラズマＣＶＤ法は、例えば、１３．５６ＭＨｚの平行平板型ＲＦプラズマＣＶＤ法を適用することが好適である。
複数のセルを直列接続する場合、光電変換層３４を短冊状にパターニングして分割する。例えば、透明電極層３２を分割する第１スリットＳ１から５０μｍ横の位置にＹＡＧレーザを照射して第３スリットＳ３を形成して光電変換層３４を短冊状にパターニングする。ＹＡＧレーザは、例えば、エネルギー密度０．７Ｊ／ｃｍ２、パルス周波数３ｋＨｚのものを用いることが好適である。
光電変換層３４上に、裏面電極３６を形成する。裏面電極３６は、透明導電性酸化物（ＴＣＯ）と反射性金属とをこの順に積層した構造とすることが好適である。透明導電性酸化物（ＴＣＯ）としては、酸化錫（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の透明導電性酸化物（ＴＣＯ）、又は、これらの透明導電性酸化物（ＴＣＯ）に不純物をドープしたものが用いられる。例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）にアルミニウム（Ａｌ）を不純物としてドープしたものでもよい。また、反射性金属としては、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）等の金属が用いられる。透明導電性酸化物（ＴＣＯ）及び反射性金属は、例えば、スパッタリング法又はＣＶＤ法等により形成することができる。透明導電性酸化物（ＴＣＯ）と反射性金属の少なくとも一方には、光閉じ込め効果を高めるための凹凸が設けることが好適である。
複数の光電変換層３４を直列接続する場合、裏面電極３６を短冊状にパターニングして分割する。光電変換層３４をパターンニングする第３スリットＳ３の位置から５０μｍ横の位置にＹＡＧレーザを照射して第４スリットＳ４を形成して裏面電極３６を短冊状にパターニングする。さらに、光電変換層３４を並列に分割した構成とする場合、透明電極層３２を分割する第２スリットＳ２内に形成された光電変換層３４及び裏面電極３６を分割する第５スリットＳ５を形成して分割する。ＹＡＧレーザは、エネルギー密度０．７Ｊ／ｃｍ２、パルス周波数４ｋＨｚのものを用いることが好適である。
このように基板３０上に透明電極層３２、光電変換層３４及び裏面電極３６を積層して光電変換セル２０２が形成される。続いて、光電変換セル２０２で発電された電力を取り出すために第１集電配線３８及び第２集電配線４２が形成される。第１集電配線３８は、並列に分割された光電変換セル２０２から集電を行うための配線であり、第２集電配線４２は、第１集電配線３８から端子ボックス５２までを接続する配線である。
まず、光電変換セル２０２の裏面電極３６上に第１集電配線３８が延設される。第１集電配線３８は、光電変換装置２００の端辺付近において並列に分割された光電変換層３４の正電極同士及び負電極同士を接続するために形成される。したがって、第１集電配線３８は、光電変換層３４の並列分割方向に直交する方向に沿って延設される。すなわち、図１及び図３に示すように、スリットＳ２及びＳ５によって並列に分割された光電変換セル２０２を並列に接続するように、スリットＳ２及びＳ５を跨いで裏面電極３６上に延設される。ここでは、第１集電配線３８は、図１における左右の端辺に上下方向に沿って延設される。ただし、図１に示される上下の端辺近傍において、光電変換機能を有さない光電変換層と、その端辺近傍のスリットＳ２及びＳ５とは跨がない。第１集電配線３８は、超音波はんだ等によって裏面電極３６に電気的に接続される。これによって、直列接続された光電変換セル２０２の正電極同士及び負電極同士が並列に接続される。
次に、第２集電配線４２と裏面電極３６との間の電気的な絶縁を形成するために第１絶縁被覆材４０を配設する。第１絶縁被覆材４０は、図１，図２及び図４に示すように、光電変換装置２００の左右の端辺に沿って設けられた第１集電配線３８近傍から中央部の端子ボックス５２の配置位置まで、スリットＳ４を跨いで裏面電極３６上に直列分割方向に直交する方向に沿って延設される。ここでは、図１に示すように、第１絶縁被覆材４０は、左右の第１集電配線３８の近傍から端子ボックス５２に向けて左右方向に沿って延設される。第１絶縁被覆材４０は、抵抗率が１０１６（Ωｃｍ）以上の絶縁性の材料で構成することが好適である。例えば、ポリエステル（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド、ポリフッ化ビニル等とすることが好適である。また、第１絶縁被覆材４０は、裏面にシール状に接着材が塗布されたものを用いることが好適である。これにより、第１絶縁被覆材４０を配設する際の手間が軽減される。
第２集電配線４２は、図１，図２及び図４に示すように、左右の第１集電配線３８上から第１絶縁被覆材４０上に沿って光電変換装置２００の中央部へ向けて延設される。第２集電配線４２と裏面電極３６との間に第１絶縁被覆材４０が挟み込まれ、第２集電配線４２と裏面電極３６との直接的な電気的な接触がないようにされる。一方、第２集電配線４２の一端は第１集電配線３８上まで延設され、第１集電配線３８に電気的に接続される。例えば、第２集電配線４２は超音波はんだ等によって第１集電配線３８に電気的に接続することが好適である。第２集電配線４２の他端は、図４に示すように、裏面保護材４６の開口部から引き出される。第２集電配線４２の他端は、端子ボックス５２内の電極端子に接続される。これにより、光電変換セル２０２で発電された電力が光電変換装置２００の外部へ取り出される。
次に、第２絶縁被覆材４４が配設される。第２絶縁被覆材４４は、少なくとも後述する端部封止樹脂５０の近傍に位置する透明電極層３２、光電変換層３４、裏面電極３６及び第１集電配線３８の一部を覆うように設ける。特に、透明電極層３２、光電変換層３４、裏面電極３６及び第１集電配線３８の端部封止樹脂５０に対向する部分の少なくとも一部（透明電極層３２、光電変換層３４、裏面電極３６及び第１集電配線３８の端面）を覆うように設けることが好適である。
本実施の形態では、第２絶縁被覆材４４は、図２及び図３に示すように、透明電極層３２、光電変換層３４、裏面電極３６及び第１集電配線３８の端部を覆い、第１絶縁被覆材４０の端部まで到達しないように光電変換層３４の並列分割方向に直交する方向に沿って延設している。
第２絶縁被覆材４４は、抵抗率が１０１６（Ωｃｍ）以上の絶縁性の材料で構成することが好適である。例えば、ポリエステル（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド、ポリフッ化ビニル等とすることが好適である。また、第２絶縁被覆材４４は、裏面にシール状に接着材が塗布されたものを用いることが好適である。これにより、第２絶縁被覆材４４を配設する際の手間が軽減される。
続いて、端部封止樹脂５０を配設する。端部封止樹脂５０は、光電変換装置２００の端部周辺の光電変換セル２０２を形成していない部分（幅７ｍｍ～１５ｍｍ程度）に配設する。光電変換装置２００の端部周辺において光電変換セル２０２を形成していない部分を設けるには、光電変換セル２０２を形成する際に透明電極層３２、光電変換層３４及び裏面電極３６が形成されないよう枠部材を用いて基板３０の周囲をマスクして成膜処理を行ってもよいし、光電変換セル２０２を形成後にレーザ、サンドブラスト又はエッチングによって光電変換装置２００の端部周辺の光電変換セル２０２を除去してもよい。端部封止樹脂５０は、このようにして形成された光電変換装置２００の端部周辺の光電変換セル２０２を形成していない部分に塗布することによって設けられる。
端部封止樹脂５０は、抵抗率が１０１０（Ωｃｍ）以上の絶縁材料とする。また、端部封止樹脂５０は、光電変換装置２００の端部からの水分の浸入を防ぐために水分の透過性の低い材料とすることが好適である。特に、端部封止樹脂５０は、充填材４８よりも水分の透過性の低い材料とすることが好適である。さらに、光電変換装置２００の端部に機械的な力が加えられた場合に、光電変換装置２００に発生する応力を緩和するための弾性を有することが好適である。例えば、端部封止樹脂５０は、エポキシ系樹脂やブチル系樹脂とすることが好適であり、より具体的には、高温での塗布及び接着が容易なホットメルトブチルを適用することが好適である。なお、端部封止樹脂５０は、その幅は６ｍｍ～１０ｍｍ程度であり、厚さは充填材４８の厚さよりも０．０５ｍｍ～０．２ｍｍ程度厚くする。ラミネート処理を施した後には、端部封止樹脂５０の厚さは充電材４８とほぼ同等の厚さとなる。
端部封止樹脂５０を塗布した後、裏面保護材４６によって光電変換装置２００の裏面を封止する。図５は、図４に示す部分の封止処理方法を説明する図である。
まず、図５（ａ）に示すように、第２集電配線４２の端部を立ち上げた状態において光電変換セル２０２、第１集電配線３８（図５（ａ）には不図示）及び第２集電配線４２等の上に充填材４８を塗布する。充填材４８は、絶縁樹脂とする。より具体的には、充填材４８は、抵抗率が１０１４（Ωｃｍ）程度の絶縁材料とすることが好適であり、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）やポリビニルブラチール（ＰＶＢ）とすることが好適である。このとき、光電変換装置２００の裏面の端部封止樹脂５０で囲まれた領域に端部封止樹脂５０で囲まれた領域と同等か、若しくはその領域よりも縦横ともに１ｍｍ程度小さく充填材４８をセットする。
次に、図５（ｂ）に示すように、開口部封止材５４の一部を構成するシート部５４ｂを配置する。シート部５４ｂは、加熱により軟化し、冷却によって硬化する樹脂材料とする。例えば、シート部５４ｂは、図６の平面図に示すように、シート状に加工されたホットメルトブチルを適用することが好適である。シート部５４ｂの厚みは、０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることが好適である。シート部５４ｂは、第２集電配線４２を引き出すための開口Ｘを有しており、第２集電配線４２の端部である引出電極を開口Ｘに通した状態で充填材４８上に配置される。
さらに、図５（ｃ）に示すように、裏面保護材４６で光電変換装置２００の裏面が覆われる。このとき、裏面保護材４６に設けられた第２集電配線４２を引き出すための開口部Ｙを通して第２集電配線４２の端部を外部へ引き出した状態で裏面保護材４６を配置する。裏面保護材４６は、電気的な絶縁性を有し、水分の透過性が低く、耐腐食性が高い材料とすることが好適である。裏面保護材４６は、例えば、ガラス板とすることが好適である。
また、シート部５４ｂは、図７に示すように、裏面保護材４６に設けられた開口部Ｙの幅Ｗ１及び長さＬ１よりも大きな幅Ｗ２及び長さＬ２を有することが好適である。例えば、開口部Ｙの幅Ｗ１より４ｍｍ以上６ｍｍ以下ほど大きい幅Ｗ２とすることが好適であり、開口部Ｙの長さＬ１より４ｍｍ以上６ｍｍ以下ほど大きい長さＬ２とすることが好適である。このようなサイズのシート部５４ｂとすることにより、シート部５４ｂの周辺部が裏面保護材４６の開口部Ｙの周辺と充填材４８との間に挟み込まれた状態となるように、裏面保護材４６とシート部５４ｂとを相対的に配置することが好適である。特に、裏面保護材４６に設けられた開口部Ｙの周辺から２ｍｍ以上に亘って、シート部５４ｂが充填材４８と裏面保護材４６との間に挟み込まれていることが好適である。
続いて、図５（ｄ）に示すように、封止材チップ５４ｃを裏面保護材４６の開口部Ｙへ入れる。封止材チップ５４ｃは、加熱により軟化し、冷却によって硬化する樹脂材料とする。封止材チップ５４ｃは、球状、四角柱状等の形状とすることができ、例えば、幅２ｍｍ×長さ２ｍｍ×厚さ０．７ｍｍのチップとすることが好適である。封止材チップ５４ｃは、裏面保護材４６の開口部Ｙを埋めるように開口部Ｙ内に供給される。
このような状態において、裏面保護材４６を光電変換セル２０２側へ押圧しながら加熱して真空ラミネート処理を施す。加熱処理は、例えば、真空（または減圧）の状態で、１５０℃程度で行う。これにより、図５（ｅ）に示すように、裏面保護材４６によって光電変換装置２００の裏面が封止される。
さらに、加熱処理に伴ってシート部５４ｂ及び封止材チップ５４ｃが軟化し、裏面保護材４６の開口部Ｙも封止される。封止材チップ５４ｃは、開口部Ｙ内において溶融し、開口部封止材５４の本体部５４ａとなる。なお、図４及び図５（ｅ）では、本体部５４ａとシート部５４ｂとを別々の部材として示しているが、真空ラミネート処理の工程での加熱処理によって本体部５４ａとシート部５４ｂとは一体化した開口部封止材５４として形成される。このとき、第２集電配線４２の端部が外側に引っ張られるような力が加わっても、一体化した開口部封止材５４が裏面保護材４６に対して逆Ｔ字状に配置されるので、開口部封止材５４が裏面保護材４６の外側に抜けにくくなり、光電変換装置２００の信頼性を向上させることができる。
さらに、充填材４８としてエチレン酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）を用いた場合、キュア炉において光電変換装置２００を加熱してキュア処理を行ってもよい。キュア処理における加熱処理は、例えば１５０℃で３０分程度行うとよい。
このように、裏面保護材４６によって光電変換装置２００の裏面を封止することによって、裏面から光電変換層３４への水分や腐食性物質が浸入することを防ぐことができ、光電変換装置２００の耐環境性を高めることができる。特に、真空加熱状態で封止材チップ５４ｃを溶融させて封止を行うことによって、開口部Ｙの隅の空間まで封止材が行き渡り、隙間を生ずることなく開口部Ｙを封止することができる。さらに、シート部５４ｂを用いることによって、開口部Ｙの周辺部と充填材４８との間に隙間が生ずることがなくなり、より確実に封止を行うことができる。これにより、開口部Ｙからの水分等の浸入をより確実に防ぐことができる。
最後に、図１に示すように、光電変換装置２００を封止する裏面保護材４６から引き出された第２集電配線４２の端部の近傍に端子ボックス５２を取り付ける。端子ボックス５２は、シリコーン等を用いて接着して取り付けることができる。第２集電配線４２の端部を端子ボックス５２内の端子電極にハンダ付け等により電気的に接続し、端子ボックス５２内の空間にシリコーン等の絶縁樹脂を充填して蓋をする。以上のように、本実施の形態における光電変換装置２００が形成される。
なお、図８の断面図に示すように、シート部５４ｂを用いることなく、封止材チップ５４ｃのみを用いて封止を行って本体部５４ａのみを形成してもよい。この場合も、真空ラミネート処理の工程において真空加熱状態で封止材チップ５４ｃを溶融させて封止するので、開口部Ｙの周辺部と充填材４８との間に隙間が生ずることがなくなり、確実に封止を行うことができる。
１０ ガラス基板、１２ 透明電極層、１４ 光電変換層、１６ 裏面電極、１８ 第１集電配線、２０ 第２集電配線、２２ 絶縁被覆材、２４ 裏面ガラス、２４ａ 開口部、２４ｂ 隙間、２６ 充填材、２８ 開口部封止材、３０ 基板、３２ 透明電極層、３４ 光電変換層、３６ 裏面電極、３８ 第１集電配線、４０ 第１絶縁被覆材、４２ 第２集電配線、４４ 第２絶縁被覆材、４６ 裏面保護材、４８ 充填材、５０ 端部封止樹脂、５２ 端子ボックス、５４ 開口部封止材、５４ａ 本体部、５４ｂ シート部、５４ｃ 封止材チップ、１００ 光電変換装置、１０２ 光電変換セル、２００ 光電変換装置、２０２ 光電変換セル。
Claims (6)
- 表面ガラス基板上に第１電極層、光電変換層及び第２電極層を積層して複数の光電変換セルを形成する第１の工程と、
前記光電変換セルから出力される電力を集電する集電配線を形成する第２の工程と、
充填材によって前記光電変換セルを覆う第３の工程と、
前記集電配線の一部を引き出すための開口部が設けられた裏面ガラス基板によって前記光電変換セルを覆う第４の工程と、
前記裏面ガラス基板に設けられた前記開口部にホットメルト材チップを充填する第５の工程と、
前記ホットメルト材チップを加熱して溶融させつつ、前記充填材及び前記裏面ガラス基板により前記光電変換セルを封止する第６の工程と、
を備えることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項１に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第４の工程の後、前記第５の工程の前に、前記裏面ガラス基板に設けられた開口部を塞ぐようにホットメルト材シートを配置する第７の工程を有し、
前記第６の工程において、前記ホットメルト材チップ及び前記ホットメルト材シートを加熱して溶融させつつ、前記充填材及び前記裏面ガラス基板により前記光電変換セルを封止することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項１又は２に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第６の工程では、真空又は減圧の状態で加熱処理を施して封止することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 表面ガラス基板と、
前記表面ガラス基板上に第１電極層、光電変換層及び第２電極層を積層して構成された複数の光電変換セルと、
前記光電変換セルから出力される電力を集電する集電配線と、
前記光電変換セルを覆う充填材と、
前記集電配線の一部を引き出す開口部が設けられ、前記光電変換セルを覆う裏面ガラス基板と、
を備え、
前記裏面ガラス基板の開口部の周辺部における前記充填材と前記裏面ガラス基板との間にホットメルト材が挟み込まれていることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項４に記載の光電変換装置であって、
前記ホットメルト材は、前記裏面ガラス基板に設けられた前記開口部の周辺から２ｍｍ以上に亘って前記充填材と前記裏面ガラス基板との間に挟み込まれていることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項４及び５に記載の光電変換装置であって、
前記ホットメルト材は、前記開口部に充填された本体部と、前記開口部の周辺において前記充填材と前記裏面ガラス基板との間に挟みこまれたシート部と、が一体化した逆Ｔ字状であることを特徴とする光電変換装置。
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