WO2012019958A2 - Sensoranordnung und verfahren zum bestimmen einer räumlichen position eines ersten teils relativ zu einem zweiten teil - Google Patents

Sensoranordnung und verfahren zum bestimmen einer räumlichen position eines ersten teils relativ zu einem zweiten teil Download PDF

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WO2012019958A2
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Thomas Engel
Uwe Loreit
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Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh
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Definitions

  • the present invention relates to a sensor arrangement for determining a spatial position of a first part relative to a second part, with at least one magnet which is arranged on the first part and generates a magnetic field which extends to the second part, and with a first and a second magnetic field sensor, which are arranged at a spatial distance from each other on the second part and in response to the magnetic field respectively generate an output signal, wherein the at least one magnet is positioned in the spatial distance between the first and second magnetic field sensor, and wherein the output signals of the first and second magnetic field sensors are combined to form a common sensor signal that depends on the spatial position of the first part relative to the second part along a defined measurement axis.
  • the invention further relates to a method for determining a spatial position of a first part relative to a second part, comprising the steps of: arranging at least one magnet on the first part, so that the magnet generates a magnetic field which extends up to the first part second part, arranging a first and a second magnetic field sensor with a spatial distance to each other at the second part, wherein the at least one magnet is positioned in the spatial distance between the first and second magnetic field sensor, receiving a first output signal from the first magnetic field sensor and recording a second output signal from the second magnetic field sensor, the first and second output signals depending on a sensor position of the respective magnetic field sensor in the magnetic field, and determining a common sensor signal depending on the spatial position of the first part relative to the second part along a defined measurement axis ngt by the output signals of the first and second magnetic field sensor are combined into a common sensor signal.
  • the known sensor arrangement uses two Hall elements as the first and second magnetic field sensor.
  • the two Hall elements are arranged on opposite sides of a magnet, so that the north pole and the south pole of the magnet each point to a Hall element.
  • Each Hall element produces an output representative of the perpendicular distance between the Hall element and the opposite magnetic side. As the magnet moves closer to one Hall element, the distance to the other Hall element increases. In this way, a change in position of the first part relative to the second part along a measuring axis which corresponds to the connecting line between the two Hall elements is detected twice. By forming a difference of the two output signals, a common sensor signal is generated, which is representative of the current position of the magnet between the two Hall elements.
  • US 4,866,854 proposes a plurality of magnets and to arrange a plurality of Hall element pairs so that the current spatial position of the first part relative to the second part along several measuring axes can be determined. In each case one magnet is required for each Hall element pair.
  • the Hall elements of the known sensor arrangement essentially respond to a change in the magnitude of the magnetic field strength. By forming the difference of the output signals of two opposite Hall elements is obtained a common sensor signal which is approximately proportional to the position of the magnet between the two Hall elements.
  • the known sensor arrangement should have a good sensitivity, selectivity and resolution.
  • the disadvantage is that the known sensor arrangement for a position determination in a plurality of measuring axes requires a large number of magnets which should be as far apart as possible in order to achieve good decoupling between the sensor pairs. Each sensor pair needs "its" magnet. The required distances make it difficult to compactly realize the known sensor arrangement for a plurality of measuring axes. Furthermore, the assembly and installation of the known sensor arrangement into a device, such as the probe head of a coordinate measuring device, require many individual assembly steps.
  • Coordinate measuring machines usually have a so-called probe, which is attached to a frame. With the help of the frame, the probe can be moved relative to a measurement object.
  • the probe has a movable probe element, typically in the form of a stylus.
  • the probe is moved up to the measurement object until the free end of the stylus touches a desired measurement point. By touching the stylus is deflected relative to the probe. From the position of the probe relative to the measured object and from the position of the stylus relative to the probe then spatial coordinates are determined, which are representative of the touched measuring point.
  • By probing a plurality of measurement points and determining the corresponding spatial coordinates geometric dimensions and / or the shape of the measurement object can be determined.
  • DE 103 48 887 A1 discloses such a probe for a coordinate measuring device. Again, pairs of Hall elements are used to determine the position of the stylus relative to the probe base. As with the arrangement of US 4,866,854 a Hall element pair is required for each measuring axis. Again, the individual Hall element pairs and the associated magnets at different points of the probe are arranged as far as possible from each other.
  • DE 10 2004 011 728 AI discloses a further probe for a coordinate measuring machine with Hall elements and magnets.
  • a Hall element is provided, which is arranged between two opposing magnets.
  • Two measuring axes of the sensor arrangement are combined on a carrier plate. The third spatial direction must be detected with a Hall element and an associated magnet pair, which must be mounted separately in the probe.
  • DE 37 08 105 AI discloses such a probe for a coordinate measuring machine, wherein a single magnet is arranged at the Tastkopf solutionen end of the stylus. Opposite the magnet, a detector surface is arranged, on which a plurality of magnetoresistive sensors is distributed.
  • the known sensor arrangement is quite compact. However, the accuracy of measurement is limited, since in particular the geomagnetic field can cause unknown disturbances.
  • the structure and operation principle of magnetoresistive sensors are known from various documents, such as DE 195 21 617 Cl or from numerous publications in journals or at specialist conferences.
  • the sensors are often based on the so-called anisotropic magnetoresistive effect (AMR effect) or on the gigantic magnetoresistive effect (GMR effect).
  • AMR effect changes the electrical resistance of a current flowing through, ferromagnetic material as a function of the angle between the current density vector and the magnetic field vector.
  • the GMR effect is a quantum mechanical effect that also causes a change in the electrical resistance of a ferromagnetic structure.
  • AMR and GMR sensors have displaced the so-called field plates used previously.
  • Field plates are magnetically variable resistors in which the change in resistance is based on a change in the path length of the electrons in the magnetic field due to the Lorentz force.
  • a sensor arrangement of the type mentioned which allows a very accurate position determination even in external disturbances, such as variations of the earth's magnetic field and which can also be realized very compact, especially as 3D sensor arrangement, that is to say in the form of a sensor arrangement which is able to determine the spatial position along three orthogonal measuring axes.
  • a sensor arrangement of the type mentioned wherein the defined measuring axis is transverse to the spatial distance, and wherein the output signals of the first and second magnetic field sensor substantially a magnetic field direction at the location of the respective magnetic field sensor represent.
  • the object is achieved according to a further aspect by a method of the type mentioned above, wherein the defined measuring axis is selected transversely to the spatial distance, and wherein the output signals of the first and second magnetic field sensor substantially represent a magnetic field direction at the location of the respective magnetic field sensor.
  • the sensor arrangement and the method are used in a probe for a coordinate measuring machine to determine the deflection of the probe element (stylus) relative to the probe base.
  • the new sensor arrangement uses at least two magnetic field sensors, between which a magnet for generating a defined magnetic field is arranged.
  • the measuring axis does not run on the connecting line between the two magnetic field sensors, but transversely thereto.
  • the measuring axis is orthogonal to the distance vector between the two magnetic field sensors. Accordingly, the magnet moves transversely and preferably orthogonally to the connecting line between the two magnetic field sensors.
  • the two magnetic field sensors respectively detect the current magnetic field direction, i. the vector direction of the magnetic field lines at the location of the sensor.
  • the output signals of the magnetic field sensors are largely independent of the magnitude of the magnetic field strength, that is, the magnetic field sensors virtually evaluate only the direction of the magnetic field relative to the sensors. Consequently, the amount of magnetic field strength, that is, the strength of the magnetic field at the location of the sensors, does not matter as long as the magnetic field strength is high enough to produce an output signal with the sensors.
  • the magnetic field sensors are magnetoresistive sensors based on the AMR effect.
  • the magnetic field sensors may be GMR sensors.
  • the magnetic field sensors may in principle also be other sensors in which the output signals depend primarily on the magnetic field direction and not or only insignificantly on the magnetic field strength.
  • the new sensor arrangement uses at least magnetic field direction detecting sensors in a common magnetic field, wherein the two sensors of the double arrangement lie on opposite sides of the magnet. This has the consequence that changes in direction of the common magnetic field due to a relative movement of the two parts behave in opposite directions. Therefore, external disturbances, for example due to the earth's magnetic field, can be eliminated easily.
  • the output signals of the sensors are quite insensitive to temperature changes, since the magnetic field direction is much less dependent on the ambient temperature than, for example, the magnetic field strength of a magnet.
  • the course of the magnetic field lines can be determined and optimized quite accurately by the geometric dimensions and the geometric arrangement of the at least one magnet. It is advantageous if the magnetic field lines in the region of the sensors have a relatively large curvature, because the sensors then react very sensitively to a displacement of the magnetic field.
  • the new sensor arrangement can be optimized quite simply for high measurement accuracy, and the high measurement accuracy can be ensured by reproducing the geometric dimensions very well in a series production. As a result, the new sensor arrangement can be realized very inexpensively.
  • the new sensor arrangement can be particularly advantageously implemented as a 3D sensor arrangement, wherein a single integrated sensor module is able to determine all six degrees of freedom of the two relatively moving parts. The above object is therefore completely solved.
  • the sensor arrangement has an adder, which adds the output signals of the first and second magnetic field sensor to determine the common sensor signal.
  • the adder is further capable of forming an average of the two output signals of the first and second magnetic field sensors.
  • the common sensor signal in preferred embodiments of the invention represents the average value of the two output signals, taking into account the opposite magnetic field directions.
  • the sensors each provide at least one output signal that changes sinusoidally or cosinusoidally as the position of the first part changes relative to the second part. Since the magnetic field lines of the common magnetic field at the two remote sensors are in opposite directions, the adder forms a sensor signal which is zero when the two sensors are undisturbed, ideally symmetrical.
  • Deviations from zero are due either to a deflection of the first part relative to the second part, or to a disturbance of the symmetry of the magnetic field between the two sensors. If one determines the rest position of the first part before a measurement, possibly with the aid of a calibration, it is very easy to detect interference with the aid of the summation signal and to eliminate it during position determination.
  • the adder is implemented by means of a direct hardware parallel connection of the output signals.
  • the sensor arrangement includes a programmable circuit, such as a microcontroller, microprocessor, ASIC or FPGA, which effects the addition of the output signals and the preferred averaging.
  • the sensor arrangement includes a subtractor, which forms a difference between the output signals of the first and second magnetic field sensor in order to determine the common sensor signal. It is particularly preferred if the sensor arrangement contains both an adder and a subtractor in order to determine a sum signal and a difference signal from the two output signals of the magnetic field sensors.
  • this embodiment enables the determination of a common sensor signal that is representative of another degree of freedom.
  • the two output signals are supplied in parallel to the adder and the subtractor, allowing a very fast determination of two common sensor signals representative of two different degrees of relative freedom of movement.
  • the sensor arrangement includes three pairs of sensors each having two magnetic field sensors, each pair of sensors providing a sum signal and a difference signal with respect to another measuring axis. With such a sensor arrangement, all six degrees of freedom and thus the so-called pose of the first part relative to the second part can be determined simply and quickly.
  • the magnetic field sensors each have an electrical resistance that varies depending on the magnetic field direction.
  • the magnetic field sensors are magnetoresistive sensors, in particular AMR sensors. Furthermore, it is preferred if the sensors span a common measurement plane in which the magnetic field lines relevant for the evaluation run.
  • the first and the second magnetic field sensor each generate two different analog output signals, each having an instantaneous value which depends on the magnetic field direction at the location of the respective magnetic field sensor in a sinusoidal or cosine-shaped manner.
  • Suitable magnetic field sensors of this embodiment are in particular magnetoresistive sensors which internally each contain two 45 ° twisted resistance bridges. A first of these resistance bridges provides a first analog signal that depends sinusoidally on the direction of the magnetic field at the location of the sensor. A second of these resistance bridges provides a second analogue signal which, due to the 45 ° twist, depends cosinusoidally on the direction of the magnetic field at the location of the sensor. Together, the two analog signals allow a very accurate determination of the magnetic field direction at the location of the sensor.
  • magnetic field sensors enables very fast signal processing by electrically connecting the sinusoidal (or cosinusoidal) analog signals of the first sensor by 180 ° with the sinusoidal (or cosinusoidal) analog signals of the second sensor and thus combining the analog signals in a parallel circuit.
  • sinusoidal (or cosinusoidal) analog signals of the first sensor By electrically connecting the sine or cosine signals of the two sensors, two common output signals, which are representative of the magnetic field direction, are obtained very simply and quickly. Disturbances of the magnetic field are very effectively compensated by the signal processing.
  • the sensor arrangement includes at least four magnetic field sensors which form a first pair and a second pair, each with a first and a second magnetic field sensor, each pair generating a common sensor signal with respect to one of at least two mutually orthogonal measuring axes.
  • the sensor arrangement includes at least six magnetic field sensors forming at least three pairs, each pair providing a common sensor signal for one of three orthogonal measurement axes.
  • the second part includes a component carrier, on which the magnetic field sensors of the pairs are arranged together.
  • the component carrier is largely disk-shaped.
  • the component carrier is a circuit board to which the magnetic field sensors are permanently attached, soldered about.
  • further circuit elements are arranged on the circuit board, in particular the adder and / or subtractor, or a temperature sensor which supplies a temperature signal representative of the operating temperature of the circuit board.
  • the component carrier consists of a temperature-stable material, such as a ceramic material, and / or has a known coefficient of thermal expansion.
  • the sensor arrangement is an integrated sensor arrangement with sensor pairs for a plurality of measuring axes.
  • the design allows a very compact implementation and cost-effective installation in a probe.
  • the integration of multiple sensor pairs on a component carrier also ensures a consistently high measurement accuracy across a variety of identical sensor arrangements.
  • the integration of a temperature sensor on the component carrier also allows an advantageous temperature compensation and consequently an even higher measurement accuracy.
  • the component carrier has a central recess in which the at least one magnet is arranged.
  • the sensor arrangement uses a common magnetic field for the magnetic field sensors of the integrated pairs. This means that a single magnetic field provides position information for at least two orthogonal measuring axes.
  • the sensor arrangement uses a single common magnetic field for all measuring axes and thus for all sensor pairs. The design contributes to a particularly compact design.
  • this embodiment allows a uniformly high measurement accuracy for all measuring axes, as a common reference is evaluated for all measuring axes.
  • the sensor arrangement includes a plurality of magnets which are arranged in the recess and generate a common magnetic field.
  • the common magnetic field is rotationally symmetric with respect to at least two measuring axes, i. the common magnetic field looks the same for at least two orthogonal measuring axes.
  • the sensor assembly includes four magnets arranged in the form of a cross.
  • This embodiment allows a very compact design with a common magnetic field, which offers a high measurement accuracy for all measuring axes.
  • the rotational symmetry of the magnetic field is particularly advantageous for use in the probe of a coordinate measuring machine, since it provides largely identical measurement accuracies in two orthogonal measuring axes.
  • these two axes are arranged transversely to the gravitational force, that is, they form a measuring plane, which is commonly referred to as coordinate measuring machines in gantry or bridge design as x-y measuring plane.
  • the component carrier has an upper side and a lower side, on each of which first and second magnetic field sensors are arranged.
  • the top and bottom are substantially parallel to each other.
  • the component carrier is a double-sided printed circuit board.
  • This embodiment allows a compact sensor assembly with magnetic field sensors, which are spaced apart in three orthogonal directions in space.
  • the top and bottom of the Component carrier mirror images of each other equipped with magnetic field sensors, so that at least two pairs of sensors are formed, one of which is disposed on the top and one on the underside of the component carrier.
  • the sensor pairs are consequently located in two different measurement planes, which in preferred embodiments is advantageously used to detect an inclination of the component carrier about an axis parallel to the measurement planes.
  • a magnetic field sensor on the upper side and a magnetic field sensor on the lower side may each form a pair of sensors.
  • the embodiment also makes it possible to use selected magnetic field sensors for more than one pair of sensors.
  • the output signal of a magnetic field sensor can be combined once with the output signal of another magnetic field sensor on the same side and a second time with the output signal of a magnetic field sensor on the opposite side, so that sensor signals for a plurality of measurement directions are available with a small number of magnetic field sensors.
  • the sensor assembly includes a programmable circuit configured to correlate the digital or digitized outputs of the sensors in various defined combinations.
  • the programmable circuit thus realizes a monitoring and diagnostic function which makes it possible to check a measurement uncertainty of selected sensor pairs and / or their intended function by means of a cross comparison. It is furthermore very advantageous if the output signals of the magnetic field sensors are combined to form a plurality of different sensor pairs, since in this way it is possible to very efficiently perform plausibility comparisons.
  • the sensor arrangement includes a temperature correction stage, which is designed to determine a thermally induced change in position of the first part relative to the second part based on the output signals.
  • a temperature compensation advantageously takes place solely on the basis of the output signals of the magnetic field sensors.
  • the output signals of the magnetic field sensors are stored at a reference temperature in a memory of the sensor array and / or a memory of a coordinate measuring machine. Before a measurement, the output signals of the magnetic field sensors are first determined without deflection / position change between the first and the second part. Deviation of the output signals from the output signals at the reference temperature allows for preferred temperature compensation without or in addition to a particular temperature sensor.
  • FIG. 1 shows a coordinate measuring machine with a probe in which an embodiment of the sensor arrangement is used
  • FIG. 2 shows the mechanical construction of the probe head from FIG. 1 in a partially sectioned illustration
  • FIG. 3 is a schematic representation of an embodiment of the new
  • FIG. 5 shows a further exemplary embodiment of the sensor arrangement
  • FIG. 6 shows a further exemplary embodiment of the sensor arrangement with two sensor pairs for two orthogonal measuring axes
  • FIG. 7 shows the mechanical structure of the sensor arrangement in a preferred embodiment
  • Figure 8 is a schematic representation of the common magnetic field of
  • FIG. 9 shows a common magnetic field of the sensor arrangement from FIG. 7 according to an alternative exemplary embodiment.
  • a coordinate measuring machine in which the new sensor arrangement is used designated in its entirety by the reference numeral 10.
  • the new sensor arrangement is preferred from today's perspective, the invention is not limited thereto. Rather, the sensor arrangement can also be advantageously used in other cases in which the position of a first part relative to a second part is to be determined with high accuracy.
  • the coordinate measuring machine 10 has a base 12, on which a portal 14 is arranged here.
  • the portal 14 may be moved relative to the base 12 in a first spatial direction. Typically, this spatial direction is called the y-axis.
  • a carriage 16 is arranged, which can be moved relative to the portal 14 in a second spatial direction.
  • the axis of movement of the carriage 16 is commonly referred to as the x-axis.
  • a quill 18 is arranged, which can be moved relative to the carriage in a third spatial direction. This third spatial direction is usually referred to as the z-axis.
  • a probe 20 is arranged with a stylus 22.
  • the stylus is used to probe a measuring point 24 on a measuring object 26, while the measuring object 26 on the Base 12 is arranged. Subsequently, a spatial position of the touched measuring point 24 can be determined from the position of the probe head 20 relative to the coordinate axes x, y, z. If one determines the spatial coordinates to a plurality of measurement points 24 on the measurement object 26, one can determine geometric dimensions and / or the spatial form of the measurement object 26.
  • the coordinate measuring machine 10 is shown here in gantry design with a movable portal.
  • coordinate measuring machines such as horizontal arm measuring or measuring devices, in which the base 12 is moved with the measuring object 26. It is understood that the new sensor arrangement can also be used advantageously in such coordinate measuring machines.
  • the reference numerals 28, 30, 32 designate position sensors for the axes of movement of the coordinate measuring machine, which may include, for example, an incremental encoder or linear scale.
  • the position sensor 28, 30, 32 determines an evaluation and control unit 34, the current spatial position of the probe 20 within the measuring volume.
  • the evaluation and control unit 34 here controls the movements of the portal 14, the carriage 16 and the quill 18. Accordingly, the evaluation and control unit 34 via lines 36, 38 with the position sensors 28, 30, 32 and the drives (here not shown) of the coordinate measuring machine 10 connected.
  • the reference numeral 40 denotes a control unit with which an operator he can change the position of the probe 20 of the coordinate measuring machine 20.
  • the evaluation and control unit 34 also has a keyboard 42 and a display 44 and a processor 46 and memory 48.
  • the memory 48a may be, for example, a random access memory for memory, while the memory 48b may be a control and measurement program for the measurement object 26 contains.
  • Fig. 2 shows the mechanical structure of a probe 20 according to a preferred embodiment.
  • the probe 20 has a cylindrical probe base 52 which forms a stationary part against which the stylus 22 can move. It goes without saying that the probe base 52 itself can be moved in the measuring volume with the aid of the drives of the coordinate measuring machine 10.
  • the probe 20 here has two cylindrical shells 54, 56, which are arranged substantially concentrically within the probe base 52.
  • the cylindrical shells 54, 56 face each other with their respective cylindrical shell inner sides.
  • the cylindrical shell 56 has an extension arm 57, which engages around the cylindrical shell 54 from the outside.
  • the first cylindrical shell 54 is attached to the inside of the probe base 52 via two leaf springs 58. Due to the leaf springs 58, the probe base 52 and the cylinder shell 54 form a spring parallelogram which allows movement of the cylinder shell 54 relative to the probe base 52 in a direction indicated by the arrow 61 in FIG. In some embodiments, this direction of movement 61 is parallel to the z-axis of the coordinate measuring machine 10. However, there are also cases in which the probe 20 can be pivoted out of the orientation shown in FIG. 1, so that the direction of movement 61 is then not parallel to the z-axis. Axis of the coordinate measuring machine 10 is.
  • the second cylinder shell 56 is attached via two further leaf springs 60 to the first cylinder shell 54 and forms with the cylinder shell 54, a second spring parallelogram. Together, the two cylindrical shells 54, 56 with the leaf springs 58, 60 a double spring parallel message, which allows a rectilinear movement in the direction of the arrow 61.
  • the leaf springs 58, 60 each have a three-point connection with the cylindrical shells and the probe base. This means that they have a largely singular connection point 62 with the one cylinder shell and connected via a more line-like or multiple connection points containing connection 64 with the other cylinder shell. This three-point bearing reduces internal stresses.
  • the two cylindrical shells 54, 56 hold a diaphragm spring 66, which is arranged substantially concentrically within the probe base 52.
  • a rod 68 is fixed, which extends through recesses 70 in the leaf springs 58, 60.
  • the rod 68 is an extension and / or support for the stylus 22.
  • the cylinder shells 54, 56, leaf springs 58, 60 and the diaphragm spring 66 a bearing 72 for the stylus 22 with degrees of freedom in the three orthogonal directions in space x, y, z , It is the task of the new sensor arrangement to detect the respective position of the stylus 22 relative to the probe base 52.
  • Fig. 3 shows a simplified, schematic representation of an embodiment of the new sensor arrangement.
  • reference numeral 74 denotes a magnet which generates a magnetic field 75.
  • the magnet 74 is arranged on a first part 76, which is designed here as a support plate, in particular largely circular.
  • a second part is designated by the reference numeral 78.
  • the second part 78 is here a frame, which is arranged approximately concentrically around the first part 76 around.
  • Reference numerals 80, 82 designate two magnetic field sensors, which in a preferred embodiment are magnetoresistive AMR sensors.
  • the sensors 80, 82 are arranged at a distance 84 from each other. In the distance between the sensors 80, 82, the magnet 74 is arranged.
  • Each sensor 80, 82 provides an output signal 86 and 88, respectively, which depends on the direction of the magnetic field lines at the location of the respective sensor.
  • the sensors 80, 82 are angle sensors that provide an output signal, particularly a digital one, that is representative of the magnetic field direction of the magnet 74 at the location of the particular sensor.
  • the output signals 86, 88 are supplied to a circuit 90, which includes an adder 92 here.
  • the adder 92 forms a sum signal of the two output signals 86, 88 taking into account their respective signs.
  • the sum signal may be a Amount to be.
  • the sum signal is advantageously divided by two to obtain a common sensor signal 94 representing the magnitude average of the two output signals 86, 88.
  • the sum signal can be formed with the correct sign so that a difference results due to the opposite change of the sensor signals.
  • the sensor signal 94 is representative of the position of the magnet 74 and thus representative of the position of the first part relative to the second part along a measurement axis 96.
  • the measurement axis 96 is transverse to the distance vector 84 between the two sensors 80, 82, wherein the magnet 74 is displaced along the measuring axis 96.
  • the sensors 80, 82 detect a different magnetic field direction when the magnet 74 moves along the measuring axis 96, which leads to a correspondingly modified sensor signal 94.
  • each magnetic field sensor 80, 82 includes a resistance measuring bridge 83a, 83b and 85a, 85b, respectively.
  • Each resistance measuring bridge 83a, 83b, 85a, 85b forms its own magnetic field sensor, which generates an output signal 86a, 86b, 88a, 88b dependent on the magnetic field direction.
  • the output signals 86a, 88a are analog output signals, each having an instantaneous value 89a, which depends sinusoidally on the magnetic field direction at the location of the resistance measuring bridge 83a, 85a.
  • the output signals 86b, 88b are analog output signals, each having an instantaneous value 89b, which depends cosinusoidally on the magnetic field direction at the location of the resistance measuring bridge 83b, 85b.
  • the two sinusoidal output signals 86a, 88a are electrically connected in parallel.
  • the two cosinusoidal output signals 88a, 88b are electrically connected in parallel.
  • FIG. 5 shows another embodiment in which the circuit 90 includes a subtractor 98 in addition to the adder 92.
  • the subtractor 98 forms the difference of the two output signals 86, 88 and provides another common sensor signal 100 ready, which represents a rotation of the first part relative to the second part by a rotation angle 102 due to the difference formation.
  • the angle of rotation 102 lies in a plane which is spanned by the distance vector 84 and the measuring axis 96.
  • the sensor signal 100 represents a rotation of the first part relative to the second part about a rotation axis 104 that is perpendicular to a measurement plane that is spanned by the sensors 80, 82.
  • the sensor signals 94, 100 thus represent a respectively current position of the first part relative to the second part with respect to two degrees of freedom, namely a translational degree of freedom along the measuring axis 96 and a rotational degree of freedom about the axis of rotation 104.
  • FIG. 6 shows a development of the sensor arrangement from FIG. 5 with two sensor pairs 80a, 82a and 80b, 82b.
  • the sensor pair 80a, 82a corresponds to the sensor pair 80, 82 from FIGS. 3 to 5.
  • the further sensor pair 80b, 82b is arranged in the measurement plane of the sensors 80a, 82a rotated by 90 ° relative to the sensor pair 80a, 82a.
  • the further sensor pair 80b, 82b supplies a common sensor signal along a further measuring axis 96b, which here is orthogonal to the first measuring axis 96a.
  • Fig. 7 shows a preferred embodiment of the sensor arrangement, which is designated here in its entirety by the reference numeral 110.
  • the sensor arrangement 110 includes an approximately circular disk-shaped component carrier 112, which is arranged above a further carrier 114.
  • the component carrier 112 has an upper side 116 and a lower side 118.
  • On the upper side 116 four magnetic field sensors 80a, 82a, 80b, 82b are arranged, which span a common measuring plane on the upper side 116.
  • the magnetic field sensors 80a, 82a and 80b, 82b are each at a distance 84 (see Fig. 5) to each other at the outer edge of the component carrier 112 and form a pair of magnetic field sensors.
  • the sensor arrangement 110 here has a third sensor pair, of which in Fig.
  • a further sensor 82c is arranged on the rear side of the sensor arrangement 110 facing away from FIG.
  • the sensors 80c, 82c are arranged here perpendicular to the measuring plane of the sensors 80a, 82a, 80b, 82b on a holder 120, wherein the holder 120 is fastened to the component carrier 112.
  • the sensors 80c, 82c are optimally aligned to detect movement of the component carrier 112 relative to the further carrier 114 in a direction perpendicular to the sensor Top 116 runs.
  • the sensor assembly 110 is used in a probe head of the type shown in FIG.
  • the sensors 80c, 82c form a common sensor signal representative of a deflection of the stylus 22 in the z-direction while the two Sensor pairs 80a, 82a and 80b, 82b respectively provide sensor signals that are representative of the deflections in the x and y directions, respectively.
  • the common magnetic field of the sensor pairs 80a, 82a, 80b, 82b, 80c, 82c is generated in the sensor arrangement 110 with the aid of four magnets 74a, 74b, 74c, 74d, which are each cuboidal here.
  • Two magnets 74a, 74c and 74b, 74d face each other with their narrow sides.
  • the magnets 74a, 74b, 74c, 74d form a cross in a plan view of the upper side 116.
  • the north-south axis 122 of each magnet 74 is parallel to the measurement plane that the sensors 80a, 82a, 80b, 82b span over the top surface 116 of the component carrier 112. Depending on whether the same or unequal magnetic poles face each other during one revolution along the surface 116, a different common magnetic field results.
  • Fig. 8 shows the common magnetic field 124 of the sensor assembly 110 in a plan view of the top 116, when the north and south poles of the magnet 74 alternate in the direction of rotation, ie, when along the surface 116 in each case a north and a south pole face.
  • Fig. 9 shows that common magnetic field 126 of the sensor assembly 110 when in a revolution along the top 116 opposite magnetic poles. In both cases results in a common magnetic field, which is rotationally symmetric about a fictitious axis of rotation which is perpendicular to the top 116.
  • the common magnetic fields 124, 126 are each optimally suited to determine deflections of a stylus in two orthogonal spatial directions, which are advantageously both perpendicular to gravity (and thus typically represent the x and y axes of stylus motions).
  • Both magnetic field variants have quite strongly curved line courses in the area of the magnetic field sensors 80a, 80b, 82a, 82b, which enables a position determination with high accuracy.
  • the component carrier 112 has a central, substantially cross-shaped recess 128, in which the cross-shaped magnets 74a, 74b, 74c, 74d are arranged.
  • the magnets are attached to the further carrier 114 and movable with this as a whole relative to the component carrier 112.
  • the further carrier 114 may be secured to the rod 68 (see Fig. 2) with the magnet 74 while the component carrier 116 is coupled to the probe base 52.
  • the position of the common magnetic field 124 or 126 relative to the pairs of sensors changes. The respective current position of the magnetic field and thus the current position of the stylus 22 can be determined using the sensor pairs in the three spatial directions.
  • the thickness d of the component carrier 112 is selected to be so large that the sensor pairs on the upper side 116 and the sensor pairs on the lower side 118 form two parallel measuring planes, but spaced apart by the distance d, the distance d being large enough. to determine a tilt of the component carrier 112 about the x- and y-axis based on the sensor signals from the parallel measurement planes.
  • the x and y axes are parallel to the two measurement planes.
  • a twist Hung of the component carrier 112 about the z-axis is advantageously determined by means of a subtractor 98 as shown in FIG.
  • the component carrier 112 is made of a thermally stable material, i. a material with a low coefficient of thermal expansion.
  • a temperature sensor 130 is disposed on the component carrier 112. With the aid of the temperature sensor 130, the evaluation and control unit 34 of the coordinate measuring machine 10 or a signal processing unit in the sensor assembly 110 perform a temperature compensation by thermally induced changes in position of the component carrier 112 relative to the magnetic field 124, 126 are corrected based on the known temperature coefficient.
  • the sensor arrangement 110 can be realized without a temperature sensor 126, in that the common sensor signals 94 of the sensor pairs are determined at a reference temperature and provided as reference values in a memory of the evaluation unit.
  • the evaluation unit Before carrying out a current measurement, the evaluation unit first determines the common sensor signals of the sensor pairs, while the component carrier 112 is in its rest position. From the difference between the currently determined sensor signals and the sensor signals at reference temperature, correction values for a temperature compensation are determined. In some embodiments, this temperature compensation takes place in the evaluation and control unit 34 of the coordinate measuring machine 10.
  • the evaluation unit 34 thus includes a temperature correction stage. In other embodiments, the temperature correction stage may be integrated on the component carrier 112.

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Abstract

Eine Sensoranordnung zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils (114) relativ zu einem zweiten Teil (112) besitzt zumindest einen Magneten (74), der an dem ersten Teil (114) angeordnet ist. Der Magnet (74) erzeugt ein Magnetfeld, das sich bis zu dem zweiten Teil (112) erstreckt. Die Sensoranordnung beinhaltet ferner einen ersten und einen zweiten Magnetfeldsensor (80, 82), die mit einem räumlichen Abstand (84) zueinander an dem zweiten Teil (114) angeordnet sind. Der zumindest eine Magnet (74) ist in dem räumlichen Abstand zwischen den Magnetfeldsensoren (80, 82) positioniert. Die Magnetfeldsensoren (80, 82) erzeugen in Abhängigkeit von dem Magnetfeld jeweils ein Ausgangssignal. Die Ausgangssignale der beiden Magnetfeldsensoren (80, 82) sind zu einem gemeinsamen Sensorsignal kombiniert, das von der räumlichen Position des ersten Teils (114) relativ zu dem zweiten Teil (112) entlang einer definierten Messachse (96) abhängt. Die definierte Messachse (96) liegt quer zu dem räumlichen Abstand und die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) repräsentieren im Wesentlichen eine Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82).

Description

Sensoranordnung und Verfahren zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils relativ zu einem zweiten Teil
[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils relativ zu einem zweiten Teil, mit zumindest einem Magneten, der an dem ersten Teil angeordnet ist und ein Magnetfeld erzeugt, das sich bis zu dem zweiten Teil erstreckt, und mit einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor, die mit einem räumlichen Abstand zueinander an dem zweiten Teil angeordnet sind und in Abhängigkeit von dem Magnetfeld jeweils ein Ausgangssignal erzeugen, wobei der zumindest eine Magnet in dem räumlichen Abstand zwischen dem ersten und zweiten Magnetfeldsensor positioniert ist, und wobei die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors zu einem gemeinsamen Sensorsignal kombiniert sind, das von der räumlichen Position des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil entlang einer definierten Messachse abhängt. [0002] Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils relativ zu einem zweiten Teil, mit den Schritten: Anordnen von zumindest einem Magneten an dem ersten Teil, so dass der Magnet ein Magnetfeld erzeugt, das sich bis zu dem zweiten Teil erstreckt, Anordnen von einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor mit einem räumlichen Abstand zueinander an dem zweiten Teil, wobei der zumindest eine Magnet in dem räumlichen Abstand zwischen dem ersten und zweiten Magnetfeldsensor positioniert wird, Aufnehmen eines ersten Ausgangssignals von dem ersten Magnetfeldsensor und Aufnehmen eines zweiten Ausgangssignals von dem zweiten Magnetfeldsensor, wobei das erste und das zweite Ausgangssignal von einer Sensorposition des jeweiligen Magnetfeldsensors im Magnetfeld abhängen, und Bestimmen eines gemeinsamen Sensorsignals, das von der räumlichen Position des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil entlang einer definierten Messachse abhängt, indem die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors zu einem gemeinsamen Sensorsignal kombiniert werden.
[0003] Eine solche Sensoranordnung und ein solches Verfahren sind aus US 4,866,854 bekannt.
[0004] Die bekannte Sensoranordnung verwendet zwei Hallelemente als ersten und zweiten Magnetfeldsensor. Die beiden Hallelemente sind auf gegenüberliegenden Seiten eines Magneten angeordnet, so dass der Nordpol und der Südpol des Magneten zu jeweils einem Hallelement zeigen. Jedes Hallelement erzeugt ein Ausgangssignal, das für den senkrechten Abstand zwischen dem Hallelement und der ihm gegenüber liegenden Magnetseite repräsentativ ist. Bewegt sich der Magnet näher zu dem einen Hallelement hin, vergrößert sich der Abstand zu dem anderen Hallelement. Auf diese Weise wird eine Positionsänderung des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil entlang einer Messachse, die der Verbindungslinie zwischen den beiden Hallelementen entspricht, doppelt erfasst. Durch eine Differenzbildung der beiden Ausgangssignale wird ein gemeinsames Sensorsignal erzeugt, das für die aktuelle Position des Magneten zwischen den beiden Hallelementen repräsentativ ist. In einigen Ausführungsbeispielen schlägt US 4,866,854 vor, mehrere Magnete und mehrere Hallelement-Paare so anzuordnen, dass die aktuelle räumliche Position des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil entlang von mehreren Messachsen bestimmt werden kann. Dabei ist jeweils ein Magnet für jedes Hallelementpaar erforderlich.
[0005] Die Hallelemente der bekannten Sensoranordnung reagieren im Wesentlichen auf eine Änderung des Betrags der magnetischen Feldstärke. Durch die Differenzbildung der Ausgangssignale von jeweils zwei gegenüberliegenden Hallelementen erhält man ein gemeinsames Sensorsignal, das in etwa proportional zur Position des Magneten zwischen den beiden Hallelementen ist. Die bekannte Sensoranordnung soll eine gute Empfindlichkeit, Selektivität und Auflösung besitzen. Nachteilig ist, dass die bekannte Sensoranordnung für eine Positionsbestimmung in mehreren Messachsen eine Vielzahl von Magneten benötigt, die möglichst weit voneinander entfernt sein sollten, um eine gute Entkopplung zwischen den Sensorpaaren zu erreichen. Jedes Sensorpaar benötigt "seinen" Magneten. Die erforderlichen Abstände machen es schwierig, die bekannte Sensoranordnung für mehrere Messachsen kompakt zu realisieren. Des Weiteren erfordern die Montage und der Einbau der bekannten Sensoranordnung in ein Gerät, wie etwa den Tastkopf eines Koordina- tenmessgerätes, viele einzelne Montageschritte.
[0006] Sensoranordnungen der eingangs genannten Art werden insbesondere bei Koordinatenmessgeräten benötigt. Koordinatenmessgeräte besitzen üblicherweise einen sogenannten Tastkopf, der an einem Gestell befestigt ist. Mit Hilfe des Gestells kann der Tastkopf relativ zu einem Messobjekt bewegt werden. Der Tastkopf besitzt ein bewegliches Tastelement, typischerweise in Form eines Taststiftes. Der Tastkopf wird soweit an das Messobjekt herangefahren, bis das freie Ende des Taststiftes einen gewünschten Messpunkt berührt. Durch die Berührung wird der Taststift relativ zum Tastkopf ausgelenkt. Aus der Position des Tastkopfes relativ zum Messobjekt und aus der Position des Taststiftes relativ zum Tastkopf werden dann Raumkoordinaten bestimmt, die für den angetasteten Messpunkt repräsentativ sind. Durch Antasten einer Vielzahl von Messpunkten und Bestimmung der entsprechenden Raumkoordinaten können geometrische Abmessungen und/oder die Form des Messobjekts bestimmt werden. [0007] DE 103 48 887 AI offenbart einen solchen Tastkopf für ein Koordi- natenmessgerät. Auch hier werden Paare von Hallelementen verwendet, um die Position des Taststiftes relativ zur Tastkopfbasis zu bestimmen. Wie bei der Anordnung aus US 4,866,854 wird für jede Messachse ein Hallelement-Paar benötigt. Auch hier sind die einzelnen Hallelement-Paare und die zugehörigen Magneten an verschiedenen Stellen des Tastkopfes möglichst entfernt voneinander angeordnet.
[0008] DE 10 2004 011 728 AI offenbart einen weiteren Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät mit Hallelementen und Magneten. Für jede Messachse ist ein Hallelement vorgesehen, das zwischen zwei gegenüberliegenden Magneten angeordnet ist. Zwei Messachsen der Sensoranordnung sind auf einer Trägerplatte kombiniert. Die dritte Raumrichtung muss mit einem Hallelement und einem zugehörigem Magnetpaar erfasst werden, die separat in dem Tastkopf montiert werden müssen.
[0009] Alternativ zu Hallelementen ist es möglich, sogenannte magneto- resistive Sensoren zu verwenden, um die Position eines Teils relativ zu einem Magnetfeld zu bestimmen.
[0010] DE 37 08 105 AI offenbart einen solchen Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät, wobei ein einziger Magnet am tastkopfseitigen Ende des Taststiftes angeordnet ist. Gegenüber von dem Magnet ist eine Detektorfläche angeordnet, auf der eine Vielzahl von magnetoresistiven Sensoren verteilt ist. Die bekannte Sensoranordnung ist recht kompakt. Die Messgenauigkeit ist jedoch begrenzt, da insbesondere das Erdmagnetfeld unbekannte Störungen hervorrufen kann.
[0011] Der Aufbau und das Funktionsprinzip von magnetoresistiven Sensoren sind aus verschiedenen Dokumenten bekannt, etwa aus DE 195 21 617 Cl oder aus zahlreichen Publikationen in Fachzeitschriften oder auf Fachtagungen. Die Sensoren basieren häufig auf dem sogenannten anisotropen magnetoresistiven Effekt (AMR- Effekt) oder auf dem gigantischen magnetoresistiven Effekt (GMR- Effekt). Der AMR-Effekt verändert den elektrischen Widerstand eines von Strom durchflossenen, ferromagnetischen Materials in Abhängigkeit von dem Winkel zwischen Stromdichtevektor und Magnetfeldvektor. Der GMR-Effekt ist ein quantenmechanischer Effekt, der ebenfalls eine Änderung des elektrischen Widerstandes einer ferromagnetischen Struktur bewirkt. AMR- und GMR-Sensoren haben die früher verwendeten sogenannten Feldplatten verdrängt. Feldplatten sind magnetisch veränderbare Widerstände, bei denen die Widerstandsänderung aus einer Änderung der Weglänge der Elektronen im Magnetfeld aufgrund der Lorentzkraft basiert.
[0012] DE 37 15 698 AI offenbart einen Tastkopf mit drei Feldplatten, die auf einem äußeren Kreisring angeordnet sind, der konzentrisch zu einem inneren Kreisring mit magnetischen Gegenpolen liegt. Diese Sensoranordnung erscheint recht kompakt. Allerdings dürfte die Messgenauigkeit aufgrund der verwendeten Sensoren und aufgrund von Einflüssen des Erdmagnetfeldes sehr begrenzt sein.
[0013] Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sensoranordnung der eingangs genannten Art anzugeben, die auch bei äußeren Störungen, wie etwa Variationen des Erdmagnetfeldes, eine sehr genaue Positionsbestimmung ermöglicht und die zudem sehr kompakt realisiert werden kann, insbesondere als 3D-Sensoranordnung, das heißt in Form einer Sensoranordnung, die in der Lage ist, die räumliche Position entlang von drei orthogonalen Messachsen zu bestimmen.
[0014] Diese Aufgabe wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung durch eine Sensoranordnung der eingangs genannten Art gelöst, wobei die definierte Messachse quer zu dem räumlichen Abstand liegt, und wobei die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors im Wesentlichen eine Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors repräsentieren.
[0015] Die Aufgabe wird gemäß einem weiteren Aspekt durch ein Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, wobei die definierte Messachse quer zu dem räumlichen Abstand gewählt wird, und wobei die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors im Wesentlichen eine Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors repräsentieren.
[0016] Besonders bevorzugt werden die Sensoranordnung und das Verfahren in einem Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät verwendet, um die Auslenkung des Tastelements (Taststiftes) relativ zu der Tastkopfbasis zu bestimmen.
[0017] Die neue Sensoranordnung verwendet zumindest zwei Magnetfeldsensoren, zwischen denen ein Magnet zum Erzeugen eines definierten Magnetfeldes angeordnet ist. Im Gegensatz zu der Sensoranordnung aus der eingangs genannten US 4,866,854 verläuft die Messachse jedoch nicht auf der Verbindungslinie zwischen den beiden Magnetfeldsensoren, sondern quer dazu. In bevorzugten Ausgestaltungen verläuft die Messachse orthogonal zu dem Abstandsvektor zwischen den beiden Magnetfeldsensoren. Dementsprechend bewegt sich der Magnet quer und vorzugsweise orthogonal zu der Verbindungslinie zwischen den beiden Magnetfeldsensoren. Die beiden Magnetfeldsensoren erfassen jeweils die aktuelle Magnetfeldrichtung, d.h. die Vektorrichtung der magnetischen Feldlinien am Ort des Sensors. In den bevorzugten Ausgestaltungen sind die Ausgangssignale der Magnetfeldsensoren weitgehend unabhängig vom Betrag der magnetischen Feldstärke, das heißt die Magnetfeldsensoren werten praktisch nur die Richtung des Magnetfeldes relativ zu den Sensoren aus. Auf den Betrag der magnetischen Feldstärke, das heißt die Stärke des Magnetfeldes am Ort der Sensoren, kommt es folglich nicht an, solange die magnetische Feldstärke überhaupt hoch genug ist, um ein Ausgangssignal mit den Sensoren zu erzeugen.
[0018] In bevorzugten Ausführungsbeispielen sind die Magnetfeldsensoren magnetoresistive Sensoren, die auf dem AMR-Effekt basieren. In anderen Ausführungsbeispielen können die Magnetfeldsensoren GMR-Sensoren sein. Darüber hinaus können die Magnetfeldsensoren prinzipiell auch andere Sensoren sein, bei denen die Ausgangssignale in erster Linie von der Magnetfeldrichtung und nicht oder nur unwesentlich von der Magnetfeldstärke abhängen. [0019] Die neue Sensoranordnung verwendet zumindest magnetfeldrich- tungsdetektierende Sensoren in einem gemeinsamen Magnetfeld, wobei die beiden Sensoren der Doppelanordnung auf gegenüberliegenden Seiten des Magneten liegen. Dies hat zur Folge, dass sich Richtungsänderungen des gemeinsamen Magnetfeldes aufgrund einer Relativbewegung der beiden Teile gegenläufig verhalten. Daher lassen sich äußere Störungen, beispielsweise in Folge des Erdmagnetfeldes, leicht eliminieren. Des weiteren sind die Ausgangssignale der Sensoren recht unempfindlich gegenüber Temperaturänderungen, da die Magnetfeldrichtung wesentlich weniger von der Umgebungstemperatur abhängt als beispielsweise die Magnetfeldstärke eines Magneten. Zudem kann der Verlauf der Magnetfeldlinien durch die geometrischen Abmessungen und die geometrische Anordnung des zumindest eines Magneten recht genau bestimmt und optimiert werden. Es ist vorteilhaft, wenn die magnetischen Feldlinien im Bereich der Sensoren eine relativ starke Krümmung aufweisen, weil die Sensoren dann sehr sensibel auf eine Verschiebung des Magnetfeldes reagieren. Infolgedessen kann die neue Sensoranordnung recht einfach für eine hohe Messgenauigkeit optimiert werden und die hohe Messgenauigkeit lässt sich durch Reproduktion der geometrischen Abmessungen sehr gut in einer Serienproduktion gewährleisten. Dadurch kann die neue Sensoranordnung sehr kostengünstig realisiert werden.
[0020] Wie weiter unten anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele erläutert ist, kann die neue Sensoranordnung besonders vorteilhaft als 3D-Sensoranordnung realisiert werden, wobei eine einzige integrierte Sensorbaugruppe in der Lage ist, alle sechs Freiheitsgrade der beiden relativ zueinander bewegten Teile zu bestimmen. Die oben genannte Aufgabe ist daher vollständig gelöst.
[0021] In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung besitzt die Sensoranordnung einen Addierer, der die Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors addiert, um das gemeinsame Sensorsignal zu bestimmen. Vorzugsweise ist der Addierer ferner in der Lage, einen Mittelwert der beiden Ausgangssignale des ersten und zweiten Magnetfeldsensors zu bilden. [0022] Dementsprechend repräsentiert das gemeinsame Sensorsignal in bevorzugten Ausgestaltungen der Erfindung den Mittelwert der beiden Ausgangssignale unter Berücksichtigung der gegenläufigen Magnetfeldrichtungen. In einigen bevorzugten Ausführungsbeispielen liefern die Sensoren jeweils zumindest ein Ausgangssignal, das sich sinusförmig oder kosinusförmig ändert, wenn sich die Position des ersten Teils relativ zum zweiten Teil verändert. Da die Magnetfeldlinien des gemeinsamen Magnetfeldes an den beiden entfernten Sensoren gegenläufig sind, bildet der Addierer ein Sensorsignal, das bei ungestörtem, ideal symmetrischen Magnetfeld an den beiden Sensoren Null ist. Abweichungen von Null sind entweder auf eine Auslenkung des ersten Teils relativ zum zweiten Teil zurückzuführen, oder auf eine Störung der Symmetrie des Magnetfeldes zwischen den beiden Sensoren. Bestimmt man vor einer Messung die Ruheposition des ersten Teils, ggf. mit Hilfe einer Kalibrierung, lassen sich Störungen mit Hilfe des Summensignals sehr leicht erkennen und bei der Positionsbestimmung eliminieren.
[0023] In einigen Ausführungsbeispielen ist der Addierer mit Hilfe einer direkten hardwaremäßigen Parallelschaltung der Ausgangssignale realisiert. In anderen Ausführungsbeispielen beinhaltet die Sensoranordnung einen programmierbaren Schaltkreis, wie etwa einen Mikrokontroller, Mikroprozessor, ASIC oder FPGA, die die Addition der Ausgangssignale und die bevorzugte Mittelwertbildung bewirken.
[0024] In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung beinhaltet die Sensoranordnung einen Subtrahierer, der eine Differenz zwischen den Ausgangssignalen des ersten und zweiten Magnetfeldsensors bildet, um das gemeinsame Sensorsignal zu bestimmen. Besonders bevorzugt ist es, wenn die Sensoranordnung sowohl einen Addierer als auch einen Subtrahierer beinhaltet, um ein Summensignal und ein Differenzsignal aus den beiden Ausgangssignalen der Magnetfeldsensoren zu bestimmen.
[0025] Mit Hilfe der Differenz zwischen den beiden Ausgangssignalen lässt sich eine Verdrehung des Magnetfeldes relativ zu den beiden Magnetfeldsensoren und folglich eine Verdrehung des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil bestimmen. Daher ermöglicht diese Ausgestaltung die Bestimmung eines gemeinsamen Sensorsignals, das für einen weiteren Freiheitsgrad repräsentativ ist. In bevorzugten Ausführungsbeispielen sind die beiden Ausgangssignale dem Addierer und dem Subtrahierer parallel zugeführt, was eine sehr schnelle Bestimmung von zwei gemeinsamen Sensorsignalen ermöglicht, die für zwei verschiedene Freiheitsgrade der Relativbewegung repräsentativ sind.
[0026] In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel beinhaltet die Sensoranordnung drei Sensorpaare mit jeweils zwei Magnetfeldsensoren, wobei jedes Sensorpaar ein Summensignal und ein Differenzsignal in Bezug auf eine andere Messachse liefert. Mit einer solchen Sensoranordnung können alle sechs Freiheitsgrade und damit die sogenannte Pose des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil einfach und schnell bestimmt werden.
[0027] In einer weiteren Ausgestaltung besitzen die Magnetfeldsensoren jeweils einen elektrischen Widerstand, der sich in Abhängigkeit von der Magnetfeldrichtung verändert.
[0028] In dieser Ausgestaltung sind die Magnetfeldsensoren magneto- resistive Sensoren, insbesondere AMR-Sensoren. Des weiteren ist es bevorzugt, wenn die Sensoren eine gemeinsame Messebene aufspannen, in der die für die Auswertung maßgeblichen Magnetfeldlinien laufen.
[0029] Dies Ausgestaltungen ermöglichen eine sehr flache und dementsprechend kompakte Realisierung der neuen Sensoranordnung.
[0030] In einer weiteren Ausgestaltung erzeugen der erste und der zweite Magnetfeldsensor jeweils zwei verschiedene analoge Ausgangssignale mit jeweils einem Momentanwert, der sinus- oder cosinusförmig von der Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors abhängt. [0031] Geeignete Magnetfeldsensoren dieser Ausgestaltung sind insbesondere magnetoresistive Sensoren, die intern jeweils zwei um 45° zueinander verdrehte Widerstandsmessbrücken beinhalten. Eine erste dieser Widerstandsmessbrücken liefert ein erstes Analogsignal, das sinusförmig von der Richtung des Magnetfeldes am Ort des Sensor abhängt. Eine zweite dieser Widerstandsmessbrücken liefert ein zweites Analogsignal, das aufgrund der 45°-Verdrehung kosinusförmig von der Richtung des Magnetfeldes am Ort des Sensor abhängt. Zusammen ermöglichen die beiden Analogsignale eine sehr genaue Bestimmung der Magnetfeldrichtung am Ort des Sensors. Die Verwendung solcher Magnetfeldsensoren ermöglicht eine sehr schnelle Signalverarbeitung, indem man die sinusförmigen (bzw. kosinusförmigen) Analogsignale des ersten Sensors um 180° verdreht mit den sinusförmigen (bzw. kosinusförmigen) Analogsignalen des zweiten Sensors elektrisch verbindet und somit die Analogsignale in einer Parallelschaltung zusammenführt. Durch das elektrische Verbinden der Sinus- bzw. Kosinussignale der beiden Sensoren erhält man sehr einfach und schnell zwei gemeinsame Ausgangssignale, die für die Magnetfeldrichtung repräsentativ sind. Dabei werden Störungen des Magnetfeldes durch die Signalverarbeitung sehr wirksam kompensiert.
[0032] In einer weiteren Ausgestaltung beinhaltet die Sensoranordnung zumindest vier Magnetfeldsensoren, die ein erstes Paar und ein zweites Paar mit jeweils einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor bilden, wobei jedes Paar ein gemeinsames Sensorsignal in Bezug auf eine von zumindest zwei zueinander orthogonalen Messachsen erzeugt. Vorzugsweise beinhaltet die Sensoranordnung zumindest sechs Magnetfeldsensoren, die zumindest drei Paare bilden, wobei jedes Paar für eine von drei orthogonalen Messachsen ein gemeinsames Sensorsignal liefert.
[0033] Mit dieser Ausgestaltung wird eine kompakte 2D- oder sogar SD- Sensoranordnung bereitgestellt, die Positionsinformationen für mehrere Raumrichtungen liefert. Sie eignet sich dafür besonders gut, um die Auslenkungen eines Taststiftes relativ zu einer Tastkopfbasis zu bestimmen. [0034] In einer weiteren Ausgestaltung beinhaltet das zweite Teil einen Bauteilträger, an dem die Magnetfeldsensoren der Paare gemeinsam angeordnet sind. In bevorzugten Ausführungsbeispielen ist der Bauteilträger weitgehend scheibenförmig. Insbesondere ist der Bauteilträger eine Schaltungsplatine, an der die Magnetfeldsensoren dauerhaft befestigt sind, etwa aufgelötet. Vorteilhafterweise sind auf der Schaltungsplatine weitere Schaltungselemente angeordnet, insbesondere der Addierer und/oder Subtrahierer, oder ein Temperatursensor, der ein für die Betriebstemperatur der Schaltungsplatine repräsentatives Temperatursignal liefert. Des Weiteren ist es bevorzugt, wenn der Bauteilträger aus einem temperaturstabilen Material besteht, etwa aus einem keramischen Material, und/oder einen bekannten Temperaturausdehnungskoeffizienten besitzt.
[0035] In dieser Ausgestaltung ist die Sensoranordnung eine integrierte Sensoranordnung mit Sensorpaaren für mehrere Messachsen. Die Ausgestaltung ermöglicht eine sehr kompakte Realisierung und eine kostengünstige Montage in einem Tastkopf. Die Integration mehrere Sensorpaare auf einem Bauteilträger gewährleistet außerdem eine gleichbleibend hohe Messgenauigkeit über eine Vielzahl von baugleichen Sensoranordnungen hinweg. Die Integration eines Temperatursensors auf dem Bauteilträger ermöglicht darüber hinaus eine vorteilhafte Temperaturkompensation und infolgedessen eine noch höhere Messgenauigkeit.
[0036] In einer weiteren Ausgestaltung weist der Bauteilträger eine zentrale Ausnehmung auf, in der der zumindest eine Magnet angeordnet ist.
[0037] In dieser Ausgestaltung verwendet die Sensoranordnung ein gemeinsames Magnetfeld für die Magnetfeldsensoren der integrierten Paare. Dies bedeutet, dass ein einziges Magnetfeld Positionsinformationen für zumindest zwei orthogonale Messachsen liefert. In bevorzugten Ausführungsbeispielen verwendet die Sensoranordnung ein einziges gemeinsames Magnetfeld für alle Messachsen und damit für alle Sensorpaare. [0038] Die Ausgestaltung trägt zu einer besonders kompakten Bauweise bei. Darüber hinaus ermöglicht diese Ausgestaltung eine gleichmäßig hohe Messgenauigkeit für alle Messachsen, da für alle Messachsen eine gemeinsame Referenz ausgewertet wird.
[0039] In einer weiteren Ausgestaltung beinhaltet die Sensoranordnung eine Vielzahl von Magneten, die in der Ausnehmung angeordnet sind und ein gemeinsames Magnetfeld erzeugen. Vorzugsweise ist das gemeinsame Magnetfeld rotationssymmetrisch in Bezug auf zumindest zwei Messachsen, d.h. das gemeinsame Magnetfeld sieht für zumindest zwei orthogonale Messachsen gleich aus. In einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel beinhaltet die Sensoranordnung vier Magnete, die in Form eines Kreuzes angeordnet sind.
[0040] Diese Ausgestaltung ermöglicht eine sehr kompakte Bauform mit einem gemeinsamen Magnetfeld, das eine hohe Messgenauigkeit für alle Messachsen bietet. Die Rotationssymmetrie des Magnetfeldes ist besonders vorteilhaft für eine Anwendung in dem Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes, da sie weitgehend identische Messgenauigkeiten in zwei orthogonalen Messachsen liefert. Vorteilhaft werden diese beiden Achsen quer zur Erdanziehungskraft angeordnet, das heißt sie bilden eine Messebene, die bei Koordinatenmessgeräten in Portal- oder Brückenbauweise üblicherweise als x-y-Messebene bezeichnet wird.
[0041] In einer weiteren Ausgestaltung weist der Bauteilträger eine Oberseite und eine Unterseite auf, an denen jeweils erste und zweite Magnetfeldsensoren angeordnet sind. Vorzugsweise sind die Oberseite und die Unterseite weitgehend parallel zueinander. In bevorzugten Ausführungsbeispielen ist der Bauteilträger eine doppelseitig bestückte Schaltungsplatine.
[0042] Diese Ausgestaltung ermöglicht eine kompakte Sensorbaugruppe mit Magnetfeldsensoren, die in drei orthogonalen Raumrichtungen voneinander beabstandet sind. In einem Ausführungsbeispiel sind die Oberseite und die Unterseite des Bauteilträgers spiegelbildlich zueinander mit Magnetfeldsensoren bestückt, so dass zumindest zwei Sensorpaare gebildet sind, von denen eines auf der Oberseite und eines auf der Unterseite des Bauteilträgers angeordnet ist. Die Sensorpaare liegen folglich in zwei verschiedenen Messebenen, was in bevorzugten Ausführungsbeispielen vorteilhaft dazu verwendet wird, eine Neigung des Bauteilträgers um eine zu den Messebenen parallele Achse zu detektieren. In anderen Ausführungsbeispielen können jeweils ein Magnetfeldsensor auf der Oberseite und ein Magnetfeldsensor auf der Unterseite ein Sensorpaar bilden. Die Ausgestaltung ermöglicht ferner, ausgewählte Magnetfeldsensoren für mehr als ein Sensorpaar zu verwenden. Insbesondere kann das Ausgangssignal eines Magnetfeldsensors einmal mit dem Ausgangssignal eines anderen Magnetfeldsensors auf derselben Seite und ein zweites Mal mit dem Ausgangssignal eines Magnetfeldsensors auf der gegenüberliegenden Seite kombiniert werden, so dass Sensorsignale für mehrere Messrichtungen mit einer geringen Anzahl von Magnetfeldsensoren zur Verfügung stehen. In einigen vorteilhaften Ausführungsbeispielen beinhaltet die Sensoranordnung einen programmierbaren Schaltkreis, der dazu eingerichtet ist, die digitale oder digitalisierte Ausgangssignale der Sensoren in verschiedenen definierten Kombinationen miteinander in Beziehung zu setzen. In einem bevorzugten Fall realisiert der programmierbare Schaltkreis damit eine Überwachungs- und Diagnosefunktion, die es ermöglicht, eine Messunsicherheit ausgewählter Sensorpaare und/oder deren bestimmungsgemäße Funktion mit Hilfe eines Kreuzvergleichs zu überprüfen. Sehr vorteilhaft ist es ferner, wenn die Ausgangssignale der Magnetfeldsensoren zu mehreren verschiedenen Sensorpaaren kombiniert werden, da man auf diese Weise sehr effizient Plausibilitätsvergleiche durchführen kann.
[0043] In einer weiteren Ausgestaltung beinhaltet die Sensoranordnung eine Temperaturkorrekturstufe, die dazu ausgebildet ist, eine thermisch bedingte Positionsänderung von dem ersten Teil relativ zu dem zweiten Teil anhand der Ausgangssignale zu bestimmen.
[0044] In dieser Ausgestaltung erfolgt eine Temperaturkompensation vorteilhafterweise allein anhand der Ausgangssignale der Magnetfeldsensoren. In einem Ausführungsbeispiel sind die Ausgangssignale der Magnetfeldsensoren bei einer Referenztemperatur in einem Speicher der Sensoranordnung und/oder einem Speicher eines Koordinatenmessgerätes gespeichert. Vor einer Messung werden die Ausgangssignale der Magnetfeldsensoren zunächst ohne Auslenkung/Positionsveränderung zwischen dem ersten und dem zweiten Teil bestimmt. Eine Abweichung der Ausgangssignale gegenüber den Ausgangssignalen bei der Referenztemperatur ermöglicht die bevorzugte Temperaturkomponsensation ohne einen speziellen Temperatursensor oder in Ergänzung dazu.
[0045] Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
[0046] Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 ein Koordinatenmessgerät mit einem Tastkopf, in dem ein Ausführungsbeispiel der Sensoranordnung verwendet ist,
Figur 2 den mechanischen Aufbau des Tastkopfes aus Figur 1 in einer teilweise geschnittenen Darstellung,
Figur 3 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der neuen
Sensoranordnung, eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels der neuen Sensoranordnung,
Figur 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Sensoranordnung, Figur 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Sensoranordnung mit zwei Sensorpaaren für zwei orthogonale Messachsen,
Figur 7 den mechanischen Aufbau der Sensoranordnung in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel,
Figur 8 eine schematische Darstellung des gemeinsamen Magnetfeldes der
Sensoranordnung aus Figur 7, und
Figur 9 ein gemeinsames Magnetfeld der Sensoranordnung aus Figur 7 gemäß einem alternativen Ausführungsbeispiel.
[0047] In Fig. 1 ist ein Koordinatenmessgerät, in dem die neue Sensoranordnung verwendet ist, in seiner Gesamtheit mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet. Wenngleich die Verwendung der neuen Sensoranordnung in der Koordinatenmess- technik aus heutiger Sicht bevorzugt ist, ist die Erfindung darauf nicht beschränkt. Vielmehr kann die Sensoranordnung auch in anderen Fällen vorteilhaft eingesetzt werden, in denen die Position eines ersten Teils relativ zu einem zweiten Teil mit hoher Genauigkeit bestimmt werden soll.
[0048] Das Koordinatenmessgerät 10 besitzt eine Basis 12, auf der hier ein Portal 14 angeordnet ist. Das Portal 14 kann relativ zu der Basis 12 in einer ersten Raumrichtung bewegt werden. Typischerweise wird diese Raumrichtung als y-Achse bezeichnet. Am oberen Querträger des Portals 14 ist ein Schlitten 16 angeordnet, der relativ zu dem Portal 14 in einer zweiten Raumrichtung verfahren werden kann. Die Bewegungsachse des Schlittens 16 wird üblicherweise als x- Achse bezeichnet. Am Schlitten 16 ist eine Pinole 18 angeordnet, die relativ zu dem Schlitten in einer dritten Raumrichtung verfahren werden kann. Diese dritte Raumrichtung wird üblicherweise als z-Achse bezeichnet. Am unteren freien Ende der Pinole 18 ist ein Tastkopf 20 mit einem Taststift 22 angeordnet. Der Taststift dient dazu, einen Messpunkt 24 an einem Messobjekt 26 anzutasten, während das Messobjekt 26 auf der Basis 12 angeordnet ist. Anschließend kann aus der Position des Tastkopfes 20 relativ zu den Koordinatenachsen x, y, z eine Raumposition des angetasteten Messpunktes 24 bestimmt werden. Wenn man die Raumkoordinaten zu einer Vielzahl von Messpunkten 24 an dem Messobjekt 26 bestimmt, kann man geometrische Abmessungen und/oder die Raumform des Messobjekts 26 bestimmen.
[0049] Das Koordinatenmessgerät 10 ist hier in Portalbauweise mit einem beweglichen Portal dargestellt. Es gibt andere Bauweisen für Koordinatenmessgeräte, etwa Horizontalarmmessgeräte oder Messgeräte, bei denen die Basis 12 mit dem Messobjekt 26 bewegt wird. Es versteht sich, dass die neue Sensoranordnung auch bei solchen Koordinatenmessgeräten vorteilhaft verwendet werden kann.
[0050] Mit den Bezugsziffern 28, 30, 32 sind Positionsgeber für die Bewegungsachsen des Koordinatenmessgerätes bezeichnet, die beispielsweise einen Inkre- mentalgeber oder Linearmaßstab beinhalten können. Mit Hilfe der Positionsgeber 28, 30, 32 bestimmt eine Auswerte- und Steuereinheit 34 die jeweils aktuelle Raumposition des Tastkopfes 20 innerhalb des Messvolumens. Des Weiteren steuert die Auswerte- und Steuereinheit 34 hier die Bewegungen des Portals 14, des Schlittens 16 und der Pinole 18. Dementsprechend ist die Auswerte- und Steuereinheit 34 über Leitungen 36, 38 mit dem Positionsgebern 28, 30, 32 und den Antrieben (hier nicht dargestellt) des Koordinatenmessgerätes 10 verbunden.
[0051] Mit der Bezugsziffer 40 ist ein Bedienteil bezeichnet, mit dem ein Bedien er des Koordinatenmessgerätes 10 die Position des Tastkopfes 20 verändern kann. In den bevorzugten Ausführungsbeispielen besitzt die Auswerte- und Steuereinheit 34 außerdem eine Tastatur 42 und eine Anzeige 44 sowie einen Prozessor 46 und Speicher 48. Der Speicher 48a kann beispielsweise ein Arbeitsspeicher zum flüchtigen Abspeichern von Messwerten sein, während der Speicher 48b ein Steuer- und Messprogramm für das Messobjekt 26 enthält. [0052] Fig. 2 zeigt den mechanischen Aufbau eines Tastkopfes 20 gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel. Der Tastkopf 20 besitzt eine zylindrische Tastkopfbasis 52, die einen feststehenden Teil bildet, gegenüber dem sich der Taststift 22 bewegen kann. Es versteht sich, dass die Tastkopfbasis 52 selbst mit Hilfe der Antriebe des Koordinatenmessgerätes 10 in dem Messvolumen bewegt werden kann.
[0053] Der Tastkopf 20 besitzt hier zwei Zylinderschalen 54, 56, die weitgehend konzentrisch innerhalb der Tastkopfbasis 52 angeordnet sind. Die Zylinderschalen 54, 56 weisen mit ihren jeweiligen Zylinderschaleninnenseiten aufeinander zu. Die Zylinderschale 56 besitzt einen Verlängerungsarm 57, der die Zylinderschale 54 von außen umgreift.
[0054] Die erste Zylinderschale 54 ist über zwei Blattfedern 58 an der Innenseite der Tastkopfbasis 52 befestigt. Aufgrund der Blattfedern 58 bilden die Tastkopfbasis 52 und die Zylinderschale 54 ein Federparallelogramm, das eine Bewegung der Zylinderschale 54 relativ zu der Tastkopfbasis 52 in einer Richtung ermöglicht, die in Fig. 2 mit dem Pfeil 61 angedeutet ist. In einigen Ausführungsbeispielen ist diese Bewegungsrichtung 61 parallel zur z-Achse des Koordinatenmessgerätes 10. Es gibt jedoch auch Fälle, in denen der Tastkopf 20 aus der in Fig. 1 dargestellten Orientierung verschwenkt werden kann, so dass die Bewegungsrichtung 61 dann nicht parallel zur z-Achse des Koordinatenmessgerätes 10 ist.
[0055] Die zweite Zylinderschale 56 ist über zwei weitere Blattfedern 60 an der ersten Zylinderschale 54 befestigt und bildet mit der Zylinderschale 54 ein zweites Federparallelogramm. Zusammen bilden die beiden Zylinderschalen 54, 56 mit den Blattfedern 58, 60 ein Doppelfederparallelegramm, das eine geradlinige Bewegung in Richtung des Pfeils 61 ermöglicht.
[0056] In dem bevorzugten Ausführungsbeispiel besitzen die Blattfedern 58, 60 jeweils eine Dreipunktverbindung mit den Zylinderschalen und der Tastkopfbasis. Dies bedeutet, sie sind über einen weitgehend singulären Verbindungspunkt 62 mit der einen Zylinderschale und über eine eher linienartige oder mehrere Verbindungspunkte beinhaltende Verbindung 64 mit der anderen Zylinderschale verbunden. Diese Dreipunktelagerung reduziert innere Spannungen.
[0057] Die beiden Zylinderschalen 54, 56 halten eine Membranfeder 66, die weitgehend konzentrisch innerhalb der Tastkopfbasis 52 angeordnet ist. An der Membranfeder 66 ist ein Stab 68 befestigt, der sich durch Ausnehmungen 70 in den Blattfedern 58, 60 erstreckt. Der Stab 68 ist eine Verlängerung und/oder Halterung für den Taststift 22. Zusammen bilden die Zylinderschalen 54, 56, Blattfedern 58, 60 und die Membranfeder 66 eine Lagerung 72 für den Taststift 22 mit Freiheitsgraden in den drei orthogonalen Raumrichtungen x, y, z. Es ist Aufgabe der neuen Sensoranordnung, die jeweilige Position des Taststiftes 22 relativ zur Tastkopfbasis 52 zu erfassen.
[0058] Fig. 3 zeigt eine vereinfachte, schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der neuen Sensoranordnung. In Fig. 3 bezeichnet die Bezugsziffer 74 einen Magneten, der ein Magnetfeld 75 erzeugt. Der Magnet 74 ist an einem ersten Teil 76 angeordnet, das hier als - insbesondere weitgehend kreisrunde - Trageplatte ausgebildet ist. Ein zweites Teil ist mit der Bezugsziffer 78 bezeichnet. Das zweite Teil 78 ist hier ein Rahmen, der in etwa konzentrisch um das erste Teil 76 herum angeordnet. Mit den Bezugsziffern 80, 82 sind zwei Magnetfeldsensoren bezeichnet, die in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel magnetoresistive AMR- Sensoren sind. Die Sensoren 80, 82 sind mit einem Abstand 84 voneinander angeordnet. In dem Abstand zwischen den Sensoren 80, 82 ist der Magnet 74 angeordnet. Jeder Sensor 80, 82 liefert ein Ausgangssignal 86 bzw. 88, das von der Richtung der magnetischen Feldlinien am Ort des jeweiligen Sensors abhängt. In einem Ausführungsbeispiel sind die Sensoren 80, 82 Winkelsensoren, die ein - insbesondere digitales - Ausgangssignal liefern, das für die Magnetfeldrichtung des Magneten 74 am Ort des jeweiligen Sensors repräsentativ ist. Die Ausgangssignale 86, 88 sind einem Schaltkreis 90 zugeführt, der hier einen Addierer 92 beinhaltet. Der Addierer 92 bildet ein Summensignal der beiden Ausgangssignale 86, 88 unter Berücksichtigung von deren jeweiligem Vorzeichen. In einem Fall kann das Summensignal eine Betragssumme sein. In diesen Fällen wird das Summensignal vorteilhaft durch zwei geteilt, um ein gemeinsames Sensorsignal 94 zu erhalten, das den Betragsmittelwert der beiden Ausgangssignale 86, 88 repräsentiert. In anderen Fällen kann das Summensignal vorzeichenrichtig gebildet werden, so dass aufgrund der gegenläufigen Veränderung der Sensorsignale eine Differenzbildung resultiert.
[0059] Das Sensorsignal 94 ist repräsentativ für die Position des Magneten 74 und folglich repräsentativ für die Position des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil entlang einer Messachse 96. Wie in Fig. 3 angedeutet ist, verläuft die Messachse 96 quer zu dem Abstandsvektor 84 zwischen den beiden Sensoren 80, 82, wobei der Magnet 74 entlang der Messachse 96 verschoben ist. Wie man anhand der Feldlinien des Magnetfeldes 75 erkennen kann, detektieren die Sensoren 80, 82 bei einer Verschiebung des Magneten 74 entlang der Messachse 96 eine andere Magnetfeldrichtung, was zu einem entsprechend veränderten Sensorsignal 94 führt.
[0060] Fig. 4 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der neuen Sensoranordnung. In diesem Fall beinhaltet jeder Magnetfeldsensor 80, 82 eine Widerstandsmessbrücke 83a, 83b bzw. 85a, 85b. Jede Widerstandsmessbrücke 83a, 83b, 85a, 85b bildet einen eigenen Magnetfeldsensor, der ein von der Magnetfeldrichtung abhängiges Ausgangssignal 86a, 86b, 88a, 88b erzeugt. Die Ausgangssignale 86a, 88a sind analoge Ausgangsignale mit jeweils einem Momentanwert 89a, der sinusförmig von der Magnetfeldrichtung am Ort der Widerstandsmessbrücke 83a, 85a abhängt. Die Ausgangssignale 86b, 88b sind analoge Ausgangsignale mit jeweils einem Momentanwert 89b, der kosinusförmig von der Magnetfeldrichtung am Ort der Widerstandsmessbrücke 83b, 85b abhängt. Die beiden sinusförmigen Ausgangssignale 86a, 88a sind elektrisch parallel geschaltet. Ebenso sind die beiden kosinusförmigen Ausgangssignale 88a, 88b elektrisch parallel geschaltet.
[0061] Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, in dem der Schaltkreis 90 zusätzlich zu dem Addierer 92 einen Subtrahierer 98 beinhaltet. Der Subtrahierer 98 bildet die Differenz der beiden Ausgangssignale 86, 88 und stellt ein weiteres gemeinsames Sensorsignal 100 bereit, das aufgrund der Differenzbildung eine Verdrehung des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil um einen Drehwinkel 102 repräsentiert. Wie man anhand von Fig. 5 erkennen kann, liegt der Drehwinkel 102 in einer Ebene, die von dem Abstandsvektor 84 und der Messachse 96 aufgespannt wird. Anders ausgedrückt repräsentiert das Sensorsignal 100 eine Drehung des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil um eine Drehachse 104, die senkrecht auf einer Messebene steht, die von den Sensoren 80, 82 aufgespannt wird. In genau dieser Messebene verlaufen auch die Feldlinien des Magnetfeldes 75. In den bevorzugten Ausführungsbeispielen repräsentieren die Sensorsignale 94, 100 also eine jeweils aktuelle Position des ersten Teils relativ zu dem zweiten Teil in Bezug auf zwei Freiheitsgrade, nämlich einen translatorischen Freiheitsgrad entlang der Messachse 96 und einen rotatorischen Freiheitsgrad um die Drehachse 104.
[0062] Fig. 6 zeigt eine Weiterbildung der Sensoranordnung aus Fig. 5 mit zwei Sensorpaaren 80a, 82a und 80b, 82b. Das Sensorpaar 80a, 82a entspricht dem Sensorpaar 80, 82 aus den Fig. 3 bis 5. Das weitere Sensorpaar 80b, 82b ist in der Messebene der Sensoren 80a, 82a um 90° verdreht zu dem Sensorpaar 80a, 82a angeordnet. Somit liefert das weitere Sensorpaar 80b, 82b ein gemeinsames Sensorsignal entlang einer weiteren Messachse 96b, die hier orthogonal zu der ersten Messachse 96a liegt.
[0063] Fig. 7 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Sensoranordnung, die hier in ihrer Gesamtheit mit der Bezugsziffer 110 bezeichnet ist. Die Sensoranordnung 110 beinhaltet einen in etwa kreisscheibenförmigen Bauteilträger 112, der über einem weiteren Träger 114 angeordnet ist. Der Bauteilträger 112 besitzt eine Oberseite 116 und eine Unterseite 118. Auf der Oberseite 116 sind vier Magnetfeldsensoren 80a, 82a, 80b, 82b angeordnet, die eine gemeinsame Messebene auf der Oberseite 116 aufspannen. Die Magnetfeldsensoren 80a, 82a und 80b, 82b liegen jeweils mit einem Abstand 84 (vgl. Fig. 5) zueinander am äußeren Rand des Bauteilträgers 112 und bilden ein Paar von Magnetfeldsensoren. [0064] Zusätzlich besitzt die Sensoranordnung 110 hier ein drittes Sensorpaar, von dem in Fig. 7 allerdings nur ein Magnetfeldsensor 80c sichtbar ist. Ein weiterer Sensor 82c ist auf der in Fig. 7 abgewandten Rückseite der Sensoranordnung 110 angeordnet. Wie man anhand des Magnetfeldsensors 80c erkennen kann, sind die Sensoren 80c, 82c hier senkrecht zu der Messebene der Sensoren 80a, 82a, 80b, 82b an einem Halter 120 angeordnet, wobei der Halter 120 am Bauteilträger 112 befestigt ist. Die magnetisch wirksame Fläche der Sensoren 80c, 82c steht hier weitgehend senkrecht zu der Oberseite 116. Damit sind die Sensoren 80c, 82c optimal ausgerichtet, um eine Bewegung des Bauteilträgers 112 relativ zu dem weiteren Träger 114 in einer Richtung zu erfassen, die senkrecht zu der Oberseite 116 verläuft. In den bevorzugten Ausführungsbeispielen, in denen die Sensoranordnung 110 in einem Tastkopf der in Fig. 2 gezeigten Art verwendet wird, bilden die Sensoren 80c, 82c ein gemeinsames Sensorsignal, das für eine Auslenkung des Taststiftes 22 in z-Richtung repräsentativ ist, während die beiden Sensorpaare 80a, 82a und 80b, 82b jeweils Sensorsignale liefern, die für die Auslenkungen in x- bzw. y-Richtung repräsentativ sind.
[0065] Das gemeinsame Magnetfeld der Sensorpaare 80a, 82a, 80b, 82b, 80c, 82c wird bei der Sensoranordnung 110 mit Hilfe von vier Magneten 74a, 74b, 74c, 74d erzeugt, die hier jeweils quaderförmig sind. Jeweils zwei Magnete 74a, 74c bzw. 74b, 74d stehen sich mit ihren Schmalseiten gegenüber. Die Magnete 74a, 74b, 74c, 74d bilden in einer Draufsicht auf die Oberseite 116 ein Kreuz. In bevorzugten Ausführungsbeispielen verläuft die Nord-Süd-Achse 122 jedes Magneten 74 parallel zu der Messebene, die die Sensoren 80a, 82a, 80b, 82b auf die Oberseite 116 des Bauteilträgers 112 aufspannen. Je nachdem, ob sich bei einem Umlauf entlang der Oberfläche 116 jeweils gleiche oder ungleiche Magnetpole gegenüberstehen, ergibt sich ein anderes gemeinsames Magnetfeld.
[0066] Fig. 8 zeigt das gemeinsame Magnetfeld 124 der Sensoranordnung 110 in einer Draufsicht auf die Oberseite 116, wenn sich die Nord- und Südpole der Magneten 74 in Umlaufrichtung abwechseln, d.h. wenn sich entlang der Oberfläche 116 jeweils ein Nord- und ein Südpol gegenüberstehen. Fig. 9 zeigt dagegen das gemeinsame Magnetfeld 126 der Sensoranordnung 110, wenn sich bei einem Umlauf entlang der Oberseite 116 gleiche Magnetpole gegenüberstehen. In beiden Fällen resultiert ein gemeinsames Magnetfeld, das um eine fiktive Drehachse, die senkrecht zu der Oberseite 116 steht, rotationssymmetrisch ist. Damit eigenen sich die gemeinsamen Magnetfelder 124, 126 jeweils optimal, um Auslenkungen eines Taststiftes in zwei orthogonalen Raumrichtungen die bestimmen, die vorteilhafterweise beide senkrecht zur Erdanziehungskraft stehen (und somit typischerweise die x- und die y- Achse der Taststiftbewegungen repräsentieren). Beide Magnetfeldvarianten besitzen im Bereich der Magnetfeldsensoren 80a, 80b, 82a, 82b recht stark gekrümmte Linienverläufe, was eine Positionsbestimmung mit hoher Genauigkeit ermöglicht.
[0067] Wie man in Fig. 7 erkennen kann, besitzt der Bauteilträger 112 eine zentrale, weitgehend kreuzförmige Ausnehmung 128, in der die kreuzförmig angeordneten Magnete 74a, 74b, 74c, 74d angeordnet sind. Die Magnete sind an dem weiteren Träger 114 befestigt und mit diesem als Gesamtheit relativ zu dem Bauteilträger 112 bewegbar. In Ausführungsbeispielen kann der weitere Träger 114 mit dem Magneten 74 an dem Stab 68 (vgl. Fig. 2) befestigt sein, während der Bauteilträger 116 mit der Tastkopfbasis 52 gekoppelt ist. Bei einer Auslenkung des Taststiftes 22 relativ zur Tastkopfbasis verändert sich die Position des gemeinsamen Magnetfeldes 124 oder 126 relativ zu den Sensorpaaren. Die jeweils aktuelle Position des Magnetfeldes und damit die aktuelle Position des Taststiftes 22 kann mit Hilfe der Sensorpaare in den drei Raumrichtungen bestimmt werden.
[0068] In einer Variante des in Fig. 7 gezeigten Ausführungsbeispiels ist der Bauteil träger 112 sowohl auf der Oberseite 116 als auch auf der Unterseite 118 mit Sensorpaaren 80a, 82a und 80b, 82b bestückt (hier nicht sichtbar). In dieser Variante ist die Dicke d des Bauteilträgers 112 so groß gewählt, dass die Sensorpaare auf der Oberseite 116 und die Sensorpaare auf der Unterseite 118 zwei zueinander parallele, jedoch um den Abstand d voneinander entfernte Messebenen bilden, wobei der Abstand d groß genug ist, um anhand der Sensorsignale aus den parallelen Messebenen eine Verkippung des Bauteil trägers 112 um die x- und y- Achse zu bestimmen. Dabei verläuft die x- und y-Achse parallel zu den beiden Messebenen. Eine Verdre- hung des Bauteilträgers 112 um die z- Achse wird vorteilhaft mit Hilfe eines Subtrahierers 98 gemäß Fig. 5 bestimmt.
[0069] In allen bevorzugten Ausführungsbeispielen besteht der Bauteilträger 112 aus einem thermisch stabilen Material, d.h. einem Material mit einem geringen Temperaturausdehnungskoeffizienten. In einigen Ausführungsbeispielen ist auf dem Bauteilträger 112 ein Temperatursensor 130 angeordnet. Mit Hilfe des Temperatursensors 130 kann die Auswerte- und Steuereinheit 34 des Koordinatenmessgerätes 10 oder eine Signal Verarbeitungseinheit in der Sensoranordnung 110 eine Temperaturkompensation durchführen, indem thermisch bedingte Positionsänderungen des Bauteil trägers 112 relativ zu dem Magnetfeld 124, 126 anhand des bekannten Temperaturkoeffizienten korrigiert werden.
[0070] In anderen Ausführungsbeispielen kann die Sensoranordnung 110 ohne Temperatursensor 126 realisiert sein, indem die gemeinsamen Sensorsignale 94 der Sensorpaare bei einer Referenztemperatur bestimmt und als Referenzwerte in einem Speicher der Auswerteeinheit bereitgestellt werden. Vor Durchführung einer aktuellen Messung bestimmt die Auswerteeinheit zunächst die gemeinsamen Sensorsignale der Sensorpaare, während sich der Bauteil träger 112 in seiner Ruheposition befindet. Aus der Differenz der aktuell ermittelten Sensorsignale und der Sensorsignale bei Referenztemperatur werden Korrekturwerte für eine Temperaturkompensation bestimmt. In einigen Ausführungsbeispielen findet diese Temperaturkompensation in der Auswerte- und Steuereinheit 34 des Koordinatenmessgerätes 10 statt. Die Auswerteeinheit 34 beinhaltet folglich eine Temperaturkorrekturstufe. In anderen Ausführungsbeispielen kann die Temperaturkorrekturstufe auf dem Bauteilträger 112 integriert sein.

Claims

Patentansprüche
1. Sensoranordnung zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils (76; 114) relativ zu einem zweiten Teil (78; 112), mit zumindest einem Magneten (74), der an dem ersten Teil (76; 114) angeordnet ist und ein Magnetfeld (75; 124; 126) erzeugt, das sich bis zu dem zweiten Teil (78; 112) erstreckt, und mit einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor (80, 82), die mit einem räumlichen Abstand (84) zueinander an dem zweiten Teil (76; 114) angeordnet sind und in Abhängigkeit von dem Magnetfeld (75; 124; 126) jeweils ein Ausgangssignal (86, 88) erzeugen, wobei der zumindest eine Magnet (74) in dem räumlichen Abstand (84) zwischen dem ersten und zweiten Magnetfeldsensor (80, 82) positioniert ist, und wobei die Ausgangssignale (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) zu einem gemeinsamen Sensorsignal (94, 100) kombiniert sind, das von der räumlichen Position des ersten Teils (76; 114) relativ zu dem zweiten Teil (78; 112) entlang einer definierten Messachse (96) abhängt, dadurch gekennzeichnet, dass die definierte Messachse (96) quer zu dem räumlichen Abstand (84) liegt, und dass die Ausgangssignale (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) im Wesentlichen eine Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82) repräsentieren.
2. Sensoranordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Addierer (92), der die Ausgangssignale (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) addiert, um das gemeinsame Sensorsignal (94) zu bestimmen.
3. Sensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen Subtrahierer (98), der eine Differenz zwischen den Ausgangssignalen (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) bildet, um das gemeinsame Sensorsignal (100) zu bestimmen.
4. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldsensoren (80, 82) jeweils einen elektrischen Widerstand besitzen, der sich in Abhängigkeit von der Magnetfeldrichtung verändert.
5. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Magnetfeldsensor (80, 82) jeweils zwei verschiedene analoge Ausgangssignale (86a, 86b, 88a, 88b) mit jeweils einem Momentanwert erzeugen, der sinus- oder cosinusförmig von der Magnetfeldrichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82) abhängt.
6. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch zumindest vier Magnetfeldsensoren (80a, 80b, 82a, 82b), die ein erstes Paar und ein zweites Paar mit jeweils einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor bilden, wobei jedes Paar ein gemeinsames Sensorsignal (94, 100) in Bezug auf eine von zumindest zwei zueinander orthogonalen Messachsen (96a, 96b) erzeugt.
7. Sensoranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Teil einen Bauteilträger (112) beinhaltet, an dem die Magnetfeldsensoren (80, 82) der Paare gemeinsam angeordnet sind.
8. Sensoranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Bauteilträger (112) eine zentrale Ausnehmung (124) aufweist, in der der zumindest eine Magnet (74) angeordnet ist.
9. Sensoranordnung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Magneten (74a, 74b, 74c, 74d), die in der Ausnehmung (124) angeordnet sind und ein gemeinsames Magnetfeld (124; 126) erzeugen.
10. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Bauteil träger (112) eine Oberseite (116) und eine Unterseite (118) aufweist, an denen jeweils erste und zweite Magnetfeldsensoren (80, 82) angeordnet sind.
11. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch eine Temperaturkorrekturstufe (34), die dazu ausgebildet ist, eine thermisch bedingte Positionsänderung von dem ersten Teil (76; 114) relativ zu dem zweiten Teil (78; 112) anhand der Ausgangssignale (86, 88) zu bestimmen.
12. Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät, mit einer Tastkopfbasis (52) und einem Tastelement (22), das an der Tastkopfbasis (52) beweglich gelagert ist, und mit einer Sensoranordnung (110) nach einem der Ansprüche 1 bis 10 zum Bestimmen einer aktuellen Position des Tastelements (22) relativ zur Tastkopfbasis (52).
13. Verfahren zum Bestimmen einer räumlichen Position eines ersten Teils (76;
114) relativ zu einem zweiten Teil (78; 112), mit den Schritten:
Anordnen von zumindest einem Magneten (74) an dem ersten Teil (76; 114), so dass der Magnet (74) ein Magnetfeld (75; 124; 126) erzeugt, das sich bis zu dem zweiten Teil (78; 112) erstreckt,
Anordnen von einem ersten und einem zweiten Magnetfeldsensor (80, 82) mit einem räumlichen Abstand (84) zueinander an dem zweiten Teil (78; 112), wobei der zumindest eine Magnet (74) in dem räumlichen Abstand (84) zwischen dem ersten und zweiten Magnetfeldsensor (80, 82)positioniert wird,
Aufnehmen eines ersten Ausgangssignals (86) von dem ersten Magnetfeldsensor (80) und Aufnehmen eines zweiten Ausgangssignals (88) von dem zweiten Magnetfeldsensor (82), wobei das erste und das zweite Ausgangsignal (86, 88) von einer Sensorposition des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82) im Magnetfeld (75; 124; 126) abhängen, und
Bestimmen eines gemeinsamen Sensorsignals (94), das von der räumlichen Position des ersten Teils (76; 114) relativ zu dem zweiten Teil (78; 112) entlang einer definierten Messachse (96) abhängt, indem die Ausgangssignale (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) zu einem gemeinsamen Sensorsignal (94) kombiniert werden, dadurch gekennzeichnet, dass die definierte Messachse (96) quer zu dem räumlichen Abstand (84) gewählt wird, und dass die Ausgangssignale (86, 88) des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (80, 82) im Wesentlichen eine Magnetfei drichtung am Ort des jeweiligen Magnetfeldsensors (80, 82) repräsentieren.
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JP2013523568A JP5894596B2 (ja) 2010-08-10 2011-08-04 第２の部分に対する第１の部分の空間位置を決定するセンサ組立体および方法
CN201180049003.9A CN103229024B (zh) 2010-08-10 2011-08-04 传感器组件和用于确定第一部分相对于第二部分的空间位置的方法
US13/761,467 US9234736B2 (en) 2010-08-10 2013-02-07 Sensor assembly for determining a spatial position of a first part relative to a second part

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014090343A1 (de) 2012-12-14 2014-06-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und verfahren zum erfassen einer winkelposition
DE102014208376B3 (de) * 2014-05-05 2015-06-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messkopf für ein Koordinatenmessgerät
JP2016514833A (ja) * 2013-03-26 2016-05-23 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ 外部磁界に対して鈍感なホールセンサ
US10155090B2 (en) 2011-10-07 2018-12-18 Novo Nordisk A/S System for determining position of an element in relation to another element using magnetic fields
US10376644B2 (en) 2013-04-05 2019-08-13 Novo Nordisk A/S Dose logging device for a drug delivery device

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9068815B1 (en) * 2011-11-09 2015-06-30 Sturman Industries, Inc. Position sensors and methods
US9854991B2 (en) * 2013-03-15 2018-01-02 Medtronic Navigation, Inc. Integrated navigation array
US9347764B2 (en) * 2014-04-23 2016-05-24 American Axle & Manufacturing, Inc. Sensor assembly configured to sense target movement in first direction and insensitive to target movement in second and third directions orthogonal to first direction
DE102014219336B3 (de) * 2014-09-24 2016-01-21 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren und Anordnung zur Messung einer Kraft oder eines Momentes mit mehreren Magnetfeldsensoren
JP6049786B2 (ja) 2015-03-05 2016-12-21 株式会社ミツトヨ 測定プローブ
JP6039718B2 (ja) 2015-03-05 2016-12-07 株式会社ミツトヨ 測定プローブ
US9759578B2 (en) 2015-03-12 2017-09-12 International Business Machines Corporation Sensor arrangement for position sensing
DE102015219332A1 (de) 2015-10-07 2017-04-13 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung sowie Roboteranordnung mit der Sensorvorrichtung
DE102016102579A1 (de) * 2016-02-15 2017-08-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Vielzahl von Raumkoordinaten an einem Gegenstand
US11647678B2 (en) 2016-08-23 2023-05-09 Analog Devices International Unlimited Company Compact integrated device packages
US10629574B2 (en) 2016-10-27 2020-04-21 Analog Devices, Inc. Compact integrated device packages
US10697800B2 (en) 2016-11-04 2020-06-30 Analog Devices Global Multi-dimensional measurement using magnetic sensors and related systems, methods, and integrated circuits
US10866080B2 (en) * 2018-11-01 2020-12-15 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position
CN107588715B (zh) * 2017-10-30 2023-08-22 合肥工业大学 一种基于磁效应的空间位置检测装置及测量方法
US11187761B1 (en) * 2017-11-01 2021-11-30 SeeScan, Inc. Three-axis measurement modules and sensing methods
US11628275B2 (en) 2018-01-31 2023-04-18 Analog Devices, Inc. Electronic devices
US11543899B2 (en) 2018-11-01 2023-01-03 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position and including coil misalignment compensation
US11644298B2 (en) 2018-11-01 2023-05-09 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position
US11740064B2 (en) 2018-11-01 2023-08-29 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position
DE102019103723A1 (de) * 2019-02-14 2020-08-20 TE Connectivity Sensors Germany GmbH Sensoreinrichtung und System zur Erfassung eines magnetischen Sicherheitsmerkmals eines Dokuments
CN111948587A (zh) * 2020-08-13 2020-11-17 重庆大学 一种高温度稳定型磁共振传感器磁体结构及测量装置
US11733021B2 (en) 2021-12-22 2023-08-22 Mitutoyo Corporation Modular configuration for coordinate measuring machine probe
US11713956B2 (en) 2021-12-22 2023-08-01 Mitutoyo Corporation Shielding for sensor configuration and alignment of coordinate measuring machine probe

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3708105A1 (de) 1987-03-13 1988-09-22 Bosch Gmbh Robert Messtaster
DE3715698A1 (de) 1987-05-12 1988-12-01 Stiefelmayer Kg C Tastkopf
US4866854A (en) 1986-12-05 1989-09-19 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Multiple axis displacement sensor
DE19521617C1 (de) 1995-06-14 1997-03-13 Imo Inst Fuer Mikrostrukturtec Sensorchip zur Bestimmung eines Sinus- und eines Cosinuswertes sowie seine Verwendung zum Messen eines Winkels und einer Position
DE10348887A1 (de) 2002-10-23 2004-05-13 Carl Zeiss Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
DE102004011728A1 (de) 2004-03-05 2005-09-22 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57154001A (en) * 1981-03-19 1982-09-22 Nippon Seiko Kk Detection of three dimensional rotary position and motion of object
JPH06185976A (ja) * 1992-12-16 1994-07-08 Koichi Fukuda 法線指向角検出方法及びその装置
JPH1020999A (ja) * 1996-07-03 1998-01-23 Fujitsu Takamizawa Component Kk ポインティングデバイス
DE19741579A1 (de) * 1997-09-20 1999-03-25 Bosch Gmbh Robert Meßanordnung zum Erfassen der Lage eines Dauermagneten
DE19746199B4 (de) 1997-10-18 2007-08-30 Sensitec Gmbh Magnetoresistiver Winkelsensor, der aus zwei Wheatstonebrücken mit je vier Widerständen besteht
DE19839450B4 (de) 1998-08-29 2004-03-11 Institut für Mikrostrukturtechnologie und Optoelektronik (IMO) e.V. Magnetoresistiver Sensorchip mit mindestens zwei als Halb- oder Vollbrücke ausgebildeten Meßelementen
WO2001051893A1 (de) * 2000-01-13 2001-07-19 Continental Teves Ag & Co. Ohg Linearer wegsensor und dessen verwendung als betätigungsvorrichtung für kraftfahrzeuge
DE10113871A1 (de) * 2001-03-21 2002-09-26 Philips Corp Intellectual Pty Anordnung zur Positions-, Winkel- oder Drehzahlbestimmung
DE10233080A1 (de) * 2002-07-19 2004-02-12 Fernsteuergeräte Kurt Oelsch GmbH Sensoreinrichtung
DE10314838A1 (de) * 2003-04-01 2004-10-28 Robert Seuffer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Position, welche ein Magnet und ein Messort zueinander haben
EP1704418B1 (de) 2004-01-07 2007-07-18 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Verfahren zur winkelbestimmung
JP4049125B2 (ja) * 2004-05-20 2008-02-20 コニカミノルタオプト株式会社 位置検出装置、手振れ補正機構、および撮像装置
JP2006185976A (ja) 2004-12-27 2006-07-13 Kyocera Corp 複数個取り配線基板
DE102005054593B4 (de) * 2005-11-14 2018-04-26 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Messonde zur Messung der Dicke dünner Schichten
DE102005055905B4 (de) * 2005-11-22 2016-10-27 Continental Teves Ag & Co. Ohg Längenmessanordnung mit einem magnetischen Maßstab mit gegenläufiger Magnetisierung
GB0603128D0 (en) * 2006-02-16 2006-03-29 Renishaw Plc Articulating probe head apparatus
JP4805784B2 (ja) * 2006-10-17 2011-11-02 大同特殊鋼株式会社 位置センサ
DE102007013755B4 (de) * 2007-03-22 2020-10-29 Te Connectivity Germany Gmbh Indikatorelement für einen magnetischen Drehwinkelgeber
FR2923903B1 (fr) * 2007-11-20 2010-01-08 Moving Magnet Tech Capteur de position magnetique angulaire ou lineaire presentant une insensibilite aux champs exterieurs
JP5245114B2 (ja) * 2007-12-19 2013-07-24 旭化成エレクトロニクス株式会社 位置検出装置
CN102066879B (zh) * 2008-06-20 2013-01-02 谐波传动系统有限公司 磁编码器及致动器
US8686717B2 (en) * 2008-09-08 2014-04-01 GM Global Technology Operations LLC Position sensor arrangement
US8269486B2 (en) * 2008-11-12 2012-09-18 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor system and method
CN201322592Y (zh) * 2008-11-21 2009-10-07 宁波职业技术学院 三坐标测量机的测头

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4866854A (en) 1986-12-05 1989-09-19 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Multiple axis displacement sensor
DE3708105A1 (de) 1987-03-13 1988-09-22 Bosch Gmbh Robert Messtaster
DE3715698A1 (de) 1987-05-12 1988-12-01 Stiefelmayer Kg C Tastkopf
DE19521617C1 (de) 1995-06-14 1997-03-13 Imo Inst Fuer Mikrostrukturtec Sensorchip zur Bestimmung eines Sinus- und eines Cosinuswertes sowie seine Verwendung zum Messen eines Winkels und einer Position
DE10348887A1 (de) 2002-10-23 2004-05-13 Carl Zeiss Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
DE102004011728A1 (de) 2004-03-05 2005-09-22 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10155090B2 (en) 2011-10-07 2018-12-18 Novo Nordisk A/S System for determining position of an element in relation to another element using magnetic fields
WO2014090343A1 (de) 2012-12-14 2014-06-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und verfahren zum erfassen einer winkelposition
DE112012006989B4 (de) * 2012-12-14 2019-07-11 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen einer Winkelposition
JP2016514833A (ja) * 2013-03-26 2016-05-23 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ 外部磁界に対して鈍感なホールセンサ
US9851221B2 (en) 2013-03-26 2017-12-26 Robert Bosch Gmbh Hall sensor insensitive to external magnetic fields
US10376644B2 (en) 2013-04-05 2019-08-13 Novo Nordisk A/S Dose logging device for a drug delivery device
DE102014208376B3 (de) * 2014-05-05 2015-06-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messkopf für ein Koordinatenmessgerät

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JP5894596B2 (ja) 2016-03-30
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JP2013533496A (ja) 2013-08-22

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