WO2012004888A1 - Piezoelectric diffraction grating, projector, light emitting device and display device - Google Patents

Piezoelectric diffraction grating, projector, light emitting device and display device Download PDF

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piezoelectric
light
diffraction grating
film
transparent
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PCT/JP2010/061699
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健 木島
本多　祐二
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株式会社ユーテック
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    • G—PHYSICS
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    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1828—Diffraction gratings having means for producing variable diffraction

Definitions

  • One embodiment of the present invention provides a piezoelectric diffraction grating in which a diffraction grating is formed using a piezoelectric film that can be moved and stopped at a very high speed, and a projector, a light-emitting device, or a display device using the piezoelectric diffraction grating. Is an issue.
  • the maximum level difference of the unevenness is 1 ⁇ 4 or less of the wavelength of the light.
  • FIG. 1 A) to (F) are plan views of each layer of the piezoelectric diffraction grating according to the first embodiment. It is sectional drawing which shows the piezoelectric material diffraction grating by 1st Embodiment. It is a schematic diagram explaining the principle which reflects light and changes interference color using the piezoelectric material diffraction grating 17 shown in FIG. It is a schematic diagram which shows the structure of the projector by 2nd Embodiment. It is the figure which expanded the drawing image formed in the image formation surface 30 shown in FIG. It is a front view which shows the display apparatus by 3rd Embodiment. It is sectional drawing of the display apparatus shown in FIG.
  • the display device controls the unevenness formed by the piezoelectric diffraction grating in each pixel (not shown).
  • known techniques may be used.

Abstract

Disclosed is a piezoelectric diffraction grating wherein the diffraction grating is formed using a piezoelectric film which can be moved at an extremely high speed and stopped. The piezoelectric diffraction grating is provided with: a first electrode (12) formed on a first insulating film (11); a piezoelectric film (13) formed on the first electrode; a second electrode (14) formed on the piezoelectric film; a second insulating film (15) formed on the second electrode and the piezoelectric film; and a mirror film (16) formed on the second insulating film. Recesses and protrusions are formed on the surface of the mirror film (16) by bending the piezoelectric film (13) by applying a voltage to the first electrode (12) and the second electrode (14), and an interference color is changed by reflecting light by the mirror film (16) having the recesses and protrusions formed thereon.

Description

圧電体回折格子、プロジェクター、発光装置及び表示装置Piezoelectric diffraction grating, projector, light emitting device, and display device
　本発明は、圧電体回折格子、プロジェクター、発光装置及び表示装置に関する。 The present invention relates to a piezoelectric diffraction grating, a projector, a light emitting device, and a display device.
　従来の画像表示システムは、一列の細長い、並列の可動反射部材の少なくとも１列を含む、１つの平面回折格子光弁（GLV）アレイであり、前記可動反射部材の各々は、表示される像の要素に対応する程度まで、該格子平面に関してそれに平行な面を通して個々に移動可能な平面回折格子光弁アレイと、少なくとも１つのGLVアレイの干渉像を表示する映像干渉計装置であって、あらゆる瞬間に合わせて表示される像の少なくとも一部を表わす映像干渉計装置とから成る（例えば特許文献１参照）。 A conventional image display system is a single planar grating light valve (GLV) array that includes at least one row of a row of elongated, parallel movable reflective members, each of the movable reflective members being an image of a displayed image. A plane grating light valve array movable individually through planes parallel to the grating plane to an extent corresponding to the element, and a video interferometer device displaying an interference image of at least one GLV array, A video interferometer device representing at least a part of an image displayed in accordance with (see, for example, Patent Document 1).
特表２００１－５２２０６１号公報（請求項１）JP-T-2001-522061 (Claim 1)
　上記従来の平面回折格子光弁アレイでは、可動反射部材を静電気的な力を利用して可動させるため、可動反射部材を非常に高速で動かして停止させる場合に、正確に停止させることが難しいという課題がある。 In the above conventional planar diffraction grating light valve array, since the movable reflecting member is moved by utilizing electrostatic force, it is difficult to stop it accurately when the movable reflecting member is stopped at a very high speed. There are challenges.
　本発明の一態様は、非常に高速で動かして停止させることが可能な圧電体膜を用いて回折格子を形成した圧電体回折格子、それを用いたプロジェクター、発光装置又は表示装置を提供することを課題とする。 One embodiment of the present invention provides a piezoelectric diffraction grating in which a diffraction grating is formed using a piezoelectric film that can be moved and stopped at a very high speed, and a projector, a light-emitting device, or a display device using the piezoelectric diffraction grating. Is an issue.
　本発明の一態様は、第１の絶縁膜上に形成された第１の電極と、
　前記第１の電極上に形成された圧電体膜と、
　前記圧電体膜上に形成された第２の電極と、
　前記第２の電極及び前記圧電体膜の上に形成された第２の絶縁膜と、
　前記第２の絶縁膜上に形成されたミラー膜と、
を具備し、
　前記第１の電極と前記第２の電極とに電圧を印加して前記圧電体膜を曲げることで、前記ミラー膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記ミラー膜によって光を反射させて干渉色を変化させることを特徴とする圧電体回折格子である。 One embodiment of the present invention includes a first electrode formed over a first insulating film,
A piezoelectric film formed on the first electrode;
A second electrode formed on the piezoelectric film;
A second insulating film formed on the second electrode and the piezoelectric film;
A mirror film formed on the second insulating film;
Comprising
By applying a voltage to the first electrode and the second electrode to bend the piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the mirror film, and light is reflected by the mirror film on which the irregularities are formed. The piezoelectric diffraction grating is characterized in that the interference color is changed.
　また、本発明の一態様において、
　前記凹凸の最大段差は、前記光の波長の１／４以下であることが好ましい。 In one embodiment of the present invention,
It is preferable that the maximum level difference of the unevenness is ¼ or less of the wavelength of the light.
　また、本発明の一態様において、
　前記第２の電極は、複数のライン状電極がストライプ状に配置されていることも可能である。 In one embodiment of the present invention,
The second electrode may have a plurality of line electrodes arranged in a stripe shape.
　本発明の一態様は、赤色レーザ光を出射する第１のレーザと、
　緑色レーザ光を出射する第２のレーザと、
　青色レーザ光を出射する第３のレーザと、
　第１の圧電体回折格子と、
　第２の圧電体回折格子と、
　第３の圧電体回折格子と、
　ミラーと、
　前記ミラーをスキャン動作させるスキャン機構と、
を具備し、
　前記第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれは、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の圧電体回折格子であり、
　前記第１のレーザにより出射された赤色レーザ光を前記第１の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第１の反射光を画像形成面に照射し、且つ前記第２のレーザにより出射された緑色レーザ光を前記第２の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第２の反射光を前記画像形成面に前記第１の反射光に重ねて照射し、且つ前記第３のレーザにより出射された青色レーザ光を前記第３の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第３の反射光を前記画像形成面に前記第１の反射光及び前記第２の反射光に重ねて照射し、且つ前記スキャン機構によって前記ミラーをスキャン動作させることで、前記画像形成面に画像を形成することを特徴とするプロジェクターである。 One embodiment of the present invention includes a first laser that emits red laser light;
A second laser that emits green laser light;
A third laser that emits blue laser light;
A first piezoelectric diffraction grating;
A second piezoelectric diffraction grating;
A third piezoelectric diffraction grating;
Mirror,
A scanning mechanism for scanning the mirror;
Comprising
Each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is the piezoelectric diffraction grating according to any one of claims 1 to 3,
The red laser beam emitted from the first laser is reflected by the mirror film on which the irregularities of the first piezoelectric diffraction grating are formed, the reflected light is reflected by the mirror, and the first reflection is performed. The green laser beam emitted from the second laser is reflected by the mirror film on which the irregularities of the second piezoelectric diffraction grating are formed, and the reflected light is reflected on the image forming surface. Reflected by a mirror, the second reflected light is applied to the image forming surface so as to overlap the first reflected light, and the blue laser light emitted by the third laser is emitted by the third piezoelectric diffraction. Reflected by the mirror film on which the irregularities of the grating are formed, the reflected light is reflected by the mirror, and the third reflected light is reflected on the image forming surface by the first reflected light and the second reflected light. Irradiated superimposed on, and be to the scan operation of the mirror by the scan mechanism, a projector, and forming an image on the imaging surface.
　本発明の一態様は、光源と、
　前記光源により発した光を透過させる圧電体回折格子と、
を具備し、
　前記圧電体回折格子は、
　第１の透明電極と、
　前記第１の透明電極上に形成された透明圧電体膜と、
　前記透明圧電体膜上に形成された第２の透明電極とを有し、
　前記第１の透明電極と前記第２の透明電極とに電圧を印加して前記透明圧電体膜を曲げることで、前記透明圧電体膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記透明圧電体膜によって前記透過させた光の干渉色を変化させることを特徴とする発光装置である。 One embodiment of the present invention includes a light source;
A piezoelectric diffraction grating that transmits light emitted by the light source;
Comprising
The piezoelectric diffraction grating is
A first transparent electrode;
A transparent piezoelectric film formed on the first transparent electrode;
A second transparent electrode formed on the transparent piezoelectric film,
By applying a voltage to the first transparent electrode and the second transparent electrode to bend the transparent piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the transparent piezoelectric film, and the transparent having the irregularities formed thereon In the light emitting device, the interference color of the transmitted light is changed by the piezoelectric film.
　また、本発明の一態様において、
　前記凹凸の最大段差は、前記光の波長の１／４以下であることが好ましい。 In one embodiment of the present invention,
It is preferable that the maximum level difference of the unevenness is ¼ or less of the wavelength of the light.
　また、本発明の一態様において、
　前記第２の透明電極は前記透明圧電体膜上にストライプ状に複数配置されていることが好ましい。 In one embodiment of the present invention,
It is preferable that a plurality of the second transparent electrodes are arranged in stripes on the transparent piezoelectric film.
　また、本発明の一態様において、
　前記光源と前記圧電体回折格子との間に配置されたカラーフィルタをさらに具備することも可能である。 In one embodiment of the present invention,
It is also possible to further comprise a color filter disposed between the light source and the piezoelectric diffraction grating.
　本発明の一態様は、光源上に複数の画素がマトリックス状に配置された表示装置であって、
　前記画素は、
　赤色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記赤色カラーフィルタを通して透過させる第１の圧電体回折格子と、
　緑色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記緑色カラーフィルタを通して透過させる第２の圧電体回折格子と、
　青色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記青色カラーフィルタを通して透過させる第３の圧電体回折格子とを有しており、
　前記第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれは、
　第１の透明電極と、
　前記第１の透明電極上に形成された透明圧電体膜と、
　前記透明圧電体膜上に形成された第２の透明電極とを有し、
　前記第１の透明電極と前記第２の透明電極とに電圧を印加して前記透明圧電体膜を曲げることで、前記透明圧電体膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記透明圧電体膜によって前記透過させた光の干渉色を変化させることを特徴とする表示装置である。 One embodiment of the present invention is a display device in which a plurality of pixels are arranged in a matrix on a light source,
The pixel is
A first piezoelectric diffraction grating formed on a red color filter and transmitting light emitted from the light source through the red color filter;
A second piezoelectric diffraction grating formed on the green color filter and transmitting the light emitted from the light source through the green color filter;
A third piezoelectric diffraction grating formed on a blue color filter and transmitting light emitted from the light source through the blue color filter;
Each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is
A first transparent electrode;
A transparent piezoelectric film formed on the first transparent electrode;
A second transparent electrode formed on the transparent piezoelectric film,
By applying a voltage to the first transparent electrode and the second transparent electrode to bend the transparent piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the transparent piezoelectric film, and the transparent having the irregularities formed thereon The display device is characterized in that an interference color of the transmitted light is changed by a piezoelectric film.
　また、本発明の一態様において、
　前記第１の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記赤色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であり、
　前記第２の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記緑色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であり、
　前記第３の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記青色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であることが好ましい。 In one embodiment of the present invention,
The maximum step of the unevenness of the first piezoelectric diffraction grating is ¼ or less of the wavelength of light that has passed through the red color filter,
The maximum step of the unevenness of the second piezoelectric diffraction grating is ¼ or less of the wavelength of light that has passed through the green color filter,
It is preferable that the maximum step of the unevenness of the third piezoelectric diffraction grating is not more than ¼ of the wavelength of light that has passed through the blue color filter.
　また本発明の一態様において、
　前記第２の透明電極は前記透明圧電体膜上にストライプ状に複数配置されていることが好ましい。 In one embodiment of the present invention,
It is preferable that a plurality of the second transparent electrodes are arranged in stripes on the transparent piezoelectric film.
　本発明の一態様によれば、非常に高速で動かして停止させることが可能な圧電体膜を用いて回折格子を形成した圧電体回折格子、それを用いたプロジェクター、発光装置又は表示装置を提供することができる。 According to one aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric diffraction grating in which a diffraction grating is formed using a piezoelectric film that can be moved and stopped at a very high speed, and a projector, a light emitting device, or a display device using the piezoelectric diffraction grating. can do.
（Ａ）～（Ｆ）は、第１の実施形態による圧電体回折格子の各層の平面図である。(A) to (F) are plan views of each layer of the piezoelectric diffraction grating according to the first embodiment. 第１の実施形態による圧電体回折格子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the piezoelectric material diffraction grating by 1st Embodiment. 図２に示す圧電体回折格子１７を用いて光を反射させて干渉色を変化させる原理を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the principle which reflects light and changes interference color using the piezoelectric material diffraction grating 17 shown in FIG. 第２の実施形態によるプロジェクターの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the projector by 2nd Embodiment. 図４に示す画像形成面３０に形成された描画イメージを拡大した図である。It is the figure which expanded the drawing image formed in the image formation surface 30 shown in FIG. 第３の実施形態による表示装置を示す正面図である。It is a front view which shows the display apparatus by 3rd Embodiment. 図６に示す表示装置の断面図である。It is sectional drawing of the display apparatus shown in FIG. 図７に示す圧電体回折格子の構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the piezoelectric material diffraction grating shown in FIG. 図８に示す一画素をマトリックス状に配置した表示装置の圧電体回折格子の全体図である。FIG. 9 is an overall view of a piezoelectric diffraction grating of a display device in which one pixel shown in FIG. 8 is arranged in a matrix.
　以下では、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it will be easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.
　（第１の実施形態）
　図１（Ａ）～（Ｆ）は、本実施形態による圧電体回折格子の各層の平面図である。図２は、本実施形態による圧電体回折格子を示す断面図である。 (First embodiment)
1A to 1F are plan views of each layer of the piezoelectric diffraction grating according to the present embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the piezoelectric diffraction grating according to the present embodiment.
　図２に示すように、基板（図示せず）上にＳｉＯ２膜からなる絶縁膜１１をＣＶＤ（chemical vapor deposition）法により形成する（図１（Ａ）参照）。
　次に、絶縁膜１１の全面上に下部Ｐｔ電極１２をスパッタリングにより形成する（図１（Ｂ）参照）。 As shown in FIG. 2, an insulating film 11 made of a SiO 2 film is formed on a substrate (not shown) by a chemical vapor deposition (CVD) method (see FIG. 1A).
Next, a lower Pt electrode 12 is formed on the entire surface of the insulating film 11 by sputtering (see FIG. 1B).
　次に、下部Ｐｔ電極１２の全面上に圧電体膜としてのPZT厚膜１３を形成する（図１（Ｃ）参照）。 Next, a PZT thick film 13 as a piezoelectric film is formed on the entire surface of the lower Pt electrode 12 (see FIG. 1C).
　次に、PZT厚膜１３の上に上部Ｐｔ電極１４を形成する。この上部Ｐｔ電極１４は、Ｐｔ膜をパターニングすることで、複数のライン状電極がストライプ状に配置される（図１（Ｄ）参照）。これにより、PZT厚膜１３の表面には上部Ｐｔ電極１４によって凹凸が形成される。この凹凸の段差は、後述するミラー膜１６によって反射させる光の波長の１／４であることが好ましい。 Next, an upper Pt electrode 14 is formed on the PZT thick film 13. The upper Pt electrode 14 is formed by patterning a Pt film so that a plurality of line electrodes are arranged in a stripe shape (see FIG. 1D). Thereby, irregularities are formed on the surface of the PZT thick film 13 by the upper Pt electrode 14. The uneven step is preferably ¼ of the wavelength of light reflected by a mirror film 16 described later.
　次に、上部Ｐｔ電極１４及びPZT厚膜１３の上にＳｉＯ２膜からなる層間絶縁膜１５をＣＶＤ法により形成し、この層間絶縁膜１５の表面をＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing)によって研磨することにより、層間絶縁膜１５の表面が平坦化される（図１（Ｅ）参照）。 Next, an interlayer insulating film 15 made of a SiO 2 film is formed on the upper Pt electrode 14 and the PZT thick film 13 by the CVD method, and the surface of the interlayer insulating film 15 is polished by CMP (Chemical Mechanical Polishing). Then, the surface of the interlayer insulating film 15 is planarized (see FIG. 1E).
　次に、層間絶縁膜１５の上に表面が鏡面状態（同一の高さ）のＡｌ膜からなるミラー膜１６をスパッタリングにより形成する。このようにして圧電体回折格子１７が作製される。 Next, a mirror film 16 made of an Al film having a mirror surface (same height) is formed on the interlayer insulating film 15 by sputtering. In this way, the piezoelectric diffraction grating 17 is manufactured.
　図３は、図２に示す圧電体回折格子１７を用いて光を反射させて干渉色を変化させる原理を説明する模式図である。 FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the principle of changing the interference color by reflecting light using the piezoelectric diffraction grating 17 shown in FIG.
　下部Ｐｔ電極１２と上部Ｐｔ電極１４とに電圧を印加せずPZT厚膜１３を曲げないと、ミラー膜１６の表面は鏡面状態（平面状態）である。このとき、入射光をミラー膜１６に照射し、ミラー膜１６によって反射した反射光は光軸の変化がなく、干渉色が変化しない。 Unless a voltage is applied to the lower Pt electrode 12 and the upper Pt electrode 14 and the PZT thick film 13 is not bent, the surface of the mirror film 16 is in a mirror state (planar state). At this time, the incident light is applied to the mirror film 16 and the reflected light reflected by the mirror film 16 has no change in the optical axis and the interference color does not change.
　一方、下部Ｐｔ電極１２と上部Ｐｔ電極１４とに電圧を印加してPZT厚膜１３を曲げることで、ミラー膜１６の表面に凹凸を形成すると、その凹凸を形成したミラー膜１６に入射光を照射し、ミラー膜１６によって反射した反射光は前記凹凸の段差により光軸が変化し、干渉色が変化する。この凹凸の段差が入射光の波長λの１／４であるλ／４のときに減衰が最大となる。従って、ミラー膜１６の表面の凹凸の段差をλ／４以下に適切に調整することにより、様々な色の反射光を形成することができる。 On the other hand, when unevenness is formed on the surface of the mirror film 16 by applying a voltage to the lower Pt electrode 12 and the upper Pt electrode 14 to bend the PZT thick film 13, incident light is applied to the mirror film 16 on which the unevenness is formed. The reflected light that is irradiated and reflected by the mirror film 16 changes its optical axis due to the uneven step, and its interference color changes. Attenuation is maximized when the uneven step is λ / 4, which is ¼ of the wavelength λ of incident light. Therefore, reflected light of various colors can be formed by appropriately adjusting the uneven step on the surface of the mirror film 16 to λ / 4 or less.
　具体的には、最も波長の短い青色の光の波長が４５０ｎｍ～４７０ｎｍであり、最も波長の長い赤色の光の波長が６４０ｎｍ～６９０ｎｍであるので、λ／４は１１０ｎｍ～１７０ｎｍ程度となる。この変位量は、PZT厚膜１３によって十分に実施可能である。その理由は、例えば、特開２００１－８８３０１号公報の段落［００３７］には、圧電体膜の変位量が４１５ｎｍと記載されているからである。 Specifically, since the wavelength of blue light having the shortest wavelength is 450 nm to 470 nm and the wavelength of red light having the longest wavelength is 640 nm to 690 nm, λ / 4 is about 110 nm to 170 nm. This amount of displacement can be sufficiently implemented by the PZT thick film 13. This is because, for example, in paragraph [0037] of Japanese Patent Laid-Open No. 2001-88301, the displacement amount of the piezoelectric film is described as 415 nm.
　（第２の実施形態）
　図４は、本実施形態によるプロジェクターの構成を示す模式図である。図５は、図４に示す画像形成面３０に形成された描画イメージを拡大した図である。プロジェクターの描画イメージは、圧電体回折格子の凹凸で５本の櫛歯を形成し、この５本の櫛歯で１ビットの場合は、５×１０８０＝５４００（本）で縦１ラインを同時に描画し、横方向にはスキャンすることで対応する。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating the configuration of the projector according to the present embodiment. FIG. 5 is an enlarged view of a drawing image formed on the image forming surface 30 shown in FIG. The drawing image of the projector is that 5 comb teeth are formed by the unevenness of the piezoelectric diffraction grating, and when 5 bits are 1 bit, 5 × 1080 = 5400 (lines) and 1 vertical line is drawn simultaneously. However, it can be handled by scanning in the horizontal direction.
　図４に示すように、プロジェクターは、赤色レーザ光２７ａを出射する第１のレーザ（図示せず）と、緑色レーザ光２８ａを出射する第２のレーザ（図示せず）と、青色レーザ光２９ａを出射する第３のレーザ（図示せず）と、赤色レーザ用圧電体回折格子１８と、緑色レーザ用圧電体回折格子１９と、青色レーザ用圧電体回折格子２０と、光源多重フィルタ２１，２２と、レンズ２３と、シュリーレンフィルタ２４と、ミラー２５と、ミラー２５をスキャン動作させるスキャン機構２６とを具備する。 As shown in FIG. 4, the projector includes a first laser (not shown) that emits red laser light 27a, a second laser (not shown) that emits green laser light 28a, and blue laser light 29a. , A red laser piezoelectric diffraction grating 18, a green laser piezoelectric diffraction grating 19, a blue laser piezoelectric diffraction grating 20, and light source multiple filters 21 and 22. And a lens 23, a schlieren filter 24, a mirror 25, and a scanning mechanism 26 that performs a scanning operation of the mirror 25.
　赤色レーザ用圧電体回折格子１８、緑色レーザ用圧電体回折格子１９及び青色レーザ用圧電体回折格子２０それぞれは、第１の実施形態で説明した圧電体回折格子である（図１及び図２参照）。 Each of the red laser piezoelectric diffraction grating 18, the green laser piezoelectric diffraction grating 19, and the blue laser piezoelectric diffraction grating 20 is the piezoelectric diffraction grating described in the first embodiment (see FIGS. 1 and 2). ).
　第１のレーザにより出射された赤色レーザ光２７ａを赤色レーザ用圧電体回折格子１８の凹凸が形成されたミラー膜によって反射させ、その反射光２７ｂを光源多重フィルタ２１によって反射させ且つ光源多重フィルタ２２を透過させ、レンズ２３及びシュリーレンフィルタ２４を通してミラー２５によって反射させ、その第１の反射光を画像形成面３０に照射し、且つ第２のレーザにより出射された緑色レーザ光２８ａを緑色レーザ用圧電体回折格子１９の凹凸が形成されたミラー膜によって反射させ、その反射光２８ｂを光源多重フィルタ２１，２２、レンズ２３及びシュリーレンフィルタ２４を通してミラー２５によって反射させ、その第２の反射光を画像形成面３０に前記第１の反射光に重ねて照射し、且つ第３のレーザにより出射された青色レーザ光２９ａを青色レーザ用圧電体回折格子２０の凹凸が形成されたミラー膜によって反射させ、その反射光２９ｂを光源多重フィルタ２２によって反射させ、レンズ２３及びシュリーレンフィルタ２４を通してミラー２５によって反射させ、その第３の反射光を画像形成面３０に前記第１の反射光及び前記第２の反射光に重ねて照射する。 The red laser light 27a emitted by the first laser is reflected by the mirror film on which the concave and convex portions of the red laser piezoelectric diffraction grating 18 are formed, and the reflected light 27b is reflected by the light source multiplex filter 21 and the light source multiplex filter 22. , Is reflected by the mirror 25 through the lens 23 and the schlieren filter 24, irradiates the image forming surface 30 with the first reflected light, and the green laser light 28a emitted by the second laser is piezoelectric for green laser. The reflected light 28b is reflected by the mirror 25 through the light source multiple filters 21, 22, the lens 23 and the schlieren filter 24, and the second reflected light is image-formed. The surface 30 is irradiated with the first reflected light and is emitted by a third laser. The blue laser light 29a thus reflected is reflected by the mirror film on which the concave and convex portions of the piezoelectric diffraction grating 20 for blue laser are formed, the reflected light 29b is reflected by the light source multiple filter 22, and is reflected by the mirror 25 through the lens 23 and the schlieren filter 24. The third reflected light is reflected and applied to the image forming surface 30 so as to overlap the first reflected light and the second reflected light.
　このとき、赤色レーザ用圧電体回折格子１８、緑色レーザ用圧電体回折格子１９及び青色レーザ用圧電体回折格子２０それぞれの上部Ｐｔ電極１４は、例えば３２４０本（３×１０８０）形成されていることが好ましい。つまり、上部Ｐｔ電極１４が３本で１画素を形成し、画像形成面３０に形成される画像の縦方向の画素数が１０８０である場合、上部Ｐｔ電極１４が３２４０本形成されていれば、縦方向の１ラインの画像を同時に描画することができる。この際、圧電体回折格子のミラー膜の表面に形成される凹凸の段差が画素毎に調整される。 At this time, for example, 3240 (3 × 1080) upper Pt electrodes 14 of the piezoelectric diffraction grating 18 for red laser, the piezoelectric diffraction grating 19 for green laser, and the piezoelectric diffraction grating 20 for blue laser are formed. Is preferred. That is, if the upper Pt electrode 14 forms one pixel and the number of pixels in the vertical direction of the image formed on the image forming surface 30 is 1080, if the upper Pt electrode 14 is formed of 3240, An image of one line in the vertical direction can be drawn simultaneously. At this time, the uneven step formed on the surface of the mirror film of the piezoelectric diffraction grating is adjusted for each pixel.
　そして、スキャン機構２６によってミラー２５を例えば１９２０のスキャン動作させることで、画像形成面３０に１枚の画像を形成する。つまり、上記のように１回の照射で縦方向の１ラインの画像を同時に描画し、スキャン機構２６によってミラー２５を横方向に１９２０のスキャン動作させることで、画像形成面３０には縦方向に１０８０画素で横方向に１９２０画素の１枚の画像を形成することができる。 The scanning mechanism 26 causes the mirror 25 to perform, for example, a 1920 scanning operation, thereby forming one image on the image forming surface 30. That is, as described above, a single line image in the vertical direction is simultaneously drawn by one irradiation, and the scanning mechanism 26 causes the mirror 25 to scan in the horizontal direction 1920 so that the image forming surface 30 has a vertical direction. One image having 1080 pixels and 1920 pixels in the horizontal direction can be formed.
　なお、上記のスキャン動作を繰り返すことにより、画像形成面３０に動画を形成することも可能である。 It should be noted that a moving image can be formed on the image forming surface 30 by repeating the above scanning operation.
　（第３の実施形態）
　図６は、本実施形態による表示装置を示す正面図である。図７は、図６に示す表示装置の断面図である。図８は、図７に示す圧電体回折格子の構造を説明するための図であり、表示装置の一画素を示す拡大図である。 (Third embodiment)
FIG. 6 is a front view showing the display device according to the present embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view of the display device shown in FIG. FIG. 8 is a diagram for explaining the structure of the piezoelectric diffraction grating shown in FIG. 7, and is an enlarged view showing one pixel of the display device.
　図６～図８に示すように、表示装置は、白色光源（例えば蛍光管、有機ＥＬ）３６を有しており、この白色光源３６上に複数の画素がマトリックス状に配置されている。 As shown in FIGS. 6 to 8, the display device has a white light source (for example, a fluorescent tube or an organic EL) 36, and a plurality of pixels are arranged in a matrix on the white light source 36.
　前記画素は、図７に示すように、赤色カラーフィルタ３７上に形成され、白色光源３６により発した光を赤色カラーフィルタ３７を通して透過させる第１の圧電体回折格子と、緑色カラーフィルタ３８上に形成され、白色光源３６により発した光を緑色カラーフィルタ３８を通して透過させる第２の圧電体回折格子と、青色カラーフィルタ３９上に形成され、白色光源３６により発した光を青色カラーフィルタ３９を通して透過させる第３の圧電体回折格子とを有している。 As shown in FIG. 7, the pixel is formed on a red color filter 37, and a first piezoelectric diffraction grating that transmits light emitted from the white light source 36 through the red color filter 37 and a green color filter 38. A second piezoelectric diffraction grating that is formed and transmits light emitted from the white light source 36 through the green color filter 38 and the blue color filter 39, and transmits light emitted from the white light source 36 through the blue color filter 39. And a third piezoelectric diffraction grating.
　第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれの基本構造は第１の実施形態と同様である。詳細には、第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれは、下部透明電極４０と、この下部透明電極４０上に形成された透明圧電体膜４１と、この透明圧電体膜４１上に形成された上部透明電極４２とを有している。 The basic structure of each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is the same as that of the first embodiment. Specifically, each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is formed on the lower transparent electrode 40, the transparent piezoelectric film 41 formed on the lower transparent electrode 40, and the transparent piezoelectric film 41. And an upper transparent electrode 42.
　各画素それぞれは、図８に示すように、赤色カラーフィルタ３７、緑色カラーフィルタ３８及び青色カラーフィルタ３９を有しており、それぞれのカラーフィルタに対する下部透明電極４０は共通電極とされ、それぞれのカラーフィルタに対する上部透明電極４２は３本の電極を有している。 As shown in FIG. 8, each pixel has a red color filter 37, a green color filter 38, and a blue color filter 39, and the lower transparent electrode 40 for each color filter is a common electrode, and each color The upper transparent electrode 42 for the filter has three electrodes.
　上記表示装置は、下部透明電極４０と上部透明電極４２とに電圧を印加して透明圧電体膜４１を曲げることで、透明圧電体膜４１の表面に凹凸を形成し、透明圧電体膜４１を透過させた光の干渉色を、前記凹凸を形成した透明圧電体膜４１によって変化させることができる。つまり、カラーフィルタ３７～３９の色と前記凹凸の段差を調整することによって様々な色の光を出すことができ、様々な色の光を用いることにより画像等を表示することができる。 The display device applies a voltage to the lower transparent electrode 40 and the upper transparent electrode 42 to bend the transparent piezoelectric film 41, thereby forming irregularities on the surface of the transparent piezoelectric film 41. The interference color of the transmitted light can be changed by the transparent piezoelectric film 41 having the unevenness. In other words, various colors of light can be emitted by adjusting the color filters 37 to 39 and the uneven steps, and an image or the like can be displayed by using various colors of light.
　なお、赤色カラーフィルタ３７上に形成された第１の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、赤色カラーフィルタ３７を通した光の波長の１／４以下であることが好ましい。また、緑色カラーフィルタ３８上に形成された第２の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、緑色カラーフィルタ３８を通した光の波長の１／４以下であることが好ましい。また、青色カラーフィルタ３９上に形成された第３の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、青色カラーフィルタ３９を通した光の波長の１／４以下であることが好ましい。 It should be noted that the maximum step of the unevenness of the first piezoelectric diffraction grating formed on the red color filter 37 is preferably ¼ or less of the wavelength of the light passing through the red color filter 37. In addition, it is preferable that the maximum step of the unevenness of the second piezoelectric diffraction grating formed on the green color filter 38 is ¼ or less of the wavelength of light passing through the green color filter 38. In addition, it is preferable that the maximum step of the unevenness of the third piezoelectric diffraction grating formed on the blue color filter 39 is ¼ or less of the wavelength of the light passing through the blue color filter 39.
　図９は、図８に示す一画素をマトリックス状に配置した表示装置の圧電体回折格子の全体図である。１画素における各カラーフィルタ上を通る３本の上部透明電極４２それぞれは、Ｌ（ライン）／Ｓ（スペース）が２０μｍであり、長さが０．３ｍｍである。また、１画素における各カラーフィルタ上を通る１本の下部透明電極４０は、Ｌ（幅）が１００μｍであり、長さが０．３ｍｍである。上部透明電極４２の長さを幅に比べて長くしているのは、透明圧電体膜４１の表面に形成される凹凸による段差の高さ（距離）をより高くするためである。即ち、圧電による駆動距離を稼ぐためである。 FIG. 9 is an overall view of the piezoelectric diffraction grating of the display device in which one pixel shown in FIG. 8 is arranged in a matrix. Each of the three upper transparent electrodes 42 passing over each color filter in one pixel has L (line) / S (space) of 20 μm and a length of 0.3 mm. One lower transparent electrode 40 passing over each color filter in one pixel has an L (width) of 100 μm and a length of 0.3 mm. The reason why the length of the upper transparent electrode 42 is made longer than the width is to increase the height (distance) of the step due to the unevenness formed on the surface of the transparent piezoelectric film 41. That is, it is for earning the driving distance by the piezoelectric.
　なお、図９に示す幅や長さなどの具体的数値は、単なる一例であり、適宜変更することも可能である。また、各カラーフィルタ上を通る上部透明電極４２の本数も単なる一例であり、適宜変更することも可能である。 It should be noted that the specific numerical values such as width and length shown in FIG. 9 are merely examples, and can be changed as appropriate. Further, the number of upper transparent electrodes 42 passing over each color filter is merely an example, and can be changed as appropriate.
　本実施形態による表示装置は、図９に示す圧電体回折格子、カラーフィルタ、図７に示す光源３６の他に、各画素において圧電体回折格子によって形成される凹凸を制御する制御機構（図示せず）などを有しているが、図６～図９に示すもの以外については公知の技術を用いれば良い。 In addition to the piezoelectric diffraction grating and color filter shown in FIG. 9 and the light source 36 shown in FIG. 7, the display device according to the present embodiment controls the unevenness formed by the piezoelectric diffraction grating in each pixel (not shown). However, other than those shown in FIGS. 6 to 9, known techniques may be used.
　本実施形態による表示装置を用いた表示方法の一例は次のとおりである。
　上記の制御機構によって一画素ずつ各圧電体回折格子の凹凸を制御し、一画素ずつ色を順番に表示するというチェーン駆動を行うことにより、表示装置に画像又は動画を表示することが可能となる。一画素ずつ各圧電体回折格子の凹凸を制御するには、上部透明電極４２と下部透明電極４０とに電圧を印加して透明圧電体膜を曲げることで、この透明圧電体膜の表面に凹凸を形成すれば良い。この凹凸を形成した透明圧電体膜によって透過させた光の干渉色を変化させることができ、一画素において所定の色を表示することができる。 An example of a display method using the display device according to the present embodiment is as follows.
It is possible to display an image or a moving image on the display device by controlling the unevenness of each piezoelectric diffraction grating one pixel at a time by the above control mechanism and performing chain driving to display colors one by one in order. . In order to control the unevenness of each piezoelectric diffraction grating for each pixel, a voltage is applied to the upper transparent electrode 42 and the lower transparent electrode 40 to bend the transparent piezoelectric film so that the surface of the transparent piezoelectric film is uneven. Should be formed. The interference color of the transmitted light can be changed by the transparent piezoelectric film having the unevenness, and a predetermined color can be displayed in one pixel.
　１１…絶縁膜
　１２…下部Ｐｔ電極
　１３…PZT厚膜
　１４…上部Ｐｔ電極
　１５…層間絶縁膜
　１６…ミラー膜
　１７…圧電体回折格子
　１８…赤色レーザ用圧電体回折格子
　１９…緑色レーザ用圧電体回折格子
　２０…青色レーザ用圧電体回折格子
　２１，２２…光源多重フィルタ
　２３…レンズ
　２４…シュリーレンフィルタ
　２５…ミラー
　２６…スキャン機構
　２７ａ…赤色レーザ光
　２７ｂ…反射光
　２８ａ…緑色レーザ光
　２８ｂ…反射光
　２９ａ…青色レーザ光
　２９ｂ…反射光
　３０…画像形成面
　３６…白色光源（蛍光管、有機ＥＬ）
　３７…赤色カラーフィルタ
　３８…緑色カラーフィルタ
　３９…青色カラーフィルタ
　４０…下部透明電極
　４１…透明圧電体膜
　４２…上部透明電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Insulating film 12 ... Lower Pt electrode 13 ... PZT thick film 14 ... Upper Pt electrode 15 ... Interlayer insulating film 16 ... Mirror film 17 ... Piezoelectric diffraction grating 18 ... Piezoelectric diffraction grating for red laser 19 ... Piezoelectric body for green laser Diffraction grating 20 ... Piezoelectric diffraction grating for blue laser 21, 22 ... Light source multiple filter 23 ... Lens 24 ... Schlieren filter 25 ... Mirror 26 ... Scan mechanism 27a ... Red laser light 27b ... Reflected light 28a ... Green laser light 28b ... Reflected light 29a ... Blue laser light 29b ... Reflected light 30 ... Image forming surface 36 ... White light source (fluorescent tube, organic EL)
37 ... Red color filter 38 ... Green color filter 39 ... Blue color filter 40 ... Lower transparent electrode 41 ... Transparent piezoelectric film 42 ... Upper transparent electrode

Claims (11)

  1. 　第１の絶縁膜上に形成された第１の電極と、
    　前記第１の電極上に形成された圧電体膜と、
    　前記圧電体膜上に形成された第２の電極と、
    　前記第２の電極及び前記圧電体膜の上に形成された第２の絶縁膜と、
    　前記第２の絶縁膜上に形成されたミラー膜と、
    を具備し、
    　前記第１の電極と前記第２の電極とに電圧を印加して前記圧電体膜を曲げることで、前記ミラー膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記ミラー膜によって光を反射させて干渉色を変化させることを特徴とする圧電体回折格子。     A first electrode formed on the first insulating film;
    A piezoelectric film formed on the first electrode;
    A second electrode formed on the piezoelectric film;
    A second insulating film formed on the second electrode and the piezoelectric film;
    A mirror film formed on the second insulating film;
    Comprising
    By applying a voltage to the first electrode and the second electrode to bend the piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the mirror film, and light is reflected by the mirror film on which the irregularities are formed. A piezoelectric diffraction grating characterized in that the interference color is changed.
  2. 　請求項１において、
    　前記凹凸の最大段差は、前記光の波長の１／４以下であることを特徴とする圧電体回折格子。     In claim 1,
    The piezoelectric diffraction grating according to claim 1, wherein a maximum level difference of the unevenness is 1/4 or less of a wavelength of the light.
  3. 　請求項２において、
    　前記第２の電極は、複数のライン状電極がストライプ状に配置されていることを特徴とする圧電体回折格子。     In claim 2,
    The second electrode is a piezoelectric diffraction grating in which a plurality of line electrodes are arranged in a stripe shape.
  4. 　赤色レーザ光を出射する第１のレーザと、
    　緑色レーザ光を出射する第２のレーザと、
    　青色レーザ光を出射する第３のレーザと、
    　第１の圧電体回折格子と、
    　第２の圧電体回折格子と、
    　第３の圧電体回折格子と、
    　ミラーと、
    　前記ミラーをスキャン動作させるスキャン機構と、
    を具備し、
    　前記第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれは、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の圧電体回折格子であり、
    　前記第１のレーザにより出射された赤色レーザ光を前記第１の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第１の反射光を画像形成面に照射し、且つ前記第２のレーザにより出射された緑色レーザ光を前記第２の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第２の反射光を前記画像形成面に前記第１の反射光に重ねて照射し、且つ前記第３のレーザにより出射された青色レーザ光を前記第３の圧電体回折格子の前記凹凸が形成された前記ミラー膜によって反射させ、その反射光を前記ミラーによって反射させ、その第３の反射光を前記画像形成面に前記第１の反射光及び前記第２の反射光に重ねて照射し、且つ前記スキャン機構によって前記ミラーをスキャン動作させることで、前記画像形成面に画像を形成することを特徴とするプロジェクター。     A first laser that emits red laser light;
    A second laser that emits green laser light;
    A third laser that emits blue laser light;
    A first piezoelectric diffraction grating;
    A second piezoelectric diffraction grating;
    A third piezoelectric diffraction grating;
    Mirror,
    A scanning mechanism for scanning the mirror;
    Comprising
    Each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is the piezoelectric diffraction grating according to any one of claims 1 to 3,
    The red laser beam emitted from the first laser is reflected by the mirror film on which the irregularities of the first piezoelectric diffraction grating are formed, the reflected light is reflected by the mirror, and the first reflection is performed. The green laser beam emitted from the second laser is reflected by the mirror film on which the irregularities of the second piezoelectric diffraction grating are formed, and the reflected light is reflected on the image forming surface. Reflected by a mirror, the second reflected light is applied to the image forming surface so as to overlap the first reflected light, and the blue laser light emitted by the third laser is emitted by the third piezoelectric diffraction. Reflected by the mirror film on which the irregularities of the grating are formed, the reflected light is reflected by the mirror, and the third reflected light is reflected on the image forming surface by the first reflected light and the second reflected light. Again irradiated, and be to the scan operation of the mirror by the scan mechanism, projector and forming an image on the image forming surface.
  5. 　光源と、
    　前記光源により発した光を透過させる圧電体回折格子と、
    を具備し、
    　前記圧電体回折格子は、
    　第１の透明電極と、
    　前記第１の透明電極上に形成された透明圧電体膜と、
    　前記透明圧電体膜上に形成された第２の透明電極とを有し、
    　前記第１の透明電極と前記第２の透明電極とに電圧を印加して前記透明圧電体膜を曲げることで、前記透明圧電体膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記透明圧電体膜によって前記透過させた光の干渉色を変化させることを特徴とする発光装置。     A light source;
    A piezoelectric diffraction grating that transmits light emitted by the light source;
    Comprising
    The piezoelectric diffraction grating is
    A first transparent electrode;
    A transparent piezoelectric film formed on the first transparent electrode;
    A second transparent electrode formed on the transparent piezoelectric film,
    By applying a voltage to the first transparent electrode and the second transparent electrode to bend the transparent piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the transparent piezoelectric film, and the transparent having the irregularities formed thereon A light-emitting device, wherein an interference color of the transmitted light is changed by a piezoelectric film.
  6. 　請求項５において、
    　前記凹凸の最大段差は、前記光の波長の１／４以下であることを特徴とする発光装置。     In claim 5,
    The maximum unevenness of the unevenness is ¼ or less of the wavelength of the light.
  7. 　請求項６において、
    　前記第２の透明電極は前記透明圧電体膜上にストライプ状に複数配置されていることを特徴とする発光装置。     In claim 6,
    A plurality of the second transparent electrodes are arranged in a stripe pattern on the transparent piezoelectric film.
  8. 　請求項５乃至７のいずれか一項において、
    　前記光源と前記圧電体回折格子との間に配置されたカラーフィルタをさらに具備することを特徴とする発光装置。     In any one of Claims 5 thru | or 7,
    The light-emitting device further comprising a color filter disposed between the light source and the piezoelectric diffraction grating.
  9. 　光源上に複数の画素がマトリックス状に配置された表示装置であって、
    　前記画素は、
    　赤色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記赤色カラーフィルタを通して透過させる第１の圧電体回折格子と、
    　緑色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記緑色カラーフィルタを通して透過させる第２の圧電体回折格子と、
    　青色カラーフィルタ上に形成され、前記光源により発した光を前記青色カラーフィルタを通して透過させる第３の圧電体回折格子とを有しており、
    　前記第１乃至第３の圧電体回折格子それぞれは、
    　第１の透明電極と、
    　前記第１の透明電極上に形成された透明圧電体膜と、
    　前記透明圧電体膜上に形成された第２の透明電極とを有し、
    　前記第１の透明電極と前記第２の透明電極とに電圧を印加して前記透明圧電体膜を曲げることで、前記透明圧電体膜の表面に凹凸を形成し、前記凹凸を形成した前記透明圧電体膜によって前記透過させた光の干渉色を変化させることを特徴とする表示装置。     A display device in which a plurality of pixels are arranged in a matrix on a light source,
    The pixel is
    A first piezoelectric diffraction grating formed on a red color filter and transmitting light emitted from the light source through the red color filter;
    A second piezoelectric diffraction grating formed on the green color filter and transmitting the light emitted from the light source through the green color filter;
    A third piezoelectric diffraction grating formed on a blue color filter and transmitting light emitted from the light source through the blue color filter;
    Each of the first to third piezoelectric diffraction gratings is
    A first transparent electrode;
    A transparent piezoelectric film formed on the first transparent electrode;
    A second transparent electrode formed on the transparent piezoelectric film,
    By applying a voltage to the first transparent electrode and the second transparent electrode to bend the transparent piezoelectric film, irregularities are formed on the surface of the transparent piezoelectric film, and the transparent having the irregularities formed thereon A display device, wherein an interference color of the transmitted light is changed by a piezoelectric film.
  10. 　請求項９において、
    　前記第１の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記赤色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であり、
    　前記第２の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記緑色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であり、
    　前記第３の圧電体回折格子の前記凹凸の最大段差は、前記青色カラーフィルタを通した光の波長の１／４以下であることを特徴とする表示装置。     In claim 9,
    The maximum step of the unevenness of the first piezoelectric diffraction grating is ¼ or less of the wavelength of light that has passed through the red color filter,
    The maximum step of the unevenness of the second piezoelectric diffraction grating is ¼ or less of the wavelength of light that has passed through the green color filter,
    The display device according to claim 3, wherein a maximum step of the unevenness of the third piezoelectric diffraction grating is ¼ or less of a wavelength of light that has passed through the blue color filter.
  11. 　請求項１０において、
    　前記第２の透明電極は前記透明圧電体膜上にストライプ状に複数配置されていることを特徴とする表示装置。     In claim 10,
    A plurality of the second transparent electrodes are arranged in stripes on the transparent piezoelectric film.
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