WO2011154461A2 - Verfahren und vorrichtung zur lasermaterialbearbeitung eines werkstücks - Google Patents

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Tobias Kaiser
Nicolai Speker
Tobias HÄCKER
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Definitions

  • the present invention relates to a method for laser material processing of a workpiece, in particular for laser cutting or laser welding, wherein at least a part of the workpiece is melted and / or vaporized by means of a laser beam and forms an irradiation front by adding a relative movement between the laser beam and the workpiece.
  • laser beam sources are used, depending on the application and the availability of the system. For example, for laser C0 2 laser used with a laser wavelength of about 10 pm, with solid-state lasers with a laser wavelength in the range of 1 pm especially in laser fusion cutting due to high feed increases and energy efficiency increasingly important.
  • WO 2010/016028 A1 proposes to use azimuthally polarized radiation for laser cutting. By adjusting the polarization, the absorption at the irradiation front increases.
  • the absorption characteristic is ultimately adapted to the irradiation front via a reduction of the local angles of incidence in the focused laser beam. This has the consequence that the absorption is shifted to higher values, which is known to result in higher process speeds.
  • the reduced angular dependence of the absorption which is likewise proposed for increasing the absorption by reducing the local angle of incidence, does not increase the processing quality.
  • the reduced angle dependence with a reduced angle of incidence on the wave generation and its amplification on the irradiation front and thus on the quality of the cut has a particularly disadvantageous effect.
  • the temperature distribution over the entire irradiation front which is also to be taken into account, as well as the resulting melt flows that run azimuthally around the laser beam are completely disregarded.
  • the surface structure of the irradiation front is set as a function of a desired processing result.
  • the surface structure of the irradiation front can be adjusted, for example, by a suitable choice of beam properties of the laser beam, in particular of polarization and / or beam profile.
  • the gradient of the absorbed intensity in the region of the angle of incidence by 90 ° is preferably influenced by the polarization of the laser beam.
  • the temperature distribution on the irradiation front and thus the surface structure of the irradiation front can be influenced.
  • the beam properties of the laser beam are adjusted in particular such that they at the irradiation front in a substantially adjusted gradient of the absorbed intensity at angles of incidence in the range of 90 ° and / or in a uniform temperature distribution over the range of the irradiation front having material thickness result.
  • the formation of the wave-shaped irradiation front ie the surface structure of the irradiation front, is attenuated or reduced in its surface development in the laser cutting process, and the melt at the irradiation front shows comparatively constant conditions over the irradiation front having material thickness.
  • the gradient of the absorbed intensity in the region of the angle of incidence must be adjusted by 90 ° or at least adjusted to similar ratios as in the case of circularly polarized laser radiation at ⁇ wavelength.
  • the stable process conditions achieved thereby reduce the cut edge roughness, the roughness and burr formation in the case of laser cutting processes, in which case preferably the gradient of the absorbed intensity in the region of the angle of incidence is maximized by 90 °.
  • the absorbed intensity is preferably adjusted by the formation of the wavy irradiation front, so by the surface structure of the irradiation front, that the formation of spatters, which adversely affect the seam quality in the form of adhesions on the sheet metal top and / or bottom , mainly reduced or even avoided.
  • the gradient of the absorbed intensity in the region of the angle of incidence by 90 ° is preferably minimized.
  • the invention is not limited to a range of the angle of incidence on the irradiation front by 90 °, but rather extends to an incidence angle I Suite, which has a correspondingly adapted gradient characteristic of the absorbed intensity. In the field of laser cutting by means of 1 ⁇ radiation, this is primarily the range of the angle of incidence greater than 80 °, in particular greater than 84 °.
  • the absorbed intensity in the working range at an angle of incidence in the range of 90 ° but also at different Einstrahlwinkeln, for example, in stinging or slow-moving processes, usually starting from 90 ° in a range up to about 60 ° or 120 °, comparatively process-stabilizing at a relatively high level (high level: 1 pm vs. 10 pm).
  • high level: 1 pm vs. 10 pm high level: 1 pm vs. 10 pm
  • the radiation due to the low gradient is preferably absorbed on the laser beam facing shaft side and thus at smaller angles of incidence.
  • the waves are amplified, wherein the resulting vapor pulse additionally presses the waves in the beam propagation direction and azimuthally around the laser beam.
  • the resulting locally strongly varying melt discharge leads to the already described Rieftechnik and burr formation or spattering.
  • the polarization is adjusted in accordance with the invention so that the Fresnel absorption characteristic or preferably the absorbed intensity (corresponds to the Fresnel absorption * cos (angle of incidence)) of the 1 ⁇ m radiation of the Characteristic of 0 pm radiation is adjusted to achieve a comparable damping effect.
  • the setting of the desired polarization in this context preferably takes place via the conversion of the statistical polarization into radial polarization of the laser beam in the machining head of a corresponding laser material processing device.
  • the radial polarization is generated in the resonator without significant power loss (as in the conversion in the processing head) and guided to the processing head or to the processing point via polarization-maintaining beam guides, such as mirror-based beam guides or optical transport fibers designed for this purpose.
  • polarization-maintaining beam guides such as mirror-based beam guides or optical transport fibers designed for this purpose.
  • Cutting gas can be influenced in the desired manner. By choosing the cutting gas and / or a cutting gas mixture, it is thereby possible, alternatively or in addition to the polarization, to set the desired process-stabilizing absorption characteristic at angles of incidence close to 90 °.
  • a reduction or further reduction of the wave formation and / or avoidance of unwanted evaporation resulting in a negative azimuthal melt flow around the laser beam can be achieved by using an adapted beam profile.
  • the temperature input via the irradiation front is regulated in such a way that as close as possible to the material thickness in the beam propagation direction has the irradiation front set constant properties of the melt.
  • the (negative) slope of the flanks of intensity maxima to minima is adjusted in accordance with the material thickness or the material depth to be processed (and the material itself to be processed).
  • the invention also relates to a method for laser cutting a workpiece, wherein at least a portion of the workpiece is melted and / or vaporized by means of a laser beam and forms a cutting front on the workpiece by adding a relative movement between the laser beam and the workpiece, wherein the laser beam by at least two radially polarized Partial beams is formed, which are offset from one another in the feed direction of the laser beam.
  • the two radially polarized partial beams offset in the feed direction ensure that the associated E vectors also impinge parallel to the plane of incidence in the lower sheet metal area and are thereby absorbed in the best possible way.
  • the two radially polarized Partial beams can be made by two separate laser beams or by a beam-shaped laser beam with two in the feed direction of the laser beam
  • the invention also relates to a method for laser cutting a workpiece, wherein at least a part of the workpiece is melted and / or vaporized by means of a laser beam and forms a cutting front on the workpiece by adding a relative movement between the laser beam and the workpiece, wherein the laser beam by several in the feed direction
  • the beam strip extending the laser beam is formed in each case with a different linear polarization direction and wherein, starting from the laser beam longitudinal center plane extending in the feed direction, the angles respectively formed between the linear polarization directions and the laser beam longitudinal center plane increase towards the outer beam strips.
  • the linear polarization direction of the beam strips runs in each case parallel to a normal of the respective cutting front leading contour.
  • the laser radiation impinges on the entire cutting front and in each workpiece plane P-polarized, resulting in a maximum Fresnel absorption for all angles of incidence. Since the stripe polarization extends the effective depth over the entire workpiece thickness, there is no more edge entry, and the laser power can be optimally implemented in advance. The vertical cutting edges improve the quality of cut. In addition, the reduced reflected power reduces burr and surface roughness.
  • the laser beam has a wavelength in the range of about 500 nm to about 5 pm, in particular in the range of about 1 pm, and is generated by means of a solid-state laser, such as a rod, disc, fiber or diode laser ,
  • a solid-state laser such as a rod, disc, fiber or diode laser
  • the preferred wavelength range also extends to radiation up to about 10 ⁇ m (10.6 ⁇ m), as provided by a CO2 laser.
  • the invention also relates to a device for laser cutting a workpiece by means of two radially polarized partial beams and / or a strip-polarized laser beam.
  • FIGS. 1 a, 1 b the wavy irradiation fronts of a workpiece in conventional laser cutting with a laser wavelength of 10.6 pm (FIG. 1 a) and 1 pm (FIG. 1 b), in each case over the material thickness of the workpiece;
  • FIG. 2 shows the relationship between polarization-dependent absorbed intensity (Fresnel absorption * cos (angle of incidence)) and angle of incidence ⁇ at laser wavelengths of 10.6 pm (circularly polarized and 1 ⁇ m (statistically polarized, P-polarized and S-polarized);
  • FIGS. 3a, 3b the laser beam with respect to the irradiation front radial
  • FIG. 5 shows the cutting front of a workpiece during laser cutting with a radially polarized laser beam in a longitudinal cross section
  • FIGS. FIGS. 6a-6c show the cutting front of the workpiece in three different workpiece planes corresponding to A-C in FIG. 5;
  • FIGS. 7a-7c the cutting front of a workpiece during laser cutting with two radially polarized partial beams, the parallel to each other 7a), are tilted towards each other (Fig. 7b) or formed by a beam-shaped laser beam (Fig. 7c);
  • a part of the workpiece 2 is melted and / or vaporized during laser cutting by means of a laser beam 1, wherein then by a relative movement (cutting direction v) between the laser beam 1 and the workpiece 2 an irradiation front over the material thickness of the workpiece. 2 formed.
  • This irradiation front is denoted by 3 and lies on the melt 4.
  • the laser beam 1 is aligned with the workpiece surface 2a facing it at an angle of incidence in the range of approximately 70 ° to 110 °, in particular nearly perpendicular.
  • Fig. 1a shows a conventional laser cutting process using a circularly polarized laser beam 1 having a wavelength of 10.6 ⁇ m
  • Fig. 1b shows a conventional laser cutting process using a statistically polarized laser beam 1 having a wavelength of about 1 ⁇ m.
  • the melt 4 with the irradiation front 3 forms a wavy surface structure, which is significantly more pronounced when laser cutting at 1 pm than at 10.6 pm.
  • the laser beam 1 impinges on the wavy melt 4 locally with approximately the same angles of incidence .alpha.-1, cc 2 (FIG. 2 a ).
  • FIG. 2 a shows a conventional laser cutting process using a circularly polarized laser beam 1 having a wavelength of 10.6 ⁇ m
  • Fig. 1b shows a conventional laser cutting process using a statistically polarized laser beam 1 having a wavelength of about 1 ⁇ m.
  • the melt 4 with the irradiation front 3 forms a wavy surface structure, which is significantly more
  • the laser beam 1 hits locally ⁇ with different angles of incidence, ⁇ 2 ( ⁇ ⁇ 2) to the wave- Mige melt 4, so that sets in the case of a low angle of incidence cti on the laser beam 1 facing wave portions of the melt 4, ie on the laser beam 1 facing shaft side 5, a high absorbed intensity.
  • the shaft portions of the melt 4 extending approximately in the direction of the laser beam 1 result in larger angles of incidence a 2 , which are associated with a lower absorbed intensity.
  • the waves of the melt 4 are intensified and the waves are additionally pressed downwards and azimuthally around the laser beam 1 by the steam pulse. This effect produces a temporally and locally irregular melt discharge 6 in front of and behind the laser beam 1, which consequently results in a high degree of roughness and burr formation on the cut workpiece 2, in particular with increasing material thickness.
  • the laser beam 1 is provided with the desired polarization by means of a suitable polarization device, for example a segmented polarizing plane optic in the machining head.
  • FIG. 3 a shows the laser beam 1 with a radial polarization with respect to the irradiation front 3, i. with P-polarization 23, and Fig. 3b shows the laser beam 1 with respect to the irradiation front 3 azimuthal polarization, i. with S-polarization 24.
  • a laser beam 1 with the spatial beam profile 40 shown in FIG. 4 is used alternatively or additionally to the polarization adjustment of the required coupling-in characteristic.
  • which has an intensity maximum 41 in the impact point (irradiation front edge) 3a at the workpiece surface 2a facing the incident laser beam 1 and falling intensity along the irradiation front 3.
  • the intensity drops to its minimum 42 at least until reaching the workpiece bottom 2b at the point (front edge of the beam) 3b, the beam radius r detecting at least the front 3 of the irradiation.
  • the desired absorption characteristic in particular the gradient of the absorbed intensity, can be used Incidence angles ⁇ near 90 °, are also adapted to the optical properties of a cutting gas or a cutting gas mixture.
  • FIG 5 shows the oblique cutting front 50 of a workpiece 51 during laser cutting with a radially polarized laser beam 52 which impinges perpendicularly on the workpiece 51 and is moved in the feed direction v over the workpiece 51.
  • the cutting front 50 has approximately the same semicircular cutting front contour due to the circular laser beam 52 in each sectional plane perpendicular to the laser beam axis S, wherein the individual
  • Cutting front contour coincides with the laser beam axis S on the workpiece upper side 53 (workpiece plane A), and the deeper the laser beam 52 enters the workpiece 51 (workpiece planes B, C), the farther away it moves
  • the E-vectors 54 of the radial polarization always oscillate parallel to the plane of incidence of the respective one
  • FIGS. FIGS. 7a-7c show the oblique cutting front 70 of a workpiece 71 during laser cutting with one of two radially polarized partial beams 72a, 72b Laser beam 72 (eg ⁇ ⁇ laser radiation), which is moved in the feed direction v over the workpiece 51.
  • the two partial beams 72a, 72b are offset relative to one another in the feed direction v, the partial beam 72a leading in the feed direction v perpendicularly impinging on the workpiece upper side 73 and preferably having a higher power density than the trailing partial beam 72b.
  • the trailing partial beam 72b runs parallel to the leading partial beam 72a and thus likewise strikes the workpiece top side 73 perpendicularly.
  • the trailing partial beam 72b is tilted to the leading partial beam 72a, preferably parallel or at least substantially parallel to the oblique cutting front 70.
  • the two partial beams 72a, 72b are offset by a single laser beam 72 with two mutually offset in the feed direction v Intensity maxima formed.
  • the E-vectors 74a of the radial polarization of the leading partial beam 72a always oscillate parallel to the plane of incidence spanned by the respective normal vector n of the semicircular cutting front contour and the beam axis Sa of the advancing partial beam 72a is, and are thus absorbed as possible.
  • the E vectors 74b of the radial polarization of the trailing component beam 72b always oscillate parallel to the plane of incidence spanned by the respective normal vector n of the semicircular cutting front contour and the beam axis Sb of the trailing component beam 72b , and are thus absorbed in the best possible way.
  • the trailing partial jet 72b also leads to a better absorption on the underside of the workpiece (workpiece plane C) compared to FIG. 6c.
  • Sub-beams 72a, 72b thus ensure that the associated E-vectors 74a, 74b also impinge on the plane of incidence in the central and lower sheet-metal area and are thereby absorbed in the best possible way. As a result, the depth of action of the radial
  • Polarization can be significantly increased, resulting in a more constant energy input and thus parallel cutting gap 75, ie in a reduced cutting edge slope.
  • the improved gas coupling due to the wider kerf at least in the middle and lower sheet metal area and the increased absorption lead to an increase in the feed rate.
  • the radial polarization of the tilted trailing partial beam 72b over the entire cutting front 70 acts approximately as P polarization.
  • the trailing partial beam 72b advantageously impinges on the oblique cutting front 70 at the Brewster angle, as a result of which maximum absorption is achieved in the lower workpiece area and the kerf gap 75 is widened.
  • the in Fign. 7a, 7b, two radially polarized sub-beams 72a, 72b can be generated from a single radially polarized laser beam, for example by means of a beam splitter, such as a beam splitter. a partially projecting into the laser beam wedge plate.
  • a beam splitter such as a beam splitter. a partially projecting into the laser beam wedge plate.
  • the beam profile with two intensity maxima shown in Fig. 7c can be generated or formed from an already radially polarized laser beam by means of an imaging optical system (eg diffractive optics).
  • the beam-shaping optical element can generate the radial polarization itself.
  • FIG. 9 shows schematically an associated laser cutting device 90 with a laser generator 91 for generating a particularly already radially polarized laser beam 72 and with a device 92 for generating the two radially polarized partial beams 72a, 72b from the laser beam 72.
  • the device 91 may, for example be a beam splitter or a beam-shaping optics.
  • FIGS. Figures 10a-10c show the semicircular cutting front 100 of the workpiece
  • Beams are formed by using a suitably adapted strip polarizer.
  • the laser beam 102 is in the feed direction v of the laser beam by a plurality (here only by way of example seven) in the feed direction
  • Polarization direction (polarization vector) 104r104 7 formed. Starting from the laser beam longitudinal center plane running in the feed direction v (strip center plane) 105 take the formed between the linear polarization directions 104-1-1047 and the laser beam longitudinal center plane 105 respectively
  • Blasting strip 103-1-103 7 is each chosen so that they parallel to a
  • incident laser beam 102 swing over the entire workpiece thickness almost parallel to the respective plane of incidence and thus absorbs the best possible
  • Strip polarization extends the depth of action over the entire workpiece thickness, there is no more edge entry, and the laser power can be optimally implemented in advance.
  • the vertical cutting edges improve the quality of cut.
  • the reduced reflected power reduces burr and surface roughness.
  • the number of beam strips 103 1 -103 7 and their width can be varied as desired, with at least two beam strips are necessary.
  • the strips are not necessarily formed parallel, but may for example also be wedge-shaped.
  • Fig. 11 shows schematically an associated laser cutting device 110 with a laser generator 111 for generating a laser beam 112 and with a
  • Strip polarizer 113 for generating the laser beam 102 with its linear polarized beam strip 103i-103 7 from the laser beam 1 12.
  • Strip polarizer 13 in the form described is direction-dependent, ie, the strip polariser is to be aligned with the feed direction v so that the E-vectors 104i-104 7 oscillate parallel to the plane of incidence.
  • the strip polariser is to be aligned with the feed direction v so that the E-vectors 104i-104 7 oscillate parallel to the plane of incidence.
  • the principle of the rotatable polarization converter 1 14 is not for use in connection with a (also rotatable) strip polarizer 13
  • the linear polarization of the incident laser beam 1 12 can both
  • resonatorintern ie in the laser generator 11 1, as well as a conversion optics (not shown) generated and free jet propagation or via a
  • Strip polarizer 3 are supplied.
  • the described optical components can be designed both transmissive and reflective.
  • the St Shapepolarisator 1 13 is not necessarily immediately before focusing, here in front of a focusing lens 115, to arrange, but can also be elsewhere in the beam guide or in the laser generator 1 1 1, are provided.

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks (2), insbesondere zum Laserschneiden oder Laserschweißen, wobei mittels eines Laserstrahls (1) zumindest ein Teil des Werkstücks (2) aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl (1) und Werkstück (2) eine Bestrahlfront (3) ausbildet, wird erfindungsgemäß die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) in Abhängigkeit eines gewünschten Bearbeitungsergebnisses eingestellt. Die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) kann beispielsweise durch geeignete Wahl von Strahleigenschaften des Laserstrahls (1), insbesondere von Polarisation und/oder Strahlprofil, eingestellt werden.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks, insbesondere zum Laserschneiden oder Laserschweißen, wobei mittels eines Laserstrahls zumindest ein Teil des Werkstücks aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück eine Bestrahlfront ausbildet.
In der Lasermaterialbearbeitung finden je nach Applikation und Anlagenverfügbarkeit unterschiedliche Laserstrahlquellen Verwendung. Beispielsweise wurden für Laser- schneidarbeiten bevorzugt C02-Laser mit einer Laserwellenlänge von ca. 10 pm eingesetzt, wobei Festkörperlaser mit einer Laserwellenlänge im Bereich von 1 pm gerade beim Laserschmelzschneiden aufgrund hoher Vorschubsteigerungen und Energieeffizienz zunehmend an Bedeutung gewinnen.
Zur Erhöhung der Effizienz des eingesetzten Verfahrens wird häufig versucht, die Energieeinkopplung des Laserstrahls in das Werkstück zu maximieren. Beispielsweise wird in der WO 2010/016028 A1 hierzu vorgeschlagen, für das Laserschneiden azimutal polarisierte Strahlung zu verwenden. Durch die Anpassung der Polarisation erhöht sich die Absorption an der Bestrahlfront.
Im Vergleich zur Verwendung einer Laserwellenlänge von ca. 10 pm (CO2-Laser) weisen die Schneidergebnisse bei 1 pm jedoch eine verhältnismäßig hohe Schnittkantenrauhigkeit, Riefigkeit und Gratbildung auf. Mit zunehmender Blechdicke ver- stärken sich diese Effekte. Es ist zwischenzeitlich bekannt geworden, dass sich beim Laserschneiden, aber auch beim Laserschweißen, mit einer Wellenlänge im Bereich von 1 pm mit statistischer Polarisation eine besonders wellenförmige Bestrahlfront ausbildet. Hierdurch ergeben sich auf der Bestrahlfront unterschiedliche Einfallswinkel der Laserstrahlung. Da die Fresnel-Absorption der Laserstrahlung aber insbe- sondere auch winkelabhängig ist, resultieren die unterschiedlichen Einfallswinkel an lokalen Störungen an der Bestrahlfront wie Wellen in einem lokal ungünstigen Fres- nel-Absorptionsverhalten, das Störungen eher begünstigt als dämpft. Dieser Effekt kann direkt mit der vergleichsweise schlechteren Schnittkantenqualität in Verbindung gebracht werden.
In der DE 10 2007 024 700 A1 wird vorgeschlagen, die Laserstrahlung derart zu beeinflussen, dass die Laserstrahlung mit vergleichsweise kleinen Einfallswinkeln, beispielsweise Einfallswinkeln kleiner 80° für die Lasermaterialbearbeitung von Stahl bei einer Wellenlänge von 1 pm, auf die Bestrahlfront auftrifft. Neben dem Erreichen des Maximums der Fresnel-Absorption führt die Wahl dieser Eigenschaften der Laserstrahlung auch zu einem geringeren Gradienten der Fresnel-Absorption, so dass hierdurch bedingte oder verstärkte Prozessinstabilitäten vermieden oder zumindest reduziert werden sollen. Entsprechend kleine Einfallswinkel werden dabei durch die Einbringung künstlicher Abbildungsfehler eingestellt, die die Divergenzwinkel des La- serstrahls gegenüber den durch Abbildungsfehler von Standardoptiken hervorgerufenen Divergenzwinkeln noch weiter vergrößern.
Durch diese Maßnahme wird die Absorptionscharakteristik letztlich über eine Verrin- gerung der lokalen Einfallswinkel im fokussierten Laserstrahl an die Bestrahlfront an- gepasst. Dies hat zur Folge, dass die Absorption zu höheren Werten verschoben wird, woraus bekanntermaßen höhere Prozessgeschwindigkeiten resultieren. Nachteilig dabei ist jedoch, dass die bei der Erhöhung der Absorption durch Verringerung des lokalen Einfallswinkels ebenfalls vorgeschlagene reduzierte Winkelabhängigkeit der Absorption nicht die Bearbeitungsqualität erhöht.
Besonders nachteilig wirkt sich demnach die reduzierte Winkelabhängigkeit bei verringertem Einfallswinkel auf die Wellenerzeugung und deren Verstärkung auf der Bestrahlfront und damit auf die Schnittqualität aus. Zudem wird bei der Betrachtung der wellenförmigen Bestrahlfront durch den Stand der Technik die ebenfalls zu berücksichtigende Temperaturverteilung über die gesamte Bestrahlfront sowie die resultierenden azimutal um den Laserstrahl verlaufenden Schmelzströmungen völlig außer Acht gelassen.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bei einem Verfahren der eingangs genannten Art die Wellenbildung auf der Bestrahlfront zu reduzieren sowie um den Laserstrahl verlaufende störende Schmelzströmungen, verursacht durch lokalen und/oder den insgesamt über den Bereich der die Bestrahlfront aufweisenden Materialdicke herrschenden Verdampfungsdruck der Schmelze, zu minimieren und so die Lasermaterialbearbeitungsqualität, insbesondere die Schnittkanten- und/oder Schweißnahtqualität, zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront in Abhängigkeit eines gewünschten Bearbeitungsergebnisses ein- gestellt wird. Die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront kann beispielsweise durch geeignete Wahl von Strahleigenschaften des Laserstrahls, insbesondere von Polarisation und/oder Strahlprofil, eingestellt werden. Bevorzugt wird dabei über die Polarisation des Laserstrahls der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels um 90° beeinflusst. Alternativ oder zusätzlich kann über das Strahlprofil des Laserstrahls die Temperaturverteilung auf der Bestrahlfront und damit die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront beeinflusst werden.
Mit anderen Worten werden die Strahleigenschaften des Laserstrahls, insbesondere seine Polarisation und/oder sein Strahlprofil, insbesondere derart eingestellt, dass diese an der Bestrahlfront in einem im Wesentlichen angepassten Gradienten der absorbierten Intensität bei Einfallswinkeln im Bereich um 90° und/oder in einer gleichmäßigen Temperaturverteilung über den Bereich der die Bestrahlfront aufweisenden Materialdicke resultieren.
Insbesondere ist erkannt worden, dass die im Rahmen der Erhöhung der Bearbeitungseffizienz betrachtete Fresnel-Absorption (Absorptionsgrad) nicht die für die Bearbeitungsqualität im Sinne der Erfindung als Bezug heranzuziehen ist, sondern vielmehr die tatsächlich prozessrelevante absorbierte Intensität (= Fresnel- Absorption * cos Einfallswinkel).
Es wird also angestrebt, den thermischen Energieeintrag bzw. die thermische Energieverteilung lokal auf der Bestrahlfront und/oder über den Bereich der die Bestrahlfront aufweisenden Materialdicke (lokal vs. global) auf einem im Wesentlichen homo- genen Niveau zu halten.
Durch die erfindungsgemäße, im Wesentlichen angepasste absorbierte Intensität und/oder Temperaturverteilung wird, wie Versuche gezeigt haben, die Ausbildung der wellenförmigen Bestrahlfront, also die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront, beim Laserschneidverfahren gedämpft bzw. in ihrer Oberflächenausprägung reduziert, und die Schmelze an der Bestrahlfront zeigt vergleichsweise konstante Verhältnisse über die die Bestrahlfront aufweisende Materialdicke. Es wurde erfindungsgemäß erkannt, dass dazu der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels um 90° angepasst werden oder zumindest auf ähnliche Verhältnisse wie bei zirkulär polarisierter Laserstrahlung bei ΙΟμιτι-Wellenlänge eingestellt werden muss. Die dadurch erzielten stabilen Prozessbedingungen vermindern im Falle von Laserschneidverfahren die Schnittkantenrauhigkeit, die Riefigkeit und Gratbildung, wobei in diesem Fall vorzugsweise der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels um 90° maximiert wird. Im Falle von Laserschweißverfahren wird durch die Ausbildung der wellenförmigen Bestrahlfront, also durch die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront, die absorbierte Intensität bevorzugt derart angepasst, dass die Bildung von Spritzern, die in Form von Anhaftungen auf der Blechober- und/oder -Unterseite die Nahtqualität nachteilig beeinflussen, vornehmlich reduziert oder gar vermieden wird. Hierzu wird der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels um 90° vorzugsweise minimiert. Die Erfindung ist dabei nicht auf einen Bereich des Einfallswinkels auf die Bestrahlfront um 90° beschränkt, sondern erstreckt sich vielmehr auf einen Einfallswinke Ibereich, der eine entsprechend angepasste Gradientencharakteristik der absorbierten Intensität aufweist. Im Bereich des Laserschneidens mittels 1 μιη-Strahlung ist dies vornehmlich der Bereich des Einfallswinkels größer 80°, insbesondere größer 84°.
Die Einstellung einer im Wesentlichen, im Falle des Laserschneidens vorzugsweise maximierten und im Falle des Laserschweißen vorzugsweise minimierten Gradienten der absorbierten Intensität bei Einfallswinkeln im Bereich um 90°, erfolgt bevorzugt über eine gezielte Einstellung der Polarisation, insbesondere über die Einstellung a- zimutaler und/oder radialer Polarisation. Idealerweise sollte die Laserstrahlung zum Laserschneiden daher einen möglichst hohen Anteil radialer Polarisation aufweisen, der zumindest über den Anteil radialer Polarisation bei statistischer Polarisation hinausgeht, insbesondere ist eine rein radiale oder nahezu rein radiale Polarisation besonders bevorzugt.
Durch die gezielte Einstellung der Polarisation kann die absorbierte Intensität im Arbeitsbereich bei einem Einstrahlwinkel im Bereich von 90°, aber auch bei abweichenden Einstrahlwinkeln, beispielsweise bei stechend oder schleppend arbeitenden Verfahren, die üblicherweise von 90° ausgehend in einem Bereich bis etwa 60° bzw. 120° arbeiten, vergleichsweise prozessstabilisierend auf einem relativ hohen Niveau (hohes Niveau: 1 pm vs. 10 pm) gehalten werden. Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass die Wellen der Schmelze auf der Bestrahlfront bei einer Laserstrahlung mit einer Wellenlänge im Bereich von 10 pm, bei der die Strahlung zirkulär polarisiert auf das Werkstück trifft, gedämpft werden, da die Strahlung bevorzugt bei großen Ein- fallswinkeln (d.h. nahe 90° Einfallswinkel) mit hohem Gradient absorbiert wird. Bei Einsatz einer Laserstrahlung mit einer Wellenlänge im Bereich von 1 μηι mit einer (heute verwendeten) statistischen Polarisation wird die Strahlung aufgrund des geringen Gradienten bevorzugt auf der dem Laserstrahl zugewandten Wellenseite und somit unter kleineren Einfallswinkeln absorbiert. Hierdurch werden die Wellen verstärkt, wobei der entstehende Dampfimpuls die Wellen zusätzlich in Strahlausbreitungsrichtung und azimutal um den Laserstrahl drückt. Der daraus resultierende lokal stark variierende Schmelzaustrieb führt zu der bereits beschriebenen Riefigkeit und Gratbildung bzw. Spritzerbildung. Zur Reduzierung oder aber auch Vermeidung die- ses Effekts wird erfindungsgemäß die Polarisation derart eingestellt, dass die Fres- nel-Absorptions-Charakteristik bzw. vorzugsweise die absorbierte Intensität (entspricht der Fresnel-Absorption * cos(Einfallswinkel) ) der 1 pm-Strahlung der Charakteristik der 0 pm-Strahlung angepasst wird, um einen vergleichbaren Dämpfungseffekt zu erzielen.
Die Einstellung der gewünschten Polarisation erfolgt in diesem Zusammenhang bevorzugt über die Umwandlung der statistischen Polarisation in radiale Polarisation des Laserstrahls im Bearbeitungskopf einer entsprechenden Lasermaterialbearbei- tungseinrichtung. In einer besonders bevorzugten alternativen Ausführungsform wird die radiale Polarisation ohne signifikanten Leistungsverlust (wie bei der Umwandlung im Bearbeitungskopf) im Resonator erzeugt und über polarisationserhaltende Strahlführungen, wie bspw. über spiegelbasierte Strahlführungen oder hierfür ausgelegte optische Transportfasern, zum Bearbeitungskopf bzw. zur Bearbeitungsstelle geführt. Femer wurde erfindungsgemäß erkannt, dass die Abhängigkeit der absorbierten Intensität vom Einfallswinkel durch eine Anpassung des Brechungsindizes des
Schneidgases in gewünschter Weise beeinflusst werden kann. Über die Wahl des Schneidgases und/oder einer Schneidgasmischung ist es dadurch möglich alternativ oder zusätzlich zur Polarisation die gewünschte prozessstabilisierende Absorptions- Charakteristik bei Einfallswinkeln nahe 90° einzustellen.
Ferner wird durch die erfindungsgemäß räumlich angepasste Intensitätsverteilung zusätzlich eine durch lokal oder global zu hohe Prozesstemperaturen hervorgerufene lokale Verdampfung unterbunden, die zu einer wie bei der verstärkten Wellenbewe- gung hervorgerufenen, unerwünschten azimutal um den Laserstrahl verlaufenden Schmelzströmung führen kann.
Daher kann alternativ oder auch ergänzend zur gezielten Einstellung der Polarisation eine Reduzierung oder weitere Reduzierung der Wellenbildung und/oder Vermeidung ungewollter Verdampfung mit Folge einer negativen azimutalen Schmelzströmung um den Laserstrahl über die Verwendung eines angepassten Strahlprofils erzielt werden. Durch ein räumliches Strahlprofil mit Intensitätsmaxima im Bereich des äußeren Strahlradius und mit abnehmender Intensität in Richtung Strahlachse, insbe- sondere durch Verwendung eines Ring-Modes, wird der Temperatureintrag über die Bestrahlfront derart reguliert, dass sich über die die Bestrahlfront aufweisende Materialdicke in Strahlausbreitungsrichtung möglichst nahezu konstante Eigenschaften der Schmelze einstellen. Somit wird eine ansonsten in Strahlausbreitungsrichtung zunehmende Temperatur- und daraus folgende Dampfentwicklung mit Dampfdruck- impuls auf die Schmelze, der die Wellenbildung bzw. ungewollte Schmelzströmungen ausbilden oder weiter verstärken und zu einem zu vermeidenden azimutal zur Laserstrahlachse verlaufenden Schmelzfluss führen würde, vermindert.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird die (negative) Steigung der Flanken von Intensitätsmaxima zu -minima gemäß der Materialdicke bzw. der zu bearbeitenden Materialtiefe (und dem zu bearbeitenden Material selbst) angepasst.
Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Laserschneiden eines Werkstücks, wobei mittels eines Laserstrahls zumindest ein Teil des Werkstücks aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück eine Schneidfront am Werkstück ausbildet, wobei der Laserstrahl durch mindestens zwei radial polarisierte Teilstrahlen gebildet ist, welche zueinander in Vorschubrichtung des Laserstrahls versetzt sind. Die beiden in Vorschubrichtung versetzten radial polarisierten Teilstrahlen sorgen dafür, dass die zugehörigen E-Vektoren auch im unteren Blechbereich parallel zur Einfallsebene auftreffen und damit bestmöglich absorbiert werden. Dadurch kann die Wirktiefe der radialen Polarisation deutlich vergrößert werden, was zu einem konstant breiteren und damit parallelen Schnittspalt führt. Die zwei radial polarisierten Teilstrahlen können durch zwei separate Laserstrahlen oder durch einen strahlgeformten Laserstrahl mit zwei in Vorschubrichtung des Laserstrahls
zueinander versetzten Intensitätsmaxima gebildet sein. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Laserschneiden eines Werkstücks, wobei mittels eines Laserstrahls zumindest ein Teil des Werkstücks aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück eine Schneidfront am Werkstück ausbildet, wobei der Laserstrahl durch mehrere sich in Vorschubrichtung des Laserstrahls erstrecken- de Strahlstreifen mit jeweils unterschiedlicher linearer Polarisationsrichtung gebildet ist und wobei ausgehend von der in Vorschubrichtung verlaufenden Laserstrahllängsmittelebene die zwischen den linearen Polarisationsrichtungen und der Laserstrahllängsmittelebene jeweils gebildeten Winkel zu den äußeren Strahlstreifen hin zunehmen. Besonders bevorzugt verläuft die lineare Polarisationsrichtung der Strahl- streifen jeweils parallel zu einer Normalen der jeweiligen Schneidfrontvorderkontur.
Aufgrund der linear polarisierten Strahlstreifen trifft die Laserstrahlung an der gesamten Schneidfront und in jeder Werkstückebene P-polarisiert auf, was für alle Einfallswinkel eine maximale Fresnel-Absorption zur Folge hat. Da sich bei der Streifenpolarisation die Wirktiefe über die gesamte Werkstückdicke erstreckt, kommt es zu keinem Kanteneinlauf mehr, und die Laserleistung kann optimal in Vorschub umgesetzt werden. Durch die senkrechten Schnittkanten wird die Schnittqualität verbessert. Außerdem wird durch die reduzierte reflektierte Leistung die Gratbildung und Oberflächenrauheit verringert.
Vorzugsweise weist der Laserstrahl eine Wellenlänge im Bereich von ca. 500 nm bis ca. 5 pm, insbesondere im Bereich von ca. 1 pm, auf und wird mittels eines Festkörperlasers, wie z.B. eines Stab-, Scheiben-, Faser- oder Diodenlasers, erzeugt. Hinsichtlich der Verwendung mehrerer Teilstrahlen oder aber auch Strahlstreifen erwei- tert sich der bevorzugte Wellenlängenbereich auch auf Strahlung bis zu ca. 10 pm (10,6 pm), wie diese durch einen CO2-Laser bereitgestellt wird. Die Erfindung betrifft schließlich auch eine Vorrichtung zum Laserschneiden eines Werkstücks mittels zweier radial polarisierter Teilstrahlen und/oder eines streifenpolarisierten Laserstrahls. Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung.
Es zeigen:
Fign. 1 a, 1b die wellenförmigen Bestrahlfronten eines Werkstücks beim herkömmlichen Laserschneiden mit einer Laserwellenlänge von 10,6pm (Fig. 1 a) und von 1 pm (Fig. 1 b), jeweils über die Materi- aldicke des Werkstücks;
Fig. 2 den Zusammenhang zwischen polarisationsabhängiger absorbierter Intensität ( Fresnel-Absorption * cos(Einfallswinkela) ) und Einfallswinkel α bei Laserwellenlängen von 10,6pm (zirkulär polarisiert und 1 pm (statistisch polarisiert, P-polarisiert und S- polarisiert);
Fign. 3a, 3b den Laserstrahl mit einer bezogen auf die Bestrahlfront radialen
Polarisation (Fig. 3a) und mit einer bezogen auf die Bestrahlfront azimutalen Polarisation (Fig. 3b);
Fig. 4 das Strahlprofil des Laserstrahls für eine homogene Temperaturverteilung im Verhältnis zur Bestrahlfront;
Fig. 5 die Schneidfront eines Werkstücks beim Laserschneiden mit einem radial polarisierten Laserstrahl in einem Längsquerschnitt;
Fign. 6a-6c die Schneidfront des Werkstücks in drei unterschiedlichen Werkstückebenen entsprechend A-C in Fig. 5;
Fign. 7a-7c die Schneidfront eines Werkstücks beim Laserschneiden mit zwei radial polarisierten Teilstrahlen, die parallel zueinander ver- laufen (Fig. 7a), zueinender verkippt sind (Fig. 7b) oder durch einen strahlgeformten Laserstrahl (Fig. 7c) gebildet sind;
die Schneidfront des Werkstücks in drei unterschiedlichen Werkstückebenen entsprechend A-C in Fig. 7;
schematisch eine Laserschneidvorrichtung zum Erzeugen zweier radial polarisierter Teilstrahlen;
die Schneidfront des Werkstücks beim Laserschneiden mit einem streifenpolarisierten Laserstrahl in drei unterschiedlichen Werkstückebenen entsprechend A-C in Fig. 7;
schematisch eine Laserschneidvorrichtung zum Erzeugen eines streifenpolarisierten Laserstrahls; und
schematisch einen um die Laserstrahlachse drehbaren Streifenpolarisator und einen vorgeordneten, um die Laserstrahlachse drehbaren Polarisationskonverter.
Wie in Fign. 1a, 1 b gezeigt, wird beim Laserschneiden mittels eines Laserstrahls 1 ein Teil des Werkstücks 2 im Arbeitspunkt aufgeschmolzen und/oder verdampft, wobei sich dann durch eine Relativbewegung (Schneidrichtung v) zwischen Laserstrahl 1 und Werkstück 2 eine Bestrahlfront über die Materialdicke des Werkstücks 2 ausbildet. Diese Bestrahlfront ist mit 3 bezeichnet und liegt auf der Schmelze 4. Der Laserstrahl 1 wird auf die ihm zugewandte Werkstückoberfläche 2a in einem Einstrahlwinkel im Bereich von etwa 70° bis 1 10°, insbesondere nahezu senkrecht, ausgerichtet.
Fig. 1 a zeigt einen herkömmlichen Laserschneidprozess unter Verwendung eines zirkulär polarisierten Laserstrahls 1 mit einer Wellenlänge von 10,6 pm, und Fig. 1 b zeigt einen herkömmlichen Laserschneidprozess unter Verwendung eines statistisch polarisierten Laserstrahls 1 mit einer Wellenlänge von ca. 1 pm. Die Schmelze 4 mit der Bestrahlfront 3 bildet eine wellenförmige Oberflächenstruktur aus, die beim Laserschneiden bei 1 pm deutlich ausgeprägter als bei 10,6 pm ist. Wie in Fig. 1a gezeigt, trifft der Laserstrahl 1 lokal mit etwa gleichen Einfallswinkeln α-ι, cc2 (oci « a2) auf die wellenförmige Schmelze 4 auf. Wie in Fig. 1 b gezeigt, trifft hier der Laserstrahl 1 lokal mit unterschiedlichen Einfallswinkeln α-ι, α2 (αι < α2) auf die wellenför- mige Schmelze 4 auf, so dass sich im Falle eines geringen Einfallswinkels cti auf den dem Laserstrahl 1 zugewandten Wellenanteilen der Schmelze 4, also auf der dem Laserstrahl 1 zugewandten Wellenseite 5, eine hohe absorbierte Intensität einstellt. Die annähernd in Richtung des Laserstrahls 1 verlaufenden Wellenanteile der Schmelze 4 resultieren in größeren Einfallswinkeln a2, die mit einer geringeren absorbierten Intensität verbunden sind. Dies führt dazu, dass die Wellen der Schmelze 4 noch verstärkt und durch den Dampfimpuls die Wellen zusätzlich nach unten und azimutal um den Laserstrahl 1 gedrückt werden. Durch diesen Effekt entsteht ein zeitlich und örtlich unregelmäßiger Schmelzaustrieb 6 vor und hinter dem Laserstrahl 1 , der in Konsequenz in einer hohen Riefigkeit und Gratbildung am geschnittenen Werkstück 2, insbesondere mit zunehmender Materialdicke, resultiert.
Die im Gegensatz hierzu relativ steilen Gradienten der absorbierten Intensität bei Einfallswinkeln im Bereich um 90° bei der 10,6 μητι- Laserstrahlung mit entsprechend flacher Wellenstruktur der Schmelze 4 an der Bestrahlfront 3 verursachen, wie in Fig. 1a gezeigt, einen wesentlich regelmäßigeren Schmelzaustrieb 6.
Dieser Effekt wird in Fig. 2 anhand der dargestellten absorbierten Intensität für den Laserstahl 1 , d.h. durch den Zusammenhang zwischen polarisationsabhängiger Ab- sorption und Einfallswinkel α bei unterschiedlichen Wellenlängen, nochmals deutlich. 0,6pm-Laserstrahlung mit zirkularer Polarisation 21 dämpft Wellen der Schmelze 4, da die Laserstrahlung bereits bei großen Einfallswinkeln α in hohem Maße absorbiert wird. pm-Laserstrahlung mit der herkömmlich verwendeten statistischen Polarisation 22 wird bevorzugt auf der dem Laserstrahl 1 zugewandten Wellenseite 5 der Schmelze 4 absorbiert. Im Ergebnis werden bei der pm-Laserstrahlung die Wellen der Schmelze 4 verstärkt und durch den Dampfimpuls diese Wellen zusätzlich nach unten und azimutal um den Laserstrahl 1 gedrückt. Um die Verstärkung der Wellenbildung bei der Ι μιη-Laserstrahlung zu unterbinden und einen vergleichbaren Dämpfungseffekt wie bei der 10,6pm-Laserstrahlung zu erzielen, wird erfindungsgemäß der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels von 90° für das Laserschneiden mit 1 pm-Lasern möglichst ähnlich zu der bekannten Charakteristik bei 10pm eingestellt oder vorzugsweise maximiert. Nach Fig. 2 wird dies erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass bei der 1 m- Laserstrahlung in Schneidrichtung v die reine P-Polarisation (radiale Polarisation) 23 oder eine definierte Mischung aus P-Polarisation 23 und S-Polarisation (azimutale Polarisation) 24 davon zur Einstellung der erforderlichen Einkoppelcharakteristik verwendet werden. Der Laserstrahl 1 wird mittels einer geeigneten Polarisationsvorrichtung, z.B. einer segmentierten polarisierenden Planoptik im Bearbeitungskopf, mit der gewünschten Polarisation versehen.
Fig. 3a zeigt den Laserstrahl 1 mit einer bezogen auf die Bestrahlfront 3 radialen Po- larisation, d.h. mit P-Polarisation 23, und Fig. 3b zeigt den Laserstrahl 1 mit einer bezogen auf die Bestrahlfront 3 azimutalen Polarisation, d.h. mit S-Polarisation 24.
Um die wellenförmige Oberflächenstruktur der Bestrahlfront 3 nicht nur lokal, sondern auch über die die Bestrahlfront 3 aufweisende Materialdicke des Werkstücks 2 zu reduzieren, wird alternativ oder zusätzlich zur Polarisationseinstellung der erforderlichen Einkoppelcharakteristik ein Laserstrahl 1 mit dem in Fig. 4 gezeigten räumlichen Strahlprofil 40 eingesetzt, das ein Intensitätsmaximum 41 im Auftreffpunkt (Bestrahlfrontkante) 3a an der dem einfallenden Laserstrahl 1 zugewandten Werkstückoberfläche 2a und abfallende Intensität entlang der Bestrahlfront 3 aufweist. Die Intensität fällt bis zu ihrem Minimum 42 zumindest bis zum Erreichen der Werkstückunterseite 2b im Punkt (Bestrahlfrontkante) 3b ab, wobei der Strahlradius r zumindest die Bestrahlfront 3 erfasst. Die (negative) Steigung der Flanken von Intensitätsmaximum zu -minimum wird vorzugsweise gemäß der Materialdicke bzw. der zu bearbeitenden Materialtiefe (und dem zu bearbeitenden Material selbst) angepasst. Die gewünschte Intensitätsverteilung lässt sich wahlweise bereits in der Strahlerzeugung einstellen und über spiegelbasierte Strahlführungen oder Faseroptiken zum Bearbeitungsort übertragen. Alternativ kann eine typische Intensitätsverteilung mit Gaussförmiger oder Flat-Top-Intensitätsverteilung über diffraktive, reflektive oder refraktive Optiken oder Transportfasern in Form von Hohlkernfasern oder Multiclad-Fasern ge- neriert werden.
Alternativ oder zusätzlich zu den genannten Maßnahmen kann die gewünschte Absorptionscharakteristik, insbesondere der Gradient der absorbierten Intensität bei Einfallswinkeln α nahe 90°, auch über die optischen Eigenschaften eines Schneidgases oder einer Schneidgasmischung angepasst werden.
Fig. 5 zeigt die schräge Schneidfront 50 eines Werkstücks 51 beim Laserschneiden mit einem radial polarisierten Laserstrahl 52, der senkrecht auf das Werkstück 51 trifft und in Vorschubrichtung v über das Werkstück 51 bewegt wird. Wie in Fign. 6a- 6c gezeigt, weist die Schneidfront 50 dabei aufgrund des kreisrunden Laserstrahls 52 in jeder zur Laserstrahlachse S rechtwinkligen Schnittebene näherungsweise dieselbe halbkreisförmige Schneidfrontkontur auf, wobei die einzelnen
Schneidfrontkonturen aufgrund des Schneidfrontnachlaufs in Vorschubsrichtung v zueinander versetzt sind. Der Kreismittelpunkt M der halbkreisförmigen
Schneidfrontkontur fällt auf der Werkstückoberseite 53 (Werkstückebene A) mit der Laserstrahlachse S zusammen, und je tiefer der Laserstrahl 52 in das Werkstück 51 eintritt (Werkstückebenen B, C), umso weiter entfernen sich aufgrund des
Schneidfrontnachlaufs die Kreismittelpunkte M der halbkreisförmigen
Schneidfrontkonturen von der Laserstrahlachse S.
Wie in Fig. 6a gezeigt, schwingen an der Werkstückoberseite 53 die E-Vektoren 54 der radialen Polarisation stets parallel zur Einfallsebene, die vom jeweiligen
Normalenvektor n der halbkreisförmigen Schneidfrontkontur und der Strahlachse S aufgespannt wird. Somit wirkt die radiale Polarisation an der Werkstückoberseite 53 vollständig als P-Polarisation, was für alle Einfallswinkel eine maximale Fresnel- Absorption zur Folge hat. Je weiter die Kreismittelpunkte M der halbkreisförmigen Schneidfrontkonturen und die Strahlachse S voneinander beabstandet sind (Fign. 6b, 6c), umso mehr wirkt die radiale Polarisation im Mittel mit einem immer größer werdenden Anteil als S-Polarisation. Diese wird bei den beim Laserschneiden auftretenden Einfallswinkeln sehr viel schlechter absorbiert als P-Polarisation. Da die radiale Polarisation nur an der Werkstückoberseite 53 P-polarisiert wirkt, entsteht aufgrund dort erhöhter Absorption ein Schnittspalt 55 mit konischem Kanteneinlauf, welcher beim Laserschneiden unerwünscht ist. Zusätzlich kann nicht das gesamte Leistungspotential in Vorschub umgesetzt werden.
Fign. 7a-7c zeigen die schräge Schneidfront 70 eines Werkstücks 71 beim Laserschneiden mit einem aus zwei radial polarisierten Teilstrahlen 72a, 72b, gebildeten Laserstrahl 72 (z.B. Ι μηι-Laserstrahlung), der in Vorschubrichtung v über das Werkstück 51 bewegt wird. Die beiden Teilstrahlen 72a, 72b sind zueinander in Vorschubrichtung v versetzt, wobei der in Vorschubrichtung v voreilende Teilstrahl 72a senkrecht auf die Werkstückoberseite 73 auftrifft und vorzugsweise eine höhere Leis- tungsdichte als der nacheilende Teilstrahl 72b aufweist. In Fig. 7a verläuft der nacheilende Teilstrahl 72b parallel zum voreilenden Teilstrahl 72a und trifft somit ebenfalls senkrecht auf die Werkstückoberseite 73 auf. In Fig. 7b verläuft der nacheilende Teilstrahl 72b verkippt zum voreilenden Teilstrahl 72a und zwar vorzugsweise parallel oder zumindest nahezu parallel zur schrägen Schneidfront 70. In Fig. 7c sind die beiden Teilstrahlen 72a, 72b durch einen einzigen Laserstrahl 72 mit zwei in Vorschubrichtung v zueinander versetzten Intensitätsmaxima gebildet.
Wie in Fig. 8a gezeigt, schwingen an der Werkstückoberseite 73 (Werkstückebene A) die E-Vektoren 74a der radialen Polarisation des vorlaufenden Teilsstrahls 72a stets parallel zur Einfallsebene, die vom jeweiligen Normalenvektor n der halbkreisförmigen Schneidfrontkontur und der Strahlachse Sa des vorlaufenden Teilsstrahls 72a aufgespannt wird, und werden somit bestmöglich absorbiert.
Wie in Fig. 8b gezeigt, schwingen im mittleren Werkstückbereich (Werkstückebene B) die E-Vektoren 74b der radialen Polarisation des nachlaufenden Teilsstrahls 72b stets parallel zur Einfallsebene, die vom jeweiligen Normalenvektor n der halbkreisförmigen Schneidfrontkontur und der Strahlachse Sb des nachlaufenden Teilsstrahls 72b aufgespannt wird, und werden somit bestmöglich absorbiert.
Der nachlaufende Teilstrahl 72b führt auch zu einer im Vergleich zu Fig. 6c besseren Absorption an der Werkstückunterseite (Werkstückebene C).
Die beiden in Vorschubrichtung v zueinander versetzten radial polarisierten
Teilstrahlen 72a, 72b sorgen also dafür, dass die zugehörigen E-Vektoren 74a, 74b auch im mittleren und unteren Blechbereich parallel zur Einfallsebene auftreffen und damit bestmöglich absorbiert werden. Dadurch kann die Wirktiefe der radialen
Polarisation deutlich vergrößert werden, was in einem konstanteren Energieeintrag und damit parallelen Schnittspalt 75, also in einer reduzierten Schnittkantenschräge, resultiert. Gleichzeitig führen die verbesserte Gaseinkopplung durch den zumindest im mittleren und unteren Blechbereich breiteren Schnittspalt und die erhöhte Absorption zu einer Steigerung der Vorschubgeschwindigkeit. In Fig. 7b wirkt die radiale Polarisation des gekippten nacheilenden Teilstrahls 72b über die gesamte Schneidfront 70 annähernd als P-Polarisation. Der nacheilende Teilstrahl 72b trifft vorteilhaft unter dem Brewsterwinkel auf die schräge Schneidfront 70 auf, wodurch im unteren Werkstückbereich maximale Absorption erreicht und der Schnittspalt 75 aufgeweitet wird.
Die in Fign. 7a, 7b gezeigten zwei radial polarisierten Teilstrahlen 72a, 72b können aus einem einzigen radial polarisierten Laserstrahl erzeugt werden, beispielsweise mittels eines Strahlteilers, wie z.B. einer teilweise in den Laserstrahl hineinragenden Keilplatte.
Das in Fig. 7c gezeigte Strahlprofil mit zwei Intensitätsmaxima kann aus einem bereits radial polarisierten Laserstrahl mittels einer abbildenden Optik (z. B. diffraktive Optik) erzeugt bzw. geformt werden. Alternativ kann das strahlformende optische Element die radiale Polarisation selbst erzeugen.
Fig. 9 zeigt schematisch eine zugehörige Laserschneidvorrichtung 90 mit einem Lasergenerator 91 zum Erzeugen eines insbesondere bereits radial polarisierten Laserstrahls 72 und mit einer Einnchtung 92 zum Erzeugen der beiden radial polarisierten Teilstrahlen 72a, 72b aus dem Laserstrahls 72. Wie oben beschrieben kann die Einrichtung 91 beispielsweise ein Strahlteiler oder eine strahlformende Optik sein.
Fign. 10a-10c zeigen die halbkreisförmige Schneidfront 100 des Werkstücks
101 beim Laserschneiden mit einem streifenpolarisierten kreisrunden Laserstrahl 102 (z.B. Ι μΐΎΐ-Laserstrahlung) in drei unterschiedlichen Werkstückebenen entsprechend A-C in Fig. 7. Statt dem gezeigten kreisrunden Laserstrahl 102 sind beliebige weitere Strahlquerschnitte denkbar, wobei die
Strahlstreifen durch Verwendung eines entsprechend angepassten Streifen- polarisator gebildet werden. Der Laserstrahl 102 ist durch mehrere (hier lediglich beispielhaft sieben) sich in Vorschubrichtung v des Laserstrahls
erstreckende Strahlstreifen 103 1037 mit jeweils unterschiedlicher linearer
Polarisationsrichtung (Polarisationsvektor) 104r1047 gebildet. Ausgehend von der in Vorschubrichtung v verlaufenden Laserstrahllängsmittelebene (Strei- fenmittelebene) 105 nehmen die zwischen den linearen Polarisationsrichtungen 104-1-1047 und der Laserstrahllängsmittelebene 105 jeweils gebildeten
Winkel ß vom mittleren Strahlstreifen 034 zu den beiden äußeren Strahlstreifen 103-1 , 1037 hin zu. Die lineare Polarisationsrichtung 104 1047 in den
Strahlstreifen 103-1-1037 ist jeweils so gewählt, dass sie parallel zu einer
Normalen der Schneidfrontvorderkontur des jeweils zugeordneten Strahlstreifens verläuft. Im Fall des gezeigten kreisrunden Laserstrahls 102 werden die Polarisationsrichtungen 104-1-1047 in den einzelnen Strahlstreifen 103-r
1037 so gewählt, dass sie an der Schneidfrontvorderkontur auf die Strahlmit- telpunktsachse S zeigen. In den einzelnen Strahlstreifen 103i-1037 wird die
Polarisationsrichtung also so gewählt, dass die E-Vektoren 104-1-1047 des
einfallenden Laserstrahls 102 über die gesamte Werkstückdicke nahezu parallel zur jeweiligen Einfallsebene schwingen und damit bestmöglich absorbiert
werden. Mit anderen Worten wird entlang der Schneidfront 100 lokal eine
quasi-radiale Polarisation eingestellt.
Wie in Fign. 10a-10c gezeigt, trifft die Laserstrahlung 102 aufgrund der linear polarisierten Strahlstreifen 103i-1037 an der gesamten Schneidfront 100 und in jeder Werkstückebene P-polarisiert auf, was für alle Einfallswinkel eine maximale Fresnel- Absorption und absorbierte Intensität zur Folge hat. Da sich bei der
Streifenpolarisation die Wirktiefe über die gesamte Werkstückdicke erstreckt, kommt es zu keinem Kanteneinlauf mehr, und die Laserleistung kann optimal in Vorschub umgesetzt werden. Durch die senkrechten Schnittkanten wird die Schnittqualität verbessert. Außerdem wird durch die reduzierte reflektierte Leistung die Gratbildung und Oberflächenrauheit verringert.
Die Zahl der Strahlstreifen 1031-1037 sowie deren Breite können beliebig variiert werden, wobei mindestens zwei Strahlstreifen notwendig sind. Zudem sind die Streifen nicht zwingend parallel ausgebildet, sondern können beispielsweise auch keilförmig sein.
Fig. 11 zeigt schematisch eine zugehörige Laserschneidvorrichtung 110 mit einem Lasergenerator 111 zum Erzeugen eines Laserstrahls 112 und mit einem
Streifenpolarisator 113 zum Erzeugen des Laserstrahls 102 mit seinen linear polarisierten Strahlstreifen 103i-1037 aus dem Laserstrahl 1 12. Der
Streifenpolarisator 1 13 in der beschriebenen Form ist richtungsabhängig, d.h., der Streifenpolarisator ist zur Vorschubrichtung v auszurichten, damit die E-Vektoren 104i-1047 parallel zur Einfallsebene schwingen. Bei einem linear polarsierten
Laserstrahl 112, der auf den Streifenpolarisator 113 trifft, ist dieser ebenfalls richtungsabhängig zu drehen.
Wie in Fig. 12 gezeigt, ist dem um die Laserstrahlachse drehbaren
Streifenpolarisator 113 ein um die Laserstrahlachse drehbarer Polarisationskonverter 114, z.B. in Form eines drehbares λ/2-Plättchens, vorgeordnet, um die lineare Polarisationsrichtung des einfallenden Laserstrahls 1 12 entsprechend zu drehen. Der Drehwinkel beider optischen Komponenten 113, 1 14 ist nicht zwingend gleich vorzusehen. Dazu können diese entweder unabhängig voneinander gedreht werden oder über eine Kopplung mit definierter Übersetzung miteinander verbunden sein.
Das Prinzip des drehbaren Polarisationskonverters 1 14 ist nicht auf die Verwendung in Zusammenhang mit einem (ebenfalls drehbaren) Streifenpolarisator 1 13
beschränkt, sondern ist allgemein auf richtungsabhängige Polarisationsoptiken übertragbar.
Die lineare Polarisation des einfallenden Laserstrahls 1 12 kann sowohl
resonatorintern, also im Lasergenerator 11 1 , als auch über eine Umwandlungsoptik (nicht gezeigt) generiert und über Freistrahlpropagation oder über eine
polarisationserhaltende Faser dem Polarisationskonverter 1 14 oder dem
Streifenpolarisator 3 zugeführt werden.
Die beschriebenen optischen Komponenten können sowohl transmissiv als auch reflektiv ausgeführt sein. Zudem ist der Streifenpolarisator 1 13 nicht zwingend unmittelbar vor der Fokussierung, hier vor einer Fokussierlinse 115, anzuordnen, sondern kann auch an anderer Stelle der Strahlführung oder im Lasergenerator 1 1 1 , vorgesehen werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks (2), insbesondere zum Laserschneiden oder Laserschweißen, wobei mittels eines Laserstrahls (1 ) zumindest ein Teil des Werkstücks (2) aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl (1) und Werkstück (2) eine Bestrahlfront (3) ausbildet,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) in Abhängigkeit eines gewünschten Bearbeitungsergebnisses eingestellt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) durch geeignete Wahl von Strahleigenschaften des Laserstrahls (1 ), insbesondere von Polarisation und/oder Strahlprofil, eingestellt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass über die Polarisation des Laserstrahls (1) der Gradient der absorbierten Intensität im Bereich des Einfallswinkels (cc) um 90° beeinflusst wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass über das Strahlprofil des Laserstrahls (1) die Temperaturverteilung auf der Bestrahlfront (3) und damit die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) beeinflusst wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Laserstrahls (1), insbesondere der ü- berwiegende Teil, radial polarisiert ist und damit der Gradient der absorbierten Intensität für das Laserschneiden vorzugsweise maximiert wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Laserstrahls (1), insbesondere der ü- berwiegende Teil, azimutal polarisiert ist und damit der Gradient der absorbierten Intensität für das Laserschweißen vorzugsweise minimiert wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (1 ) aus einer Mischung aus radialer und azimutaler Polarisation gebildet ist.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (1) ein räumliches Strahlprofil (40) mit Intensi- tätsmaxima (41) im Bereich des äußeren Radius und mit abnehmender Intensität zur Mitte (42) des Strahlprofils (40), insbesondere einen Ringmode, aufweist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlprofil (40) derart eingestellt wird, dass sich ein Intensitätsmaximum (41 ) im Wesentlichen mit der Bestrahlfrontkante (3a) an der dem einfallenden Laserstrahl (1 ) zugewandten Werkstückseite (2a) deckt und sich das Intensitätsminimum (42) im Wesentlichen mit der Bestrahlfrontkante (3b) an der dem einfallenden Laserstrahl (1) abgewandten Werkstückseite (2b) deckt.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlprofil (40) einer Flat-Top-Intensitätsverteilung entspricht, die im Zentrum ein lokales Minimum vorzugsweise in Form eines invertierten Gauss-Profils aufweist.
1 1. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Intensitätsniveau, insbesondere das Intensitätsmaximum (41 ) und Intensitätsminimum (42), auf die Stärke des Werkstücks (2) angepasst und/oder pa- rametrierbar wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlprofildurchmesser, insbesondere die Intensitätsmaxima (41 ) und das Intensitätsminimum (42), auf die Stärke des Werkstücks (2) angepasst und/oder parametrierbar sind.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- zeichnet, dass der Laserstrahl (1) bezogen auf die dem einfallenden Laserstrahl (1) zugewandte Werkstückseite (2a; 73) in einem Einstrahlwinkel im Bereich von etwa 70° bis 1 10°, insbesondere nahezu senkrecht, ausgerichtet wird.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Absorptionscharakteristik, insbesondere der Gradient der absorbierten Intensität bei Einfallswinkeln nahe 90°, über die optischen Eigenschaften des Schneidgases oder einer Schneidgasmischung angepasst und somit die Oberflächenstruktur der Bestrahlfront (3) eingestellt wird.
15. Verfahren zum Laserschneiden eines Werkstücks (71), wobei mittels eines Laserstrahls (72) zumindest ein Teil des Werkstücks (71 ) aufgeschmolzen und/oder verdampft wird und sich durch Hinzunahme einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl (72) und Werkstück (71) eine Schneidfront (70) am Werkstück (71) ausbildet, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Laserstrahl (72) durch mindestens zwei radial polarisierte Teilstrahlen (72a, 72b) gebildet ist, welche zueinander in Vorschubrichtung (v) des La- serstrahls versetzt sind, oder dass der Laserstrahl (102) durch mehrere sich in
Vorschubrichtung (v) des Laserstrahls erstreckende Strahlstreifen (103i-1037) mit jeweils unterschiedlicher linearer Polarisationsrichtung (104-1-1047) gebildet ist, wobei ausgehend von der in Vorschubrichtung (v) verlaufenden Laserstrahllängsmittelebene (105) die zwischen den linearen Polarisationsrichtun- gen (104 1047) und der Laserstrahllängsmittelebene (105) jeweils gebildeten
Winkel (ß) zu den äußeren Strahlstreifen hin zunehmen.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der in Vorschubrichtung (v) des Laserstrahls voreilende Teilstrahl (72a) auf die dem einfallen- den Laserstrahl zugewandte Werkstückseite (73) in einem Einstrahlwinkel im Bereich von etwa 70° bis 1 10°, insbesondere nahezu senkrecht, auftrifft.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass der in Vorschubrichtung (v) des Laserstrahls voreilende Teilstrahl (72a) eine höhere Leistungsdichte als der nacheilende Teilstrahl (72b) aufweist.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der in Vorschubrichtung (v) des Laserstrahls nacheilende Teilstrahl (72b) parallel oder verkippt zum voreilenden Teilstrahl (72a) verläuft.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der nacheilende Teilstrahl (72b) parallel oder zumindest nahezu parallel zur Schneidfront (70) verläuft.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilstrahlen (72a, 72b) durch einen einzigen Laserstrahl mit zwei in Vorschubrichtung (v) des Laserstrahls zueinander versetzten Intensi- tätsmaxima gebildet werden.
21. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Polarisationsrichtung (104-1-1047) der Strahlstreifen (103i-1037) jeweils parallel zu einer Normalen der Schneidfrontvorderkontur des jeweiligen Strahlstreifens (103 1037) verläuft.
22. Verfahren nach Anspruch 15 oder 21 , dadurch gekennzeichnet, dass die linearen Polarisationsrichtungen (104r1047) der Strahlstreifen (103r1037) entsprechend der jeweiligen Vorschubrichtung (v) mitgedreht werden.
23. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (1) eine Wellenlänge im Bereich von ca. 500 nm bis ca. 5 Mm, insbesondere im Bereich von ca. 1 pm, aufweist.
24. Vorrichtung (90; 1 10) zum Laserschneiden eines Werkstücks (71 ; 101), mit einem Lasergenerator (91 ; 101 ) zum Erzeugen eines Laserstrahls (72; 1 12) und mit einer Einrichtung (92; 113) zum Erzeugen von mindestens zwei radial polarisierten Teilstrahlen (72a, 72b) oder eines streifenpolarisierten Laser- Strahls (102) aus dem Laserstrahl (72; 1 12).
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Streifenpolarisator (1 13) um die Laserstrahlachse drehbar gelagert ist und dem Streifenpolarisator (1 13) ein um die Laserstrahlachse drehbar gelagerter Polarisati- onskonverter (1 14) vorgeordnet ist, der die lineare Polarisationsrichtung des auf den Streifenpolarisator (1 13) auftreffenden Laserstrahls (1 12) entsprechend dreht.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018153848A1 (de) 2017-02-21 2018-08-30 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur lasermaterialbearbeitung entlang einer bearbeitungsrichtung und verfahren zur materialbearbeitung mit einem laserstrahl
WO2022122251A1 (de) * 2020-12-09 2022-06-16 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Laserbearbeitung eines materials mittels gradienten-filterelement
DE102021120648A1 (de) 2021-08-09 2023-02-09 Precitec Gmbh & Co. Kg Optimierung des Schneidprozesses beim Laserschneiden eines Werkstücks

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013005136A1 (de) * 2013-03-26 2014-10-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zurn Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung
JP6025917B1 (ja) * 2015-06-10 2016-11-16 株式会社アマダホールディングス レーザ切断方法
DE102018205545A1 (de) 2018-04-12 2019-10-17 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Vorrichtung, Laserbearbeitungsmaschine und Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks
DE102019203350A1 (de) * 2019-03-12 2020-09-17 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Hairpin-Schweißverfahren und -vorrichtung
LT6791B (lt) * 2019-05-15 2020-12-28 Uab "Altechna R&D" Skaidrių medžiagų apdirbimo būdas ir įrenginys
DE102021119750A1 (de) 2021-07-29 2023-02-02 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Verfahren zum Laserschneiden eines Werkstücks, mit über die Dicke des Werkstücks ausgedehntem Intensitätsminimum im Zentrum des Intensitätsprofils des Laserstrahls

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007024700A1 (de) 2007-05-25 2008-12-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Materialbearbeitung mit Laserstrahlung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
WO2010016028A1 (de) 2008-08-08 2010-02-11 Bystronic Laser Ag Verfahren und anordnung zur erzeugung von azimutaler polarisation in einer laserlichtquelle und verwendung dieser anordnung zur lasermaterialbearbeitung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950700146A (ko) * 1992-02-25 1995-01-16 니시무라, 아쯔히꼬 레이저 가공장치(laser processing apparatus)
TW245669B (de) 1993-09-27 1995-04-21 Mitsubishi Electric Machine
DE19535392A1 (de) * 1995-09-23 1997-03-27 Zeiss Carl Fa Radial polarisationsdrehende optische Anordnung und Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage damit
KR100304784B1 (ko) 1998-05-25 2001-09-24 박호군 편광과광띠를이용한다자시청용3차원영상표시장치
JP4659300B2 (ja) * 2000-09-13 2011-03-30 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法
US20060021977A1 (en) * 2004-07-30 2006-02-02 Menegus Harry E Process and apparatus for scoring a brittle material incorporating moving optical assembly
DE102007024701A1 (de) * 2007-05-25 2008-11-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Materialabtragung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102007046074A1 (de) * 2007-09-24 2009-04-09 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Laserbearbeitung
DE102007059987B4 (de) * 2007-12-11 2015-03-05 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum keyhole-freien Laserschmelzschneiden mittels vor- und nachlaufender Laserstrahlen
US8178818B2 (en) 2008-03-31 2012-05-15 Electro Scientific Industries, Inc. Photonic milling using dynamic beam arrays
DE102008053397B4 (de) * 2008-05-20 2012-12-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Schmelzschneiden von Werkstücken mit Laserstrahlung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007024700A1 (de) 2007-05-25 2008-12-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Materialbearbeitung mit Laserstrahlung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
WO2010016028A1 (de) 2008-08-08 2010-02-11 Bystronic Laser Ag Verfahren und anordnung zur erzeugung von azimutaler polarisation in einer laserlichtquelle und verwendung dieser anordnung zur lasermaterialbearbeitung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018153848A1 (de) 2017-02-21 2018-08-30 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur lasermaterialbearbeitung entlang einer bearbeitungsrichtung und verfahren zur materialbearbeitung mit einem laserstrahl
WO2022122251A1 (de) * 2020-12-09 2022-06-16 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Laserbearbeitung eines materials mittels gradienten-filterelement
DE102021120648A1 (de) 2021-08-09 2023-02-09 Precitec Gmbh & Co. Kg Optimierung des Schneidprozesses beim Laserschneiden eines Werkstücks

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Publication number Publication date
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EP2580019A2 (de) 2013-04-17
EP2580019B1 (de) 2017-04-05
KR20130057450A (ko) 2013-05-31
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CN103228400A (zh) 2013-07-31
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WO2011154461A3 (de) 2012-05-03

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