KR950700146A - 레이저 가공장치(laser processing apparatus) - Google Patents

레이저 가공장치(laser processing apparatus)

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KR950700146A
KR950700146A KR1019940702964A KR19940702964A KR950700146A KR 950700146 A KR950700146 A KR 950700146A KR 1019940702964 A KR1019940702964 A KR 1019940702964A KR 19940702964 A KR19940702964 A KR 19940702964A KR 950700146 A KR950700146 A KR 950700146A
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KR
South Korea
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laser
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workpiece
jet
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KR1019940702964A
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알도 비토리오 라 로카
Original Assignee
니시무라, 아쯔히꼬
알테크 에스. 알. 엘.
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Abstract

공작물(15,118,209)의 작업면(13,13a,113,207)위로 빔을 집광하기 위한 집광헤드(12,112,206)및, 보조가스의 제트(18,122,213)를 초음속으로 작업면(13,13a,113,207)에 적어도 인접하도록 향하게 하기 위한 도관(21,120,220)이 마련된 노즐(17)을 포함하며, 특히 절단 및 용접용의 레이저 가공장치(10,110,210)에 관한 것이다. 작업면 (13,13a,113)은 노즐(33a,33b,33c,132)의 하류에 위치한 도관(21,120)의 벽으로 바람직스럽게 덮여있다. 장치의 최적의 작업상태를 확보하기 위하여, 노즐(217)은 집광헤드(206)에 대해 회전할 수 있게 바람직스럽게 지지되어 있으며, 적어도 작업면(207)에서는 도관이 작업경로(T)에 접선으로 유지되도록 제어된다.

Description

레이저 가공장치(LASER PROCESSING APPARATUS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 첫번째 특정 형상에 따른 레이저 절단장치의 제1실시예의 개략적인 사시도-단순화를 위하여 부품들을 제거했음이다. 제2도는 제1도에서의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 횡단면도이다, 제3도는 절단장치의 제2실시예에 대한 단면도이다. 제4도는 이 발명의 제2특정 형상에 따른 레이저 용접장치의 제1실시예의 개략적인 사시도-단순화를 위하여 부품들을 제거했음이다. 제5도는 레이저 용접장치의 제1실시예의 개략적인 단면도이다. 제6도는 제5도의 장치의 변형에 대한 개략적인 단면도이다.

Claims (64)

  1. 적어도 하나의 공작물(15,118,209,291,292)의 작업부위(13,13a,113,207)에 레이저 빔(11,111,205)을 집광하기 위한 집광헤드(12,112,206)와; 상기 작업부위(13,13a,113,207)에 대하여 적어도 근접은 하도록 보조가스의 제트(18,122,213,295)를 제어하는 도관(21, 120, 220)을 포함하는 레어저 가공장치(10,110,201,290)에 있어서, 상기 도관(21,120,220)은 고속 제트를 생산하기 위한 노즐(33a,33b,33c,132, 220a,220b,220c)을 포함하며; 상기 보조가스의 상기 제트(18,122,213,295)가 향하여지는 공작물의 상기 표면이 상기 노즐(33a,33b,33c,132)의 하류에 위치한 상기 도관(21,120)의 벽들에 의해 실제적으로 덮혀진 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  2. 레이저 빔(11)이 공작물(15)의 절단부위(13,13a)로 향하여지는, 레이저 빔(11)에 의해 절단되는 공작물에 레이저 절단가스를 공급하는 방법에 있어서, 가스의 제트(18)가 고체벽에 의해 상기 공작물(15)의 표면위로, 적어도 상기 부위(13,13a)에 인접하도록 유도되고, 그 속도로 상기 절단가스의 제트(18)에 의해 상기 레이저빔(11) 및 상호작용하고 상기 레이저 빔에 의해 액화된 재료와의 상호작용으로 인한 유체-열역학적 효과들을 제어하고, 또한 일정하게 제어된 방식으로 상기 액화재료를 절단면(16)에서 불어내는 상(phase)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 절단가스의 공급방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제트(18)의 속도가 초음속인 것을 특징으로 하는 레이저 절단가스의 공급방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 가스가 산소인 것을 특징으로 하는 철함유 재료의 절단을 위한 레이저 절단가스의 공급방법.
  5. 제2항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이저 빔(11)이 집광헤드(12)에 의하여 상기 공작물(15) 위에 집광되는 레이저 절단가스의 공급방법에 있어서, 상기 가스의 제트(18)는 상기 레이저 빔(11)에 대하여 경사방향으로 상기 절단부위(13,13a)위로 향함으로써 상기 빔(11)에 대하여 상기 공작물(15)의 이동방향에 대해 반대방향으로 향하는 가로축 성분을 제공함을 특징으로 하는 레이저 절단가스의 공급방법.
  6. 제2항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제트(18)가 상기 절단부위(13,13a)에 인접한 상기 절단부위(16)위로 및 상기 빔(11)과 실질적으로 평행한 방향으로 항하게 됨을 특징으로 하는 레이저 절단가스의 공급방법.
  7. 레이저 빔(11)을 공작물(15)의 절단부위(13,13a)위로 집광하기 위한 헤드(12), 및 상기 절단부위(13)에 적어도 인접하게 가스의 제트(18)을 공급하기 위한 수단(20)을 포함하는 레이저 절단장치에 있어서, 상기 공급수단(20)은 상기 공작물(15)의 표면(14)에까지 확장하여 접촉되는 고체-벽 도관(21)을 포함하며, 상기 도관(21)은 상기 레이저 빔, 및 상기 레이저에 의한 액화재료와의 상호작용에 의해 야기된 유체-열역학적 효과들을 제어하고, 또한 꾸준하고 제어된 방식으로 상기 액화재료를 절단면(16)에서 불어내는 속도로 상기 제트(18)를 공급함을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  8. 제7항에 있어서, 대기가스가 들어오는 것을 방지하기 위하여 상기 도관(21)과 상기 공작물(15)의 상기 표면(14) 사이에 밀봉수단들을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 도관(21)이 상기 제트(18)의 초음속을 얻기 위한 수렴-발산 노즐(33a,33b,33c)로 됨을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  10. 제7항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제트(18)의 폭을 상기 절단(16)의 폭과 실질적을 동일하게 제한하기 위하여, 상기 도관(21)이 가깝게 맞춰진 평행벽(27)들에 의하여 축방향으로 됨을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 도관(21)의 출구(26)의 길이가 상기 폭의 3배 내지 6배임을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 도관(21)이 나타내는 선들이 상기 측면벽(27)과 수직으로 나타나는 선들로 된 각각의 굽은 내부표면(34,35)을 가진 곡면벽(29,30)으로 되며; 및 일정한 폭과 가변면적의 직사각형 내부단면들을 가짐을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  13. 제7항 내지 제12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 집광헤드(12)에 대하여 상기 공작물(15)을 소정의 방향(F)으로 이동시키기 위한 절단수단(19)을 포함하며; 상기 빔(11)에 대하여 상기 공작물(15)의 상기 이동방향(F)에 반대방향으로 향하는 가로축 성분을 하기 위한 상기 빔(11)에 대하여 경사진 방향(B)으로 상기 제트(18)가 상기 절단부위(13,13a)로 향해지는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 도관(21)이 상기 제트(18)로 하여금 상기 빔(11)에 실질적으로 평행인 방향(A)으로부터 상기 경사방향(B)으로 향하도록 굽혀짐을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  15. 제12항 내지 제14항중 어느 한 항에 있어서, 상기 측면벽(27)과 상기 곡면벽 중의 하나(30)가 상기 공급장치(20)의 하부기저면(24)으로 되고; 상기 기저면(24)은 상기 공작물(15)의 표면(14)을 미끄러지며, 상기 절단부위(13,13a)와 대향하는 곳에 위치한 상기 도관(21)의 상기 출구(26)를 위치시킴을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 곡면벽들 중 나머지 하나(19)가 상기 빔(11)이 상기 부위(13,13a)위로 통과 할 수 있도록 상기 절단부위(13,13a)에 대향하여 있으며 상기 도관(21)의 끝단부와 통해 있는 개구부(37)를 제공함을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  17. 제7항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제트(18)가 상기 절단부위(13,13a)에 인접한 상기 절단(16)의 부위 위쪽으로 및 상기 빔(11)에 대하여 실질적으로 평행한 방향으로 됨을 특징으로 하는 레이저 절단장치.
  18. 제7항 내지 제17항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스가 산소임을 특징으로 하는 방법.
  19. 레이저 빔(111)이 작업표면(114)과 실질적으로 수직인 부위(113)위로 향하여지는, 레이저로 가공된 공작물의 가스보호방법에 있어서, 상기 보호가스의 제트(121)가 상기 빔(111)에 대하여 가로지르는 방향의 상기 표면(114)을 흐르게 하기 위하여,고체벽인 도관(120,125,126)을 따라서 상기 표면부위(113)에 인도되고; 보호가스의 상기 제트(121)이 존재하는 분위기가스를 제거하고, 상기 레이저 빔(111)의 실질적으로 불활성 가스처럼 작용하는 상기 가스에 대한 물리, 역학 및 화학적 영향을 최소화하기 위한 속도로 공급되어지는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 가스 제트(121)가 초음속으로 공급됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 가스 제트(121)가 다수의 평행한, 요소적 흐름들(122)의 형태로 공급되고, 상기 흐름들의 속도가 상기 표면(114)에 대하여 상기 흐름(122)이 위로 갈수록 감속하는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호방법.
  22. 제21항에 있어서,상기 요소적 흐름들이 완전한, 독립적인, 병렬 회로들에 의해 공급되고; 상기 회로들 각각은 탱크를 가지며, 분자량과 구조, 비열의 비율 및 서로 다른 엔탈피 및 전체 온도 및 압력과 같은 정체상태등의 서로 다른 특성을 갖는 가스 또는 가스혼합물을 공급하도록 디자임됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호방법.
  23. 제19항 내지 제22항중 어느 한 항에 있어서, 두개의 금속공작물(118)을 용접하는 상기 공정에 있어서, 보호가스의 상기 제트(121)가 상기 레이저빔(111)에 대해 공작물(118)이 이동하는 방향과 동일한 방향으로 공급됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스 보호방법.
  24. 제19항에 개재된 방법 및 상기 레이저 빔(111)을 상기 표면부위(113) 위로 향하게 하기 위한 수단(112)과; 상기 보호가스를 저장하기 위한 수단(124)를 포함하는 상기 장치, 및 상기 저장수단(124)으로부터 상기 가스를 공급하기 위한 수단(125)을 포함하는 장치와 결합된 레이저로 가공된 공작물이 가스보호장치에 있어서; 상기 공급수단(125)은 고체벽으로 이루어지고 상기의 속도로 상기 가스의 제트(121)를 공급하기 위해 디자인된 하나 이상의 도관(126)을 포함하며; 상기 도관(126)은 상기 제트(121)가 상기 레이저빔(111)에 대해 가로지르는 방향으로 된 상기 표면(114) 위로 향하게 하도록 위치하고; 상기 레이저 빔(111)이 상기 표면부위(113) 위로 통과하게 하기 위한 가로축의 개구부(129,131)을 포함하는 상기 도관(126)을 포함함을 공작물 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 도관(126)이 상기 공작물(118)의 상기 표면(114)상에 정지하여 있는 저면벽(127); 및 상기 저면벽(127)에 반대되는 상부벽(128)을 제공하며, 상기 도관(126)의 상기 가로방향 개구부는 상기 저면벽(127)에 형성되는 제1개구부(129)와 상기 제1개구부(129)과 동축으로 상기 상부벽(128)에 형성된 제2개구부(131)에 의하여 이루어짐을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 제2개구부(131)는 상기 레이저 빔(111)이 통과하도록 된 최소구역을 제공하며; 상기 제1개구부(129) 구역은 상기 레이저 빔(111)으로 가공되는 상기 공작물(118)의 액화된 재료를 조절하기 위한 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  27. 제25항 또는 제26항에 있어서, 상기 작업표면(114)이 실질적으로 편평하며, 상기 도관(126)이 실질적으로 직사각형 단면을 나타내는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 직사각형 단면의 폭은 상기 제1개구부(129)의 직경보다 4배 내지 10배로 되고, 상기 직사각형 단면의 높이가 상기 제1개구부(129)의 직경에 3배 내지 6배로 됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  29. 제24항 내지 제28항중 어느 한 항에 있어서, 상기 도관(126)이 초음속 가스 제트(121)를 생산하기 위한 노즐수단(132)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  30. 제29항에 있어서,상기 노즐수단(132)이 상기 표면부위(113)에 대하여 위로 갈수록 속도가 감소되는 다수의 가스흐름 요소들(122)로 구성된 가스 제트(121)를 생산하는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 노즐수단에 의해 생산되는 상기 흐름들이 물리적으로 분리되지 않은(Multi-Mach Nozzle) 것임을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 노즐수단(132)이 상기 가스흐름 요소들(122)을 생산하기 위한 다수의 노즐 요소들(134)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  33. 제32항에 있어서, 각각의 상기 노즐수단들(134)이 각각으 탱크(124)에 연결된 완전한 회로에 의해 공급되는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  34. 제25항 내지 제33항중 어느 한 항에 있어서, 상기 도관(126)이 상기 개구부(129,131)의 바로 상류보다 하류에서 더 큰 단면을 가짐을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  35. 제25항 내지 제34항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1개구부(129)의 상류인, 상기 저면벽(127)이 상기 보호가스를 상기 표면부위(113) 위로 향하게 하기 위한 내부홈(140)을 제공하며, 상기 홈(140)은 상기 제1개구부(129)의 하류로부터 상기 저면벽(127)의 전체 길이를 따라 확장됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  36. 제27항 내지 제35항중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치(110)는 각각의 편평한 표면(117)의 짝을 따라 두개의 금속공작물(118)을 용접하기 위한 것으로 상기 장치(110)에 대해 상기 공작물(118)을 이동시키기 위한 수단(123)을 포함하며, 상기 도관(126)이 상기 공작물(118)을 지지하는 상기 수단(123)과 동일한 방향으로 상기 가스 제트(121)를 상기 표면부위(113)에 공급하도록 배열된 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  37. 제36항에 있어서, 상기 도관(126)이 최소한 상기 표면(113)으로부터의 상기 제트(121)의 부분이 상기 용접(116)의 비드(119)를 따라서 향하게 하기 위한 수단(137)을 가지는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  38. 제37항에 있어서, 상기 방향수단은 상기 도관(126)의 축에 평행한 슬롯(137)을 포함하며; 상기 슬롯(137)은 상기 저면벽(127)에 형성되고 상기 저면벽(127)의 전체 길이를 따라 상기 제1개구부(129)의 하류에까지 확장됨을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  39. 제36항에 있어서, 상기 제1개구부(129)의 상류인, 상기 저면벽(127)은 상기 가스 제트(121)의 방향으로 더 긴 축을 가지며, 반원통형 부위(135b)에까지 계속되는 반원추형 부위(135a)로 구성된 유선형 몸체(135)를 가지는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  40. 제39항에 있어서, 상기 가스의 흐름방향으로 더 긴 축을 상기 저면벽(127)의 부분을 형성하고 상기 제1개구부(129)의 하류에까지 확장된 상기 중공 반실린더(136)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저로 가공된 공작물의 가스보호장치.
  41. 집광 빔(205)을 적어도 하나의 공작물(209,291,292)의 작업면(207) 위로 집광하기 위한 집광헤드(206); 보조가스 제트(213,295)를 방식으로 상기 작업면에 적어도 인접하게 향하도록 제어된 고체벽 도관(220); 및 상기 적어도 하나의 공작물(209; 291,292)을 상기 집광헤드(206)에 대해 대체하고 소정의 작업경로(T)에 따라 이동시키기 위한 전동수단(215)을 포함하는 레이저 가공장치(201,290)에 있어서, 상기 작업경로(T)에 대하여 적어도 상기 작업면(207)에 상기 도관(220)의 소정방향과 위치로 항상 유지하기 위하여, 상기 집광헤드(206)에 대하여 상기 도관(220)의 회전을 가능하게 하고 제어하기 위한 수단들(228,264,274)을 포함하며; 상기 도관(220)은 고속의 제트를 위한 노즐(220a,220b,220c)을 포함하며; 상기 보조가스의 제트(18,122,213,295)가 향해지는 공작물의 면은 노즐(33a,33b,33c,132) 하류에 위치한 상기 도관(21,120)이 벽에 의하여 실질적으로 덮혀짐을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  42. 제41항에 있어서, 상기 작업면(207)에서, 상기 도관(220)과 함께 상기 집광헤드(206)를 통하여 축(A)에 대하여 회전하며, 상기 작업면(207)에서 적어도 하나의 공작물(209,291,292)의 표면(208)에 수직인 지지수단(226)을 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  43. 제42항에 있어서, 제어수단은, 공기역학적 추진수단(228)을 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  44. 제43항에 있어서, 상기 공기역학적 추진수단(228)은, 상기 도관(220)의 반대측면에 위치하고 상기 축(A)에 수직이며 두개의 노즐(234); 반대방향으로 추력(thrust)을 발생시키기 위하여 선택적으로 압축가스가 공급되는 2개의 노즐(234)을 포함하며 상기 노즐들(234)중 하나에서 발생되는 상기 가스의 방향을 감지함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  45. 제44항에 있어서, 상기 공기역학적 추진수단(228)은, 상기 도관(220)에 인접하고, 각각의 제어된 솔레노이드 밸브를 경우하여 압축공기 공급라인(231) 및 상기 노즐들(234)과 연결된 공기챔버(229)를 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  46. 제45항에 있어서, 상기 도관(220)을 내부적으로 정의하고, 상기 도관(220)과 상기 공기챔버(229)에 연결된 정체(stagnation)챔버를 가진 보호가스 노즐(217)을 포함하며, 상기 공기챔버(229)는 상기 축(A)에 대하여 상기 정체챔버(219)의 바깥쪽에 방사상으로 위치함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  47. 제42항에 있어서, 상기 제어수단들(264,274)이 전기모터(267,275)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  48. 제47항에 있어서,지지수단(226)은, 상기도관(220)과 함께 회전하고, 기어링(265,266)에 의해 상기 전기모터(267)에 연결된 부시요소(bush element)(237)를 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  49. 제48항에 있어서, 상기 기어링(265,266)은 상기 부시요소(237)의 바깥에 형성된 헬리컬치(265); 상기 전기모터(267)의 출력샤프트(273)와 일체로 되며 상기 헬리컬치(265)와 맞물리는 윔 스크류(266)를 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  50. 제47항에 있어서, 상기 전기모터(275)는, 상기 도관(220)과 일체로 회전하는 관형상 요소(276)와 집광헤드(206) 사이에 위치함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  51. 제42항 내지 제50항중 어느 한 항에 있어서, 상기 집광헤드(206)에 대한 상기 도관(220)의 각(angular) 위치를 검출하기 위한 수단(242)을 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  52. 제51항에 있어서, 상기 검출수단은, 상기 집광헤드(206)와 상기 집광헤드(206)를 둘러싸고 상기 지지수단(226)을 정의하는 부시요소(237) 사이에 위치하는 인코더(242)를 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  53. 제42항 내지 제52항중 어느 한 항에 있어서, 상기 축(A)에 평행하고 상기 집광헤드(206)에 대하여 상기 도관(220)의 높이를 조정하기 위한 수단(248)을 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  54. 제53항에 있어서, 상기 높이조정수단(248)은, 수동조정수단(248)을 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  55. 제54항에 있어서, 상기 수동조정수단은, 외부로 진행하고 상기 집광헤드(206)에 대하여 회전하는 슬리브(249); 및 상기 도관(220)과 맞물리고 스크류 연결(250)을 통하여 상기 슬리브(249)와 맞물리는 부시요소(237)를 포함하며; 상기 부시요소(237)룰 축방향으로 잠그기 위해 상기 슬리브(249)위에서 내부-나사 링 너트(251)로 나사조임되고, 상기 공작물(209)에 대하여 상기 부시요소(237) 위에 위치한 설비가 마련됨을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  56. 제54항에 있어서, 상기 수종조정수단은, 수 나사(286)를 가지며 상기 집광헤드(206)에 대하여 회전하는 관형상 요소(276); 상기 도관(220)과 일체로 된 부시요소(237); 상기 관형상 요소(276)에 대하여 축방향으로 상기 부시요소(237)을 유도하기 위한 수단들(287,288); 상기 부시요소(237)을 최상부에서 축방향으로 잠그기 위하여 상기 관형상 요소(276) 상에서 나사조임된 적어도 하나의 내부-나사 링 너트를 포함함을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  57. 제53항에 있어서, 상기 높이조정수단들(248)이 상기 공작물(209)의 방향으로상기 도관(220)에 압력을 가하기 위한 탄성수단들(254,303)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  58. 제57항에 있어서, 상기 탄성수단들이 상기 집광헤드(206)를 둘러싸고 있으며, 일끝단부에서 상기 집광헤드(206)와 일체로 되어 있으며, 나머지 일끝단부는 상기 지지수단(226)과 일체로 된 공기-구동스프링(254)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  59. 제57항에 있어서, 상기 탄성수단들이 상기 집광헤드(206) 주위를 둘러싸고 있으며, 상기 집광헤드(6)와 상기 도관(220) 사이에서 작용하는 코일스프링(303)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  60. 제53항 내지 제59항중 어느 한 항에 있어서, 상기 집광헤드(206)는, 상기 집광헤드(206)에 대하여 이동 및 회전하며 상기 도관(220)과 일체로 된 실질적인 원추형 끝단부(206a)를 가진 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  61. 제41항 내지 제60항중 어느 한 항에 있어서, 공작물(209)을 절단하기 위한 장치로 구성됨을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  62. 제41항 내지 제60항중 어느 한 항에 있어서, 두개의 공작물(291,292)을 용접하기 위한 장치로 구성됨을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  63. 제41항 내지 제60항중 어느 한 항에 있어서, 상기 압축가스용으로서 상기 집광헤드(206)에 인접하게 확장되고 상기 도관(220)의 내부를 정의하는 노즐(217)을 포함하며; 상기 도관(220)은, 상기 정체챔버의 반대측면에서 끝나는 두개의 호수(218)를 포함하는 공기역학적 회로(216)에 의해 공급되는 정체챔버(219)에 연결되고 상기 축(A)에 수직으로 배열됨을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  64. 첨부된 도면에 대하여 실질적으로 기술되고 도시된 바의 레이저 가공장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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