WO2011099334A1 - ガラスフィルムの製造方法 - Google Patents

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molten
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雅博 笘本
英孝 織田
真一 石橋
辰弥 高谷
克利 藤原
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日本電気硝子株式会社
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    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a glass film used for flat panel displays, solar cells, organic EL lighting and the like.
  • flat panel displays such as liquid crystal displays, plasma displays, organic EL displays, and field emission displays have become widespread in place of CRT.
  • These flat panel displays are required to be thinner, especially for organic EL displays, which can be easily carried by folding and winding, and can be mounted not only on flat surfaces but also on curved surfaces. Is required.
  • the general thickness is 0.7 mm, but when a glass film having a thickness of 1 to 200 ⁇ m is manufactured by the downdraw method, a substrate having a thickness of 0.7 mm Compared with the case of manufacturing, it is necessary to significantly reduce the flow rate of the molten glass flowing out of the melting furnace.
  • the flow rate of the molten glass flowing through the molding apparatus tends to fluctuate. The fluctuation of the flow rate of the molten glass tends to affect the thickness and uneven thickness of the plate glass.
  • the thickness of the plate glass the greater the degree of thickness variation and uneven thickness. Therefore, when molten glass is supplied from the melting furnace to the forming device and a glass film is formed by the downdraw method, the thickness changes easily due to fluctuations in the flow rate of the molten glass flowing to the forming device, and the uneven thickness tends to increase. It was difficult to improve the performance.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and suppresses fluctuations in the flow rate of molten glass flowing in a molding apparatus when molding a glass film, thereby suppressing changes in the thickness of the glass film and occurrence of uneven thickness. Is a technical issue.
  • the present inventors distribute molten glass in a melting furnace to a plurality of branch channels and flow out from each branch channel to the molding apparatus. It has been found that the fluctuation of the flow rate of the molten glass can be suppressed and the glass film can be stably produced, and the present invention has been proposed.
  • the invention according to claim 1 includes a melting step of melting glass in a melting kiln, a distribution step of supplying molten glass of the melting kiln to a plurality of branch channels, and a plurality of branches
  • a melting step of melting glass in a melting kiln includes a melting step of melting glass in a melting kiln, a distribution step of supplying molten glass of the melting kiln to a plurality of branch channels, and a plurality of branches
  • One or more of the plurality of molding devices including a molding step of supplying the molten glass flowing out from the flow channel to a plurality of molding devices respectively communicating with the respective branch flow channels and molding the molten glass into a plate shape by a downdraw method.
  • a glass film having a thickness of 1 to 200 ⁇ m is formed.
  • the invention according to claim 2 which has been made to solve the above-mentioned problems, forms a glass sheet having a thickness of more than 200 ⁇ m by a molding apparatus excluding a molding apparatus for molding a glass film. It exists in the manufacturing method of a film.
  • the invention according to claim 4 made to solve the above-mentioned problems resides in the method for producing a glass film according to any one of claims 1 to 3, wherein the glass film is wound into a roll.
  • the invention according to claim 5, which has been made to solve the above-mentioned problems, is characterized in that the downdraw method is an overflow downdraw method or a slot downdraw method. It exists in the manufacturing method of a glass plate.
  • the melting step of melting the glass in the melting kiln, the distribution step of supplying the molten glass of the melting kiln to the plurality of branch channels, and the molten glass flowing out from the plurality of branch channels Is supplied to a plurality of molding devices respectively communicating with the respective branch flow paths, and is formed into a plate shape by a downdraw method, and has a thickness of 1 to 200 ⁇ m by one or more of the plurality of molding devices. Since the glass film is formed, the molten glass flows from the melting furnace through the plurality of distribution channels, and the flow rate of the molten glass sent to the forming apparatus for forming the glass film is stabilized.
  • the size of the melting kiln can be increased, and the fluctuation of the liquid level in the melting kiln can be suppressed.
  • the molten glass flows out from the melting kiln to a plurality of molding devices through a plurality of distribution channels.
  • the flow rate of the molten glass that is relaxed and adjusted by the plurality of distribution channels and flows to the molding apparatus for molding the glass film is stabilized, and the variation in the thickness of the glass film and the occurrence of uneven thickness can be suppressed.
  • the glass film has a thickness of 5 to 100 ⁇ m, more preferably 10 to 100 ⁇ m. It is preferable to do this. Further, since the plate glass having a thickness of more than 200 ⁇ m increases the effect of relaxing the flow rate fluctuation of the molten glass as the thickness increases, the thickness is 0.4 mm or more, preferably 0.5 mm or more, more preferably 0.6 mm or more. It is desirable to do.
  • the molten glass in a melting furnace flows immediately, without receiving resistance to a shaping
  • a plurality of baffle plates for restricting the flow may be attached while changing the flow direction of the molten glass flowing through the branch flow path.
  • the downdraw method is an overflow downdraw method or a slot downdraw method
  • a glass film having a thickness of 1 to 200 ⁇ m can be efficiently formed.
  • the overflow downdraw method is more appropriate than the slot downdraw method.
  • the overflow down draw method has a wedge-shaped cross-sectional shape, supplies molten glass to a refractory molded body in which a groove is formed at the top, and overflows the molten glass from both sides of the groove at the top, This is a method of producing a glass plate by fusing at the lower end portion to form a plate-like glass ribbon and stretching the glass ribbon in the vertical direction.
  • molten glass is supplied to a molded body having a long hole-shaped (slot-shaped) opening, and then the molten glass is drawn from the opening of the molded body to form a plate-like glass ribbon.
  • This is a method of producing a glass plate by stretching a ribbon in the vertical direction.
  • the molten glass supply facility 1 includes a substantially rectangular melting furnace 2 serving as a molten glass supply source, a distribution chamber (distribution unit) 3 communicated with the outlet 2 a of the melting furnace 2, and the distribution chamber 3.
  • a plurality of branch passages 4 communicated with the downstream end portion at substantially equal intervals, and the downstream end portions of these branch passages 4 communicate with the plurality of molding devices 51 to 53, respectively.
  • the number of paths from the branch channel 4 to the molding devices 51 to 53 is three in the illustrated example, but may be two, or four or more.
  • the melting furnace 2 has a bottom wall 21, side walls 22 to 25, and an arched ceiling wall 26 covering the entire upper area thereof, and each of these walls is formed of a high zirconia refractory (refractory brick).
  • flames F of a plurality of burners are sprayed from above the left and right side walls 22 and 23 toward the upper space of the molten glass.
  • the flame F of these burners is maintained at a temperature of 1500 to 1650 ° C. by heating the molten glass filled in the melting furnace 2 from above.
  • the side wall 24 on the downstream side of the melting furnace 2 is formed with an outlet 2a at the center in the left-right direction.
  • the outlet 24a is distributed to the melting furnace 2 via a narrow outlet 6 having the outlet 2a at the upstream end.
  • the chamber 3 is in communication.
  • the distribution chamber 3 has a bottom wall 31, side walls 32 to 35, and an arched ceiling wall (not shown) covering the entire upper area, and each of these walls is a high zirconia refractory (refractory brick). It is formed with.
  • the temperature of the molten glass in the distribution chamber 3 is maintained at 1600 ° C. to 1700 ° C.
  • the distribution chamber 3 has a smaller volume than the melting furnace 2 and is elongated in the left-right direction, and the downstream end of the outflow passage 6 is open at the center in the left-right direction of the upstream side wall 34.
  • a rectifying wall portion 37 that is long in the left-right direction is fixed to the central portion of the distribution chamber 3 in the front-rear left-right direction with a circulation space between all the side walls 32 to 35.
  • a plurality of small outflow passages 7 are formed on the side wall 35 on the downstream side of the distribution chamber 3 at substantially equal intervals, and a plurality of flow resistance applying chambers (flow resistance applying portions) are provided at the downstream end of each small outflow passage 7. 8 is formed.
  • These flow resistance imparting chambers 8 are long in the front-rear direction and have a volume smaller than that of the distribution chamber 3.
  • Each flow resistance imparting chamber 8 has surrounding walls 81 to 85 that form a flow path, and a ceiling wall (not shown) that covers the entire area above the surrounding walls, and each of these walls has a high zirconia refractory ( Refractory brick).
  • the temperature of the molten glass in each flow resistance applying chamber 8 is maintained at 1500 ° C. to 1650 ° C.
  • a plurality of baffle plates 9 for constricting the flow while changing the flow direction of the molten glass flowing in the flow resistance application chambers 8 are attached in parallel at predetermined intervals in the front-rear direction. ing. These baffle plates 9 are for imparting resistance to the molten glass flowing through each flow resistance imparting chamber 8, and prevent the molten glass from immediately flowing into the molding apparatuses 51 to 53. Can do. Accordingly, each flow resistance imparting chamber 8 has a function of adjusting each supply pressure when molten glass is distributed and supplied from the distribution unit 3 to each branch flow path 4.
  • the melting furnace 2 Since the plurality of branch flow paths 4 are connected to the molding devices 51 to 53 side from the melting furnace 2 through the distribution chamber 3, the melting furnace 2 The molten glass inside is supplied to the molding apparatuses 51 to 53 through the branch channels 4. That is, a melting step of melting glass in the melting furnace 2, a distribution step of supplying the molten glass of the melting furnace 2 to the plurality of branch channels 4, and the molten glass flowing out from the plurality of branch channels 4 4 is supplied to a plurality of forming devices 51 to 53 respectively leading to 4, and a forming step of forming into a plate shape by a down draw method is performed.
  • Each of the forming devices 51 to 53 forms molten glass into a plate shape (glass ribbon) by the overflow down draw method, and the first forming device 51 forms a glass film having a thickness of 1 to 200 ⁇ m.
  • Each of the second and third forming devices 52 and 53 is a device that forms a sheet glass having a thickness of 0.7 mm.
  • the first molding apparatus 51 includes a molding zone 100, a slow cooling zone (annealer) 101, a cooling zone 102, and a processing zone 103 in order from the upstream side.
  • a refractory molded body 110 having a wedge-shaped cross-sectional shape and having a groove formed at the top is disposed, and the molten glass supplied to the molded body 110 is supplied with both sides of the groove at the top.
  • the glass film 111 is formed from molten glass by overflowing from the molten glass and fusing at the lower end thereof to form a plate glass (glass ribbon) and then pulling it downward. The thickness of the glass film is appropriately adjusted depending on the flow rate of the molten glass and the downward pulling speed.
  • the glass film 111 is gradually cooled by a temperature adjusting heater (not shown) while removing the residual strain (annealing treatment).
  • the slowly cooled glass is cooled.
  • the film 111 is sufficiently cooled.
  • a plurality of pulling rollers (annealing rollers) 112 for pulling the glass film 111 downward are arranged.
  • both ends in the width direction of the glass film 111 are cut along the transport direction (Y cut).
  • Means 113 are arranged.
  • the ear cutting means 113 forms a scribe line using a diamond cutter and pulls both ends in the width direction of the glass film 111 outward in the width direction so that the both ends (ears) in the width direction become scribe lines.
  • a winding core 114 that functions as a winding roller is disposed in the processing zone 103, and a glass film 111 having both ends (ear portions) cut in the width direction is wound around the winding core 114.
  • the protective sheet 116 is sequentially supplied from the protective sheet roll 115 and wound around the core 114 in a state where the protective sheet 116 is overlaid on the outer surface side of the glass film 111.
  • the protective sheet 116 is pulled out from the protective sheet roll 115, the protective sheet 116 is overlaid on the outer surface side of the glass film 111, and the glass film 111 and the protective sheet 116 are rolled into a shape so as to follow the surface of the core 114. Wind up.
  • the second and third molding devices 52 and 53 include a molding zone 100, a slow cooling zone 101, and a cooling zone 102 similar to those of the first molding device 51.
  • cutting means 121 for cutting (X cutting) the formed and slowly cooled sheet glass (glass ribbon) 120 in the width direction is arranged.
  • the cutting means 121 has a function of folding after inserting a scribe line in the width direction of the glass ribbon 120. The plate glass 122 thus folded is packaged after its ears are cut and removed.
  • composition and characteristics of the molten glass used in the present invention are selected according to the purpose of use of the plate glass.
  • the molten glass corresponds to a viscosity of 1000 dPa ⁇ s.
  • Non-alkali glass having a temperature of 1350 ° C. or higher, preferably 1420 ° C. or higher, and a strain point of 600 ° C. or higher, preferably 630 ° C. or higher is preferred.
  • the glass when forming a glass sheet by the overflow down draw method, has a liquidus viscosity of 100,000 dPa ⁇ s or more, preferably 300,000 dPa ⁇ s or more, more preferably 500,000 dPa ⁇ s or more, and most preferably 600,000 dPa ⁇ s or more.
  • the composition of the glass is, for example, mass%, SiO 2 40 to 70%, Al 2 O 3 6 to 25%, B 2 O 3 5 to 20%, MgO 0 to 10%, CaO 0 to 15%, BaO. 0 to 30%, SrO 0 to 10%, ZnO 0 to 10%, alkali metal oxide 0.1% or less, fining agent 0 to 5% are preferable, SiO 2 55 to 70%, Al 2 O 3 10 to 20%, B 2 O 3 5-15%, MgO 0-5%, CaO 0-10%, BaO 0-15%, SrO 0-10%, ZnO 0-5%, alkali metal oxide 0.1%
  • the clarifying agent is more preferably 0 to 3%.
  • this invention is not limited to said embodiment, In the range which does not deviate from the summary of this invention, it can implement with a various form further.
  • the present invention is applied to the production of a glass film by the overflow downdraw method.
  • the present invention is similarly applied to the production of a glass film by the slot downdraw method. Can be applied.
  • the said embodiment demonstrated the case where it winds around a core in the state in which the protective sheet was piled up on the outer surface side of the glass film, it can also wind up in the state in which the protective sheet was piled up on the inner surface side of the glass film.
  • the method for producing a glass plate of the present invention is used for various flat panel displays such as a plasma display, an electroluminescence display such as an organic EL, a field emission display, a solar cell, and an organic EL illumination. It can be used for manufacturing a glass film.

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Abstract

　溶融窯２でガラスを溶融する溶融工程と、溶融窯２の溶融ガラスを複数の分岐流路４に供給する分配工程と、複数の分岐流路４から流出した溶融ガラスを、各分岐流路４にそれぞれ通じる複数の成形装置５１～５３に供給し、ダウンドロー法で板状に成形する成形工程とを有し、前記複数の成形装置５１～５３の１つ又は複数によって、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを成形することを特徴とする。

Description

ガラスフィルムの製造方法
　本発明は、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、有機ＥＬ照明等に使用されるガラスフィルムの製造方法に関するものである。
　省スペース化の観点から、近年では、ＣＲＴに替わり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及してきている。これらのフラットパネルディスプレイには、さらなる薄型化が要求されており、特に有機ＥＬディスプレイには、折りたたみや巻き取ることによって持ち運びを容易にすると共に、平面だけではなく、曲面にも取り付け可能とすることが求められている。
　また曲面に取り付けることを求められているのは、ディスプレイに限られるものではなく、例えば、自動車の車体表面や、建築物の屋根、柱、外壁など、曲面を有する物体の表面に太陽電池や有機ＥＬ照明を形成することも望まれている。
従ってフラットパネルディスプレイを始めとする各種ガラス基板には、曲面にも対応可能な高い可撓性を満足すべく更なる薄型化が要求されており、例えば特許文献１に開示されているように、ダウンドロー法によって２００μｍ以下の厚みのフィルム状をなす薄板ガラス、所謂ガラスフィルムが開発されるに至っている。
特開２００８－１３３１７４号公報
　ところで、ダウンドロー法によってガラスフィルムを成形する場合、所定寸法のガラスフィルムを安定して製造することが難しい。すなわちガラスフィルムの場合、溶融ガラスの僅かな流量の変動によって厚みの変化や、偏肉が発生し、安定して高精度のガラスフィルムを成形することができないという問題がある。また成形したガラスフィルムを連続的に巻き取って梱包する場合、厚みのバラツキや偏肉が存在すると、巻き取り時や巻き取り後に、不必要な応力が加わり、破損の原因となることがある。
　すなわち、例えば液晶ディスプレイ用ガラス基板の場合、一般的な厚みは０．７ｍｍであるが、厚みが１～２００μｍのガラスフィルムをダウンドロー法で製造する場合には、厚みが０．７ｍｍの基板を製造する場合に比べて、溶融窯から流れ出す溶融ガラスの流量を大幅に減少させる必要がある。しかし一般に、溶融窯の調合条件や操業条件が変動し、溶融ガラスの液面レベルが上下すると、成形装置に流れる溶融ガラスの流量が変動しやすくなる。この溶融ガラスの流量の変動は、板ガラスの厚みや偏肉に影響しやすく、板ガラスの厚みが小さくなるほど、厚みの変動や偏肉の度合いが大きくなる。そのため溶融窯から成形装置に溶融ガラスを供給し、ダウンドロー法でガラスフィルムを成形する場合、成形装置に流れる溶融ガラスの流量の変動によって、厚みが変化したり、偏肉が大きくなりやすく、生産性を上げることが困難であった。
　本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、ガラスフィルムを成形する際、成形装置に流れる溶融ガラスの流量の変動を抑え、これによってガラスフィルムの厚みの変化や偏肉の発生を抑えることを技術的課題とする。
　本発明者等は、上記技術的課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、溶融窯の溶融ガラスを複数の分岐流路に分配して流出させることによって、各分岐流路から成形装置に流れる溶融ガラスの流量の変動を抑え、ガラスフィルムを安定して製造することができることを見いだし、本発明を提案するに至った。
　すなわち上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、溶融窯でガラスを溶融する溶融工程と、溶融窯の溶融ガラスを複数の分岐流路に供給する分配工程と、複数の分岐流路から流出した溶融ガラスを、各分岐流路にそれぞれ通じる複数の成形装置に供給し、ダウンドロー法で板状に成形する成形工程とを有し、前記複数の成形装置の一つ又は複数によって、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを成形することを特徴とするガラスフィルムの製造方法に存する。
　上記課題を解決するためになされた請求項２記載の発明は、ガラスフィルムを成形する成形装置を除く成形装置によって、厚み２００μｍ超の板ガラスを成形することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法に存する。
　上記課題を解決するためになされた請求項３記載の発明は、複数の分岐流路を流れる溶融ガラスに対してそれぞれ流通抵抗を付与することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法に存する。
　上記課題を解決するためになされた請求項４記載の発明は、ガラスフィルムをロール状に巻き取ることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法に存する。
　上記課題を解決するためになされた請求項５記載の発明は、ダウンドロー法が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のガラス板の製造方法に存する。
　上記請求項１記載の発明によれば、溶融窯でガラスを溶融する溶融工程と、溶融窯の溶融ガラスを複数の分岐流路に供給する分配工程と、複数の分岐流路から流出した溶融ガラスを、各分岐流路にそれぞれ通じる複数の成形装置に供給し、ダウンドロー法で板状に成形する成形工程とを有し、前記複数の成形装置の１つ又は複数によって、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを成形するため、溶融窯から複数の分配流路を通じて溶融ガラスが流れることになり、ガラスフィルムを成形する成形装置に送られる溶融ガラスの流量が安定する。
　すなわち複数の分配流路を有するため溶融窯の大型化を図ることができ、溶融窯内の液面レベルの変動を抑制することができる。また、溶融窯の調合条件や操業条件により溶融ガラスの液面レベルが上下したとしても、溶融窯から複数の分配流路を通じて複数の成形装置に溶融ガラスを流し出すため、溶融ガラスの流量変動が、複数の分配流路によって緩和調整され、ガラスフィルムを成形する成形装置に流れる溶融ガラスの流量が安定し、ガラスフィルムの厚みの変動や偏肉の発生を抑えることができる。
　請求項２記載の発明によれば、ガラスフィルムを成形する成形装置を除く成形装置によって、厚み２００μｍ超の板ガラスを成形するため、溶融窯の操業条件により溶融ガラスの液面レベルが上下しても、厚み２００μｍ超の板ガラスを成形する成形装置に流れる分岐流路によって、溶融窯から流出する溶融ガラスの流量の変動が緩和調整されやすくなるため、ガラスフィルムを成形する成形装置に流れる溶融ガラスの流量がより安定し、ガラスフィルムの厚みの変動や偏肉の発生を最小限に抑えることができる。ここで、ガラスフィルムは、その厚みが小さくなるほど、破損しやすくなり、また厚みが大きくなるほど、可撓性が低下し、ロール状に巻き取りにくくなるため、５～１００μｍ、さらには１０～１００μｍとするのが好ましい。また厚み２００μｍ超の板ガラスは、その厚みが大きくなるほど、溶融ガラスの流量変動を緩和調整する効果が大きくなるため、厚み０．４ｍｍ以上、好ましくは０．５ｍｍ以上、より好ましくは０．６ｍｍ以上とするのが望ましい。
　請求項３記載の発明によれば、複数の分岐流路を流れる溶融ガラスに対してそれぞれ流通抵抗を付与するため、溶融窯内の溶融ガラスが、成形装置に抵抗を受けることなく、即座に流れてしまうことを阻止することができる。流通抵抗を付与するためには、分岐流路を流れる溶融ガラスの流れ方向を変換しつつ、その流れを絞るための邪魔板を複数取り付ければ良い。
　請求項４記載の発明によれば、ガラスフィルムをロール状に巻き取るため、ガラスフィルムの清浄性を確保しつつ、その破損を防止すると共に、保管時の省スペース化を図り、搬送時の取り扱い性を向上することが可能である。また請求項１記載の発明によれば、厚みの変動や偏肉の少ないガラスフィルムが安定して得られるため、これを連続的に巻き取る時や巻き取った後、不必要な応力が加わることがなく、ガラスフィルムの破損を防止することができる。
　請求項５記載の発明によれば、ダウンドロー法が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法であるため、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを効率良く成形することが可能である。特に表面品位に優れた板ガラスを得る場合には、スロットダウンドロー法よりも、オーバーフローダウンドロー法が適切である。尚、オーバーフローダウンドロー法とは、楔状の断面形状を有し、頂部に溝部が形成された耐火物の成形体に溶融ガラスを供給し、溶融ガラスを頂部の溝部の両側から溢れ出させると共に、その下端部で融合させることで板状のガラスリボンとし、このガラスリボンを鉛直方向に延伸成形してガラス板を製造するという方法である。またスロットダウンドロー法とは、長孔状（スロット状）の開口部を有する成形体に溶融ガラスを供給した後、成形体の開口部から溶融ガラスを引き出して板状のガラスリボンとし、このガラスリボンを鉛直方向に延伸成形してガラス板を製造するという方法である。
本発明のガラスフィルムの製造方法を実施するための溶融ガラス供給設備を示す一部破断概略斜視図である。 第１の成形装置を示す縦断面図である。 第２、３の成形装置を示す縦断面図である。
　以下、本発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
　まず図１に基づいて、本発明の実施形態に係る溶融ガラス供給設備の全体構造を説明する。この溶融ガラス供給設備１は、溶融ガラスの供給源となる略矩形の１つの溶融窯２と、溶融窯２の流出口２ａに連通された分配室（分配部）３と、この分配室３の下流側端部に略等間隔おきに連通された複数本の分岐流路４とを有し、これらの分岐流路４の下流側端部はそれぞれ複数の成形装置５１～５３に通じている。尚、分岐流路４を通じて成形装置５１～５３に至る経路は、図例では３本であるが、２本であっても良く、或いは４本以上であっても良い。
　溶融窯２は、底壁２１、側壁２２～２５、及びその上方全域を覆うアーチ形の天井壁２６とを有し、これらの各壁は、高ジルコニア系の耐火物（耐火レンガ）で形成されると共に、左右両側の側壁２２、２３の上方から複数のバーナーの火炎Ｆが溶融ガラスの上部空間に向かって噴射されている。そして、これらのバーナーの火炎Ｆは、溶融窯２内に充満されている溶融ガラスを上方から加熱することにより、１５００～１６５０℃の温度に維持している。
　溶融窯２の下流側の側壁２４には、その左右方向中央部に流出口２ａが形成されており、この流出口２ａを上流端に有する幅狭の流出路６を介して溶融窯２と分配室３とが連通している。分配室３は、底壁３１、側壁３２～３５、及びその上方全域を覆うアーチ形の天井壁（図示略）とを有し、これらの各壁は、高ジルコニア系の耐火物（耐火レンガ）で形成されている。分配室３内の溶融ガラスの温度は、１６００℃～１７００℃に維持される。
　分配室３は、溶融窯２よりも容積が小さく、左右方向に長尺とされると共に、上流側の側壁３４の左右方向中央部に流出路６の下流端が開口している。そして、この分配室３の前後左右方向の中央部には、左右方向に長尺な整流壁部３７が全ての側壁３２～３５との相互間に流通空間を介在させて固設されている。
　分配室３の下流側の側壁３５には、略等間隔おきに複数の小流出路７が形成され、各小流出路７の下流端には、複数の流通抵抗付与室（流通抵抗付与部）８が形成されている。これらの流通抵抗付与室８は、前後方向に長尺であって、分配室３よりも容積が小さい。そして、各流通抵抗付与室８は、流路を形成する包囲壁８１～８５、及びその上方全域を覆う天井壁（図示略）を有し、これらの各壁は、高ジルコニア系の耐火物（耐火レンガ）で形成されている。各流通抵抗付与室８内の溶融ガラスの温度は、１５００℃～１６５０℃に維持される。
　各流通抵抗付与室８には、その内部を流れる溶融ガラスの流れ方向を変換しつつ、その流れを絞るための複数の邪魔板９が、前後方向にそれぞれ所定の間隔をおいて並列に取り付けられている。これらの邪魔板９は、各流通抵抗付与室８を流れる溶融ガラスに対して抵抗を付与するためのものであり、溶融ガラスが各成形装置５１～５３に即座に流れてしまうことを阻止することができる。従って、各流通抵抗付与室８は、分配部３から各分岐流路４に溶融ガラスが分配供給される際の各供給圧力を調整する機能を有している。
　以上のような構成を備えた溶融ガラス供給設備１によれば、溶融窯２から分配室３を介して複数の分岐流路４が成形装置５１～５３側に連結されているため、溶融窯２内の溶融ガラスは、これらの各分岐流路４を通じて各成形装置５１～５３に供給されることになる。すなわち溶融窯２でガラスを溶融する溶融工程と、溶融窯２の溶融ガラスを複数の分岐流路４に供給する分配工程と、複数の分岐流路４から流出した溶融ガラスを、各分岐流路４にそれぞれ通じる複数の成形装置５１～５３に供給し、ダウンドロー法で板状に成形する成形工程とが実施される。
　各成形装置５１～５３は、いずれもオーバーフローダウンドロー法によって溶融ガラスを板状（ガラスリボン）に成形するものであって、第１の成形装置５１は、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを成形する装置であり、第２、第３の成形装置５２、５３は、いずれも厚み０．７ｍｍの板ガラスを成形する装置である。
　図２に示すように、第１の成形装置５１は、上流側から順に、成形ゾーン１００、徐冷ゾーン（アニーラー）１０１、冷却ゾーン１０２、及び加工ゾーン１０３を備えている。
　成形ゾーン１００には、楔状の断面形状を有し、頂部に溝部が形成された耐火物製の成形体１１０が配置されており、この成形体１１０に供給される溶融ガラスを、頂部の溝部両側から溢れ出させると共に、その下端部で融合させて板ガラス（ガラスリボン）とした後、それを下方に引っ張ることで、溶融ガラスからガラスフィルム１１１を成形するようになっている。ガラスフィルムの厚みは、溶融ガラスの流量と、下方への引っ張り速度によって適宜調整される。
　徐冷ゾーン１０１では、ガラスフィルム１１１を温度調整用ヒーター（図示省略）で徐冷しながら、その残留歪を除去（アニール処理）するようになっており、冷却ゾーン１０２では、徐冷されたガラスフィルム１１１を十分に冷却するようになっている。徐冷ゾーン１０１と冷却ゾーン１０２には、ガラスフィルム１１１を下方に引っ張る複数の引っ張りローラ（アニールローラ）１１２が配置されている。
　加工ゾーン１０３には、ガラスフィルム１１１の幅方向両端部（冷却ローラの接触により中央部に比べて相対的に肉厚となる耳部）を搬送方向に沿って切断（Ｙ切断）する耳部切断手段１１３が配置されている。この耳部切断手段１１３は、ダイヤモンドカッターを利用してスクライブラインを形成すると共に、ガラスフィルム１１１の幅方向両端部を幅方向外側に引っ張ることで、幅方向両端部（耳部）をスクライブラインに沿って切断除去するものであっても良いが、端面の強度向上を図る観点からは、レーザー割断によりガラスフィルム１１１の耳部を切断除去することが好ましい。
　また加工ゾーン１０３には、巻き取りローラとして機能する巻芯１１４が配置されており、この巻芯１１４に幅方向両端部（耳部）が切断されたガラスフィルム１１１が巻き取られる。この際、保護シートロール１１５から順次保護シート１１６が供給され、ガラスフィルム１１１の外面側に保護シート１１６が重ねられた状態で巻芯１１４に巻き取られる。詳細には、保護シートロール１１５から保護シート１１６を引き出し、ガラスフィルム１１１の外面側に保護シート１１６を重ね、巻芯１１４の表面に沿わせるように、ガラスフィルム１１１と保護シート１１６をロール状に巻き取る。そして、所定のロール外径までガラスフィルム１１１を巻き取った後、切断手段（図示略）でガラスフィルム１１１のみを幅方向に切断（Ｘ切断）する。その後、その切断したガラスフィルム１１１を最後まで巻き取ると共に、保護シート１１６のみをさらに１周以上巻き取り、保護シート１１６を切断する。このような一連の動作によりガラスロールの製造が完了する。
　また図３に示すように、第２、第３の成形装置５２、５３は、第１の成形装置５１と同様の成形ゾーン１００、徐冷ゾーン１０１、冷却ゾーン１０２を備えている。第１の成形装置５１の加工ゾーン１０４には、成形、徐冷された板ガラス（ガラスリボン）１２０を幅方向に切断（Ｘ切断）する切断手段１２１が配置されている。この切断手段１２１は、ガラスリボン１２０の幅方向にスクライブ線を入れた後、折り割る機能を有している。こうして折り割られた板ガラス１２２は、その耳部を切断除去された後、梱包される。
　本発明で使用される溶融ガラスは、板ガラスの使用目的に応じて、組成や特性が選択されるが、例えば液晶ディスプレイ用ガラス基板を得ようとする場合には、１０００ｄＰａ・ｓの粘度に相当する温度が１３５０℃以上、好ましくは１４２０℃以上、歪点が、６００℃以上、好ましくは６３０℃以上の無アルカリガラスが好ましい。また、オーバーフローダウンドロー法で板ガラスを成形する場合、ガラスの液相粘度が低いと、ガラスが失透しやすいため、ガラスの液相粘度は、１０万ｄＰａ・ｓ以上、好ましくは３０万ｄＰａ・ｓ以上、より好ましくは５０万ｄＰａ・ｓ以上、最も好ましくは６０万ｄＰａ・ｓ以上である。
　さらにガラスの組成としては、例えば質量％で、ＳｉＯ２　４０～７０％、Ａｌ２Ｏ３　６～２５％、Ｂ２Ｏ３　５～２０％、ＭｇＯ　０～１０％、ＣａＯ　０～１５％、ＢａＯ　０～３０％、ＳｒＯ　０～１０％、ＺｎＯ　０～１０％、アルカリ金属酸化物　０．１％以下、清澄剤　０～５％が好ましく、さらにＳｉＯ２　５５～７０％、Ａｌ２Ｏ３　１０～２０％、Ｂ２Ｏ３　５～１５％、ＭｇＯ　０～５％、ＣａＯ　０～１０％、ＢａＯ　０～１５％、ＳｒＯ　０～１０％、ＺｎＯ　０～５％、アルカリ金属酸化物　０．１％以下、清澄剤　０～３％がより好ましい。
　尚、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施することができる。
　例えば、上記実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によるガラスフィルムの製造に本発明を適用した場合を説明したが、これ以外にも、スロットダウンドロー法によるガラスフィルムの製造にも同様にして本発明を適用することができる。
　また上記実施形態では、ガラスフィルムの外面側に保護シートが重ねられた状態で巻芯に巻き取る場合を説明したが、ガラスフィルムの内面側に保護シートが重ねられた状態で巻き取ることもできる。
本発明のガラス板の製造方法は、液晶ディスプレイ用ガラス板を始めとして、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ等のエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等といった各種フラットパネルディスプレイ、太陽電池、有機ＥＬ照明等に使用されるガラスフィルムの製造に使用することができる。
１　溶融ガラス供給設備
２　溶融窯
３　分配室
４　分岐流路
５１、５２、５３　成形装置
６　流出路
７　小流出路
８　流通抵抗付与室
９　邪魔板
１００　成形ゾ－ン
１０１　徐冷ゾーン
１０２　冷却ゾーン
１０３、１０４　加工ゾーン
１１１　ガラスフィルム
１１２　引っ張りローラ
１１３　耳部切断手段
１１４　巻芯
１１５　保護シートロール
１１６　保護シート
１２０　板ガラス（ガラスリボン）
１２１　切断手段
１２２　板ガラス

Claims (5)

  1. 　溶融窯でガラスを溶融する溶融工程と、溶融窯の溶融ガラスを複数の分岐流路に供給する分配工程と、複数の分岐流路から流出した溶融ガラスを、各分岐流路にそれぞれ通じる複数の成形装置に供給し、ダウンドロー法で板状に成形する成形工程とを有し、前記複数の成形装置の１つ又は複数によって、厚み１～２００μｍのガラスフィルムを成形することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
  2. 　ガラスフィルムを成形する成形装置を除く成形装置によって、厚み２００μｍ超の板ガラスを成形することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
  3. 　複数の分岐流路を流れる溶融ガラスに対してそれぞれ流通抵抗を付与することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
  4. 　ガラスフィルムをロール状に巻き取ることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
  5. 　ダウンドロー法が、オーバーフローダウンドロー法、又はスロットダウンドロー法であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
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