WO2011030563A1 - 真空用バルブ筐体及び真空用バルブ - Google Patents

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vacuum valve
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vacuum
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慎一 和田
守宏 佐久間
秀岳 田中
佑介 出村
克次 中嶋
Original Assignee
株式会社アルバック
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum valve used for the purpose of switching an exhaust system when a vacuum vessel is evacuated by a vacuum pump, and a casing constituting the vacuum valve.
  • Patent Document 1 discloses a vacuum valve.
  • this type of valve usually includes a valve body 3 that moves in a longitudinal direction inside a hollow cylindrical housing 2 by a piston rod 1, and an exhaust port 4 that is opened and closed by the valve body 3.
  • a hollow cylindrical body 5 provided on the end surface in the longitudinal direction of the body 2 and provided with a flange portion on the side surface of the housing 2 is erected, and an opening surface 6 serving as an exhaust port is formed on the end surface. It is configured as an L-type vacuum valve.
  • an object of the present invention is to provide a vacuum valve housing having a small outer diameter and low manufacturing cost without performing welding, and a vacuum valve composed of the housing.
  • the solving means of the present invention includes a plurality of opening surfaces that are flow paths not including a hollow cylindrical body, and is provided with a recess at the center of at least one surface of a rectangular parallelepiped housing, An opening surface is provided at the center of the bottom surface of the recess, and a bolt hole for fixing a flange of another pipe is provided outside the outer periphery of the opening surface.
  • the present invention according to claim 2 is that, in the vacuum valve casing according to claim 1, the constituent members of the casing are obtained by cutting an aluminum or aluminum alloy block.
  • the casing in the vacuum valve casing according to the first or second aspect, is made of aluminum or an aluminum alloy, and the flow path surface formed in the casing is an anode. It is characterized by being oxidized.
  • the casing in the vacuum valve casing according to the first aspect, is obtained by forging or casting.
  • the present invention according to claim 5 is the vacuum valve casing according to claim 1, wherein the casing is obtained by sheet metal processing.
  • the flange portion generated when the bolt hole is formed as a bottomed hole by sheet metal processing is used as a valve seat.
  • the vacuum valve according to the present invention comprises the vacuum valve housing according to claim 1 as described in claim 7.
  • the part for connecting to the pipe can be provided without protruding from the housing, and the space for the vacuum valve can be saved.
  • the valve housing can be manufactured without welding the two members, it is possible to reduce the emitted gas in a vacuum atmosphere.
  • the vacuum valve housing of the present invention has a polygonal shape, preferably a polygonal shape, in the direction between the surfaces with which the valve seat abuts.
  • a polygonal shape preferably a polygonal shape, in the direction between the surfaces with which the valve seat abuts.
  • an octagonal column including positive
  • a hexagonal column including positive
  • a rectangular parallelepiped and more preferably a cubic shape
  • a vacuum valve according to an embodiment of the present invention will be described below together with the valve housing with reference to the drawings.
  • the vacuum valve according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 2 has a cylindrical shape (not shown) having an axis perpendicular to the bottom surface 10a at the center of the bottom surface 10a of the substantially cubic housing 10.
  • a cylindrical shape) concave portion 10u-1, and an opening surface 11 (hereinafter referred to as “valve opening surface”) is provided at the center of the bottom surface of the concave portion 10u-1.
  • Bolt holes 26 are drilled outside the outer periphery of the valve opening surface 11 so that the intervals are uniform as shown in FIG.
  • the casing 10 is not provided with other hollow cylindrical members and valve bodies that serve as flow paths.
  • a flow path is formed from the valve opening surface 11 toward the inside of the housing 10, and the flow path is formed so that a cross section becomes narrow at a portion orthogonal to the flow path provided in the lateral direction, A valve seat 12 is formed at this site.
  • the valve body 13 that sits on the upper surface of the valve seat 12 and opens and closes the valve is fixed to the tip of the piston rod 14 inserted from the upper surface of the housing 10.
  • the upper portion of the valve body 13 is fixed to the flange portion at the distal end portion of the piston rod 14 to be fixed.
  • a groove along the outer periphery of the valve body 13 is formed on the lower surface.
  • a seal member 17 is also provided on the inner peripheral surface of the through hole 16 so as to pass through the piston rod 14.
  • the sealability with the hole 16 is enhanced.
  • a sealing member such as an O-ring is also provided on the joint surface between the upper wall 10h constituting the upper surface of the housing 10 and the side walls (10d and 10f in the figure) constituting the side surfaces of the housing 10 for the same purpose. It is inserted.
  • a flow path is formed in the lateral direction inside the housing 10, and this flow path terminates at the opening surface 18 on the right side surface 10 b of the housing 10 and terminates at the opening surface 20 on the left side surface. .
  • the opening surface 18 is formed at the central portion of the bottom surface of the cylindrical (in the illustrated case, cylindrical) concave portion 10u-2 formed at the central portion of the right side surface, similarly to the bottom surface 10a.
  • Bolt holes 24 are perforated on the outside of the outer periphery of the opening surface 18 so that the intervals are even, as shown in FIG.
  • the bottom surface 10a and the right side surface 10b of the casing 10 are provided with recesses 10u-1 and 10u-2, respectively, so that the bottom surface 10a and the right side surface 10b of the rectangular parallelepiped casing 10 are provided.
  • a protrusion having an opening for connecting piping or the like.
  • casing 10 becomes a rectangular parallelepiped shape containing a cube, it becomes easy to convey and handle.
  • the concave portions 10 u-1 and 10 u-2 provided in the casing 10 described above may be at least one of the planes constituting the casing 10. Further, the planar shape of the recesses 10u-1 and 10u-2 is circular in the illustrated one (FIGS. 2B and 2C), but any shape can be used as long as the pipe to be connected can be accommodated. There is no particular limitation. Further, the intervals between the bolt holes 24 and 26 formed in the inner peripheral portions of the bottom surfaces of the recesses 10u-1 and 10u-2 are not necessarily provided at equal intervals as long as the airtightness of the connection portion can be maintained.
  • casing 10 in this specification shall mean the shape by which the valve opening surface 11 and 4 surfaces (housing
  • the plate member 10h constituting the upper surface of the casing 10 is usually configured integrally with a drive mechanism 22 such as a valve body 13, a piston cylinder 14 and an air cylinder. This is because a slight level difference is generated because the bolt 19 is fixed from the upper surface side.
  • casing 10 is obtained by cutting from a rectangular parallelepiped thru
  • An example will be described with reference to FIG. 2.
  • the recesses 10u-1, 10u-2, the through hole 16, and the opening surfaces 18, 20 are also formed by cutting.
  • the casing 10 is made of aluminum or an aluminum alloy, and the flow path surface formed in the casing is anodized. This is because a film can be reliably formed by going around to the surface of the flow path inside the housing 10. Moreover, it is because sufficient film
  • membrane can be formed also on the member surface obtained by cutting.
  • an object to be treated is immersed in an alkaline solution and anodized with spark discharge to form an oxide film on the surface of the object to be treated.
  • the process includes a step of performing a predetermined time with a voltage and a step of performing a predetermined time with another voltage lower than the first voltage according to the current density.
  • the alkaline solution electrolyte include disodium hydrogen phosphate, sodium tripolyphosphate, sodium dihydrogen phosphate, sodium ultrapolyphosphate, sodium silicate, potassium hydroxide, sodium diphosphate, trisodium phosphate, One in which sodium aluminate, sodium metasilicate, sodium hydroxide, or the like, or a mixture thereof is dissolved in water can be used.
  • aluminum or aluminum alloy is used as the object to be processed, but aluminum alloy casting materials and die-casting materials, typically silicon, contain a large number of elements that are generally contained, forming a porous anodic oxide film. It is said that it is difficult. According to the present invention, it is possible to form a coating film with good corrosion resistance even in such a casting or die-casting with a lot of silicon. Further, among the wrought materials, the No. 4000 series treatment of the Al—Si alloy has the same corrosion resistance due to the same reason, but according to the present invention, a good oxide film can be formed. The wrought material in which no silicon is deposited, aluminum alloys in the 1000th to 3000th, 5000th to 7000th range are also effective in the case of a complicated shape or a high temperature of 100 ° C. or higher.
  • an object to be treated is immersed in an alkaline solution and anodic oxidation treatment involving spark discharge is performed.
  • a predetermined voltage is applied at a first voltage (a (V)) of 200 V or higher.
  • a step of performing a predetermined time process at another voltage (b (V)) lower than the first voltage according to the current density.
  • a target current density for switching to a voltage is set, and when that current density is reached, that is, when the current density drops to a predetermined current density, it is lower than the first voltage (a (V)).
  • the voltage is lowered to the voltage (b (V)), and the processing is continued at that voltage.
  • the current density at the start of the first voltage treatment is preferably in the range of 0.02 A / cm 2 to 0.1 A / cm 2 . If it is less than 0.02 A / cm 2 , the voltage may not increase and discharge may not occur.
  • the process by another voltage should just be once or more, and the method of dropping to another voltage may be stepwise or linear.
  • the processing time by the first voltage is continued until the predetermined current density is reached, and the processing time by the other voltages is, for example, 100 with respect to the initial current density (iA / cm 2 ). It is continued until the current density reaches a desired value of% or less (for example, 30 to 40%).
  • the processing time by the first voltage is usually 10 minutes or more.
  • the voltage and current waveforms to be applied may be alternating current, direct current, or superposition of alternating current and direct current.
  • the current or voltage may be either a sine wave or not a sine wave.
  • the other voltage is preferably 200V to 400V. If the voltage exceeds 400 V, the film thickness can be increased, but the formed film is destroyed by electric discharge, and it is difficult to attach through holes provided in the object to be processed or complicated electrodes. This is because the film cannot be grown and the film structure becomes rough and the corrosion resistance deteriorates. Moreover, when it is less than 200 V, discharge does not occur, and only a thin film having a thickness of about 200 nm can be formed, resulting in poor corrosion resistance.
  • the member on which the oxide film is formed is preferably heated at 150 ° C. to 500 ° C. in the atmosphere. This is because the formed oxide film can be made denser to improve the corrosion resistance. The reason why the above range is adopted is that oxidation is not accelerated when the temperature is lower than 150 ° C., and energy is consumed only when the temperature exceeds 500 ° C., and a great effect cannot be expected.
  • the housing 10 may be obtained by forging or casting. This is because the manufacturing cost is lower than that of cutting out from a metal block, the gas released from the welded portion can be eliminated, and the sealing performance of the internal flow path can be improved.
  • forging molding in order to simplify the process, the box described in the above cutting process and the plate material constituting the upper wall 10h provided with the through hole 16 of the piston rod 14 are molded separately. It is preferable.
  • the inside of the housing 10 has a shape without an undercut.
  • the box may be formed by sheet metal processing.
  • press working or bulge forming processing by a fluid such as hydraulic pressure is performed.
  • shallow drawing is performed using a mold having a circular, elliptical, or quadrangular cross-sectional shape, and deep drawing (FIG.
  • bottomed bottom holes 24a, 26a to be taps of the bolt holes 24, 26 are formed by burring ((d) in the figure), and taps are formed on the inner peripheral surfaces of the bottom holes 24a, 26a ( (E)), the C-ring groove 28 and the O-ring groove 29 are formed on the inner periphery from the opening side by machining, and the valve opening surface 11 and the opening surface 18 are formed by machining (FIG. (F)).
  • a cylinder unit driven by air or the like which is configured by inserting the piston rod 14 through the plate 10f and providing the valve body 13 at the tip of the piston rod 14, is mounted on the box. It becomes a vacuum valve.
  • the tap hole 26a is formed by being pressed and extended from the bottom surface side of the housing 10, and when the valve opening surface 11 is punched in the step (f), the pilot hole 26a is formed.
  • the flange 25a of 26a is preferably used as the valve seat 12. This is because the process can be simplified.
  • a tap 30 for bolting the plate material constituting the plate material (upper wall) 10h is provided on the flange of the box. You may make it form.

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Abstract

　外径寸法の小さく、低製造コストの真空用バルブ筐体及びこの筐体から構成される真空用バルブを提供する。　直方体形状の筐体の少なくとも１面の中央部に凹部を設け、前記凹部の底面の中央部に開口面を設け、前記開口面の外周の外側に他の配管のフランジを固定するためのボルト孔を設けたことを特徴とする。

Description

真空用バルブ筐体及び真空用バルブ
　本発明は、真空容器を真空ポンプで真空排気する際に、排気系統を切り換える等の目的で使用される真空バルブ及びこれを構成する筐体に関する。
　従来、真空用バルブとして、例えば、特許文献１に開示がされている。この種のバルブは、通常は図１に示すように、ピストンロッド１により中空円筒状の筐体２内の長手方向に移動する弁体３を備え、弁体３により開閉する排気口４を筐体２の長手方向の端面に備え、筐体２の側面にフランジ部を備えた中空円筒体５を立設して、その端面に排気口となる開口面６を形成して、内部流路がＬ型の真空用バルブとして構成される。
　上記のように筐体２の側面に中空円筒体５を立設する構造の場合には、バルブの外形寸法が大きくなるという問題があった。また、少なくとも２つの中空円筒状の部材２，５を溶接により接合するために、真空雰囲気下で溶接部から放出されるガスが問題となり高真空用及び／又は高純度ガス用の真空用バルブとして使用することができないという問題があった。
特開２００１－３２４０５１号公報
　そこで、本発明は、外径寸法の小さく、溶接を行わずに低製造コストの真空用バルブ筐体及びこの筐体から構成される真空用バルブを提供することを目的とする。
　本発明の解決手段は、請求項１に記載の通り、中空円筒体を備えていない流路となる複数の開口面を備え、直方体形状の筐体の少なくとも１面の中央部に凹部を設け、前記凹部の底面の中央部に開口面を設け、前記開口面の外周の外側に他の配管のフランジを固定するためのボルト孔を設けたことを特徴とする。
　また、請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の真空用バルブ筐体において、前記筐体の構成部材はアルミニウム又はアルミニウム合金のブロックを切削加工することにより得たものであることを特徴とする。
　また、請求項３記載の本発明は、請求項１又は２に記載の真空用バルブ筐体において、前記筐体をアルミニウム又はアルミニウム合金から構成し、前記筐体内に形成される流路表面をアノード酸化処理をしたことを特徴とする。
　また、請求項４記載の本発明は、請求項１に記載の真空用バルブ筐体において、前記筐体は鍛造成型又は鋳造成型により得たものであることを特徴とする。
　また、請求項５に記載の本発明は、請求項１に記載の真空用バルブ筐体において、前記筐体は板金加工により得たものであることを特徴とする。
　また、請求項６に記載の本発明は、請求項５に記載の真空用バルブ筐体において、前記ボルト孔を板金加工により有底孔として形成する際に生じるフランジ部を弁座としたことを特徴とする。
　また、本発明の真空用バルブは、請求項７に記載の通り、請求項１に記載の真空用バルブ筐体から構成されることを特徴とする。
　本発明によれば、配管と接続するための部位を筐体から突出させずに設けることができ、真空用バルブの省スペース化を図ることができる。また、２つの部材を溶接することなくバルブ筐体を製造することができるので、真空雰囲気下で放出ガスを低減することが可能となる。
従来の真空用バルブの側断面図 （ａ）本発明の一実施の形態の真空用バルブの側断面図（ｂ）同底面図（ｃ）同右側面図 本発明の他の実施の形態の真空用バルブ筐体の製造例の説明図 図３で説明した実施の形態の変形例の説明図
　本発明の真空用バルブ用筐体は、弁座が当接する面間の方向において断面形状が、多角形状、好ましくは、多角形状をしたものである。例えば、八角形柱体（正も含む）、六角形柱体（正も含む）、直方体、更に好ましくは、立方体形状をしたものであり、その筐体内に弁体と弁座とを備えることにより、真空用バルブとして機能するものである。
　以下に、図面を参照して、本発明の一実施の形態の真空用バルブを、同バルブ筐体とともに説明する。
　図２に示される本発明の一実施の形態の真空用バルブは、略立方体形状の筐体１０の底面１０ａの中央部には、底面１０ａと垂直方向の軸を有する筒形状（図示したものでは、円筒形状）の凹部１０ｕ－１が設けられ、この凹部１０ｕ－１の底面の中央部には開口面１１（以下、「弁開口面」とする。）が設けられている。弁開口面１１の外周の外側には、同図（ｂ）に示す通り、間隔が均等になるようにボルト孔２６が穿孔されている。尚、本筐体１０には、流路となる他の中空円筒状の部材及び弁体は設けられていない。
　また、弁開口面１１から筐体１０の内部に向かっては流路が形成されており、該流路は横方向に設けられた流路と直交する部位において断面が狭くなるように形成され、この部位に弁座１２が形成される。
　弁座１２の上面に着座して弁の開閉を行う弁体１３は、筐体１０の上面から挿通されるピストンロッド１４の先端部に固定される。図示した例では、ピストンロッド１４の先端部の鍔部に弁体１３の上部を嵌合することにより固定している。また、弁体１３の下面には、その外周に沿った溝が形成されており、この溝内にリング状のシール部材１５を設けることにより、弁体１３が弁座１２に当接する際のシール性が高められている。尚、筐体１０の上壁１０ｈには、ピストンロッド１４が挿通される通孔１６が設けられているが、この通孔１６の内周面にもシール部材１７を設け、ピストンロッド１４と通孔１６とのシール性を高めるようにしている。また、筐体１０の上面を構成する上壁１０ｈと、筐体の側面を構成する側壁（図示したものでは、１０ｄ，１０ｆ）との接合面にも同様の目的でＯリング等のシール部材が介挿されている。
　上述の通り、筐体１０の内部には横方向に流路が形成されており、この流路は筐体１０の右側面１０ｂにおいて開口面１８で終端し、左側面において開口面２０で終端する。開口面１８，２０は、本実施の形態では同形態としているため、以下の説明では開口面１８を中心に説明する。開口面１８は、底面１０ａと同様に右側面の中央部に形成される筒形状（図示したものでは、円筒状）の凹部１０ｕ－２の底面の中央部に形成される。開口面１８の外周の外側には、同図（ｃ）に示す通り、間隔が均等になるようにボルト孔２４が穿孔されている。
　本実施の形態では、筐体１０の底面１０ａ及び右側面１０ｂには、それぞれ凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２が設けられていることにより、直方体形状の筐体１０の底面１０ａ及び右側面１０ｂから接続配管等のための開口部を備えた突起物を設ける必要がない。また、突起物を溶接する必要もないため、真空用のバルブとして有用なものとなる。更に、筐体１０が立方体を含む直方体形状となるので搬送や取り扱いがし易くなる。
　上記説明した筐体１０に設ける凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２は、筐体１０を構成する平面の少なくとも１つの面であればよい。
　また、凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２の平面形状は、図示したもの（図２（ｂ）及び（ｃ））では円形状としたが、接続される配管を収容することができる形状であれば特に制限をするものではない。また、凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２の底面の内周部に形成されるボルト孔２４，２６の間隔についても、接続部の気密性を保つことができれば必ずしも等間隔で設ける必要はない。尚、ボルト孔２４，２６の内周面を含む凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２の内周面には、接続部の耐久性を高めるべく、金属皮膜やタフラム（登録商標）（アルマイトにフッ素樹脂を含浸する処理）等の処理することが好ましい。
　尚、本明細書における筐体１０の直方体形状とは、弁開口面１１と、これに直交する４面（筐体側面）とが平面で構成された形状をいうものとする。図２（ａ）で示すように、筐体１０の上面を構成する板材１０ｈは、通常、弁体１３、ピストンシリンダ１４及びエアシリンダ等の駆動機構２２とともに一体として構成されて、筐体１０の上面側からボルト１９により固定されるため、若干の段差が生じるからである。
　また、上記筐体１０の構成部材は、直方体乃至は立方体のアルミニウム又はアルミニウム合金のブロックから切削加工により得ることが好ましい。複数の板材を溶接により接合すると放出ガスが多くなり、内部流路のシール性を高く保つことが困難となるからである。
　一例を図２を参照して説明すると、筐体１０の板材（上壁）１０ｈを除いた上面開口の箱体、即ち、底壁１０ｃとその周りに立設する４枚の側壁（図示されるものは、２枚の側壁１０ｄ，１０ｆ）と板材（上壁）１０ｈとを、アルミニウム又はアルミニウム合金からなるブロックを切削加工して得る。この場合、凹部１０ｕ－１，１０ｕ－２、通孔１６、開口面１８，２０も切削加工により形成する。
　また、筐体１０を、アルミニウム又はアルミニウム合金から構成し、前記筐体内に形成される流路表面をアノード酸化処理することが好ましい。筐体１０の内部の流路表面にまで、回り込んで確実に皮膜形成することができるからである。また、切削加工により得られた部材表面へも十分な皮膜を形成することができるからである。
　前記アノード酸化処理は、被処理物を、アルカリ溶液中に浸漬して、火花放電を伴うアノード酸化処理をして、被処理物表面に酸化皮膜を形成するものであり、２００Ｖ以上の第１の電圧で所定の時間処理する工程と、電流密度に応じて第１の電圧よりも低い他の電圧で所定の時間処理する工程とを含むものである。
　前記アルカリ溶液の電解液の例としては、リン酸水素二ナトリウム、トリポリリン酸ナトリウム、リン酸二水素ナトリウム、ウルトラポリリン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、水酸化カリウム、二リン酸ナトリウム、リン酸三ナトリウム、アルミン酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム及び水酸化ナトリウム等の中の１種類又はこれらの中の混合物を、水に溶解させたものを用いることができる。
　また、被処理物としては、アルミニウム又はアルミニウム合金を使用するが、アルミニウム合金の鋳物材料、ダイキャスト材料はシリコンを代表として、一般的に含有されている元素が多く、ポーラス型アノード酸化皮膜が形成し難いといわれている。
　本発明によれば、このようなシリコンが多い鋳物、ダイキャストでも耐食性良好な皮膜を形成することができる。また、展伸材の中でもＡｌ－Ｓｉ合金の４０００番系の処理も同様な理由でポーラス型アノード酸化処理の耐食性は悪いが、本発明によれば、良好な酸化皮膜が形成できる。シリコンが析出していないような展伸材、１０００番～３０００番、５０００番から７０００番台のアルミニウム合金についても複雑形状の場合や１００℃以上の高温になる場合には効果がある。
　上記アノード酸化処理は、被処理物をアルカリ溶液中に浸漬して、火花放電を伴うアノード酸化処理を行うものであるが、その際、２００Ｖ以上の第１の電圧（ａ（Ｖ））で所定の時間処理を行う工程と、電流密度に応じて、第１の電圧よりも低い他の電圧（ｂ（Ｖ））で所定の時間処理を行う工程を含むようにする。具体的には、電流密度（ｉＡ／ｃｍ２）を監視しながら、第１の電圧の処理開始時の電流密度に対して、１００％以下の所望の値（例えば、８０％等）で他の電圧に切り換えるための目標となる電流密度を設定しておき、その電流密度になった際に、即ち、所定の電流密度に低下した際に、第１の電圧（ａ（Ｖ））よりも低い電圧（ｂ（Ｖ））まで降下させ、その電圧で処理を継続する。第１の電圧の処理開始時の電流密度としては、０．０２Ａ／ｃｍ２～０．１Ａ／ｃｍ２の範囲とすることが好ましい。０．０２Ａ／ｃｍ２未満であると、電圧が上がらず放電しないことがあり、０．１Ａ／ｃｍ２を超えると電圧が高くなり形成された膜が放電により破壊され皮膜構造が粗くなり耐食性が悪化するからである。尚、他の電圧による処理は、１回以上であればよく、他の電圧まで降下させる方法は、段階的であってもリニアであってもよい。また、第１の電圧による処理時間は、上記の通り、所定の電流密度となるまで継続され、他の電圧による処理時間は、当初の電流密度（ｉＡ／ｃｍ２）に対して、例えば、１００％以下の所望の値（例えば、３０～４０％等）の電流密度となるまで継続される。尚、第１の電圧による処理時間は、通常は、１０分以上となる。
　また、印加する電圧及び電流の波形に関しては、交流、直流や交流と直流の重畳のいずれでもよく、交流の場合には、電流又は電圧は、正弦波でも、正弦波でなくてもよい。
　上記のように、電圧を一定で処理することにより、電流の流れやすいところ、即ち、酸化皮膜が形成されていないところに順次酸化皮膜を形成させることができ、被処理物の凹んだ部分や貫通孔内に電極を配置することなく孔の内部表面までも酸化皮膜を形成させることができる。
　また、他の電圧は、２００Ｖ～４００Ｖとすることが好ましい。４００Ｖを超えると、皮膜厚さは厚くできるものの、形成された膜が放電で破壊され、被処理物に設けられた貫通孔や複雑に入り組んだ電極を装着することが困難な形状において、皮膜を成長させることができず、また、皮膜構造が粗くなり耐食性が悪化するからである。また、２００Ｖ未満であると、放電が起こらず皮膜が２００ｎｍ程度の薄い皮膜しか形成できず、耐食性が劣ることになるからである。
　また、上記電圧までは、一定の電流密度で上昇させることが好ましい。
　また、更に、上記酸化皮膜が形成された部材は、大気下において、１５０℃～５００℃で加熱することが好ましい。形成された酸化皮膜をより緻密なものとして、耐食性を向上させることができるからである。尚、上記範囲とした理由は、１５０℃未満であると酸化が促進されず、５００℃を超えるとエネルギーを消費するだけで大きな効果は望めないためである。
　また、筐体１０は、鍛造成型又は鋳造成型により得るようにしてもよい。金属製のブロックからの削り出し成型よりも製造コストが安く、しかも、溶接部からの放出ガスをなくすことができ、また、内部流路のシール性を高めることができるからである。
　鍛造成型の場合には、工程を簡略化するために、上記切削加工で説明した箱体と、ピストンロッド１４の通孔１６が設けられた上壁１０ｈを構成する板材とを別体として成型することが好ましい。また、工程を簡略化するために、筐体１０内部はアンダーカットのない形状とすることが好ましい。
　また、更に、図３に示すように、前記箱体を、板金加工により形成してもよい。この場合、同図（ａ）で示される一枚の平板２５、或いは、一本の管から、同図（ｂ）～（ｇ）に示すようにして、プレス加工や油圧等液体によるバルジ成型加工により形成することができる。
　詳細には、同図（ｂ）で示されるように、断面形状が円形、楕円形又は四角形状の型を使用して浅めの絞り加工を行い、同断面形状の型により深く絞り（同図（ｃ））、ボルト孔２４，２６のタップとなる有底の下孔２４ａ，２６ａをバーリング加工により成型し（同図（ｄ））、下孔２４ａ，２６ａの内周面にタップを形成し（同図（ｅ））、内周に開口側からＣリング用溝２８及びＯリング用溝２９を機械加工により形成し、更に、弁開口面１１及び開口面１８を機械加工により形成する（同図（ｆ））。
　その後、図２に示されるように、板材１０ｆにピストンロッド１４を挿通し、ピストンロッド１４の先端部に弁体１３を設けることにより構成された空気等で駆動されるシリンダユニットを箱体に装着して真空用バルブとなる。
　尚、上記工程（ｄ）においてタップ用の下孔２６ａは、筐体１０の底面側からの押圧され延伸されて形成され、工程（ｆ）で弁開口面１１が打ち抜かれた際に、下孔２６ａのフランジ部２５ａを弁座１２とすることが好ましい。工程を簡素化できるからである。
　尚、図３（ｆ）におけるＣリング用溝２８を設けることなく、図４に示すように、板材（上壁）１０ｈを構成する板材をボルト締めするためのタップ３０を、箱体のフランジに形成するようにしてもよい。
　１　ピストンロッド
　２　筐体
　３　弁体
　４　排気口
　５　中空円筒体
　６　開口面
１０　筐体
１０ａ筐体底面
１０ｂ筐体右側面
１０ｕ－１　底面の凹部
１０ｕ－２　右側面の凹部
１０ｃ底壁
１０ｄ側壁
１０ｆ側壁
１０ｈ上壁
１１　開口面（弁開口面）
１２　弁座
１３　弁体
１４　ピストンロッド
１４ａピストンロッドの鍔部
１５　シール部材
１６　通孔
１７　シール部材
１８　開口面（右側面）
１９　ボルト
２０　第２の開口面（第１の開口面と対向位置の開口面）
２２　駆動機構
２３　ボルト
２４　ボルト孔
２５　平板
２６　ボルト孔
２７　シール部材
２８　Ｃリング用溝
２９　Ｏリング用溝
３０　タップ

Claims (7)

  1. 　中空円筒体を備えていない流路となる複数の開口面を備え、直方体形状の筐体の少なくとも１面の中央部に凹部を設け、前記凹部の底面の中央部に開口面を設け、前記開口面の外周の外側に他の配管のフランジを固定するためのボルト孔を設けたことを特徴とする真空用バルブ筐体。
  2. 　前記筐体の構成部材はアルミニウム又はアルミニウム合金のブロックを切削加工することにより得たものであることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ筐体。
  3. 　前記筐体をアルミニウム又はアルミニウム合金から構成し、前記筐体内に形成される流路表面をアノード酸化処理をしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空用バルブ筐体。
  4. 　前記筐体は鍛造成型又は鋳造成型により得たものであることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ筐体。
  5. 　前記筐体は板金加工により得たものであることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ筐体。
  6. 　前記ボルト孔を板金加工により有底孔として形成する際に生じるフランジ部を弁座としたことを特徴とする請求項５に記載の真空用バルブ筐体。
  7. 　請求項１に記載の真空用バルブ筐体から構成されることを特徴とする真空用バルブ。
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