WO2011026776A1 - Photonenquelle mit variablem filter - Google Patents

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photon radiation
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Holger Baule
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    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
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    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
    • G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
    • G21K1/043—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers changing time structure of beams by mechanical means, e.g. choppers, spinning filter wheels

Definitions

  • Photon source WITH VARIABLE FILTER The invention relates to a photon source which produces when striking ⁇ fen generated in an electron source to a target photon radiation, takes the serving by the hardening of the photon radiation modulator.
  • Photon radiation of various energies keV to MeV
  • keV to MeV is used in many areas for radiation or irradiation, for example for imaging in the non-destructive testing of materials as well as for imaging in medicine during diagnosis and therapy.
  • photon radiation is emitted
  • the photon radiation is generated by deceleration (Bremsstrahlung) of a jet of fast electrons in a target.
  • the photon (photon quanta) so produced have a spectral distribution corresponding in maximum energy of the energy of the accelerated electrons be ⁇ .
  • the photon spectrum can be changed, for example, by modifying the energy of the electrons incident on the target (eg from 1 MeV to 6 MeV), by selecting the target material and its thickness and by using various hardening filters behind the target. This is used, for example, in non-destructive material testing for material detection.
  • the method is based on the fact that materials have a different absorption behavior with spectrally different photon radiation. For a fast material-sensitive image ⁇ tion rapid switching of the electron energy or rapid spectral change of the photon radiation used for fluoroscopy is necessary.
  • Object of the present invention is to provide a structurally simple constructed photon source, which allows a fast and sensitive imaging.
  • the object is achieved by a photon source according to claim 1.
  • Advantageous embodiments of the photon source according to the invention are the subject of further claims.
  • the photon source of claim 1 includes a target that generates upon impacting in an electron source
  • Electrons generate photon radiation that passes through a curing photoconradiation modulator.
  • the modulator is tion stages in at least two modulation switching, wherein in a first modulation stage, the unfiltered radiation photons emerging from the modulator and the photo ⁇ 's rays be cured after filtering exits in at least one further modulation stage of the modulator.
  • the present invention uses the effect of the Aufhär ⁇ tion of photon radiation in the target and / or after the target, by at least one filter in at least one other modulation stage.
  • the modulation of the spectrum of the photon radiation is not effected by a complex change in the acceleration energy of the electrons, but By hardening the photon radiation generated in the target.
  • the hardening of the photon radiation is effected by at least one filter which is arranged in the beam path of the photon radiation emitted by the target and which is a component of at least one further modulation stage.
  • the hardening of photon radiation is a special filtering of photon radiation, which reduces the amount of soft (low-energy) photon radiation.
  • Soft photon radiation has a lower throughput ⁇ dringungsever of matter, so has a higher From ⁇ sorption on. This leads to an additional Strahlbelas ⁇ tion (increasing the radiation exposure of the patient) and is therefore undesirable. It is also advantageous to work with differently hardened photon spectra in material analysis.
  • the extent of the spectrum of the photon radiation is maintained (cut-off wavelengths remain the same), but the low-energy photons of the photon radiation are weakened more strongly than the higher-energy photons of the photon radiation by at least one filter matched in its material to the desired photon spectrum.
  • the proportions shift in the photon spectrum toward higher energies and you get a total of harder radiation (relative increase in energy ⁇ ren photon radiation). This can be done with both the primary Bremsstrahlung and the hardened photon radiation, a change in the E-field amplitude is not required.
  • This provides for the invention shown SEN solution of two or more different Photonenspekt ⁇ ren for the screening of materials or people.
  • the influence of different filtering on the photon spectrum is that the intensity increase with increasing filter thickness and with the same filter material or at ⁇ the atomic number Z of the filter material and at the same FIL terdicke is reduced and that additionally changes the spectral ⁇ cal composition of the photon radiation.
  • different hardened photon spectra can be generated with a single electron source.
  • Soft parts of the photon radiation are filtered more strongly in the filter material than harder parts (shorter wavelength or higher frequency), which leads to a hardening of the photon radiation.
  • the purpose of additional filtering is so-with is soft shares of photon radiation to absorbie ⁇ ren to work quickly with photon radiation of different spectral distribution both in the material and in the investigation Schmge- environment as well as in therapy application.
  • the modulator of the photon source comprises a first modulation stage, in which the photon radiation (emitted from the target bremsstrahlung) exits unfiltered from the modulator and at least one further modulation stage ⁇ from which a set hardened and thus modulated photo- exits nenstrahl.
  • a further modulation stage ⁇ from which a set hardened and thus modulated photo- exits nenstrahl.
  • the modulator is designed as a rotatable disc having a modulation stages corresponding to ⁇ number of recesses.
  • An alternative, likewise advantageous embodiment of the photon source is characterized in that the modulator is designed as a linearly movable insert which has a number of recesses corresponding to the modulation stages.
  • ge ⁇ indicates that the modulator and the target are designed as common component mes.
  • the modulator has a number of recesses corresponding to the modulation stages, then it is advantageous if the photon radiation pulses can be synchronized with the recesses or the modulation stages by means of a synchronization device.
  • the synchronization device may comprise, for example, a laser source and a photodetector or alternatively a magnet and a Hall probe.
  • the filtering necessary for the hardening of the photon radiation is carried out according to the invention in one or more further modulation stages.
  • the filters required for this purpose may consist, for example, of tungsten or copper.
  • ⁇ means of a filter-tungsten layer thickness of about 1 mm to about 20 mm is advantageous.
  • the combination of filter material and filter thickness depends on the spectrum of the photon radiation emitted by the target (bremsstrahlung spectrum).
  • FIG. 1 shows a side view of a photon source in the region ei ⁇ nes curing the photon radiation serving modulator and
  • FIG 2 is a plan view of the modulator of the photon source according to FIG. 1
  • the photon source shown in FIG. 1 comprises a target 1, which generates photon radiation 3 when electrons 2 impinge.
  • the electrons 2 are, for example, he ⁇ evidence by thermal emis sion ⁇ known per se in an electron source, which is not shown in FIG 1 for the sake of clarity.
  • the photon radiation 3 (Bremsstrahlung) generated in the target 1 passes through a modulator 4 and is thereby hardened to different degrees (not hardened up to strongêthär ⁇ Tet).
  • the modulator 4 is switchable in at least two modulation stages, wherein in a first modulation stage the photo ⁇ nenstrahlung 3 unfiltered exits the modulator 4 and in at least one further modulation stage, the photon ⁇ radiation 3 hardens after filtering emerges from the modulator 4 tor.
  • the Mo ⁇ dulator 4 is formed as a rotatable around a rotation axis 5 Disc.
  • the disk has a circular cross-section and has a number of recesses 6a, 6b, 6c, 6d corresponding to the modulation stages 4a, 4b, 4c, 4d.
  • the modulator 4 shown in FIG 2 comprises a first Modula ⁇ tion stage 4a, from which the photon radiation 3 exits unfiltered. In this case, the photon radiation 3 continues to have the primary brake spectrum after passing through the recess 6a.
  • the modulator 4 also comprises three further modulation stages. fen 4b, 4c, 4d, in which the photon radiation 3 is cured to different degrees by filtering. For this purpose, in each of the three recesses 6b, 6c, 6d each have a different filter 7b, 7c, 7d arranged through which the photon radiation 3 (Bremsstrahlung) generated in the target 1 passes through and due to the three different filters 7b, 7c, 7d respectively different is hardened.
  • the photon radiation 3 exits the modulator 4 and strikes the object to be examined (patient or material sample).
  • the modulator a modulation stages corresponding number of recesses, it is advantageous if the photon radiation pulses can be synchronized by means of a not shown in FIGS 1 and 2, synchronization means with the recesses or the Mo ⁇ dulationsrasen.
  • the photon radiation pulse is thereby triggered by the position of the recesses 6a, 6b, 6c, 6d.
  • the synchronization device may comprise, for example, a laser source and a photodetector or alternatively a magnet and a Hall probe.
  • the modulator according to FIG. 2 in the irradiated regions consists of circular segments which are manufactured from corresponding filter materials and / or corresponding filter thicknesses.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Photonenquelle die beim Auftreffen von in einer Elektronenquelle erzeugten Elektronen (2) auf ein Target (1) Photonenstrahlung (3) erzeugt, die durch einen der Aufhärtung der Photonenstrahlung (3) dienenden Modulator (4) tritt. Erfindungsgemäß ist der Modulator (4) in wenigstens zwei Modulationsstufen schaltbar, wobei in einer ersten Modulationsstufe (4a) die Photonenstrahlung (3) ungefiltert aus dem Modulator (4) austritt und in wenigstens einer weiteren Modulationsstufe (4b, 4c, 4d) die Photonenstrahlung (3) nach einer Filterung aufgehärtet aus dem Modulator (4) austritt. Eine derartige Photonenquelle ist konstruktiv einfach aufgebaut und ermöglicht eine schnelle und sensitive Bildgebung.

Description

Beschreibung
PHOTONENQUELLE MIT VARIABLEM FILTER Die Erfindung betrifft eine Photonenquelle, die beim Auftref¬ fen von in einer Elektronenquelle erzeugten Elektronen auf ein Target Photonenstrahlung erzeugt, die durch einen der Aufhärtung der Photonenstrahlung dienenden Modulator tritt. Photonenstrahlung verschiedener Energie (keV bis MeV) wird in vielen Bereichen zur Durchstrahlung oder Bestrahlung eingesetzt, beispielsweise zur Bildgebung in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung sowie zur Bildgebung in der Medizin bei Diagnose und Therapie. Außerdem wird Photonenstrahlung ab
100 keV bis weit in den MeV-Bereich zur direkten Strahlentherapie genutzt.
Die Photonenstrahlung wird durch Abbremsung (Bremsstrahlung) eines Strahls schneller Elektronen in einem Target erzeugt. Die so erzeugten Photonen (Photonenquanten) haben eine spektrale Verteilung, deren maximale Energie der Energie der be¬ schleunigten Elektronen entspricht. Das Photonenspektrum lässt sich beispielsweise verändern durch die Modifikation der Energie der auf das Target auftreffenden Elektronen (z.B. von 1 MeV bis 6 MeV) , durch die Auswahl des Targetmaterials und dessen Dicke sowie durch den Einsatz diverser Aufhärtungsfilter hinter dem Target. Dies wird z.B. in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung zur Materialerkennung genutzt. Das Verfahren beruht darauf, dass Materialen bei spektral un- terschiedlicher Photonenstrahlung ein verändertes Absorptionsverhalten haben. Für eine schnelle materialsensitive Bild¬ gebung ist eine rasche Umschaltung der Elektronenenergie bzw. rasche spektrale Veränderung der zur Durchleuchtung verwendeten Photonenstrahlung notwendig.
Um eine Veränderung der Photonenstrahlung zu erreichen, wird die Beschleunigungsenergie der Elektronen verändert, wodurch sich die obere Grenzenergie des Photonenspektrums verschiebt. Diese Art der Energieumschaltung ist aufwändig, da die Be¬ schleunigungsenergie der Elektronen primär durch eine Ände¬ rung der Amplitude der E-Felder im Beschleuniger (Elektronenquelle) erreicht wird. Diese E-Felder müssen somit in den kurzen Zeitabständen der aufeinander folgenden Strahlungspulse umgeschaltet werden. Die pro Strahlungspuls unterschied¬ lich beschleunigten Elektronen bewirken durch ihre Wechselwirkung im Target Photonenstrahlungspulse mit unterschiedlich ausgedehnten Energiespektren.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine konstruktiv einfach aufgebaute Photonenquelle zu schaffen, die eine schnelle und sensitive Bildgebung ermöglicht. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Photonenquelle gemäß Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Photonenquelle sind jeweils Gegenstand von weiteren Ansprüchen. Die Photonenquelle nach Anspruch 1 umfasst ein Target, das beim Auftreffen von in einer Elektronenquelle erzeugten
Elektronen Photonenstrahlung erzeugt, die durch einen der Aufhärtung der Photonenstrahlung dienenden Modulator tritt. Erfindungsgemäß ist der Modulator in wenigstens zwei Modula- tionsstufen schaltbar, wobei in einer ersten Modulationsstufe die Photonenstrahlung ungefiltert aus dem Modulator austritt und in wenigstens einer weiteren Modulationsstufe die Photo¬ nenstrahlung nach einer Filterung aufgehärtet aus dem Modulator austritt.
Die vorliegende Erfindung nutzt hierzu den Effekt der Aufhär¬ tung von Photonenstrahlung im Target und/oder nach dem Target, durch zumindest ein Filter in wenigstens einer weiteren Modulationsstufe .
Bei der erfindungsgemäßen Lösung erfolgt die Modulation des Spektrums der Photonenstrahlung nicht durch eine aufwändige Veränderung der Beschleunigungsenergie der Elektronen, son- dern durch eine Aufhärtung der im Target erzeugten Photonenstrahlung. Die Aufhärtung der Photonenstrahlung erfolgt durch zumindest ein Filter, das im Strahlgang der vom Target emittierten Photonenstrahlung angeordnet ist und das Bestandteil wenigstens einer weiteren Modulationsstufe ist.
Bei der Aufhärtung von Photonenstrahlung handelt es sich um eine spezielle Filterung der Photonenstrahlung, bei der der Anteil von weicher (energiearmer) Photonenstrahlung reduziert wird. Weiche Photonenstrahlung besitzt eine geringere Durch¬ dringungsfähigkeit von Materie, weist also eine höhere Ab¬ sorption auf. Dies führt zu einer zusätzlichen Strahlenbelas¬ tung (Erhöhung der Strahlenexposition des Patienten) und ist deshalb unerwünscht. Auch bei der Materialuntersuchung ist es von Vorteil, mit unterschiedlich aufgehärteten Photonenspektren zu arbeiten.
Durch erfindungsgemäße Maßnahme bleibt die Ausdehnung des Spektrums der Photonenstrahlung erhalten (Grenzwellenlängen bleiben gleich), jedoch werden die niederenergetischen Photonen der Photonenstrahlung durch wenigstens ein in seinem Material auf das gewünschte Photonenspektrum abgestimmtes Fil¬ ter stärker geschwächt als die höherenergetischen Photonen der Photonenstrahlung. Somit verschieben sich die Anteile im Photonenspektrum hin zu höheren Energien und man erhält insgesamt härtere Strahlung (relative Zunahme der energiereiche¬ ren Photonenstrahlung) . Damit kann sowohl mit der primären Bremsstrahlung als auch mit der aufgehärteten Photonenstrahlung gearbeitet werden, eine Änderung der E-Feld-Amplitude ist nicht erforderlich. Damit stehen bei der erfindungsgemä¬ ßen Lösung zwei oder mehrere unterschiedliche Photonenspekt¬ ren zur Durchleuchtung von Materialien oder Personen zur Verfügung . Der Einfluss unterschiedlicher Filterung auf das Photonenspektrum besteht darin, dass die Intensität bei zunehmender Filterdicke und bei gleichem Filtermaterial bzw. bei steigen¬ der Ordnungszahl Z des Filtermaterials und bei gleicher Fil- terdicke vermindert wird und dass sich zusätzlich die spekt¬ rale Zusammensetzung der Photonenstrahlung verändert. Somit lassen sich durch eine geeignete Wahl der Filterdicken und/oder der Filtermaterialien verschieden aufgehärtete Pho- tonenspektren mit einer einzigen Elektronenquelle erzeugen. Weiche Anteile der Photonenstrahlung werden im Filtermaterial stärker gefiltert als härtere Anteile (kürzere Wellenlänge bzw. höhere Frequenz), was zu einer Aufhärtung der Photonenstrahlung führt. Der Zweck zusätzlicher Filterung besteht so- mit darin, weiche Anteile der Photonenstrahlung zu absorbie¬ ren, um sowohl in der Materialuntersuchung und in der Bildge- bung als auch in der Therapieanwendung schnell mit Photonenstrahlung unterschiedlicher spektraler Verteilung arbeiten zu können .
Materialuntersuchung: Materialspezifische Kontraständerung bei Durchleuchtung,
Therapie: Verringerung der Strahlenexposition des Patienten, Bildgebung: Erhöhung der Bildinformation (Dual Energy). Der Modulator der erfindungsgemäßen Photonenquelle umfasst eine erste Modulationsstufe, in der die Photonenstrahlung (vom Target emittierte Bremsstrahlung) ungefiltert aus dem Modulator austritt und zumindest eine weiteren Modulations¬ stufe, aus der ein aufgehärteter und damit modulierter Photo- nenstrahl austritt. Bei mehreren weiteren Modulationsstufen ist es möglich - abhängig von der jeweils angesteuerten weiteren Modulationsstufe - entsprechend unterschiedlich aufge¬ härtete Photonenstrahlung zu erzeugen. Durch die unterschiedlich stark aufgehärtete Photonenstrahlung (nicht aufgehärtet bis stark aufgehärtet) wird auf einfache Weise eine schnelle und sensitive Bildgebung für eine vollständige zerstörungs¬ freie Untersuchung verschiedener Materialien bzw. für eine strahlungsarme Untersuchung von Patienten ermöglicht. Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen
Photonenquelle ist der Modulator als drehbewegliche Scheibe ausgebildet, die eine den Modulationsstufen entsprechende An¬ zahl von Aussparungen aufweist. Eine alternative, ebenfalls vorteilhafte Ausführungsform der Photonenquelle ist dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator als linearbeweglicher Einschub ausgebildet ist, der eine den Modulationsstufen entsprechende Anzahl von Aussparungen aufweist.
Ein weiteres alternatives Ausführungsbeispiel ist dadurch ge¬ kennzeichnet, dass der Modulator und das Target als gemeinsa- mes Bauteil ausgeführt sind.
Weist der Modulator eine den Modulationsstufen entsprechende Anzahl von Aussparungen auf, dann ist es vorteilhaft, wenn die Photonenstrahlungspulsen mit den Aussparungen bzw. den Modulationsstufen mittels einer Synchronisationseinrichtung synchronisierbar sind.
Die Synchronisationseinrichtung kann hierbei beispielsweise eine Laserquelle und einen Fotodetektor oder alternativ einen Magneten und eine Hallsonde umfassen.
Die für die Aufhärtung der Photonenstrahlung notwendige Filterung wird erfindungsgemäß in einer oder in mehreren weiteren Modulationsstufen vorgenommen. Die hierfür benötigten Filter können beispielsweise aus Wolfram oder Kupfer bestehen. Bei einer Aufhärtung eines 6 MeV-Photonenspektrums mit¬ tels Wolfram ist eine Filter-Schichtdicke von ca. 1 mm bis ca. 20 mm vorteilhaft. Die Kombination von Filtermaterial und Filterdicke ist hierbei abhängig vom Spektrum der vom Target emittierten Photonenstrahlung (Bremsstrahlungsspektrum) .
Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen werden im Folgenden anhand eines schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Photonenquelle in der Zeichnung näher erläutert, ohne jedoch auf das erläuterte Ausführungsbeispiel beschränkt zu sein. Es zeigen: FIG 1 eine Seitenansicht einer Photonenquelle im Bereich ei¬ nes der Aufhärtung der Photonenstrahlung dienenden Modulators und FIG 2 eine Draufsicht auf den Modulator der Photonenquelle gemäß FIG 1.
Die in FIG 1 dargestellte Photonenquelle umfasst ein Target 1, das beim Auftreffen von Elektronen 2 Photonenstrahlung 3 erzeugt. Die Elektronen 2 werden z.B. durch thermische Emis¬ sion auf an sich bekannte Weise in einer Elektronenquelle er¬ zeugt, die in FIG 1 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt ist. Die im Target 1 erzeugte Photonenstrahlung 3 (Bremsstrahlung) tritt durch einen Modulator 4 und wird dadurch unterschiedlich stark aufgehärtet (nicht aufgehärtet bis stark aufgehär¬ tet) . Der Modulator 4 ist in wenigstens zwei Modulationsstufen schaltbar, wobei in einer ersten Modulationsstufe die Photo¬ nenstrahlung 3 ungefiltert aus dem Modulator 4 austritt und in wenigstens einer weiteren Modulationsstufe die Photonen¬ strahlung 3 nach einer Filterung aufgehärtet aus dem Modula- tor 4 austritt.
In dem in FIG 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Mo¬ dulator 4 als eine um eine Rotationsachse 5 drehbare Scheibe 6 ausgebildet. Die Scheibe besitzt einen kreisförmigen Quer- schnitt und weist eine den Modulationsstufen 4a, 4b, 4c, 4d entsprechende Anzahl von Aussparungen 6a, 6b, 6c, 6d auf.
Der in FIG 2 gezeigte Modulator 4 umfasst eine erste Modula¬ tionsstufe 4a, aus der die Photonenstrahlung 3 ungefiltert austritt. In diesem Fall besitzt die Photonenstrahlung 3 nach ihrem Durchtritt durch die Aussparung 6a weiterhin das primäre Bremsspektrum. Der Modulator 4 umfasst bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel außerdem drei weitere Modulationsstu- fen 4b, 4c, 4d, in denen die Photonenstrahlung 3 jeweils durch eine Filterung unterschiedlich stark aufgehärtet wird. Hierzu ist in jeder der drei Aussparungen 6b, 6c, 6d jeweils ein anderer Filter 7b, 7c, 7d angeordnet, durch den die im Target 1 erzeugte Photonenstrahlung 3 (Bremsstrahlung) hindurch tritt und aufgrund der drei verschiedenen Filter 7b, 7c, 7d jeweils unterschiedlich aufgehärtet wird.
Die Auswahl der Filter 7b, 7c, 7d hinsichtlich Material und Schichtdicke ist hierbei abhängig von der ursprünglichen
Energie der Bremsstrahlung und der auf den Anwendungsfall ab¬ gestimmten Aufhärtung der Photonenstrahlung.
Nach ihrer Aufhärtung tritt die Photonenstrahlung 3 aus dem Modulator 4 aus und trifft auf das zu untersuchende Objekt (Patient oder Materialprobe) .
Durch die Rotation der runden Scheibe 6 gelangen nacheinander alle Aussparungen 6a, 6b, 6c, 6d in den Strahlengang des Pho- tonenstrahls 1. In Abhängigkeit von der Stellung der Scheibe 6 ergibt sich für den Photonenstrahl 1 somit nacheinander eine unterschiedliche Aufhärtung (Filterung) .
Weist der Modulator eine den Modulationsstufen entsprechende Anzahl von Aussparungen auf, dann ist es vorteilhaft, wenn die Photonenstrahlungspulse mit den Aussparungen bzw. den Mo¬ dulationsstufen mittels einer in den FIG 1 und 2 nicht dargestellten Synchronisationseinrichtung synchronisierbar sind. Der Photonenstrahlungspuls ist dadurch mit der Position der Aussparungen 6a, 6b, 6c, 6d getriggert.
Die Synchronisationseinrichtung kann beispielsweise eine Laserquelle und einen Fotodetektor oder alternativ einen Magneten und eine Hallsonde umfassen.
Anstelle einer mit einer gepulsten Elektronenstrahlung synchronisierten Spektrenmodulation ist im Rahmen der Erfindung bei einer kontinuierlichen Strahlungsquelle (Röntgenröhre oder Nuklide) auch eine positionsgesteuerte Spektrenmodulati¬ on möglich. Der Modulator gemäß FIG 2 besteht in diesem Fall in den durchstrahlten Bereichen aus Kreissegmenten, die aus entsprechenden Filtermaterialien und/oder entsprechenden Fil- terdicken gefertigt sind.
Die bei dem drehbeweglichen Modulator erläuterten Maßnahmen sind ohne weiteres auch bei einem linearbeweglichen Modulator anwendbar .

Claims

Patentansprüche
1. Photonenquelle, die beim Auftreffen von in einer Elektro¬ nenquelle erzeugten Elektronen (2) auf ein Target (1) Photo- nenstrahlung (3) erzeugt, die durch einen der Aufhärtung der Photonenstrahlung (3) dienenden Modulator (4) tritt, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator (4) in wenigstens zwei Mo¬ dulationsstufen schaltbar ist, wobei in einer ersten Modulationsstufe (4a) die Photonenstrahlung (3) ungefiltert aus dem Modulator (4) austritt und in wenigstens einer weiteren Modu¬ lationsstufe (4b, 4c, 4d) die Photonenstrahlung (3) nach ei¬ ner Filterung aufgehärtet aus dem Modulator (4) austritt.
2. Photonenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator (4) als drehbewegliche Scheibe (6) ausge¬ bildet ist, die eine den Modulationsstufen (4a - 4d) entspre¬ chende Anzahl von Aussparungen (6a - 6d) aufweist.
3. Photonenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator als linearbeweglicher Einschub ausgebildet ist, der eine den Modulationsstufen entsprechende Anzahl von Aussparungen aufweist.
4. Photonenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator und das Target (1) als gemeinsames Bauteil ausgeführt sind.
5. Photonenquelle nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Photonenstrahlung (3) eine Vielzahl von Photonenstrahlungspulsen umfasst, die mit den Aussparungen (6a - 6d) der Modulationsstufen (4a - 4d) mittels einer Synchronisationseinrichtung synchronisierbar sind.
6. Photonenquelle nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Synchronisationseinrichtung eine Laserquelle und ei¬ nen Fotodetektor umfasst.
7. Photonenquelle nach Anspruch 6 dadurch gekennzeichnet, dass die Synchronisationseinrichtung einen Magneten und eine Hallsonde umfasst.
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