WO2011007840A1 - 溶融ガラス製造方法および減圧脱泡装置、ならびにガラス製品の製造方法 - Google Patents

溶融ガラス製造方法および減圧脱泡装置、ならびにガラス製品の製造方法 Download PDF

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WO2011007840A1
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vacuum degassing
gas
degassing tank
vacuum
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元之 広瀬
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旭硝子株式会社
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
    • C03B5/16—Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/225—Refining
    • C03B5/2252—Refining under reduced pressure, e.g. with vacuum refiners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B5/16—Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/20—Bridges, shoes, throats, or other devices for withholding dirt, foam, or batch
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B5/225—Refining
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a molten glass manufacturing method, a vacuum degassing apparatus, and a glass article manufacturing method including a step of vacuum degassing molten glass in a vacuum defoaming tank.
  • a clarification process for removing bubbles generated in the molten glass is used before the molten glass obtained by melting the raw material in the melting furnace is molded by the molding apparatus. Yes.
  • molten glass is introduced into the reduced-pressure atmosphere, and bubbles in the molten glass flow that flows continuously under this reduced-pressure atmosphere are greatly grown to float up the bubbles contained in the molten glass.
  • a vacuum defoaming method is known in which bubbles are removed by breaking bubbles, and then discharged from a reduced-pressure atmosphere.
  • the reduced pressure defoaming effect refers to an effect in which bubbles contained in the molten glass are floated by the above-described action and bubbles are broken on the surface of the molten glass to be removed. Bubbles in the molten glass after the clarification step are difficult to remove, and the manufactured glass product may remain and cause defects.
  • the enlargement of the foam layer on the surface of the molten glass refers to a phenomenon in which the foam layer existing on the surface of the molten glass is usually enlarged to 10 mm to several hundred mm at a pressure of about 10 mm or less during vacuum degassing.
  • bumping is a phenomenon in which bubbles that have reached the glass surface that normally disappear with time exist stably for a long time by forming a layer without breaking, leading to an increase in the molten glass interface. Even when bumping occurs, the effect of degassing the reduced pressure is lowered, and there is a problem that bubbles may remain in the molten glass after the clarification step.
  • the applicants of the present application describe a molten glass manufacturing method and a vacuum degassing apparatus for molten glass that can prevent the foam layer on the surface of the molten glass from being enlarged, or the reduced pressure defoaming effect due to bumping. Proposed in 1 and 2.
  • the molten glass manufacturing method described in Patent Document 1 includes a step of degassing the molten glass with a water vapor concentration of 60 mol% or less by introducing a low moisture gas into the atmospheric gas in the vacuum degassing tank. Thereby, the enlargement and bumping of the foam layer on the surface of the molten glass and the reduction of the vacuum degassing effect due to them are prevented. By preventing bumping, it is possible to prevent the bumped molten glass from adhering to the walls and ceiling of the vacuum defoaming tank, thereby preventing the formation of defects in the glass product due to the falling and improving the quality.
  • the vacuum degassing apparatus for molten glass described in Patent Document 1 has low moisture gas introduction means for introducing low moisture gas into the upper space in the vacuum degassing tank.
  • a gas flow is formed above the molten glass flowing through the vacuum degassing tank to eliminate the retention of gas components from the molten glass, thereby Prevents enlargement and the resulting reduction in vacuum degassing effect. Moreover, the fall of the vacuum degassing effect by causes other than the enlargement of a foam layer is also prevented by eliminating the stay of the gas component from a molten glass.
  • the vacuum degassing apparatus for molten glass described in Patent Document 2 forms a gas flow above the molten glass flowing through the vacuum degassing tank, and therefore introduces gas into the upper space in the vacuum degassing tank.
  • gas flow forming means comprising gas deriving means for deriving gas from the upper space.
  • the present invention is a molten glass manufacturing method excellent in reduced-pressure defoaming effect, more specifically, a reduction in reduced-pressure defoaming effect due to enlargement of the foam layer is prevented.
  • Another object of the present invention is to provide a vacuum degassing apparatus suitable for the molten glass production method of the present invention. Furthermore, an object of the present invention is to provide a method for producing a glass product having high foam quality, that is, extremely low foam defects.
  • the inventors of the present invention can supply gas above the molten glass flowing in the vacuum degassing tank in the molten glass manufacturing methods described in Patent Documents 1 and 2. Also, it has been found that it may be difficult to effectively exert the vacuum degassing effect. That is, in the molten glass manufacturing methods described in Patent Documents 1 and 2, the gas supplied above the molten glass flowing in the vacuum degassing tank is the atmospheric gas in the vacuum degassing tank or the radiant heat from the molten glass surface. The temperature is much lower than the surface temperature of the molten glass flowing in the vacuum degassing vessel, and is usually about room temperature.
  • the temperature of the surface of the molten glass flowing in the vacuum degassing tank is locally reduced.
  • the bubble breaking speed on the surface of the molten glass depends on the temperature of the surface of the molten glass. Therefore, when the surface temperature of the molten glass is lowered, the bubble breaking speed on the surface is lowered.
  • the foam effect may be reduced.
  • the surface temperature of molten glass due to the supply of low-temperature gas and the reduced defoaming effect due to this are local. Can be a problem.
  • the present invention has been made based on the above-mentioned findings of the present inventors, and is a molten glass production method comprising a step of degassing a molten glass in a vacuum degassing tank, wherein the vacuum degassing tank
  • the molten glass manufacturing method which supplies gas by heating to the upper space of the molten glass which distribute
  • the present invention provides a vacuum housing that is sucked under reduced pressure, a vacuum degassing tank that is provided in the vacuum housing and performs vacuum degassing of molten glass, and is provided in communication with the vacuum degassing tank.
  • a vacuum degassing apparatus for molten glass having Provided is a vacuum degassing apparatus for molten glass, further comprising gas introduction means for introducing gas into the upper space inside the vacuum degassing tank, and heating means for heating the gas introduced into the upper space.
  • the gas introducing means comprises a hollow tube, and the heating means is provided along a pipe line passing through the vacuum housing of the hollow tube.
  • the heating means is provided inside the pipe of the hollow tube.
  • the vacuum degassing apparatus for molten glass of the present invention further includes a water vapor concentration measuring means for measuring the water vapor concentration of the atmospheric gas in the vacuum degassing tank.
  • the gas introduction means is provided on a ceiling portion or a side surface of the vacuum degassing tank in which an upper space is formed on the molten glass inside the vacuum degassing tank. ing.
  • the present invention provides a method for producing a glass product, comprising: a vacuum degassing step using the vacuum degassing apparatus for molten glass; and a raw material melting step and a molding step as a pre-process and a post-process of the vacuum de-foaming step. provide.
  • the gas heated to 500 ° C. or higher is supplied to the upper space of the molten glass flowing through the vacuum degassing tank, the temperature of the molten glass is lowered by the supply of the gas, and the vacuum degassing is performed. Without causing a reduction in the foam effect, it is possible to prevent the foam layer from becoming enlarged and thereby reducing the effect of vacuum degassing.
  • the molten glass production method of the present invention the lowering of the molten glass surface temperature due to the gas supply and the lowering of the reduced pressure defoaming effect are prevented, so the upper space of the molten glass circulating in the reduced pressure defoaming tank The supply amount of gas supplied to can be increased. Thereby, the effect which prevents the enlargement of a foam layer and the fall of the decompression defoaming effect by it can be improved further. Since the molten glass manufacturing method and the glass product manufacturing method of the present invention can obtain a molten glass and a glass product that are extremely excellent in foam quality due to the above-described effects, manufacturing a glass substrate for FPD, optical glass, and the like. It is suitable as a method.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the vacuum degassing apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a view showing the flow direction of the gas flow formed above the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12 shown in FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the vacuum degassing apparatus of the present invention.
  • a cylindrical vacuum vacuum degassing tank 12 is housed and disposed in the vacuum housing 11 such that its long axis is oriented in the horizontal direction.
  • a rising pipe 13 oriented in the vertical direction is attached to the lower surface on the upstream side of the vacuum degassing tank 12, and a lowering pipe 14 is attached to the lower surface on the downstream side.
  • the upstream side and the downstream side of the vacuum degassing tank 12 are the upstream side and the downstream side in the flow direction of the molten glass G that flows through the vacuum degassing tank 12, that is, flows laterally in the vacuum degassing tank 12.
  • Means. A part of the ascending pipe 13 and the descending pipe 14 is located in the decompression housing 11.
  • the ascending pipe 13 communicates with the vacuum degassing tank 12 and is an introduction means for introducing the molten glass G from the melting tank 200 into the vacuum degassing tank 12. For this reason, the lower end portion of the ascending pipe 13 is fitted into the open end of the upstream pit 220 and is immersed in the molten glass G in the upstream pit 220.
  • the downcomer 14 communicates with the vacuum degassing tank 12 and is a lead-out means for lowering the molten glass G after the vacuum degassing from the vacuum degassing tank 12 and leading it to a processing tank (not shown) in a subsequent process. is there.
  • the lower end portion of the downcomer pipe 14 is fitted into the open end of the downstream pit 240 and is immersed in the molten glass G in the downstream pit 240.
  • a heat insulating material 18 such as a heat insulating brick is provided around the decompression defoaming tank 12, the ascending pipe 13 and the descending pipe 14 to insulate them.
  • the rising pipe 13 and the descending pipe 14 are conduits for the molten glass G, they are manufactured using a material having excellent heat resistance and corrosion resistance to the molten glass.
  • a material having excellent heat resistance and corrosion resistance to the molten glass has been.
  • An example is a hollow tube made of platinum or a platinum alloy. Specific examples of the platinum alloy include a platinum-gold alloy and a platinum-rhodium alloy.
  • Another example is a hollow tube made of a ceramic nonmetallic inorganic material, that is, a dense refractory.
  • dense refractories include, for example, electrocast refractories such as alumina electrocast refractories, zirconia electrocast refractories, alumina-zirconia-silica electrocast refractories, and dense alumina refractories.
  • dense fired refractories such as dense zirconia-silica refractories and dense alumina-zirconia-silica refractories.
  • the decompression housing 11 that accommodates the decompression defoaming tank 12 and accommodates part of the ascending pipe 13 and the descending pipe 14 is made of metal, for example, stainless steel.
  • windows 15 and 16 for monitoring the inside of the vacuum degassing tank 12 are provided on the upstream side and the downstream side of the ceiling portion of the vacuum degassing tank 12. Yes.
  • the windows 15 and 16 are hollow tubes made of platinum, a platinum alloy, or a dense refractory, and one end communicates with the upstream side and the downstream side of the ceiling portion of the vacuum degassing tank 12 and the other end. Passes through the wall surface of the decompression housing 11 and is located outside the decompression housing 11.
  • a hollow tube 17 made of platinum, platinum alloy, or ceramic containing alumina, zirconia or the like is inserted into the window 15 provided on the upstream side of the vacuum degassing tank 12.
  • the hollow tube 17 is a gas introduction means for introducing the gas 100 into the upper space inside the vacuum degassing tank 12.
  • the upper space inside the vacuum degassing tank 12 refers to the space above the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12.
  • the tip of the hollow tube 17 is located above the molten glass G.
  • the window 16 provided on the downstream side of the vacuum degassing tank 12 is connected to pressure reducing means (not shown) such as a pump, and exhausts the atmospheric gas in the upper space to the outside of the vacuum housing 11.
  • the inside of the vacuum degassing tank 12 can be depressurized.
  • heating means for example, a heater for heating the gas 100 introduced into the upper space inside the vacuum degassing tank 12 is provided inside the hollow tube 17.
  • the heat generation method is not particularly limited, and various heat generation methods such as a method of energizing and heating an electric heating body can be used.
  • the vacuum degassing apparatus of the present invention has a gas introducing means for introducing gas into the upper space inside the vacuum degassing tank, and a heating means for heating the gas introduced into the upper space, so that the vacuum degassing tank The heated gas can be supplied to the upper space of the molten glass that circulates.
  • transduced from a gas introduction means, and the temperature of the gas after a heating it describes in the description regarding the molten glass manufacturing method of this invention mentioned later.
  • the gas introducing means in the vacuum degassing apparatus of the present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. 1 as long as gas can be introduced into the upper space inside the vacuum degassing tank.
  • a straight tube-shaped hollow tube 17 whose tip is directed downward is shown, but the present invention is not limited to this, and the shape of the hollow tube is appropriately selected. Good.
  • a hollow tube whose tip is curved in the downstream direction may be used.
  • the gas introducing means may be provided on the side surface instead of above the vacuum degassing tank.
  • the hollow tube 17 is inserted into the window 15 provided on the upstream side, but the hollow tube which is a gas introduction means is inserted into the window 16 provided on the downstream side. 17 may be inserted. Further, the window 15 or the window 16 itself may be used as the gas introduction means without using the hollow tube 17. However, considering that the heated gas is supplied to the upper space of the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12, it is possible to use the hollow tube 17 inserted into the window 15 or 16 as the gas introduction means. It is preferable because the heated gas does not cool before being supplied to the upper space of the molten glass G.
  • the hollow tube 17 inserted into the window 15 or the window 16 is preferably used as the gas introducing means also when the effect of forming a gas flow above the molten glass flowing through the vacuum degassing tank is exhibited.
  • the window 15 provided on the upstream side of the vacuum degassing tank 12 or the window 15 is inserted into the window 15.
  • the hollow tube 17 is preferably used as a gas introduction means.
  • the windows 15 and 16 provided in the ceiling of the vacuum degassing tank 12 or the hollow tube 17 inserted into the windows 15 and 16 is used as a gas introduction means.
  • gas introduction means may be provided in addition to these parts.
  • a hollow tube structure similar to the windows 15 and 16 is provided on a portion other than the ceiling of the vacuum degassing tank, for example, an upstream end surface, a downstream end surface, or a side surface of the vacuum degassing tank.
  • the structure may be used as a gas introduction means.
  • windows 15 and 16 for monitoring the inside of the vacuum degassing tank 12 are provided on the upstream side and the downstream side of the ceiling part of the vacuum degassing tank 12.
  • a window for monitoring the inside of the vacuum degassing tank 12 may be provided in a portion (for example, an intermediate part) other than the upstream side and the downstream side in the ceiling part of the defoaming tank 12. You may use the hollow tube inserted in as gas introduction means.
  • one gas introduction means is provided, but the number of gas introduction means in the vacuum degassing apparatus of the present invention is not particularly limited and may be plural. .
  • a hollow tube is also inserted into the downstream window 16 to be used as a gas introduction means. Also good.
  • the gas introduction means includes a mechanism for controlling the amount of gas introduced (for example, a gas flow rate control valve) and a valve mechanism for stopping the gas introduction as necessary and then restarting the gas introduction (for example, electromagnetic Valve) may be provided.
  • a mechanism for controlling the amount of gas introduced for example, a gas flow rate control valve
  • a valve mechanism for stopping the gas introduction as necessary and then restarting the gas introduction for example, electromagnetic Valve
  • the heating means in the vacuum degassing apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment as long as the gas introduced into the upper space inside the vacuum degassing tank can be heated by the gas introduction means.
  • a heating means for heating the gas 100 is provided inside the hollow tube 17 that is a gas introduction means.
  • a heating means is provided on the outer periphery of the hollow tube 17. May be.
  • a heater may be wound around the outer periphery of the hollow tube 17 as a heating means.
  • the heating means is preferably provided along the conduit of the hollow tube 11 in the vacuum housing 11. In this case, the temperature of the gas immediately before being introduced into the vacuum degassing tank does not decrease.
  • the heating means is provided inside the pipe of the hollow tube 17 which is a gas introduction means.
  • the gas can be heated more efficiently.
  • the provision of the heating means along the pipe of the hollow pipe means that the heating means is provided continuously over the entire area of the pipe in the decompression housing 11, provided with a constant interval over the entire area of the pipe, or reduced pressure. It includes the case where it is provided in the area immediately before entering the defoaming tank. Further, as described above, when the window 15 or the window 16 itself is used as the gas introduction means without using the hollow tube 17, the window 15 or the window 16 may be provided with a heating means.
  • the heating means is not provided in the windows 15 and 16 or the hollow tubes 17 inserted in the windows 15 and 16, but the heating means is supplied to the windows 15 and 16 or the hollow tubes 17 inserted in the windows 15 and 16.
  • a heating means for preheating the gas before being heated may be provided. Specific examples of the installation of such heating means include installation of heating means in a gas supply source such as a cylinder, and installation of heating means in a gas supply pipe upstream of the gas hollow tube 17.
  • the vacuum degassing apparatus of the present invention enlarges the foam layer on the surface of the molten glass by introducing a heated gas into the upper space of the molten glass flowing through the vacuum degassing tank described below, And you may have another component suitable when exhibiting the effect
  • gas deriving means for deriving the gas from the upper space is required.
  • the downstream side window 16 can be used as the gas outlet means.
  • a baffle plate 19 for guiding the gas flow downward may be provided inside the ceiling portion of the vacuum degassing tank 12.
  • the water vapor concentration of the atmospheric gas in the vacuum degassing tank is 60 mol% or less, when the effect of preventing the enlargement of the foam layer on the surface of the molten glass and the resulting reduction in the vacuum degassing effect is exhibited, It is preferable that a water vapor concentration measuring means for measuring the water vapor concentration of the atmospheric gas is provided, and the gas introducing means is preferably capable of controlling the gas introduction amount according to the water vapor concentration measured by the water vapor concentration measuring means. .
  • the water vapor concentration measuring means a commercially available dew point meter can be used, or water contained in the atmospheric gas discharged from the vacuum degassing tank as described in Patent Document 1 is precipitated, and its amount It is also possible to use a device that approximates the water vapor concentration of the atmospheric gas by measuring.
  • a tank opening is provided in the ceiling of the vacuum degassing tank accommodated and installed in the vacuum housing, and the tank A suction opening is provided in the ceiling of the decompression housing corresponding to the opening, and a vacuum pump for reducing the pressure in the vacuum degassing tank is connected to the suction opening, and the vacuum degassing of the molten glass is performed by operating the vacuum pump. Is done.
  • a decompression means such as a vacuum pump is provided on the window 16 side provided on the downstream side.
  • a method of connecting and discharging the atmospheric gas in the upper space of the vacuum degassing tank to the outside of the vacuum housing 11 to decompress the inside of the vacuum degassing tank 12 may be adopted.
  • the gas introducing means is provided on the downstream side of the vacuum degassing tank 12
  • the pressure reducing means such as a vacuum pump is connected to the side of the window 15 provided on the upstream side to reduce the pressure.
  • a method of discharging the atmospheric gas in the upper space of the defoaming tank to the outside of the decompression housing 11 and decompressing the inside of the decompression defoaming tank 12 may be adopted.
  • a method and a structure for reducing the pressure in the vacuum degassing tank an optimum method and structure can be appropriately adopted according to the structure of the vacuum degassing apparatus.
  • the dimension of each component of the vacuum degassing apparatus 10 of the present invention can be appropriately selected as necessary.
  • the dimensions of the vacuum degassing tank 12 are the same as the vacuum degassing apparatus used or the shape of the vacuum degassing tank 12 regardless of whether the vacuum degassing tank 12 is made of platinum, a platinum alloy, or a dense refractory. It can be selected as appropriate according to the conditions.
  • an example of the dimensions is as follows.
  • the vacuum degassing tank 12 is made of platinum or a platinum alloy, the wall thickness is preferably 4 mm or less, more preferably 0.5 to 1.2 mm.
  • the vacuum degassing tank is not limited to a cylindrical shape having a circular cross section, and may be a substantially cylindrical shape having an elliptical shape or a semicircular cross sectional shape, or a cylindrical shape having a rectangular cross section.
  • the dimensions of the riser 13 and the downcomer 14 can be appropriately selected according to the vacuum degassing apparatus to be used regardless of whether they are made of platinum, a platinum alloy, or a dense refractory.
  • examples of the dimensions of the ascending pipe 13 and the descending pipe 14 are as follows. Inner diameter: 0.05 to 0.8 m, more preferably 0.1 to 0.6 m -Length: 0.2-6m, more preferably 0.4-4m
  • the wall thickness is preferably 0.4 to 5 mm, more preferably 0.8 to 4 mm.
  • the molten glass production method of the present invention comprises a step of defoaming molten glass in a vacuum defoaming tank, and prevents the foam layer on the surface of the molten glass from being enlarged in the upper space of the molten glass circulating in the vacuum defoaming tank. Is heated to a temperature of 500 ° C. or higher.
  • the gas supplied to the upper space of the molten glass flowing through the vacuum degassing tank is hydrogen (H 2 ), nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), air, carbon monoxide (CO), carbon dioxide Selected from the group consisting of (CO 2 ), argon (Ar), helium (He), neon (Ne), krypton (Kr), xenon (Xe), hydrocarbon gas, fluorine gas and ammonia (NH 3 ). At least one gas is preferred, at least one gas selected from the group consisting of nitrogen, air, carbon dioxide, argon, helium, neon, krypton and xenon is more preferred, from the group consisting of nitrogen, air, carbon dioxide and argon More preferred is at least one gas selected.
  • a gas selected from the above group as the gas supplied to the upper space of the molten glass because of the enlargement of the bubble layer on the surface of the molten glass, which will be described later, and the reduced-pressure defoaming effect thereby It is because it is preferable when exhibiting the effect
  • any one gas from the above group may be supplied to the upper space of the molten glass. You may supply mixed gas of a seed
  • the oxygen concentration in the gas is more preferably 15% by volume or less, more preferably 10% by volume or less, and even more preferably 5% by volume or less.
  • the flow rate of the gas supplied to the upper space of the molten glass being 5 normal liters / minute or more can further improve the effect of preventing the enlargement of the foam layer and the resulting reduction in the vacuum degassing effect. Is preferable.
  • a vacuum degassing apparatus may be used.
  • the gas heated to a temperature of 500 ° C. or higher is supplied to the upper space of the molten glass flowing through the vacuum defoaming tank.
  • the decrease in the vacuum degassing effect due to a decrease in the temperature of the molten glass surface is also greatly reduced.
  • the amount of gas supplied to the upper space of the molten glass flowing through the reduced pressure defoaming tank is increased. be able to. Thereby, the effect which prevents the enlargement of the foam layer mentioned later and the fall of the decompression defoaming effect by it can be improved further.
  • a gas heated to 550 ° C. or higher it is preferable to supply a gas heated to 600 ° C. or higher to the upper space of the molten glass flowing through the vacuum degassing tank. preferable.
  • the foam layer on the surface of the molten glass is enlarged by introducing a gas heated to a temperature of 500 ° C. or higher into the upper space of the molten glass flowing through the vacuum degassing tank, and thereby
  • action which prevents the fall of a pressure reduction defoaming effect is divided roughly into two effect
  • the molten glass production method of the present invention may exhibit either one of these functions or may exhibit both.
  • the first action is to form a gas flow above the molten glass flowing through the vacuum degassing tank to eliminate the retention of gas components from the molten glass, and to enlarge the foam layer on the surface of the molten glass, and , Thereby preventing a reduction in the vacuum degassing effect.
  • the vacuum degassing method is a method in which the molten glass is placed in a reduced-pressure atmosphere so that bubbles contained in the molten glass are floated and bubbles are broken on the surface of the molten glass to be removed.
  • gas component from molten glass When a gas component (hereinafter referred to as “gas component from molten glass”) generated by bubbles breaking on the surface of the molten glass stays above the molten glass circulating in the vacuum degassing tank, the molten glass Since the partial pressure of the gas component from the molten glass is increased in the upper atmosphere (upper space inside the vacuum degassing tank), the bubbles floating on the surface of the molten glass are difficult to break, and the vacuum degassing effect is reduced.
  • the gas component from the molten glass varies depending on the glass composition, for example, HCl, H 2 SO 4, boric acid compound, HF, and the like.
  • the vacuum degassing is performed above the molten glass G.
  • a gas flow g flowing from the upstream side of the tank 12 to the downstream side is formed.
  • the gas component from the molten glass is carried by the gas flow g and discharged to the outside from the window 16 functioning as a gas outlet means.
  • the retention of gas components from the molten glass is eliminated.
  • the flow direction of the gas flow g and the flow direction of the molten glass G are the same direction.
  • the flow direction of the gas flow g is not limited to this.
  • the flow direction of the gas flow g and the flow direction of the molten glass G may be opposite directions.
  • the gas 100 is supplied from the gas introduction means installed in the downstream window 16, and a gas flow is formed that flows from the downstream side to the upstream side of the vacuum degassing tank 12.
  • the upstream window 15 functions as a gas derivation means.
  • the vacuum degassing tank 12 shown in FIG. 2 has a vertically long shape that is long in the flow direction of the molten glass G, but the vacuum degassing tank has a wide shape with a short length in the flow direction of the molten glass G.
  • a gas flow in a direction perpendicular to the width direction of the vacuum degassing tank, that is, the flow direction of the molten glass G may be formed.
  • the gas flow g in the same direction as the flow direction of the molten glass G is formed over the entire longitudinal direction of the vacuum degassing tank 12, but a plurality of gas flows are formed above the molten glass G. May be.
  • the plurality of gas flows may be the same as the flow direction of the molten glass G, or may be in opposite directions.
  • the plurality of gas flows may have the same flow direction or may be in opposite directions.
  • the gas 100 from the hollow tube 17 inserted in the upstream window 15 is used. Is preferably supplied to form a gas flow g in the same direction as the flow direction of the molten glass G.
  • the second action is to introduce a gas (low moisture gas) for preventing the foam layer on the surface of the molten glass, which has been made low in moisture, into the atmospheric gas in the vacuum degassing tank, and to supply water vapor in the atmospheric gas.
  • a gas low moisture gas
  • concentration 60 mol% or less By making the concentration 60 mol% or less, enlargement of the foam layer on the surface of the molten glass and prevention of the reduced defoaming effect due thereto are prevented.
  • Patent Document 1 when the water vapor concentration of the atmospheric gas in the vacuum defoaming tank exceeds a specific value, the foam layer on the surface of the molten glass is enlarged, which is higher than the specific value.
  • the low moisture gas refers to a gas having a lower water vapor concentration than the atmospheric gas in the vacuum degassing tank.
  • the water vapor concentration of the low moisture gas is preferably 60 mol% or less, more preferably 50 mol% or less, more preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and 25 mol% or less. More preferably, it is 20 mol% or less, more preferably 15 mol% or less, still more preferably 10 mol% or less, and particularly preferably 5 mol% or less.
  • circulates a pressure reduction degassing tank can be supplied as a low moisture gas.
  • the water vapor concentration of the atmospheric gas is preferably 50 mol% or less, preferably 40 mol% or less. It is more preferable. And it is preferable for the water vapor concentration to be 30 mol% or less because the foam layer tends to be further thinned.
  • each bubble may shrink or break depending on the glass composition, which is preferable because the bubble layer becomes thinner.
  • the molten glass is borosilicate glass
  • the borosilicate glass referred to here has the following composition, for example, in terms of oxide.
  • Composition range SiO 2 : 50 to 66, Al 2 O 3 : 10.5 to 22, B 2 O 3 : 0 to 12, MgO: 0 to 8, CaO: 0 to 14.5, SrO: 0 to 24 BaO: 0 to 13.5, MgO + CaO + SrO + BaO: 9 to 29.5 (unit: mass%).
  • the atmospheric gas has a low water vapor concentration because bubbles of a size that can be regarded as a defect are not likely to remain in a glass product manufactured through vacuum degassing. If the water vapor concentration of the atmospheric gas is further reduced, the probability that a glass product produced through vacuum degassing will be defective is further reduced. Therefore, it is more preferably 25 mol% or less, and more preferably 20 mol% or less. Preferably, it is 15 mol% or less, more preferably 10 mol% or less, still more preferably 5 mol% or less.
  • volatilization of the specific components (boron etc.) in a molten glass can be suppressed because the water vapor concentration of this atmospheric gas shall be 60 mol% or less.
  • volatilization of components such as boron it is possible to prevent variation in the composition of boron and the like, and to suppress deterioration in flatness due to composition variation.
  • volatilization of other easily volatile components such as Cl, F, and S can be suppressed, so that composition fluctuations of these components can be prevented and deterioration of flatness due to composition fluctuations can be suppressed. can do.
  • Volatilization of components such as Cl, F, and S is considered to be greatly influenced by moisture in the atmosphere.
  • F is volatilized as HF and S is volatized as H 2 SO 4 . Therefore, it is considered that by setting the water vapor concentration of the atmospheric gas to 60 mol% or less, the volatilization of the components and the accompanying composition fluctuation of the components can be suppressed.
  • the gas 100 is continuously supplied to the upper space of the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12. It is not always necessary.
  • a gas flow may be formed periodically during the vacuum degassing, for example, about 1 to 30 seconds every hour. A gas stream may be formed. Therefore, it is also possible to supply the gas 100 to the upper space of the molten glass G that periodically circulates in the vacuum degassing tank 12.
  • the water vapor concentration of the atmospheric gas in the vacuum degassing tank 12 is monitored, and the water vapor concentration of the atmospheric gas may exceed 60 mol%. It is also possible to supply the gas 100 as a low moisture gas to the upper space of the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12.
  • the vacuum degassing tank 12 is preferably heated so that the inside is in a temperature range of 1100 ° C. to 1600 ° C., particularly 1150 ° C. to 1450 ° C.
  • the inside of the vacuum degassing tank 12 is preferably decompressed to 38 to 460 mmHg (51 to 613 hPa) in absolute pressure, more preferably 60 to 350 mmHg (80 to 467 hPa). . Further, it is preferable from the viewpoint of productivity that the flow rate of the molten glass G flowing through the vacuum degassing tank 12 is 1 to 2000 tons / day.
  • the glass product manufacturing method of the present invention includes the vacuum degassing step, and includes a raw material melting step and a forming step as a pre-process and a post-process.
  • This raw material melting step may be, for example, a conventionally known one.
  • the raw material is melted by heating to about 1400 ° C. or higher according to the type of glass.
  • the raw material to be used is not particularly limited as long as it is compatible with the glass to be produced.
  • molding process may be a conventionally well-known thing, for example, a float shaping
  • the molten glass and glass product produced by the present invention are not limited in composition as long as they are glass produced by a heat melting method. Therefore, it may be non-alkali glass, or may be alkali glass such as soda lime silica glass represented by soda lime glass or alkali borosilicate glass.
  • the present invention is particularly suitable for producing alkali-free glass and further alkali-free glass for liquid crystal substrates.
  • the glass product which was very excellent in foam quality, ie, there are very few bubble faults can be obtained, it is suitable as manufacturing methods, such as a glass substrate for FPD, and optical glass.
  • the foam layer is enlarged and the degassing under reduced pressure without causing a decrease in the surface temperature of the molten glass due to the gas supply and a reduction in the defoaming effect under reduced pressure. Therefore, it is possible to obtain molten glass and glass products with extremely excellent foam quality, which is suitable as a method for producing FPD glass substrates, optical glass, and the like.

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Abstract

　泡層の肥大化による減圧脱泡効果の低下が防止された溶融ガラス製造方法、および該溶融ガラス製造方法に好適な減圧脱泡装置の提供。　溶融ガラスを減圧脱泡槽において減圧脱泡する工程を具備する溶融ガラス製造方法であって、前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、ガスを５００℃以上の温度に加熱して供給する溶融ガラス製造方法。

Description

溶融ガラス製造方法および減圧脱泡装置、ならびにガラス製品の製造方法
　本発明は、溶融ガラスを減圧脱泡槽において減圧脱泡する工程を具備する溶融ガラス製造方法、および減圧脱泡装置、ならびにガラス物品の製造方法に関する。
　従来より、成形されたガラス製品の品質を向上させるために、溶融炉で原料を溶融した溶融ガラスを成形装置で成形する前に、溶融ガラス内に発生した気泡を除去する清澄工程が利用されている。
　この清澄工程では、減圧雰囲気内に溶融ガラスを導入し、この減圧雰囲気下、連続的に流れる溶融ガラス流内の気泡を大きく成長させて溶融ガラス内に含まれる気泡を浮上させ、溶融ガラス表面で気泡を破泡させて除去し、その後減圧雰囲気から排出する減圧脱泡方法が知られている。
　このような清澄工程において、溶融ガラス表面で泡層の肥大化が発生すると、減圧脱泡効果が低下し、清澄工程実施後の溶融ガラスに気泡が残存するおそれがある。ここで減圧脱泡効果とは、上述した作用により、溶融ガラス内に含まれる気泡を浮上させ、溶融ガラス表面で気泡を破泡させて除去する効果を言う。
　清澄工程実施後の溶融ガラス中の気泡は除去することが難しく、製造されるガラス製品の残存して欠陥を生じさせるおそれがある。なお、溶融ガラス表面での泡層の肥大化とは、減圧脱泡実施中に、通常１０ｍｍ以下程度で溶融ガラス表面に存在する泡層が、１０ｍｍ～数百ｍｍへ肥大化する現象を言う。
　泡層の肥大化がさらに進行すると、いわゆる突沸が生じる場合もある。突沸とは、通常時間とともに消滅するガラス表面に達した泡が、破泡せずに層を成すことによって長時間安定的に存在し、溶融ガラス界面の上昇を招く現象である。突沸が生じた場合も、減圧脱泡効果が低下し、清澄工程実施後の溶融ガラスに気泡が残存するおそれがあるので問題である。
　本願出願人らは、溶融ガラス表面での泡層の肥大化、もしくは、突沸による減圧脱泡効果の低下を防止することができる溶融ガラス製造方法、および、溶融ガラスの減圧脱泡装置を特許文献１、２に提案している。
　特許文献１に記載の溶融ガラス製造方法は、減圧脱泡槽内の雰囲気ガスへ低水分ガスを導入することにより、水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下として溶融ガラスを減圧脱泡する工程を具備する。これにより、溶融ガラス表面での泡層の肥大化や突沸、および、それらによる減圧脱泡効果の低下を防止する。
　突沸の防止により、突沸した溶融ガラスが減圧脱泡槽の壁や天井へ付着物が付着するのを防止できるので、その落下によるガラス製品の欠陥形成を防止し、品質向上を図ることができる。
　また、特定の成分（ホウ素等）の揮散を助長する雰囲気中水分を低減させるので、溶融ガラス中の特定の成分（ホウ素等）の揮散を抑制することができるという効果を奏する。そして、ガラス製品としてガラス素板を製造する場合に、その平坦度の悪化を抑制することができる。
　特許文献１に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、減圧脱泡槽内の上部空間へ低水分ガスを導入する低水分ガス導入手段を有している。
　一方、特許文献２に記載の溶融ガラス製造方法では、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成して、溶融ガラスからのガス成分の滞留を解消することで、泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する。
　また、溶融ガラスからのガス成分の滞留を解消することで、泡層の肥大化以外の原因による減圧脱泡効果の低下も防止される。
　特許文献２に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成するため、減圧脱泡槽内の上部空間へガスを導入するガス導入手段、および、該上部空間からガスを導出するガス導出手段よりなるガス流形成手段を有している。
国際公開第２００８－０２９６４９号パンフレット 国際公開第２００８－０９３５８０号パンフレット
　ガラス製品の用途によっては、泡品質、すなわち、ガラス製品中に存在する泡欠陥の数に対する要求がきわめて厳しいものも存在する。このようなガラス製品の具体例としては、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板、光学用ガラスなどが挙げられる。
　このような泡品質に対する要求がきわめて厳しいガラス製品を製造するため、ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下をさらに防止することが求められる。
　上記した従来技術の問題点を解決するため、本発明は、減圧脱泡効果に優れた溶融ガラス製造方法、より具体的には、泡層の肥大化による減圧脱泡効果の低下が防止された溶融ガラス製造方法を提供することを目的とする。
　また、本発明は、本発明の溶融ガラス製造方法に好適な減圧脱泡装置を提供することを目的とする。
　さらに、本発明は、泡品質の高い、すなわち泡欠点の極めて少ないガラス製品の製造方法を提供することを目的とする。
　本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、特許文献１，２に記載の溶融ガラス製造方法では、減圧脱泡槽内を流通する溶融ガラスの上方にガスを供給することが、また減圧脱泡効果を有効に発揮させることが難しい場合がありうることを見出した。
　すなわち、特許文献１，２に記載の溶融ガラス製造方法では、減圧脱泡槽内を流通する溶融ガラスの上方に供給されるガスは、減圧脱泡槽の雰囲気ガスや、溶融ガラス表面からの輻射熱によって暖められるが、その温度は減圧脱泡槽内を流通する溶融ガラスの表面温度よりはるかに低く、通常は室温程度である。このような低温のガスが供給されることにより、減圧脱泡槽内を流通する溶融ガラス表面の温度が局所的に低下する。溶融ガラス表面での破泡速度は該溶融ガラス表面の温度に依存するので、溶融ガラスの表面温度が低下すると該表面での破泡速度が低下し、該表面温度が低下した部位については減圧脱泡効果が低下するおそれがある。
　低温のガスの供給による溶融ガラスの表面温度の低下、および、それによる減圧脱泡効果の低下は局所的なものではあるが、ＦＰＤ用のガラス基板のような泡品質に対する要求が厳しいガラス製品においては問題となりうる。
　本発明は、上記した本発明者らの知見に基づいてなされたものであり、溶融ガラスを減圧脱泡槽において減圧脱泡する工程を具備する溶融ガラス製造方法であって、前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、ガスを５００℃以上の温度に加熱して供給する溶融ガラス製造方法を提供する。
　また、本発明は、減圧吸引される減圧ハウジングと、前記減圧ハウジング内に設けられ、溶融ガラスの減圧脱泡を行う減圧脱泡槽と、前記減圧脱泡槽に連通して設けられ、減圧脱泡前の溶融ガラスを前記減圧脱泡槽に導入する導入手段と、前記減圧脱泡槽に連通して設けられ、減圧脱泡後の溶融ガラスを前記減圧脱泡槽から導出する導出手段とを有する溶融ガラスの減圧脱泡装置であって、
　前記減圧脱泡槽内部の上部空間へガスを導入するガス導入手段、および、前記上部空間へ導入されるガスを加熱する加熱手段を更に有することを特徴とする溶融ガラスの減圧脱泡装置を提供する。
　また、本発明の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、前記ガス導入手段が中空管からなり、前記加熱手段が前記中空管の前記減圧ハウジング内を通る管路に沿って設けられる。
　また、本発明の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、前記加熱手段が、前記中空管の管路の内部に設けられる。
　また、本発明の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、前記減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度を測定する水蒸気濃度測定手段をさらに有する。
　また、本発明の溶融ガラスの減圧脱泡装置は、前記ガス導入手段が、減圧脱泡槽内部の溶融ガラス上に上部空間を形成している、減圧脱泡槽の天井部または側面に設けられている。
　さらに、本発明は、前記溶融ガラスの減圧脱泡装置による減圧脱泡工程と、該減圧脱泡工程の前工程及び後工程として原料溶融工程及び成形工程と、を具備するガラス製品の製造方法を提供する。
　本発明の溶融ガラス製造方法では、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に５００℃以上に加熱したガスを供給するため、ガスの供給による溶融ガラス表面温度の低下、および、それに減圧脱泡効果の低下を生じることなしに、泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡の効果の低下を防止することができる。
　また、本発明の溶融ガラス製造方法では、ガスの供給による溶融ガラス表面温度の低下、および、それに減圧脱泡効果の低下が防止されているので、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスの供給量を増やすことができる。これにより、泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する効果をさらに向上させることができる。
　本発明の溶融ガラス製造方法およびガラス製品の製造方法は、上記の効果により、泡品質にきわめて優れた溶融ガラスおよびガラス製品を得ることができるため、ＦＰＤ用のガラス基板、光学用ガラス等の製造方法として好適である。
図１は、本発明の減圧脱泡装置の一構成例を示す断面図である。 図２は、図１に示す減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上方に形成されるガス流の流通方向を示した図である。
　以下、図面を参照して本発明を説明する。
　図１は、本発明の減圧脱泡装置の一構成例を示す断面図である。図１に示す減圧脱泡装置１０において、円筒形状をした減圧脱泡槽１２は、その長軸が水平方向に配向するように減圧ハウジング１１内に収納配置されている。減圧脱泡槽１２の上流側の下面には垂直方向に配向する上昇管１３が、下流側の下面には下降管１４が取り付けられている。なお、減圧脱泡槽１２の上流側および下流側とは、減圧脱泡槽１２を流通する、すなわち減圧脱泡槽１２内を横方向に流れる、溶融ガラスＧの流動方向における上流側および下流側を意味する。上昇管１３及び下降管１４は、その一部が減圧ハウジング１１内に位置している。
　図１に示すように、上昇管１３は減圧脱泡槽１２と連通しており、溶融槽２００からの溶融ガラスＧを減圧脱泡槽１２に導入する導入手段である。このため、上昇管１３の下端部は、上流ピット２２０の開口端に嵌入され、この上流ピット２２０内の溶融ガラスＧに浸漬されている。
　下降管１４は、減圧脱泡槽１２に連通しており、減圧脱泡後の溶融ガラスＧを減圧脱泡槽１２から下降させて後工程の処理槽（図示せず）に導出する導出手段である。このため、下降管１４の下端部は、下流ピット２４０の開口端に嵌入され、この下流ピット２４０内の溶融ガラスＧに浸漬されている。
　減圧ハウジング１１内において、減圧脱泡槽１２、上昇管１３及び下降管１４の周囲には、これらを断熱被覆する断熱用レンガ等の断熱材１８が配設されている。
　図１に示す減圧脱泡装置１０において、減圧脱泡槽１２、上昇管１３及び下降管１４は、溶融ガラスＧの導管であるため、耐熱性及び溶融ガラスに対する耐食性に優れた材料を用いて作製されている。一例を挙げると、白金又は白金合金製の中空管である。白金合金の具体例としては、白金－金合金、白金－ロジウム合金が挙げられる。また、他の一例を挙げると、セラミックス系の非金属無機材料製、すなわち、緻密質耐火物製の中空管である。緻密質耐火物の具体例としては、例えば、アルミナ系電鋳耐火物、ジルコニア系電鋳耐火物、アルミナ－ジルコニア－シリカ系電鋳耐火物等の電鋳耐火物、並びに緻密質アルミナ系耐火物、緻密質ジルコニア－シリカ系耐火物及び緻密質アルミナ－ジルコニア－シリカ系耐火物等の緻密質焼成耐火物が挙げられる。減圧脱泡槽１２を収容し、上昇管１３及び下降管１４の一部を収容する減圧ハウジング１１は、金属製、例えばステンレス製である。
　図１に示す本発明の減圧脱泡装置１０において、減圧脱泡槽１２の天井部の上流側および下流側には、減圧脱泡槽１２内部をモニタするための窓１５，１６が設けられている。窓１５，１６は、白金製若しくは白金合金製、又は緻密質耐火物製の中空管であり、一端は減圧脱泡槽１２の天井部の上流側および下流側に連通しており、他端は減圧ハウジング１１の壁面を貫通して減圧ハウジング１１の外部に位置している。
　減圧脱泡槽１２の上流側に設けられた窓１５には、白金製若しくは白金合金製、またはアルミナ、ジルコニア等を含有するセラミック製の中空管１７が挿入されている。該中空管１７は、減圧脱泡槽１２内部の上部空間へガス１００を導入するガス導入手段である。
　なお、減圧脱泡槽１２内部の上部空間とは、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧ上方の空間部分を指す。減圧脱泡槽１２内において、中空管１７の先端は溶融ガラスＧの上方に位置している。
　なお、例えば、減圧脱泡槽１２の下流側に設けられた窓１６は、ポンプ等の減圧手段（不図示）につながれており、前記上部空間の雰囲気ガスを減圧ハウジング１１の外部に排出して、減圧脱泡槽１２内部を減圧することができる。
　図示していないが、中空管１７の内部には、減圧脱泡槽１２内部の上部空間へ導入されるガス１００を加熱するための加熱手段（例えば、ヒータ）が設けられている。なお、加熱手段としてヒータを用いる場合、その発熱方式は特に限定されず、電熱体を通電発熱する方式など各種発熱方式を用いることができる。
　本発明の減圧脱泡装置は、減圧脱泡槽内部の上部空間へガスを導入するガス導入手段、および、該上部空間へ導入されるガスを加熱する加熱手段を有することにより、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に加熱したガスを供給することができる。
　なお、ガス導入手段から導入するガスの種類、および、加熱後のガスの温度については、後述する本発明の溶融ガラス製造方法に関する説明に記載する。
　本発明の減圧脱泡装置におけるガス導入手段は、減圧脱泡槽内部の上部空間へガスを導入することができる限り、図１に示した態様に限定されない。
　例えば、図１に示す減圧脱泡装置１０では、先端が下方に向いた直管形状の中空管１７が示されているが、これに限定されず、中空管の形状は適宜選択してよい。例えば、減圧脱泡槽１２内部の上部空間へ導入されるガス１００を下流方向に誘導するため、先端が下流方向に湾曲した中空管を用いてもよい。また、ガス導入手段は、減圧脱泡槽の上方ではなく、側面に設けてもよい。
　また、図１に示す減圧脱泡装置１０では、上流側に設けられた窓１５に中空管１７が挿入されているが、下流側に設けられた窓１６にガス導入手段である中空管１７を挿入してもよい。また、中空管１７を使用することなしに、窓１５または窓１６自体をガス導入手段として用いてもよい。
　但し、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上部空間に加熱したガスを供給する点を考慮すると、窓１５または窓１６に挿入した中空管１７をガス導入手段として使用することが、加熱したガスが溶融ガラスＧの上部空間に供給する前に冷えることがないので好ましい。また、後述する減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に加熱したガスを導入することによる溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用のうち、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成させることによる作用を発揮させる場合も、窓１５または窓１６に挿入した中空管１７をガス導入手段として使用することが好ましい。
　また、溶融ガラス表面の泡層の肥大化は減圧脱泡槽の上流側で起こりやすい点を考慮すると、減圧脱泡槽１２の上流側に設けられた窓１５、あるいは、該窓１５に挿入された中空管１７をガス導入手段として使用することが好ましい。
　また、上記では、減圧脱泡槽１２内部をモニタする目的で、減圧脱泡槽１２の天井部に設けた窓１５，１６、若しくは該窓１５，１６に挿入した中空管１７をガス導入手段として使用するとしているが、これらの部位以外にガス導入手段を設けてもよい。
　例えば、減圧脱泡槽の天井以外の部位、例えば、減圧脱泡槽の上流側端面、下流側端面、あるいは、側面に窓１５，１６に類似の中空管構造を設けて、該中空管構造をガス導入手段として用いてもよい。
　また、図１に示す減圧脱泡装置１０では、減圧脱泡槽１２天井部の上流側および下流側に減圧脱泡槽１２内部をモニタするための窓１５，１６が設けられているが、減圧脱泡槽１２の天井部のうち、上流側、下流側以外の部位（例えば、中間部）に減圧脱泡槽１２内部をモニタするための窓を設けてもよく、該窓、若しくは、該窓に挿入した中空管をガス導入手段として用いてもよい。
　また、図１に示す減圧脱泡装置１０では、１つのガス導入手段が設けられているが、本発明の減圧脱泡装置におけるガス導入手段の数は特に限定されず、複数であってもよい。
　例えば、図１に示す減圧脱泡装置１０において、上流側の窓１５に挿入した中空管１７に加えて、下流側の窓１６にも中空管を挿入してガス導入手段として使用してもよい。
　また、ガス導入手段には、ガス導入量を制御する機構（例えば、ガス流量制御弁）や、必要に応じてガス導入を停止し、その後、ガス導入を再開するための弁機構（例えば、電磁弁）が設けられていてもよい。
　本発明の減圧脱泡装置における加熱手段は、ガス導入手段により減圧脱泡槽内部の上部空間へ導入されるガスを加熱することができる限り、上記した態様に限定されない。
　例えば、上記では、ガス導入手段である中空管１７の内部にガス１００を加熱するための加熱手段が設けられていると記載されているが、該中空管１７の外周に加熱手段を設けてもよい。この場合、例えば、中空管１７の外周に加熱手段としてヒータを巻きつければよい。
　また、加熱手段は、減圧ハウジン１１中の中空管１１の管路に沿って設けることが好ましい。この場合、減圧脱泡槽に導入される直前のガスの温度が低下することがない。さらに、加熱手段は、ガス導入手段である中空管１７の管路の内部に設けることがより好ましい。この場合、ガスをより効率的に加熱できる。なお、上記の加熱手段を中空管の管路に沿って設けるとは、減圧ハウジン１１内の管路全域にわたって連続して設ける場合、管路全域にわたって一定間隔を有して設ける場合、又は減圧脱泡槽に入る直前の領域に設ける場合を含む。
　また、上述したように、中空管１７を使用することなしに、窓１５または窓１６自体をガス導入手段として用いる場合、該窓１５または窓１６に加熱手段を設けてもよい。
　また、窓１５，１６、若しくは窓１５，１６に挿入された中空管１７に加熱手段を設けるのではなく、窓１５，１６、若しくは窓１５，１６に挿入された中空管１７に供給される前のガスを予め加熱するための加熱手段を設けてもよい。このような加熱手段の設置の具体例としては、ボンベ等のガス供給源への加熱手段の設置や、ガス中空管１７よりも上流側のガス供給配管への加熱手段の設置が挙げられる。
　本発明の減圧脱泡装置は、上記の構成要素に加えて、後述する減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に加熱したガスを導入することによる溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮するうえで好適な他の構成要素を有していてもよい。
　例えば、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成することによって、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮するためには、減圧脱泡槽１２内部の上部空間へガス１００を導入するガス導入手段に加えて、該上部空間からガスを導出するガス導出手段が必要となる。詳しくは後述するが、図１に示す減圧脱泡装置１０の場合、下流側の窓１６をガス導出手段として使用することができる。
　また、溶融ガラスＧの表面（液面）近くにガス流を形成するため、減圧脱泡槽１２の天井部の内側にガス流を下方に誘導するための邪魔板１９を設けてもよい。
　また、減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることによって、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮する場合、該雰囲気ガスの水蒸気濃度を測定するための水蒸気濃度測定手段が設けられていることが好ましく、ガス導入手段は水蒸気濃度測定手段で測定された水蒸気濃度に応じて、ガス導入量を制御できることが好ましい。
　水蒸気濃度測定手段としては、市販の露点計を用いることもできるし、特許文献１に記載されているような、減圧脱泡槽から排出された雰囲気ガス中に含まれる水を析出させ、その量を測ることで雰囲気ガスの水蒸気濃度を概算するものも用いることができる。
　本発明の減圧脱泡装置において、減圧脱泡槽内の上部空間を減圧するためには、例えば減圧ハウジング内に収容、設置された減圧脱泡槽の天井部に槽開口部を設け、該槽開口部に対応した減圧ハウジングの天井部に吸引開口部を設け、当該吸引開口部に減圧脱泡槽内を減圧にする真空ポンプを接続し、当該真空ポンプの運転により、溶融ガラスの減圧脱泡が行なわれる。
　また、前述したように、減圧脱泡槽１２の上流側の窓１５側にガス導入手段を設けられた場合には、その下流側に設けられた窓１６側に、真空ポンプ等の減圧手段を接続し、減圧脱泡槽の上部空間の雰囲気ガスを減圧ハウジング１１の外部に排出して、減圧脱泡槽１２の内部を減圧する方法を採用してもよい。あるいはまた、減圧脱泡槽１２の下流側の窓１６側にガス導入手段を設けられた場合には、その上流側に設けられた窓１５側に、真空ポンプ等の減圧手段を接続し、減圧脱泡槽の上部空間の雰囲気ガスを減圧ハウジング１１の外部に排出して、減圧脱泡槽１２内部を減圧する方法を採用してもよい。
　減圧脱泡槽内を減圧する方法、構造は、減圧脱泡装置の構造に応じて、適宜最適な方法、構造を採用することができる。
　本発明の減圧脱泡装置１０の各構成要素の寸法は、必要に応じて適宜選択することができる。減圧脱泡槽１２の寸法は、減圧脱泡槽１２が白金製若しくは白金合金製、又は緻密質耐火物製であるかによらず、使用する減圧脱泡装置や、減圧脱泡槽１２の形状に応じて適宜選択することができる。図１に示すような円筒形状の減圧脱泡槽１２の場合、その寸法の一例は以下の通りである。
　　　・水平方向における長さ：１～２０ｍ
　　　・内径：０．２～３ｍ（断面円形）
　減圧脱泡槽１２が白金製若しくは白金合金製である場合、肉厚は４ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．５～１．２ｍｍである。
　減圧脱泡槽は、断面円形の円筒形状のものに限定されず、断面形状が楕円形や半円形状の略円筒形状のものや、断面が矩形の筒形状のものであってもよい。
　上昇管１３及び下降管１４の寸法は、白金製若しくは白金合金製、又は緻密質耐火物製であるかによらず、使用する減圧脱泡装置に応じて適宜選択することができる。例えば、図１に示す減圧脱泡装置１０の場合、上昇管１３及び下降管１４の寸法の一例は以下の通りである。
　　　・内径：０．０５～０．８ｍ、より好ましくは０．１～０．６ｍ
　　　・長さ：０．２～６ｍ、より好ましくは０．４～４ｍ
　上昇管１３及び下降管１４が白金製若しくは白金合金製である場合、肉厚は０．４～５ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．８～４ｍｍである。
　次に、本発明の溶融ガラス製造方法について説明する。
　本発明の溶融ガラス製造方法は、溶融ガラスを減圧脱泡槽において減圧脱泡する工程を具備し、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、溶融ガラス表面の泡層の肥大化防止のためのガスを５００℃以上の温度に加熱して供給する。
　ここで、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスは、水素（Ｈ２）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、空気、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）、炭化水素ガス、炭化フッ素ガスおよびアンモニア（ＮＨ３）からなる群から選択される少なくとも１つのガスが好ましく、窒素、空気、二酸化炭素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトンおよびキセノンからなる群から選択される少なくとも１つのガスがより好ましく、窒素、空気、二酸化炭素およびアルゴンからなる群から選択される少なくとも１つのガスがさらに好ましい。
　なお、溶融ガラスの上部空間に供給するガスとして、上記の群から選択されるガスを用いることが好ましいのは、後述する溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮するうえで、好ましいからである。より具体的には、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成することによって、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮するうえで、好ましいからである。若しくは、減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることによって、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用を発揮するうえで好ましいからであり、かつ、溶融ガラスや製造されるガラス製品、およびガラス製造設備、特に減圧脱泡装置に悪影響を及ぼさないからである。
　なお、上記の群から選択される少なくとも１つのガスと記載していることからも明らかなように、上記の群のいずれか１種のガスを溶融ガラスの上部空間に供給してもよく、２種以上の混合ガスを溶融ガラスの上部空間に供給してもよい。
　なお、減圧脱泡槽の構成材料が白金または白金合金の場合、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスとして空気を使用する場合には、酸素濃度が空気中の酸素濃度よりも低いガスであることが好ましい。空気中の酸素濃度よりも酸素濃度が低いガスを用いることにより、減圧脱泡槽の構成材料である白金の酸化を抑制し、減圧脱泡槽の寿命を延ばし、更に、ガラス製品において、この白金由来の欠陥の生成を抑制することができるので好ましい。
　上記の効果を得るためには、ガス中の酸素濃度は、１５体積％以下であることがより好ましく、１０体積％以下であることがより好ましく、５体積％以下であることがより好ましい。
　また、溶融ガラスの上部空間に供給するガスの流量が５ノルマルリットル／分以上であることが、泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する効果をさらに向上させることができることから好ましい。
　減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、上記の群から選択される少なくとも１つのガスを５００℃以上の温度に加熱して供給するには、図１を用いて説明した本発明の減圧脱泡装置を用いればよい。
　本発明の溶融ガラス製造方法は、５００℃以上の温度に加熱されたガスを、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するため、ガスの供給による溶融ガラス表面の温度の低下が大幅に減少し、溶融ガラス表面の温度の低下による減圧脱泡効果の低下も大幅に減少する。
　しかも、ガスの供給による溶融ガラス表面温度の低下、および、それに減圧脱泡効果の低下が防止されているので、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスの供給量を増やすことができる。これにより、後述する泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する効果をさらに向上させることができる。
　上記の効果の観点から、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、５５０℃以上に加熱されたガスを供給することが好ましく、６００℃以上に加熱されたガスを供給することがより好ましい。
　本発明の溶融ガラス製造方法において、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に５００℃以上の温度に加熱したガスを導入することによる溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止する作用は、以下に述べる２つの作用に大別される。本発明の溶融ガラス製造方法は、これらの作用のうち、いずれか一方を発揮するものであってもよく、両方を発揮するものであってもよい。
　第１の作用は、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方にガス流を形成して、溶融ガラスからのガス成分の滞留を解消することによる、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下の防止である。
　上述したように、減圧脱泡方法は、溶融ガラスを減圧雰囲気下に置くことにより、該溶融ガラス内に含まれる気泡を浮上させ、溶融ガラス表面で気泡を破泡させて除去するものであるが、溶融ガラス表面で気泡が破泡することによって発生したガス成分（以下、「溶融ガラスからのガス成分」という。）が、減圧脱泡槽内を流通する溶融ガラスの上方に滞留すると、溶融ガラス上方の雰囲気（減圧脱泡槽内部の上部空間）で溶融ガラスからのガス成分の分圧が高くなるので、溶融ガラス表面に浮上した気泡が破泡しにくくなり、減圧脱泡効果が低下する。
　なお、溶融ガラスからのガス成分は、ガラス組成によっても異なるが、例えば、ＨＣｌ、Ｈ２ＳＯ４、ホウ酸化合物、ＨＦ等が挙げられる。
　図２に示すように、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上部空間に、ガス導入手段である中空管１７からガス１００を供給すると、該溶融ガラスＧの上方に、減圧脱泡槽１２の上流側から下流側へと流通するガス流ｇが形成される。溶融ガラスからのガス成分はガス流ｇによって運ばれ、ガス導出手段として機能する窓１６から外部に放出される。この結果、溶融ガラスからのガス成分の滞留が解消される。溶融ガラスからのガス成分の滞留が解消されることにより、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下が防止される。
　なお、図２では、ガス流ｇの流通方向と、溶融ガラスＧの流通方向（すなわち矢印で示した溶融ガラスの流れ方向）と、が同一方向であるが、ガス流の形成により溶融ガラスからのガス成分の滞留を解消することができる限り、ガス流ｇの流通方向はこれに限定されない。
　例えば、ガス流ｇの流通方向と、溶融ガラスＧの流通方向と、が反対方向であってもよい。この場合、下流側の窓１６に設置されたガス導入手段からガス１００が供給され、減圧脱泡槽１２の下流側から上流側へと流通するガス流が形成される。なお、この場合、上流側の窓１５がガス導出手段として機能する。
　また、図２に示す減圧脱泡槽１２は、溶融ガラスＧの流通方向に長い縦長な形状であるが、減圧脱泡槽には、溶融ガラスＧの流通方向の長さが短い、幅広形状のものもある。このような減圧脱泡槽の場合、減圧脱泡槽の幅方向、すなわち、溶融ガラスＧの流通方向に対して垂直方向のガス流を形成してもよい。
　また、図２では、減圧脱泡槽１２の長手方向全体にわたって、溶融ガラスＧの流通方向と同一方向のガス流ｇが形成されているが、複数のガス流を溶融ガラスＧの上方に形成してもよい。複数のガス流は溶融ガラスＧの流通方向と同一であってもよく、または反対方向であってもよい。また、複数のガス流は互いに流通方向が同一であってもよく、反対方向であってもよい。
　なお、溶融ガラスＧの流通方向に対して垂直方向のガス流を形成する場合や、複数のガス流を溶融ガラスＧの上方に形成する場合は、形成されるガス流の流通方向を考慮して、ガス導入手段およびガス導出手段を配置する。
　但し、溶融ガラス表面の泡層の肥大化は減圧脱泡槽の上流側で起こりやすい点を考慮すると、図２に示すように、上流側の窓１５に挿入された中空管１７からガス１００を供給して、溶融ガラスＧの流通方向と同一方向のガス流ｇを形成することが好ましい。
　第２の作用は、減圧脱泡槽の雰囲気ガスに低水分とされた前述の溶融ガラス表面の泡層の肥大化防止のためのガス（低水分ガス）を導入して、該雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることによる、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下の防止である。
　特許文献１にも記載されているように、減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度が特定値を超えた場合、溶融ガラス表面の泡層の肥大化が起こり、その特定値よりも更に高い別の特定値を超えた場合に、泡層の肥大化がさらに進行して突沸が起こるが、減圧脱泡槽の雰囲気ガスに低水分ガスを導入して、該雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることにより、溶融ガラス表面の泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止することができる。そして、当然のことではあるが、溶融ガラス表面の泡層の肥大化が防止されることにより、突沸、および、それによる減圧脱泡効果の低下を防止することができる。
　ここで、低水分ガスとは、減圧脱泡槽の雰囲気ガスよりも水蒸気濃度が低いガスを指す。低水分ガスの水蒸気濃度は、６０ｍｏｌ％以下であることが好ましく、５０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、４０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、３０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、２５ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、２０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、１５ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、１０ｍｏｌ％以下であることがさらに好ましく、５ｍｏｌ％以下であることが特に好ましい。
　なお、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスはいずれも低水分ガスとして供給することができる。
　また、減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度が低いほど溶融ガラス表面の泡層が薄くなる傾向があるので、該雰囲気ガスの水蒸気濃度は５０ｍｏｌ％以下であることが好ましく、４０ｍｏｌ％以下であることがより好ましい。そして、水蒸気濃度が３０ｍｏｌ％以下であると、泡層が更に薄くなる傾向があるので好ましい。
　また、該雰囲気ガスの水蒸気濃度が低いと、ガラス組成によっては、１つ１つの気泡が収縮又は破泡する場合があり、これにより泡層は更に薄くなるので好ましい。具体的には、溶融ガラスがボロシリケートガラスの場合、水蒸気濃度が３０ｍｏｌ％以下であると、気泡が顕著に収縮する傾向がある。なお、ここでいうボロシリケートガラスは、例えば酸化物換算で次のような組成である。
　組成の範囲：ＳｉＯ２：５０～６６、Ａｌ２Ｏ３：１０．５～２２、Ｂ２Ｏ３：０～１２、ＭｇＯ：０～８、ＣａＯ：０～１４．５、ＳｒＯ：０～２４、ＢａＯ：０～１３．５、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：９～２９．５（単位は質量％）。
　更に、該雰囲気ガスの水蒸気濃度が低いと、減圧脱泡を経て製造されるガラス製品に欠陥とみなされる程度の大きさの気泡が残存し難くなるので好ましい。該雰囲気ガスの水蒸気濃度が更に低くなると、減圧脱泡を経て製造されるガラス製品に欠陥が生じる確率が更に低くなるので、２５ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、２０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、１５ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、１０ｍｏｌ％以下であることがより好ましく、５ｍｏｌ％以下であることが更に好ましい。
　また、該雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることで、溶融ガラス中の特定の成分（ホウ素等）の揮散を抑制することができる。ホウ素等の成分の揮発を抑制することにより、ホウ素等の組成変動を防止できるとともに、組成変動に起因する平坦度の悪化を抑制することができる。
　また、揮発のしやすい他の成分、例えば、Ｃｌ、Ｆ、Ｓなどの揮散を抑制することもできるため、これらの成分の組成変動を防止できるとともに、組成変動に起因する平坦度の悪化を抑制することができる。
　これらＣｌ、Ｆ、Ｓなどの成分の揮散は、雰囲気中の水分に大きく影響を受けていると考えられる。例えば、ＦはＨＦとして、ＳはＨ２ＳＯ４として揮散すると考えられる。よって、該雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とすることで、上記成分の揮発、および、それに伴う上記成分の組成変動を抑えることができると考えられる。
　従来の方法では、溶融ガラスからホウ素が揮散するため、より多くのホウ素を原料として用いる必要があった。しかも、ホウ素の揮散する量は条件によってまちまちであり、微視的にガラスの組成の変動が生じるという問題もあった。
　本発明の溶融ガラス製造方法では、溶融ガラスからのホウ素の揮散を抑制し、これらの問題点を解消することができる。
　この点からも、本発明の溶融ガラス製造方法は、通常のガラスは言うに及ばず、特にボロシリケートガラスを製造する場合に好ましく用いることができるといえる。
　本発明の溶融ガラス製造方法において、上記した第１または第２の作用を発揮することができる限り、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上部空間に常時ガス１００を供給し続けることは必ずしも必要ではない。
　第１の作用の場合、溶融ガラスからのガス成分の滞留を解消できる限り、減圧脱泡の実施中、定期的にガス流を形成してもよく、例えば、１時間毎に１～３０秒程度ガス流を形成してもよい。そのため、定期的に減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上部空間にガス１００を供給することも可能である。
　また、第２の作用の場合、減圧脱泡の実施中、減圧脱泡槽１２の雰囲気ガスの水蒸気濃度のモニタリングを行い、該雰囲気ガスの水蒸気濃度が６０ｍｏｌ％超となるおそれがある場合に、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの上部空間に低水分ガスとして、ガス１００を供給することも可能である。
　本発明の溶融ガラス製造方法において、減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、前記記載の減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスの群から選択される少なくとも１つのガスを５００℃以上の温度に加熱して供給する点以外は、従来の溶融ガラス製造方法と同様に実施することができる。例えば、減圧脱泡の実施時、減圧脱泡槽１２は、内部が１１００℃～１６００℃、特に１１５０℃～１４５０℃の温度範囲になるように加熱されていることが好ましい。また、減圧脱泡槽１２内部は、絶対圧で３８～４６０ｍｍＨｇ（５１～６１３ｈＰａ）に減圧されていることが好ましく、より好ましくは、６０～３５０ｍｍＨｇ（８０～４６７ｈＰａ）に減圧されていることが好ましい。また、減圧脱泡槽１２を流通する溶融ガラスＧの流量が１～２０００トン／日であることが生産性の点から好ましい。
　本発明のガラス製品の製造方法は、前記減圧脱泡工程を具備し、前工程及び後工程として原料溶融工程及び成形工程を具備する。この原料溶融工程は、例えば従来公知のものでよく、例えばガラスの種類に応じて約１４００℃以上に加熱することによって原料を溶融する工程である。用いる原材料も製造するガラスに適合させる原材料であれば特に限定されず、例えば硅砂、ホウ酸、石灰石等の従来公知のものを最終ガラス製品の組成に合わせて調合した原材料を用いることができ、所望の清澄剤を含んでもよい。また、この成形工程は、例えば従来公知のものでよく、例えばフロート成形工程、ロールアウト成形工程、フュージョン成形工程等が挙げられる。
　本発明によって製造される溶融ガラスおよびガラス製品は、加熱溶融法により製造されるガラスである限り、組成的には制約されない。したがって、無アルカリガラスであってもよいし、ソーダライムガラスに代表されるソーダライムシリカ系ガラスやアルカリホウケイ酸ガラスのようなアルカリガラスであってもよい。本発明は、特に無アルカリガラス、さらには液晶基板用無アルカリガラスの製造に適している。
　なお、本発明によれば、泡品質にきわめて優れた、すなわち泡欠点の極めて少ないガラス製品を得ることができるため、ＦＰＤ用のガラス基板、光学用ガラス等の製造方法として好適である。
　本発明の溶融ガラス製造方法によれば、ガスの供給による溶融ガラス表面温度の低下、および、それに減圧脱泡効果の低下を生じることなしに、泡層の肥大化、および、それによる減圧脱泡の効果の低下を防止することができるので、泡品質にきわめて優れた溶融ガラスおよびガラス製品を得ることができ、ＦＰＤ用のガラス基板、光学用ガラス等の製造方法として好適である。
　なお、２００９年７月１６日に出願された日本特許出願２００９－１６７５１２号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
　１０：減圧脱泡装置
　１１：減圧ハウジング
　１２：減圧脱泡槽
　１３：上昇管
　１４：下降管
　１５，１６：窓
　１７：中空管（ガス導入手段）
　１８：断熱材
　１９：邪魔板
　１００：ガス
　２００：溶融槽
　２２０：上流ピット
　２４０：下流ピット
　Ｇ：溶融ガラス
　ｇ：ガス流

Claims (11)

  1. 　溶融ガラスを減圧脱泡槽において減圧脱泡する工程を具備する溶融ガラス製造方法であって、前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に、ガスを５００℃以上の温度に加熱して供給することを特徴とする溶融ガラス製造方法。
  2. 　前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスが、水素（Ｈ２）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、空気、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）、炭化水素系ガス、炭化フッ素系ガスおよびアンモニア（ＮＨ３）からなる群から選択される少なくとも１つのガスである請求項１に記載の溶融ガラス製造方法。
  3. 　前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に供給するガスが、酸素濃度が１５体積％以下の空気である請求項１または２に記載の溶融ガラス製造方法。
  4. 　前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に前記ガスを供給することにより、前記減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度を６０ｍｏｌ％以下とする請求項１～３のいずれか１項に記載の溶融ガラス製造方法。
  5. 　前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上部空間に前記ガスを供給することにより、前記減圧脱泡槽を流通する溶融ガラスの上方に、前記溶融ガラスの流通方向のガス流、前記溶融ガラスの流通方向とは反対方向のガス流、および、溶融ガラスの流通方向に対して垂直方向のガス流からなる群から選択される少なくとも１つのガス流を形成する請求項１～４のいずれか１項に記載の溶融ガラス製造方法。
  6. 　減圧吸引される減圧ハウジングと、前記減圧ハウジング内に設けられ、溶融ガラスの減圧脱泡を行う減圧脱泡槽と、前記減圧脱泡槽に連通して設けられ、減圧脱泡前の溶融ガラスを前記減圧脱泡槽に導入する導入手段と、前記減圧脱泡槽に連通して設けられ、減圧脱泡後の溶融ガラスを前記減圧脱泡槽から導出する導出手段とを有する溶融ガラスの減圧脱泡装置であって、
    　前記減圧脱泡槽内部の上部空間へガスを導入するガス導入手段、および、前記上部空間へ導入されるガスを加熱する加熱手段を更に有することを特徴とする溶融ガラスの減圧脱泡装置。
  7. 　前記ガス導入手段が中空管からなり、前記加熱手段が前記中空管の前記減圧ハウジング内を通る管路に沿って設けられる請求項６に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置。
  8. 　前記加熱手段が、前記中空管の管路の内部に設けられる請求項７に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置。
  9. 　前記減圧脱泡槽の雰囲気ガスの水蒸気濃度を測定する水蒸気濃度測定手段をさらに有する請求項６～８のいずれか１項に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置。
  10. 　前記ガス導入手段が、減圧脱泡槽内部の溶融ガラス上に上部空間を形成している、減圧脱泡槽の天井部または側面に設けられている請求項６～９のいずれか１項に記載の溶融ガラスの減圧脱泡装置。
  11. 　請求項６～１０のいずれか１項に記載される溶融ガラスの減圧脱泡装置による減圧脱泡工程と、該減圧脱泡工程の前工程及び後工程として原料溶融工程及び成形工程と、を具備するガラス製品の製造方法。
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