WO2011001810A1 - 液体材料吐出方法、装置およびプログラム - Google Patents
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- plunger
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- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 18
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012770 industrial material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16517—Cleaning of print head nozzles
- B41J2/1652—Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head
- B41J2/16526—Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head by applying pressure only
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/34—Applying different liquids or other fluent materials simultaneously
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/40—Distributing applied liquids or other fluent materials by members moving relatively to surface
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
Definitions
- the present invention is a liquid material discharging method, apparatus, and program for discharging a liquid material by moving a plunger sliding in a measuring unit communicating with a nozzle having a discharge port, and controls the operation of the plunger
- the present invention relates to a discharge method, apparatus, and program for repeatedly discharging a liquid material quantitatively without causing variations in the discharge amount.
- “flying” means that the liquid material is separated from the discharge port before contacting the application target.
- the plunger pump is a discharge device that discharges liquid material from the discharge port by moving the plunger that moves forward and backward closely in the metering section, and discharges the volume amount that is excluded by the movement of the plunger from the discharge port. It is possible to discharge the liquid material from the discharge port by separating it rapidly by moving the plunger at a high speed and then suddenly stopping it. .
- a sealing member used in the liquid transfer pump is configured by a cap-shaped body made of a flexible material, and the cap shape A U-shaped folded portion formed by covering the plunger with the body of the cap-shaped body with the opening end of the body fixed on the inner peripheral surface of the cylinder, and folding the plunger downward at the gap between the cylinder and the plunger.
- a technique for sealing the gap is disclosed.
- Patent Document 2 discloses a dispenser provided with an O-ring that is installed in an annular groove formed in a tip portion of a plunger and is slidable along an inner wall surface of a syringe body. It consists of a partition recess having a flat bottom wall over the side wall of the annular groove part, and is arranged with a gap between them, abutting the side part of the O-ring according to the pushing of the plunger, elastically deforming, and further compressively deforming, A technique characterized in that a plurality of convex portions or grooves for guiding the back suction of contents are provided by restoring the O-ring by releasing the load applied to the plunger and sliding the plunger in a direction opposite to the pushing direction. Is disclosed.
- an object of the present invention is to provide a liquid material discharge method, apparatus, and program capable of stabilizing the droplet shape and discharge state of the discharged liquid material and improving the discharge accuracy.
- the inventor has verified and hypothesized that the variation in the discharge amount is caused by the fact that the frictional resistance acting on the sliding portion of the plunger is different from that at the start of the operation of the plunger.
- the frictional resistance between the plunger and the inner wall of the measuring unit includes static friction that occurs when the plunger moves from the stationary state to the operating state, and dynamic friction that occurs during the operation of the plunger.
- the frictional resistance received by the plunger changes abruptly immediately after the start of the movement of the plunger that shifts from static friction to dynamic friction.
- 1st invention provides the measurement part which measures a liquid material, the discharge port connected to the end of a measurement part, and the plunger which slides and moves with the inner wall of a measurement part,
- a plunger is a direction opposite to a discharge port
- the discharging method of moving the plunger in the direction of the discharge port and then stopping and flying the liquid material from the discharge port The liquid material discharge method is characterized in that the speed of the plunger in the discharge step is controlled to be constant by providing a preliminary operation step of moving the plunger without discharging the liquid material.
- the preliminary operation includes a first operation of moving the plunger in a direction opposite to the discharge port by a predetermined distance S, and the distance of the plunger in the direction of the discharge port. It is characterized by comprising a second operation that moves the same or equivalent distance as S.
- the predetermined distance S is set to a distance at which the plunger is accelerated to a constant speed.
- the first operation and the second operation are repeated after the filling step until the discharge step is started.
- the first operation is characterized in that the plunger is moved under a condition in which bubbles are not generated by the outside air sucked from the discharge port.
- a sixth invention is characterized in that, in the first or second invention, the preliminary operation comprises an operation of gradually accelerating the plunger toward the discharge port.
- a seventh invention is characterized in that, in any one of the first to sixth inventions, the preliminary operation and the discharge step are continuously performed.
- a metering unit for metering a liquid material
- a discharge port communicating with one end of the metering unit
- a plunger that slides on the inner wall of the metering unit
- a drive source that drives the plunger
- a control device is capable of carrying out the discharge method according to any one of the first to seventh aspects of the invention.
- a ninth invention is a liquid material application device comprising a table on which an object to be applied is installed, a discharge device according to the eighth invention, and a relative movement mechanism for relatively moving the discharge device and the table. .
- a tenth aspect of the present invention is a metering unit for metering a liquid material, a discharge port communicating with one end of the metering unit, a plunger that slides and moves with an inner wall of the metering unit, a drive source that drives the plunger, and a control device A program for causing the control device to perform the discharge method according to any one of the first to seventh aspects of the invention.
- the preliminary operation is a first operation in which the plunger is moved in a direction opposite to the discharge port by a predetermined distance S, and a second operation in which the plunger is moved in the direction of the discharge port by the same or equivalent distance as the distance S.
- the fourth operation may be configured.
- the preliminary operation may be performed only before the liquid material filled in the measuring unit is first ejected.
- the present invention it is possible to keep the movement amount and speed by the plunger operation constant, stabilize the droplet shape and discharge state of the discharged liquid material, and improve the discharge accuracy.
- FIG. 1 is a schematic view of a plunger type discharge device according to Embodiment 1.
- FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an example of a coating apparatus equipped with a discharge device according to Embodiment 1.
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method of performing preliminary operation every time in (1) continuous discharge which concerns on Example 2.
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method which uses (2) micro reciprocation as a preliminary
- FIG. 1 It is explanatory drawing explaining the method which makes the preliminary
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method of performing preliminary operation only for the first time in (4) continuous discharge which concerns on Example 2.
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method of performing (5) big preliminary
- FIG. 1 It is explanatory drawing explaining the method which makes the preliminary
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method of performing preliminary operation only for the first time in (4) continuous discharge which concerns on Example 2.
- FIG. It is explanatory drawing explaining the method of performing (5) big preliminary
- FIG. 1 The graph showing the time change of each parameter when the plunger of the discharge device of the present invention performs one discharge operation is shown in FIG. Moreover, the graph showing the time change of each parameter when the plunger of the conventional discharge apparatus performs one discharge operation is shown in FIG. 1 and 2, plus on the vertical axis of the graph represents the discharge port direction, and minus represents the direction opposite to the discharge port.
- the preliminary operation 1 is performed before the discharge operation so that only the dynamic friction works during the discharge operation. is there.
- the preliminary operation 1 includes a first preliminary operation 2 and a second preliminary operation 3.
- the plunger is moved by a predetermined distance S in the direction opposite to the discharge port (0 to A). At this time, some air is sucked into the nozzle from the discharge port. This is to prevent the liquid material from being discharged by the preliminary operation 1.
- the amount of movement of the plunger (distance S) is set by obtaining a distance necessary for stabilizing the plunger speed by a prior experiment or the like.
- the movement condition of the plunger in the preliminary operation is within a range in which bubbles are not generated by suction in the nozzle.
- the space formed by the air sucked into the nozzle by the preliminary operation always maintains communication with the outside (outside air) through the discharge port.
- Conditions such as the amount of movement and the movement speed of the plunger are determined and set in advance through experiments and the like in consideration of factors such as the shape of the flow path in the nozzle and the properties of the liquid material.
- the plunger is moved in the direction of the discharge port by the same or equivalent distance as the previously set distance S (A to B). This is because the space where the air in the nozzle that has been sucked in by the above-described operation is filled again with the liquid material. By doing so, an accurate amount can be discharged. Moreover, it is also for smoothly shifting to the subsequent discharge operation. Then, even if the second preliminary operation 3 is completed, the plunger is not stopped or decelerated, and the flow proceeds to the discharge operation as it is (B to C). As described above, by performing the preliminary operation 1 before the discharge operation, the frictional resistance does not change from static friction to dynamic friction during the discharge operation, so that the plunger operation is stable and an accurate amount is discharged. It can be carried out.
- the discharge device 4 shown in FIG. 3 includes a tube-shaped measuring tube 5, a plunger 6 in which a seal portion 9 is inscribed in the measuring tube 5, a nozzle 8 having a discharge port 7, a storage container 10 for storing a liquid material, A switching valve 11 for switching communication between the metering tube 5 and the nozzle 8 or communication between the storage container 10 and the metering tube 5, a motor 13 which is a drive source for driving the plunger 6 by driving the screw shaft 12, and a valve 11 and a control device 14 that controls operations of the motor 13 and the like. Further, in order to smoothly supply the liquid material, the storage container 10 is connected to a compressed gas source (not shown) via the control device 14 and is supplied with the compressed gas.
- a compressed gas source not shown
- the measuring tube 5 is filled with a liquid material.
- the plunger 6 that slides closely in the measuring tube 5 is advanced to the position closest to the switching valve 11.
- the switching valve 11 is switched to a position where the storage container 10 and the measuring tube 5 communicate with each other, and the plunger 6 is moved backward.
- the liquid material in the storage container 10 flows into the measuring pipe 5 through the switching valve 11, and when the plunger 6 is retracted to the uppermost end of the measuring pipe 5, the filling is finished.
- discharge of the filled liquid material is performed by switching the switching valve 11 to a position where the measuring tube 5 and the nozzle 8 communicate with each other and moving the plunger 6 forward according to a desired discharge amount.
- the discharging operation of the plunger 6 is performed by rapidly stopping the plunger 6 by rapidly stopping the motor 13 after operating the motor 13 to accelerate rapidly.
- the liquid material in the measuring tube 5 is ejected and ejected from the tip of the nozzle 8 by the inertial force given by the rapid movement and rapid stop of the plunger 6.
- This discharge operation is repeated, and the liquid material in the measuring tube 5 is discharged a plurality of times.
- the discharge operation by the plunger 6 is continuously performed together with the preliminary operation 1 of FIG. 1 described above.
- the plunger is moved in a direction opposite to the discharge port by a predetermined distance S calculated in advance, and as the second preliminary operation 3, the plunger is moved in the discharge port direction. This is performed by moving the above-mentioned distance S and moving forward by a distance corresponding to the discharge amount continuously with the second preliminary operation 3.
- the switching valve 11 is switched to a position where the storage container 10 and the measuring tube 5 communicate with each other, and the plunger 6 is moved backward to be filled with the liquid material again.
- the discharge operation is performed by repeating a series of operations of filling the liquid material from the storage container 10 into the measuring tube 5, performing a preliminary operation, and discharging the liquid material in the measuring tube 5 from the nozzle 8.
- the measuring tube 5 of this embodiment has a capacity capable of being filled with an amount of liquid material that can be continuously discharged in small amounts over a plurality of times, it may be discharged over a plurality of times until the liquid material in the measuring tube 5 runs out. .
- filling may be performed for each discharge operation.
- the force that divides the liquid material discharged from the nozzle is controlled by controlling the moving speed from when the plunger that moves forward starts to decelerate until it stops. You may make it like that (refer patent 4183777).
- the above-described discharge device 4 may be used alone, but is mounted on a drive mechanism that moves relative to a substrate to be coated such as a glass substrate used in a liquid crystal panel manufacturing process or a printed circuit board on which an electronic device is mounted. Then, the work may be performed.
- a substrate to be coated such as a glass substrate used in a liquid crystal panel manufacturing process or a printed circuit board on which an electronic device is mounted. Then, the work may be performed.
- FIG. 4 the example of the coating device which mounts the discharge apparatus 4 is shown.
- the coating apparatus 15 shown in FIG. 4 includes the above-described ejection apparatus 4, a table 17 on which the substrate 16 to be coated is placed, and the ejection apparatus 4.
- the ejection apparatus 4 is relatively positioned above the table 17 in the XYZ directions.
- An XYZ drive mechanism 18 to be moved and a control device for controlling these operations are provided.
- the ejection device 4 is moved to a desired position on the substrate 16 by the drive mechanism 18 to perform ejection.
- a plurality of ejection devices 4 are mounted. This is because the plurality of ejection devices 4 are simultaneously operated to shorten the working time for the large substrate 16.
- the number of the ejection devices 4 mounted is not limited to three as shown in FIG. 4, but may be two or less, or may be four or more. That is, it is a matter that is appropriately determined depending on the size of the substrate 16 and the limitation of work time that can be spent.
- the preliminary operation 1 of the present invention is basically performed for each discharge operation.
- the discharge interval is short, the portion that changes from static friction to dynamic friction between the stop of one discharge operation and the next discharge operation becomes small or substantially It was experimentally found that it disappeared. Therefore, as shown in FIG. 8, it is possible to perform the preliminary operation 1 only at the start of the first discharge 19 in a series of multiple discharges, and not to perform the preliminary operation 1 after the second discharge 20. . By doing so, the time required for the preliminary operation 1 after the second discharge 20 can be shortened, and the work can be performed more efficiently. This method is effective when speed is important.
- Whether or not to perform the operation according to the present embodiment must be determined by the state of the inner surface of the measuring tube 5 and the surface of the seal portion 9, the force by which the seal portion 9 pushes the inner surface of the measuring tube 5, and the like. Therefore, it is preferable to make a judgment after conducting an experiment or the like in advance to obtain a guide for the discharge interval.
- the present invention can be applied to a device in which a plunger moves while closely sliding in a measuring portion and ejects a liquid material. Effective for all liquid materials that can be ejected by a plunger. High viscosity such as water, alcohol and other low-viscosity materials, adhesives, liquid crystal materials, paste-like or cream-like industrial materials (solder, grease, etc.) Suitable for discharging fluid.
- High viscosity such as water, alcohol and other low-viscosity materials, adhesives, liquid crystal materials, paste-like or cream-like industrial materials (solder, grease, etc.) Suitable for discharging fluid.
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Abstract
Description
なお、本明細書で「飛翔」とは、液体材料が塗布対象に接触する前に吐出口から離間することをいうものとする。
プランジャポンプは、概説すると、計量部内を密接して進退移動するプランジャを進出移動させて液体材料を吐出口より吐出するという吐出装置であり、プランジャの移動により排除された体積量を吐出口より吐出させることができるために精度良く吐出できるという特徴を有しており、プランジャを高速で進出移動させた後、急激に停止させることで吐出口から液体材料を切り離して飛翔させるよう吐出させることもできる。
吐出量にバラツキが生じると、ノズル等の吐出口から液体材料が吐出される際に、複数に分かれて飛び散るなど液滴形状に不良を生じたり、ノズルから飛翔しないなどといった吐出不良を発生させる原因となる。
これらの課題は、プランジャのシール部に工夫を施すといった従来技術の手法では、解消することはできない。
発明者は、プランジャの動作、特に一の吐出動作内におけるプランジャ速度の時間変化に着目し、プランジャの動作開始時のプランジャ動作の安定性を向上させることにより課題を解決できることを見出し、本発明をなした。
第2の発明は、第1の発明において、前記予備動作は、前記プランジャを吐出口と反対方向へ所定の距離Sだけ移動する第一の動作、および、前記プランジャを吐出口の方向へ前記距離Sと同一ないし同等の距離だけ移動する第二の動作からなることを特徴とする。
第3の発明は、第2の発明において、前記所定の距離Sを、前記プランジャが一定の速度まで加速される距離に設定することを特徴とする。
第4の発明は、第2または3の発明において、前記充填工程の後、前記吐出工程を開始するまで、前記第一の動作および前記第二の動作を繰り返すことを特徴とする。
第5の発明は、第2ないし4のいずれかの発明において、前記第一の動作は、吐出口から吸引された外気により気泡が生じない条件でプランジャを移動することを特徴とする。
第6の発明は、第1または2の発明において、前記予備動作は、前記プランジャを吐出口の方向へ緩やかに加速する動作からなることを特徴とする。
第7の発明は、第1ないし6のいずれかの発明において、前記予備動作と前記吐出工程とを連続して行うことを特徴とする。
第8の発明は、液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、プランジャを駆動する駆動源と、制御装置と、を備え、制御装置が、第1ないし7のいずれかの発明に係る吐出方法を実施できることを特徴とする液体材料の吐出装置である。
第9の発明は、塗布対象物が設置されるテーブルと、第8の発明に係る吐出装置と、当該吐出装置とテーブルとを相対移動させる相対移動機構と、を備える液体材料の塗布装置である。
第10の発明は、液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、プランジャを駆動する駆動源と、制御装置と、を備える液体材料の吐出装置において、制御装置に第1ないし7のいずれかの発明に係る吐出方法を実施させるプログラムである。
なお、計量部に充填した液体材料を複数回にわたって連続して吐出動作を行うに際し、計量部に充填した液体材料を最初に吐出する前にのみ、前記予備動作を行ってもよい。
本発明の吐出装置のプランジャが一の吐出動作をするときの各パラメータの時間変化を表すグラフを図1に示す。また、従来の吐出装置のプランジャが一の吐出動作をするときの各パラメータの時間変化を表すグラフを図2に示す。なお、図1および図2に共通して、グラフ縦軸のプラスは吐出口方向、マイナスは吐出口とは反対方向を表している。また、(a)は駆動源の動作信号、(b)はプランジャの移動距離の変化、(c)はプランジャ速度の時間変化、そして(d)は吐出口での吐出量の変化を示している。
以下、図1および2の二つの図を対比しながら説明を進める。
予備動作1は、第一の予備動作2と第二の予備動作3とからなる。
まず、第一の予備動作2として、プランジャを吐出口とは反対方向に所定の距離Sだけ移動させる(0~A)。このとき、吐出口よりノズル内に若干の空気を吸い込むようになる。これは予備動作1によって液体材料を吐出してしまわないようにするためである。プランジャの移動量(距離S)は、プランジャの速度を安定させるのに必要な距離を予めの実験などにより求めておき、これを設定する。
また、予備動作におけるプランジャの移動条件は、ノズル内の吸い込みにより気泡を生じない範囲とすることが好ましい。ここで、気泡を生じさせないためには、予備動作によりノズル内に吸い込まれる空気により形成される空間が吐出口を介して常時外部(外気)との連通を維持することが重要である。プランジャの移動量や移動速度などの条件は、ノズル内の流路の形状や液体材料の性質などの要素を考慮し、予めの実験などにより求めておき、これを設定する。
そして、第二の予備動作3を終えてもプランジャを停止したり減速したりせずに、そのまま吐出動作へと移行する(B~C)。このように、吐出動作前に予備動作1を実施することで、吐出動作中に摩擦抵抗が静止摩擦から動摩擦へと変化することがないので、プランジャ動作が安定して、正確な量の吐出を行うことができる。
本実施例の吐出装置について図3を参照しながら以下に説明する。なお、本実施例で使用した液体材料は、液晶(粘度=約20mPa・s)である。
図3に示す吐出装置4は、管形状の計量管5と、計量管5にシール部9が内接するプランジャ6と、吐出口7を備えるノズル8と、液体材料を貯留する貯留容器10と、計量管5とノズル8との連通または、貯留容器10と計量管5との連通を切り替える切替バルブ11と、ネジ軸12を駆動することでプランジャ6を駆動する駆動源であるモータ13と、バルブ11やモータ13などの動作を制御する制御装置14とを含んで構成される。また、液体材料の供給を円滑に行うため、貯留容器10は図示しない圧縮気体源と制御装置14を介して接続され、圧縮気体の供給を受けている。
初めに計量管5に液体材料の充填を行う。まず、計量管5内を密接摺動するプランジャ6を、切替バルブ11に最も近づいた位置まで進出させておく。そして、切替バルブ11を貯留容器10と計量管5とが連通する位置に切り替え、プランジャ6を後退移動させる。すると貯留容器10内の液体材料が切替バルブ11を通じて計量管5へ流入し、プランジャ6が計量管5の最上端まで後退すると充填が終了する。
プランジャ6の吐出動作は、モータ13を作動して急速に加速した後に、モータ13を急激に停止させることにより、プランジャ6を急速に停止させることにより行う。これにより、計量管5内の液体材料は、プランジャ6の急速移動および急速停止により与えられた慣性力によってノズル8先端より飛翔吐出される。この吐出動作を繰り返し、計量管5内の液体材料を複数回にわたって吐出する。ここで、プランジャ6による吐出動作は、上述した図1の予備動作1と併せて、連続的に行われる。この予備動作1および吐出動作は、第一の予備動作2として、プランジャを予め算定した所定の距離Sだけ吐出口と反対方向に移動させ、第二の予備動作3として、プランジャを吐出口方向へ向かって前述の距離Sだけ移動させ、第二の予備動作3と連続して吐出量に対応する距離だけ前進させることにより行う。
プランジャ6が切替バルブ11に最も近づく位置まで到達したら、切替バルブ11を貯留容器10と計量管5とが連通する位置に切り替え、プランジャ6を後退移動させて再び液体材料を充填する。
本実施例の計量管5は、複数回にわたって少量ずつ連続で吐出できる量の液体材料を充填できる容量を有するので、計量管5内の液体材料がなくなるまで複数回にわたって吐出するようにしてもよい。一方で、一回の吐出動作毎に充填を行うようにしてもよい。
なお、吐出動作の最後にプランジャを停止させるに際し、進出移動するプランジャが減速を開始してから停止するまでの移動速度を制御することによって、ノズルから吐出された液材を分断する力を制御するようにしてもよい(特許第4183577号参照)。
上述した吐出装置4は、単独で用いることもあるが、例えば、液晶パネル製造工程で用いられるガラス基板や、電子機器を実装するプリント基板など塗布対象となる基板に対し相対移動する駆動機構に搭載して作業を行うようにしてもよい。図4に、吐出装置4を搭載した塗布装置の例を示す。
図4に示す塗布装置15は、上述した吐出装置4と、塗布対象である基板16を載置するテーブル17と、吐出装置4が配設され、吐出装置4をテーブル17上方でXYZ方向へ相対移動させるXYZ駆動機構18と、これらの動作を制御する制御装置と、を備えている。塗布作業に際しては、吐出装置4を基板16上の所望の位置へ駆動機構18により移動させて吐出を行う。
なお、図4では吐出装置4を複数個搭載しているが、これは複数個の吐出装置4をそれぞれ同時に動作させることで、大型の基板16に対して作業時間を短縮するためである。吐出装置4を搭載する数は、図4に示した3個に限らず、2個以下でもよいし、4個以上あってもよい。すなわち、基板16の大きさや費やすことのできる作業時間の制限などにより適宜決まる事項である。
本実施例の予備動作を行う吐出装置においては、従来の予備動作を行わない吐出装置(機械的構造は同じもの)と比べ、約80%の精度向上(ばらつきの減少)を確認することができた。
計量部への一回の充填の後、計量部内の液体材料を連続して複数回吐出を行う場合でも、吐出間隔が長い、或いは吐出精度を重視するような場合は、図5に示すように、毎回の吐出動作開始時に予備動作1を行うようにする。そうすることで、各回の吐出精度が向上し、かつ、各吐出間のばらつきも低減することができる。
プランジャ6は通常、吐出動作をしていないとき停止している。そこで、図6に示すように、停止時間に相当する部分で微小往復動23を繰り返し、静止している状態をなくすようにする。すなわち、常に動いている状態であるので、摩擦抵抗が変化する部分が少なく、安定した精度のよい吐出が可能である。吐出回数が少ない場合や、吐出間隔が長い場合に有効である。
吐出口7とは反対方向にプランジャ6を移動させる動作を行うと、吐出口7から若干の空気を吸い込むことになる。次の動作で、吐出口7の方向へ向かって同じ距離を移動するとはいえ、影響が出る場合も考えられる。そこで、図7に示すように、プランジャを吐出口7とは反対方向へは動かさずに、吐出動作を開始する部分で緩やかに吐出口7の方向へ加速し(符号24)、摩擦抵抗が変化する部分が吐出へ影響することが少なくなるようにする。そうすることで、吐出口7から空気を吸い込むことなく、摩擦抵抗が変化する影響を低減するという効果が得られる。
本発明の予備動作1は、実施の形態に示したように、一の吐出動作毎に行うのが基本である。しかし、連続して複数回吐出を行う場合、吐出間隔が短いと、一の吐出動作の停止から次の吐出動作までの間で、静止摩擦から動摩擦へと変化する部分が小さくなる或いは実質的になくなることが実験的に見いだされた。そこで、図8に示すように、一連の複数回吐出における一回目の吐出19開始時にのみ予備動作1を行い、二回目の吐出20以降は予備動作1を行わないようにすることが可能である。そうすることで、二回目の吐出20以降の予備動作1にかかる時間を短縮することができ、作業をより効率的に行うことができる。速さを重視する場合には有効な方法である。なお、本実施例による動作を行うかどうかは、計量管5内面やシール部9の表面の状態、シール部9が計量管5内面を押す力などによって判断しなければならない。したがって、予め実験等をして吐出間隔の目安を求めておいてから判断するとよい。
プランジャ6のシール部9や計量管5内の状態によっては、予備動作1を大きく取らなければならない場合がある。その場合、後の吐出動作に影響を与えることも考えられる。そこで、図9に示すように、大きな予備動作21の後に、逆向きで同じ大きさの動作22をさせることにより、その後の吐出動作への影響を低減させることができる。そうすることで、大きさに制限されることなく予備動作を行うことができる。またこれは、上記(1)や(4)のような小さい予備動作のときに行っても有効である。なお、吐出間隔が短ければ上記(4)のように初回のみ予備動作を行うようにしてもよいことはいうまでもない。
2 第一の予備動作
3 第二の予備動作
4 吐出装置
5 計量管(計量部)
6 プランジャ
7 吐出口
8 ノズル
9 シール部
10 貯留容器
11 切替バルブ
12 ネジ軸
13 駆動源(モータ)
14 制御装置
15 塗布装置
16 基板
17 テーブル
18 XYZ駆動機構
19 一回目の吐出
20 二回目の吐出
Claims (10)
- 液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、を設け、プランジャを吐出口と反対方向に移動させて計量部に液体材料を充填する充填工程、および、プランジャを吐出口の方向へ移動させ、次いで停止させて吐出口より液体材料を飛翔吐出する吐出工程を行う液体材料の吐出方法において、
液体材料の吐出を行わずにプランジャを移動する予備動作の工程を設けることにより、吐出工程におけるプランジャの速度を一定に制御することを特徴とする液体材料の吐出方法。 - 前記予備動作は、前記プランジャを吐出口と反対方向へ所定の距離Sだけ移動する第一の動作、および、前記プランジャを吐出口の方向へ前記距離Sと同一ないし同等の距離だけ移動する第二の動作からなることを特徴とする請求項1の液体材料の吐出方法。
- 前記所定の距離Sを、前記プランジャが一定の速度まで加速される距離に設定することを特徴とする請求項2の液体材料の吐出方法。
- 前記充填工程の後、前記吐出工程を開始するまで、前記第一の動作および前記第二の動作を繰り返すことを特徴とする請求項2または3の液体材料の吐出方法。
- 前記第一の動作は、吐出口から吸引された外気により気泡が生じない条件でプランジャを移動することを特徴とする請求項2ないし4のいずれかの液体材料の吐出方法。
- 前記予備動作は、前記プランジャを吐出口の方向へ緩やかに加速する動作からなることを特徴とする請求項1または2の液体材料の吐出方法。
- 前記予備動作と前記吐出工程とを連続して行うことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかの液体材料の吐出方法。
- 液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、プランジャを駆動する駆動源と、制御装置と、を備え、
制御装置が、請求項1ないし7のいずれかの吐出方法を実施できることを特徴とする液体材料の吐出装置。 - 塗布対象物が設置されるテーブルと、請求項8記載の吐出装置と、当該吐出装置とテーブルとを相対移動させる相対移動機構と、を備える液体材料の塗布装置。
- 液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、プランジャを駆動する駆動源と、制御装置と、を備える液体材料の吐出装置において、制御装置に請求項1ないし7のいずれかの吐出方法を実施させるプログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020127002826A KR101688904B1 (ko) | 2009-07-01 | 2010-06-11 | 액체 재료 토출 방법, 장치 및 프로그램을 기억한 기억 매체 |
CN201080029406.2A CN102470391B (zh) | 2009-07-01 | 2010-06-11 | 液体材料的排出方法、装置及程序 |
HK12107067.9A HK1166289A1 (en) | 2009-07-01 | 2012-07-18 | Method, apparatus and program for jetting liquid material |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009157364A JP5465936B2 (ja) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 液体材料吐出方法、装置およびプログラム |
JP2009-157364 | 2009-07-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2011001810A1 true WO2011001810A1 (ja) | 2011-01-06 |
Family
ID=43410889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2010/059909 WO2011001810A1 (ja) | 2009-07-01 | 2010-06-11 | 液体材料吐出方法、装置およびプログラム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5465936B2 (ja) |
KR (1) | KR101688904B1 (ja) |
CN (1) | CN102470391B (ja) |
HK (1) | HK1166289A1 (ja) |
TW (1) | TWI483783B (ja) |
WO (1) | WO2011001810A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015033365A1 (en) | 2013-09-03 | 2015-03-12 | Eurochem Engineering Srl | Process for the production of dichlorohydrons |
WO2016009344A1 (en) | 2014-07-17 | 2016-01-21 | Conser Spa | Process for the production of chlorohydrins from glycerol and acyl chlorides |
Families Citing this family (1)
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SE532035C2 (sv) | 2008-02-25 | 2009-10-06 | Powerwave Technologies Sweden | Antennmatningsarrangemang |
-
2009
- 2009-07-01 JP JP2009157364A patent/JP5465936B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-11 CN CN201080029406.2A patent/CN102470391B/zh active Active
- 2010-06-11 KR KR1020127002826A patent/KR101688904B1/ko active IP Right Grant
- 2010-06-11 WO PCT/JP2010/059909 patent/WO2011001810A1/ja active Application Filing
- 2010-06-29 TW TW099121192A patent/TWI483783B/zh active
-
2012
- 2012-07-18 HK HK12107067.9A patent/HK1166289A1/xx unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI483783B (zh) | 2015-05-11 |
JP2011011142A (ja) | 2011-01-20 |
HK1166289A1 (en) | 2012-10-26 |
KR101688904B1 (ko) | 2016-12-22 |
CN102470391B (zh) | 2014-04-16 |
KR20120106713A (ko) | 2012-09-26 |
CN102470391A (zh) | 2012-05-23 |
TW201109093A (en) | 2011-03-16 |
JP5465936B2 (ja) | 2014-04-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201080029406.2 Country of ref document: CN |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 10793980 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20127002826 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 10793980 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |