WO2010110535A3 - Procédé de modélisation de la courbe de distribution de réflectance, système de mesure d'épaisseur et réflectomètre de mesure d'épaisseur utilisant ce système - Google Patents

Procédé de modélisation de la courbe de distribution de réflectance, système de mesure d'épaisseur et réflectomètre de mesure d'épaisseur utilisant ce système Download PDF

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Abstract

Le procédé de modélisation de courbe de distribution de réflectance de cette invention est destiné à modéliser une distribution de la réflectance d'une couche de film mince conformément à un changement de la longueur d'onde de lumière par rapport à la couche de film mince ayant une épaisseur uniforme. Ce procédé comprend : une étape de préparation de courbe de distribution de la réflectance au cours de laquelle la courbe est préparée pour représenter une distribution de la réflectance de la couche de film mince en fonction d'une variation de la longueur d'onde de la lumière; une étape de définition de l'intensité d'entrée au cours de laquelle une courbe de distribution de l'intensité est préparée pour représenter l'intensité de lumière d'une certaine bande de longueur d'onde proche d'une longueur d'onde spécifique qui laisse passer la lumière blanche, et la courbe de distribution de l'intensité est alors intégrée dans la bande de longueur d'onde pour être définie comme intensité d'entrée de la longueur d'onde spécifique; une étape de définition de l'intensité de sortie au cours de laquelle une courbe de distribution d'intensité combinée des courbes de distribution de réflectance et d'intensité est intégrée dans la bande de longueur d'onde pour définir une intensité de sortie de la longueur d'onde spécifique; une étape de définition de la réflectance intégrée au cours de laquelle une valeur obtenue par division de l'intensité de sortie de la longueur d'onde spécifique par l'intensité d'entrée de la longueur d'onde spécifique est définie comme réflectance d'intégration de la couche de film mince pour la longueur d'onde spécifique; et une étape de génération de courbe de distribution de réflectance d'intégration au cours de laquelle une courbe de distribution de réflectance d'intégration, destinée à refléter la distribution de réflectance d'intégration en fonction d'une variation de longueur d'onde, est générée par répétition de l'étape de définition d'intensité d'entrée, de l'étape de définition d'intensité de sortie et de l'étape de définition de réflectance d'intégration, tout en faisant varier la longueur d'onde spécifique.
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