WO2010055055A1 - Mikromechanischer coriolis-drehratensensor - Google Patents

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WO2010055055A1 PCT/EP2009/064984 EP2009064984W WO2010055055A1 WO 2010055055 A1 WO2010055055 A1 WO 2010055055A1 EP 2009064984 W EP2009064984 W EP 2009064984W WO 2010055055 A1 WO2010055055 A1 WO 2010055055A1
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detection
detection mass
masses
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Peter Merz
Manfred Weiss
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    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass

Definitions

  • the present invention relates to a micromechanical Coriolis yaw rate sensor for detecting rotational rates with components about measuring axes in three mutually orthogonal spatial directions (X, Y and Z axis), wherein the sensor comprises a substrate, a detection mass and at least two drive masses, wherein the Drive masses are each driven relative to the substrate to a primary movement and the detection mass with the drive masses is mechanically coupled so that the detection mass can be excited by a secondary movement of the drive masses, caused by Coriolis force with effect of an outer yaw rate to be detected, to a detection movement.
  • Coriolis yaw rate sensors are well known in the art. They are used to measure an external rate of rotation of a body or system about one or two axes.
  • the axis or axes are defined relative to the body or system to be measured and described by means of a coordinate reference system, that is aligned orthogonal to each other in the case of two axes.
  • the axes are also commonly referred to as measuring axes.
  • Coriolis yaw rate sensors used the Coriolis forces that occur when rotating around a measuring axis on a moving spring-mass system.
  • acceleration sensors made with MEMS technology are becoming an increasingly widespread field of application. While MEMS acceleration sensors are already manufactured in large quantities and are equivalent in terms of performance to components manufactured using conventional technologies, the rotation of the yaw rate sensors requires a much more ingenious design of the system as well as the corresponding process technology due to the very low force ratios. This explains why numerous MEMS designs are already known for acceleration sensors, which not only detect inertial movements in the direction of a spatial axis, but are also sensitive two- or three-dimensionally, ie in the direction of all spatial axes.
  • the rotation rate sensor comprises a substrate aligned in the XY plane of a reference coordinate system, at least two base elements and read-out devices.
  • the base elements in turn each comprise a frame, a suspension of the frame on the substrate, at least one seismic mass, a suspension of the seismic mass on the frame and drive means for driving the base elements.
  • the base elements are coupled together by at least one coupling bar arranged on the substrate.
  • the arrangement of the coupling bar on the substrate defines its possibilities of movement relative to the substrate, such as, for example, reducing the degree of freedom of its movement, so that interference or spurious vibrations of the seismic masses via the coupling to the coupling bar are reduced or suppressed.
  • the disclosed rotation rate sensor is suitable for detecting rotation rates about one or two spatial axes. A detection of rotation rates in all three spatial directions is not possible with this rotation rate sensor according to the prior art.
  • EP 1 775 551 A1 discloses a rotation rate sensor which is formed in a silicon wafer by means of MEMS technology. It has a ring area, which is suspended by eight beam spring elements at a central area. The ring area can perform primary and secondary vibrations around the central suspension. The primary vibration is excited by actuation electrodes in a cos2 ⁇ mode. When an external rate of rotation ⁇ is applied about an axis perpendicular to the ring area, a Coriolis force is generated, which in turn generates a secondary vibration in sin 2 ⁇ mode. With this rotation rate sensor according to the prior art, only the detection of an external rate of rotation about an axis of rotation is possible.
  • a rotation rate sensor for detecting a rotation about a detection axis (Y-axis) is known. It has a support structure and two masses which are flexibly connected to the support structure so that they can perform movements in two opposite directions along a drive axis perpendicular to the detection axis. Depending on the direction of rotation of the outer yaw rate to be detected, a Coriolis force which leads to a deflection or detection movement about the detection axis acts on the moving masses.
  • the disclosed yaw rate sensor detects an external yaw rate in a direction perpendicular to the drive axis. The detection of external yaw rates with components in three spatial directions (3D sensor) is not possible with this yaw rate sensor.
  • Rotational gyroscopes are used to detect yaw rates in one direction, i. one-dimensional single sensor elements (sensor chips), or constructed in two directions (two-dimensional single sensor elements) on chip or board level or in a corresponding sensor housing combined, which is also referred to as hybrid construction or sensor cluster.
  • inertial measuring units in the hybrid construction or a combination of several different individual sensor designs on the chip level is the relatively complex production and the relatively high space requirement, as provided for the detection of rotation rates in the different spatial direction each have their own corresponding sensor structure with drive masses, detection units, drives and detection systems must become.
  • a method for producing such a hybrid structure is known, for example, from DE 10 2006 016 260 A1.
  • a wafer with corresponding active structures for example, is provided in its own functional single-axis or two-axis individual sensors, and housed with a cap wafer having cavities or depressions for the individual sensors.
  • a Coriolis yaw rate sensor capable of detecting spin rates in three spatial directions and a method of making the same is described in "Novel 3-Axis Gyroscope on a Single Chip Using SOI Technology" by M-Traechter, T. Link, J. Dehnert, J. Auber, P. Nommensen and Y.
  • the publication describes a sensor cluster in which a conventional "out of plane” sensor (sensor in which the detection axis protrudes from the substrate plane) with two “in-plane” sensors is used for producing a rotation unit suitable for detecting rotation rates in three spatial directions. Sensors (sensor in which the detection axis lies in the substrate plane) is combined. As a result, the sensor unit described has three individual sensor elements which each function independently and which each detect a rate of rotation in a specific assigned spatial direction (X, Y or Z).
  • each individual sensor element Functioning on its own means that each individual sensor element has all the functional units necessary for detecting the respective assigned rotation rate, such as drive masses, detection masses, drive units or electrodes, as well as detection units or electrodes.
  • the accordingly high number of functional units includes certain disadvantages, such as high production costs, high production costs, in particular complicated assembly, often not unproblematic coordination of the individual sensor elements to each other, more complex izzoip; Scope 4
  • WO 92/21000 discloses a micromechanical Coholis rotation rate sensor with a support structure rotatably suspended about a Z-axis, on which four seismic masses are again arranged offset by 90 ° about the Z-axis by means of flexible beams.
  • the sensor can detect torsional vibrations around all three spatial axes. Rotations about the X and Y axis are offset by an offset
  • the present invention has the object to provide a micromechanical Coriolis yaw rate sensor o and a method or for the detection, in particular simultaneous detection, of any relative to the sensor in three-dimensional space oriented yaw rate or Rate of rotation components is suitable, the necessary functional units are integrated at the sensor level in the sensor, the space required compared to sensor systems according to the prior art space is as low as possible,
  • the sensor should preferably be able to be produced from a substrate with as few etching steps as possible.
  • a micromechanical Coriolis rotation rate sensor for detecting rotation rates with components around measuring axes in three mutually orthogonal spatial directions (X, Y and Z axis), comprising: a substrate, a detection mass and at least two drive masses,
  • the Coholis yaw rate sensor according to the invention is preferably produced by a surface micromechanical process or a similar process as described in P. Merz, W. Reinert, K. Reimer, B. Wagner, PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors, Conference Volume 5 Microsystems Technology Congress 2005, D / Freiburg, VDE Verlag, pages 467-470, is described, in particular from a preferably one-piece substrate.
  • V x , V y, V z Velocity vectors in the positive direction of the X, Y or Z axis
  • the origin of the coordinate system lies in the fulcrum of the relative to the substrate moving units of the sensor, for example, of detection mass or o drive mass.
  • the origin of the coordinate system lies in the fulcrum of the relative to the substrate moving units of the sensor, for example, of detection mass or o drive mass.
  • Coordinate system exemplarily aligned, its X and Y axes are arranged parallel to and in the substrate plane, while the Z-axis extends orthogonal to the substrate plane. Another orientation of the coordinate system to the sensor and the rotation rates, etc. is of course possible, which is why the selected
  • Axis sensor is formed by implementing one- and two-axis sensors on chip or PCB level as a sensor cluster - the functional units of the sensor, such as drive and detection masses and possibly coupling elements between these and the substrate, integrated into the sensor at the sensor level ,
  • the sensor is designed as a single sensor element, which means that all detection and drive masses necessary for the detection of rotational speeds which are oriented arbitrarily in the three spatial directions are arranged on a, preferably one-part, substrate.
  • the sensor according to the invention is a true three-axis Coholis yaw rate sensor, which is distinguished from prior art sensor clusters by a small space, low production costs and ease of manufacture.
  • the rotation rate sensor comprises a substrate, a detection mass and at least two drive masses.
  • the sensor has a single detection mass, with which any arbitrarily oriented outer rate of rotation can be detected.
  • the substrate of the rotation rate sensor is indirectly or directly connected to the system to be measured when it is used as intended and forms a reference system to which the external rotation rates to be detected are determined (coincident with the coordinate system used for the description).
  • the drive masses are drivable relative to the substrate to a primary movement and perform this at least during a measurement process or permanently.
  • the primary movement is preferably a translatory oscillation, but may also be a circular movement.
  • the detection mass is coupled to the drive masses, preferably mechanically coupled, for example by means of mechanical coupling elements, in particular by means of spring elements.
  • the coupling is basically used to transmit movements of the drive masses relative to the substrate and reference system or components thereof in the desired manner to the detection mass.
  • the rotation rate sensor according to the invention is designed such that the direction of the o primary movement of one of the at least two drive masses (hereinafter referred to as the first drive mass) perpendicular to the direction of primary movement of another of the at least two drive masses (hereinafter referred to as the second drive mass).
  • the first drive mass can, for example, perform a primary movement in the X direction, in which case the second drive mass carries out a primary movement 5 perpendicular thereto in the Y direction.
  • an outer yaw rate in the Z direction causes coholing forces on both the first and second counterweights. If the primary movements of the drive masses are coordinated according to type and direction, the Coholis manager add up to a torque which acts clockwise or counterclockwise about the Z axis depending on the direction of rotation. As a result, the drive masses are excited to secondary movements in a clockwise or counterclockwise direction about the Z axis.
  • the drive masses according to the invention each perform a primary movement which is oriented orthogonally to the primary movement of another drive mass, an external rate of rotation causes a corresponding reaction in the form of a secondary movement of the first and / or the second delivery mass (irrespective of their orientation in space and alignment with the sensor).
  • the secondary movement (s) Due to the coupling between the detection mass and the drive masses, the secondary movement (s) cause detection movements of the detection mass, which performs this relative to the substrate.
  • the detection mass is designed such that, as the respective detection movement, it can execute a torsional vibration about each of the three axes of the reference coordinate system (in the three mutually orthogonal spatial directions X, Y and Z).
  • the Coriolis rotation rate sensor in each variant can have at least four drive masses.
  • the at least four drive masses are referred to below as the first, second, third and fourth drive mass. They are arranged to each other and coupled to each other, that in each case two drive masses perform opposite phase primary movements with opposite direction of movement. The remaining two drive masses also perform orthogonal primary movements also in opposite phase with opposite direction of movement.
  • the first drive mass oscillates in the positive X direction
  • the third drive mass oscillates in the negative phase at the same frequency in the negative X direction
  • the primary movements of the drive masses are not or only with mutually overlapping and extinguishing components transmitted to the detection mass, whereby a complete mechanical decoupling of the detection modes of the primary movements is achieved, which means that the coupling between the izzoip; Scope o
  • the detection mass is arranged on the substrate.
  • the arrangement can be indirect or direct.
  • the detection mass by a
  • Anchoring point may be arranged on the substrate or on a layer applied to the substrate layer.
  • the drive masses are not directly connected to the substrate, but only indirectly via the detection mass. Alternatively it is possible
  • the drive masses are each arranged directly or indirectly on the substrate and the arrangement of the detection mass on the substrate takes place indirectly via the drive masses.
  • the detection mass is arranged or articulated translationally relative to the substrate in a non-displaceable manner. In this case, three degrees of freedom remain for movements of the detection mass, namely in the form of rotational vibrations about the three axes of the coordinate system.
  • Such an arrangement of the detection mass on the substrate can be achieved by means of various storage structures between detection mass and substrate, e.g. by means of
  • the inner suspension preferably comprises spring structures, o which indirectly isolate the detection mass. via a centrally arranged pin or anchor element o.a. or connect directly to the substrate centrally.
  • the spring structures preferably individually or in combination resist relative translational displacements of the detection mass to the substrate and limit this largely completely.
  • a central suspension with spring elements is a central gimbal suspension of the detection mass on the substrate.
  • a central gimbal suspension is a frame member or the like by means of first spring elements which allow rotation of the frame member about a first axis, arranged at the central anchor or suspension point.
  • Frame element in turn second spring elements are arranged arranged orthogonal to the first spring elements, which allow a rotation orthogonal to the direction of rotation of the frame member.
  • the detection mass is suspended on the second spring elements.
  • another frame and another spring element for rotation about a third axis may be provided, so that the detection mass on such a gimbal in three directions is mounted rotatably.
  • the drive masses are arranged around the detection mass, that is, starting from the zero point of the reference coordinate system radially outside the detection unit.
  • the detection mass and the drive masses are arranged in one plane (in the present coordinate system in the X-Y plane).
  • two drive masses can be arranged opposite each other with intermediate detection mass, in particular in the case of at least four drive masses.
  • Primary movements of the drive masses are preferably not transmitted to the detection mass or only in such a way that the force components introduced into the detection mass due to primary movements of the primary masses preferably cancel each other out completely. Due to the opposing arrangement of two drive masses whose secondary movements do not cancel each other, but add up. The thus mutually reinforcing secondary movements stimulate the detection unit for detection movement, which is then evaluated by suitable measuring means or detection mechanisms.
  • the coupling between drive masses and detection mass is preferably designed so that, although the secondary movements, but not the primary movements of the drive masses are transmitted to the detection mass and can stimulate them to carry out a detection movement.
  • the specific design of the mechanical coupling structure achieves mechanical decoupling of the detection movements (sense modes) from the one or more primary movements present (drive modes).
  • the coupling is performed such that at least one Anthebsmasse can perform their primary movement in the radial direction unhindered.
  • the coupling should be designed according to a further proposal of the invention such that the drive mass can execute two rotational secondary movements in mutually orthogonal spatial directions relative to the detection axis.
  • a rotational secondary movement of the drive mass is substantially prevented by a parallel to the primary movement spatial direction by the coupling.
  • Each drive mass is coupled according to a further proposal of the invention in each case by means of at least one spring element, in particular by means of two spring elements, with the detection mass.
  • at least one drive mass preferably each drive mass, in each case by means of one or more first spring elements, which are preferably connected to the detection mass facing inner region of the drive mass and arranged on this / and by means of one or more second spring elements, which on the detection mass remote from the outside of the drive mass are arranged, coupled to the detection mass.
  • the resonance peak of an in-phase oscillation of two opposing drive masses out of the XY plane should be eliminated as far as possible.
  • At least one, preferably each drive mass has a passage which extends in the radial direction and is open at least on one side, but preferably on both sides.
  • a substantially rigid structure preferably in the form of a beam structure, is arranged in the passage, with which the first spring element connected to the inner region of the drive mass facing the detection mass o is connected to the second spring element arranged on the outer region of the drive mass facing away from the detection mass ,
  • At least one, preferably each drive mass has a recess for receiving at least one of the spring elements.
  • the recess is preferably arranged in the outer region of the drive mass facing away from the detection mass. It is preferably opened by means of the passage over the interior of the drive mass facing the detection mass to the detection mass.
  • the at least one spring element arranged in the recess is connected to the other spring element via the beam structure arranged in the passage.
  • the other spring element is preferably arranged in a gap present between the drive mass and the detection mass; for this purpose, the drive mass can also have a further recess.
  • the drive of the drive elements is preferably carried out electrostatically, for example by applying voltages to finger electrodes, piezoelectrically or magnetically by coupling in a magnetic field.
  • the Coriolis rotation rate sensor has, according to a further proposal, at least one drive for generating a primary movement o a drive mass, preferably in each case a drive for each drive mass.
  • the drive causes the primary movement as a relative movement between the drive mass and the substrate.
  • the drive per drive mass one izzoip; Scope JJ
  • a counter electrode may be fixed directly or indirectly via anchor structures on the substrate. The same applies to the electrodes, which can also be fixed directly or indirectly to the respective drive mass.
  • an AC voltage By applying an AC voltage, an electrostatic force is induced between the electrodes and counterelectrodes so that the respective drive mass is deflected relative to the substrate. If an AC drive voltage is applied in the vicinity of the mechanical resonance frequency of a drive mass, a low damping factor (for example in a vacuum) can be used even at relatively low voltage amplitudes
  • Design elements of the electrostatic drive such as anchor structures, electrodes and counter electrodes are preferably designed so that they are distorted neither by the applied electrostatic force, nor by the inertial forces occurring in primary or secondary movements of the respective drive mass.
  • the drive masses can preferably be coupled together, preferably via coupling springs.
  • the coupling springs are to ensure or ensure that the drive masses in the primary movement
  • the coupling springs in the form of folded or U-shaped spring elements are formed.
  • Ring structure may be provided which couples the coupling springs together and synchronized their mechanical behavior.
  • Another possibility for influencing the mechanical behavior of the system drive masses / coupling springs are external springs, which are preferably fastened to the substrate via external anchors.
  • the outer springs can be arranged on the drive masses and / or on the coupling springs and influence their movement possibilities relative to the substrate in a targeted manner.
  • an angular rate sensor has at least two first pairs of electrodes for detecting their tilting about X, at least two second pairs of electrodes for detecting their tilting about Y, and at least two third pairs of electrodes for detecting their tilt by Z.
  • Each pair of electrodes each comprises a counter electrode arranged on the substrate and an electrode arranged on the detection mass. In each case one pair of electrodes is arranged on one side of the detection mass, the remaining pair of electrodes on the opposite side (the detection mass and the zero point of the reference coordinate system).
  • the electrode pairs are interconnected so that the differential capacitances can be detected.
  • the difference between the capacitance values of mutually assigned, ie opposite, electrode pairs is equal to zero.
  • the capacity of the one electrode pair increases, while that of the complementary pair of electrodes decreases in the same way, so that the capacity difference increases to twice the value of the respective capacitance change.
  • At least one pair of electrodes in the form of finger electrodes can be formed, which interact with corresponding finger counter electrodes on the substrate. Furthermore, at least one pair of electrodes may be in the form of between the detection mass and the substrate and / or between the detection mass and on the side facing away from the substrate izzoip; aescnreiDung j 5
  • Surface counter electrodes may be formed on the substrate or counter substrate.
  • mutually opposite finger electrodes are arranged on both sides of the detection mass.
  • the present invention further relates to an inertial measurement unit (IMU) having a rotation rate sensor according to the present invention.
  • IMU inertial measurement unit
  • the acceleration measuring unit can comprise, in addition to the 3D yaw rate sensor according to the invention, acceleration sensors for detecting linear accelerations in one, two or three spatial directions.
  • 5 acceleration measuring unit can be used as a chip with conventional construction and
  • Connection technology can be built together with corresponding ASIC in a plastic, metal or ceramic housing, for example in the form of a hybrid structure, by wire bonding, flip-chip technology, etc. Also conceivable is a monolithic integration of MEMS technology and the Asic technology.
  • the present invention relates to a method for detecting rotation rates in three mutually orthogonal spatial directions, preferably using a sensor according to one of the embodiments or claims described herein, wherein at least four drive masses preferably in the form of a first, a
  • 5 second, third and fourth drive mass are each excited to a translational oscillation as a primary movement, wherein at least two drive masses perform the primary movement perpendicular to the primary movement of at least two other drive masses, wherein at effect of a detected outer yaw rate caused by Coholiskraft secondary movement of at least one o Drive mass is transmitted to the detection mass, and wherein the
  • Detection mass relative to the substrate torsional vibrations in three mutually orthogonal spatial directions can perform.
  • driving masses arranged opposite each other with an intermediate detection mass oscillate simultaneously in an antiphase.
  • Figure 1 is a schematic representation of the used for the description of arrangements o and orientations relative to the sensor
  • FIG. 2 shows a schematic representation of a top view of a Coriolis
  • FIG. 3 shows a view corresponding to FIG. 2 when an external rate of rotation about the X-axis
  • FIG. 4 shows a view corresponding to FIG. 2 when an external rotation rate about the Y axis is exerted
  • FIG. 5 shows a view corresponding to FIG. 2 when an external rate of rotation about the Z axis is exerted
  • FIG. 6 shows the drive unit of the sensor according to FIGS. 2 to 5 in an enlarged detail
  • FIG. 8 shows a schematic representation of the arrangement of detection units
  • FIG. 9 shows another embodiment of the sensor in a plan view of the X-Y plane in the direction of the negative Z axis
  • FIG. 11 shows a schematic representation of a combination of a 3D Coriolis o yaw rate sensor with a 3D acceleration sensor on the chip level as
  • IMU Inertial Measurement Unit
  • the X-Y plane extends parallel to the substrate and the Z-axis extends orthogonal thereto.
  • FIG. 2 shows an embodiment of the Coriolis rotation rate sensor.
  • the figure shows a plan view of the substrate parallel to the X-Y plane in the negative o Z direction.
  • the sensor of FIG. 2 is shown in the same way in FIGS. 3, 4 and 5, the latter figures showing it in the presence of an external rate of rotation about the X-axis, the Y-axis and the Z-axis, respectively.
  • Identical elements of the sensor are therefore provided in the figures with the same reference numerals.
  • the sensor of the preferred embodiment has a central armature 1 which connects a detection mass 3 via radially arranged spring elements 2 to the substrate 7 arranged parallel to the plane of the detection mass 3.
  • the spring elements 2 between the central armature 1 and the detection mass 3 are designed such that the latter has substantially three degrees of freedom for movements. o It is capable of rotating around the X-axis, Y-axis and Z-axis. Translational movements of the detection mass 3 are substantially completely prevented by the spring elements 2.
  • the detection mass 3 is coupled in the illustrated embodiment, four drive masses 4a, 4b, 4c, 4d.
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d are arranged radially around the detection mass 3 around.
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d are coupled to one another via coupling springs 6, o wherein in each case a coupling spring 6 is arranged between two drive masses 4a, 4b, 4c, 4d.
  • the coupling springs 6 serve the mechanical coupling of the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d with each other, so that at a suitable geometric izzoip; Explanation j g
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d can be regarded as a mechanical unit with defined motion modes and natural frequencies.
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d are displaced in the primary oscillation o via capacitive drives shown in FIG. 6, for example by way of example, with reference to the drive mass 4a.
  • the drives each have a counterelectrode 10 which is fixedly arranged on the substrate 7 via external anchors 11.
  • the counterelectrode 10 has counter-electrode stems 12, pointing radially inwards in the direction of the central armature 1, whose electrode fingers are aligned in the radial direction towards the origin of the reference coordinate system.
  • the Jacobelektrodenhimmme 12 engage with one each
  • electrode comb 9 into each other. These are arranged in the radial direction on the outer circumference of the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d. The distances between the electrodes and counterelectrodes are selected such that the drive mass can carry out its primary movement as well as all secondary movements without there being any contact between electrode comb 9 and counter electrode dam 12.
  • the drives of the remaining drive masses 4b, 4c and 4d are formed in an identical manner as the previously described drive of the drive mass 4a.
  • Each drive mass 4a, 4b, 4c, 4d is individually driven by means of such a drive. This takes place in such a way that each drive mass 4a, 4b, 4c, 4d performs a primary oscillation in the radial direction.
  • the simultaneous direction of movement of the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d is matched to one another in such a way that they bring either radially outwards at the same time, ie away from the central armature 1, or radially inward, ie toward the central armature 1.
  • the drive mass 4a thus moves radially in the direction of the positive X-axis (V Xa ), while the drive mass 4c moves radially in the negative X-direction (V Xc ), the drive mass 4b turns radially more positively izzoip; Scope J ⁇ J
  • V Yb moves and the drive mass 4d finally moves in the negative Y direction (V ⁇ d) .
  • the Anthebsmassen 4a, 4b, 4c, 4d perform a radial vibration in antiphase.
  • the design of the sensor is designed so that this anti-phase drive mode has the lowest resonant frequency of all possible modes of motion and that of other secondary modes is higher.
  • FIG. 3 shows the effect of an external rate of rotation ⁇ x about the X-axis.
  • the driving masses 4a, 4b, 4c, 4d perform the primary movements previously described V ⁇ a, V r b, c V ⁇ , V r d of in the form of radial vibrations in the direction of the X- or Y-axis.
  • the outer rate of rotation ⁇ x results in a rotation of the entire system about the X-axis and causes oscillating rotational movements ⁇ b, ⁇ d of the drive masses 4b, 4d about the X-axis as their secondary movement. Since the drive masses 4b, 4d exert antiphase primary movements V ⁇ b, V ⁇ d , their secondary movements ⁇ b, ⁇ d are also in antiphase. That is, during a period in which the drive mass 4b swings from the illustrated XY plane in the direction of the positive Z axis, the drive mass 4d oscillates from the XY plane in the direction of the negative Z axis.
  • the secondary movements ⁇ b, ⁇ d of the drive masses 4b, 4d are transmitted to the detection mass 3 by means of the spring elements 5. Since this can perform rotational movements about all three spatial axes X 1 Y 1 Z due to the central suspension by means of the spring elements 2 and the central armature 1, it oscillates excitedly by the secondary movements ⁇ xb and ⁇ xd about the X-axis.
  • This movement of the detection mass 3 is referred to below as a detection movement ⁇ 3 .
  • the magnitude of the deflection of the detection movement ⁇ 3 is - as will be described below - capacitive detected and is in first approximation directly proportional to the external rate of rotation ⁇ x . izzoip; Scope 20
  • an external rate of rotation ⁇ ⁇ about the Y axis leads to secondary movements ⁇ a and ⁇ c of the drive masses 4a and 4c about the Y axis.
  • No coholing force is exerted on the drive masses 4b, 4d, since the external rate of rotation ⁇ ⁇ is identical to the primary movements V Yb and V Yd of the drive masses 4b, 4d.
  • the secondary movements ⁇ a and ⁇ c of the o drive masses 4 a , 4 c are transmitted via the spring elements 5 to the detection mass 3 , whereupon this is excited to the detection movement ⁇ 3 in the form of a torsional vibration about the Y axis.
  • the magnitude of the deflection of the detection movement ⁇ 3 of the detection mass 3 is directly proportional to the external rotation rate ⁇ ⁇ and can be detected capacitively.
  • FIG. 5 shows the effect of an external rate of rotation ⁇ z about the Z axis. Since the external rate of rotation ⁇ z is orthogonal to all the primary movements V Xa , V Yb , V Xc and V ⁇ d , a coercive force is exerted on each drive mass 4a, 4b, 4c, 4d.
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d perform secondary movements in the form of torsional oscillations ⁇ z a , ⁇ zb, ⁇ z c and ⁇ zd about the Z axis due to the acting Coriolis forces. These secondary movements are caused by the effect of
  • the detection movement ⁇ z3 of the detection mass 3 is directly proportional to the outer rotation rate ⁇ z and can in turn be detected capacitively.
  • drive masses 4a, 4b, 4c, 4d, the spring elements 5 and the coupling springs 6 system formed in the illustrated embodiment is preferably at a value of 11 kHz.
  • the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d oscillate with an amplitude of approximately 10 ⁇ m.
  • the resonance frequencies f3 ⁇ , f3 ⁇ , f3z of the detection mass 3 with respect to o rotational oscillations about the three axes X, Y and Z are in a similar manner
  • the drive elements 4a, 4b, 4c, 4d with the detection mass 3 connecting spring elements 5 are formed such that only three movement modes of the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d relative to the detection mass 3 are possible.
  • these are the primary movements V Xa and V Xc in the radial direction, which are in opposite phase to each other, and the secondary movements in the form of torsional movements ⁇ a and ⁇ c about the Y axis and in the form of torsional movements ⁇ z a and ⁇ z c about the Z axis.
  • the drive masses 4b and 4d can also execute only three o motion modes relative to the detection mass 3. These are the primary movements V Yb and V Yd in the radial direction to the central armature and opposite to each other in phase and the secondary movements in the form of izzoip; Scope 22
  • Main modes namely a rotation of the drive masses 4a and 4c about the X axis and the drive masses 4b and 4d about the Y axis on the one hand and an in-phase vibration of the drive masses 4a and 4c and 4b and 4d from the XY plane out in the direction of Z axis (also referred to as butterfly mode).
  • the first-mentioned parasitic main mode is minimized by coupling the drive masses 4a and 4c to the detection mass 3 two spring elements 5 arranged as far as possible from the x-axis, and for coupling the o Drive masses 4b and 4d to the detection mass 3 two as far away from the Y-axis spring elements 5 are used.
  • the second parasitic main mode can be represented by the design of the spring elements 5 and the drive masses 4a, 4b, 4c, 4d shown in detail in FIG.
  • the drive mass 4a exemplified in FIG. 7 is coupled to the detection mass 3 by means of a total of four spring elements 5. It has in its outer region 16 a recess 15, which is open via a radially extending passage 14 to the detection mass 3 facing inner region 17 out. In the recess 15, two spring elements 5 are arranged as far away as possible from the X-axis passing through the passage 14. These two spring elements 5 are connected to each other via a connecting structure, which in turn is connected via a passage 14 by cross-beam element 18 with a further connection structure 19 on the inner region 17 of the drive mass 4a. This connection structure 19 is in turn end to end with the two
  • Spring elements 5 suppresses the aforementioned torsional vibration about the X-axis, while the arrangement of the springs on the outside and on the one hand izzoip; Scope 23
  • the inner region suppresses the in-phase vibration out of the X-Y plane (butterfly mode), which is in the form of a torsional vibration about the Y axis in the illustrated counterweight 4a.
  • the remaining drive masses 4b, 4c, 4d can be stored in the same way.
  • FIG. 23 A possible embodiment of a detection mechanism is shown in FIG.
  • a total of four electrode pairs 23 to 26 are arranged between the detection mass 3 and the substrate 7 .
  • the electrode pairs 23 and 25 are placed in the region of the X-axis and the electrode pairs 24 and 26 in the region of the Y-axis.
  • the electrode pairs 23 and 25 serve to detect a detection movement of
  • Electrodes 24 and 26 serve to detect the detection movement of the detection mass 3 about the X-axis, that is, the detection of the rotational vibration ⁇ 3 about the X-axis.
  • electrode pairs may be formed above the detection mass.
  • the finger-shaped electrodes of the finger electrodes 20 extend tangentially to the central armature 1.
  • the finger electrodes 20 are in each case in engagement with counter-finger electrodes 21, 22, which are likewise arranged tangentially to the central armature 1.
  • counter-finger electrodes 21, 22 which are likewise arranged tangentially to the central armature 1.
  • Detection mass 3 that is, if no external rotation rate ⁇ x , ⁇ ⁇ , ⁇ z acts on the sensor, the differential capacitance is assigned a value of zero.
  • FIGS. 9 and 10 show a further embodiment of the rotation rate sensor according to the invention.
  • the sensor essentially corresponds to that in the
  • Figures 2 to 8 illustrated embodiment, but deviating from this has a rectangular in the X-Y plane basic shape.
  • FIG. 11 shows a combination of a 3D Coriolis rotation rate sensor 27 according to the invention with a 3D acceleration sensor 28 on a MEMS silicon chip 29.
  • the 3D rotation rate sensor 27 and the 3D acceleration sensor 28 together form a complete IMU.
  • the 3D rotation rate sensor 27 are outer rotation rate ⁇ x , ⁇ ⁇ , ⁇ z to all spatial axes of the
  • Coordinate reference system recorded.
  • linear accelerations a x , a y , a z present in the respective axial direction are detected. Both sensors are connected via corresponding leads 30 with connection pads 31.
  • the chip can be constructed in a conventional construction and connection technology together with a corresponding ASIC in a plastic, metal or ceramic housing, not shown in the figure 11. 5 Also conceivable is a monolithic integration of MEMS technology and ASIC technology.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Coriolis-Drehratensensor zur Erfassung von Drehraten O?,O?,Oz mit Komponenten um Messachsen in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen (X-, Y- und Z-Achse): Der Coriolis-Drehratensensor weist ein Substrat, eine Detektionsmasse und wenigstens zwei Antriebsmassen auf, wobei die Antriebsmassen jeweils relativ zum Substrat zu einer Primärbewegung (V?a,V?b,V?c,V?d) antreibbar sind, die Richtung der Primärbewegung (V?a,V?b,V?c,V?d) einer der wenigstens zwei Antriebsmassen senkrecht zur Richtung der Primärbewegung (V?a,V?b,V?c,V?d) einer anderen der wenigstens zwei Antriebsmassen ist und die Detektionsmasse mit den Antriebsmassen gekoppelt ist. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Inertial Measurement Unit (IMU) sowie ein Verfahren zur Erfassung von Drehraten in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen.

Description

izzoip; aescnreiDung i
Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor
Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanischen Coriolis-Drehratensensor zur Erfassung von Drehraten mit Komponenten um Messachsen in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen (X-, Y- und Z-Achse), wobei der Sensor ein Substrat, eine Detektionsmasse und wenigstens zwei Antriebsmassen aufweist, wobei die Antriebsmassen jeweils relativ zum Substrat zu einer Primärbewegung antreibbar sind und die Detektionsmasse mit den Antriebsmassen mechanisch so gekoppelt ist, dass die Detektionsmasse durch eine Sekundärbewegung der Antriebsmassen, bewirkt durch Corioliskraft bei Wirkung einer zu erfassenden äußeren Drehrate, zu einer Erfassungsbewegung anregbar ist.
Coriolis-Drehratensensoren sind aus dem Stand der Technik allgemein bekannt. Sie dienen der Messung einer äußeren Drehrate eines Körpers oder Systems um eine oder zwei Achsen. Die Achse oder die Achsen sind relativ zum zu vermessenden Körper oder System definiert und mittels eines Koordinatenbezugssystems beschrieben, also im Falle zweier Achsen orthogonal zueinander ausgerichtet. Die Achsen werden im Allgemeinen auch als Messachsen bezeichnet. Coriolis-Drehratensensoren nutzten die bei einer Rotation um eine Messachse auftretenden Corioliskräfte auf ein bewegtes Feder-Masse- System.
Aufgrund Miniaturisierung und geringer Herstellungskosten finden mit MEMS- Technologie gefertigte Beschleunigungssensoren (zur Erfassung linearer Beschleunigungen) ein immer breiter werdendes Anwendungsfeld. Während MEMS- Beschleunigungssensoren schon in hohen Stückzahlen gefertigt werden und leistungsmäßig den mit herkömmlichen Technologien gefertigten Bauteilen gleichwertig sind, müssen bei Drehratensensoren aufgrund der sehr geringen Kräfteverhältnisse die Systemkonstruktion sowie die entsprechende Prozesstechnologie weit ausgeklügelter sein. Dadurch erklärt sich, dass für Beschleunigungssensoren schon zahlreiche MEMS- Designs bekannt sind, welche nicht nur Inertialbewegungen in Richtung einer Raumachse erfassen können, sondern zwei- oder auch dreidimensional, d.h. in Richtung aller Raumachsen, sensitiv sind. Für Drehratensensoren ist die Implementierung einer 3D-Sensitivität in einem MEMS-Bauelement aufwendig, da verschiedene Antriebs- und Sense-Moden kontrolliert angeregt und ausgelesen werden müssen. Dabei ist das mechanische und elektrische Übersprechen des Antriebs in den Sense-Mode einerseits sowie das Übersprechen der einzelnen Sense-Moden untereinander zu unterdrücken. izzoip; aescnreiDung 2
Aus der DE 10 2007 012 163 A1 sind ein Drehratensensor sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung bekannt. Der Drehratensensor umfasst ein in XY-Ebene eines Bezugskoordinatensystems ausgerichtetes Substrat, mindestens zwei Basiselemente und Ausleseeinrichtungen. Die Basiselemente umfassen ihrerseits jeweils einen Rahmen, eine Aufhängung des Rahmens am Substrat, zumindest eine seismische Masse, eine Aufhängung der seismischen Masse am Rahmen sowie Antriebsmittel zum Antreiben der Basiselemente. Die Basiselemente sind durch wenigstens einen am Substrat angeordneten Kopplungsbalken miteinander gekoppelt. Durch die Anordnung des Kopplungsbalkens am Substrat werden dessen Bewegungsmöglichkeiten relativ zum Substrat definiert, wie beispielsweise Freiheitsgrade seiner Bewegung verringert, so dass Störauslenkungen oder Störschwingungen der seismischen Massen über die Kopplung mit dem Kopplungsbalken vermindert oder unterdrückt werden. Der offenbarte Drehratensensor ist zur Erfassung von Drehraten um eine oder zwei Raumachsen geeignet. Eine Erfassung von Drehraten in alle drei Raumrichtungen ist mit diesem Drehratensensor nach dem Stand der Technik nicht möglich.
Die EP 1 775 551 A1 offenbart einen Drehratensensor, der mittels MEMS-Technik in einem Siliziumwafer ausgebildet ist. Er besitzt einen Ringbereich, der über acht Balkenfederelemente an einem Zentralbereich aufgehängt ist. Der Ringbereich kann Primär- und Sekundärvibrationen um die zentrale Aufhängung ausführen. Die Primärvibration wird durch Betätigungselektroden in einem cos2θ-mode angeregt. Bei Wirken einer äußeren Drehrate Ω um eine Achse senkrecht zum Ringbereich wird eine Corioliskraft erzeugt, die wiederum eine Sekundärvibration im sin2θ-mode erzeugt. Mit diesem Drehratensensor nach dem Stand der Technik ist lediglich die Erfassung einer äußeren Drehrate um eine Drehachse möglich.
Aus der US 2007/0266785 A1 ist ein Drehratensensor zur Erfassung einer Rotation um eine Erfassungsachse (Y-Achse) bekannt. Er besitzt eine Stützstruktur und zwei Massen, die flexibel so mit der Stützstruktur verbunden sind, dass sie Bewegungen in zwei entgegen gesetzte Richtungen entlang einer Antriebsachse senkrecht zur Erfassungsachse ausführen können. Auf die bewegten Massen wirkt in Abhängigkeit von der Drehrichtung der zu erfassenden äußeren Drehrate eine Corioliskraft, die zu einer Auslenkung oder Erfassungsbewegung um die Erfassungsachse führt. Der offenbarte Drehratensensor erfasst eine äußere Drehrate in einer Richtung senkrecht zur Antriebsachse. Die Erfassung von äußeren Drehraten mit Komponenten in drei Raumrichtungen (3D-Sensor) ist mit diesem Drehratensensor nicht möglich. izzoip; aescnreiDung ->
Um Drehraten in allen drei Raumrichtungen oder solche mit Komponenten in allen drei Raumrichtungen erfassen zu können, ist aus dem Stand der Technik bekannt, mehrere ein- oder zweidimensionale Einzelsensoren zu einer inertialen Messeinheit (Inertial Measurement Unit, IMU) zu kombinieren. Dabei werden Drehratensensoren zur Erfassung von Drehraten in einer Richtung, d.h. eindimensionale Einzelsensorelemente (Sensorchips), oder in zwei Richtungen (zweidimensionale Einzelsensorelemente) auf Chip- oder Leiterplattenebene oder in einem entsprechenden Sensorgehäuse kombiniert aufgebaut, was auch als Hybridaufbau oder Sensor-Cluster bezeichnet wird. Nachteilig bei inertialen Messeinheiten im Hybridaufbau oder bei einer Kombination mehrerer unterschiedlicher Einzelsensordesigns auf Chipebene ist die relativ aufwendige Fertigung sowie der verhältnismäßig hohe Raumbedarf, da für die Erfassung von Drehraten in den unterschiedlichen Raumrichtung jeweils eine eigene entsprechende Sensorstruktur mit Antriebsmassen, Detektionseinheiten, Antrieben und Erfassungssystemen vorgesehen werden muss.
Ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Hybridaufbaus ist beispielsweise aus der DE 10 2006 016 260 A1 bekannt. Dabei wird ein Wafer mit entsprechenden aktiven Strukturen, z.B. in sich eigenständig funktionalen Ein- oder Zwei-Achs-Einzelsensoren, bereitgestellt und mit einem Kappenwafer, der Kavitäten oder Vertiefungen für die Einzelsensoren aufweist, gehaust. Ein Coriolis-Drehratensensor, der zur Erfassung von Drehraten in drei Raumrichtungen geeignet ist, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung ist in "Novel 3-Axis Gyroscope on a Single Chip using SOI-Technology" von M-Traechter, T. Link, J. Dehnert, J. Auber, P. Nommensen und Y. Manoli, Inertial Sensors & Systems, HSG-IMIT, Villingen-Schwennigen, Germany, offenbart. Die Veröffentlichung beschreibt einen Sensor-Cluster, bei dem zur Herstellung eines zur Erfassung von Drehraten in drei Raumrichtungen geeigneten Sensoreinheit ein üblicher "Out of plane"-Sensor (Sensor, bei dem die Erfassungsachse aus der Substratebene herausragt) mit zwei "ln-plane"-Sensoren (Sensor, bei dem die Erfassungsachse in der Substratebene liegt) kombiniert wird. Die beschriebene Sensoreinheit weist im Ergebnis drei in sich jeweils selbstständig funktionsfähige Einzelsensorelemente auf, die jeweils eine Drehrate in einer bestimmten zugewiesenen Raumrichtung (X, Y oder Z) erfassen. In sich selbst funktionsfähig bedeutet, dass jedes Einzelsensorelement alle zur Erfassung der jeweiligen zugewiesenen Drehrate notwendigen Funktionseinheiten wie Antriebsmassen, Detektionsmassen, Antriebseinheiten oder -elektroden sowie Detektionseinheiten oder -elektroden aufweisen. Die demnach hohe Anzahl der Funktionseinheiten beinhaltet bestimmte Nachteile, wie hohe Produktionskosten, hoher Produktionsaufwand, insbesondere aufwendige Montage, oftmals nicht unproblematischer Abstimmung der Einzelsensorelemente zueinander, komplexer izzoip; aescnreiDung 4
5 Gehäusung sowie große Abmessungen. Diese Nachteile und die Implementierung mehrerer Einzelsensorelemente, die jeweils eine zugewiesene Drehrate in einer bestimmten Raumrichtung erfassen, soll mit der vorliegenden Erfindung gerade vermieden werden.
0 Die WO 92/21000 offenbart einen mikromechanischen Coholis-Drehratensensor mit einer um eine Z-Achse drehbar aufgehängten Stützstruktur, an der wiederum vier seismische Massen mittels flexibler Balken um 90° um die Z-Achse herum versetzt angeordnet sind. Der Sensor kann Drehschwingungen um alle drei Raumachsen erfassen. Drehungen um die X- und Y-Achse werden durch einen Versatz der
5 seismischen Achsen selbst, Drehungen um die Z-Achse durch eine von den seismischen Massen auf die Stützstruktur übertragene Drehung desselben erfasst.
Ausgehend von dem zuvor beschriebenen Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen mikromechanischen Coriolis-Drehratensensor o und ein Verfahren zu schaffen, der bzw. das zur Erfassung, insbesondere zeitgleichen Erfassung, von beliebig relativ zum Sensor im dreidimensionalen Raum orientierten Drehraten oder Drehratenkomponenten geeignet ist, wobei die hierzu notwendigen Funktionseinheiten auf Sensorebene in den Sensor integriert sind, der gegenüber Sensorsystemen nach dem Stand der Technik benötigte Bauraum möglichst gering ist,
5 die Anzahl der zur Erfassung von Drehraten in allen drei Raumrichtungen notwendigen Funktionseinheiten wie Anregungsmassen, Antriebseinheiten, Detektionseinheiten, Kopplungssystemen, verringert ist, und die Entkoppelung zwischen Antriebsmoden und Detektionsmoden verbessert ist. Der Sensor soll insbesondere mit möglichst wenigen Ätzschritten vorzugsweise aus einem Substrat hergestellt werden können.
0
Die Lösung der oben beschriebenen Aufgabe besteht in einem mikromechanischen Coriolis-Drehratensensor zur Erfassung von Drehraten mit Komponenten um Messachsen in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen (X-, Y- und Z-Achse), aufweisend: ein Substrat, eine Detektionsmasse und wenigstens zwei Antriebsmassen,
5 wobei die Antriebsmassen jeweils relativ zum Substrat zu einer Primärbewegung antreibbar sind, wobei die Richtung der Primärbewegung einer der wenigstens zwei Antriebsmassen senkrecht zur Richtung der Primärbewegung einer anderen der wenigstens zwei Antriebsmassen ist, die Detektionsmasse mit den Antriebsmassen gekoppelt ist, derart, dass die Detektionsmasse durch eine Sekundärbewegung der o Antriebsmassen, bewirkt durch Corioliskraft bei Wirkung einer zu erfassenden äußeren Drehrate, zu einer Erfassungsbewegung anregbar ist, und die Detektionsmasse relativ izzoip; aescnreiDung =
5 zum Substrat als Erfassungsbewegung Drehschwingungen um Drehachsen in den drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen (Raumachsen X1Y1Z) ausführen kann.
Die obige Aufgabe wird des Weiteren durch eine inertiale Messeinheit nach Anspruch 14 sowie durch ein Verfahren nach Anspruch 15 gelöst.
0
Der erfindungsgemäße Coholis-Drehratensensor wird bevorzugt mit einem oberflächenmikromechanischen Prozess oder einem ähnlichen Verfahren hergestellt, wie er in P. Merz, W. Reinert, K. Reimer, B. Wagner, 'PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors, Konferenzband 5 Mikrosystemtechnik-Kongress 2005, D/Freiburg, VDE Verlag, Seiten 467-470, beschrieben ist, insbesondere aus einem vorzugsweise einteiligen Substrat.
Bei der Beschreibung des erfindungsgemäßen Coholis-Drehratensensors wird zum Zwecke einer besseren Verständlichkeit das in der Figur 1 dargestellte Karthesische o Koordinatensystem mit folgenden in die Figur 1 eingezeichneten Begriffsdefinitionen verwendet:
X, Y, Z: Raumachsen
Vx, Vy, Vz: Geschwindigkeitsvektoren in positiver Richtung der X-, Y- bzw. Z-Achse
5 Ωx, Ωy, Ωz: äußere Drehrate um die X-, Y- bzw. Z-Achse θx, θy, θz: Drehwinkel um die X-, Y- bzw. Z-Achse
Der Ursprung des Koordinatensystems liegt im Drehpunkt der relativ zum Substrat bewegten Einheiten des Sensors, beispielsweise von Detektionsmasse oder o Antriebsmasse. In der vorliegenden Beschreibung der Erfindung ist das
Koordinatensystem beispielhaft so ausgerichtet, seine X-und Y-Achse parallel zur und in der Substratebene angeordnet sind, während sich die Z-Achse orthogonal zur Substratebene erstreckt. Eine andere Orientierung des Koordinatensystems zum Sensor sowie den Drehraten etc. ist selbstverständlich möglich, weshalb sich aus der gewählten
5 Orientierung keine Beschränkungen für die Erfindung ergeben.
Mit dem erfindungsgemäßen Coholis-Drehratensensor können in vorteilhafter weise äußere Drehraten unabhängig von ihrer Orientierung relativ zum Sensor in allen Richtungen des Raums erfasst werden. Dies ist allein mit dem erfindungsgemäßen o Einzelsensorelement möglich, ohne dass zusätzliche Sensoreinheiten zur Erfassung von Drehraten in bestimmten Raumrichtungen notwendig wären. Insbesondere sind - anders als bei den zum Stand der Technik beschriebenen Sensoreinheiten, bei denen ein Drei- izzoip; aescnreiDung ^
Achs-Sensor durch Implementierung von Ein- und Zwei-Achs-Sensoren auf Chip- oder Leiterplattenebene als Sensorcluster gebildet wird - die Funktionseinheiten des Sensors, wie Antriebs- und Detektionsmassen sowie ggf. Kopplungselemente zwischen diesen und zum Substrat, auf Sensorebene in den Sensor integriert. Der Sensor ist als Einzelsensorelement ausgebildet, was bedeutet, dass alle für die Erfassung von beliebig in den drei Raumrichtungen orientierten Drehraten notwendigen Detektions- und Antriebsmassen an einem, vorzugsweise einteiligen, Substrat angeordnet sind. Der Sensor nach der Erfindung ist ein echter Drei-Achs-Coholis-Drehratensensor, der sich gegenüber Sensorclustern nach dem Stand der Technik durch einen geringen Bauraum, günstige Herstellungskosten sowie einfache Herstellung auszeichnet.
Nach Anspruch 1 weist der erfindungsgemäße Drehratensensor ein Substrat, eine Detektionsmasse und wenigstens zwei Antriebsmassen auf. Vorzugsweise weist der Sensor eine einzige Detektionsmasse auf, mit der jede beliebig orientierte äußere Drehrate erfassbar ist. Das Substrat des Drehratensensors ist bei dessen bestimmungsgemäßen Einsatz mittelbar oder unmittelbar mit dem zu vermessenden System verbunden und bildet ein Bezugssystem aus, zu dem die zu erfassenden äußeren Drehraten bestimmt werden (zusammenfallend mit dem zur Beschreibung verwendeten Koordinatensystem).
Die Antriebsmassen sind relativ zum Substrat zu einer Primärbewegung antreibbar und führen diese wenigstens während eines Messvorganges oder permanent aus. Die Primärbewegung ist vorzugsweise eine translatorische Schwingung, kann jedoch ebenfalls eine kreisförmige Bewegung sein. Die Detektionsmasse ist mit den Antriebsmassen gekoppelt, vorzugsweise mechanisch gekoppelt, z.B. mittels mechanischer Koppelelemente, insbesondere mittels Federelementen. Die Kopplung dient grundsätzlich dazu, Bewegungen der Antriebsmassen relativ zum Substrat und Bezugssystem oder Komponenten hiervon in gewünschter Weise auf die Detektionsmasse zu übertragen. Durch die Primärbewegung der Antriebsmassen relativ zum Substrat werden bei Einwirken einer äußeren Drehrate entsprechend deren Ausrichtung zum Substrat und Bezugskoordinatensystem auf die Antriebsmassen wirkende Coholiskräfte erzeugt. Diese Coholiskräfte bewirken eine Sekundärbewegung der Antriebsmassen, die durch die Kopplung, also mittels der Federelemente, zwischen Detektionsmasse und den Antriebsmassen auf die Detektionsmasse übertragen wird. Durch die Übertragung der Sekundärbewegung der Antriebsmassen auf die Detektionsmasse wird diese zum Ausführen einer Erfassungsbewegung angeregt, deren Betrag und Richtung von Größe und Orientierung der äußeren Drehrate abhängig sind. Der erfindungsgemäße Sensor ist so ausgebildet, dass die Pimärbewegungen der izzoip; aescnreiDung 7
5 Antriebsmassen bei einer Drehung des gesamten Sensors um jede der drei Raumachsen Corioliskräfte hervorrufen, die wiederum Sekundär- sowie Erfassungsbewegungen erzeugen.
Der erfindungsgemäße Drehratensensor ist derart ausgebildet, dass die Richtung der o Primärbewegung einer der wenigstens zwei Antriebsmassen (auf im Folgenden als erste Antriebsmasse bezeichnet) senkrecht zur Richtung der Primärbewegung einer anderen der wenigstens zwei Antriebsmassen (im Folgenden als zweite Antriebsmasse bezeichnet) ist. Die erste Antriebsmasse kann beispielsweise eine Primärbewegung in X-Richtung ausführen, in welchem Fall die zweite Antriebsmasse eine Primärbewegung 5 senkrechte hierzu in Y-Richtung ausführt. Die Primärbewegungen beider
Antriebsmassen liegen orthogonal zueinander in der XY-Ebene. Bei Vorliegen einer äußeren Drehrate wirken nun durch den Coholis-Effekt bedingt Drehmomente auf die jeweiligen Antriebsmassen ein. So führt im obigen Fall eine äußere Drehrate um die X-Achse zu auf die zweite Antriebsmasse einwirkenden Coholiskräften, die o Sekundärbewegungen der zweiten Antriebsmassen bewirken. Eine äußere Drehrate um die X-Achse bewirkt hingegen keine Sekundärbewegung der ersten Antriebsmasse, da die Richtung deren Primärbewegung zur Richtung der äußeren Drehrate parallel ist und somit die Corioliskraft gemäß der Formel
5 FCor=2m(vxΩ)
Fcor Corioliskraft m Masse der Antriebsmasse
Ω äußere Drehrate o V Geschwindigkeit der Antriebsmasse
als Kreuzprodukt der äußeren Drehrate mit der Primärgeschwindigkeit der ersten Antriebsmasse einen Wert von Null besitzt.
5 In ähnlicher Weise führt eine äußere Drehrate um die Y-Achse zu auf die erste Antriebsmasse wirkenden Coholiskräften, die wiederum Sekundärbewegungen der ersten Antriebsmasse bewirken. Eine äußere Drehrate um die Y-Achse bewirkt aufgrund der zuvor dargelegten Zusammenhänge (Kreuzprodukt) keine auf die zweite Antriebsmassen wirkenden Corioliskräfte, weshalb diese nicht zu Sekundärbewegungen o angeregt wird. izzoip; aescnreiDung o
Eine äußere Drehrate in Z-Richtung schließlich ruft Coholiskräfte sowohl auf die erste als auch auf die zweite Anthebsmasse hervor. Sind die Primärbewegungen der Antriebsmassen nach Art und Richtung entsprechend aufeinander abgestimmt, summieren sich die Coholiskräfte zu einem Drehmoment, welches je nach Drehrichtung im Uhrzeigersinn oder entgegen dem Uhrzeigersinn um die Z-Achse wirkt. Infolgedessen werden die Antriebsmassen zu Sekundärbewegungen im Uhrzeigersinn oder entgegen dem Uhrzeigersinn um die Z-Achse angeregt.
Da die Antriebsmassen erfindungsgemäß jeweils eine Primärbewegung ausführen, die zur Primärbewegung einer anderen Antriebsmasse orthogonal ausgerichtet ist, bewirkt eine äußere Drehrate unabhängig von ihrer Orientierung im Raum und Ausrichtung zum Sensor eine entsprechende Reaktion in Form von einer Sekundärbewegung der ersten und/oder der zweiten Anthebsmasse(n). Die Sekundärbewegung(en) bewirken aufgrund der Kopplung zwischen Detektionsmasse und Antriebsmassen Erfassungsbewegungen der Detektionsmasse, die diese relativ zum Substrat ausführt. Erfindungsgemäß ist die Detektionsmasse derart ausgebildet, dass sie als jeweilige Erfassungsbewegung eine Drehschwingung um jede der drei Achsen des Bezugskoordinatensystems (in den drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen X, Y und Z) ausführen kann. Mit dem erfindungsgemäßen Sensordesign sind äußere Drehungen des Sensors oder des mit dem Sensor verbundenen Bezugssystems um alle drei Raumachsen erfassbar.
Nach einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann der Coriolis- Drehratensensor in jeder Variante wenigstens vier Antriebsmassen aufweisen. Die wenigstens vier Antriebsmassen werden im Folgenden als erste, zweite, dritte und vierte Antriebsmasse bezeichnet. Sie sind derart zueinander angeordnet und miteinander gekoppelt, dass jeweils zwei Antriebsmassen gegenphasige Primärbewegungen mit entgegengesetzter Bewegungsrichtung ausführen. Die verbleibenden beiden Antriebsmassen führen hierzu orthogonale Primärbewegungen ebenfalls gegenphasig mit entgegengesetzter Bewegungsrichtung aus. Beispielsweise schwingt die erste Antriebsmasse in positiver X-Richtung, während die dritte Antriebsmasse mit gleicher Frequenz gegenphasig in negativer X-Richtung schwingt, wobei die zweite Antriebsmasse in positiver Y-Richtung und die vierte Antriebsmasse mit gleicher Frequenz gegenphasig in negative Y-Richtung schwingt. Auf diese Weise werden die Primärbewegungen der Antriebsmassen nicht oder nur mit sich gegenseitig überlagernden und auslöschenden Komponenten auf die Detektionsmasse übertragen, wodurch eine vollständige mechanische Entkopplung der Erfassungsmoden von den Primärbewegungen erzielt wird, was bedeutet, dass über die Kopplung zwischen den izzoip; aescnreiDung o
5 Antriebsmassen und der Detektionsmasse im Wesentlichen nur eine Übertragung von Sekundärbewegungen bewirkt wird.
Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Detektionsmasse an dem Substrat angeordnet ist. Die Anordnung kann mittelbar oder o unmittelbar erfolgen. Insbesondere kann die Detektionsmasse durch einen
Verankerungspunkt an dem Substrat oder an einer auf das Substrat aufgetragenen Schicht angeordnet sein. Bei mittelbar oder unmittelbar am Substrat angeordneter Detektionsmasse sind die Antriebsmassen nicht unmittelbar mit dem Substrat verbunden, sondern lediglich mittelbar über die Detektionsmasse. Alternativ ist möglich,
5 dass die Antriebsmassen jeweils mittelbar oder unmittelbar an dem Substrat angeordnet sind und die Anordnung der Detektionsmasse am Substrat mittelbar über die Antriebsmassen erfolgt.
Es ist vorteilhaft, wenn die Detektionsmasse relativ zu dem Substrat translatorisch o unverschiebbar angeordnet oder angelenkt ist. In diesem Fall verbleiben für Bewegungen der Detektionsmasse drei Freiheitsgrade, nämlich in Form von Rotationsschwingungen um die drei Achsen des Koordinatensystems. Eine solche Anordnung der Detektionsmasse an dem Substrat kann mittels unterschiedlichster Lagerstrukturen zwischen Detektionsmasse und Substrat erzielt werden, z.B. mittels
5 einer oder mehrerer, vorzugsweise symmetrisch zum Drehpunkt der Detektionsmasse angeordneten Anlenkungsstruktur oder -strukturen. Besonders bevorzugt ist jedoch eine Anordnung der Detektionsmasse mittels einer in ihrem Massezentrum inneren Aufhängung am Substrat oder einer auf das Substrat aufgetragenen Schicht in Form eines zentralen Ankers. Die innere Aufhängung umfasst vorzugsweise Federstrukturen, o die die Detektionsmasse mittelbar z.B. über ein zentral angeordnetes Stift- oder Ankerelement o.a. oder unmittelbar zentral mit dem Substrat verbinden. Die Federstrukturen stellen dabei vorzugsweise einzeln oder in Kombination translatorischen Relativverschiebungen der Detektionsmasse zum Substrat Widerstand entgegen und schränken diese weitgehend vollständig ein. Währenddessen werden
5 Rotationsbewegungen um die drei Achsen des Bezugskoordinatensystems im Wesentlichen ohne Einschränkung ermöglicht.
Eine Alternative zur Verwendung einer zentralen Aufhängung mit Federelementen ist eine zentrale kardanische Aufhängung der Detektionsmasse am Substrat. Bei einer o solchen kardanischen Aufhängung ist ein Rahmenelement oder ähnliches mittels erster Federelemente, die eine Rotation des Rahmenelements um eine erste Achse ermöglichen, am zentralen Anker oder Aufhängungspunkt angeordnet. Am izzoip; aescnreiDung JQ
Rahmenelement wiederum sind zweite Federelemente angeordnet orthogonal zu den ersten Federelementen angeordnet, die eine Rotation orthogonal zur Drehrichtung des Rahmenelements ermöglichen. An den zweiten Federelementen wiederum ist die Detektionsmasse aufgehängt. Gegebenenfalls, das heißt wenn mittels der ersten und zweiten Federelemente die Detektionsmasse nur mit zwei Freiheitsgraden aufgehängt ist, kann ein weiterer Rahmen und ein weiteres Federelement für eine Rotation um eine dritte Achse vorgesehen sein, so dass die Detektionsmasse über eine solche kardanische Aufhängung in drei Raumrichtungen drehbeweglich gelagert ist.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform sind die Antriebsmassen um die Detektionsmasse herum angeordnet, das heißt ausgehend vom Nullpunkt des Bezugskoordinatensystems radial außerhalb der Detektionseinheit. Vorzugsweise sind die Detektionsmasse und die Antriebsmassen in einer Ebene angeordnet (im vorliegenden Koordinatensystem in der X-Y-Ebene). Es wird des Weiteren vorgeschlagen, dass jeweils zwei Antriebsmassen einander gegenüberliegend mit zwischenliegender Detektionsmasse angeordnet sein können, insbesondere im Falle von wenigstens vier Antriebsmassen. Hierdurch wird in besonders einfacher Weise eine Entkopplung der Primärbewegungen von den Sekundärbewegungen der Antriebsmassen und den Erfassungsbewegungen der Detektionsmasse erreicht. Primärbewegungen der Antriebsmassen werden vorzugsweise nicht oder nur derart auf die Detektionsmasse übertragen, dass sich die aufgrund von Primärbewegungen gegenüberliegender Antriebsmassen in die Detektionsmasse eingeleiteten Kraftkomponenten gegenseitig vorzugsweise vollständig aufheben. Aufgrund der einander gegenüberliegenden Anordnung je zweier Antriebsmassen löschen sich deren Sekundärbewegungen nicht gegenseitig aus, sondern summieren sich. Die sich so gegenseitig verstärkenden Sekundärbewegungen regen die Detektionseinheit zur Erfassungsbewegung an, die dann über geeignete Messmittel oder Detektionsmechanismen ausgewertet wird.
Die Kopplung zwischen Antriebsmassen und Detektionsmasse ist vorzugsweise so ausgebildet, dass zwar die Sekundärbewegungen, nicht jedoch die Primärbewegungen der Antriebsmassen auf die die Detektionsmasse übertragen werden und diese zum Ausführen einer Erfassungsbewegung anregen können. Anders ausgedrückt wird durch die spezifische Ausbildung der mechanischen Koppelstruktur eine mechanische Entkopplung der Erfassungsbewegungen (Sense Moden) von der oder den jeweils vorliegenden Primärbewegungen (Drive Moden) erzielt. Durch die Kopplung werden neben der definierten Übertragung von Bewegungen der Antriebsmassen auf die Detektionsmasse auch die jeweiligen Freiheitsgrade jeder Antriebsmasse relativ zur izzoip; aescnreiDung JJ
Detektionsmasse definiert und eingestellt. Mit Vorteil erfolgt die Kopplung derart, dass wenigstens eine Anthebsmasse ihre Primärbewegung in radialer Richtung ungehindert ausführen kann. Hinsichtlich der Sekundärbewegung soll die Kopplung nach einem weiteren Vorschlag der Erfindung derart ausgebildet sein, dass die Antriebsmasse relativ zur Detektionsachse zwei rotatorische Sekundärbewegungen in zueinander orthogonalen Raumrichtungen ausführen kann. Mit besonderem Vorteil wird durch die Kopplung eine rotatorische Sekundärbewegung der Antriebsmasse um eine zur Primärbewegung parallele Raumrichtung im Wesentlichen verhindert.
Jede Antriebsmasse ist gemäß einem weiteren Vorschlag der Erfindung jeweils mittels wenigstens eines Federelementes, insbesondere mittels zweier Federelemente, mit der Detektionsmasse gekoppelt. Mit besonderem Vorteil ist wenigstens eine Antriebsmasse, vorzugsweise jede Antriebsmasse, jeweils mittels eines oder mehrerer erster Federelemente, die vorzugsweise mit dem zur Detektionsmasse zugewandten Innenbereich der Antriebsmasse verbunden und an diesem angeordnet sind/und mittels eines oder mehrerer zweiter Federelemente, die an dem der Detektionsmasse abgewandten Außenbereich der Antriebsmasse angeordnet sind, mit der Detektionsmasse gekoppelt. Aufgrund einer derartigen Federgeometrie sind im Idealfall nur drei Bewegungs-Moden der Antriebsmassen relativ zur Detektionsmasse möglich, nämlich die Primärbewegung als angeregte Bewegung vorzugsweise in Form einer translatorischen Schwingung in radialer Richtung, jeweils gegenphasig zur gegenüberliegenden Antriebsmasse, für Antriebsmassen mit Primärbewegung in Richtung der X-Achse Sekundärbewegungen in Form von Torsionsbewegungen um die Y- sowie Z-Achse sowie für Antriebsmassen mit Primärbewegung in Richtung der Y-Achse Sekundärbewegungen in Form von Torsionsbewegungen um die X- sowie Z-Achse. Alle weiteren Bewegungsmöglichkeiten werden durch die obige Federgeometrie in vorteilhafter weise im Wesentlichen vollständig unterdrückt bzw. möglichst stark eingeschränkt. Dieses gilt insbesondere für zwei parasitäre Hauptmoden, auf die hier nochmals speziell eingegangen werden wird.
Zum einen soll der Resonanzpeak einer phasengleichen Schwingung zweier gegenüberliegender Antriebsmassen aus der XY-Ebene heraus (Butterfly Mode) möglichst eliminiert werden. Dieses kann beispielsweise dadurch geschehen, dass die Resonanzfrequenz dieser parasitären Schwingung möglichst weit oberhalb der Resonanzfrequenz der Primärbewegung der Antriebsmassen liegt. Im vorliegenden Fall wird das dadurch erreicht, indem die Antriebsmasse mit Federelementen am Innenbereich einerseits und mit Federelementen am Außenbereich andererseits an der izzoip; aescnreiDung j2
5 Detektionsmasse angeordnet ist. Hierdurch kommt es zu einer Resonanzfrequenzbereichsverschiebung aus dem Bereich der Primärbewegungen heraus.
Zum anderen sollen Sekundärbewegungen in Form von Rotationsschwingungen um die Achse in Bewegungsrichtung der Primärbewegung minimiert oder im Wesentlichen o vollständig verhindert werden. Dieses wird vorzugsweise durch die Verwendung von zwei möglichst von der entsprechenden Bewegungsachse entfernt liegenden Federelementen erzielt, die einer derartigen Verdrehung der Antriebsmassen um die jeweiligen Koordinatenachsen herum ausreichenden Widerstand entgegensetzen.
5 Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist wenigstens eine, vorzugsweise jede Antriebsmasse einen Durchlass auf, der sich in radialer Richtung erstreckt und wenigstens einseitig, vorzugsweise jedoch beidseitig offen ist. In dem Durchlass ist eine im Wesentlichen biegesteife Struktur, vorzugsweise in Form einer Balkenstruktur, angeordnet, mit der das erste, mit dem zur Detektionsmasse o zugewandten Innenbereich der Antriebsmasse verbundene Federelement mit dem zweiten, an dem der Detektionsmasse abgewandten Außenbereich der Antriebsmasse angeordneten Federelement verbunden ist.
Nach einer weiteren Ausführungsform weist wenigstens eine, vorzugsweise jede 5 Antriebsmasse eine Ausnehmung zur Aufnahme wenigstens eines der Federelemente auf. Die Ausnehmung ist vorzugsweise in dem der Detektionsmasse abgewandten Außenbereich der Antriebsmasse angeordnet. Sie ist vorzugsweise mittels des Durchlasses über den der Detektionsmasse zugewandten Innenbereich der Antriebsmasse zur Detektionsmasse hin geöffnet. Das wenigstens eine, in der o Ausnehmung angeordnete Federelement ist über die in dem Durchlass angeordnete Balkenstruktur mit dem anderen Federelement verbunden. Das andere Federelement ist vorzugsweise in einem zwischen Antriebsmasse und Detektionsmasse vorliegenden Zwischenraum angeordnet, hierzu kann die Antriebsmasse auch eine weitere Ausnehmung aufweisen.
5
Der Antrieb der Antriebselemente erfolgt vorzugsweise elektrostatisch, beispielsweise über ein Anlegen von Spannungen an Fingerelektroden, piezoelektrisch oder magnetisch durch Einkoppeln eines Magnetfeldes. Der Coriolis-Drehratensensor weist nach einem weiteren Vorschlag wenigstens einen Antrieb zum Erzeugen einer Primärbewegung o einer Antriebsmasse auf, vorzugsweise jeweils einen Antrieb für jede Antriebsmasse. Der Antrieb bewirkt die Primärbewegung als Relativbewegung zwischen Antriebsmasse und Substrat. Mit besonderem Vorteil weist der Antrieb je Antriebsmasse eine izzoip; aescnreiDung J-J
5 vorzugsweise an der Antriebsmasse angeordnete, kammartige Elektrode auf, die jeweils mit einer kammartigen Gegenelektrode zusammenwirkt, die an dem Substrat angeordnet ist. Eine Gegenelektrode kann mittelbar oder unmittelbar über Ankerstrukturen an dem Substrat fixiert sein. Gleiches gilt für die Elektroden, die ebenfalls mittelbar oder unmittelbar an der jeweiligen Antriebsmasse fixiert sein können. Durch Anlegen einer o Wechselspannung wird zwischen den Elektroden und Gegenelektroden eine elektrostatische Kraft induziert, so dass die jeweilige Antriebsmasse relativ zum Substrat ausgelenkt wird. Wird dabei eine elektrische Wechselspannung in der Nähe der mechanischen Resonanzfrequenz eine Antriebsmasse angelegt, kann bei niedrigem Dämpfungsfaktor (z.B. im Vakuum) auch bei relativ kleinen Spannungsamplituden eine
5 große Auslenkung im Bereich von 0,1 bis 100μm erreicht werden. Die
Konstruktionselemente des elektrostatischen Antriebs wie Ankerstrukturen, Elektroden und Gegenelektroden sind vorzugsweise so ausgelegt, dass sie weder durch die anliegende elektrostatische Kraft, noch durch die bei Primär- oder Sekundärbewegungen der jeweiligen Antriebsmasse auftretenden Trägheitskräfte verzerrt werden.
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Um die Primär- und Sekundärbewegungen der Antriebsmassen aufeinander abzustimmen und einstellen zu können, können die Antriebsmassen vorzugsweise miteinander gekoppelt sein, vorzugsweise über Kopplungsfedern. Die Kopplungsfedern sollen sicherstellen bzw. stellen sicher, dass die Antriebsmassen in der Primärbewegung
5 simultan in Antiphase schwingen. Durch die Kopplung der Antriebsmassen miteinander werden diese quasi als gekoppelte Antriebsmasse ausgebildet, die vorzugsweise nur ein Hauptschwingungsmode und somit nur eine Resonanzfrequenz aufweist. Durch diese Kopplungsfedern zwischen den Antriebsmassen kann erreicht werden, dass die Primärmode und die drei Sekundärmoden die niedrigsten Resonanzfrequenzen o darstellen. Insbesondere sind Bewegungen, bei denen sich mindestens zwei
Antriebsmassen parallel bzw. in Phase bewegen, nahezu vollständig unterbunden, die ihre Resonanzfrequenz deutlich höher liegt als die vier zuvor genannten Arbeitsfrequenzen. Da derartige parallel Bewegungsmuster bei Beschleunigung in der XY-Ebene auftreten, zeigt der Sensor eine gute Schockrobustheit und
5 Vibrationsfestigkeit. Mit besonderem Vorteil sind die Kopplungsfedern in Form von gefalteten oder u-förmigen Federelementen ausgebildet.
An den Antriebsmassen können neben den Kopplungsfedern weitere Strukturen angebracht sein, die zum Beispiel die mechanische Stabilität des Systems o Antriebsmassen/Kopplungsfedern vergrößern oder beeinflussen. Beispielsweise kann an den Kopplungsfedern, im Falle von u-förmigen Kopplungsfedern insbesondere an deren Umlenkpunkt, und/oder mittelbar anderweitig an den Antriebsmassen eine umlaufende izzoip; aescnreiDung j4
Ringstruktur vorgesehen sein, die die Kopplungsfedern miteinander koppelt und deren mechanisches Verhalten synchronisiert. Eine weitere Möglichkeit zur Beeinflussung des mechanischen Verhaltens des Systems Antriebsmassen/Kopplungsfedern sind Außenfedern, die vorzugsweise über Außenanker an dem Substrat befestigt sind. Die Außenfedern können an den Antriebsmassen und/oder an den Kopplungsfedern angeordnet sein und deren Bewegungsmöglichkeiten relativ zum Substrat in gezielter Weise beeinflussen.
Nach einem weiteren Vorschlag der Erfindung weist ein erfindungsgemäßer Drehratensensor wenigstens zwei erste Elektrodenpaare zur Detektion deren Verkippung um X, wenigstens zwei zweite Elektrodenpaare zur Detektion deren Verkippung um Y, sowie wenigstens zwei dritte Elektrodenpaare zur Detektion deren Verkippung um Z auf. Jedes Elektrodenpaar umfasst jeweils eine am Substrat angeordnete Gegenelektrode sowie eine an der Detektionsmasse angeordnete Elektrode. Jeweils ein Elektrodenpaar ist auf einer Seite der Detektionsmasse angeordnet, das verbleibende Elektrodenpaar auf der gegenüberliegenden Seite (der Detektionsmasse sowie des Nullpunkts des Bezugskoordinatensystems). Um die Messauflösung zu verbessern, braucht nach einem weiteren Vorschlag nicht die Kapazitätsänderung an einer Elektrode/Gegenelektrode gemessen zu werden, sondern kann die differentielle Kapazität von zwei einander zugeordneten Elektrodenpaaren erfasst werden, so dass der absolute Kapazitätswert unerheblich ist. Hierzu ist des Weiteren vorgesehen, dass die Elektrodenpaare so miteinander verschaltet sind, dass die differentiellen Kapazitäten erfasst werden können. In der Ruhelage der Detektionsmasse ist die Differenz der Kapazitätswerte einander zugeordneter, das heißt einander gegenüber liegender Elektrodenpaare (jeweils umfassend eine Elektrode und eine Gegenelektrode) gleich Null. Bei Vorliegen einer Auslenkung der Detektionsmasse aufgrund einer Erfassungsbewegung vergrößert sich die Kapazität des einen Elektrodenpaars, während sich die des komplementären Elektrodenpaars in gleicher Weise verringert, so dass die Kapazitätsdifferenz auf den doppelten Wert der jeweiligen Kapazitätsänderung anwächst.
Um eine Erfassung der Erfassungsbewegungen in allen drei Raumrichtungen gewährleisten zu können, kann bei jeder Ausführungsform des Sensors nach einem weiteren Vorschlag der Erfindung wenigstens ein Elektrodenpaar in Form von Fingerelektroden ausgebildet sein, die mit entsprechenden Fingergegenelektroden am Substrat zusammenwirken. Des Weiteren kann wenigstens ein Elektrodenpaar in Form von zwischen der Detektionsmasse und dem Substrat und/oder zwischen der Detektionsmasse und einem auf der dem Substrat abgewandten Seite ausgebildeten izzoip; aescnreiDung j5
5 Gegensubstrat angeordneten Flächenelektroden mit entsprechenden
Flächengegenelektroden am Substrat bzw. Gegensubstrat ausgebildet sein. Vorzugsweise sind beiderseits der Detektionsmasse einander gegenüber liegende Fingerelektroden angeordnet.
o Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren eine Inertiale Messeinheit (IMU, Inertial Measurement Unit), die einen Drehratensensor gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist. Mit besonderem Vorteil kann die Beschleunigungsmesseinheit neben dem erfindungsgemäßen 3D-Drehratensensor Beschleunigungssensoren zur Erfassung linearer Beschleunigungen in jeweils eine, zwei oder drei Raumrichtungen umfassen. Die
5 Beschleunigungsmesseinheit kann als Chip mit herkömmlicher Aufbau- und
Verbindungstechnologie zusammen mit entsprechender ASIC in einem Plastik-, Metalloder Keramikgehäuse aufgebaut werden, beispielsweise in Form eines Hybridaufbaus, mittels Wirebonding, Flip-Chip-Technologie, etc. Denkbar ist auch eine monolithische Integration der MEMS-Technologie und der Asic-Technologie.
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Schließlich betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Erfassung von Drehraten in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen, vorzugsweise unter Verwendung eines Sensors gemäß einer der hier beschriebenen Ausführungsformen oder Ansprüchen, wobei wenigstens vier Antriebsmassen vorzugsweise in Form einer ersten, einer
5 zweiten, einer dritten und einer vierten Antriebsmasse jeweils zu einer translatorischen Schwingung als Primärbewegung angeregt werden, wobei wenigstens zwei Antriebsmassen die Primärbewegung senkrecht zur Primärbewegung wenigstens zweier anderer Antriebsmassen ausführen, wobei bei Wirkung einer zu erfassenden äußeren Drehrate eine durch Coholiskraft bewirkte Sekundärbewegung wenigstens einer o Antriebsmasse auf die Detektionsmasse übertragen wird, und wobei die
Detektionsmasse relativ zum Substrat Drehschwingungen in drei zueinander orthogonale Raumrichtungen (X1Y1Z) ausführen kann. Vorzugsweise schwingen dabei einander gegenüberliegend mit zwischenliegender Detektionsmasse angeordnete Antriebsmassen simultan in Antiphase. Des Weiteren liegen die Resonanzfrequenzen der Primär- und
5 Sekundärbewegungen von Antriebsmasse sowie Detektionsmasse mit besonderem Vorteil in einem Bereich von 1 ,0 kHz bis 50,0 kHz, vorzugsweise in einem Bereich von 5 kHz bis 30,0 kHz, bevorzugter in einem Bereich von 10,0 kHz bis 12,0 kHz sowie besonders bevorzugt bei 11 ,0 kHz. Die Resonanzfrequenzen weiterer Bewegungsmoden können bei allen Ausführungsformen in einem höheren Frequenzbereich liegen, so dass o störende Einkopplungen weitgehend vollständig vermieden werden können. izzoip; aescnreiDung jg
5 Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden, nicht beschränkenden Beschreibung beispielhafter Ausführungsformen anhand der Figuren. Dabei zeigt:
Figur 1 eine schematische Darstellung des zur Beschreibung von Anordnungen o und Orientierungen relativ zum Sensor verwendeten
Bezugskoordinatensystems,
Figur 2 eine schematische Darstellung einer Aufsicht auf einen Coriolis-
Drehratensensor in Richtung der negativen Z-Achse auf die X-Y-Ebene,
5
Figur 3 eine der Figur 2 entsprechende Ansicht bei Einwirken eine äußeren Drehrate um die X-Achse,
Figur 4 eine der Figur 2 entsprechende Ansicht bei Einwirken einer äußeren o Drehrate um die Y-Achse,
Figur 5 eine der Figur 2 entsprechende Ansicht bei Einwirken einer äußeren Drehrate um die Z-Achse,
5 Figur 6 die Antriebseinheit des Sensors nach den Fig. 2 bis 5 in einem vergrößerten Ausschnitt,
Figur 7 eine Antriebsmasse des Sensors in einer anderen Ausführungsform und in einer Aufsicht auf die X-Y-Ebene,
0
Figur 8 eine schematische Darstellung der Anordnung von Detektionseinheiten,
Figur 9 eine andere Ausführungsform des Sensors in einer Aufsicht auf die X-Y-Ebene in Richtung der negativen Z-Achse,
5
Figur 10 einen vergrößerten Ausschnitt aus dem Eckbereich des Sensors der Figur 9 und
Figur 11 eine schematische Darstellung einer Kombination eines 3D-Coriolis- o Drehratensensors mit einem 3D-Beschleunigungssensor auf Chipebene als
Inertial Measurement Unit (IMU). izzoip; aescnreiDung j7
5 In dem in der Figur 1 dargestellten orthogonalen Koordinatensystem, das bei der vorstehenden allgemeinen Beschreibung der Erfindung sowie der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen als Bezugssystem zur eindeutigen Bezeichnung von Anordnungen und Orientierungen relativ zum Sensor verwendet wird, sind neben den Bezeichnungen X, Y sowie Z für die drei Raumachsen die o Geschwindigkeitsvektoren (V1), die äußeren Drehraten (Q1), den Drehwinkel (θ,) um die jeweilige Achse sowie die positive Drehrichtung eingezeichnet. Das Koordinatensystem ist in den meisten übrigen Figuren zum Zwecke einer besseren Übersichtlichkeit neben den jeweiligen Darstellungen des Sensors eingezeichnet. Es ist jedoch relativ zu diesem derart angeordnet, dass sein Ursprung mit dem zentralen Ankerpunkt 1 der Sensoren
5 zusammenfällt, die X-Y-Ebene sich parallel zum Substrat und die Z-Achse sich orthogonal dazu erstreckt.
In der Figur 2 ist ein Ausführungsbeispiel des Coriolis-Drehratensensors dargestellt. Die Figur zeigt eine Aufsicht auf die zum Substrat parallele X-Y-Ebene in negativer o Z-Richtung. Der Sensor der Fig. 2 ist in den Figuren 3, 4 und 5 in gleicher Weise dargestellt, wobei ihn die letzteren Figuren bei Vorliegen einer äußere Drehrate um die X-Achse, die Y-Achse bzw. die Z-Achse zeigen. Gleiche Elemente des Sensors sind in den Figuren daher mit gleichen Bezugszeichen versehen.
5 Der Sensor des bevorzugten Ausführungsbeispiels weist einen zentralen Anker 1 auf, der eine Detektionsmasse 3 über radial angeordnete Federelemente 2 mit dem parallel zur Ebene der Detektionsmasse 3 angeordneten Substrat 7 verbindet. Die Federelemente 2 zwischen zentralem Anker 1 und Detektionsmasse 3 sind derart ausgebildet, dass Letztere im Wesentlichen drei Freiheitsgrade für Bewegungen besitzt. o Sie ist in der Lage, Drehbewegungen um die X-Achse, die Y-Achse sowie die Z-Achse auszuführen. Translationsbewegungen der Detektionsmasse 3 werden durch die Federelemente 2 im Wesentlichen vollständig unterbunden.
Am Außenrand der Detektionsmasse 3 sind Federelemente 5 in radialer Richtung 5 angeordnet. Über diese ist die Detektionsmasse 3 mit im dargestellten Ausführungsbeispiel vier Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d gekoppelt. Die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d sind radial um die Detektionsmasse 3 herum angeordnet.
Die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d sind über Kopplungsfedern 6 miteinander gekoppelt, o wobei zwischen zwei Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d jeweils eine Kopplungsfeder 6 angeordnet ist. Die Kopplungsfedern 6 dienen der mechanischen Kopplung der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d untereinander, so dass bei einer geeigneten geometrischen izzoip; aescnreiDung jg
5 Ausführung die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d als eine mechanische Einheit mit definierten Bewegungsmoden und Eigenfrequenzen angesehen werden können.
Die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d werden über in der Figur 6 vergrößert beispielhaft anhand der Antriebsmasse 4a dargestellte kapazitive Antriebe in Primärschwingung o versetzt. Die Antriebe weisen je eine Gegenelektrode 10 auf, die über Außenanker 11 fest an dem Substrat 7 angeordnet ist. Die Gegenelektrode 10 weist radial nach innen in Richtung des zentralen Ankers 1 weisende Gegenelektrodenkämme 12 auf, deren Elektrodenfinger in radialer Richtung zum Ursprung des Bezugskoordinatensystems hin ausgerichtet sind. Die Gegenelektrodenkämme 12 greifen mit jeweils einem
5 Elektrodenkamm 9 ineinander. Diese sind in radialer Richtung am Außenumfang der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d angeordnet. Die Abstände zwischen den Elektroden und Gegenelektroden sind derart ausgewählt, dass die Antriebsmasse ihre Primärbewegung sowie sämtliche Sekundärbewegungen ausführen kann, ohne dass es zu einem Kontakt zwischen Elektrodenkamm 9 und Gegenelektrodenkamm 12 kommt.
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Durch Anlegen einer Wechselspannung zwischen Elektrodenkamm 9 und Gegenelektrodenkamm 12 wird eine elektrostatische Kraft induziert, aufgrund der die Antriebsmasse relativ zur Gegenelektrode 10 in Form ihrer Primärbewegung ausgelenkt wird. Wird die elektrische Wechselspannung in der Nähe der mechanischen
5 Resonanzfrequenz fR angelegt, kann bei niedrigem Dämpfungsfaktor (beispielsweise im Vakuum) auch bei relativ kleinen Spannungsamplituden eine große Auslenkung in einem Bereich von 0,1 bis 100μ erreicht werden. Sämtliche Konstruktionselemente, d.h. die Gegenelektrode 10, die Außenanker 11 sowie die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d sind dabei derart ausgelegt, dass sie weder durch die anliegenden elektrostatischen Kräfte o noch durch Primär- oder Sekundärbewegungen verzerrt werden.
Die Antriebe der übrigen Antriebsmassen 4b, 4c und 4d sind in identischer Weise wie der zuvor beschriebene Antrieb der Antriebsmasse 4a ausgebildet.
5 Über einen derart ausgebildeten Antrieb wird jede Antriebsmasse 4a,4b,4c,4d individuell angetrieben. Dieses erfolgt derart, dass jede Antriebsmasse 4a,4b,4c,4d eine Primärschwingung in radialer Richtung ausführt. Die simultane Bewegungsrichtung der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d wird dabei derart aufeinander abgestimmt, dass sie sich entweder gleichzeitig radial nach außen, also vom zentralen Anker 1 weg, oder radial o nach innen, also zum zentralen Anker 1 hin, bringen. Die Antriebsmasse 4a bewegt sich so radial in Richtung der positiven X-Achse (VXa), während die Antriebsmasse 4c sich radial in negativer X-Richtung (VXc) bewegt, die Antriebsmasse 4b sich radial in positiver izzoip; aescnreiDung J<J
Y-Richtung (VYb) bewegt und die Antriebsmasse 4d sich schließlich in negativer Y-Richtung (Vγd) bewegt. Die Anthebsmassen 4a,4b,4c,4d führen eine Radialschwingung in Antiphase aus. Das Design des Sensors ist derart ausgelegt, dass dieser Antiphasen-Antriebsmode die niedrigste Resonanzfrequenz aller möglichen Bewegungsmoden aufweist und die anderer Sekundärmoden höher liegen.
Bei Vorliegen einer äußeren Drehrate Ω wirken aufgrund der Primärschwingungen Vχa,Vγb,Vχc,Vγd der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d bedingt durch den Coholiseffekt auf diese Drehmomente ein. In der Figur 3 ist die Einwirkung einer äußeren Drehrate Ωx um die X-Achse dargestellt. Die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d führen die zuvor beschriebenen Primärbewegungen Vχa,Vγb,Vχc,Vγd in Form radialer Schwingungen in Richtung der X- bzw. der Y-Achse aus. Die äußere Drehrate Ωx führt zu einer Rotation des gesamten Systems um die X-Achse und bewirkt oszillierende Drehbewegungen θχb,θχd der Antriebsmassen 4b,4d um die X-Achse als deren Sekundärbewegung. Da die Antriebsmassen 4b,4d gegenphasige Primärbewegungen Vγb,Vγd ausüben, sind auch ihre Sekundärbewegungen θχb,θχd in Antiphase. Das bedeutet, dass während eines Zeitraums, in dem die Antriebsmasse 4b aus der dargestellten X-Y-Ebene in Richtung der positiven Z-Achse schwingt, die Antriebsmasse 4d aus der X-Y-Abene in Richtung der negativen Z-Achse schwingt.
Die äußere Drehrate Ωx bewirkt bezüglich der Antriebsmassen 4a,4c keine Sekundärbewegungen, da deren Richtung mit der Richtung der Primärbewegungen VXa und Vχc der Antriebsmassen 4a bzw. 4c übereinstimmt und es aufgrund der Relation der Corioliskraft als Kreuzprodukt Fc=2m(vxΩ) nicht zum Auftreten von Coholiskräften kommt. Dieses führt dazu, dass die Antriebsmassen 4a,4c bei Wirken einer äußeren Drehrate Ωx um die X-Achse lediglich ihre Primärbewegungen VXa bzw. VXc und keine Sekundärbewegungen ausführen.
Die Sekundärbewegungen θχb,θχd der Antriebsmassen 4b,4d werden mittels der Federelemente 5 auf die Detektionsmasse 3 übertragen. Da diese aufgrund der zentralen Aufhängung mittels derFederelemente 2 und des zentralen Ankers 1 Drehbewegungen um alle drei Raumachsen X1Y1Z ausführen kann, pendelt sie angeregt durch die Sekundärbewegungen θxb und θxd um die X-Achse. Diese Bewegung der Detektionsmasse 3 wird im folgenden als Erfassungsbewegung Θχ3 bezeichnet. Die Größe der Auslenkung der Erfassungsbewegung Θχ3 wird - wie im weiteren Verlauf beschrieben wird - kapazitiv erfasst und ist in erster Näherung direkt proportional zur äußeren Drehrate Ωx. izzoip; aescnreiDung 20
5 In analoger Weise wie zuvor beschrieben führt eine äußere Drehrate Ωγ um die Y-Achse zu Sekundärbewegungen θγa sowie θγc der Antriebsmassen 4a bzw. 4c um die Y-Achse. Auf die Antriebsmassen 4b,4d wird keine Coholiskraft ausgeübt, da die äußere Drehrate Ωγ richtungsgleich zu den Primärbewegungen VYb und VYd der Antriebsmassen 4b,4d ist. Die Sekundärbewegungen θγa und θγc der o Antriebsmassen 4a, 4c werden über die Federelemente 5 auf die Detektionsmasse 3 übertragen, woraufhin diese zur Erfassungsbewegung Θγ3 in Form einer Drehschwingung um die Y-Achse angeregt wird. Wiederum ist die Größe der Auslenkung der Erfassungsbewegung Θγ3 der Detektionsmasse 3 direkt proportional zur äußeren Drehrate Ωγ und kann kapazitiv erfasst werden.
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In der Figur 5 ist die Einwirkung einer äußeren DrehrateΩz um die Z-Achse dargestellt. Da die äußere Drehrate Ωz orthogonal zu sämtlichen Primärbewegungen VXa, VYb, VXc sowie Vγd ist, wird auf jede Antriebsmasse 4a,4b,4c,4d eine Coholiskraft ausgeübt. Aufgrund der Kreuzrelation F0= (VXΩ) wird bei in jeweils positiver Achsrichtung o verlaufenden Primärbewegungen Vχa,Vγb,Vχc,Vγd auf die Antriebsmasse 4a eine Corioliskraft in negativer Y-Richtung, auf die Antriebsmasse 4c eine Corioliskraft in positiver Y-Richtung, auf die Antriebsmasse 4b eine Corioliskraft in negativer X-Richtung und auf die Antriebsmasse 4d eine Corioliskraft in positiver X-Richtung ausgeübt. Bei Bewegungsumkehr der Primärbewegungen Vχa,Vγb,Vχc,Vγd, d.h. bei einer Verringerung
5 des Abstands der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d zum zentralen Anker 1 , kommt es zu einer Vorzeichenumkehr der zuvor beschriebenen Corioliskräfte. Für den erstgenannten Fall sind die auf die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d wirkenden Corioliskräfte in die Figur 5 eingezeichnet. Es ist deutlich erkennbar, dass sich die Corioliskräfte bei einer Abstandsvergrößerung zum zentralen Anker 1 insgesamt zu einem auf die o Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d wirkenden Drehmoment im Uhrzeigersinn summieren, wohingegen es im umgekehrten Fall zu einem Drehmoment entgegen dem Uhrzeigersinn kommt. Die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d führen aufgrund der wirkenden Corioliskräfte Sekundärbewegungen in Form von Drehschwingungen θza,θzb,θzc sowie θzd um die Z-Achse aus. Diese Sekundärbewegungen werden durch die Wirkung der
5 Federelemente 5 auf die Detektionsmasse 3 übertragen, woraufhin diese zum Durchführen einer Erfassungsbewegung in Form einer Drehschwingung Θz3 um die Z-Achse angeregt wird. Die Erfassungsbewegung Θz3 der Detektionsmasse 3 ist direkt proportional zur äußeren Drehrate Ωz und kann wiederum kapazitiv erfasst werden.
o Insgesamt führen äußere Drehraten Ωx, Ωγ sowie Ωz zu Erfassungsbewegungen Θχ3,θγ3 und Θz3 der Detektionsmasse 3 in Form von Rotationsschwingungen um die jeweiligen Achsen X, Y und Z. Ein besonderer Vorteil der dargestellten Ausführungsform ist, dass izzoip; aescnreiDung 21
5 sämtliche Erfassungsmoden von den Phmärbewegungen mechanisch entkoppelt sind. So kommt es durch die gegenüberliegende Anordnung der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d sowie deren jeweils in Antiphase verlaufenden Primärbewegungen - die Antriebsmasse 4a führt ihre Primärbewegung VXa in Antiphase zur Primärbewegung VXc der Antriebsmasse 4c und die Antriebsmasse 4b ihre Primärbewegung VYb in Antiphase o zur Primärbewegung VYd der Antriebsmasse 4d aus - zu einer gegenseitigen Auslöschung der durch die jeweils gegenüberliegenden Primärbewegungen verursachten Kräfte und Momente. Auch auf die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d wirkende Zentripetal- sowie Zentrifugalkräfte werden durch die gegenüberliegende Anordnung gegenseitig aufgehoben. Die Resonanzfrequenz fR des aus den
5 Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d, den Federelementen 5 sowie den Koppelfedern 6 gebildeten Systems liegt bei der dargestellten Ausführungsform vorzugsweise bei einem Wert von 11 kHz. Bei einem Gütefaktor von 10.000 schwingen die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d mit einer Amplitude von etwa 10μm. Die Resonanzfrequenzen f3χ,f3γ,f3z der Detektionsmasse 3 bezüglich o Rotationsschwingungen um die drei Achsen X, Y und Z liegen in einem ähnlichen
Bereich, nämlich vorzugsweise zwischen ungefähr 10,0 und 12,0 kHz. Durch diese eng beieinander liegenden Resonanzfrequenzen des Systems Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d, Federelemente 5 sowie Koppelfedern 6 einerseits (fR) und der Detektionsmasse 3, (f3x,f3Y,f3z) andererseits wird eine gute Übertragbarkeit der Sekundärbewegungen der
5 Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d auf die Detektionsmasse 3 in Form deren
Erfassungsbewegungen gewährleistet. Für eine maximale Übertragbarkeit wären nahezu identische Resonanzfrequenzen ideal, allerdings würden zeitabhängige Drehraten dann zu einem stark reduzierten und damit verfälschten Signal führen. Die Bandbreite wäre damit sehr gering.
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Die die Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d mit der Detektionsmasse 3 verbindenden Federelemente 5 sind derart ausgebildet, dass jeweils nur drei Bewegungsmoden der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d relativ zur Detektionsmasse 3 möglich sind. Im Falle der Antriebsmassen 4a und 4c sind dieses die Primärbewegungen VXa und VXc in radialer 5 Richtung, die zueinander gegenphasig sind, sowie die Sekundärbewegungen in Form von Torsionsbewegungen θγa bzw. θγc um die Y-Achse sowie in Form von Torsionsbewegungen θza und θzc um die Z-Achse.
In analoger Weise können die Antriebsmassen 4b und 4d ebenfalls nur drei o Bewegungsmoden relativ zur Detektionsmasse 3 ausführen. Es sind dies die Primärbewegungen VYb und VYd in radialer Richtung zum zentralen Anker und zueinander gegenphasig sowie die Sekundärbewegungen in Form von izzoip; aescnreiDung 22
5 Torsionsbewegungen θxb und θxd um die X-Achse sowie in Form von Radialschwingungen θzb und θzd um die Z-Achse.
Alle anderen Bewegungsmoden der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d werden durch die Geometrie und Ausbildung der Federelemente 5 unterdrückt bzw. möglichst weitgehend o eingeschränkt. Besonders wichtig ist hier die Unterdrückung zweier parasitärer
Hauptmoden, nämlich einer Rotation der Antriebsmassen 4a sowie 4c um die X-Achse bzw. der Antriebsmassen 4b und 4d um die Y-Achse einerseits sowie eine phasengleiche Schwingung der Antriebsmassen 4a und 4c sowie 4b und 4d aus der X-Y-Ebene heraus in Richtung der Z-Achse (auch als Butterfly-Mode bezeichnet).
5
Bei der in den Figuren 2 bis 6 dargestellten Ausführungsform des Sensors wird der erstgenannte parasitäre Hauptmode dadurch minimiert, dass zur Kopplung der Antriebsmassen 4a und 4c an die Detektionsmasse 3 zwei möglichst weit von der X-Achse entfernt angeordnete Federelemente 5, und zur Kopplung der o Antriebsmassen 4b und 4d an die Detektionsmasse 3 zwei möglichst weit von der Y-Achse entfernte Federelemente 5 verwendet werden.
Dem zweitgenannten parasitären Hauptmode kann durch die im Detail in der Figur 7 dargestellte Ausbildung der Federelemente 5 sowie der Antriebsmassen 4a,4b,4c,4d
5 entgegengewirkt werden. Die in der Figur 7 beispielhaft dargestellte Antriebsmasse 4a ist mittels insgesamt vier Federelementen 5 mit der Detektionsmasse 3 gekoppelt. Sie weist in ihrem Außenbereich 16 eine Ausnehmung 15 auf, die über einen radial verlaufenden Durchlass 14 zum zur Detektionsmasse 3 weisenden Innenbereich 17 hin geöffnet ist. In der Ausnehmung 15 sind jeweils möglichst weit von der durch den o Durchlass 14 verlaufenden X-Achse entfernt zwei Federelemente 5 angeordnet. Diese beiden Federelemente 5 sind über eine Verbindungsstruktur miteinander verbunden, wobei diese wiederum über ein den Durchlass 14 durchgreifendes Balkenelement 18 mit einer weiteren Verbindungsstruktur 19 am Innenbereich 17 der Antriebsmasse 4a verbunden ist. Diese Verbindungsstruktur 19 ist wiederum endseitig mit den beiden
5 anderen möglichst von der X-Achse entfernt angeordneten Federelementen 5 verbunden, die wiederum am Innenbereich 17 der Antriebsmasse 4 angeordnet sind.
Durch die in der Figur 7 dargestellte Vierpunktanordnung der Antriebsmasse 4a mittels der vier Federelemente 5 werden beide vorgenannte parasitäre Hauptmoden erfolgreich o unterdrückt. Die möglichst weit von der X-Achse entfernte Anordnung der
Federelemente 5 unterdrückt dabei die angesprochene Drehschwingung um die X-Achse, während die Anordnung der Federn am Außenbereich einerseits und am izzoip; aescnreiDung 23
5 Innenbereich andererseits die phasengleiche Schwingung aus der X-Y-Ebene heraus (Butterfly-Mode) unterdrückt, der bei der dargestellten Anthebsmasse 4a in Form einer Torsionsschwingung um die Y-Achse vorliegt. Die übrigen Antriebsmassen 4b,4c,4d können in gleicher weise gelagert sein.
o In der Figur 8 ist eine mögliche Ausführungsform eines Detektionsmechanismus dargestellt. Zwischen der Detektionsmasse 3 und dem Substrat 7 sind insgesamt vier Elektrodenpaare 23 bis 26 angeordnet. Die Elektrodenpaare 23 sowie 25 sind im Bereich der X-Achse und die Elektrodenpaare 24 sowie 26 im Bereich der Y-Achse platziert. Die Elektrodenpaare 23 sowie 25 dienen einer Detektion einer Erfassungsbewegung der
5 Detektionsmasse 3 um die Y-Achse, also einer Erfassung deren Drehschwingung Θγ3 um die Y-Achse. Die Elektrodenpaare 24 sowie 26 hingegen dienen der Erfassung der Erfassungsbewegung der Detektionsmasse 3 um die X-Achse, also der Erfassung der Rotationsschwingung Θχ3 um die X-Achse. Durch Verwendung zusätzlicher Funktionsschichten oder eines entsprechend ausgebildeten Gegensubstrats, die in den o beispielhaften Figuren nicht dargestellt sind, können zusätzlich oder alternativ Elektrodenpaare oberhalb der Detektionsmasse ausgebildet sein.
Um die Erfassungsbewegungen der Detektionsmasse 3 um die Z-Achse in Form der Drehschwingungen Θz3 erfassen zu können, sind am Außenumfang der
5 Detektionsmasse 3 vier Fingerelektroden 20 angeordnet. Die fingerförmigen Elektroden der Fingerelektroden 20 erstrecken sich tangential zum zentralen Anker 1. Die Fingerelektroden 20 stehen jeweils mit Gegenfingerelektroden 21 , 22 in Eingriff, die ebenfalls tangential zum zentralen Anker 1 angeordnet sind. Obwohl in der dargestellten Ausführungsform die Verwendung von vier Fingerelektroden 20 mit einer o entsprechenden Anzahl von Gegenfingerelektroden 21 , 22 dargestellt ist, kann die aus einer Fingerelektrode 20 und zwei Gegenfingerelektroden 21 , 22 bestehende Anordnung in beliebiger Anzahl an der Detektionsmasse 3 angeordnet sein.
Aufgrund der für MEMS typischen kleinen Strukturgrößen und geringen Auslenkungen 5 liegen dort üblicherweise sehr geringe Kapazitätsänderungen vor. Die Messauflösung wird erheblich verbessert, wenn nicht die Kapazitätsänderung an einer Elektrode gemessen wird, sondern die differentielle Kapazität von zwei in geeigneter weise angeordneten Elektrodenpaaren, so dass der absolute Kapazitätswert unerheblich ist. Einer derartigen Erfassung der differentiellen Kapazität dient die in der Figur 8 o dargestellte Anordnung des Detektionsmechanismus. In der Ruhelage der
Detektionsmasse 3, d.h. wenn keine äußere Drehrate Ωx, Ωγ, Ωz auf den Sensor einwirkt, wird der Differenzkapazität ein Wert von Null zugeordnet. Im Falle einer izzoip; aescnreiDung 24
5 Auslenkung, d.h. bei Vorliegen einer Erfassungsbewegung der Detektionsmasse 3 relativ zum Substrat 7 aufgrund einer äußeren Drehrate Ωx, Ωγ, Ωz vergrößert bzw. verkleinert sich die differentielle Kapazität je nach Drehrichtung der Detektionsmasse 3.
In den Figuren 9 und 10 ist eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen o Drehratensensors dargestellt. Der Sensor entspricht im Wesentlichen der in den
Figuren 2 bis 8 dargestellten Ausführungsform, weist jedoch abweichend hiervon eine in der X-Y-Ebene rechteckige Grundform auf.
Die Figur 11 zeigt eine Kombination eines erfindungsgemäßen 3D-Coriolis- 5 Drehratensensors 27 mit einem 3D-Beschleunigungssensor 28 auf einem MEMS- Silizium-Chip 29. Der 3D-Drehratensensor 27 und der 3D-Beschleunigungssensor 28 bilden zusammen eine vollständige IMU. Mittels des 3D-Drehratensensors 27 werden äußere Drehraten Ωx, Ωγ, Ωz um sämtliche Raumachsen des
Koordinatenbezugssystems erfasst. Mittels des 3D-Beschleunigungssensors werden in o der jeweiligen Achsrichtung vorliegende lineare Beschleunigungen ax, ay, az erfasst. Beide Sensoren sind über entsprechende Zuleitungen 30 mit Anschlusspads 31 verbunden. Insgesamt kann der Chip in herkömmlicher Aufbau- und Verbindungstechnologie zusammen mit einer entsprechenden ASIC in einem in der Figur 11 nicht dargestellten Plastik-, Metall- oder Keramikgehäuse aufgebaut werden. 5 Ebenfalls denkbar ist eine monolithische Integration der MEMS-Technologie sowie der ASIC-Technologie.
izzoip; aescnreiDung 25
Bezugszeichenliste
1 zentraler Anker
2 Federelement
3 Detektionsmasse
4a,b,c,d Antriebsmasse
5 Federelement
6 Kopplungsfeder
7 Substrat
8
9 Elektrodenkamm
10 Gegenelektrode
11 Außenanker
12 Gegenelektrodenkamm
13 Verbindungsstruktur
14 Durchlass
15 Ausnehmung
16 Außenbereich
17 Innenbereich
18 Balkenelement
19 Verbindungsstruktur
20 Fingerelektrode
21 Gegenfingerelektrode
22 Gegenfingerelektrode
23 Elektrodenpaar
24 Elektrodenpaar
25 Elektrodenpaar
26 Elektrodenpaar
27 3D-Coholis-Drehratensensor
28 3D-Beschleunigungssensor
29 Si-Chip
30 Zuleitungen
31 Anschlusspads

Claims

izzoip; Ansprucne 26s Ansprüche:
1. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor zur Erfassung von Drehraten Ωχ,Ωχ,Ωz mit Komponenten um Messachsen in drei zueinander orthogonalen Raumrichtungen (X-, Y- und Z-Achse), aufweisend: o ein Substrat (1 ), eine Detektionsmasse (3) und wenigstens zwei Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d), wobei die Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d) jeweils relativ zum Substrat zu einer
Primärbewegung (Vχa,Vγb,Vχc,Vγd) antreibbar sind, 5 wobei die Richtung der Primärbewegung (Vχa,Vγb,Vχc,Vγd) einer der wenigstens zwei Antriebsmassen (4a,4c) senkrecht zur Richtung der Primärbewegung
(Vχa,Vγb,Vχc,Vγd) einer anderen der wenigstens zwei Antriebsmassen (4b,4d) ist, wobei die Detektionsmasse (3) mit den Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d) gekoppelt ist, o derart, dass die Detektionsmasse (3) durch eine Sekundärbewegung der
Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d), bewirkt durch Corioliskraft bei Wirkung einer zu erfassenden äußeren Drehrate, zu einer Erfassungsbewegung anregbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (3) relativ zum Substrat als Erfassungsbewegung 5 Drehschwingungen um Drehachsen in den drei zueinander orthogonale
Raumrichtungen (X1Y1Z) ausführen kann.
2. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (3) an dem Substrat (1 ) oder an einer o auf dem Substrat (1 ) aufgetragenen Schicht angeordnet ist.
3. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (3) relativ zu dem Substrat (1 ) translatorisch unverschiebbar angeordnet ist.
5
4. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (3) mittels einer in ihrem Massezentrum angeordneten inneren Aufhängung, vorzugsweise mittels eines zentralen Ankers 1 sowie zwischen diesem und der Detektionsmasse 3 o angeordneten Federelementen 2, an dem Substrat (1 ) angeordnet ist. izzoip; Ansprucne 27
5. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (3) mit jeder Antriebsmasse derart gekoppelt ist, dass jede Antriebsmasse die Primärbewegung jeweils in radialer Richtung bezüglich der Detektionsmasse (3) ausführen kann.
6. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse mit jeder Antriebsmasse derart gekoppelt ist, dass jede Antriebsmasse relativ zur Detektionsmasse zwei rotatorische Sekundärbewegungen in zueinander orthogonalen Raumrichtungen ausführen kann.
7. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse mit jeder Antriebsmasse derart gekoppelt ist, dass keine Antriebsmasse relativ zur Detektionsmasse eine rotatorische Sekundärbewegung um eine zur Primärbewegung parallele Raumrichtung ausführen kann.
8. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsmassen um die Detektionsmasse herum angeordnet sind, vorzugsweise dass die Detektionsmasse und die Antriebsmassen in einer Ebene angeordnet sind.
9. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils zwei Antriebsmassen einander gegenüberliegend mit zwischenliegender Detektionsmasse angeordnet sind.
10. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jede Antriebsmasse jeweils mittels wenigstens eines Federelements mit der Detektionsmasse gekoppelt ist.
11. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Antriebsmasse jeweils mittels eines oder mehrerer erster Federelemente, die an dem zur Detektionsmasse zugewandten Seitenbereich der Antriebsmasse angeordnet sind, und mittels eines oder mehrerer zweiter Federelemente, die an dem der Detektionsmasse abgewandten Seitenbereich der Antriebsmasse angeordnet sind, mit der Detektionsmasse gekoppelt ist. izzoip; Ansprucne 28
12. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Anthebsmasse eine Ausnehmung in ihrem der Detektionsmasse abgewandten Seitenbereich aufweist, in der die zweiten Federelemente angeordnet sind.
13. Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Federelemente über eine im Wesentlichen biegesteife Struktur, vorzugsweise Balkenstruktur, miteinander verbunden sind, die in der Ausnehmung der Antriebsmasse angeordnet ist.
14. Beschleunigungsmesseinheit (IMU) mit einem Coriolis-Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
15. Verfahren zur Erfassung von Drehraten in drei zueinander orthogonale Raumrichtungen, vorzugsweise unter Verwendung eines Coriolis- Drehratensensors nach einem der Ansprüche 1 bis 23, wobei wenigstens vier Antriebsmassen vorzugsweise in Form einer ersten (4a), einer zweiten (4b), einer dritten (4c) und einer vierten (4d) Antriebsmasse jeweils zu einer translatorischen Schwingung als Primärbewegung angeregt werden, wobei wenigstens zwei Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d) die Primärbewegung senkrecht zur Primärbewegung wenigstens zweier anderer Antriebsmassen (4a,4b,4c,4d) ausführen, wobei bei Wirkung einer zu erfassenden äußeren Drehrate eine durch Corioliskraft bewirkte Sekundärbewegung wenigstens einer Antriebsmasse (4a,4b,4c,4d) auf die Detektionsmasse (3) übertragen wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsmasse (2) relativ zum Substrat Drehschwingungen in drei zueinander orthogonale Raumrichtungen (X1Y1Z) ausführen kann.
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