WO2010040815A1 - Verfahren zum herstellen einer metallischen elektrode über einer metalloxidschicht - Google Patents

Verfahren zum herstellen einer metallischen elektrode über einer metalloxidschicht Download PDF

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Harald Hoppe
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    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present invention relates to a method of disposing a metallic electrode over a functional layer from which electrons are extractable or into which electrons are injectable.
  • the functional layer may be, for example, a photoactive polymer layer for the production of electronic components, in particular of polymer solar cells.
  • the production of solar cells from a solution requires the application of a charge carrier collecting back contact.
  • State of the art here are thermal sublimation or Sputterdeposition in a vacuum.
  • the use of vacuum processes requires high installation costs of the production plant, high production costs and low throughput of semi-finished products compared with, for example, printing presses.
  • the present invention describes the application of an inorganic back contact by means of pure printing processes or coating processes of liquids.
  • electrodes are made of low work function metals and are thus relatively unstable. Also, the process is difficult alsskalierbar on a roll-to-roll process. Another disadvantage of organic electrodes lies in the degradation under UV light, as well as the water sensitivity due to hygroscopic influences.
  • WO 2007/029750 A1 shows a process for producing an organic thin-film photoelectric converter under atmospheric conditions.
  • a layer of titanium (IV) oxide is formed in a wet process.
  • WO 2007/040601 A1 and WO 2007/079500 A2 show the realization of a titanium oxide layer by means of sol-gel methods.
  • US 2007/0166872 A1 shows a method of depositing an electrode from a semiconductor oxide.
  • EP 1 622 212 A2 shows the coating of a nano-structured electrode.
  • EP 1 670 298 A1 shows the application of printed conductors to a promoter.
  • the object of the present invention starting from the prior art is to provide a method for arranging a metallic electrode over a functional layer, in particular over a photoactive polymer layer of a solar cell, with which the use of vacuum technology can be avoided, so that an optimization of the manufacturing and Installation process can be realized.
  • the method according to the invention serves for arranging a metallic electrode above or below a functional layer from which electrons can be extracted or into which
  • Electrons are injectable.
  • the functional layer is, for example, the photoactive layer, a solar cell or an organic layer of an organic - A -
  • the functional layer is preferably made of a polymer, such as. As polythiophene, wherein in the polymer also other molecules may be included. Alternatively, the functional layer can also consist of another substance, for example an inorganic substance.
  • the electrode in particular a cathode serves to collect the electrons extracted from the functional layer or to inject electrons into the functional layer. With the method according to the invention, the electrode is brought into effective contact with the functional layer, so that the metallic electrode is located above the functional layer with respect to the functional layer.
  • One step of the method according to the invention provides for applying a metal oxide layer from a liquid phase or from a nanoparticulate dispersion. In the liquid
  • Phase is a precursor phase, for example, as part of a sol-gel process.
  • the metal oxide is preferably titanium oxide, zinc oxide or indium oxide.
  • a further step of the method according to the invention provides for applying the metallic electrode from a liquid phase, in particular a solution of metals bound in organic molecules, or from a nanoparticulate dispersion, i. H. a dispersion of metallic nanoparticles, before.
  • the metal of the electrode is preferably gold, silver or
  • the two mentioned steps of the method according to the invention can be carried out according to the embodiment in a different sequence or simultaneously.
  • the metal oxide layer is preferably applied to the functional layer, in order subsequently to apply the metallic electrode to the metal oxide layer.
  • the metallic electrode may be applied to a substrate to thereafter place the metal oxide layer on the metal substrate Apply electrode.
  • the functional layer is then applied to the metal oxide layer.
  • the metal oxide layer is arranged above the functional layer, while the metallic electrode is arranged above the metal oxide layer.
  • a thermal, chemical or photochemical conversion of the metallic electrode to an amorphous, semicrystalline or fully crystalline layer takes place.
  • the thermal conversion can for example also be done by sintering, in which heat is generated or supplied. Furthermore, thermal, chemical or photochemical conversion of the metal oxide layer to an amorphous, semicrystalline or fully crystalline layer also takes place. This conversion is preferably carried out together with the thermal, chemical or photochemical conversion of the metallic electrode.
  • the metal oxide is applied together with the metallic electrode from a common nanoparticulate dispersion or from a common liquid phase.
  • the metal oxide may be applied together with the metallic electrode of a mixture of the nanoparticulate dispersion and the liquid phase. In these embodiments of the method according to the invention, the application of the metal oxide and the application of the metallic electrode take place in a common step.
  • the thermal, chemical or photochemical Conversion of the metal oxide layer and / or the thermal, chemical or photochemical conversion of the metallic electrode preferably at a temperature that is harmless to the film substrate.
  • a temperature of up to 150 0 C for a film substrate of thermally stabilized PET is harmless.
  • a further metal oxide layer or another semitransparent oxide layer of a liquid phase can first be applied to the substrate in order subsequently or simultaneously to coat the metallic electrode with the further metal oxide layer or metal oxide layer on the semitransparent oxide layer. Then the functional layer has to be applied.
  • the inventive method is preferably used for applying a metallic electrode to any, in particular photoactive electron-transporting layer.
  • a metal oxide layer of a liquid phase is applied to the layer to be covered and, in a subsequent sintering process, chemically transformed into an amorphous, semicrystalline or fully crystalline layer, thermally or photochemically converted.
  • the metal oxide is preferably applied together with the metal from a common nanoparticulate dispersion or organic precursor solution.
  • the metal oxide layer is preferably used together with the dispersion of metallic nanoparticles or the solution of metals bound in organic molecules sintered or thermally, chemically or photochemically converted.
  • the metal for the electrode it is preferable to use a metal having a high work function of more than 4.0 eV, more preferably more than 4.5 eV.
  • Solution-processed metallic electrodes in particular cathodes for electronic components, in particular (polymer) solar cells, are realized with the present invention.
  • Direct application of a solution of metallic nanoparticles to a photoactive layer could cause solubilization of the latter. Therefore, it is proposed according to the invention to first apply a metal oxide precursor (solution) to the photovoltaically active layer from the solution. Subsequently, this is converted either alone or together with the subsequent metallic layer thermally, chemically or photochemically into an amorphous or semicrystalline or crystalline opaque thin layer. Afterwards, this layer has the property of being very chemically inert, ie in particular of not reacting with the photovoltaically active material. Furthermore, a special coverage is achieved with this layer, which prevents a diffusing through of the subsequent metal layer.
  • the second layer consists of metallic nanoparticles or organometallic precursors, which is also applied from the solution to the metal oxide layer.
  • This metallic nanoparticle layer is then thermally, chemically or photochemically transformed either independently of or together with the underlying metal oxide layer.
  • the metallic nanoparticle layer makes exploits the property that metallic nanoparticles melt at much lower temperatures and thus form a closed film than particles in the micrometer range. Thus, this method allows the use of plastic film substrates, which are only limited temperature stability.
  • a double layer electrode produced by the method of the present invention d. H.
  • the metallic electrode with the metal oxide layer is, on the one hand, adapted to the electronic energy bands and, on the other hand, has a sufficiently high conductivity. In addition, the stability of the metallic electrode with the metal oxide intermediate layer is also increased.
  • the present invention allows the complete abandonment of vacuum technologies z. As in the production of all successive layers of a polymer solar cell.
  • the method according to the invention can be used, for example, in the production of electronic components such as polymer solar cells, polymer light-emitting diodes or polymer transistors.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anordnen einer metallischen Elektrode über einer Funktionsschicht, aus welcher Elektronen extrahierbar oder in welche Elektronen injizierbar sind. Bei der Funktionsschicht kann es sich beispielsweise um eine photoaktive Polymerschicht für die Herstellung von elektronischen Bauelementen, insbesondere von Polymer-Solarzellen handeln. Ein Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht ein Aufbringen einer Metalloxidschicht aus einer flüssigen Phase oder aus einer nanopartikulären Dispersion vor. Ein weiterer Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht ein Aufbringen der metallischen Elektrode aus einer flüssigen Phase, insbesondere einer Lösung aus in organischen Molekülen eingebundenen Metallen, oder aus einer aus einer nanopartikulären Dispersion, d. h. einer Dispersion aus metallischen Nanopartikeln, vor. Jedenfalls ist im Ergebnis die Metalloxidschicht über der Funktionsschicht angeordnet, während die metallische Elektrode über der Metalloxidschicht angeordnet ist. In einem weiteren Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt ein thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der metallischen Elektrode zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht. Weiterhin erfolgt auch ein thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der Metalloxidschicht zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht.

Description

VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER METALLISCHEN ELEKTRODE ÜBER EINER
METALLOXIDSCHICHT
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anordnen einer metallischen Elektrode über einer Funktionsschicht, aus welcher Elektronen extrahierbar oder in welche Elektronen injizierbar sind. Bei der Funktionsschicht kann es sich beispielsweise um eine photoaktive Polymerschicht für die Herstellung von elektronischen Bauelementen, insbesondere von Polymer-Solarzellen handeln.
Die Produktion von Solarzellen aus einer Lösung, beispielsweise von Polymer-Solarzellen, erfordert das Aufbringen eines Ladungsträger-sammelnden Rückkontaktes. Stand der Technik sind hier thermische Sublimation oder Sputterdeposition im Vakuum. Die Verwendung von Vakuumprozessen bedingt jedoch hohe Installationskosten der Produktionsanlage, hohe Produktionskosten und einen geringen Durchsatz von Halbzeug verglichen mit zum Beispiel Druckmaschinen. Die vorliegende Erfindung beschreibt die Aufbringung eines anorganischen Rückkontaktes mit Hilfe von reinen Druckprozessen bzw. Beschichtungsprozessen von Flüssigkeiten.
Stand der Technik ist die Verwendung von thermischen Sublimations- und Sputterdepositionsprozessen in der Vakuumkammer. Es sind bereits auch erste Lösungen mit organischen semitransparenten Elektroden in der US 6,083,635 A und diese Elektroden auch in Verbindung mit Stromableitgittern aus Silberleitpaste in der
WO 2004/051756 A2 gezeigt. Mit diesen bekannten Lösungen lassen sich aufgrund der hohen Austrittsarbeit der verwendeten Materialien, beispielsweise PEDOT: PSS, Handelsname „Baytron" bzw. „Clevios" der Firma H. C. Starck jedoch nur Anodenkontakte, beispielsweise Kontakte zur Lochinjektion bei einer OLED oder Lochextraktion in einer Solarzelle realisieren. Derzeit sind keine Lösungen zur rein drucktechnischen oder anderweitig aus der Lösung prozessierten Aufbringung von Kathodenkontakten, beispielsweise Kontakte zur Elektroneninjektion bei einer OLED und Elektronenextraktion in einer Solarzelle bekannt. Diese Kontakte erfordern je nach Anwendung eine relativ geringe Austrittsarbeit (2,5 bis 4,5 eV, ) , welche nur von relativ unedlen Metallen, die mit Vakuumdepositionsprozessen aufgebracht werden, gewährleistet wird. Die drucktechnische oder aus der Lösung prozessierte Aufbringung von Anodenkontakten - wie bereits oben erwähnt - erfordert weiterhin das Aufbringen einer Kathode auf ein geeignetes
Trägersubstrat. Hierzu wurden bisher keine anderen Lösungen als die Vakuumdeposition von Metallen realisiert, außer bei einer aus der US 2005/019976 Al bekannten Lösung, welche das Aufbringen einer Elektrode aus einer flüssiger Phase im Rahmen eines Elektro-Depositionsprozesses vorsieht. Diese
Elektroden bestehen jedoch aus Metallen geringer Austrittsarbeit und sind somit relativ instabil. Auch ist der Prozess schwierig auf ein Roll-to-Roll-Verfahren aufskalierbar . Ein weiterer Nachteil der organischen Elektroden liegt in der Degradation unter UV-Licht, sowie der Wasserempfindlichkeit aufgrund hygroskopischer Einflüsse.
Die WO 2007/029750 Al zeigt ein Verfahren zur Herstellung eines organischen dünnfilmigen photoelektrischen Wandlers unter atmosphärischen Bedingungen. Bei diesem Verfahren wird eine Schicht aus Titan (IV) -oxid in einem Nassverfahren gebildet . In der WO 2007/040601 Al und in der WO 2007/079500 A2 wird die Realisierung einer Titanoxid-Schicht mithilfe von Sol-Gel-Verfahren gezeigt.
Die US 2007/0166872 Al zeigt ein Verfahren zum Aufbringen einer Elektrode aus einem Halbleiteroxid.
Die EP 1 622 212 A2 zeigt das Beschichten einer nanstrukturierten Elektrode.
Die EP 1 670 298 Al zeigt die Aufbringung von Leiterbahnen auf einen Promotor.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht ausgehend vom Stand der Technik darin, ein Verfahren zum Anordnen einer metallischen Elektrode über einer Funktionsschicht, insbesondere über einer photoaktiven Polymerschicht einer Solarzelle bereitzustellen, mit dem der Einsatz von Vakuumtechnik vermieden werden kann, sodass eine Optimierung des Herstellungs- und Installationsprozesses realisiert werden kann.
Erfindungsgemäß gelingt die Lösung dieser Aufgabe mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Lösung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Das erfindungsgemäße Verfahren dient zum Anordnen einer metallischen Elektrode über bzw. unter einer Funktions- Schicht, aus welcher Elektronen extrahierbar oder in welche
Elektronen injizierbar sind. Bei der Funktionsschicht handelt es sich beispielsweise um die photoaktive Schicht eine Solarzelle oder um eine organische Schicht einer organischen - A -
LED. Die Funktionsschicht besteht bevorzugt aus einem Polymer, wie z. B. Polythiophen, wobei in dem Polymer auch weitere Moleküle enthalten sein können. Alternativ kann die Funktionsschicht auch aus einem anderen Stoff, beispielsweise einen anorganischen Stoff bestehen. Die Elektrode, insbesondere eine Kathode dient dazu, die aus der Funktionsschicht extrahierten Elektronen zu sammeln bzw. Elektronen in die Funktionsschicht zu injizieren. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Elektrode in einen wirksamen Kontakt mit der Funktionsschicht gebracht, sodass sich die metallische Elektrode bezogen auf die Funktionsschicht über der Funktionsschicht befindet. Ein Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht ein Aufbringen einer Metalloxidschicht aus einer flüssigen Phase oder aus einer nanopartikulären Dispersion vor. Bei der flüssigen
Phase handelt es sich um eine Vorläufer-Phase, beispielsweise auch im Rahmen eines Sol-Gel-Prozesses . Bei dem Metalloxid handelt es sich bevorzugt um Titanoxid, Zinkoxid oder Indiumoxid. Ein weiterer Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht ein Aufbringen der metallischen Elektrode aus einer flüssigen Phase, insbesondere einer Lösung aus in organischen Molekülen eingebundenen Metallen, oder aus einer aus einer nanopartikulären Dispersion, d. h. einer Dispersion aus metallischen Nanopartikeln, vor. Bei dem Metall der Elektrode handelt es sich bevorzugt um Gold, Silber oder
Kupfer. Die beiden genannten Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens können je nach Ausführungsform in einer unterschiedlichen Abfolge oder auch gleichzeitig durchgeführt werden. Bevorzugt wird die Metalloxidschicht auf die Funktionsschicht aufgebracht, um anschließend die metallische Elektrode auf die Metalloxidschicht aufzubringen. Alternativ kann die metallische Elektrode auf ein Substrat aufgebracht werden, um danach die Metalloxidschicht auf die metallische Elektrode aufzubringen. Dabei ist anschließend die Funktionsschicht auf die Metalloxidschicht aufzubringen. Jedenfalls ist im Ergebnis die Metalloxidschicht über der Funktionsschicht angeordnet, während die metallische Elektrode über der Metalloxidschicht angeordnet ist. Selbstverständlich führt ein Drehen der resultierenden Anordnung zur umgekehrten Reihenfolge. In einem weiteren Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt ein thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der metallischen Elektrode zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht. Das thermische Umwandeln kann beispielsweise auch durch ein Sintern erfolgen, bei welchem Wärme entsteht oder zugeführt wird. Weiterhin erfolgt auch ein thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der Metalloxidschicht zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht. Dieses Umwandeln erfolgt bevorzugt gemeinsam mit dem thermischen, chemischen bzw. photochemischen Umwandeln der metallischen Elektrode.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird das Metalloxid zusammen mit der metallischen Elektrode aus einer gemeinsamen nanopartikulären Dispersion oder aus einer gemeinsamen flüssigen Phase aufgebracht. Auch kann das Metalloxid zusammen mit der metallischen Elektrode aus einer Mischung aus der nanopartikulären Dispersion und der flüssigen Phase aufgebracht werden. Bei diesen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgen das Aufbringen des Metalloxids und das Aufbringen der metallischen Elektrode in einem gemeinsamen Schritt.
Insofern das erfindungemäße Verfahren für eine Anordnung der metallischen Elektrode über einem Foliensubstrat durchgeführt wird, erfolgt das thermische, chemische bzw. photochemische Umwandeln der Metalloxidschicht und/oder das thermische, chemische bzw. photochemische Umwandeln der metallischen Elektrode bevorzugt bei einer Temperatur, die für das Foliensubstrat unschädlich ist. Beispielsweise ist eine Temperatur von bis zu 1500C für ein Foliensubstrat aus thermisch stabilisiertem PET unschädlich.
Bei denjenigen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei denen die metallische Elektrode auf ein Substrat aufgebracht wird, kann auf das Substrat zunächst eine weitere Metalloxidschicht oder eine sonstige semitransparente Oxidschicht aus einer flüssigen Phase aufgebracht werden, um anschließend oder gleichzeitig die metallische Elektrode auf die weitere Metalloxidschicht bzw. auf die semitransparente Oxidschicht aufzubringen. Daraufhin ist die Funktionsschicht aufzubringen.
Das erfindungsgemäße Verfahren dient bevorzugt zum Aufbringen einer metallischen Elektrode auf eine beliebige, insbesondere photoaktive elektronentransportierende Schicht. Bevorzugt wird vor dem Aufbringen der metallischen Elektrode als Dispersion aus metallischen Nanopartikeln oder aus einer Lösung aus in organischen Molekülen eingebundenen Metallen eine Metalloxidschicht aus einer flüssigen Phase auf die zu bedeckende Schicht aufgebracht und in einem anschließenden Sinterprozess zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht chemisch, thermisch oder photochemisch umgewandelt. Das Metalloxid wird bevorzugt zusammen mit dem Metall aus einer gemeinsamen nanopartikulären Dispersion bzw. organischen Vorläuferlösung aufgebracht. Die Metalloxidschicht wird bevorzugt zusammen mit der Dispersion aus metallischen Nanopartikeln oder der Lösung aus in organischen Molekülen eingebundenen Metallen gesintert bzw. thermisch, chemisch oder photochemisch umgewandelt .
Als Metall für die Elektrode wird bevorzugt ein Metall verwendet, welches eine hohe Austrittsarbeit von mehr 4,0 eV, besonders bevorzugt von mehr als 4,5 eV aufweist.
Mit der vorliegenden Erfindung werden lösungsprozessierte metallische Elektroden, insbesondere Kathoden für elektro- nische Bauelemente, insbesondere (Polymer-) Solarzellen, realisiert. Ein direktes Aufbringen einer Lösung aus metallischen Nanopartikeln auf eine photoaktive Schicht könnte ein Anlösen der letzteren bewirken. Deshalb wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, zuerst einen Metalloxid- Vorläufer (engl. Precursor) aus der Lösung auf die photovoltaisch aktive Schicht aufzubringen. Anschließend wird dieser entweder allein oder zusammen mit der nachfolgenden metallischen Schicht thermisch, chemisch oder photochemisch in eine amorphe bzw. semikristalline oder kristalline deckende dünne Schicht umgewandelt. Diese Schicht hat hernach die Eigenschaft, chemisch sehr innert zu sein, also insbesondere keine Reaktion mit dem photovoltaisch aktiven Material einzugehen. Des Weiteren wird eine besondere Deckung mit dieser Schicht erreicht, welche ein Hindurchdiffundieren der darauf folgenden Metallschicht verhindert.
Die zweite Schicht besteht aus metallischen Nanopartikeln oder metallorganischen Vorläufern, welche ebenfalls aus der Lösung auf die Metalloxid-Schicht aufgebracht wird. Diese metallische Nanopartikel-Schicht wird anschließend entweder unabhängig von oder gemeinsam mit der darunterliegenden Metalloxid-Schicht thermisch, chemisch oder photochemisch transformiert. Die metallische Nanopartikel-Schicht macht sich die Eigenschaft zunutze, dass metallische Nanopartikel bei viel geringeren Temperaturen schmelzen und so einen geschlossenen Film bilden als Partikel im Mikrometer-Bereich. Somit ermöglicht diese Methode die Verwendung von plastischen Foliensubstraten, welche nur bedingt temperaturstabil sind.
Eine nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Doppelschichtelektrode, d. h. die metallische Elektrode mit der Metalloxidschicht, ist zum einen an die elektronischen Energiebänder angepasst und hat zum andern eine genügend hohe Leitfähigkeit. Zusätzlich wird auch die Stabilität der metallischen Elektrode mit der Metalloxid-Zwischenschicht erhöht .
Zusammen mit einer lösungsprozessierten Anode erlaubt die vorliegende Erfindung den vollständigen Verzicht auf Vakuumtechnologien z. B. bei der Herstellung aller sukzessiven Schichten einer Polymer-Solarzelle.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann beispielsweise bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen wie Polymer- Solarzellen, Polymer-Leuchtdioden oder Polymer-Transistoren Anwendung finden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Anordnen einer metallischen Elektrode über einer Funktionsschicht, aus welcher Elektronen extrahierbar oder in welche Elektronen injizierbar sind; die folgenden Schritte umfassend:
- Aufbringen einer Metalloxidschicht aus einer flüssigen Phase oder aus einer nanopartikulären Dispersion;
- Aufbringen der metallischen Elektrode aus einer flüssigen Phase oder aus einer nanopartikulären Dispersion;
— thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der Metalloxidschicht zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht; und
— thermisches, chemisches oder photochemisches Umwandeln der metallischen Elektrode zu einer amorphen, semikristallinen oder vollkristallinen Schicht; wobei die Metalloxidschicht über der Funktionsschicht und die metallische Elektrode über der Metalloxidschicht angeordnet ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Metalloxidschicht gemeinsam mit der metallischen
Elektrode thermisch, chemisch bzw. photochemisch umgewandelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Metalloxid zusammen mit der metallischen Elektrode aus einer gemeinsamen nano- partikulären Dispersion, aus einer gemeinsamen flüssigen Phase oder aus einer Mischung aus der partikulären Dispersion und der flüssigen Phase aufgebracht wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das thermische, chemische bzw. photochemische Umwandeln der Metalloxidschicht und/oder das thermische, chemische bzw. photochemische Umwandeln der metallischen Elektrode bei einer Temperatur erfolgt, die für ein Foliensubstrat unschädlich ist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Metalloxidschicht auf die Funktionsschicht aufgebracht wird und anschließend die metallische Elektrode auf die Metalloxidschicht aufgebracht wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Elektrode auf ein Substrat aufgebracht wird, woraufhin die Metalloxidschicht auf die metallische Elektrode augebracht wird und anschließend die Funktionsschicht auf die Metalloxidschicht aufgebracht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf das Substrat eine semitransparente Oxidschicht aus einer flüssigen Phase aufgebracht wird, wobei die metallische Elektrode auf die semitransparente Oxidschicht aufgebracht wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht durch eine photoaktive Schicht einer Solarzelle gebildet ist.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht durch eine organische Schicht einer organischen LED gebildet ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht aus einem Polymer besteht.
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