WO2010024216A1 - 排ガスの処理方法および処理装置 - Google Patents

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智之 黒木
雅章 大久保
茂 松岡
鍾列 金
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公立大学法人大阪府立大学
株式会社 島川製作所
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    • H05H2245/10—Treatment of gases
    • H05H2245/17—Exhaust gases

Definitions

  • the present invention relates to an exhaust gas treatment method and a treatment apparatus used in the method, and more specifically, adsorbs harmful components in exhaust gas discharged from a factory or the like to generate an atmospheric pressure non-thermal plasma.
  • the present invention relates to an exhaust gas treatment method comprising decomposing the harmful components with an active gas generated by an apparatus at room temperature to 100 ° C. and regenerating the adsorbent, and a treatment apparatus used in this treatment method.
  • Exhaust gas containing toluene, xylene, benzene, etc. which is widely used as a solvent in factories, etc., is harmful to human health and destroys the environment if it is discharged as it is. There is a need to.
  • a removal method conventionally, for example, an adsorption method using an adsorbent, a direct combustion method, a catalytic combustion method, a heat storage combustion method, and the like are known as general methods.
  • Patent Documents 1 and 2 adsorption discharge decomposition that decomposes VOC by passing air containing volatile organic compounds (VOC) through the adsorption discharge element to adsorb VOC, and then applying a high voltage to the adsorption discharge element to generate a barrier discharge.
  • VOC volatile organic compounds
  • Patent Document 3 As a similar technology including a gas circulation processing method, after the component to be treated is adsorbed to the adsorbent, the component to be treated is desorbed by applying plasma to the adsorbent, and the component to be treated by nitrogen plasma in the downstream plasma reactor. A method has been developed (Patent Document 3).
  • Patent Documents 1 and 2 an adsorbent is placed between the electrodes, and the component to be treated adsorbed on the adsorbent is decomposed by plasma.
  • the apparatus described in Non-Patent Document 1 has the same problem.
  • the method described in Patent Document 3 requires a plasma generator for desorbing the adsorbed component to be adsorbed from the adsorbent and a plasma generator for decomposing the desorbed component to be processed. There was a problem.
  • the present inventors have passed the active gas generated by the plasma generator through the adsorbent on which the component to be treated is adsorbed, thereby decomposing the component to be treated on the surface of the adsorbent. It was found that the reaction occurred and that the adsorbent could be completely regenerated by carrying out these operations in the gas circulation path, thereby completing the present invention.
  • the subject of the present invention is a method for treating exhaust gas discharged from a factory or the like, (A) contacting exhaust gas with the adsorbent in the adsorbent filling section to adsorb harmful components in the exhaust gas to the adsorbent, and discharging exhaust gas after removing harmful components by adsorption; (B) An active gas is generated by an atmospheric pressure non-thermal plasma generator, and the active gas is circulated in a gas circulation path connecting the adsorbent filling unit and the plasma generator, and is adsorbed by the adsorbent. Contacting the harmful component in a temperature range from room temperature to 100 ° C.
  • An object of the present invention is to provide a method for treating exhaust gas, including a step of discharging from a circulation path.
  • Another subject of the present invention is that, in the above processing method, the adsorption step (a) and the decomposition / regeneration step (b) can be switched in parallel so as to be switched by a valve provided in the gas circulation path. It is an object of the present invention to provide a method for treating exhaust gas which is alternately or sequentially performed between two or more adsorbent filling units arranged.
  • Another object of the present invention is to provide an exhaust gas treatment apparatus used in carrying out the above-described treatment method.
  • a further object of the present invention is to provide another form of exhaust gas treatment apparatus used in carrying out the above-described treatment method, and this treatment apparatus is connected to a gas circulation path in the treatment apparatus.
  • a plurality of adsorbent filling portions are arranged in parallel so that they can be switched by a valve provided in the gas circulation path.
  • the adsorbent can be regenerated at the same time as the decomposition of harmful components at a relatively low temperature of room temperature to 100 ° C., the regenerated adsorbent can be immediately recovered without taking the cooling time of the adsorbent. There is an advantage that it can be used for the next adsorption treatment.
  • the active gas is circulated to simultaneously decompose the harmful components and regenerate the adsorbent, the amount of the processed gas discharged from the processing apparatus after the decomposition processing of the harmful components can be reduced. Ozone treatment is also facilitated. Furthermore, since volatile carbon-containing organic compounds such as toluene, xylene and benzene can be decomposed to CO 2, there is no possibility that intermediate products in the decomposition process are released into the atmosphere.
  • the treatment method of the present invention is carried out in a treatment apparatus having two or more adsorbent filling parts, harmful component adsorption treatment is carried out in one adsorbent filling part and at the same time harmful in the other adsorbent filling part.
  • the component decomposition process and the adsorbent regeneration process can be performed in parallel, and the second stage decomposition / regeneration process and the adsorption process are immediately performed by switching the valve after the completion of the first stage adsorption process and the decomposition / regeneration process. Therefore, the exhaust gas can be continuously processed without interruption.
  • the decomposition of harmful components and the adsorbent regeneration process in the plurality of adsorbent filling parts can be combined with one plasma generator. Therefore, the installation cost of the processing apparatus can be reduced and the apparatus can be downsized.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of one embodiment of an exhaust gas treatment apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of another embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the plasma generator.
  • FIG. 4 is a schematic perspective view (a) and a schematic sectional view (b) of the adsorbent filling portion.
  • FIG. 5 is a graph showing the concentrations of CO, CO 2 , O 2 and toluene in the gas circulation path with respect to the circulation treatment time in Example 1.
  • FIG. 6 is a graph showing the conversion rate from toluene to COx (CO + CO 2 ) with respect to the circulation processing time in Example 1.
  • the processing apparatus of the present invention (B) Adsorbent filling section filled with an adsorbent that adsorbs harmful components in exhaust gas, (B) an atmospheric pressure nonthermal plasma generator for generating an active gas; (C) a gas circulation path connecting the adsorbent filling unit and the plasma generator; (D) an exhaust gas treatment device provided with an exhaust gas introduction valve for introducing exhaust gas into the adsorbent filling section, and (e) a gas exhaust valve for discharging exhaust gas after adsorption removal of harmful components and treated gas after harmful component decomposition treatment Because The active gas is brought into contact with the harmful component adsorbed on the adsorbent at room temperature to 100 ° C. to decompose the harmful component on the adsorbent surface and regenerate the adsorbent.
  • FIG. 1 is a schematic view of one embodiment of the processing apparatus of the present invention, and shows a case where three adsorbent filling units are arranged in parallel.
  • the processing apparatus of the present invention is a plasma having three adsorbent filling sections (1a), (1b) and (1c) arranged in parallel; a raw material gas introduction valve (2a) and a raw material gas introduction pipe (2b).
  • the plasma generating device (2) passes the active gas generated in the plasma generating device (2) through the adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c)
  • Active gas circulation pump (4) circulated to (2);
  • the broken arrow indicates the flow of exhaust gas
  • the solid line arrow indicates the flow of active gas
  • the double broken line arrow indicates the flow of exhaust gas after adsorption removal of harmful components
  • the double solid line arrow indicates harmful The flow of the processed gas after a component decomposition process is shown.
  • the adsorbent filled in the adsorbent filling sections (1a), (1b) and (1c) is not particularly limited as long as it can adsorb harmful components contained in the exhaust gas to be treated in the present invention.
  • preferable adsorbents include activated carbon, zeolite, hydrophobic zeolite, gamma alumina, cordierite, polyester fiber, and silica gel.
  • the shape of these adsorbents is not particularly limited, but a pellet shape or a honeycomb shape capable of reducing the flow pressure loss is preferable. Further, the filling amount of the adsorbent can be appropriately determined in consideration of harmful components contained in the exhaust gas, the adsorption capacity of the adsorbent to the harmful component, the flow rate per unit time of the exhaust gas, and the like.
  • Each of the adsorbent filling portions (1a), (1b) and (1c) has a higher upper surface than the front and rear surfaces thereof, as shown in the schematic sectional view of FIG.
  • the stainless mesh plate (21) is divided into a plurality of sections and the adsorbent (22) is densely filled in each section, the stainless mesh plate (21) and the adsorbent (22) move in the adsorbent filling section.
  • Exhaust gas from a factory or the like passes through the exhaust gas introduction valve (6), the exhaust gas introduction switching valve (7), and the exhaust gas introduction pipe (8a), (8b) or (8c), and the adsorbent filling part (1a), ( Introduced into 1b) or (1c), harmful components in the exhaust gas are adsorbed on the adsorbent surface in the adsorbent filling section.
  • the exhaust gas after the harmful components have been adsorbed and removed through the adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c) is exhaust gas exhaust pipe (9a), (9b) or (9c), gas exhaust switching valve ( 12) through the ozone decomposition catalyst (13) and the gas discharge valve (14) and discharged into the atmosphere.
  • a harmful component detection sensor (not shown) is provided on the exhaust gas discharge pipes (9a), (9b) and (9c) on the downstream side of the adsorbent filling sections (1a), (1b) and (1c).
  • the adsorption limit of the adsorbent can be detected, and the exhaust gas containing harmful components can be prevented from being released into the atmosphere.
  • a conventional device can be used as it is, for example, a creeping discharge method, a pulse corona discharge method, a silent discharge method, an AC corona discharge method, a DC corona discharge method or a rectangular wave high voltage power supply.
  • Non-thermal plasma (low temperature plasma) reactors are illustrated as preferred. Since these plasma generators do not raise the temperature of the apparatus during operation, there is an advantage that the apparatus can be prevented from being damaged by heat and can be operated safely.
  • the electrode of the plasma generator (2) may be any one of a metal discharge wire to metal coil disk, a metal needle to metal flat plate, or a metal discharge wire to metal cylinder. And, if these electrodes are a pair of plate-like metals at least one of which is covered with a dielectric barrier, the electrolysis strength is larger than when no dielectric barrier is used, and it is advantageous for the generation of active gas. .
  • the plasma generator (2) is connected to a source gas introduction pipe (2b) provided with a source gas introduction valve (2a) for introducing a source gas such as air or oxygen gas into the apparatus.
  • the interior of the plasma generator (2) passes through a slit (25) of a baffle plate (24) provided immediately upstream of each creeping discharge element (23) as shown in the schematic cross-sectional view of FIG.
  • a source gas such as air or oxygen gas flows near the surface of the discharge element (23) because an active gas such as ozone can be generated efficiently.
  • the active gas circulation pump (4) passes the active gas generated in the plasma generator (2) to the plasma generator (2) through one of the adsorbent filling parts (1a), (1b) and (1c). Circulate.
  • the active gas When the active gas circulates through the adsorbent filling section (1a), the active gas is gas circulation path (3a), switching valve (5a), adsorbent filling section (1a), switching valve (5a ′), gas
  • the active gas circulation pump (4) is driven and the switching valves (5a) and (5a ′) are switched so as to sequentially circulate through the circulation path (3a ′) and the plasma generator (2).
  • the active gas when the active gas circulates through the adsorbent filling section (1b), the active gas is gas circulation path (3a), switching valve (5a), gas circulation path (3b), switching valve (5b), The adsorbent filling unit (1b), the switching valve (5b ′), the gas circulation path (3b ′), the switching valve (5a ′), the gas circulation path (3a ′), and the plasma generator (2) are circulated sequentially.
  • the active gas circulation pump (4) is driven, and the switching valves (5a), (5b), (5b ′) and (5a ′) are switched.
  • the active gas when the active gas circulates through the adsorbent filling section (1c), the active gas is similarly supplied to the gas circulation path (3a), the switching valve (5a), the gas circulation path (3b), and the switching valve.
  • (5b), gas circulation path (3c), switching valve (5c), adsorbent filling unit (1c), switching valve (5c ′), gas circulation path (3c ′), switching valve (5b ′), gas circulation path (3b ′), the switching valve (5a ′), the gas circulation path (3a ′), and the active gas circulation pump (4) are driven so as to sequentially circulate through the plasma generator (2), and the switching valve (5a), (5b), (5c), (5c ′), (5b ′) and (5a ′) are switched.
  • the active gas that has deteriorated due to contact with harmful components adsorbed on the adsorbent surface through each adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c) is returned to the plasma generator (2), and radicals are produced. Is regenerated into an active gas containing a large amount of and circulates again through each adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c).
  • each adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c) After the decomposition of harmful components in each adsorbent filling section (1a), (1b) or (1c), the operation of the plasma generator (2) is stopped and the pump (4) is driven to introduce outside air. Outside air is taken in from the pipe 10, and the treated gas remaining in each gas circulation path and each adsorbent filling portion is released into the atmosphere.
  • ozone and undecomposed gas in the treated gas are removed by installing an ozone decomposition catalyst (13) such as manganese dioxide between the gas discharge switching valve (12) and the gas discharge valve (14). can do.
  • an ozone decomposition catalyst (13) such as manganese dioxide
  • FIG. 2 shows another embodiment of the processing apparatus according to the present invention, and the same reference numerals as those in FIG.
  • the processing apparatus of the present invention includes only one adsorbent filling part, for example, only (1a), as shown in FIG. 2, the exhaust gas passes through the exhaust gas introduction pipe (8a) from the exhaust gas introduction valve (6).
  • the exhaust gas after being guided to the adsorbent filling part (1a) and adsorbed and removed harmful components is discharged from the adsorbent filling part (1a) to the exhaust gas discharge pipe (9a), the ozone decomposition catalyst (13) and the gas discharge valve (14). ) Through the atmosphere.
  • the treated gas after the harmful component decomposition treatment is released into the atmosphere from the adsorbent filling portion (1a) through the exhaust gas discharge pipe (9a), the ozone decomposition catalyst (13) and the gas discharge valve (14).
  • the processing apparatus of the present invention includes only one adsorbent filling section, as shown in FIG. 2, the open / close valves (15) and (15 ′) are connected to the gas circulation paths (3a) and (3a ′). ), The exhaust gas introduction switching valve (7) and the gas exhaust switching valve (12) can be omitted, and the exhaust gas exhaust pipe (9a) can also serve as the treated gas exhaust pipe. Moreover, when the processing apparatus of this invention is equipped with four or more adsorbent filling parts, according to the case where there are three adsorbent filling parts demonstrated above, it can increase suitably.
  • the processing method of the present invention includes: (A) contacting exhaust gas with the adsorbent in the adsorbent filling section to adsorb harmful components in the exhaust gas to the adsorbent, and discharging exhaust gas after removing harmful components by adsorption; (B) An active gas is generated by an atmospheric pressure non-thermal plasma generator, and the active gas is circulated in a gas circulation path connecting the adsorbent filling unit and the plasma generator, and is adsorbed by the adsorbent.
  • Contacting the harmful component in a temperature range from room temperature to 100 ° C. to decompose the harmful component on the surface of the adsorbent and regenerating the adsorbent; and (c) treated after the harmful component is decomposed. The process is performed by discharging the gas from the gas circulation path.
  • the exhaust gas treated by the treatment method of the present invention is not particularly limited.
  • the treatment method of the present invention uses a volatile organic compound (VOC) such as toluene, xylene, benzene, ethylene oxide, trichloroethylene as a harmful component. It is particularly suitable for the treatment of exhaust gas from a factory where exhaust gas containing one or more types is generated.
  • VOC volatile organic compound
  • the adsorption treatment when adsorbing harmful components in the exhaust gas to the adsorbent in the adsorbent filling section (1a) is performed by using exhaust gas as an exhaust gas introduction valve (6) and exhaust gas introduction switching valve (7).
  • exhaust gas introduction pipe (8a) And the exhaust gas introduction pipe (8a), and is introduced into the adsorbent filling section (1a), and the harmful components in the exhaust gas are brought into contact with the adsorbent.
  • the exhaust gas from which harmful components have been adsorbed and removed passes through the exhaust gas exhaust pipe (9a), the gas exhaust switching valve (12), the ozone decomposition catalyst (13) and the gas exhaust valve (14) from the adsorbent filling section (1a). Released into the atmosphere.
  • the end of the adsorption process can be detected, for example, by providing a harmful component detection sensor (not shown) in the exhaust gas discharge pipe (9a). You may make it complete
  • the exhaust gas containing harmful components is introduced into the adsorbent filling section (1b) by switching the exhaust gas introduction switching valve (7).
  • the harmful component adsorbed by the adsorbent filling unit (1a) operates the plasma generator (2) to generate an active gas and drives the pump (4) to supply the active gas to the adsorbent filling unit. It is circulated through (1a) and brought into contact with the harmful component in a temperature range of room temperature to 100 ° C. to decompose the harmful component on the surface of the adsorbent.
  • the plasma generator is usually operated in a range of temperature: 100 ° C. or less, pressure: about atmospheric pressure, relative humidity: 60% or less, applied voltage: 1 to 50 kV, and peak current: 1 to 100 A.
  • the raw material gas for generating the active gas by the above plasma generator is appropriately selected from the group consisting of air, oxygen gas and the like depending on the harmful component to be treated contained in the exhaust gas.
  • the active gas generated from these source gases is a gas containing ionized and / or radicalized active species derived from the source gas, and one or more of O 3 , OH, HO 2 , O, etc. including.
  • disassembly catalyst and / or a heater (illustrated) in the upstream of adsorbent filling part (1a) (Omitted) may be provided.
  • hydrogen peroxide water or water is added to increase the generation amount of radicals such as OH You may let them.
  • the end of the decomposition of harmful components can be confirmed by the COx (CO + CO 2 ) concentration in the circulation path or the presence or absence of reaction heat in the adsorbent.
  • the outside air introduction valve (10a) is opened, outside air is introduced by the pump (4), and the treatment is completed from the active gas circulation path (3a) and the adsorbent filling part (1a).
  • the treated gas is released into the atmosphere through the gas discharge pipe (11a), the gas discharge switching valve (12), the ozone decomposition catalyst (13), and the gas discharge valve (14).
  • the adsorbent in the adsorbent filling section (1a) is regenerated and prepared for the next adsorption of harmful components.
  • the harmful procedure in the adsorbent filling section (1b) is then performed by the same procedure.
  • the process proceeds to the component decomposition step and the harmful component adsorption step in the adsorbent filling section (1c).
  • the harmful component adsorption process is performed in one adsorbent filling section and the harmful component decomposition process is performed in the other adsorbent filling section.
  • Adsorbent filling in which harmful component adsorption process is performed according to the time required for the process and the decomposition process of harmful components, the number of adsorbent filling parts included in the processing equipment, and the capacity of the plasma generator The number of parts and the number of adsorbent-filled parts where the decomposing process of harmful components is performed can be appropriately changed.
  • the number of adsorbent filling sections in which the harmful component adsorption process is performed is one, and the adsorbent filling in which the harmful component decomposition process is performed.
  • the number of parts may be two.
  • Example 1 Toluene was vaporized by injecting 3 ml of toluene into the flow path of the test apparatus and circulating the gas in the apparatus at a flow rate of 712 L / min using a circulation fan (roots floor), and the hydrophobic zeolite adsorbent HiSiV1000 ( Adsorbed to a filling volume of 0.54 L). After confirming that toluene was completely adsorbed, the creeping discharge reactor was turned on with the flow rate kept unchanged, and plasma was generated under conditions of 310 to 320 W.
  • Ozone generated in a creeping discharge reactor and radicals such as O, OH, and HO 2 are sent to the above adsorbent and reacted with toluene adsorbed on the surface of the adsorbent at about 30 ° C., and toluene is converted into CO and CO 2 . Disassembled. The gas that passed through the adsorbent was circulated again to the creeping discharge reactor.
  • FIG. 5 shows the concentrations of CO, CO 2 , O 2 and toluene in the apparatus with respect to the circulation processing time. It can be seen from FIG. 5 that CO and CO 2 increase and O 2 decreases with the circulation processing time. Further, since the increase in CO 2 is larger than the increase in CO, it can be seen that toluene is effectively decomposed into CO 2 . On the other hand, toluene was always 0 ppm regardless of the circulation processing time, and it was confirmed that toluene was not desorbed from the adsorbent.
  • FIG. 6 represents the conversion rate of toluene to COx (CO + CO 2 ) with respect to the circulation processing time. It can be seen from FIG. 6 that a conversion rate of 100% is achieved around 170 minutes. The conversion rate continued to increase and reached 139% in 270 minutes. In this example, the conversion rate exceeded 100% because toluene or a reaction product due to the decomposition of toluene was adhered in the circulation channel, or the adsorbent used once was regenerated. It is estimated that toluene remained in the adsorbent used.
  • adsorbent filling unit 2 plasma generator 2a: source gas introduction valve 2b: source gas introduction pipes 3a, 3b, 3c, 3a ′, 3b ′, 3c ′: active gas circulation path 4: active gas Circulation pumps 5a, 5b, 5c, 5a ′, 5b ′, 5c ′: Active gas circulation switching valve 6: Exhaust gas introduction valve 7: Exhaust gas introduction switching valve 8a, 8b, 8c: Exhaust gas introduction pipes 9a, 9b, 9c: Exhaust gas discharge Pipe 10a: Outside air introduction valve 10: Outside air introduction pipes 11a, 11b, 11c: Treated gas discharge pipe 12: Gas discharge switching valve 13: Ozone decomposition catalyst 14: Gas discharge valve 15, 15 ': Open / close valve 21: Mesh plate 22 : Adsorbent 23: Discharge element 24: Baffle plate 25: Slit

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Abstract

　工場などからの排ガスの処理方法において、 （ａ）排ガスを吸着剤充填部内の吸着剤と接触させて排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させ、有害成分が吸着除去された後の排ガスを排出する工程、 （ｂ）大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させ、該活性ガスを前記吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃の温度範囲で接触させて、該有害成分を分解すると同時に該吸着剤を再生する工程、および （ｃ）有害成分分解処理後の処理済みガスを排出する工程 を含む、排ガスの処理方法。

Description

排ガスの処理方法および処理装置
　この発明は、排ガスの処理方法およびその方法で用いられる処理装置に関するものであり、さらに詳細には、工場などから排出される排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させ、大気圧非熱プラズマ発生装置により発生させた活性ガスで該有害成分を常温～１００℃で分解するとともに、該吸着剤を再生することからなる排ガスの処理方法、およびこの処理方法で用いられる処理装置に関するものである。
背景技術
　工場などで溶剤として広く用いられているトルエン、キシレン、ベンゼンなどを含む排ガスは、そのまま排出されるとヒトの健康を害し、環境を破壊するため、大気中への放出前にかかる有害成分を除去する必要がある。
　そのような除去方法としては、従来、例えば吸着剤による吸着法、直接燃焼法、触媒燃焼法、蓄熱燃焼法などが一般的な方法として知られている。
　近年、大気圧非熱プラズマを用いた有害ガス処理に関する研究が盛んに行われているが、プラズマだけでは有害成分を完全には分解できないことが多く、触媒や吸着剤を併用した処理方法が開発されている（例えば、特許文献１および２）。
　また、揮発性の有機化合物（ＶＯＣ）を含む空気を吸着放電素子に通してＶＯＣを吸着させ、次いで吸着放電素子に高電圧を印加してバリア放電を発生させて、ＶＯＣを分解する吸着放電分解装置が提案されている（非特許文献１）。
　さらに、ガス循環処理方式を含む類似技術として、吸着剤に被処理成分を吸着させた後、プラズマを吸着剤に印加して被処理成分を脱着させ、下流のプラズマリアクタで窒素プラズマにより被処理成分を除去する方法が開発されている（特許文献３）。
特開２００５-２３０６２７号公報 特開２００７-６１７１２号公報 特開２００７-０００７３３号公報
電学論Ａ、１２７巻６号３０９～３１６頁（２００７年）
　しかしながら、上記のような従来の一般的な方法では、イニシャルコストおよびランニングコストが高くつくといった問題や、広大なスペースを必要とするといったような問題があり、必ずしも満足できるものではなかった。
　また、上記の特許文献１および２に記載の方法は、電極間に吸着剤を置き、吸着剤に吸着された被処理成分をプラズマによって分解するものであるが、吸着剤を切換えて使用する場合には、吸着剤の数と同数のプラズマ発生装置を用意しなければならないという問題があった。上記の非特許文献１に記載の装置でも同様の問題があった。
　さらに、上記の特許文献３に記載の方法では、吸着された被処理成分を吸着剤から脱着させるためのプラズマ発生装置と、脱着した被処理成分を分解するためのプラズマ発生装置がそれぞれ必要であるという問題があった。
　本発明者らは、上記の問題を解決すべく鋭意研究の結果、プラズマ発生装置で生成した活性ガスを被処理成分が吸着された吸着剤に通すことによって、吸着剤表面で被処理成分の分解反応が起き、さらにガス循環経路内でこれらの操作を行うことによって、吸着剤を完全に再生できることを見出し、本発明を完成した。
　本発明の課題は、工場などから排出される排ガスの処理方法において、
（ａ）排ガスを吸着剤充填部内の吸着剤と接触させて排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させるとともに、有害成分吸着除去後の排ガスを排出する工程、
（ｂ）大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させ、該活性ガスを、前記吸着剤充填部および前記プラズマ発生装置を接続するガス循環経路内を循環させ、前記吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃の温度範囲で接触させて、該有害成分を吸着剤表面において分解するとともに、該吸着剤を再生する工程、および
（ｃ）有害成分分解処理後のガスを前記のガス循環経路から排出する工程
を含む、排ガスの処理方法を提供することである。
　本発明のもう一つの課題は、上記の処理方法において、前記の吸着工程（ａ）および前記の分解・再生工程（ｂ）が、ガス循環経路に設けられたバルブにより切替えできるように並列的に配置された２つ以上の吸着剤充填部の間で、交互にあるいは順次行なわれる排ガスの処理方法を提供することである。
　本発明のもう一つの課題は、前記の処理方法を実施するに際して用いられる排ガスの処理装置を提供することであり、該処理装置は、
（イ）排ガス中の有害成分を吸着する吸着剤を充填した吸着剤充填部、
（ロ）活性ガスを発生させる大気圧非熱プラズマ発生装置、
（ハ）前記の吸着剤充填部および前記のプラズマ発生装置を接続するガス循環経路、
（ニ）前記の吸着剤充填部へ排ガスを取り入れる排ガス導入バルブ、および
（ホ）有害成分吸着除去後の排ガスおよび有害成分分解処理後の処理済みガスを排出するガス排出バルブ
を備えた排ガス処理装置であって、
前記の活性ガスを吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃で接触させて、該有害成分を吸着剤表面で分解するとともに、該吸着剤を再生するようになされている。
　そして、本発明のさらなる課題は、前記の処理方法を実施するに際して用いられるもう一つの形態の排ガス処理装置を提供することであり、この処理装置では、上記の処理装置におけるガス循環経路に接続された吸着剤充填部が、ガス循環経路に設けられたバルブにより切換えできるように、並列的に複数配置されている。
発明の効果
　本発明の処理方法によれば、常温～１００℃という比較的低温で、有害成分の分解処理と同時に吸着剤を再生できるため、吸着剤の冷却時間をおかないで、再生された吸着剤を直ちに次の吸着処理に使用できるという利点がある。
　また、活性ガスを循環させて有害成分の分解および吸着剤の再生を同時に行うので、有害成分の分解処理後に処理装置から排出される処理済みガスの量を少なくすることができ、したがって例えば未反応オゾンの処理も容易となる。
　さらに、トルエン、キシレン、ベンゼンのような揮発性の炭素含有有機化合物をＣＯ2まで分解することができるため、分解過程での中間生成物が大気中に放出されるおそれがない。
　その上、本発明の処理方法を２つ以上の吸着剤充填部を備えた処理装置で行えば、有害成分の吸着処理を一方の吸着剤充填部で行い、同時に他方の吸着剤充填部で有害成分分解処理・吸着剤再生処理を並行して行なうことができ、しかも第１段階の吸着処理と分解・再生処理の終了後、バルブの切替えにより、直ちに第２段階の分解・再生処理と吸着処理に移ることができるため、排ガスの処理を間断なく連続的に行うことが可能となる。
　また、吸着剤充填部を２つ以上備えた本発明の処理装置によれば、複数の吸着剤充填部における有害成分の分解および吸着剤の再生処理を１つのプラズマ発生装置で兼用することができるため、処理装置の設置費用を低減できるとともに、装置を小型化できる。
図１は本発明の排ガスの処理装置の一つの実施形態の構成を示す模式図である。 図２は本発明の排ガスの処理装置のもう一つの実施形態の構成を示す模式図である。 図３はプラズマ発生装置の模式断面図である。 図４は吸着剤充填部の模式斜視図（ａ）および模式断面図（ｂ）である。 図５は実施例１において、循環処理時間に対するガス循環経路内のCO、CO2、O2およびトルエンの各濃度を示すグラフである。 図６は実施例１において、循環処理時間に対するトルエンからCOｘ（CO＋CO2）への転化率を示すグラフである。
　本発明の処理装置は、
（イ）排ガス中の有害成分を吸着する吸着剤を充填した吸着剤充填部、
（ロ）活性ガスを発生させる大気圧非熱プラズマ発生装置、
（ハ）前記の吸着剤充填部および前記のプラズマ発生装置を接続するガス循環経路、
（ニ）前記の吸着剤充填部へ排ガスを取り入れる排ガス導入バルブ、および
（ホ）有害成分吸着除去後の排ガスおよび有害成分分解処理後の処理済みガスを排出するガス排出バルブ
を備えた排ガス処理装置であって、
前記の活性ガスを吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃で接触させて、該有害成分を吸着剤表面で分解するとともに、該吸着剤を再生するようになされている。
　以下、本発明の処理装置を示す図面に基づいて説明する。
　図１は、本発明の処理装置の１実施形態の模式図であり、吸着剤充填部を並列的に３つ配置した場合を示している。
　本発明の処理装置は、並列的に配置された３つの吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）；原料ガス導入バルブ（２ａ）および原料ガス導入管（２ｂ）を備えたプラズマ発生装置（２）；これらの吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）の各々とプラズマ発生装置（２）とを接続する活性ガス循環経路（３ａ）・（３ａ'）、（３ｂ）・（３ｂ'） および（３ｃ）・（３ｃ'）；プラズマ発生装置（２）で発生した活性ガスを吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）を通ってプラズマ発生装置（２）へ循環させる活性ガス循環ポンプ（４）；活性ガス循環切換えバルブ（５ａ）・（５ａ'）、（５ｂ）・（５ｂ'） および（５ｃ）・（５ｃ'）；排ガス導入バルブ（６）；排ガス導入切換えバルブ（７）；排ガス導入管（８ａ）、（８ｂ）および（８ｃ）；排ガス排出管（９ａ）、（９ｂ）および（９ｃ）；外気導入バルブ（１０ａ）を備え、ガス循環経路（３ａ）に接続された外気導入管（１０）；処理済みガス排出管（１１ａ）、（１１ｂ）および（１１ｃ）；ガス排出切換えバルブ（１２）、オゾン分解触媒（１３）、ならびにガス排出バルブ（１４）から、主に構成されている。
　図１において、破線の矢印は排ガスの流れを示し、実線の矢印は活性ガスの流れを示し、２重破線の矢印は有害成分吸着除去後の排ガスの流れを示し、２重実線の矢印は有害成分分解処理後の処理済みガスの流れを示している。
　吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）に充填される吸着剤は、特に限定されず、本発明の処理対象となる排ガス中に含まれる有害成分を吸着し得るものであればよく、具体的には、活性炭、ゼオライト、疎水性ゼオライト、ガンマアルミナ、コージェライト、ポリエステル繊維、シリカゲルなどが好ましい吸着剤の例として挙げられる。
　これらの吸着剤の形状は特に限定されないが、ペレット状または流動圧力損失を小さくできるハニカム状が好ましい。
　また、吸着剤の充填量は、排ガス中に含まれる有害成分とそれに対する吸着剤の吸着能力、ならびに排ガスの単位時間当たりの流量などを考慮して、適宜定めることができる。
　なお、吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）の各々は、図４に示す模式断面図のように、吸着剤が充填される箇所の上面をその前後の上面より高くし、かつステンレスメッシュ板（２１）で複数の区分に分け、それぞれの区分内に吸着剤（２２）を密に充填すれば、ステンレスメッシュ板（２１）や吸着剤（２２）が吸着剤充填部内で移動してガスの流路に無駄な隙間ができるのを防止でき、排ガス中の有害成分の吸着除去効率を高めることができて好ましい。
　工場などからの排ガスは、排ガス導入バルブ（６）、排ガス導入切換えバルブ（７）、および排ガス導入管（８ａ）、（８ｂ）または（８ｃ）を通って、吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）へ導入され、排ガス中の有害成分が吸着剤充填部内の吸着剤表面に吸着される。
　吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）を通って有害成分が吸着除去された後の排ガスは、排ガス排出管（９ａ）、（９ｂ）または（９ｃ）、ガス排出切換えバルブ（１２）、オゾン分解触媒（１３）およびガス排出バルブ（１４）を通って、大気中に排出される。
　なお、吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）の下流側の排ガス排出管（９ａ）、（９ｂ）および（９ｃ）上に有害成分検知センサー（図示略）を設けておけば、吸着剤の吸着限界を検知でき、有害成分を含んだままの排ガスが大気中に放出されるのを未然に防ぐことができる。
　プラズマ発生装置（２）としては、従来の装置をそのまま使用することができ、例えば沿面放電方式、パルスコロナ放電方式、無声放電方式、交流コロナ放電方式、直流コロナ放電方式または矩形波高電圧電源により稼動する、非熱プラズマ（低温プラズマ）反応器が好ましいものとして例示される。
　これらのプラズマ発生装置であれば、作動中に装置の温度を上昇させないので、熱による装置の損傷を抑制でき、しかも安全に操作できるという利点がある。
　上記のプラズマ発生装置（２）の電極は、金属放電線対金属コイル円板、金属針対金属平板、あるいは金属放電線対金属円筒のいずれでもよい。
　そして、これらの電極は、少なくとも一方が誘電体バリアで覆われた一対の板状金属であれば、誘電体バリアを用いない場合に比べて電解強度が大きくなり、活性ガスの生成に有利である。
　このプラズマ発生装置（２）には、空気、酸素ガスなどの原料ガスを該装置に導入するための原料ガス導入バルブ（２ａ）を備えた原料ガス導入管（２ｂ）が接続されている。
　なお、プラズマ発生装置（２）の内部は、図３に示す模式断面図のように、各沿面放電素子（２３）の上流側直前に設けられた邪魔板（２４）のスリット（２５）を通って、空気、酸素ガスなどの原料ガスが放電素子（２３）の表面近傍を流れるようにすれば、オゾンのような活性ガスを効率よく発生させることができて好ましい。
　活性ガス循環ポンプ（４）は、プラズマ発生装置（２）で発生した活性ガスを、吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）および（１ｃ）のいずれかを通ってプラズマ発生装置（２）へ循環させる。
　活性ガスが吸着剤充填部（１ａ）を通って循環する場合、該活性ガスはガス循環経路（３ａ）、切換えバルブ（５ａ）、吸着剤充填部（１ａ）、切換えバルブ（５ａ'）、ガス循環経路（３ａ'）およびプラズマ発生装置（２）を順次循環するように、活性ガス循環ポンプ（４）が駆動され、切換えバルブ（５ａ）および（５ａ'）が切り換えられる。
　また、吸着剤充填部（１ｂ）を通って活性ガスが循環する場合には、活性ガスはガス循環経路（３ａ）、切換えバルブ（５ａ）、ガス循環経路（３ｂ）、切換えバルブ（５ｂ）、吸着剤充填部（１ｂ）、切換えバルブ（５ｂ'）、ガス循環経路（３ｂ'）、切換えバルブ（５ａ'）、ガス循環経路（３ａ'）およびプラズマ発生装置（２）を順次循環するように、活性ガス循環ポンプ（４）が駆動され、切換えバルブ（５ａ）、（５ｂ）、（５ｂ'）および（５ａ'）が切り換えられる。
　さらに、吸着剤充填部（１ｃ）を通って活性ガスが循環する場合には、同様にして、活性ガスはガス循環経路（３ａ）、切換えバルブ（５ａ）、ガス循環経路（３ｂ）、切換えバルブ（５ｂ）、ガス循環経路（３ｃ）、切換えバルブ（５ｃ）、吸着剤充填部（１ｃ）、切換えバルブ（５ｃ'）、ガス循環経路（３ｃ'）、切換えバルブ（５ｂ'）、ガス循環経路（３ｂ'）、切換えバルブ（５ａ' ）、ガス循環経路（３ａ'）およびプラズマ発生装置（２）を順次循環するように、活性ガス循環ポンプ（４）が駆動され、切換えバルブ（５ａ）、（５ｂ）、（５ｃ）、（５ｃ'）、（５ｂ'）および（５ａ'）が切り換えられる。
　各吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）を通って、吸着剤表面に吸着された有害成分と接触して劣化した活性ガスは、プラズマ発生装置（２）へ戻され、ラジカルを多量に含む活性ガスに再生されて、再び各吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）を通って循環する。
　各吸着剤充填部（１ａ）、（１ｂ）または（１ｃ）における有害成分の分解処理の終了後、プラズマ発生装置（２）の稼動を停止させるとともに、ポンプ（４）を駆動させて、外気導入管１０から外気を取り入れ、それぞれのガス循環経路内およびそれぞれの吸着剤充填部内に残留する処理済みのガスが大気中へ放出される。
　なお、ガス排出切換えバルブ（１２）とガス排出バルブ（１４）との間に、二酸化マンガンのようなオゾン分解触媒（１３）を設置することにより、処理済みガス中のオゾンや未分解ガスを除去することができる。
　図２は、本発明における処理装置のもう一つの実施形態を示すものであり、図１と同じ部分には図１と同じ符号を付してある。
　本発明の処理装置が吸着剤充填部を１つだけ、例えば（１ａ）だけを備える場合には、図２に示すように、排ガスは排ガス導入バルブ（６）から排ガス導入管（８ａ）を通って吸着剤充填部（１ａ）へ導かれ、有害成分が吸着除去された後の排ガスは吸着剤充填部（１ａ）から排ガス排出管（９ａ）、オゾン分解触媒（１３）およびガス排出バルブ（１４）を通って大気中に放出される。
　また、有害成分分解処理後の処理済みガスは吸着剤充填部（１ａ）から排ガス排出管（９ａ）、オゾン分解触媒（１３）およびガス排出バルブ（１４）を通って大気中に放出される。
　したがって、本発明の処理装置が吸着剤充填部を１つだけ備える場合には、図２に示されるように、開閉バルブ（１５）および（１５’）をガス循環経路（３ａ）および（３ａ’）にそれぞれ設けることにより、排ガス導入切換えバルブ（７）およびガス排出切換えバルブ（１２）を省略することができ、排ガス排出管（９ａ）でもって処理済ガス排出管を兼ねることができる。
　また、本発明の処理装置が吸着剤充填部を４つ以上備える場合には、上記で説明した吸着剤充填部が３つの場合に準じて、適宜増設することができる。
　次に、上記の図１の処理装置を用いる場合を例にして、本発明の排ガスの処理方法について説明する。
　本発明の処理方法は、
（ａ）排ガスを吸着剤充填部内の吸着剤と接触させて排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させるとともに、有害成分吸着除去後の排ガスを排出する工程、
（ｂ）大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させ、該活性ガスを、前記吸着剤充填部および前記プラズマ発生装置を接続するガス循環経路内を循環させ、前記吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃の温度範囲で接触させて、該有害成分を吸着剤表面において分解するとともに、該吸着剤を再生する工程、および
（ｃ）有害成分が分解処理された後の処理済みガスを前記のガス循環経路から排出する工程
により行なわれる。
　本発明の処理方法で処理される排ガスは特に限定されないが、本発明の処理方法は、有害成分として例えばトルエン、キシレン、ベンゼン、エチレンオキサイド、トリクロロエチレンなどのような揮発性の有機化合物（ＶＯＣ）を１種以上含む排ガスが発生する工場などからの排ガスの処理に特に適している。
　図１に示す処理装置において、排ガス中の有害成分を例えば吸着剤充填部（１ａ）内の吸着剤に吸着させる場合の吸着処理は、排ガスを排ガス導入バルブ（６）、排ガス導入切換えバルブ（７）および排ガス導入管（８a）を介して吸着剤充填部（１ａ）へ導入し、排ガス中の有害成分を吸着剤と接触させることにより行なわれる。
　有害成分が吸着除去された後の排ガスは、吸着剤充填部（１ａ）から排ガス排出管（９a）、ガス排出切換えバルブ（１２）、オゾン分解触媒（１３）およびガス排出バルブ（１４）を通って、大気中へ放出される。
　吸着工程の終了は、例えば排ガス排出管（９ａ）に有害成分検知センサー（図示略）を設けることにより検知することができるが、有害成分の吸着可能時間を予め測定しておき、その時間の範囲内で吸着工程を終了するようにしてもよい。
　吸着剤充填部(１ａ)における有害成分吸着工程が終了したならば、排ガス導入切換えバルブ（７）の切換えにより、有害成分を含む排ガスは吸着剤充填部（１ｂ）へ導入され、そこで吸着工程が引き続いて行なわれる。
　一方、吸着剤充填部（１ａ）に吸着された有害成分は、プラズマ発生装置（２）を稼動させて活性ガスを発生させるとともに、ポンプ（４）を駆動させて該活性ガスを吸着剤充填部（１ａ）を通って循環させ、該有害成分と常温～１００℃の温度範囲で接触させて、該有害成分を吸着剤表面で分解する。
　プラズマ発生装置は、通常、温度：１００℃以下、圧力：大気圧程度、相対湿度：６０％以下、印加電圧：１～５０ｋＶ、ピーク電流：１～１００Ａの範囲で操作される。
　上記のプラズマ発生装置により活性ガスを発生させる原料ガスは、排ガス中に含まれる処理対象の有害成分により、空気、酸素ガスなどからなる群から適宜選択される。
　これらの原料ガスから発生する活性ガスは、該原料ガスに由来するイオン化および（または）ラジカル化した活性種を含むガスであり、Ｏ3、ＯＨ、ＨＯ2、Ｏなどの１種または２種以上を含む。
　有害成分がトルエン、キシレン、ベンゼン、エチレンオキサイドまたはトリクロロエチレンである場合、吸着剤の表面で起こるオゾンによる炭酸ガスと水への分解反応は、それぞれ次の反応式で示されるように進行しているものと想定される。
　トルエンの場合：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
　キシレンの場合：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
　ベンゼンの場合：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
　エチレンオキサイドの場合：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
　トリクロロエチレンの場合：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　なお、活性ガス中のオゾンを分解してラジカルを生成させて、活性ガスによる有害成分の分解を促進するために、吸着剤充填部（１ａ）の上流側にオゾン分解触媒および／またはヒータ（図示略）を設けてもよい。
　また、活性ガスによる有害成分の分解を促進するために、大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させる際に、過酸化水素水または水を添加してOHなどのラジカルの生成量を増加させてもよい。
　有害成分の分解終了は、循環経路内のＣＯｘ（ＣＯ＋ＣＯ2）濃度あるいは吸着剤における反応熱の有無により確認することができる。
　有害成分の分解が終了したならば、次いで外気導入バルブ（１０ａ）を開け、ポンプ（４）により外気を導入して、活性ガス循環経路（３ａ）および吸着剤充填部（１ａ）から、処理済みガス排出管（１１ａ）およびガス排出切換えバルブ（１２）、オゾン分解触媒（１３）およびガス排出バルブ（１４）を介して、処理済みガスを大気中に放出する。
　この処理済みガスの排出が終わった段階で、吸着剤充填部（１ａ）内の吸着剤は再生されており、次の有害成分の吸着に備えられる。
　上記の吸着剤充填部（１ａ）における有害成分の分解工程および吸着剤充填部（１ｂ）における有害成分の吸着工程が終了したならば、次いで同様の手順により、吸着剤充填部（１ｂ）における有害成分の分解工程および吸着剤充填部（１ｃ）における有害成分の吸着工程へ移る。
　なお、上記の方法では、１つの吸着剤充填部で有害成分の吸着工程を行うと同時に、もう１つの吸着剤充填部で有害成分の分解工程を行なうようになっているが、有害成分の吸着工程に要する時間と有害成分の分解工程に要する時間、あるいは処理装置に含まれる吸着剤充填部の数、さらにはプラズマ発生装置の能力などに応じて、有害成分の吸着工程が行なわれる吸着剤充填部の数と有害成分の分解工程が行なわれる吸着剤充填部の数を適宜変更することもできる。
　例えば、図１の処理装置のように吸着剤充填部を３つ有する場合、有害成分の吸着工程が行なわれる吸着剤充填部の数を１つとし、有害成分の分解工程が行なわれる吸着剤充填部の数を２つとすることもできる。
実施例
実施例１
　試験装置の流路内に３ｍｌのトルエンを注入し、循環ファン（ルーツフロア）を用いて流量７１２Ｌ／分で装置内のガスを循環させることにより、トルエンを気化させ、疎水性ゼオライト吸着剤HiSiV1000（充填体積0.54L）に吸着させた。トルエンが完全に吸着されたことを確認した後、流量はそのままで沿面放電リアクタの電源をONにして、310～320Wの条件で、プラズマを発生させた。
　沿面放電リアクタで発生したオゾン、およびO、OH、HO2などのラジカルを上記の吸着剤に送り、吸着剤の表面に吸着されたトルエンと約３０℃で反応させ、トルエンをCOとCO2に分解した。吸着剤を通過したガスは再び沿面放電リアクタに循環させた。
　循環処理時間に対する装置内のCO、CO2、O2およびトルエンの各濃度を図５に示す。
　循環処理時間に伴って、COおよびCO2が増加し、O2が減少していることが図５からわかる。また、COの増加に比べて、CO2の増加が大きいことから、トルエンが効果的にCO2に分解されていることが分かる。
　一方、トルエンについては、循環処理時間に関係なく、常に０ppmであり、吸着剤からのトルエンの脱着は行なわれていないことが確認された。
　図６は、循環処理時間に対する、トルエンからCOｘ（CO＋CO2）への転化率を表している。１７０分付近で転化率100％を達成していることが図６から分かる。
　転化率は、その後も増加し続け、２７０分で139％となった。転化率が100％を超えたのは、循環流路内にトルエンやトルエンの分解による反応生成物などが付着していたか、あるいは１度使用した吸着剤を再生して使用したため、この実施例で使用した吸着剤にトルエンが残留していたためと推測される。
１ａ、１ｂ、１ｃ：吸着剤充填部
２：プラズマ発生装置
２ａ：原料ガス導入バルブ
２ｂ：原料ガス導入管
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ａ'、３ｂ'、３ｃ'：活性ガス循環経路
４：活性ガス循環ポンプ
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ａ'、５ｂ'、５ｃ'：活性ガス循環切換えバルブ
６：排ガス導入バルブ
７：排ガス導入切換えバルブ
８ａ、８ｂ、８ｃ：排ガス導入管
９ａ、９ｂ、９ｃ：排ガス排出管
１０ａ：外気導入バルブ
１０：外気導入管
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ：処理済みガス排出管
１２：ガス排出切換えバルブ
１３：オゾン分解触媒
１４：ガス排出バルブ
１５、１５'：開閉バルブ
２１：メッシュ板
２２：吸着剤
２３：放電素子
２４：邪魔板
２５：スリット

Claims (15)

  1. 　工場などから排出される排ガスの処理方法において、
    （ａ）排ガスを吸着剤充填部内の吸着剤と接触させて排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させ、有害成分が吸着除去された後の排ガスを排出する工程、
    （ｂ）大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させ、該活性ガスを、前記吸着剤充填部および前記プラズマ発生装置を接続するガス循環経路内を循環させ、前記吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃の温度範囲で接触させて、該有害成分を吸着剤表面において分解するとともに、該吸着剤を再生する工程、および
    （ｃ）有害成分分解処理後の処理済みガスを前記のガス循環経路から排出する工程
    を含むことを特徴とする、排ガスの処理方法。
  2. 　前記の吸着工程（ａ）および前記の分解・再生工程（ｂ）が、前記ガス循環経路内に設けられたバルブにより切替えできるように並列的に配置された２つ以上の吸着剤充填部の間で、交互にあるいは順次行なわれる、請求項１に記載の処理方法。
  3. 　前記の分解・再生工程（ｂ）の終了後、外部の空気を前記のガス循環経路内へ導入して、有害成分分解処理後のガスをガス循環経路から排出することをさらに含む、請求項１または２に記載の処理方法。
  4. 　前記の分解・再生工程（ｂ）において、分解・再生を行なうべき吸着剤充填部の上流側で、前記活性ガス中のオゾンを分解してラジカルを生成させ、分解・再生を促進することをさらに含む、請求項１～３のいずれかに記載の処理方法。
  5. 　前記の分解・再生工程（ｂ）において、大気圧非熱プラズマ発生装置により活性ガスを発生させる際に、過酸化水素水または水を添加してOHなどのラジカルの生成量を増加させ、分解・再生を促進することをさらに含む、請求項１～４のいずれかに記載の処理方法。
  6. 　前記のガス循環経路から分解処理済みガスを排出する際に、二酸化マンガンを含む触媒により、処理済みガス中のオゾンおよび未分解ガスを除去することをさらに含む、請求項１～５のいずれかに記載の処理方法。
  7. 　前記の排ガスが、トルエン、キシレン、ベンゼン、エチレンオキサイドおよび（または）トリクロロエチレンなどの揮発性有機物質を含む、請求項１～６のいずれかに記載の処理方法。
  8. 　前記の吸着剤が、活性炭、ゼオライト、疎水性ゼオライト、ガンマアルミナおよびシリカゲルからなる群から選択される、請求項１～７のいずれかに記載の処理方法。
  9. 　前記の吸着剤が、ペレット形状またはハニカム形状である、請求項１～８のいずれかに記載の処理方法。
  10. （イ）排ガス中の有害成分を吸着する吸着剤を充填した吸着剤充填部、
    （ロ）活性ガスを発生させる大気圧非熱プラズマ発生装置、
    （ハ）前記の吸着剤充填部および前記のプラズマ発生装置を接続するガス循環経路、
    （ニ）前記の吸着剤充填部へ排ガスを取り入れる排ガス導入バルブ、および
    （ホ）有害成分吸着除去後の排ガスおよび有害成分分解処理後の処理済みガスを排出するガス排出バルブ
    を備えた排ガス処理装置であって、
    前記の活性ガスを吸着剤に吸着された有害成分と常温～１００℃で接触させて、該有害成分を吸着剤表面で分解するとともに、該吸着剤を再生するようになされていることを特徴とする排ガス処理装置。
  11. 　前記のガス循環経路に接続された吸着剤充填部が、ガス循環経路に設けられたバルブにより切換えできるように、並列的に複数配置されてなる、請求項１０に記載の処理装置。
  12. 　前記のガス循環経路に外部空気取り入れ口がさらに設けられている、請求項１０または１１に記載の処理装置。
  13. 　前記の吸着剤充填部の上流側のガス循環経路内に、オゾンを分解してラジカルを生成する触媒がさらに配置されてなる、請求項１０～１２のいずれかに記載の処理装置。
  14. 　前記の大気圧非熱プラズマ発生装置またはその上流部に、過酸化水素水または水を供給するラインを設けた、請求項１０～１３のいずれかに記載の処理装置。
  15. 　前記のプラズマ発生装置が、沿面放電方式、パルスコロナ放電方式、無声放電方式、交流コロナ放電方式、直流コロナ放電方式または矩形波高電圧電源により稼動する、請求項１０～１４のいずれかに記載の処理装置。
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