JP2011050929A - ガス浄化装置、プラズマ生成用電極、及びガス浄化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相対向する一対の第1の放電電極間に配置されてなる、ヒータ機能を有するとともに放電面上に触媒が形成されてなる第2の放電電極を、前記ヒータ機能を駆動させることによって所定の温度にまで加熱し、前記触媒を活性化させ、次いで、少なくとも前記一対の第1の放電電極間に電圧印加を行い、前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間に大気圧プラズマを生成する。次いで、前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間にガスを流し、前記ガスを前記大気圧プラズマ及び前記触媒によって分解し、浄化する。
【選択図】図1
Description
電圧印加により大気圧プラズマを発生する相対向する一対の第1の放電電極と、
前記一対の第1の放電電極間に配置され、ヒータ機能を有する第2の放電電極と、
前記第2の放電電極の放電面に形成された触媒と、
を具えることを特徴とする、ガス浄化装置に関する。
相対向する一対の第1の放電電極間に配置されてなる、ヒータ機能を有するとともに放電面上に触媒が形成されてなる第2の放電電極を、前記ヒータ機能を駆動させることによって所定の温度にまで加熱し、前記触媒を活性化させる工程と、
少なくとも前記一対の第1の放電電極間に電圧印加を行い、前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間に大気圧プラズマを生成する工程と、
前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間にガスを流し、前記ガスを前記大気圧プラズマ及び前記触媒によって分解し、浄化する工程と、
を具えることを特徴とする、ガス浄化方法に関する。
ヒータ機能を有し、放電面において触媒が形成されてなることを特徴とする、プラズマ生成用電極に関する。
図1は、本発明の一例におけるガス浄化装置の斜視図であり、図2は、図1に示すガス浄化装置の側面図であり、図3は、図2に示すガス浄化装置を中心線I−Iに沿って切った場合の断面図である。
最初に、上記プラズマ励起回路を駆動させ、所定の電圧を印加することにより、第1の放電電極11及び12間、並びに第1の放電電極11,12及び第2の放電電極13間に放電を生ぜしめて、大気圧プラズマを生成する。なお、第2の放電電極13には電圧印加を行わない場合においても、自ずから帯電し、上記放電、すなわちプラズマ生成に寄与するようになるが、電圧印加を行うことによりいわゆる補助電極として機能するようになるので、上記大気圧プラズマのプラズマ密度を向上させることができるようになる。
(1)メタノール 約100℃以上
(2)ベンゼン、トルエン 約200℃以上
(3)アセトアルデヒド 約230℃以上
(4)キシレン 約250℃以上
(5)酢酸エチル 約310℃以上
図4は、本発明の他の例におけるガス浄化装置の斜視図である。本例では、図1〜図3に示すガス浄化装置の第1の放電電極11,12及び第2の放電電極13を複数組準備し、この複数組の放電電極を、浄化すべきガスの入射方向に対して、電極の長さが垂直となるように鉛直方向に配列したものである。換言すれば、図1〜図3に示すガス浄化装置をガスの導入方向に対して複数鉛直に配列したものである。
本実施例では、図1〜3に示すようなガス浄化装置を用いて酸化エチレンの分解浄化を試みた。
本実施例では、図1〜3に示すようなガス浄化装置を用いて亜酸化窒素(笑気ガス)の分解浄化を試みた。
第2の放電電極13を加熱しなかった以外は、実施例と同様にして酸化エチレンを100ppm含む空気をガス浄化装置内に導入し、分解、浄化を実施した。その結果、酸化エチレンの濃度を100ppmから1ppmまで減少させるのに5分以上の時間を要することが判明した。
11,12 第1の放電電極
13 第2の放電電極
14 触媒層
Claims (11)
- 電圧印加により大気圧プラズマを発生する相対向する一対の第1の放電電極と、
前記一対の第1の放電電極間に配置され、ヒータ機能を有する第2の放電電極と、
前記第2の放電電極の放電面に形成された触媒と、
を具えることを特徴とする、ガス浄化装置。 - 前記第2の放電電極は電圧印加によって放電可能に構成され、前記大気圧プラズマを発生することを特徴とする、請求項1に記載のガス浄化装置。
- 前記第2の放電電極は円柱状を呈し、前記触媒は前記第2の放電電極の外表面の全体に亘って形成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のガス浄化装置。
- 前記一対の第1の放電電極及び前記第2の放電電極を一組の放電電極として、複数の組の放電電極を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載のガス浄化装置。
- ヒータ機能を有し、放電面において触媒が形成されてなることを特徴とする、プラズマ生成用電極。
- 電圧印加によって放電可能に構成され、大気圧プラズマを発生することを特徴とする、請求項5に記載のプラズマ生成用電極。
- 円柱状を呈し、前記触媒は外表面の全体に亘って形成されていることを特徴とする、請求項5又は6に記載のプラズマ生成用電極。
- 相対向する一対の第1の放電電極間に配置されてなる、ヒータ機能を有するとともに放電面上に触媒が形成されてなる第2の放電電極を、前記ヒータ機能を駆動させることによって所定の温度にまで加熱し、前記触媒を活性化させる工程と、
少なくとも前記一対の第1の放電電極間に電圧印加を行い、前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間に大気圧プラズマを生成する工程と、
前記一対の第1の放電電極間及び前記一対の第1の放電電極と前記第2の放電電極との間にガスを流し、前記ガスを前記大気圧プラズマ及び前記触媒によって分解し、浄化する工程と、
を具えることを特徴とする、ガス浄化方法。 - 前記第2の放電電極に電圧印加を行い、前記大気圧プラズマを発生する工程を具えることを特徴とする、請求項8に記載のガス浄化方法。
- 前記第2の放電電極を円柱状とし、前記触媒を前記第2の放電電極の外表面の全体に亘って形成することを特徴とする、請求項8又は9に記載のガス浄化方法。
- 前記一対の第1の放電電極及び前記第2の放電電極を一組の放電電極として、複数の組の放電電極を含むことを特徴とする、請求項8〜10のいずれか一に記載のガス浄化方法。
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