WO2009113526A1

WO2009113526A1 - 基板の法線方位の調整方法

Info

Publication number: WO2009113526A1
Application number: PCT/JP2009/054524
Authority: WO
Inventors: 佳樹岡山; 勝俊濱田; 博則塚本
Original assignee: 日本電産株式会社
Priority date: 2008-03-11
Filing date: 2009-03-10
Publication date: 2009-09-17
Also published as: CN101933091A; KR101233518B1; KR20100119790A; CN101933091B

Abstract

　基板の法線方位の調整方法において、パルスレーザを照射する所定領域内において、前記パルスレーザを照射する箇所を複数とし、前記法線方位を変化させる方向に応じて、前記所定領域の中心位置と範囲を定め、前記法線方位を変化させる量は、前記所定領域内における前記パルスレーザを照射する箇所の数を増減することにより増減させ、前記パルスレーザを照射する箇所の分布密度は、前記照射する箇所を増やす場合には高くし、前記照射する箇所を減らす場合には低くし、前記パルスレーザの発振条件は、前記法線方位を変化させる方向および量に拘わらず、実質的に一定としたことを特徴とする基板の法線方位の調整方法。

Description

基板の法線方位の調整方法

　本発明は、基板の法線方位の調整方法に関する。

　本発明は、基板の所定領域の法線方位を調整する方法であり、この方法を具体的に適用しうる事例を挙げて、背景技術を説明する。

　近年、ＣＤやＤＶＤ、ＨＤＤ等のディスク駆動装置の薄型化が進んでいる。これに伴い、ディスク駆動装置を構成するスピンドルモータも、薄型化の要求が高まっている。また、ディスクの高容量化に伴い、ディスクの記録密度が高まっている。このため、光ピックアップユニットの受発光方向と、ディスクの記録面または再生面（以下、Ｒ／Ｐ面という）との角度および位置が、僅かにずれているだけであっても、記録時または再生時（以下、Ｒ／Ｐ時という）にエラーを発生する虞がある。

　そのため、光ピックアップユニットの受発光方向とディスクの記録面とのなす角が、直角になるように、光ピックアップユニットの受発光方向とスピンドルモータの回転軸との角度を調整している（以下、この調整をスキュー調整という）。

　例えば、特開２００２－３７３４８５号公報には、ディスク搭載面の平行度を容易かつ正確に改修するために、レーザ光を固定フレームの適宜の位置に照射するレーザフォーミング加工が開示されている。

　また、特開２０００－０９４１６４号公報には、モータなどの軸の傾き調整方法が開示されている。これは、支持基体に取り付けた軸の取り付け基部の近傍部に、レーザビームを照射して、加熱、溶融させた後、冷却することにより、その際の塑性変形により、軸の傾き調整する方法である。

　特開２００７－３１７２７２号公報には、ベース部上に設けられた略平板状の変位部の外周に設定された被加熱領域を加熱して変形させて、相対位置が調整されているモータが開示されている。
特開２００２－３７３４８５号公報特開２０００－０９４１６４号公報特開２００７－３１７２７２号公報

　しかし、特開２００２－３７３４８５号公報に開示されたスキュー調整では、レーザビームの照射における照射領域の角度範囲によっては、その変位量がばらつくことがあり、さらなる調整精度の向上が望まれている。

　特開２０００－０９４１６４号公報に開示された軸の傾き調整方法は、圧入した軸の傾き調整方法であり、軸も加熱、溶融させている。

　特開２００７－３１７２７２号公報に開示されたモータ部品では、略平板状の変位部の外周全体に亘って加熱変形させて、相対位置が調整されている例が示されている。

　本発明の目的は、レーザを用いた基板の法線方位の調整方法を提供することである。具体的には、スピンドルモータベース基板とモータの回転軸との垂直度や、光ディスクドライブ用モータとその回転軸との垂直度を精度よく調整しうる、基板の法線方位の調整方法を提供する。

　本発明による、基板の法線方位の調整方法は、
　基板上のある特定領域の法線方位を変化させる方向および量に応じて、前記特定領域の周囲の所定領域に、収束させたパルスレーザを照射して局部的に溶融・冷却させることにより、前記特定領域の法線方位を変化させる、基板の法線方位の調整方法において、
　前記パルスレーザを照射する所定領域内において、前記パルスレーザを照射する箇所を複数とし、
　前記法線方位を変化させる方向に応じて、前記所定領域の中心位置と範囲を定め、
　前記法線方位を変化させる量は、前記所定領域内における前記パルスレーザを照射する箇所の数を増減することにより増減させ、
前記パルスレーザを照射する箇所の分布密度は、前記照射する箇所を増やす場合には高くし、前記照射する箇所を減らす場合には低くし、
　前記パルスレーザの発振条件は、前記法線方位を変化させる方向および量に拘わらず、実質的に一定としたことを特徴とする。

　本発明のパルスレーザを用いた基板の法線方位の調整方法によれば、基板の特定領域の法線方位を調整できる。この調整方法を、スピンドルモータや光ディスク用モータの軸傾きの調整に適用すれば、ベース基板と回転軸との垂直度を高精度に調整できる。

図１は、ディスク駆動装置の一実施形態を示した模式断面図である。図２は、トラバースユニットの上面図である。図３は、スピンドルモータの一実施形態を示した模式断面図である。図４は、スキュー調整装置の一実施形態を示した模式図である。図５は、トラバースユニットの下面図である。図６は、図３における取付板の周囲の拡大図である。図７は、加熱部による被加熱領域への加熱後の取付板に形成された照射部を示した、模式断面図である。図８は、トラバースユニットにおける組立体を示した平面図であり、シャーシの下面図である。図９は、図３における取付板の周囲の拡大図である。図１０は、取付板の被加熱領域におけるＡ位相～Ｄ位相の各範囲にパルスレーザを照射した際の、パルスレーザの角度と照射部の変位量との関係を示したグラフである。図１１は、パルスレーザのショット数と照射部の変位量との関係を示したグラフである。図１２は、スピンドルモータの回転軸とシャーシと保持治具との接触面によって形成された仮想平面に対する軸傾き量を測定する測定装置を示した模式図である。図１３は、トラバースユニットの製造過程を示したフロー図である。図１４は、取付板にパルスレーザを照射した状態を示した平面図であり、取付板の模式下面図である。図１５は、スピンドルモータの他の実施形態を示した模式断面図である。図１６は、図１５のスピンドルモータの模式上面図である。図１７は、図１５のスピンドルモータの模式下面図である。

符号の説明

１　　　　　ディスク駆動装置
２　　　　　ディスク
３、３ａ　　スピンドルモータ
３１　　　　回転体
３１１　　　シャフト
３１２　　　ロータホルダ
３１２ａ　　載置面
３１３　　　ロータマグネット
３２　　　　固定体
３２１　　　スリーブ（軸受部）
３２２　　　ハウジング
３２６、３２６ａ　取付板
３２６１　　被加熱領域
３２６２　　照射部
３３　　　　チャッキング装置
４　　　　　トラバースユニット
４１　　　　光ピックアップユニット
４２　　　　ガイドレール
４４　　　　シャーシ
４４１　　　収容開口穴
４４２　　　モータ取付部
４４６、４４６ａ　仮想平面
５　　　　　トレイ
６　　　　　筐体
Ｊ１　　　　回転軸
Ｊ２　　　　中心軸
Ｓ１～Ｓ４　ステップ（工程）

［本発明の調整方法］
　本発明によるパルスレーザを用いた基板の法線方位の調整方法について、図面を参照しながら、以下に詳細に説明する。
　まず、基本となる技術について説明する。

　例えば、金属基板の表面にパルスレーザを照射し、局部的に加熱し溶融して冷却することを考える。この場合、パルスレーザが照射された箇所は、加熱され溶融した際に体積膨張し、パルスレーザが照射された面を凸にして変形する。このとき、加熱溶融された箇所は表面張力により膨らみになろうとし、基板部材において移動する部分が存在する。このような加熱溶融された箇所が冷却されると、引張り応力が発生して、最終的にはパルスレーザが照射された面が凹となるようにして変形する。これより、基板の法線方位を調整するには、法線方位が傾いた方向と１８０度反対側の領域に、パルスレーザを照射すればよいことがわかる。

　パルスレーザの照射される箇所は、溶融スポットとなる。このスポットが大きく重なると、変形量が少なくなる。このため、パルスレーザの照射パルスに対する法線方位の調整量が定量的でなくなる。したがって、パルスレーザの照射される箇所が、重ならないようにするとよい。なお、法線方位の調整量が多い場合は、パルスレーザの照射される箇所の間隔が狭くなり、その周辺部が重なるようになる場合がある。重なりが周辺部のみであれば、照射パルスと法線方位の調整量との定量性への影響は小さい。

　パルスレーザを照射する領域は、特定領域の全周囲が考えられるので、環状の領域が想定される。この想定された環状の領域における半径方向の幅は、具体的な基板を考えると、ある範囲に限られる。
　このように考えると、基板の法線方位の調整するための装置において、特定領域の中央を中心として、基板を回転できる機構を備えれば、対応できる。つまり、パルスレーザは、基板の回転に同期して照射されればよい。

［具体例］
　本発明を適用しうる一例示としては、ディスク駆動装置の基板と回転軸との垂直度の調整が挙げられる。
　そこでまず、ディスク駆動装置における一実施形態について、図１と図２を用いて説明する。図１は、ディスク駆動装置の一実施形態を、軸方向に切った模式断面図である。

＜ディスク駆動装置＞
　図１を参照して、ディスク駆動装置１は、スピンドルモータ３と、光ピックアップユニット４１と、一対のガイドレール４２と、移動機構４３と、シャーシ４４と、トレイ５と、筐体６と、から構成される。

　図２を参照して、スピンドルモータ３は、円盤状のディスク（不図示）を、所定の中心軸Ｊ１（以下、回転軸Ｊ１とする）を中心に回転させる。光ピックアップユニット４１は、一対のガイドレール４２上に配置され、当該ガイドレール４２に沿って、移動機構４３によって移動可能である。一対のガイドレール４２は、回転軸Ｊ１に対して垂直な方向である径方向に伸びている。

　シャーシ４４は、スピンドルモータ３、ガイドレール４２および移動機構４３を固定し、光ピックアップユニット４１を収容する。以下、シャーシ４４に固定された部品群を、トラバースユニット４と呼ぶ。
　トレイ５は、ディスク２の挿入および排出し、ディスク２をスピンドルモータ３へ案内する。筐体６は、上述した要素を収容する。

　光ピックアップユニット４１は、ディスク２の記録面に光を放射する発光部と、ディスク２の記録面から反射された光を受光する受光部と、を備える。

　トレイ５に載置されたディスク２は、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１と同軸に移動されたときに、シャーシ４４が上側に移動することによって、スピンドルモータ３に移される。
　ディスク２を排出する際には、シャーシ４４が下側に移動することによって、ディスク２はスピンドルモータ３から外れ、トレイ５に移される。トレイ５は、筐体６の外側まで移動して、ディスク２を取り出せるようにする。

＜トラバースユニットの構成＞
　トラバースユニット４の構成について、図２および図５を用いて説明する。図２は、トラバースユニット４の上面図である。図５は、トラバースユニット４の下面図である。

　図２を参照して、トラバースユニット４は、スピンドルモータ３が略平板状のシャーシ４４の一部に固定される。シャーシ４４には、光ピックアップユニット４１を収容する収容開口穴４４１が形成されている。光ピックアップユニット４１は、回転軸Ｊ１を中心とする径方向（図２中の矢印４１１１方向）に沿って、この収容開口穴４４１内を移動可能になっている。収容開口穴４４１の周囲の一部には、複数のモータ取付部４４２が形成され、後述するスピンドルモータ３の取付板３２６（図３参照）が固定されている。モータ取付部４４２は、この場合３個形成されている。モータ取付部４４２には、それぞれ取付穴４４２１が形成されている。

　スピンドルモータ３は、各取付穴４４２１を介して、ネジ４４２２をそれぞれ締めることによって、モータ取付部４４２に固定される。シャーシ４４の外周縁には、筐体６（図１参照）と、ダンパーを介して取り付けられる筐体取付部４４５が形成される。筐体取付部４４５は、この場合３個形成されている。取付板３２６には、モータ取付部４４２に取り付けられる平面部を有する。

　図５を参照して、トラバースユニット４は、シャーシ４４の下面において、スピンドルモータ３の両側には、モータ取付部４４２をそれぞれ挟んで、ガイドレール４２を固定する第１ガイドレール取付部４４３，４４３が、それぞれ形成されている。第１ガイドレール取付部４４３，４４３を、収容開口穴４４１を介して延長した位置には、第２ガイドレール取付部４４４，４４４がそれぞれ形成されている。これら第１ガイドレール取付部４４３および第２ガイドレール取付部４４４によって、一対のガイドレール４２は、互いに平行に、かつ径方向に沿って、配置されている（図２参照）。

　図２を参照して、光ピックアップユニット４１には、ガイドレール４２，４２と対応する位置に、それぞれ径方向に沿った貫通孔４１１，４１２が形成されている。ガイドレール４２，４２は、それぞれの貫通孔４１１，４１２に挿通される。これにより、光ピックアップユニット４１が、一対のガイドレール４２に沿って、移動可能とされる。

　一対のガイドレール４２の一方は、その外周面に、貫通孔４１１内周面に形成された雌ねじに対応する、雄ねじが形成されている送り軸４２１である。一対のガイドレール４２の他方は、貫通孔４１２と摺動する摺動軸４２２である。

　図２を参照して、移動機構４３は、出力軸に歯車を有し回転駆動源となる駆動モータ４３１と、駆動モータ４３１の歯車と噛み合う減速歯車４３２と、を備える。駆動モータ４３１の回転は、減速歯車４３２により減速されて、送り軸４２１に伝達される。

　駆動モータ４３１が回転すると、出力軸の歯車が回転し、減速歯車４３２を回転させる。減速歯車４３２が回転すると、送り軸４２１が回転する。送り軸４２１が回転することによって、送り軸４２１と噛み合う貫通孔４１１が、図中の矢印４１１１の径方向に移動する。このとき、駆動モータ４３１の回転方向によって、移動する方向が逆転する。このようにして、光ピックアップユニット４１は、矢印４１１１方向に沿って移動する。

＜スピンドルモータの全体構造＞
　本発明を適用しうるスピンドルモータの全体構造の一実施形態について、図３を用いて説明する。図３は、スピンドルモータ３の模式断面図である。

　図３を参照して、スピンドルモータ３は、回転軸Ｊ１を中心に回転する回転体３１と、回転体３１を回転自在に支持する固定体３２と、回転体３１と一体に回転し、ディスク（不図示）を保持できるチャッキング装置３３と、から構成される。

　回転体３１は、回転軸Ｊ１と同軸に配置されるシャフト３１１と、シャフト３１１に固定されるロータホルダ３１２と、ロータホルダ３１２に固定されるロータマグネット３１３と、ロータホルダ３１２の下面に固定される抜止部材３１４と、を備える。ロータホルダ３１２は、薄い鋼板をプレス加工することによって形成される。

　固定体３２は、スリーブ３２１と、ハウジング３２２と、ステータ３２３と、蓋部材３２４と、スラストプレート３２５と、取付板３２６と、を備える。
　スリーブ３２１は、シャフト３１１の径方向を回転自在に支持する軸受部となる、油を浸した焼結体にて形成され、略円筒形状をしている。ハウジング３２２は、スリーブ３２１の外周面を保持する内周面を有する。ステータ３２３は、ハウジング３２２に固定され、ロータマグネット３１３との間にて回転磁界を形成する。
　蓋部材３２４は、ハウジング３２２の内周面の下端側を封止する。スラストプレート３２５は、蓋部材３２４の上面に配置され、シャフト３１１を回転自在に軸方向に支持する。取付板３２６は、蓋部材３２４の径方向外側で、かつハウジング３２２の内周面の下端側に固定され、シャーシ４４に固定され、略平板状をしている。
　取付板３２６における、モータ取付部４４２（図２参照）に取り付けられる平面部には、蓋部材３２４とハウジング３２２の一部が挿入される貫通穴が形成される。

　ハウジング３２２の上部には、フランジ部３２２１が形成される。フランジ部３２２１の下側には、フランジ部３２２１の外径より小さい内径を有する抜止部材３１４が配置される。これにより、固定体３２に対する、回転体３１の軸方向上側への移動が、規制される。

　ハウジング３２２の下端面には、内側突起部３２２ａと、外側突起部３２２ｂと、が設けられる。内側突起部３２２ａは、蓋部材３２４を固定する。外側突起部３２２ｂは、内側突起部３２２ａより径方向外側に形成され、取付板３２６を固定する、

　内側突起部３２２ａと外側突起部３２２ｂとは、それぞれ下側に伸びる略円環形状である。内側突起部３２２ａより径方向内側には、蓋部材３２４の上面が接触することによって、蓋部材３２４の軸方向の位置を決められる内側接触面３２２ｃが形成される。外側突起部３２２ｂより径方向外側には、取付板３２６の軸方向の位置を決められる外側接触面３２２ｄが形成される。

　内側接触面３２２ｃと外側接触面３２２ｄとは、それぞれ回転軸Ｊ１に対して垂直に伸びる略環状の平面である。取付板３２６は、外側接触面３２２ｄに接触した状態において、外側突起部３２２ａが径方向外側に塑性変形される。これにより、外側接触面３２２ｄと外側突起部３２２ａとの間に挟まれることによって、取付板３２６は、ハウジング３２２の下端面に固定される。すなわち、取付板３２６は、ハウジング３２２にかしめ固定される。

　蓋部材３２４も同様に、内側突起部３２２ａが径方向内側に塑性変形される。これにより、内側接触面３２２ｃと内側接触面３２２ａとの間に挟まれることによって、蓋部材３２４は、ハウジング３２２の下端面に固定される。すなわち、蓋部材３２４は、ハウジング３２２にかしめ固定される。したがって、取付板３２６および蓋部材３２４とハウジング３２２との固定は、固定のための部材を使用することなく、安価な方法にて固定される。その結果、安価なモータを提供できる。

　チャッキング装置３３は、センターケース３３１と、調芯爪３３１ａと、爪部材３３２と、弾性部材３３３と、を備える。
　センターケース３３１は、ディスク２に形成された中心開口部２１（図１参照）の内周面と径方向に対向し、この中心開口部２１より内側に配置される。調芯爪３３１ａは、センターケース３３１と一体に設けられている。調芯爪３３１ａは、中心開口部２１の内周面を径方向外側に押圧することによって、ディスク２の中心開口部２１の中心とセンターケース３３１の中心とを調整する。爪部材３３２は、中心開口部２１の上端縁を押圧することによって、ディスク２を保持する径方向に移動自在である。弾性部材３３３は、爪部材３３２を径方向外側に付勢する。

　本実施形態では、調芯爪３３１ａは、センターケース３１１と一体に設けられ、周方向に離間して３個設けられる。爪部材３３２は、周方向に隣り合う調芯爪３３１ａの間に配置され、３個設けられる。弾性部材３３３は、径方向に伸縮するコイルばねを用いる。

　ロータホルダ３１２における径方向外側の上面には、ディスク２の下面が載置される載置面３１２ａが形成されている。本実施形態において、載置面３１２ａは、ロータホルダ３１２の上面より摩擦係数の大きい、ラバー等の樹脂材料が円環状に配置されて形成される。ロータホルダ３１２の上面に載置面３１２ａを形成することによって、別部材にてディスク２を載置するターンテーブルを形成する必要がない。その結果、部品点数を削減するとともに、スピンドルモータの軸方向を薄型化できる。ロータホルダ３１２は、プレス加工によって形成できるので、安価に製造できる。

　以下、本発明による基板の法線方位の調整方法を、スピンドルモータの軸傾きの調整に適用した場合の具体例である、スキュー調整を用いて説明する。

＜スキュー調整装置および測定装置＞
　スピンドルモータ、ディスク駆動装置において、スキュー調整装置およびスキュー調整の方法について、図４から図１２を用いて説明する。

　図４は、本発明におけるスキュー調整装置７の一実施形態を示した模式図である。
　図４を参照して、スキュー調整装置７について説明する。スキュー調整装置７は、保持部７１と、計測部７２と、加熱部７３と、回転機構７４と、移動機構７５と、制御部７６と、を備える。
　保持部７１は、組立体ＡＳ１を保持する。ここで、組立体ＡＳ１は、トラバースユニット４における、スピンドルモータ３とシャーシ４４とを組立てた状態のものをいう。計測部７２は、シャーシ４４上の複数の計測位置における、中心軸Ｊ２方向の高さを計測する。加熱部７３は、保持部７１に保持された取付板３２６を加熱する。回転機構７４は、組立体ＡＳ１を保持部７１とともに回転する。移動機構７５は、保持部７１を加熱部７３に対して相対的に移動させる。制御部７６は、これらの構成を制御する。

　ここで、中心軸Ｊ２は、回転機構７４の回転中心である。中心軸Ｊ２と、スピンドルモータ３のシャフト３１１と、スラストプレート３２５（図３参照）との接触位置Ｊ１ａとは略同一となるように、シャーシ４４は保持部７１に対して配置される。本実施形態で保持部７１は、３個設けられている。

　図５は、トラバースユニット４を下側より見た平面図である。
　スキュー調整装置７において、組立体ＡＳ１は、シャーシ４４のモータ取付部４４２におけるスピンドルモータ３が取り付けられる側を、軸方向の上側に向けて、保持部７１によって保持される。これにより、シャーシ４４の保持部７１に対する軸方向の位置が決定される。保持部７１の上側には、計測部７２が配置される。保持部７１の上側は、スピンドルモータ３がシャーシ４４に対して取り付けられる側である。

　計測部７２は、基準位置（基準平面）からの軸方向の高さを計測する。基準位置（基準平面）とは、保持部７１とシャーシ４４の下面における同一の高さの平面との各接触面（図５中のＺ１、Ｚ２、Ｚ３）を結んだ仮想平面４４６（図５参照）をいう。

　保持部７１の下側には、加熱部７３が配置される（図４参照）。保持部７１の下側とは、スピンドルモータ３が取り付けられる側とは反対側である、シャーシ４４の下面側のことである。そして加熱部７３は、パルス状のパルスレーザを、取付板３２６の下面側から局所的に照射することにより、取付板３２６を加熱する。移動機構７５は、仮想平面４４６と平行であって、かつ、互いに垂直な２つの方向にシャーシ４４を保持部７１とともに移動する、いわゆる、ＸＹテーブルである。

　スキュー調整装置７では、保持部７１に保持された組立体ＡＳ１が、中心軸Ｊ２を中心として回転機構７４により一定速度にて回転される。回転機構７４による組立体ＡＳ１の回転とともに、取付板３２６の下面側において、スピンドルモータ３の取付板３２６における微小な照射領域に、加熱部７３からのパルス状のレーザが照射される。これにより、スピンドルモータ３の取付板３２６の下面側（図１参照）における、ハウジング３２２の外側突起部３２２ｂより径方向外側に形成される環状の領域３２６１に、パルスレーザが所定の照射角度範囲にて照射される（図６参照）。パルスレーザ照射により、この領域３２６１は加熱される。以下の説明では、領域３２６１を「被加熱領域３２６１」という。

　図６は、図３のスピンドルモータ３における取付板３２６の周囲を拡大した拡大図である。図７は、加熱部７３による被加熱領域３２６１への加熱後の、取付板３２６に形成された照射部３２６２を示す模式断面図である。

　図６および図７を参照して、被加熱領域３２６１が取付板３２６の下面側から加熱されることにより、被加熱領域３２６１が溶融しつつ、一旦下面側（図７の下方）へ、塑性変形を伴いながら膨張する。その後、温度が下がるにしたがって、被加熱領域３２６１は収縮して、図７の上方へ変形する。これは、加熱時における変形方向とは反対方向に、変形することである。

　この結果、被加熱領域３２６１に囲まれた略平板状の部位３２６２が、図７中の二点鎖線に示すように、中心軸Ｊ２に関して、加熱部７３側とは反対側に変位する。
　以下の説明では、取付板３２６の部位３２６２を「照射部３２６２」とする。

　図８は、本発明のトラバースユニット４における組立体を示した図であり、シャーシ４４の下側より見た平面図である。
　図８を参照して、３個のモータ取付部４４２を結んだ第２仮想平面４４６ａの重心Ｐ１とスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１とは異なる位置に設けられる。また、被加熱領域３２６１を形成する取付板３２６の下面は、中心軸Ｊ１を中心に周方向に非対称な形状である。したがって、被加熱領域３２６１（図６および図７参照）は、周方向に強度が異なる。そのため、パルスレーザを周方向に一定の出力にて照射したとしても、被加熱領域３２６１の照射部３２６２の変形量は、照射された周方向の位置によって異なる。

　図９は、図３におけるスピンドルモータ３における取付板の周囲を拡大した拡大図である。
　そこで、図９に示すように、スピンドルモータ３における被加熱領域３２６１（図６および図７参照）を、回転軸Ｊ１を中心として周方向に４等分し、各位相をＡ位相、Ｂ位相、Ｃ位相、Ｄ位相とする（図９中のＡ～Ｄに対応する）。これらＡ位相～Ｄ位相のそれぞれについて、照射角度範囲を変化させたパルスレーザによって照射する。これにより、Ａ位相～Ｄ位相の各範囲におけるパルスレーザの照射角度の範囲と、照射部３２６２の変位量との関係のデータを作成する。

　図１０は、照射範囲の角度と、照射部３２６２の変位量（角度）との関係を示したグラフである。照射範囲の角度とは、取付板３２６の被加熱領域３２６１におけるＡ位相～Ｄ位相の各範囲に、パルスレーザを照射した際の、パルスレーザの中心軸Ｊ２を中心とした円弧状の角度をいう。ここで、Ａ位相～Ｄ位相とは、中心軸Ｊ２（もしくは、回転軸Ｊ１）を中心に周方向に９０度等配に設定した位置であり、この位置を中心として周方向の両側にパルスレーザの照射角度範囲の半分を照射する。本実施形態では、Ａ位相～Ｄ位相の各範囲を中心として、周方向に略９０度、パルスレーザを照射している。

　図１０からわかるように、Ａ位相～Ｄ位相の各範囲へのパルスレーザの照射角度において、それぞれの照射部３２６２の変位量は、照射角度の範囲が６０度～１２０度や２４０度以上では、その差が大きくなっている。これに対して、照射角度の範囲が略１８０度の場合、照射部３２６２の変位量の差が最も少なくなっている。したがって、Ａ位相～Ｄ位相の各範囲において、略１８０度の範囲にパルスレーザを照射することにより、照射部３２６２の変位量を略一定とすることができる。つまり、パルスレーザを照射する所定領域を、特定領域の中央を中心として略半周とするとよい。

　もし円形基板の中心に、パルスレーザを照射した場合には、上述のような結果ではなく、どの位相においても、変位量の差は少ないものと推察される。この実験に用いた基板は、図９に示した形状をしているので、パルスレーザを照射する領域の周辺の形状が、位相によって異なっている、すなわち基板の周縁は周方向に剛性が異なるため、変位量に差が発生したものと推察される。

　図１１は、パルスレーザのショット数と、照射部３２６２の変位量（調整量（角度））との関係を示したグラフである。図１１に示すように、おおよそパルスレーザのショット数に比例して、照射部３２６２の変位量は変化していることがわかる。これより、パルスレーザのショット数を制御することによって、照射部３２６２の変位量を定量的に制御できる。ここで、パルスレーザのショット数とは、パルスレーザの照射角度範囲内に、パルスレーザを照射する回数である。例えば、パルスレーザのショット数が３０である場合、パルスレーザの照射角度範囲を略１８０度とすると、パルスレーザを略６度毎に照射することになる。

＜スピンドルモータの回転軸における軸傾き量の測定方法＞
　次に、図１２を用いて、仮想平面４４６（図５参照）に対する、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾き量の測定方法について説明する。この仮想平面４４６は、保持部７１と組立体ＡＳ１のシャーシ４４との接触面にて形成された仮想平面である。

　図１２は、仮想平面４４６に対する、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾き量を測定する測定装置８を示した模式図である。
　測定装置８は、オートコリメータ８１と、シャーシ４４における保持部７１が接触した位置に接触する保持治具８２と、スピンドルモータ３に装着し、オートコリメータ８１からの光を反射するダミーディスク８３と、を備える。保持治具８２は、シャーシ４４の同一の部位と接触することによって、仮想平面４４６を形成する。シャーシ４４は、スキュー調整装置７の保持部７１と接触する。

　オートコリメータ８１は、光の発光および受光を行うレンズ部８１１と、このレンズ部８１１の発光および受光のデータを示すディスプレイ８１２と、を備える。まず、ダミーディスク８３をスピンドルモータ３によって回転させておく。オートコリメータ８１のレンズ部８１１から、ダミーディスク８３に向かい仮想平面４４６に対して垂直に発光された光は、ダミーディスク８３に反射され、再びレンズ部８１１に受光される。このとき、レンズ部８１１の発光位置と受光位置とのずれのデータから、スピンドルモータの回転軸の軸傾き量および方向が算出されて、ディスプレイ８１２に表示される。

＜トラバースユニット４の製造方法＞
　本発明におけるトラバースユニット４の製造方法について、図１３を用いて説明する。図１３は、本発明の製造の流れを示すフロー図である。本実施例では、特にトラバースユニット４の製造の流れについて説明する。

　まず、プレス加工することによって形成されたシャーシ４４のモータ取付部４４２に、スピンドルモータ３が取り付けられる（ステップＳ１）。本実施形態では、スピンドルモータ３は、ネジによる締結によってモータ取付部４４２に固定される。

　続いて、シャーシ４４にスピンドルモータ３を組立てた組立体ＡＳ１の状態において、測定装置８にてスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量および周方向の位置を測定する（ステップＳ２）。
　まず、測定装置８の保持治具８２にシャーシ４４を接触させて、保持する。この際、保持治具８２とシャーシ４４との接触面を結ぶことによって仮想平面４４６が形成される。この仮想平面４４６を基準平面とする。
　次に、スピンドルモータ３には、ダミーディスク８３を装着させる。そしてダミーディスク８３の上面に光が当たるように、ダミーディスク８３の上側にオートコリメータ８１のレンズ部８１１が配置される。このレンズ部８１１は、仮想平面４４６に対して垂直となるように設定されている。
　そしてスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量が、予め設定された設定許容範囲内である場合(Ｙｅｓ)、図１３中のステップＳ４であるガイドレール４２の取付工程へと進む。

　一方、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量が、予め設定された設定許容量の範囲外である場合（Ｎｏ）、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾き量を調整するスキュー調整が行われる（図１３中のステップＳ３）。

　スキュー調整を行うには、以下のような手順で、パルスレーザの照射条件を決定しておくとよい。
（１）スピンドルモータとシャーシとを組立てた組立体を複数用意し、これに照射角度範囲とショット数とを変化させて、パルスレーザを照射する。
（２）照射角度およびショット数と、照射部３２６２の変位量との、定量的な関係を求める。
（３）以上の結果から、最適な照射角度範囲およびショット数を決定する。

　本実施例において、最適なパルスレーザの照射角度範囲は、図１０に示すように略１８０度である。また、パルスレーザのショット数と、照射部３２６２の変位量との定量的な関係は、図１１に示される。

　図１３中のステップＳ２によって測定された、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾き量と図１１とを比較して、最適なパルスレーザのショット数を選択する。そして、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾きの周方向の位置を中心として、略１８０度の範囲に亘りパルスレーザを照射する。これはすなわち、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾きの周方向の位置から、周方向両側に向かい略９０度の範囲をパルスレーザにて照射することである（図１４参照）。これにより、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の軸傾き量が調整される。

　ここで、図１４を参照して、被加熱領域３２６１は、回転軸Ｊ１の軸傾き方向側に略１８０度の円弧状に照射される。これにより、回転軸Ｊ１の軸傾き方向側の取付板３２６が軸方向上側に変位する。これに伴い、ハウジング３２２も軸方向上側に変位する。そして、ハウジング３２２のスリーブ３２１を保持する貫通孔の内周面が、軸傾き方向に対して中心軸Ｊ１に対して反対側に変位する。このハウジング３２２の変位に伴い、スリーブ３２１も同様に、軸傾き方向に対して中心軸Ｊ２に対して反対側に変位する。
　したがって、スリーブ３２１の内周面に支持されるシャフト３１１が同様に、軸傾き方向に対して中心軸Ｊ２に対して反対側に変位する。その結果、シャフト３１１と回転軸Ｊ１とは同軸であるために、回転軸Ｊ１が予め設定された設定許容範囲内に調整される。ハウジング３２２、スリーブ３２１、およびシャフト３１１に関しては、図３を参照のこと。

　そして、再度、図１３中のステップＳ２である測定装置８によってスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量および位置を測定する。これにより、再度、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量と予め設定された設定許容量の範囲とを比較する。そしてスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１の仮想平面４４６に対する軸傾き量が設定許容量の範囲外である場合、再び図１３中のステップＳ３であるスキュー調整する。

　図１３中のステップＳ３であるスキュー調整の終了後、スピンドルモータ３からダミーディスク８３は取り外される。そして、シャーシ４４の第１ガイドレール取付部４４３および第２ガイドレール４４４には、光ピックアップユニット４１を予め取り付けた一対のガイドレール４２が取り付けられる（図１３中のステップＳ４）。ここで、同時に移動機構４３が、シャーシ４４に取り付けられる。これにより、トラバースユニット４は組立てられる。

　本発明によるスキュー調整では、パルスレーザの照射領域を特定の角度範囲に特定したので、パルスレーザの照射による変位量のばらつきを小さくできる。したがって、基準平面である仮想平面４４６に対する、回転軸Ｊ１の軸傾き量とその方向を、精度よく管理できる。

　これにより、トラバースユニット４におけるスピンドルモータ３の回転軸Ｊ１と、光ピックアップユニット４１の発光方向とを略平行に調整できる。すなわち、スピンドルモータ３の回転軸Ｊ１と、光ピックアップユニット４１の発光方向とを、予め設定した相対的な傾き量の範囲内にすることができる。したがって、光ピックアップユニット４１の発光方向と、ディスク２の記録面とを高精度に垂直にできる。その結果、回転軸の傾きによって発生する記録再生エラーを十分に防止しうる、ディスク駆動装置を提供できる。さらに、スピンドルモータの回転によって発生する振動を低減しうる、ディスク駆動装置を提供できる。

　本発明によるスキュー調整装置７を用いた、回転軸Ｊ１の軸傾きの調整方法は、仮想平面４４６に対する軸傾き量を高精度に調整できる。このため、スピンドルモータ３に、プレス加工されたロータホルダ３１２を用いる場合の調整方法として、特に適している。なお、プレス加工は、加工精度の向上に限界がある。
　さらに、スピンドルモータ３に、取付板３２６とハウジング３２２とがかしめられた固定体３２を用いる場合の調整方法として、特に適している。取付板３２６とハウジング３２２とのかしめ構造は、回転軸Ｊ１の軸傾きに特に強い影響がある。
　これら、スピンドルモータ３はディスク駆動装置１に搭載される。

＜スピンドルモータを組立てた状態におけるスキュー調整＞
　スピンドルモータを組立てた状態におけるスキュー調整について、図１５から図１７を用いて説明する。図１５は、本発明のスピンドルモータの他の実施形態を示した、軸方向に切った模式断面図である。図１６は、図１５のスピンドルモータを軸方向上側より見た平面図である。図１７は、図１５のスピンドルモータを軸方向下側より見た平面図である。図１５から図１７におけるスピンドルモータ３ａは、取付板３２６ａ以外は、スピンドルモータ３と同一部材を用いている。
　以下、スピンドルモータ３と同一部材についての説明は省略し、取付板３２６ａの形状について説明する。

　スピンドルモータ３ａの取付板３２６ａは、第１平面部３２６ａ１と、折曲げ部３２６ａ２と、第２平面部３２６ａ３と、を備える。第１平面部３２６ａ１は、ハウジング３２２が固定され、略円形状をしている。折曲げ部３２６ａ２は、第１平面部３２６ａ１から上側に向かい折り曲げられている。第２平面部３２６ａ３は、折曲げ部３２６ａ２と連続し、第１平面部３２６ａ１と平行な平面を形成しており、シャーシ（不図示）に取り付けられる複数の取付部３２６ａ４が形成されている。
　本実施形態では、取付部３２６ａ４は３箇所設けられる。折曲げ部３２６ａ２は、第１平面部３２６ａ１の外周縁の周方向の一部に形成される。

　また、スピンドルモータ３ａの基準となる平面は、複数の取付部３２６ａ４を結んで形成された仮想平面４４６ｂである（図１７参照）。そして仮想平面４４６ｂに対してスピンドルモータ３ａの回転軸Ｊ１の軸傾き量および方向を測定する。これにより、複数の取付部３２６ａ４は、シャーシに直接取り付けられるために、スピンドルモータ３ａのシャーシに対する位置や傾きを決定する重要な部位となる。したがって、複数の取付部３２６ａ４にて形成された仮想平面４４６ｂを基準平面とすることによって、高精度なスキュー調整できる。

　また、取付板３２６ａには第１平面部３２６ａ１の外周縁の周方向の一部に折曲げ部３２６ａ２が形成されるために、第１平面部３２６ａ１は回転軸Ｊ１を中心とした周方向の強度が不均一である。

　ここで、パルスレーザの照射される被加熱領域３２６１および照射部３２６２は、スピンドルモータ３と同じ位置である。

　スピンドルモータ３ａのスキュー調整は、前述と同様に、予め加熱部であるパルスレーザの照射角度範囲を設定する工程と、設定されたパルスレーザの照射角度範囲に対して、パルスレーザのショット数を変更した場合の照射部の変位量の変化との関係のデータを得る工程と、を行う。そして、スピンドルモータ３ａの仮想平面４４６ｂに対する回転軸Ｊ１の軸傾き量および方向を測定した上で、その軸傾きの方向を中心としたパルスレーザを照射する。これにより、スピンドルモータ３ａは、仮想平面４４６ｂに対して、高精度に垂直とすることができる。

　パルスレーザの照射角度範囲を設定する工程では、まず取付板３２６ａの第１平面部３２６ａ１の強度が異なる複数の範囲に分割する（本実施形態では、４つの範囲に分割する）。そして分割された各範囲について照射角度範囲を複数変更したパルスレーザを照射し、その変位量を測定したデータを収集する。収集されたデータに基づいて、各範囲の照射部の変位量における最もばらつきの少ないパルスレーザの照射角度範囲を設定する。本実施例では、パルスレーザの照射角度範囲は略１８０度である。

　次に、パルスレーザのショット数を変更した場合において、ショット数と照射部の変位量との関係を得る工程では、設定されたパルスレーザの照射角度範囲に、ショット数を変化させてパルスレーザを照射する。これにより、パルスレーザのショット数の変更と照射部の変位量との関係の定量的なデータを得られる。

　このデータに基づいて、スピンドルモータ３ａの仮想平面４４６ｂに対する軸傾き量および方向を測定した後、その軸傾き量を修正するのに最適なパルスレーザのショット数を設定して、パルスレーザを照射する。これにより、スピンドルモータ３ａの高精度なスキュー調整を実現できる。

　以上、本発明の種々の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において種々の変形が可能である。

　例えば、上述の実施形態におけるスキュー調整は、組立体ＡＳ１の状態にて行ったが、本発明はこれに限定されることはない。トラバースユニット４を組立てた後で、スキュー調整してもよい。

　例えば、上述の実施形態におけるスキュー調整方法では、パルスレーザの照射角度範囲を設定する際に、取付板３２６、３２６ａの範囲を回転軸Ｊ１を中心に４つの範囲に分割して設定したが、本発明はこれに限定されることはない。取付板の範囲としては、４つの範囲でなくても、複数の範囲があればよい。

　例えば、取付板３２６、３２６ａは、上述の実施形態に限定されることはない。例えば、シャーシと取付板とを同一部材にて構成して、取付ベースとしてもよい。

　例えば、上述の実施形態のディスク駆動装置１では、トレイ５によってディスク２を搬送したが、本発明はこれに限定されることはない。例えば、ディスク駆動装置の筐体のディスクの挿入および排出する開口穴の両側に、ローラを設けることによって、ディスクの搬送してもよい。

　以上述べたディスク駆動装置は、光ディスクを駆動する装置であった。光ディスク駆動装置では、取付板３２６は鋼板であることが多い。ディスク駆動装置はこれに限られず、ハードディスク駆動装置であってもよい。この場合、モータを取り付ける基板はアルミダイキャスト製であることが多い。アルミダイキャスト製基板に対しても、本発明は適用可能である。

　以上の説明では、ディスク駆動装置を例にして、本発明を説明した。しかし本発明はこれに限られず、パルスレーザの発振条件は、基板の法線方位の変化させる方向および量に拘わらず一定として、基板の法線方位の調整が可能となり、操作性がよく好ましい方法である。

　本発明は、パルスレーザの発振条件を変更することなく、基板の法線方位の変化させることができる。したがって、上述したディスク駆動装置の取付板における法線方位の調整や、スピンドルモータの軸傾きの調整のみならず、各種基板の法線方位の調整に適用することができる。

Claims

　基板上のある特定領域の法線方位を変化させる方向および量に応じて、前記特定領域の周囲の所定領域に、収束させたパルスレーザを照射して局部的に溶融・冷却させることにより、前記特定領域の法線方位を変化させる、基板の法線方位の調整方法において、
　前記パルスレーザを照射する所定領域内において、前記パルスレーザを照射する箇所を複数とし、
　前記法線方位を変化させる方向に応じて、前記所定領域の中心位置と範囲を定め、
　前記法線方位を変化させる量は、前記所定領域内における前記パルスレーザを照射する箇所の数を増減することにより増減させ、
　前記パルスレーザを照射する箇所の分布密度は、前記照射する箇所を増やす場合には高くし、前記照射する箇所を減らす場合には低くし、
　前記パルスレーザの発振条件は、前記法線方位を変化させる方向および量に拘わらず、実質的に一定としたことを特徴とする基板の法線方位の調整方法。
　請求項１に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記所定の領域に前記パルスレーザを照射する箇所の数と、前記特定領域の法線が変化する方向および量との関係を予め把握しておき、
　前記関係に基づき、前記法線方位を変化させる量に応じて前記パルスレーザを照射する箇所の数を決定する、基板の法線方位の調整方法。
　請求項１に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記所定領域は、特定領域の中央付近を中心として、略環状であり、
　複数の前記照射箇所は、前記略環状の所定領域内にあり、
　前記照射箇所の分布密度は、特定領域の中央と照射する位置との距離と、互いに隣接する照射箇所の間の距離とによって制御する、基板の法線方位の調整方法。
　請求項３に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記所定領域は、特定領域の中央を中心として、一定の角度範囲とした、基板の法線方位の調整方法。
　請求項４に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記所定領域は、前記特定領域の中央を中心として略半周に亘って広がっている、基板の法線方位の調整方法。
　請求項１から５のいずれに記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記基板は、前記パルスレーザの局所的な照射による加熱・冷却により、変形を起こす材料よりなる、基板の法線方位の調整方法。
　請求項６に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記基板はアルミニウム合金または鋼板である、基板の法線方位の調整方法。
　請求項７に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記基板はスピンドルモータのベース基板である、基板の法線方位の調整方法。
　請求項８に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記ベース基板は、スピンドルモータの軸受部が固定される平面を有し、前記平面の周縁は周方向に剛性が異なる、基板の法線方位の調整方法。
　請求項７に記載の基板の法線方位の調整方法において、
　前記基板は光ディスクドライブ用モータのベース基板である、基板の法線方位の調整方法。