WO2009074297A3 - Vorrichtung und verfahren zum reinigen von gegenständen - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Reinigen von dünnen und/oder bruchempfindlichen Wafern (6), wobei die Wafer (6) mit ihrer einen Seite an einer Trägereinrichtung (2) fixiert sind und jeweils zwischen zwei benachbarten Wafern ein Zwischenraum (7) ausgebildet ist. Die Vorrichtung besteht im Wesentlichen aus: - einer Duscheinrichtung (15), mit der Fluid in die jeweiligen Zwischenräume (7) eingebracht wird, mit mindestens einem eine Mehrzahl von Düsen aufweisenden Duschelement (16), welches zweiteilig ausgestaltet ist, wobei jeweils ein Teil seitlich an einer Längsseite des Beckens (14) derart angeordnet ist, dass beide Teile parallel zur Längsachse des Beckens verlaufen und hinsichtlich ihrer Strömungsrichtung gegenständig positioniert sind, sowie - einem Becken (14), das mit Fluid befüllbar ist und derart bemessen ist, das es die Trägereinrichtung (2) aufnimmt, und - einer alternierenden Steuerung, mit der die beiden Teile des mindestens einen Duschelementes (16) derart steuerbar sind, dass direkt gegenüber liegende Düsen nicht gleichzeitig aktiviert werden, wobei die Aktivierung das Ausgeben oder Absaugen von Fluid betrifft.
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