WO2009053267A1 - Komplexwertiger räumlicher lichtmodulator - Google Patents

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WO2009053267A1
WO2009053267A1 PCT/EP2008/063727 EP2008063727W WO2009053267A1 WO 2009053267 A1 WO2009053267 A1 WO 2009053267A1 EP 2008063727 W EP2008063727 W EP 2008063727W WO 2009053267 A1 WO2009053267 A1 WO 2009053267A1
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WO
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light modulator
grating
phase
line
spatial light
Prior art date
Application number
PCT/EP2008/063727
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English (en)
French (fr)
Inventor
Stephan Reichelt
Original Assignee
Seereal Technologies S.A.
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Publication date
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Priority to JP2010529350A priority patent/JP5634265B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light

Definitions

  • the invention relates to a spatial light modulator with regularly arranged pixels, each pixel having a modulator element in the form of a controllable line grating for complex-valued modulation of a wavefront, and a method with which the complex-valued modulation can be realized.
  • Spatial light modulators include at least one spatial light modulator (SLM) implemented in this invention based on MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems).
  • SLM spatial light modulator
  • MEMS Micro-Electro-Mechanical Systems
  • MEMS-based SLM systems have become known in various embodiments and under various names.
  • Known embodiments are mirror arrays such as DMD (Digital Mirror Devices), DM (Piston Micro Mirror Array) and diffraction grating-based systems such as GLAT (Grating Light Valve), SOM (Spatial Optical Modulator) or GEMS (Grating Electro Mechanical System).
  • Spatial light modulators are used in almost all areas which are based on optical technologies and in which variable or adaptive optical elements are advantageously used.
  • spatial light modulators range from display and projection systems for the consumer market to microscopy (optical tweezers, phase filters, digital holographic microscopy, in vivo imaging), beam and wave front shaping using dynamic diffractive elements (laser material processing, measurement technology, focus control), optical metrology (Digital holography, fringe projection, Shack-Hartmann sensor) to applications in maskless lithography, in ultra-fast laser pulse modulation (dispersion compensation) or in terrestrial telescopes (dynamic aberration correction).
  • microscopy optical tweezers, phase filters, digital holographic microscopy, in vivo imaging
  • beam and wave front shaping using dynamic diffractive elements laser material processing, measurement technology, focus control
  • optical metrology Digital holography, fringe projection, Shack-Hartmann sensor
  • maskless lithography in ultra-fast laser pulse modulation (dispersion compensation) or in terrestrial telescopes (dynamic aberration correction).
  • Pixels acting in the MEMS-based SLM systems are diffraction-grating-based modulator elements designed according to the principle of adjustable diffraction efficiency in operate the reflected orders of phase gratings, for efficiency reasons mostly the ⁇ 1st orders are used.
  • the diffraction efficiency ⁇ of a diffractive element is generally defined as the quotient of the intensity of the exiting wavefront and the intensity of the incident wavefront.
  • the diffraction is realized in a phase grating by a phase deviation, which is either binary or continuously adjustable.
  • the binary control requires a pulse operation in order to set the desired gray value in amplitude via a pulse width modulation.
  • Embodiments of diffraction grating-based MEMS SLMs have been known which move vertically either vertically to the line grids or to individual ridges of the line grids for modulation.
  • Known diffraction grating-based systems have in common that an amplitude modulation of the diffracted wave field is desired.
  • the phase of the diffracted wave field can not be selectively modulated, since it behaves on the one hand not decoupled from the amplitude modulation and on the other hand, only very slightly varies.
  • micro-lifting mirror arrays exist as spatial light modulators which specifically only modulate the phase of a reflected wave field.
  • the phase is modulated by adjacent pixels having a height offset with respect to each other which results in a relative phase shift of the reflected wave field.
  • spatial light modulators are required for the most diverse technical fields with the following properties: a large number of pixels and a small pixel size (ie large space bandwidth product), high modulation speed, high dynamic range, high diffraction efficiency, analog or digital control with high accuracy and Reproducibility, high fill factor, application in different spectral ranges of light and at different power densities.
  • the object of the invention is to spatially and temporally modulate the complex amplitude of a wave field incident on a pixelated light modulator in each pixel.
  • both components of the complex amplitude, the location-dependent real amplitude and the location-dependent phase independently and preferably in the respective entire range of values (real amplitude: 0 ⁇ A ⁇ 1 and phase: 0 ⁇ ⁇ 2 ⁇ ) be adjustable in each pixel.
  • Such a spatial light modulator should realize an improved diffraction efficiency, resolution and / or phase reconstruction quality.
  • the mode of operation of the spatial light modulator (SLM) according to the invention is based on the laws of scalar diffraction theory, especially when applied to line grids.
  • the SLM has a plurality of pixels regularly arranged in a one- or two-dimensional array and is illuminated by a wave field.
  • Each pixel of the SLM contains a modulator element in the form of a controllable reflective line grating with a grating period p whose position according to the invention, controlled by a system control, can be changed independently of one another in two directions.
  • the location of the line grid once normal to the plane of the light modulator and on the other side laterally in a plane parallel to the light modulator plane, but perpendicular to the structure of the line grid, mutually independently variable to perform a phase and an amplitude modulation of the incident wave field. Due to the changes in position is achieved that coupled with the amplitude modulation phase modulation of the incident wave field receives an additional phase value, which gives the resulting phase distribution.
  • the line grid of a pixel consists of a plurality of grating bands or of a grating strip which may have a plurality of grating webs.
  • the lattice webs are arranged according to the invention cantilevered over a base plate, which is located in the light modulator plane or a plane parallel thereto.
  • the grid bars may be formed with a spacing between adjacent grid bars.
  • the line grid includes a plurality of closely spaced grid bars.
  • the grid bars are movably mounted to move in the lattice plane from a starting position in a direction perpendicular to the structure of the line grid can. In this case, individual grid bars or all grid bars can be moved together in one pixel.
  • the plurality of pixels are controlled by electrical signals from a system controller such that the amplitude and phase of the wavefronts falling on the modulator elements in each pixel are independently modulated.
  • Control signals originating from the system controller cause a plurality of actuator elements to change the position of the line grids connected to them by movable connecting means relative to the base plate.
  • the changes in the position of the line grids relative to the base plate caused by the actuator elements advantageously cover the entire value range of the amplitude and phase values between the individual pixels.
  • the effect of the actuator elements is preferably based on the principles of electrostatics, electromagnetics or the piezoelectric effect.
  • Another characteristic of the invention is that the resulting amplitude and phase distribution generated in the light modulator plane for a switching state of the light modulator can be binary, N-stage binary or sawtooth.
  • the invention further relates to a spatial light modulation device having a complex-valued light modulator according to the invention whose pixels are operated selectively in the amplitude mode, in the phase mode or in the complex-valued mode, and with at least one light source, an imaging optics and a filter unit. Unwanted diffraction orders are hidden by the intended filter unit. In the grid-based SLM, preferably only one diffraction order of the modulated wave field is used.
  • the object of the invention is further achieved by a method for modulating a wave field incident on a spatial light modulator with regularly arranged reflective pixels, each pixel having a reflective modulator element in the form of a controllable line grating with a grating period p.
  • a system controller controls a change in position of the line grating normal to the plane of the light modulator and laterally in a plane parallel to the light modulator plane, but perpendicular to the structure of the line grating, independent of each other, wherein a phase modulation of the incident wave field coupled to an amplitude modulation to be performed receives an additional phase value.
  • the method steps of changing the position of the line grid independently of one another are carried out laterally in a plane parallel to the plane of the light modulator, but perpendicular to the structure of the line grating, to the phase change of the reflected wavefront and normal to the plane of the light modulator to change the amplitude of the wavefront.
  • the value of the additional phase modulation is determined either by a model calculation by a computing unit included in the system control is integrated.
  • Another possibility of determining the additional phase value uses a calibration measurement, the values of which are stored in a memory means and are called up by a computing unit.
  • a further embodiment of the method provides that the system controller realizes a stepped phase profile by the movement of grating bands in the normal direction by moving N grating bands per grating period p offset from each other by a distance ⁇ t / N in a line grid.
  • the SLM can also be deactivated in such a way that different grating periods are realized in different pixels of the array. This achieves different exit angles of the diffracted wave field.
  • the SLM can be divided into different pixel areas, each of which reconstructs another predetermined wave field. This can with the inventive
  • FIG. 1 shows a complex light modulator according to the invention with a number of pixels in a 2D arrangement and an enlarged view of a single pixel
  • FIG. 3a, b, c an embodiment of a pixel according to FIG. 2a in three different switching states in side views, FIG.
  • FIG. 4a, b, c show a further embodiment of a pixel according to FIG. 2b in three different switching states in side views
  • FIG. 5a, b, c show a further embodiment of a pixel in three different switching states in side views
  • Fig. 12a, b show the operation curves for a pure normal (a) or mere lateral (b) adjustment of a line grating, wherein (a) represents the prior art, and 13 is a flowchart for setting a pixel value in the complex
  • Light modulator for different types of modulation of incident wavefronts.
  • SLM light modulator
  • the amplitude and phase distribution in the plane of the light modulator must be realized in each case as a binary, N-stage binary or sawtooth distribution.
  • the existing grating is illuminated with a coherent wavefront, preferably in the normal direction, with the incident wave having an amplitude and phase.
  • the complex spatial SLM of the invention consists of an array having a plurality of regularly arranged reflective pixels.
  • the array of pixels can be realized as a one- or two-dimensional array.
  • FIG. 1 shows a plan view of a two-dimensional pixel array of said SLM.
  • the arrow shows a magnified grid-based pixel as a detail.
  • the illustration of the pixel shows that unspecified actuator elements can contact a movable connection means laterally.
  • the connecting means may be, for example, a frame with comb-shaped side parts, are movably connected to the grid bars or grid bands of a line grid.
  • the lateral extent of a pixel is in the range of typically a few microns to a few hundred microns.
  • FIGS. 2a and 2b show two basic exemplary embodiments according to the invention of one pixel each in perspective views. Each pixel contains a designed as a coplanar line grating modulator element, which is controlled by a system control, not shown.
  • the line grid in FIG. 2a contains mutually parallel movable grid bars or grid bands, which are laterally separated from what are known as grid grooves.
  • the grating tapes have a pitch corresponding to a grating period p of the line grating. They are arranged cantilevered with a distance t 0 over a base plate, where t 0 indicates the starting position for the movement to be performed.
  • Each pixel of the light modulator can be assigned a separate base plate. In further embodiments of the invention, however, the base plate may also be a common basic element for all pixels.
  • the lateral displacement path to be generated for the modulation of the incident wave fields parallel to the plane of the base plate and simultaneously parallel to the grid vector of the line gratings is indicated by ⁇ x, the displacement path normal to the plane of the base plate with ⁇ t. Both adjustment paths are indicated by double arrows.
  • the directions of incidence of the coherent wave fields to be modulated are indicated by an arrow in the direction of the line grating, and the directions of the 0th and of the selected ⁇ 1st diffraction orders of the reflected modulated wave fields are indicated by oppositely directed arrows.
  • the grid bands are either made of self-reflective material or reflective coated.
  • the base plate is also made of either self-reflective material or reflective coated or absorbent or absorbent coated.
  • the grid bands are connected to each other via a connecting means, not shown, for example, a movable frame.
  • a connecting means not shown, for example, a movable frame.
  • one or more controllable actuators may be attached, which ensure the lateral (in-plane) adjustments of the line grid.
  • other controllable actuators can be attached to this frame, which realize the normal (piston-like, out-of-plane) adjustments of the line grid. The latter movements are strokes.
  • the actuators are controlled by control signals of the system control, not shown.
  • actuators can be used, for example, according to the principles of electrostatics, electromagnetics or the piezoelectric effect work.
  • a lateral movement can be realized, for example, electrostatically by means of a so-called comb-shaped actuator, which can simultaneously pick up and move a plurality of grid belts.
  • Lifting motion may also be electrostatic, e.g. be produced by means of so-called spring (bimorph-flexure) or lever (bimorph-cantilever) actuators.
  • C-SLM allows the modulator elements arranged in the pixels to be adjusted laterally and normally decoupled from one another over a small range and thereby allow incidental wave fields to be modulated independently of each other in amplitude and phase.
  • the line grid of a pixel is formed from lattice webs arranged parallel to one another with a very small spacing. They are cantilevered over a base plate as grid belts, of which e.g. every second grid belt can be adjusted normally.
  • the individual grid bands are so close to each other that they can be adjusted just without mutual interference normal.
  • the base plate for the light of a predetermined wavelength has an absorbing property to effectively suppress the influence of the light passing through the very small distance.
  • the grid belts themselves are designed to be reflective again.
  • the second embodiment of a light modulator is preferably used when the C-SLM is to be operated in a small order of the effective phase difference ⁇ , i. For example, if the spacing of the grid bands from the base plate should be between 0 and ⁇ / 4.
  • a plurality of adjacent grating bands may be moved together normally, so as to realize either other effective grating periods p or other effective duty cycles of the line grids of a pixel.
  • FIGS. 3a to 3c show an embodiment of a pixel according to FIG. 2a in three different switching states, in each case in side views. Over a base plate in each case individual parallel grid bars, separated by a grid groove between two adjacent grid bars, can be seen with a grid period p. Both the base plate and the grid bars are reflective.
  • Fig. 3a shows a pixel of the C-SLM in its initial state.
  • Fig. 3b the grating webs of the pixel have been moved by the adjustment .DELTA.t in the direction of the base plate.
  • the initial position or the initial distance t 0 is shown in dashed lines.
  • the switching state associated with this movement is also realized with SLM from the prior art and allows it to manipulate the diffraction efficiency ⁇ targeted.
  • This normal adjustment of the grid bars is also, as described above, associated with a small phase shift. However, this causes a coupled to the amplitude modulation marginal phase modulation of the incident wavefronts.
  • a lateral adjustment .DELTA.x of the grid bars can then be set independently of the already performed normal adjustment .DELTA.t the location-dependent phase value per pixel. This can be seen in Fig. 3c.
  • the lateral adjustment of all lattice webs takes place here together and can be carried out for example by comb-shaped actuator elements, which are controlled by the system control by appropriate control signals.
  • FIGS. 4a to 4c show the side views of a pixel of the second exemplary embodiment according to FIG. 2b in three different switching states.
  • FIG. 4a parallel, closely juxtaposed reflective lattice webs with an effective grating period p can be seen above a base plate.
  • the self-supporting grid bars act like an ordinary mirror surface.
  • the grid bars are designed here as grid belts. 4b every second mesh belt has been activated, and relative to the initial distance t 0 moves to the displacement .DELTA.t in the normal direction shown above not driven actuators is in accordance with the switching state in Fig..
  • Each second grating band thus belongs to a plane which is parallel to the base plate and thus to the plane of the light modulator.
  • the grating bands are laterally moved in their respective plane and perpendicular to the structure of the line grating by the adjustment path ⁇ x.
  • the displacement ⁇ t in each pixel defines how the diffracted intensities are distributed to the individual diffraction orders.
  • a plurality of adjacent grid bands may also be moved normally together to realize other effective grid periods p or other effective duty cycles of the line grids in the pixel. This leads either to other predetermined diffraction angles or to other resulting diffraction efficiencies, which can be advantageously used for modulation.
  • FIGS. 5a to 5c show the side views of a pixel of a third exemplary embodiment in three different switching states.
  • each grid band can be controlled separately from each other according to the switching state.
  • the individual grating bands of a grating period p are preferably moved normally such that they have a distance ⁇ t / N from each other. In this way, a stepped phase profile is realized and a higher diffraction efficiency per pixel is achieved.
  • a maximum diffraction efficiency ⁇ is achieved if the displacement ⁇ t is chosen such that a so-called blaze angle ⁇ is approximated.
  • This type of grid is called N-stage binary.
  • the setting of the desired amplitude value per diffraction order is realized via an angle ⁇ predetermined by the adjustment path .DELTA.t and the grating period p, which corresponds to the blaze angle .gamma. For a maximum diffraction efficiency.
  • the grating belts are laterally moved in their respective plane by the adjustment ⁇ x.
  • the lateral adjustment can alternatively be such that, instead of the common displacement of all the lattice bands by ⁇ x, the lattice bands are individually adjusted in their height in such a way that the phase jump takes place from one period p to the next on an adjacent lattice band.
  • the N-ary binary line grid travels laterally over the base plate.
  • FIGS. 6a to 6c show the side views of a pixel of a fourth exemplary embodiment in three different switching states.
  • parallel, closely juxtaposed reflective grating bands with an effective grating period p in FIG. 6a can be seen above a base plate.
  • the base plate has an absorbing property for the light of a given wavelength, while the grating tapes themselves are reflective.
  • the phase deviation .DELTA.t is adjusted by means of a rotational movement of the individual grid belts about its axis, as can be seen in FIG. 6b.
  • the maximum diffraction efficiency is achieved when the angle ⁇ corresponds to the blaze angle.
  • This type of line grid is called a blazed or sawtooth grid. It is characterized by a high diffraction efficiency in the desired diffraction order.
  • the grating bands are laterally moved in their respective plane by the adjustment path ⁇ x in order to realize the additional phase shift.
  • the diffraction efficiency is ⁇ (in relation to the amplitude) and below are the ones resulting from the normal and lateral adjustment
  • the additional phase value which forms the required or predefined location-dependent phase value of the complex amplitude with the phase value coupled from the amplitude modulation, can be determined.
  • the diffraction efficiency ⁇ here is an unnormalized, theoretical quantity.
  • the calculation model corresponds with its values to those of FIG. 7.
  • the diffraction efficiency is ⁇ (in relation to the amplitude) and below are the phase contributions ⁇ and ⁇ resulting from the normal and lateral adjustment.
  • the adjustments of the line grids in the normal and lateral direction take place here but only over a period.
  • the calculation model corresponds with its values to those of FIG. 7.
  • the normal adjustment here extends over a range of (n ⁇ / 4) ⁇ t ⁇ (n + 1) ⁇ / 4.
  • FIG. 11 shows the operation curve of the complex-valued spatial light modulator according to the invention.
  • Each point of this operation curve corresponds to the end point of a resulting phasor in the complex plane of the real and imaginary parts of complex amplitudes realizable with the C-SLM in this plane according to the invention.
  • the dot density depends on the discretization distance in the lateral and normal directions, which in this example is 6 bits in each direction of the adjustment.
  • FIGS. 12a and 12b show, by way of example, the operation curves of the modulation of wavefronts for a purely normal (a) and a purely lateral (b) adjustment of a grating-based light modulator.
  • the solution in Fig. 12a corresponds to the prior art for a pure amplitude modulation or a coupled amplitude and phase modulation.
  • the operation curve of Fig. 12b is generated when a mere lateral displacement of the line gratings in the light modulator, e.g. in pure phase modulation.
  • each modulator element in each pixel may be addressed with a value for either amplitude or phase modulation or for complex-valued modulation.
  • use is preferably provided in the complex-valued mode.
  • amplitude or phase values or, in common, amplitude and phase values for modulation e.g. can be stored in a look-up table.
  • the required normal or / and lateral adjustment paths ⁇ t and ⁇ x of the grid bars or the grid bands in each pixel are determined by the system controller. These values can also be stored in the look-up table.
  • Control signals are generated by the system control in accordance with these adjustment paths, which control the intended actuators at each pixel such that the determined adjustments of the grid bars or grid bands be made.
  • Coherent wavefronts falling on these adjusted line gratings receive the intended modulation in phase and / or amplitude.
  • the adjustment paths .DELTA.x and .DELTA.t of the grid bars or the grid bands can be stored in the look-up table as a function of preferred wavelengths ⁇ and the preferred modulation type.
  • the complex-valued SLM can be combined in a further embodiment example with at least one imaging optics and at least one filter unit.
  • the filter unit is achieved that unwanted diffraction orders are blocked and only the intended modulated diffraction order is passed.
  • the present invention provides a complex valued spatial light modulator (C-SLM) for continuous and independent spatial modulation of both the phase and amplitude of a wavefront of coherent light incident on the C-SLM.
  • C-SLM complex valued spatial light modulator
  • the C-SLM according to the invention can also be used for pure phase modulation (phase-only modulation) or only for amplitude modulation (amplitude-mostly modulation).
  • the production of the C-SLM is carried out using technologies of microsystems technology or MEMS fabrication techniques, such as lithography, thin-film deposition and doping, etching, bonding and BuIk micromachining or surface micromachining.
  • the orientation of the grid in space is defined by the grid vector. Its direction runs in the direction of the gradient of the phase function.
  • a diffraction grating is its duty cycle and its aspect ratio.
  • the duty cycle is the quotient of the web width b and the grating period p, while the aspect ratio indicates the ratio between the texture depth t and the grating period p of the webs.
  • the scalar view of the diffraction effects can be used with sufficient accuracy if the grating period p is many times greater than the wavelength of the incident light and only the far-field effects of the diffraction phenomena are of interest.
  • the reconstruction properties in the far field are decisive.
  • the diffraction pattern observed in the far field corresponds to the Fourier transform of the field immediately after the diffracting structure. From this, the diffraction efficiency ⁇ and the phase ⁇ of the resulting far field can be derived.
  • the diffraction efficiency ⁇ and the phase ⁇ are given using the example of two-stage binary line grids.
  • a 0 , Ai are the amplitude values of the emerging wave in the groove or on the web of the binary structure. These correspond to the amplitude reflection coefficients, which can be determined according to the Fresnel equations.
  • the refractive index (real for dielectrics, complex for metals and semi-metals) of the reflecting surfaces must be known.
  • the phase ⁇ represents the phase shift of the reflected wave between the land and groove regions.
  • phase of the resulting field is obtained from the arctangent of the quotient of the imaginary part and the real part of the wave field in the far field. Accordingly, for the phase ⁇ in the diffraction orders m is not equal to zero
  • the lateral displacement can also be understood as a phase offset added to the linear phase function of a single pixel.
  • the solution according to the invention provides for combining the lateral and normal grid displacement and the associated phase and amplitude modulation of the diffracted light.
  • the complex-valued amplitude U of a pixel with the indices (k, I) of a pixel matrix can then be expressed as

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Abstract

In einem pixelierten räumlichen Lichtmodulator mit einem gitterbasierten Modulatorelement je Pixel sollen eine ortsabhängige reelle Amplitude und eine ortsabhängige Phase voneinander unabhängig zur komplexwertigen Modulation einer kohärenten Wellenfront einstellbar sein. Die Erfindung betrifft einen komplexwertigen räumlichen Lichtmodulator mit einem regulär aufgebauten Pixelarray, wobei jeder Pixel ein steuerbares reflektierendes Liniengitter aufweist. Die Modulation der Amplitude und Phase erfolgt voneinander unabhängig in jedem Modulatorelement durch Relativbewegungen des freitragenden Liniengitters gegenüber einer Basisplatte. Die Liniengitter sind derart aufgehängt und gelagert, dass durch eineSystemsteuerung gesteuert sowohl der Abstand zwischen Basisplatte und Liniengitter (normale Verstellung zur Amplitudenmodulation) als auch die laterale Verstellung des Liniengitters in der Gitterebene selbst (Phasenmodulation) verändert wird. Dadurch wirddas reflektierte Licht voneinander unabhängig moduliert. Die Erfindung betrifft ebenso ein Verfahren zum komplexwertigen Modulieren einer Wellenfront. Der Lichtmodulator ist in Bereichen einsetzbar, die auf optischen Technologien basieren.

Description

Komplexwertiger räumlicher Lichtmodulator
Die Erfindung betrifft einen räumlichen Lichtmodulator mit regulär angeordneten Pixeln, wobei jeder Pixel ein Modulatorelement in Form eines steuerbaren Liniengitters zur komplexwertigen Modulation einer Wellenfront aufweist, sowie ein Verfahren, mit dem die komplexwertige Modulation realisiert werden kann.
Räumliche Lichtmodulationseinrichtungen umfassen mindestens einen räumlichen Lichtmodulator (SLM), der in dieser Erfindung auf der Basis von MEMS (Micro- Electro-Mechanical Systems) ausgeführt ist.
MEMS-basierte SLM-Systeme sind in verschiedenen Ausführungsformen und unter verschiedenen Namen bekannt geworden. Bekannte Ausführungsbeispiele sind Spiegelarrays wie DMD (Digital Mirror Device), DM (Deformable Mirror), Mikro- Hubspiegelarrays (Piston Micro Mirror Array) und beugungsgitterbasierte Systeme wie GLV (Gräting Light Valve), SOM (Spatial Optical Modulator) oder GEMS (Gräting Electro Mechanical System). Räumliche Lichtmodulatoren werden in nahezu allen Bereichen eingesetzt, welche auf optischen Technologien basieren und bei denen variable bzw. adaptive optische Elemente vorteilhaft zum Einsatz kommen.
Die Anwendungsfelder von räumlichen Lichtmodulatoren reichen von Display- und Projektionssystemen für den Verbrauchermarkt über Mikroskopie (Optische Pinzette, Phasenfilter, Digitale holographische Mikroskopie, in-vivo Bildgebung), Strahl- und Wellenfrontformung mittels dynamischer diffraktiver Elemente (Lasermaterialbearbeitung, Messtechnik, Fokuskontrolle), optische Messtechnik (Digitale Holographie, Streifenprojektion, Shack-Hartmann Sensor) bis hin zu Anwendungen in der maskenlosen Lithographie, in der ultra-schnellen Laserpulsmodulation (Dispersionskompensation) oder bei terrestrischen Teleskopen (dynamische Aberrationskorrek- tur).
In den MEMS-basierten SLM-Systemen wirkende Pixel sind beugungsgitterbasierte Modulatorelemente, die nach dem Prinzip der einstellbaren Beugungseffizienz in den reflektierten Ordnungen von Phasengittern arbeiten, wobei aus Effizienzgründen zumeist die ± 1. Ordnungen verwendet werden.
Die Beugungseffizienz η eines diffraktiven Elementes ist allgemein als Quotient aus der Intensität der austretenden Wellenfront und der Intensität der einfallenden Wellenfront definiert. Die Beugung wird bei einem Phasengitter durch einen Phasenhub realisiert, der entweder binär oder kontinuierlich einstellbar ist. Die binäre Ansteuerung erfordert einen Pulsbetrieb, um über eine Pulsweitenmodulation den gewünschten Grauwert in der Amplitude einzustellen.
Es sind Ausführungsformen von beugungsgitterbasierten MEMS-SLM bekannt geworden, die zur Modulation entweder die Liniengitter insgesamt oder einzelne Stege der Liniengitter vertikal bewegen. Bekannten beugungsgitterbasierten Systemen ist gemeinsam, dass eine Amplitudenmodulation des gebeugten Wellenfeldes angestrebt wird. Die Phase des gebeugten Wellenfeldes kann nicht gezielt moduliert werden, da sie sich einerseits nicht entkoppelt von der Amplitudenmodulation verhält und andererseits nur sehr geringfügig variiert.
Dahingegen existieren Mikro-Hubspiegelarrays als räumliche Lichtmodulatoren, welche gezielt nur die Phase eines reflektierten Wellenfeldes modulieren. Die Phase wird moduliert, indem benachbarte Pixel einen Höhenversatz zueinander aufweisen, der zu einer relativen Phasenverschiebung des reflektierten Wellenfeldes führt.
Für viele Anwendungen ist entweder eine reine Amplituden-, reine Phasen- oder die beschriebene gekoppelte Amplituden- und Phasenmodulation einer Wellenfront ausreichend. Andererseits existieren zahlreiche Anwendungen, bei denen eine komplexwertige Modulation einer Wellenfront wesentlich ist. Unter komplexwertiger Modulation wird eine Einstellung komplexer Werte mit Real- und Imaginärteil, also hier von Amplitude und Phase, verstanden.
Anwendungsbeispiele für die eine komplexwertige Modulation wesentlich ist, sind holographische Display-Systeme, Anwendungen in der optischen Informationsverarbeitung und Datenspeicherung sowie die maskenlose Lithographie. Die Forderung nach einer komplexwertigen Modulation spiegelt sich auch in verschiedensten Dokumenten zu diesen Anwendungen wider.
Beispielsweise wurden Kodierungsmethoden entwickelt, mit denen auch mit reinen Phasen- oder Amplitudenhologrammen eine komplexe Amplitude eines Wellenfeldes gespeichert werden kann. Allerdings gehen diese Methoden auf Kosten von Effizienz, Auflösung oder Phasenrekonstruktionsgüte.
In den Dokumenten EP 0 477 566 B1 und US 7 227 687 B1 wird beschrieben, wie durch das Zusammenfassen von mehreren phasenschiebenden Subpixeln zu einem größeren Pixel ein komplexer Wert pro Pixel realisiert wird und damit komplexwertige räumliche Lichtmodulatoren aufgebaut werden können. Aus der Patentschrift US 3 890 035 sind ferner Kombinationen von mehreren SLM bekannt geworden, bei denen die Modulation von Amplitude und Phase durch zwei hintereinander angeordnete SLM realisiert wird.
Es ist festzustellen, dass räumliche Lichtmodulatoren für die verschiedensten Technikgebiete mit folgenden Eigenschaften benötigt werden: eine große Pixelanzahl sowie eine kleine Pixelgröße (d.h. großes Space Bandwidth Product), hohe Modulationsgeschwindigkeit, hoher dynamischer Bereich, hohe Beugungseffizienz, analoge oder digitale Ansteuerung mit hoher Genauigkeit und Reproduzierbarkeit, hoher Füllfaktor, Anwendung in verschiedenen Spektralbereichen des Lichts und bei verschiedenen Leistungsdichten.
Aus der Theorie der beugungsbasierten Gittersysteme ist bekannt, dass bei der Modulation von Wellenfeldern in reflektiven gitterbasierten räumlichen Lichtmodulatoren bei einer relativen Änderung des Abstandes des Gitters zu einer Basis sowohl die Beugungseffizienz (Amplitudenquadrat) als auch in geringem Maße die Phase beeinflusst werden. Beide Größen sind jedoch miteinander gekoppelt, d.h. nicht unabhängig voneinander einstellbar.
Um die Phase der reflektierten Wellenfronten unabhängig von einer relativen Gitterverschiebung normal zur Modulatorebene einstellen zu können, ist ein weiterer Freiheitsgrad in der Bewegung der Gitter notwendig. Aus der interferomethschen Messtechnik ist bekannt, dass eine Verschiebung eines Liniengitters eine Phasenverschiebung in den Beugungsordnungen m ≠ 0 bewirkt. Wird ein Liniengitter parallel zu seinem Gittervektor und senkrecht zur einfallenden Wellenfront bewegt, wird die Phase der in m. Ordnung gebeugten Welle um m-2π mal der Anzahl der Gitterperioden p geschoben, die durch einen festgehaltenen Bezugspunkt wandern.
Zum besseren Verständnis des erfindungsgemäßen räumlichen Lichtmodulators werden die wesentlichen theoretischen Grundlagen am Ende der Beschreibung detaillierter behandelt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die komplexe Amplitude eines auf einen pixelierten Lichtmodulator einfallenden Wellenfeldes in jedem Pixel räumlich und zeitlich zu modulieren. Dabei sollen beide Komponenten der komplexen Amplitude, die ortsabhängige reelle Amplitude und die ortsabhängige Phase, unabhängig voneinander und vorzugsweise im jeweiligen gesamten Wertebereich (reelle Amplitude: 0 < A < 1 sowie Phase: 0 < φ < 2π ) in jedem Pixel einstellbar sein. Ein derartiger räumlicher Lichtmodulator soll eine verbesserte Beugungseffizienz, Auflösung und/oder Phasenrekonstruktionsgüte realisieren.
Die Aufgabe wird gemäß den kennzeichnenden Merkmalen der Ansprüche 1 und 20 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Wirkungsweise des erfindungsgemäßen räumlichen Lichtmodulators (SLM) beruht auf den Gesetzmäßigkeiten der skalaren Beugungstheorie, speziell in der Anwendung auf Liniengitter.
Der SLM weist eine Vielzahl von Pixeln auf, welche regulär in einem ein- oder zweidimensionalen Array angeordnet sind, und wird von einem Wellenfeld beleuchtet. Jeder Pixel des SLM enthält ein Modulatorelement in Form eines steuerbaren reflektierenden Liniengitters mit einer Gitterperiode p, dessen Lage erfindungsgemäß von einer Systemsteuerung gesteuert in zwei Richtungen voneinander unabhängig veränderbar ist. Speziell ist die Lage des Liniengitters einmal normal zur Ebene des Lichtmodulators und zum anderen lateral in einer Ebene parallel zur Lichtmodulatorebene, jedoch senkrecht zur Struktur des Liniengitters, voneinander unabhängig veränderbar, um eine Phasen- und eine Amplitudenmodulation des einfallenden Wellenfeldes auszuführen. Durch die Lageveränderungen wird erreicht, dass die mit der Amplitudenmodulation gekoppelte Phasenmodulation des einfallenden Wellenfeldes einen zusätzlichen Phasenwert erhält, der die resultierende Phasenverteilung ergibt.
Das Liniengitter eines Pixels besteht bekanntermaßen aus mehreren Gitterbändern oder aus einem Gitterband, das mehrere Gitterstege aufweisen kann.
Die Gitterstege sind erfindungsgemäß freitragend über einer Basisplatte angeordnet, die sich in der Lichtmodulatorebene oder einer dazu parallelen Ebene befindet. In einer ersten Ausführungsform der Erfindung können die Gitterstege mit einem Abstand zwischen benachbarten Gitterstegen ausgebildet sein. In einer zweiten Ausführungsform enthält das Liniengitter mehrere eng nebeneinander liegende Gitterstege. In beiden Ausführungsformen sind die Gitterstege bewegbar gelagert, um sich in der Gitterebene von einer Ausgangslage in eine Richtung senkrecht zur Struktur des Liniengitters bewegen zu können. Dabei können in einem Pixel einzelne Gitterstege oder alle Gitterstege gemeinsam bewegt werden. Die Vielzahl der Pixel wird durch elektrische Signale einer Systemsteuerung derart gesteuert, dass die Amplitude und die Phase der in jedem Pixel auf die Modulatorelemente fallenden Wellenfronten voneinander unabhängig moduliert werden.
Von der Systemsteuerung ausgehende Steuersignale veranlassen eine Vielzahl von Aktorelementen, die Lage der mit ihnen durch bewegliche Verbindungsmittel verbundenen Liniengitter relativ zur Basisplatte zu ändern. Die durch die Aktorelemente hervorgerufenen Veränderungen der Lage der Liniengitter relativ zur Basisplatte decken dabei vorteilhaft den gesamten Wertebereich der Amplituden- und Phasenwerte zwischen den einzelnen Pixeln ab.
Die Wirkung der Aktorelemente beruht vorzugsweise auf den Prinzipien der Elektrostatik, der Elektromagnetik oder des Piezoeffektes. Ein weiteres Kennzeichen der Erfindung besteht darin, dass die in der Lichtmodulatorebene erzeugte resultierende Amplituden- und Phasenverteilung für einen Schaltzustand des Lichtmodulators binär, N-stufig binär oder sägezahnförmig sein kann.
Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine räumliche Lichtmodulationseinrichtung mit einem erfindungsgemäßen komplexwertigen Lichtmodulator, dessen Pixel wahlweise im Amplitudenmodus, im Phasenmodus oder im komplexwertigen Modus betrieben werden, sowie mit mindestens einer Lichtquelle, einer Abbildungsoptik und einer Filtereinheit. Unerwünschte Beugungsordnungen werden durch die vorgesehene Filtereinheit ausgeblendet. Im gitterbasierten SLM wird vorzugsweise nur eine Beugungsordnung des modulierten Wellenfeldes genutzt.
Die Aufgabe der Erfindung wird weiterhin durch ein Verfahren zur Modulation eines Wellenfeldes gelöst, das auf einen räumlichen Lichtmodulator mit regulär angeordneten reflektierenden Pixeln einfällt, wobei jeder Pixel ein reflektierendes Modulatorelement in Form eines steuerbaren Liniengitters mit einer Gitterperiode p aufweist. Bei dem Verfahren steuert eine Systemsteuerung eine Lageveränderung des Liniengitters normal zur Ebene des Lichtmodulators und lateral in einer Ebene parallel zur Lichtmodulatorebene, jedoch senkrecht zur Struktur des Liniengitters, voneinander unabhängig, wobei eine mit einer durchzuführenden Amplitudenmodulation gekoppelte Phasenmodulation des einfallenden Wellenfeldes einen zusätzlichen Phasenwert erhält.
Die Verfahrensschritte der Lageveränderung des Liniengitters voneinander unabhängig werden lateral in einer Ebene parallel zur Ebene des Lichtmodulators, jedoch senkrecht zur Struktur des Liniengitters, zur Phasenänderung der reflektierten Wellenfront und normal zur Ebene des Lichtmodulators zur Amplitudenänderung der Wellenfront durchgeführt.
Erfindungsgemäß wird der Wert der zusätzlichen Phasenmodulation entweder durch eine Modellrechnung von einer Recheneinheit ermittelt, die in die Systemsteuerung integriert ist. Eine andere Möglichkeit der Ermittlung des zusätzlichen Phasenwertes benutzt eine Kalibrationsmessung, deren Werte in einem Speichermittel gespeichert werden und von einer Recheneinheit abgerufen werden.
Eine weitere Ausbildung des Verfahrens sieht vor, dass die Systemsteuerung durch die Bewegung von Gitterbändern in normaler Richtung ein gestuftes Phasenprofil realisiert, indem N Gitterbänder pro Gitterperiode p zueinander mit einem Abstand Δt/N in einem Liniengitter versetzt bewegt werden.
Der SLM kann auch derart abgesteuert werden, dass in unterschiedlichen Pixeln des Arrays unterschiedliche Gitterperioden realisiert werden. Dadurch erreicht man unterschiedliche Austrittswinkel des gebeugten Wellenfeldes. Beispielsweise kann der SLM in verschiedene Pixelbereiche aufgeteilt werden, die jeweils ein anderes vorgegebenes Wellenfeld rekonstruieren. Damit kann mit dem erfindungsgemäßen
SLM auch ein räumliches Multiplexing von sich unterscheidenden Wellenfeldern zeitgleich realisiert werden.
Der erfindungsgemäße komplexe räumliche Lichtmodulator wird nachfolgend näher beschrieben. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen
Fig. 1 einen erfindungsgemäßen komplexen Lichtmodulator mit einer Anzahl von Pixeln in einer 2D-Anordnung sowie eine vergrößerte Ansicht eines einzelnen Pixels,
Fig. 2a, b einen funktionellen Aufbau eines gitterbasierten Pixels des erfindungs- gemäßen komplexen Lichtmodulators in zwei Ausgestaltungsbeispielen in perspektivischen Ansichten,
Fig. 3a, b, c eine Ausführungsform eines Pixels gemäß Fig. 2a in drei verschiedenen Schaltzuständen in Seitenansichten,
Fig. 4a, b, c eine weitere Ausführungsform eines Pixels gemäß Fig. 2b in drei verschiedenen Schaltzuständen in Seitenansichten, Fig. 5a, b, c eine weitere Ausführungsform eines Pixels in drei verschiedenen Schaltzuständen in Seitenansichten,
Fig. 6a, b, c eine weitere Ausführungsform eines Pixels in drei verschiedenen Schaltzuständen in Seitenansichten,
Fig. 7 in eindimensionalen grafischen Darstellungen die Beugungseffizienz η
(in Beziehung zur Amplitude stehend) sowie die resultierenden Phasenbeiträge Ψ und Φ bei einer Verstellung des Liniengitters in normaler und lateraler Richtung über mehrere Perioden,
Fig. 8 in zweidimensionalen grafischen Darstellungen die Beugungseffizienz η sowie den resultierenden ortsabhängigen Gesamt-Phasenbeitrag φ bei einer Verstellung des Liniengitters in normaler und lateraler Richtung über mehrere Perioden,
Fig. 9 in eindimensionalen grafischen Darstellungen die Beugungseffizienz η sowie die resultierenden Phasenbeiträge Ψ und Φ bei einer Verstellung des Liniengitters in normaler und lateraler Richtung über eine Periode,
Fig. 10 in zweidimensionalen grafischen Darstellungen die Beugungseffizienz η sowie den resultierenden ortsabhängigen Gesamt-Phasenbeitrag φ bei einer Verstellung des Liniengitters in normaler und lateraler Richtung über eine Periode,
Fig. 11 die Operationskurve des erfindungsgemäßen komplexwertigen
Lichtmodulators,
Fig. 12a, b die Operationskurven für eine reine normale (a) oder reine laterale (b) Verstellung eines Liniengitters, wobei (a) den Stand der Technik darstellt, und Fig. 13 ein Flussdiagramm zur Einstellung eines Pixelwertes im komplexen
Lichtmodulator für unterschiedliche Modulationsarten einfallender Wellenfronten.
Die nachfolgenden Ausführungsbeispiele beziehen sich auf einen erfindungsgemäßen Lichtmodulator (SLM), für den stellvertretend nur jeweils ein Pixel näher beschrieben wird. Der Klarheit halber werden Details von diffraktiven bzw. gitterbasierten SLM, welche weitgehend bekannt und insbesondere nicht relevant für die vorliegende Erfindung sind, von der folgenden Beschreibung ausgespart.
Um die Eigenschaften eines gitterbasierten räumlichen Lichtmodulators zu nutzen, muss die Amplituden- und Phasenverteilung in der Ebene des Lichtmodulators jeweils als binäre, N-stufig binäre oder sägezahnförmige Verteilung realisiert werden. Das vorhandene Gitter wird mit einer kohärenten Wellenfront vorzugsweise in Normalenrichtung beleuchtet, wobei die einfallende Welle eine Amplitude und Phase aufweist.
Der komplexe räumliche SLM der Erfindung besteht aus einem Array mit einer Vielzahl von regulär angeordneten reflektiven Pixeln. Das Array von Pixeln kann als ein- oder zweidimensionales Array realisiert werden.
In Fig. 1 ist in Draufsicht ein zweidimensionales Pixelarray des genannten SLM zu sehen. Der Pfeil zeigt einen daraus vergrößert dargestellten gitterbasierten Pixel als Einzelheit. Der Darstellung des Pixels ist zu entnehmen, dass nicht näher bezeichnete Aktorelemente ein bewegliches Verbindungsmittel seitlich kontaktieren können. Das Verbindungsmittel kann z.B. ein Rahmen mit kammförmig ausgebildeten Seitenteilen sein, mit dem Gitterstege oder Gitterbänder eines Liniengitters beweglich verbunden sind. Die laterale Ausdehnung eines Pixels liegt im Bereich von typischerweise einigen Mikrometern bis wenigen Hundert Mikrometern. Die Figuren 2a und 2b zeigen zwei prinzipielle erfindungsgemäße Ausgestaltungsbeispiele jeweils eines Pixels in perspektivischen Ansichten. Jeder Pixel enthält ein als koplanares Liniengitter ausgebildetes Modulatorelement, das über eine nicht dargestellte Systemsteuerung ansteuerbar ist.
Das Liniengitter in Fig. 2a enthält parallel zueinander verlaufende bewegbare Gitterstege oder Gitterbänder, welche von dazwischen liegenden so genannten Gitterfurchen lateral getrennt sind. Die Gitterbänder haben einen Abstand, der einer Gitterperiode p des Liniengitters entspricht. Sie sind freitragend mit einem Abstand t0 über einer Basisplatte angeordnet, wobei t0 die Ausgangslage für die zu vollziehende Bewegung angibt. Jedem Pixel des Lichtmodulators kann eine separate Basisplatte zugeordnet werden. In weiteren Ausgestaltungen der Erfindung kann aber auch die Basisplatte ein gemeinsames Grundelement für alle Pixel sein. Der für die Modulation der einfallenden Wellenfelder zu erzeugende laterale Verstellweg parallel zur Ebene der Basisplatte und gleichzeitig parallel zum Gittervektor der Liniengitter ist mit Δx angegeben, der Verstellweg normal zur Ebene der Basisplatte mit Δt. Beide Verstellwege sind durch Doppelpfeile gekennzeichnet.
In der folgenden Beschreibung wird für diese beiden Verstellwege verkürzend der Begriff „laterale Verstellung" und „normale Verstellung" bzw. nur „lateral" und „normal" verwendet.
Weiterhin sind durch einen Pfeil in Richtung Liniengitter die Einfallsrichtung der kohärenten, zu modulierenden Wellenfelder und durch entgegengesetzt gerichtete Pfeile die Richtungen der 0. sowie der ausgewählten ± 1. Beugungsordnungen der reflektierten modulierten Wellenfelder gekennzeichnet.
Die Gitterbänder sind entweder aus selbst reflektierendem Material gefertigt oder reflektierend beschichtet. Die Basisplatte ist je nach Ausgestaltungsbeispiel auch entweder aus selbst reflektierendem Material gefertigt bzw. reflektierend beschichtet oder absorbierend bzw. absorbierend beschichtet. Am oberen und unteren Rand des Pixels sind die Gitterbänder über ein nicht dargestelltes Verbindungsmittel, z.B. einen bewegbaren Rahmen, miteinander verbunden. Am Rahmen können ein oder mehrere ansteuerbare Aktoren angebracht sein, welche die lateralen (in-plane) Verstellungen der Liniengitter gewährleisten. Zusätzlich können an diesem Rahmen andere ansteuerbare Aktoren angebracht sein, welche die normalen (piston-like, out-of-plane) Verstellungen der Liniengitter realisieren. Die letztgenannten Bewegungen sind Hubbewegungen. Prinzipiell werden die Aktoren durch Steuersignale der nicht dargestellten Systemsteuerung angesteuert.
Für die gesteuerten Bewegungen der Gitterbänder können Aktoren eingesetzt werden, die beispielsweise nach den Wirkprinzipien der Elektrostatik, der Elektromagnetik oder des Piezoeffektes arbeiten. Eine laterale Bewegung kann beispielsweise elektrostatisch mittels eines so genannten kammförmigen (comb- drive) Aktors realisiert werden, der gleichzeitig mehrere Gitterbänder aufnehmen und bewegen kann. Eine Hubbewegung kann ebenso elektrostatisch, z.B. mittels so genannter Feder- (bimorph-flexure) oder Hebel- (bimorph-cantilever) Aktoren erzeugt werden.
Um alle auftretenden Amplituden- und Phasenwerte unabhängig voneinander im komplexwertigen Lichtmodulator einstellen zu können, ist ein normaler Mindestverstellweg von Δt = λ/4 der vorgesehenen Wellenlänge sowie ein lateraler Mindestverstellweg von Δx = p der Gitterbänder erforderlich. Aufgrund der Reflexion der Wellenfronten an der Basisplatte in den Gitterfurchen wird der geometrische Weg zweimal durchlaufen, so dass eine effektive Phasendifferenz φ bei einem Abstand t = λ/4 dem Wert von π entspricht. Bei dieser Phasendifferenz φ wird die maximale Beugungseffizienz η bei Phasengittern bzw. hier der Gitterbänder erreicht. Das in Fig. 2a dargestellte erste Ausführungsbeispiel eines komplexwertigen Lichtmodulators (C-SLM) kann vorteilhaft verwendet werden, wenn der Initialabstand to der Gitterbänder einem Vielfachen von λ/4 entspricht. Aufgrund einer Mindestdicke der Gitterstege, die durch Bänder realisiert werden können, sowie vorgegebener geometrischer und technologischer Randbedingungen wird dies die bevorzugte Realisierung eines C-SLM sein. Dieser C-SLM gestattet es, dass sich die in den Pixeln angeordneten Modulatorelemente lateral und normal voneinander entkoppelt über einen kleinen Bereich verstellen lassen und dadurch einfallende Wellenfelder in Amplitude und Phase voneinander unabhängig modulieren lassen.
In einem zweiten Ausgestaltungsbeispiel entsprechend Fig. 2b wird das Liniengitter eines Pixels aus parallel mit sehr geringem Abstand nebeneinander liegenden Gitterstegen gebildet. Sie sind freitragend über einer Basisplatte als Gitterbänder angeordnet, von denen sich z.B. jedes zweite Gitterband normal verstellen lässt. Die einzelnen Gitterbänder liegen so dicht beieinander, dass sie sich gerade noch ohne wechselseitige Beeinflussung normal verstellen lassen. Vorteilhafterweise hat bei dieser Ausführungsform die Basisplatte für das Licht einer vorgegebenen Wellenlänge eine absorbierende Eigenschaft, um den Einfluss des durch den sehr geringen Abstand hindurch tretenden Lichtes effektiv zu unterdrücken. Die Gitterbänder selbst sind wieder reflektierend ausgebildet. Die zweite Ausgestaltung eines Lichtmodulators wird vorzugsweise dann verwendet, wenn der C-SLM in einer geringen Ordnung der effektiven Phasendifferenz φ betrieben werden soll, d.h. wenn der Abstand der Gitterbänder zur Basisplatte beispielsweise Werte zwischen 0 und λ/4 annehmen soll.
In einer weiteren Ansteuerungsform des zweiten Ausgestaltungsbeispiels können mehrere nebeneinander liegende Gitterbänder gemeinsam normal bewegt werden, um so entweder andere effektive Gitterperioden p oder andere effektive Tastverhältnisse der Liniengitter eines Pixels zu realisieren.
In den Figuren 3a bis 3c ist eine Ausführungsform eines Pixels gemäß Fig. 2a in drei verschiedenen Schaltzuständen jeweils in Seitenansichten dargestellt. Über einer Basisplatte sind jeweils einzelne parallele Gitterstege, getrennt durch eine Gitterfurche zwischen zwei benachbarten Gitterstegen, mit einer Gitterperiode p zu sehen. Sowohl die Basisplatte als auch die Gitterstege sind reflektierend ausgebildet. Fig. 3a zeigt einen Pixel des C-SLM in seinem Initialzustand. Das kann nach Wahl des Initialabstands t0 zwischen den freitragenden Gitterstegen und der Basisplatte entweder einem deaktivierten (OFF-) Schaltzustand - dunkler Pixel bei t = n λ / 4 - oder einem aktivierten (ON-) Schaltzustand - heller Pixel bei t = (n + 1 ) λ / 4 - mit n = O, 2, 4, ... entsprechen. Die lateralen und normalen Verstellrichtungen Δx und Δt sind durch Doppelpfeile gekennzeichnet.
In Fig. 3b sind die Gitterstege des Pixels um den Verstellweg Δt in Richtung Basisplatte bewegt worden. Die Ausgangslage bzw. der Initialabstand t0 ist gestrichelt dargestellt. Der mit dieser Bewegung verbundene Schaltzustand wird auch mit SLM aus dem Stand der Technik realisiert und erlaubt es, die Beugungseffizienz η gezielt zu manipulieren. Mit dieser normalen Verstellung der Gitterstege ist ebenfalls, wie eingangs beschrieben, eine kleine Phasenverschiebung verbunden. Diese bewirkt aber eine an die Amplitudenmodulation gekoppelte marginale Phasenmodulation der einfallenden Wellenfronten. Durch eine zusätzliche laterale Verstellung Δx der Gitterstege kann dann unabhängig von der bereits ausgeführten normalen Verstellung Δt der ortsabhängige Phasenwert pro Pixel eingestellt werden. Dies ist in Fig. 3c zu sehen. Die laterale Verstellung aller Gitterstege erfolgt hier gemeinsam und kann z.B. durch kammförmige Aktorelemente ausgeführt werden, die von der Systemsteuerung durch entsprechende Steuersignale gesteuert werden.
Die Figuren 4a bis 4c zeigen die Seitenansichten eines Pixels des zweiten Ausgestaltungsbeispiels gemäß Fig. 2b in drei verschiedenen Schaltzuständen. Über einer Basisplatte sind in Fig. 4a jeweils parallele, eng aneinander liegende reflektive Gitterstege mit einer wirksamen Gitterperiode p zu sehen. Mit einem Initialabstand t0 wirken die freitragend angeordneten Gitterstege wie eine gewöhnliche Spiegelfläche. Die Gitterstege sind hier als Gitterbänder ausgebildet. Über nicht dargestellte, angesteuerte Aktoren ist entsprechend dem Schaltzustand in Fig. 4b jedes zweite Gitterband aktiviert und gegenüber dem Initialabstand t0 um den Verstellweg Δt in normaler Richtung bewegt worden. Jedes zweite Gitterband gehört damit einer Ebene an, die parallel zur Basisplatte und damit zur Ebene des Lichtmodulators liegt. Entsprechend Fig. 4c werden die Gitterbänder lateral in ihrer jeweiligen Ebene und senkrecht zur Struktur des Liniengitters noch um den Verstellweg Δx bewegt.
Durch dieses wechselseitige Verstellen jedes zweiten Gitterbandes sowohl lateral als auch normal wird ein diffraktiv wirkender Pixel realisiert, der die einfallenden Wellenfronten voneinander unabhängig in Amplitude und Phase moduliert.
Der Verstellweg Δt in jedem Pixel definiert, wie die gebeugten Intensitäten auf die einzelnen Beugungsordnungen verteilt werden.
Es können in einer weiteren Ausführungsform ebenso mehrere nebeneinander liegende Gitterbänder gemeinsam normal bewegt werden, um so andere effektive Gitterperioden p oder andere effektive Tastverhältnisse der Liniengitter im Pixel zu realisieren. Dies führt entweder zu anderen vorgegebenen Beugungswinkeln oder zu anderen resultierenden Beugungseffizienzen, was vorteilhaft zur Modulation genutzt werden kann.
Die Figuren 5a bis 5c zeigen die Seitenansichten eines Pixels eines dritten Ausgestaltungsbeispiels in drei verschiedenen Schaltzuständen.
Über einer Basisplatte sind jeweils parallele, eng aneinander liegende reflektive Gitterbänder mit einer wirksamen Gitterperiode p in Fig. 5a zu sehen. Vorteilhafterweise hat wiederum die Basisplatte für das Licht einer vorgegebenen Wellenlänge eine absorbierende Eigenschaft, während die Gitterbänder selbst wieder reflektierend ausgebildet sind. Eine Gitterperiode p wird aus N nebeneinander liegenden Gitterbändern gebildet. Mit einem Initialabstand t0 wirken die freitragend angeordneten Gitterbänder wie eine gewöhnliche Spiegelfläche. Die Gitterbänder sind hier sehr schmal ausgebildet. Über nicht dargestellte, angesteuerte Aktoren ist entsprechend dem Schaltzustand jedes Gitterband getrennt voneinander ansteuerbar.
In Fig. 5b sind alle Gitterbänder, außer dem ersten Gitterband einer Periode, normal bewegt worden. Sie liegen in Ebenen, die parallel zueinander und parallel zur Basisplatte verlaufen. Die Bewegung in Normalenrichtung ist dabei derart erfolgt, dass mittels der N = 4 Gitterbänder 4 verschiedene Phasenstufen innerhalb einer Gitterperiode p eingestellt wurden. Bei einer zu erzielenden Beugungseffizienz η entspricht der Abstand zwischen dem höchst- und tiefstgelegenen Gitterband dem Verstellweg Δt. Die einzelnen Gitterbänder einer Gitterperiode p werden bevorzugt derart normal bewegt, dass sie untereinander einen Abstand Δt/N aufweisen. Auf diese Weise wird ein gestuftes Phasenprofil realisiert und eine höhere Beugungseffizienz pro Pixel erreicht. Eine maximale Beugungseffizienz η wird erreicht, wenn der Verstellweg Δt so gewählt wird, dass ein so genannter Blaze- Winkel γ angenähert wird. Der Blaze-Winkel ergibt sich aus der Forderung γ = -αm/2. Er ist weiterhin von der verwendeten Wellenlänge λ und der Beugungsordnung m abhängig. Diese Art von Gittern wird als N-stufig binär bezeichnet. Die Einstellung des gewünschten Amplitudenwertes pro Beugungsordnung wird über einen durch den Verstellweg Δt und die Gitterperiode p vorgegebenen Winkel ε realisiert, der für eine maximale Beugungseffizienz dem Blaze-Winkel γ entspricht.
Entsprechend Fig. 5c werden die Gitterbänder lateral in ihrer jeweiligen Ebene noch um den Verstellweg Δx bewegt. Die laterale Verstellung kann alternativ so erfolgen, dass anstelle der gemeinsamen Verschiebung aller Gitterbänder um Δx die Gitterbänder einzeln in ihrer Höhe derart verstellt werden, dass der Phasensprung von einer Periode p zur nächsten an einem benachbarten Gitterband erfolgt. Dadurch wandert das N-stufig binäre Liniengitter lateral über der Basisplatte. Die Diskretisierung in lateraler Richtung beträgt in diesem Fall N = 4, die Diskretisierungsschrittweite ist p/N. Mit diesem dritten Ausgestaltungsbeispiel können nicht nur die bevorzugten geblazten bzw. sägezahnförmigen Phasenprofile durch einzelne Stufen angenähert werden, sondern es sind beliebige andere Phasenprofile einstellbar. Als ein weiteres Beispiel hierfür sei ein kosinusförmiges Phasenprofil genannt.
Die Figuren 6a bis 6c zeigen die Seitenansichten eines Pixels eines vierten Ausgestaltungsbeispiels in drei verschiedenen Schaltzuständen. Über einer Basisplatte sind jeweils parallele, eng aneinander liegende reflektive Gitterbänder mit einer wirksamen Gitterperiode p in Fig. 6a zu sehen. Die Basisplatte hat für das Licht einer vorgegebenen Wellenlänge eine absorbierende Eigenschaft, während die Gitterbänder selbst wieder reflektierend ausgebildet sind. Der Phasenhub Δt wird über eine Rotationsbewegung der einzelnen Gitterbänder um ihre Achse eingestellt, wie in Fig. 6b zu sehen ist. Die maximale Beugungseffizienz wird erreicht, wenn der Winkel ε dem Blaze-Winkel entspricht. Diese Art von Liniengittern wird als geblaztes oder sägezahnförmiges Gitter bezeichnet. Es zeichnet sich durch eine hohe Beugungseffizienz in der gewünschten Beugungsordnung aus. Entsprechend Fig. 6c werden die Gitterbänder lateral in ihrer jeweiligen Ebene noch um den Verstellweg Δx bewegt, um die zusätzliche Phasenverschiebung zu realisieren.
Die Fig. 7 zeigt die Ergebnisse einer Modulation einer einfallenden Wellenfront in eindimensionaler grafischer Darstellung am Beispiel eines ideal reflektierenden zweistufig binären Liniengitters für eine vorgegebene Wellenlänge λ = 633 nm. In der oberen Grafik ist die Beugungseffizienz η (in Beziehung zur Amplitude stehend) und darunter sind die aus der normalen und lateralen Verstellung resultierenden
Phasenbeiträge Ψ und Φ dargestellt. Die Verstellungen der Liniengitter in normaler und lateraler Richtung erfolgen hier über mehrere Perioden der jeweiligen
Verstellwege. Der Modellrechnung wurde ein ideal reflektierendes Phasengitter (A0
= Ai = 1 ) mit der Gitterperiode p = 2μm zugrunde gelegt. Für die Modellrechnung muss im Falle von metallischen oder halbmetallischen Materialien insbesondere auch der komplexe Brechungsindex für die reflektierende Oberfläche der Gitterbänder und der Basisplatte bekannt sein.
Anhand der Modellrechnung oder einer Kalibrationsmessung kann der zusätzliche Phasenwert, der mit dem aus der Amplitudenmodulation gekoppelten Phasenwert den benötigten bzw. vorgegebenen ortsabhängigen Phasenwert der komplexen Amplitude bildet, ermittelt werden.
In der Fig. 8 werden in zweidimensionaler Darstellung beispielhaft die Beugungseffizienz η und darunter der aus normaler und lateraler Verstellung resultierende ortsabhängige Gesamt-Phasenbeitrag φ = Ψ + Φ eines ideal reflektierenden zweistufig binären Liniengitters (als Phasengitter ausgelegt) gezeigt, wenn die Verstellungen Δt und Δx über mehrere Perioden in normaler und vertikaler Richtung erfolgen. Die Beugungseffizienz η ist hier eine unnormierte, theoretische Größe. Das Berechnungsmodell entspricht mit seinen Werten denen von Fig. 7.
In Fig. 9 sind analog zu Fig. 7 die Ergebnisse einer Modulation einer einfallenden Wellenfront in eindimensionaler grafischer Darstellung am Beispiel eines ideal reflektierenden zweistufig binären Liniengitters für eine vorgegebene Wellenlänge λ = 633 nm dargestellt. In der oberen Grafik ist die Beugungseffizienz η (in Beziehung zur Amplitude stehend) und darunter sind die aus der normalen und lateralen Verstellung resultierenden Phasenbeiträge Ψ und Φ zu sehen. Die Verstellungen der Liniengitter in normaler und lateraler Richtung erfolgen hier aber nur über eine Periode. Der Modellrechnung wurde ein ideal reflektierendes Phasengitter (A0 = Ai = 1 ) mit der Gitterperiode p = 2μm zugrunde gelegt. Das Berechnungsmodell entspricht mit seinen Werten denen von Fig. 7. Die normale Verstellung erstreckt sich hier über einen Bereich von (nλ/4) < t < (n+1 ) λ/4.
In Fig. 10 werden analog zu Fig. 8 in zweidimensionaler Darstellung beispielhaft die Beugungseffizienz η und darunter der aus normaler und lateraler Verstellung resultierende ortsabhängige Gesamt-Phasenbeitrag φ = Ψ + Φ eines ideal reflektierenden zweistufig binären Liniengitters (als Phasengitter ausgelegt) gezeigt.
Die Verstellungen Δt und Δx erfolgen hier aber nur über eine Periode in normaler und vertikaler Richtung. Die Beugungseffizienz η ist hier eine unnormierte, theoretische Größe. Das Berechnungsmodell entspricht mit seinen Werten wieder denen von Fig. 7.
Die Fig. 11 zeigt die Operationskurve des erfindungsgemäßen komplexwertigen räumlichen Lichtmodulators. Jeder Punkt dieser Operationskurve, vom Mittelpunkt bis zum äußeren Rand, entspricht dem Endpunkt eines resultierenden Zeigers (Phasors) in der komplexen Ebene der Real- und Imaginärteile komplexer Amplituden, die mit dem C-SLM in dieser Ebene erfindungsgemäß realisierbar sind. Bei einer digitalen Ansteuerung ist die Punktedichte von der Diskretisierungs- sch rittweite in lateraler und normaler Richtung abhängig, die in diesem Beispiel 6 bit in jede Richtung der Verstellung beträgt.
In den Figuren 12a und 12b sind beispielhaft die Operationskurven der Modulation von Wellenfronten für eine reine normale (a) und eine reine laterale (b) Verstellung eines gitterbasierten Lichtmodulators dargestellt. Die Lösung in Fig. 12a entspricht dem Stand der Technik für eine reine Amplitudenmodulation oder eine gekoppelte Amplituden- und Phasenmodulation. Die Operationskurve nach Fig. 12b wird erzeugt, wenn eine reine laterale Verschiebung der Liniengitter im Lichtmodulator, wie z.B. bei der reinen Phasenmodulation, vorgenommen wird.
Mit dem erfindungsgemäßen C-SLM können verschiedene Modulationsarten einfallender Wellenfelder realisiert werden. Dies ist in einem Flussdiagramm in Fig. 13 dargestellt. Entsprechend einer Vorgabe der Systemsteuerung kann jedes Modulatorelement in jedem Pixel mit einem Wert entweder für eine Amplituden- oder eine Phasenmodulation oder für eine komplexwertige Modulation adressiert werden. Bevorzugt ist jedoch im Sinn der Erfindung die Nutzung im komplexwertigen Modus vorgesehen.
Nach dem Festlegen der Modulationsart werden entsprechend der Vorgabe entweder Amplituden- oder Phasenwerte oder gemeinsam Amplituden- und Phasenwerte zur Modulation ausgewählt, die z.B. in einer Look-up-Tabelle gespeichert sein können.
Entsprechend diesen Werten werden die erforderlichen normalen oder/und lateralen Verstellwege Δt und Δx der Gitterstege bzw. der Gitterbänder in jedem Pixel von der Systemsteuerung ermittelt. Diese Werte können ebenfalls in der Look-up-Tabelle gespeichert sein.
Von der Systemsteuerung werden entsprechend diesen Verstellwegen Steuersignale generiert, welche die vorgesehenen Aktoren an jedem Pixel so steuern, dass die ermittelten Verstellungen der Gitterstege bzw. Gitterbänder vorgenommen werden. Kohärente Wellenfronten, die auf diese eingestellten Liniengitter fallen, erhalten die vorgesehene Modulation in Phase und/oder Amplitude.
In weiterer Ausbildung der Erfindung können die Verstellwege Δx und Δt der Gitterstege bzw. der Gitterbänder in Abhängigkeit von bevorzugten Wellenlängen λ und der bevorzugten Modulationsart in der Look-up-Tabelle gespeichert sein.
In einer räumlichen Lichtmodulationseinrichtung, die mindestens eine kohärente Lichtquelle umfasst, kann der komplexwertige SLM in einem weiteren Ausgestaltungsbeispiel mit wenigstens einer Abbildungsoptik und wenigstens einer Filtereinheit kombiniert werden. Durch die Filtereinheit wird erreicht, dass unerwünschte Beugungsordnungen blockiert werden und nur die vorgesehene modulierte Beugungsordnung hindurchgelassen wird.
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein komplexwertiger räumlicher Lichtmodulator (C-SLM) zur kontinuierlichen und voneinander unabhängigen räumlichen Modulation von sowohl der Phase als auch der Amplitude einer auf den C-SLM auftreffenden Wellenfront einer vorgegebenen Wellenlänge kohärenten Lichts geschaffen. Neben einer vollständigen komplexwertigen Modulation kann der erfindungsgemäße C-SLM auch zur reinen Phasenmodulation (phase-only modulation) oder nur für eine Amplitudenmodulation (amplitude-mostly modulation) verwendet werden.
Die Herstellung des C-SLM erfolgt mittels Technologien der Mikrosystemtechnik bzw. MEMS-Fabrikationstechniken, wie Lithographie, Thin-Film Deposition und Doping, Etching, Bonding sowie BuIk Micromachining oder Surface Micromachining.
Zum besseren Verständnis der Erfindung sollen kurz einige Begriffe aus den theoretischen Grundlagen für Beugungsgitter dargelegt werden.
Für den allgemeinen Fall eines Liniengitters mit der Gitterperiode p, welches unter dem Winkel α, beleuchtet wird, lautet die Gittergleichung ±smα -smα = — (1 )
P Aus dieser leiten sich die Beugungswinkel αm des in m-ter Ordnung gebeugten
Lichtes der Wellenlänge λ ab. Die Winkel beziehen sich auf die Normale des jeweiligen Trägersubstrates. Die Gittergleichung gilt sowohl für Reflexions- (Vorzeichen negativ) als auch für Transmissiongitter (Vorzeichen positiv), wenn sich das Licht von links kommend ausbreitet. Entsprechend ihrem Einsatz unterscheidet man Reflexions- bzw. Transmissionsgitter, entsprechend ihrer Ausführung Amplituden- bzw. Phasengitter.
Die Orientierung des Gitters im Raum wird durch den Gittervektor definiert. Seine Richtung verläuft in Richtung des Gradienten der Phasenfunktion. Die Gitterperiode p der angeordneten Gitterstege ist der reziproke Wert der Ortsfrequenz v p(χ, y) = — 1— (2) v(x,y) und die Ortsfrequenz v eines Beugungsgitters entspricht der Anzahl der Gitterperioden p pro Millimeter (Gitterlinienpaare pro Millimeter).
Weitere charakteristische Eigenschaften eines Beugungsgitters sind dessen Tastverhältnis und dessen Aspektverhältnis. Als Tastverhältnis wird der Quotient aus Stegbreite b und Gitterperiode p bezeichnet, während das Aspektverhältnis das Verhältnis zwischen Strukturtiefe t und Gitterperiode p der Gitterstege angibt.
Die skalare Betrachtung der Beugungseffekte kann mit hinreichender Genauigkeit verwendet werden, wenn die Gitterperiode p um ein Vielfaches größer ist als die Wellenlänge des einfallenden Lichtes und nur die Fernfeldeffekte der Beugungserscheinungen interessieren. Bei räumlichen Lichtmodulatoren sind die Rekonstruktionseigenschaften im Fernfeld ausschlaggebend. Nach der Fraunhoferschen Näherung entspricht das im Fernfeld beobachtete Beugungsbild der Fourier-Transformierten des Feldes unmittelbar nach der beugenden Struktur. Daraus lassen sich die Beugungseffizienz η und die Phase Ψ des resultierenden Fernfeldes ableiten. Im Folgenden wird die Beugungseffizienz η und die Phase Ψ am Beispiel von zweistufig binären Liniengittern angegeben. Eine Herleitung ist beispielsweise in Chang, Y. C. & Bürge, J., Error analysis for CGH optical testing, Optica! Manufacturing and Testing III, Stahl, H. P. (ed.), 1999, 3782, 358-366 zu finden. Nach dem gleichen Schema lassen die Beugungseffizienzen η und die Phasen Ψ für N-stufig binäre Gitter oder geblazte, sägezahnförmige Gitter ableiten. Es sei erwähnt, dass somit die nachfolgend angegebenen Gleichungen (3) und (4) für den speziellen Fall von zweistufig binären Gittern ihre Gültigkeit haben, während (5) bis (8) allgemeingültig für die angegebenen Gitterausführungen sind.
Die Beugungseffizienz η eines diffraktiven Elementes ist als Quotient aus der Intensität der austretenden Welle und der Intensität der einfallenden Welle definiert. Bei Normierung auf eine Eingangsintensität von Eins ergeben sich damit die Beugungseffizienzen der einzelnen Ordnungen. Bei zweistufig binären Liniengittern lassen sich diese für Beugungsordnungen m ungleich Null ableiten zu η m≠0 = k2 + Aι - 2AA COSΦ ] ql sinc 2 hnqD ) ■ (3)
Dabei sind A0, Ai die Amplitudenwerte der austretenden Welle in der Furche bzw. auf dem Steg der binären Struktur. Diese entsprechen den Amplitudenreflexionskoeffizienten, welche sich nach den Fresnel-Gleichungen bestimmen lassen. Für die Berechnung der Amplitudenreflexionskoeffizienten A0, Ai muss daher der Brechungsindex (reell für Dielektrika, komplex für Metalle und Halbmetalle) der reflektierenden Oberflächen bekannt sein. Die Phase φ stellt die Phasenschiebung der reflektierten Welle zwischen den Steg- und Furchenbereichen dar. Mit der Furchentiefe t ergibt sich bei einem Reflexionsgitter für die Phase φ = 2π/λ-2t. Mit qD ist das Tastverhältnis der Gitterstruktur bezeichnet.
Die Phase des resultierenden Feldes erhält man aus dem Arkustangens des Quotienten aus dem Imaginärteil und dem Realteil des Wellenfeldes im Fernfeld. Entsprechend ergibt sich für die Phase Ψ in den Beugungsordnungen m ungleich Null
*„„ = arctan f / ** 1. (4)
[ - A0 + A1 cosφ I Die Analyse zeigt, dass bei einer relativen normalen Verschiebung einer Liniengitterstruktur bezüglich einer Basisplatte sowohl die Beugungseffizienz (Amplitudenquadrat) als auch die Phase beeinflusst werden, wobei beide Größen miteinander gekoppelt sind, d.h. nicht voneinander unabhängig einstellbar sind. Die Amplitudenmodulation bekannter gitterbasierter SLM beruht auf dem oben beschriebenen Prinzip.
Um die Phase des reflektierten Wellenfeldes unabhängig von einer normalen Gitterverschiebung einstellen zu können, ist ein weiterer Freiheitsgrad in der Bewegung des Gitters vorgesehen. Durch eine laterale Verschiebung Δx der Gitterstruktur parallel zu dessen Gittervektor ergibt sich eine Phasenverschiebung Φ
^ 2πm . ._.
Φ = Δx , (5)
P wobei p die Gitterperiode und m die Beugungsordnung sind. Die laterale Verschiebung kann ebenso als ein Phasenoffset verstanden werden, der der linearen Phasenfunktion eines Einzelpixels aufaddiert wird.
Die erfindungsgemäße Lösung sieht vor, die laterale und normale Gitterverschiebung und die damit verbundene Phasen- und Amplitudenmodulation des gebeugten Lichtes zu kombinieren. Die komplexwertige Amplitude U eines Pixels mit den Indize (k, I) einer Pixelmatrix lässt sich dann als
UkJ = AkJ exp(i tykJ ) (6) schreiben, wobei A die reelle Amplitude und φ der Phasenwert im Einzelpixel darstellen. Die reelle Amplitude ergibt sich aus der Wurzel der normierten Beugungseffizienz zu
Figure imgf000024_0001
wobei sich die Effizienzen aus Gleichung (3) ergeben. Der Phasenwert eines Pixels ergibt sich aus der Phasensumme von Ψ und Φ, deren Beträge sich aus der Fourier- Transformierten der Gitterstruktur ergeben
Figure imgf000024_0002

Claims

Patentansprüche
1. Räumlicher Lichtmodulator mit regulär angeordneten Pixeln, wobei jeder Pixel ein Modulatorelement in Form eines steuerbaren reflektierenden Liniengitters mit einer Gitterperiode p aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass von einer Systemsteuerung gesteuert die Lage des Liniengitters normal zur Ebene des Lichtmodulators und lateral in einer Ebene parallel zur Lichtmodulatorebene, jedoch senkrecht zu einer Struktur des Liniengitters, voneinander unabhängig veränderbar ist, wobei eine mit einer durchzuführenden Amplitudenmodulation gekoppelte Phasenmodulation eines einfallenden Wellenfeldes einen zusätzlichen Phasenwert erhält.
2. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 1 , der in der Lichtmodulatorebene oder einer dazu parallelen Ebene eine Basisplatte enthält, über welcher das Liniengitter freitragend angeordnet ist.
3. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 2, bei welchem die Amplitude der austretenden Wellenfront durch Verstellen des Abstands des Liniengitters zur Ebene der Basisplatte einstellbar ist.
4. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 1 , bei welchem die Phase der austretenden Wellenfront durch Verschieben der Liniengitter in der Gitterebene einstellbar ist.
5. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 1 , bei welchem die Amplitude der austretenden Wellenfront durch eine Rotationsbewegung der einzelnen Gitterbänder um ihre Achse mit einem vorgebbaren Winkelwert, die einem Phasenhub in normaler Richtung entspricht, einstellbar ist.
6. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 2, bei welchem das Liniengitter aus parallel zueinander verlaufenden Gitterbändern besteht, die untereinander durch eine Gitterfurche getrennt sind, wobei die Gitterfurche der von der Wellenfront erreichbare Teil der Basisplatte ist.
7. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 6, bei welchem das Liniengitter und die Basisplatte für das zu modulierende Licht entweder aus selbst reflektierendem Material bestehen oder mit einer reflektierenden Beschichtung versehen sind.
8. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 2, bei welchem das Liniengitter aus parallel zueinander verlaufenden Gitterbändern besteht, die zueinander benachbart ohne Abstand angeordnet sind.
9. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 8, bei welchem die Basisplatte lichtabsorbierend ausgebildet ist.
10. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 8, bei dem das Liniengitter N Gitterbänder pro Gitterperiode p aufweist, von denen benachbarte Gitterbänder in der Gitterperiode p einen unterschiedlichen Abstand in normaler Richtung aufweisen, wobei N > 2 ist.
11. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 2, bei welchem Aktorelemente zum Verändern der Lage der Liniengitter relativ zur Basisplatte vorgesehen sind, deren Wirkung auf den Prinzipien der Elektrostatik, der Elekromagnetik oder des Piezoeffektes beruht.
12. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 11 , bei welchem die Aktorelemente durch Steuersignale der Systemsteuerung gesteuert werden.
13. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 12, bei welchem die laterale Verstellung der Gitterbänder durch kammförmige Aktorelemente erfolgt.
14. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 1 , bei dem zur Veränderung der Lage des Liniengitters sowohl in lateraler als auch in normaler Richtung zur Basisplatte eine Mindestgröße für die Verstellwege in normaler und lateraler Richtung erforderlich ist.
15. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 7, bei welchem das Liniengitter und die Basisplatte in einem vorgegebenen gleichen Spektralbereich reflektieren.
16. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 10, bei welchem die durch Aktorelemente hervorgerufenen Veränderungen der Lage der Liniengitter relativ zur
Basisplatte den gesamten Wertebereich der Amplituden- und der Phasenwerte zwischen den einzelnen Pixeln abdecken.
17. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 1 , bei welchem die durch die Lageveränderung des Liniengitters in der Lichtmodulatorebene erzeugte
Amplituden- und Phasenmodulation eine resultierende Amplituden- und Phasenverteilung aufweist.
18. Räumlicher Lichtmodulator nach Anspruch 17, bei welchem die resultierende Amplituden- und Phasenverteilung für einen Schaltzustand des Lichtmodulators binär, N-stufig binär oder sägezahnförmig ist.
19. Räumliche Lichtmodulationseinrichtung mit einem komplexwertigen räumlichen Lichtmodulator nach Anspruch 1 sowie mit mindestens einer Lichtquelle, einer Abbildungsoptik und einer Filtereinheit, wobei die Pixel des Lichtmodulators wahlweise im Amplitudenmodus, im Phasenmodus oder im komplexwertigen Modus betrieben werden.
20. Verfahren zur Modulation eines Wellenfeldes, das auf einen räumlichen Lichtmodulator mit regulär angeordneten reflektierenden Pixeln einfällt, wobei jeder
Pixel ein reflektierendes Modulatorelement in Form eines steuerbaren Liniengitters mit einer Gitterperiode p aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Systemsteuerung eine Lageveränderung des Liniengitters normal zur Ebene des Lichtmodulators und lateral in einer Ebene parallel zur Lichtmodulatorebene, jedoch senkrecht zur Struktur des Liniengitters, voneinander unabhängig steuert, wobei eine mit einer durchzuführenden Amplitudenmodulation gekoppelte Phasenmodulation des einfallenden Wellenfeldes einen zusätzlichen Phasenwert erhält.
21. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Lageveränderungen des Liniengitters voneinander unabhängig lateral in einer Ebene parallel zur Ebene des Lichtmodulators, jedoch senkrecht zur Struktur des Liniengitters, zur Phasenänderung der reflektierten Wellenfront und normal zur Ebene des Lichtmodulators zur Amplitudenänderung der Wellenfront durchgeführt werden.
22. Verfahren nach Anspruch 20, wobei der Wert der zusätzlichen Phasenmodulation durch eine Modellrechnung von einer Recheneinheit ermittelt wird, die in die Systemsteuerung integriert ist.
23. Verfahren nach Anspruch 20, wobei der Wert der zusätzlichen Phasenmodulation durch eine Kalibrationsmessung ermittelt wird, deren Werte in einem Speichermittel gespeichert werden und von einer Recheneinheit abgerufen werden.
24. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Systemsteuerung Aktorelemente ansteuert, die durch bewegliche Verbindungsmittel die Veränderungen des Liniengitters vornehmen.
25. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Systemsteuerung durch die Bewegung von Gitterbändern in normaler Richtung ein gestuftes Phasenprofil realisiert, indem
N Gitterbänder pro Gitterperiode p zueinander mit einem Abstand Δt/N in einem Liniengitter versetzt bewegt werden.
26. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Systemsteuerung zur Modulation des einfallenden Wellenfeldes alle Liniengitter gleichzeitig ansteuert.
27. Verfahren nach Anspruch 19, wobei die Systemsteuerung ausgewählte Liniengitter ansteuert, um in unterschiedlichen Bereichen des Modulators unterschiedliche räumliche Modulationen des einfallenden Wellenfeldes zu realisieren.
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