WO2009016924A1 - 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体 - Google Patents

三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体 Download PDF

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Abstract

　位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを、計測対象（１２）が計測される搬送ステージ（５２）上の一部の領域へ投影する投光部（２０）と、光パタン照射領域（１４）を撮像する第１のラインセンサ（３６）と、光パタン非照射領域（１６）を撮像する第２のラインセンサ（３８）と、第１のラインセンサ（３６）が撮像した画像（８２）および第２のラインセンサ（３８）が撮像した画像（８４）から、背景情報を除去した画像（８６）に含まれるある画素における光パタンの位相を、画像（８６）における画素とその周辺の画素との輝度値に基づいて算出し、算出した位相に基づいて計測対象（１２）の高さ情報を算出する画像解析・駆動制御部（４０）とを備え、第１のラインセンサ（３６）および第２のラインセンサ（３８）は、それぞれ、光パタン照射領域（１４）および光パタン非照射領域（１６）を、同時に撮像できるように配置されている。これにより、迅速かつ高精度に三次元形状情報を計測できる三次元形状計測装置を実現する。
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