JP2021139777A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
被検査物を所定の一方向に搬送する搬送部と、
前記一方向と非平行な方向に前記被検査物の表面を横断するスリット光を照射する第1スリット光照射部と、
前記被検査物の表面における前記スリット光の照射領域を含む所定の二次元領域を視野に捉えるように配置され、予め決められた周期で該領域の画像データを取得する二次元カメラと、
前記二次元カメラにより取得される二次元領域の画像データから、前記スリット光が照射されている領域である照射領域、前記スリット光が照射されていない領域である非照射領域、及び前記スリット光の照射領域と非照射領域の境界領域のうちの、予め決められた2つの領域の画像データを第1画像データ及び第2画像データとして抽出する画像データ抽出部と
を備えることを特徴とする。
前記第1画像データを撮影順に並べた画像データである第1検査用データを作成し、前記第2画像データを撮影順に並べた画像データである第2検査用データを作成する検査用データ作成部
を備えるとよい。
前記第1スリット光照射部と異なる照射条件で前記被照射領域にスリット光を照射する第2スリット光照射部
を備え、
前記画像データ抽出部が、前記第2スリット光照射部からスリット光が照射されている領域の画像データを抽出する
ことを特徴とする。
上記態様の表面検査装置では、例えば、第2スリット光照射部から不純物による光吸収が生じる波長のスリット光を照射することにより、前記スリット光の照射領域に対応する画像データから検査用データを作成して表面の凹凸等を検査するとともに、特定の波長の光を吸収する不純物を検出することができる。また、例えば、第1スリット光照射部から被検査物の表面側にスリット光を照射し、第2スリット光照射部から被検査物の裏面側にスリット光を照射することにより、被検査物の表面からの反射光の画像と透過光の画像のそれぞれに対応する検査用データとを取得することができる。さらに、第1スリット光照射部と第2スリット光照射部から被検査物の表面(又は裏面)に対して異なる角度でスリット光を照射することにより、被検査物の表面の凹凸を異なる角度で捉えた検査用データを取得することができる。
11、110…被検査物
2…搬送部
21…送り出しローラ
22…巻き取りローラ
23、231、232、233、234…搬送ローラ
24…ロータリーエンコーダ
3…スリット光照射部
31…第1スリット光照射部
32…第2スリット光照射部
4…撮影部
5…制御・処理部
51…記憶部
52…表面検査用プログラム
53…対象領域設定部
54…搬送速度設定部
55…撮影周期設定部
56…撮影信号出力部
57…画像データ抽出部
58…検査用データ作成部
59…欠陥検出部
61…入力部
62…表示部
Claims (7)
- 被検査物の表面を検査する装置であって、
被検査物を所定の一方向に搬送する搬送部と、
前記一方向と非平行な方向に前記被検査物の表面を横断するスリット光を照射する第1スリット光照射部と、
前記被検査物の表面における前記スリット光の照射領域を含む所定の二次元領域を視野に捉えるように配置され、予め決められた周期で該領域の画像データを取得する二次元カメラと、
前記二次元カメラにより取得される二次元領域の画像データから、前記スリット光が照射されている領域である照射領域、前記スリット光が照射されていない領域である非照射領域、及び前記スリット光の照射領域と前記非照射領域の境界領域のうちの、予め決められた2つの領域の画像データを第1画像データ及び第2画像データとして抽出する画像データ抽出部と
を備えることを特徴とする表面検査装置。 - さらに、
前記第1画像データを撮影順に並べた画像データである第1検査用データを作成し、前記第2画像データを撮影順に並べた画像データである第2検査用データを作成する検査用データ作成部
を備えることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。 - さらに、
前記第1スリット光照射部と異なる照射条件で前記被照射領域にスリット光を照射する第2スリット光照射部
を備え、
前記画像データ抽出部が、前記第2スリット光照射部からスリット光が照射されている領域の画像データを抽出する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の表面検査装置。 - 前記第1スリット光照射部と、前記第2スリット光照射部が、異なる波長帯域のスリット光を前記被検査物に対して照射することを特徴とする請求項3に記載の表面検査装置。
- 前記第1スリット光照射部が前記被検査物の表面に対してスリット光を照射し、前記第2スリット光照射部が前記被検査物の裏面に対してスリット光を照射することを特徴とする請求項3又は4に記載の表面検査装置。
- 前記第1スリット光照射部から前記被検査物に照射されるスリット光と前記一方向がなす角度と、前記第2スリット光照射部から前記被検査物に照射されるスリット光と前記一方向がなす角度が異なることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の表面検査装置。
- 前記搬送部が、前記被検査物が予め決められた距離搬送される毎に信号を出力する信号出力部を備え、
前記二次元カメラが前記信号出力部から出力される信号に基づいて撮影動作を行う
ことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の表面検査装置。
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