WO2008096622A1 - Pompe à vide - Google Patents

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WO2008096622A1
WO2008096622A1 PCT/JP2008/051189 JP2008051189W WO2008096622A1 WO 2008096622 A1 WO2008096622 A1 WO 2008096622A1 JP 2008051189 W JP2008051189 W JP 2008051189W WO 2008096622 A1 WO2008096622 A1 WO 2008096622A1
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pump
back lid
wiring
connector
electric components
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PCT/JP2008/051189
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English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Rumiko Wada
Takashi Kabasawa
Original Assignee
Edwards Japan Limited
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
    • F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
    • F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

L'invention concerne une pompe à vide comportant un corps de pompe et un dispositif de commande intégrés, la pompe pouvant être démontée avec une aptitude à être travaillée encore améliorée. Une base (3) est munie d'un connecteur (23) permettant de sortir un câblage interne, tel qu'un câblage de raccordement, de composants électriques d'une pompe turbo moléculaire (1) et de raccorder le câblage à un dispositif de commande (30). Par rapport à l'aptitude à être travaillée et lors du démontage de la pompe turbo moléculaire (1), le connecteur (23) est ménagé dans une zone sur le côté extérieur d'une ouverture de la base (3), ou plus particulièrement sur le côté extérieur d'une zone où est installé un couvercle arrière (22). Du fait que le connecteur (23) n'est pas prévu sur le couvercle arrière (22), ni que le câblage interne est raccordé au couvercle arrière (22), le couvercle arrière (22) peut être facilement retiré. En outre, une partie d'un passage (25) de gaz de drainage est amenée à doubler la place où est installé le câblage de raccordement des composants électriques. Il en résulte que le nombre de trous pour acheminer le câblage de raccordement des composants électriques est diminué, ce qui réduit la charge de travail dans un procédé de façonnage des trous.
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